CN102529372A - 液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法 - Google Patents
液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102529372A CN102529372A CN2011103719075A CN201110371907A CN102529372A CN 102529372 A CN102529372 A CN 102529372A CN 2011103719075 A CN2011103719075 A CN 2011103719075A CN 201110371907 A CN201110371907 A CN 201110371907A CN 102529372 A CN102529372 A CN 102529372A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- electrode
- extraction electrode
- common
- ejection passage
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 146
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 203
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 169
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims description 99
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 47
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 28
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 19
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 16
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 12
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 10
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 10
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 claims description 9
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 8
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims description 7
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 26
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 19
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 15
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 11
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 6
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 5
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000010023 transfer printing Methods 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- ZZUFCTLCJUWOSV-UHFFFAOYSA-N furosemide Chemical compound C1=C(Cl)C(S(=O)(=O)N)=CC(C(O)=O)=C1NCC1=CC=CO1 ZZUFCTLCJUWOSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002102 hyperpolarization Effects 0.000 description 1
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000004224 protection Effects 0.000 description 1
- 230000002040 relaxant effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14209—Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
- B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
- B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
- B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
- B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
- B41J2/055—Devices for absorbing or preventing back-pressure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14491—Electrical connection
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
本发明的液体喷射头(1)具备：具有多个槽(5)的致动器基板(2)、将多个槽(5)的上部开口堵塞而构成通道的盖板(3)以及将驱动信号供给至致动器基板(2)的柔性基板(4)。与喷出通道(11)的驱动电极(7)连接的共同引出电极(8a)和与伪通道(12)的驱动电极(7)连接的个别引出电极(8b)分别在致动器基板(2)的基板表面(SF)的后方端(RE)附近形成，分别与柔性基板(4)的共同布线电极(9a)和个别布线电极(9b)连接。而且，在柔性基板(4)的共同布线电极(9a)与致动器基板(2)的驱动电极(7)交叉的共同布线交叉区域(CR)，伪通道的侧面的驱动电极(7)形成为其上端部比基板表面更深。从而，使致动器基板(2)的引出电极(8)和柔性基板(4)的布线电极(9)之间的电连接变容易。
Description
技术领域
本发明涉及从喷嘴喷出液体而在被记录介质形成图像、文字或者薄膜材料的液体喷射头和使用该液体喷射头的液体喷射装置。
背景技术
近年来，喷墨方式的液体喷射头得到利用，该液体喷射头将墨滴喷出至记录纸等，描绘文字、图形，或者将液体材料喷出至元件基板的表面，形成功能性薄膜的图案。该方式将墨或液体材料从液体罐经由供给管供给至液体喷射头，将该墨填充至形成于液体喷射头的微小空间，响应驱动信号而瞬间地缩小微小空间的容积，使液滴从与槽连通的喷嘴喷出。
图12示出这种喷墨头51的分解立体图。喷墨头51由下列部件等构成：压电体基板52，在表面形成有许多槽56；盖板54，形成有液体供给室62和狭缝63；喷嘴板55，具备用于喷出液体的喷嘴64；以及柔性基板53，用于利用驱动电路来生成驱动信号并将驱动信号供给至压电体基板52。各槽56被盖板54堵塞上部开口而构成通道。各槽56被隔壁57分隔，在隔壁57的侧面，形成有用于驱动隔壁57的驱动电极59。各驱动电极59与形成于压电体基板52的后方端RE的表面的引出电极60连接。由压电体构成的隔壁57沿垂直方向极化。将驱动信号施加至形成于隔壁57的两个侧面的驱动电极59，由此，隔壁57产生厚度滑移变形(厚み滑り変形)。预先将液体填充至由槽56构成的通道，在驱动时使隔壁57变形，由此，通道的容积变化，从与压电体基板52的前方端FE的表面接合的喷嘴板55的喷嘴64喷出墨。
图13是将在压电体基板52的后方端RE附近的表面粘接的柔性基板53从压电体基板52分离并移至下方的状态的压电体基板52和柔性基板53的俯视示意图。在压电体基板52的表面，形成有由槽构成的通道，各通道交替地配置伪通道D1～Dn+1和喷出液滴的喷出通道C1～Cn。在划分各通道的隔壁57的侧面，形成有用于变形驱动隔壁57的驱动电极59。在压电体基板52的后方端RE附近的表面，形成有与各通道的驱动电极59电连接的引出电极60。例如，驱动电极59c1形成于构成喷出通道C1的两个隔壁57的喷出通道侧的两个侧面，连接至第一引出电极60c1。驱动电极59d1形成于伪通道D1的喷出通道C1侧的侧面，驱动电极59d2形成于伪通道D2的喷出通道C1侧的侧面，任一个均电连接至第二引出电极60d1。其他喷出通道C2～Cn、伪通道D2～Dn+1和第一及第二引出电极60c、60d也具备同样的结构。
在柔性基板53的压电体基板52侧的表面，形成有用于将驱动信号供给至驱动电极59的布线电极61。如箭头所示，使柔性基板53移动至压电体基板52的后方端RE侧的表面，分别将布线电极61d1电连接至引出电极60d1，布线电极61c1电连接至引出电极60c1，布线电极61d2电连接至引出电极60d2，并粘接于压电体基板52的表面。其他布线电极61也是如此。
图14是示出另一喷墨头的立体图(专利文献1的图1)。在压电陶瓷基板71的下表面，形成有构成通道的许多槽。在压电陶瓷基板71的前端部的表面74，接合有未图示的喷嘴板，由槽构成的墨室72与喷嘴板的喷嘴连通。在划分下表面的各墨室72的隔壁，形成有驱动电极，各驱动电极由引出电极76经由表面74而引出至表面75。在表面74，电极由绝缘部73分离，在表面75，引出电极76由绝缘部77电分离。引出电极76在后方端上表面的电连接端78与电气布线79连接，连接至未图示的驱动电路。在该示例中，电连接端78的间距W2形成为比墨室72的间距W1更大，使与外部连接电路的连接变容易。
专利文献1：日本特开平9-29977号公报
在图12和图13所示的现有示例中，形成于柔性基板53的布线电极61与引出电极60的连接点的间距P1，必须为与形成于压电体基板52的通道的排列间距P2相同的程度。可是，近年来，随着通道数量增大，该排列间距P2变窄。因此，必须也使柔性基板53的布线电极61的与引出电极60的连接点的间距P1窄间距化，存在进行对位并安装时的对位精度严格、制造变困难或制造成品率恶化等课题。
另外，如图14所示，为了在压电陶瓷基板71的背面侧形成引出电极76，必须在压电陶瓷基板71的前方端的表面74和上方的表面75形成电极图案。因此，存在着制造工序变复杂从而批量生产性下降的课题。
发明内容
本发明是鉴于上述情况而完成的，提供能够简便地构成的液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法。
本发明的液体喷射头，具备：致动器基板，具有多个槽、驱动电极以及引出电极，所述槽在基板表面的前方端至后方端的方向上细长，由隔壁互相隔离，沿与所述方向交叉的方向排列，所述驱动电极形成于所述隔壁的侧面，所述引出电极电连接至所述驱动电极，形成于所述基板表面的后方端附近；盖板，接合于所述基板表面，将所述多个槽的上部开口堵塞，构成多个通道；以及柔性基板，粘接于所述基板表面的后方端附近，具有电连接至所述引出电极的布线电极，所述多个通道交替地排列喷出液体的喷出通道和不喷出液体的伪通道，构成所述伪通道的槽延伸至所述致动器基板的后方端，所述引出电极具有个别引出电极和共同引出电极，所述个别引出电极与在与所述喷出通道的两侧邻接的2个伪通道的所述喷出通道侧的侧面形成的驱动电极电连接，形成于所述2个伪通道之间的所述基板表面的后方端附近，所述共同引出电极与在所述喷出通道的2个侧面形成的驱动电极电连接，形成于所述基板表面的后方端附近的比所述个别引出电极更靠近前方端的一侧，所述布线电极具有共同布线电极和多个个别布线电极，所述共同布线电极将与所述喷出通道相对应的所述共同引出电极和与其他喷出通道相对应的其他共同引出电极电连接，所述个别布线电极个别地电连接至与各喷出通道相对应的个别引出电极的各个，在所述共同布线电极和所述驱动电极交叉的共同布线交叉区域，在构成所述伪通道的槽的侧面形成的驱动电极形成为其上端部与所述基板表面相比在槽的深度方向上更深。
另外，在所述共同布线交叉区域，将所述基板表面和构成所述伪通道的槽的侧面之间的角部沿深度方向切削。
另外，构成所述喷出通道的槽从所述致动器基板的前方端延伸至后方端的面前侧。
另外，构成所述喷出通道的槽从所述致动器基板的前方端延伸至后方端，所述个别引出电极包括在所述喷出通道和与所述喷出通道的一侧邻接的伪通道之间形成的第一个别引出电极以及在所述喷出通道和与所述喷出通道的另一侧邻接的伪通道之间形成的第二个别引出电极，在与所述喷出通道的一侧邻接的伪通道的所述喷出通道侧的侧面形成的驱动电极与所述第一个别引出电极电连接，在与所述喷出通道的另一侧邻接的伪通道的所述喷出通道侧的侧面形成的驱动电极与所述第二个别引出电极电连接，所述共同引出电极包括在所述喷出通道和与所述喷出通道的一侧邻接的伪通道之间形成的第一共同引出电极以及在所述喷出通道和与所述喷出通道的另一侧邻接的伪通道之间形成的第二共同引出电极，在构成所述喷出通道的槽的一侧的侧面形成的驱动电极电连接至所述第一共同引出电极，在构成所述喷出通道的槽的另一侧的侧面形成的驱动电极电连接至所述第二共同引出电极，所述共同布线电极将与所述喷出通道相对应的所述第一共同引出电极和所述第二共同引出电极电连接。
另外，所述个别布线电极将与所述喷出通道相对应的所述第一个别引出电极和所述第二个别引出电极电连接。
另外，在所述个别布线电极和所述驱动电极交叉的个别布线交叉区域，在构成所述喷出通道的槽的侧面形成的驱动电极形成为其上端部与所述基板表面相比在槽的深度方向上更深。
另外，在所述个别布线交叉区域，将所述基板表面和构成所述喷出通道的槽的侧面之间的角部沿深度方向切削。
本发明的液体喷射装置，具备：上述任一项所记载的液体喷射头；移动机构，使所述液体喷射头往复移动；液体供给管，将液体供给至所述液体喷射头；以及液体罐，将所述液体供给至所述液体供给管。
本发明的液体喷射头的制造方法，具备：槽形成工序，在致动器基板的基板表面形成由隔壁互相隔离的多个槽；电极沉积工序，在所述隔壁的侧面和所述隔壁的上表面沉积电极材料；电极形成工序，在所述隔壁的侧面，形成上端部的一部分与所述上表面的高度相比在所述槽的深度方向上更低的形状的驱动电极，并且，在所述上表面形成引出电极；以及柔性基板粘接工序，将形成有布线电极的柔性基板粘接于所述隔壁的上表面，将所述引出电极和所述布线电极电连接。
另外，所述电极形成工序包括将在所述侧面的上端部沉积的电极的一部分除去而形成所述驱动电极的驱动电极形成工序，以及对在所述隔壁的所述上表面沉积的电极进行构图而形成引出电极的引出电极形成工序。
另外，所述驱动电极形成工序由对所述隔壁的所述上表面和所述侧面之间的角部进行倒角的工序构成。
另外，所述电极形成工序在所述电极沉积工序之前在所述隔壁的所述上表面或所述上表面的附近设置掩模，并在所述电极沉积工序之后除去所述掩模而形成所述驱动电极和所述引出电极。
本发明的液体喷射头，具备：致动器基板，具有多个槽、驱动电极以及引出电极，所述槽在基板表面的前方端至后方端的方向上细长，由隔壁互相隔离，沿与所述方向交叉的方向排列，所述驱动电极形成于所述隔壁的侧面，所述引出电极电连接至所述驱动电极，形成于所述基板表面的后方端附近；盖板，接合于所述基板表面，将所述多个槽的上部开口堵塞，构成多个通道；以及柔性基板，粘接于所述基板表面的后方端附近，具有电连接至所述引出电极的布线电极。所述多个通道交替地排列喷出液体的喷出通道和不喷出液体的伪通道，构成所述伪通道的槽延伸至所述致动器基板的后方端。所述引出电极具有个别引出电极和共同引出电极，所述个别引出电极与在与所述喷出通道的两侧邻接的2个伪通道的所述喷出通道侧的侧面形成的驱动电极电连接，形成于所述2个伪通道之间的所述基板表面的后方端附近，所述共同引出电极与在所述喷出通道的2个侧面形成的驱动电极电连接，形成于所述基板表面的后方端附近的比所述个别引出电极更靠近前方端的一侧。所述布线电极具有共同布线电极和多个个别布线电极，所述共同布线电极将与所述喷出通道相对应的所述共同引出电极和与其他喷出通道相对应的其他共同引出电极电连接，所述个别布线电极个别地电连接至与各喷出通道相对应的个别引出电极的各个。在所述柔性基板的共同布线电极和所述驱动电极交叉的共同布线交叉区域，在构成所述伪通道的槽的侧面形成的驱动电极形成为其上端部与所述基板表面相比在槽的深度方向上更深。
依据该结构，能够将柔性基板上的布线电极数量相对于致动器基板上的引出电极数量降低至大概1/2。此外，在柔性基板上的布线电极和在隔壁的侧面上形成的驱动电极俯视时交叉的交叉部，在两个电极之间设有间隙，因而能够使两个电极的绝缘性提高。结果，致动器基板的引出电极和柔性基板的布线电极的电连接变容易，能够使制造成品率提高并使制造成本降低。
附图说明
图1是本发明第一实施方式的液体喷射头的示意性分解立体图。
图2是本发明第一实施方式的液体喷射头所使用的致动器基板的说明图。
图3是示出将柔性基板与本发明第一实施方式的液体喷射头的致动器基板粘接的状态的图。
图4是本发明第二实施方式的液体喷射头所使用的致动器基板的示意性局部立体图。
图5是本发明第二实施方式的液体喷射头的示意性局部俯视图。
图6是本发明第二实施方式的液体喷射头的示意性局部纵剖面图。
图7是本发明第二实施方式的液体喷射头的示意性纵剖面图。
图8是示出本发明的液体喷射头的基本的制造方法的工序图。
图9是用于说明本发明第三实施方式的液体喷射头的制造方法的图。
图10是用于说明本发明第三实施方式的液体喷射头的制造方法的图。
图11是本发明第四实施方式的液体喷射装置的示意性立体图。
图12是现有公知的液体喷射头的分解立体图。
图13是现有公知的压电体基板和柔性基板的俯视示意图。
图14是现有公知的喷墨头的示意图。
附图标记说明
1液体喷射头；2致动器基板；3盖板；4柔性基板；5槽；6隔壁；7驱动电极；8引出电极；9布线电极；10倒角部；11喷出通道；12伪通道；13封闭件；14液体供给室；15狭缝；16喷嘴板；17喷嘴；18保护部件。
具体实施方式
<液体喷射头>
(第一实施方式)
图1～图3是用于说明本发明第一实施方式的液体喷射头1的图，图1是液体喷射头1的示意性分解立体图，图2是致动器基板2的说明图，图3是示出将柔性基板4粘接于致动器基板2的状态的图。
如图1所示，液体喷射头1具备致动器基板2、盖板3、柔性基板4以及喷嘴板16。致动器基板2具有：多个槽5，在基板表面SF的前方端FE至后方端RE的y方向上细长，由隔壁6互相隔离，沿与上述y方向交叉的x方向排列；驱动电极7，形成于隔壁6的侧面；以及引出电极8，电连接至驱动电极7，形成于基板表面SF的后方端RE附近。盖板3接合于基板表面SF，将多个槽5的上部开口堵塞，构成通道。柔性基板4粘接于基板表面SF的后方端RE附近，具有电连接至引出电极8的布线电极9(图3所示的共同布线电极9a和个别布线电极9b)。喷嘴板16具有喷嘴17，与致动器基板2和盖板3的前方端FE接合。在致动器基板2形成的槽5，构成喷出液体的喷出通道11的槽5和构成不喷出液体的伪通道12的槽5交替地排列。盖板3具备液体供给室14，液体供给室14经由形成于其底面的狭缝15而与喷出通道11用的槽5连通。即，供给至液体供给室14的液体经由狭缝15流入喷出通道11，从喷嘴17喷出。
图2(a)是致动器基板2的后方端RE附近的示意性局部立体图，(b)是部分AA的纵剖面示意图。构成伪通道12的槽5延伸至致动器基板2的后方端RE，构成喷出通道11的槽5延伸至致动器基板2的后方端RE的面前侧。伪通道12和喷出通道11交替地排列，构成各通道的槽5借助隔壁6而隔离。各隔壁6在其侧面的两方具备驱动电极7。各驱动电极7形成得比槽5的最深的深度的大致1/2更靠上部。个别引出电极8b形成于在喷出通道11的两侧邻接的2个伪通道12之间的基板表面SF的后方端RE附近。个别引出电极8b与在喷出通道11的两侧邻接的2个伪通道12的、形成于喷出通道11侧的各隔壁6的侧面的驱动电极7电连接。共同引出电极8a形成在比个别引出电极8b更靠前方端FE侧的基板表面SF，与在构成喷出通道11的2个隔壁6形成的驱动电极7电连接。
共同布线交叉区域CR表示柔性基板4的共同布线电极9a和伪通道12的驱动电极7交叉的区域(参照图3(a))，在该区域的伪通道12的侧面和基板表面SF的角部形成有倒角部10。在该倒角部10，驱动电极7的上端部在槽5的深度方向上比基板表面SF的高度低距离g。具体而言，在形成槽5并接着形成驱动电极7之后，使用切割刀片来对槽5的侧面和上表面之间的角部进行倒角。由此，槽5的侧面和基板表面SF之间的角部与驱动电极7一起被切削，从而驱动电极7的上端部与基板表面SF相比在深度方向上更深。
图3(a)是将柔性基板4与致动器基板2的基板表面SF的后方端RE粘接的液体喷射头1的示意性局部立体图，(b)是部分BB的纵剖面示意图。柔性基板4具备在致动器基板2侧的表面形成的共同布线电极9a和多个个别布线电极9b。共同布线电极9a在共同布线交叉区域CR电连接至各共同引出电极8a，各个别布线电极9b电连接至分别对应的个别引出电极8b。即，由于多个共同引出电极8a连接至1根共同布线电极9a，因而柔性基板4上的布线电极数量减少至大约1/2。另外，个别引出电极8b在x方向上具有1个喷出通道11的宽度和2个隔壁的厚度的合计的长度，大幅地缓和了个别布线电极9b相对于个别引出电极8b的对位精度。由于在共同布线电极9a和驱动电极7交叉的共同布线交叉区域CR形成有倒角部10，因而共同布线电极9a和驱动电极7电分离。
此外，在本第一实施方式中，作为致动器基板2，使用锆钛酸铅(PZT)陶瓷基板，预先在基板面沿垂直方向实施极化处理。致动器基板2的从前方端FE至后方端RE的距离是大致11mm，槽5的宽度是70μm～80μm，槽5的深度是300μm～500μm，倒角部10的长度是大致2.5mm，距离g是20μm～30μm。
该液体喷射头1如下地进行动作。首先，将墨等液体供给至液体供给室14，将液体经由狭缝15填充至喷出通道11。由未图示的驱动电路生成驱动信号，使柔性基板4的共同布线电极9a成为GND，将驱动信号施加至各个别布线电极9b。驱动信号从个别引出电极8b传递至伪通道12的喷出通道11侧的驱动电极7，另一方面，GND电位从共同布线电极9a传递至共同引出电极8a，传递至喷出通道11的2个侧壁的驱动电极7。结果，构成喷出通道11的2个隔壁6由于沿其厚度方向施加的电场而进行厚度滑移变形，喷出通道11内的容积变化，填充至喷出通道11的内部的液体从未图示的喷嘴喷出。
这样，由于形成于柔性基板4的共同引出电极8a共同地电连接至与各喷出通道11相对应的各共同引出电极8a，因而使柔性基板4上的布线电极的数量减少至大概1/2，布线电极的间距成为大致2倍。与此相伴的是，几乎不需要共同引出电极8a和共同布线电极9a之间的x方向的对位，个别引出电极8b和个别布线电极9b之间的x方向的对位精度与现有方法相比缓和至大致1/2。而且，由于将在共同布线交叉区域CR在伪通道12的侧面形成的驱动电极7的上端部形成为与基板表面SF相比在深度方向上更深，因而共同布线电极9a和驱动电极7之间的绝缘性提高。结果，将柔性基板4粘接于致动器基板2的基板表面的工序变容易，能够使制造成品率提高并使制造成本降低。
此外，说明了将喷嘴板16与致动器基板2的前方端FE接合并沿-y方向喷出液滴的结构，但本发明不限定于该结构。例如，也可以在构成喷出通道11的槽5的底面形成开口部，将喷嘴板16设置于致动器基板2的背面侧，使形成于喷嘴板16的喷嘴17与上述开口部连通，使液滴沿-z方向喷出。另外，除了圆弧形状以外，倒角部10的X方向的剖面形状也可以是矩形形状或倾斜形状。
另外，形成有倒角部10，驱动电极7的上端部形成为比基板表面SF的高度更低(在槽的深度方向上更深)，但本发明不限定于此。也可以通过例如激光束或光刻以及蚀刻法而仅除去共同布线交叉区域CR的驱动电极7的上端部，保留隔壁6的上端角部。另外，在前述的实施方式中，示出了在形成驱动电极7之后在伪通道12的共同布线交叉区域CR仅除去驱动电极7的上端部的结构，但不限于该方式。即，通过在形成驱动电极7之前，在伪通道12的共同布线交叉区域CR，对伪通道12的侧面上端部进行掩模，从而也能够实现本实施方式。即，如果在对伪通道12的侧面上端部进行掩模之后，沉积电极材料，形成驱动电极7并随后除去掩模，那么，在共同布线交叉区域CR，共同布线电极9a和伪通道12的驱动电极7不接触。总之，在将柔性基板4粘接于致动器基板2时，将驱动电极7的上端部形成为与基板表面SF的位置相比在深度方向上更深，使得共同布线电极9a和驱动电极7不会电短路即可。
(第二实施方式)
图4是示出本发明第二实施方式的液体喷射头1的致动器基板2的后方端RE侧的示意性局部立体图。与第一实施方式不同的部分是以下这点：构成喷出通道11的槽5延伸至后方端RE，与一个喷出通道11相对应的共同引出电极8a或个别引出电极8b被分割在位于该喷出通道11的两侧的2个隔壁6的上表面。
液体喷射头1具备：致动器基板2；未图示的盖板，接合于致动器基板2上；柔性基板4(参照图5)，粘接于致动器基板2的后方端RE附近的基板表面；以及未图示的喷嘴板，与致动器基板2和盖板的前方端FE接合。由于盖板和喷嘴板的结构与第一实施方式同样，因而省略说明。
如图4所示，致动器基板2具备多个槽5，该槽5在基板表面SF的前方端FE至后方端RE的y方向上细长，由隔壁6互相隔离，沿与上述y方向交叉的x方向排列。构成喷出通道11的槽5从前方端FE延伸至后方端RE，构成伪通道12的槽5也从前方端FE延伸至后方端RE，互相交替地沿x方向排列。各隔壁6在比该两个侧面的隔壁6的高度的大致1/2更靠上部具有驱动电极7，驱动电极7从致动器基板2的前方端FE延伸至后方端RE。
在喷出通道11的一侧(-x方向)设置有隔壁6-，但在另一侧(+x方向)设置有隔壁6+，在两方的隔壁6-、6+的侧面的上半部分形成有驱动电极7。在致动器基板2的基板表面SF的后方端RE附近，设定有个别布线交叉区域SR，在比个别布线交叉区域SR更靠近前方端FE侧的基板表面SF，设定有共同布线交叉区域CR。个别布线交叉区域SR是在将柔性基板4粘接于致动器基板2时，形成于喷出通道11的侧面的驱动电极7和形成于柔性基板4的个别布线电极9b俯视时交叉的区域。共同布线交叉区域CR是在将柔性基板4粘接于致动器基板2时，形成于伪通道12的侧面的驱动电极7和形成于柔性基板4的共同引出电极8a俯视时交叉的区域。
如图4所示，隔壁6-在作为其上表面、即基板表面SF的个别布线交叉区域SR内的-x侧具备个别引出电极8b-，在作为共同布线交叉区域CR内的+x侧具备共同引出电极8a-。个别引出电极8b-与在隔壁6-的伪通道12-形成的驱动电极7电连接，共同引出电极8a-与隔壁6-的喷出通道11侧的未图示的驱动电极电连接。同样地，隔壁6+在作为其上表面、即基板表面SF的个别布线交叉区域SR内的+x侧具备个别引出电极8b+，在作为共同布线交叉区域CR内的-x侧具备共同引出电极8a+。个别引出电极8b+与在隔壁6+的伪通道12+侧形成的未图示的驱动电极电连接，共同引出电极8a+隔壁6+的喷出通道11侧的驱动电极7电连接。其他喷出通道、伪通道也具备同样的构造。
而且，在共同布线交叉区域CR，在构成伪通道12-、12+的隔壁6-、6+的侧面(即槽5的侧面)和基板表面SF之间的角部设有倒角部10。通过形成该倒角部10，从而形成于侧面的驱动电极7的上端部与基板表面SF的高度相比在槽5的深度方向上更低。同样地，在个别布线交叉区域SR，构成喷出通道11的槽5的两个侧面和基板表面SF之间的角部设有倒角部10。该倒角部10导致形成于侧面的驱动电极7的上端部与基板表面SF的高度相比在槽5的深度方向上更低。其他喷出通道、伪通道也具备同样的构造。
图5是液体喷射头1的示意性局部俯视图，示出致动器基板2的后方端RE附近的角部。盖板3接合于致动器基板2上。在盖板3的后方端RE侧的端部，设置有封闭件13，将构成喷出通道11的槽5封闭，防止填充至喷出通道11的液体泄漏至后方端RE侧。柔性基板4粘接于从致动器基板2的后方端RE至封闭件13的跟前的基板表面SF。另外，关于封闭件13，在图5中，从-x方向至+x方向形成封闭件13，但也可以是仅在填充有墨的喷出通道11形成封闭件13而将喷出通道11的后方端RE侧封闭的结构。
致动器基板2在其基板表面具备喷出通道11、伪通道12-、12+、隔壁6-、6+，在隔壁6-、6+的上表面(即致动器基板2的基板表面SF)具备共同引出电极8a-、8a+、个别引出电极8b-、8b+，其配置与图4相同。柔性基板4沿着致动器基板2侧的表面的外周具备共同布线电极9a，在比共同布线电极9a更靠近内侧具备多个个别布线电极9b。共同布线交叉区域CR是柔性基板4的共同布线电极9a和形成于伪通道12-、12+等的两个侧面的驱动电极7交叉的区域。个别布线交叉区域SR是柔性基板4的个别布线电极9b和形成于喷出通道11的两个侧面的驱动电极7交叉的区域。形成于共同布线交叉区域CR和个别布线交叉区域SR的倒角部10与在图4中说明的构成相同。
柔性基板4经由未图示的各向异性导电膜而粘接于致动器基板2的基板表面SF的后方端RE区域。由此，共同布线电极9a将设置于隔壁6-的共同引出电极8a-、设置于隔壁6+的共同引出电极8a+以及设置于其他隔壁6的其他共同引出电极8a电连接。另外，个别布线电极9b跨过喷出通道11而将设置于两侧的隔壁6-的个别引出电极8b-和设置于隔壁6+的个别引出电极8b+电连接。其他喷出通道11也是如此。
图6(a)示出图5(a)所示的部分CC的纵剖面的一部分，图6(b)示出图5所示的部分DD的纵剖面的一部分。使用图6(a)进行说明。在喷出通道11的一侧的隔壁6-的上表面形成的第一共同引出电极8a-和在另一侧的隔壁6+的上表面形成的第二共同引出电极8a+电连接至柔性基板4的共同布线电极9a。其他喷出通道11的第一和第二两个共同引出电极8a-、8a+也电连接至相同的共同布线电极9a。另外，在共同布线交叉区域CR，在喷出通道11的一侧的隔壁6-的伪通道12-的侧面和上表面的角部形成有倒角部10，在驱动电极7的上端部和基板表面SF的位置之间设置距离g。由此，驱动电极7和共同布线电极9a电分离。其他伪通道12也具有同样的构造。
使用图6(b)来说明。在喷出通道11的一侧的隔壁6-的上表面形成的第一个别引出电极8b-和在喷出通道11的另一侧的隔壁6+的上表面形成的第二个别引出电极8b+的任一个均电连接至柔性基板4的个别布线电极9b。其他喷出通道的第一和第二个别引出电极8b-、8b+也具有相同的构造。另外，在个别布线交叉区域SR，在构成喷出通道11的两个隔壁6-、6+的侧面和上表面的角部形成有倒角部10，在驱动电极7的上端部和基板表面SF的位置之间设置距离g，使驱动电极7和个别布线电极9b电分离。
图7是图5所示的部分EE的示意性纵剖面图。在致动器基板2上接合有盖板3，由在致动器基板2形成的槽5和盖板3构成喷出通道11。在盖板3的后方端RE侧的端部模制有封闭件13，从而使填充至喷出通道11的液体不会泄漏至后方侧。在致动器基板2的基板表面的后方端RE附近粘接有柔性基板4。共同布线电极9a和多个个别布线电极9b设置于柔性基板4的表面，经由未图示的各向异性导电膜而与在致动器基板2的基板表面的后方端RE附近形成的未图示的共同引出电极和个别引出电极电连接。
供给至液体供给室14的墨等液体经由狭缝15而填充至喷出通道11。如果将驱动信号从未图示的驱动电路供给至各个别布线电极9b，则将该驱动信号经由个别引出电极8b而施加至形成于伪通道12的喷出通道11侧的侧面的驱动电极7。另一方面，共同布线电极9a连接至GND，连接至共同布线电极9a的共同引出电极也连接至GND。所以，形成于喷出通道11的两个侧面的驱动电极7也连接至GND。如果将驱动信号施加至喷出通道11的两个隔壁，则沿垂直方向极化的隔壁进行厚度滑移变形，喷出通道11内的容积变化。由此，从与喷出通道11连通的未图示的喷嘴喷出液体。此外，本发明的液体喷射头1具有驱动电极7与液体接触的构造，但形成于喷出通道11的侧面的驱动电极7全部连接至GND。所以，即使在液体是导电性的情况下，驱动信号也不经由液体而漏出。另外，在布线电极9的表面设置有保护部件18以防止布线电极9的劣化。
在本实施方式中，由于构成喷出通道11和伪通道12的槽5从前方端FE笔直地形成至后方端RE，因而能够使致动器基板2的从前方端FE至后方端RE的长度缩小。即，由于使用圆盘状的切割刀片来形成槽，因而在如第一实施方式那样将槽形成至致动器基板2的基板表面的中途的情况下，转印切割刀片的圆弧形状。因此，需要在基板表面从槽的端部至槽成为既定的深度的距离，但在本实施方式的情况下，由于不需要该距离，因而能够与该部分距离相应地小型化。
另外，与现有示例相比，柔性基板4上的布线电极数量减少为大概1/2，布线间距成为大致2倍。因此，致动器基板2上的引出电极和柔性基板4上的布线电极的对位精度得到缓和，连接变容易。另外，由于能够缩小布线间距，因而也适合于通道排列的高密度化。另外，由于在共同布线交叉区域CR、个别布线交叉区域SR，驱动电极7的上端部形成为与基板表面SF的高度相比在槽的深度方向上更深，因而驱动电极7与共同布线电极9a、个别布线电极9b的绝缘性提高。因此，由于不需要布线电极9和驱动电极7之间的绝缘对策，或者，即使需要也采用简便的方法即可，因而柔性基板4相对于致动器基板2的粘接变得极其容易。
此外，在上述第一和第二实施方式中，形成有倒角部10，驱动电极7的上端部形成为与基板表面SF的位置相比在槽的深度方向上更深，但本发明不限定于该结构。也可以通过例如激光束、光刻以及蚀刻法而仅除去共同布线交叉区域CR或个别布线交叉区域SR的驱动电极7的上端部，保留隔壁6的上端角部。另外，也能够不使用除去驱动电极7的上端部的除去工序，而是在隔壁6的侧面的上端部设置掩模并在其上沉积电极材料，随后，除去掩模，形成具有与基板表面SF的位置相比向槽的底面侧更低的(在深度方向上更深的)上端部的驱动电极7。在这种情况下，隔壁6的上端角度也残留。
<液体喷射头的制造方法>
图8是示出本发明的液体喷射头1的基本的制造方法的工序图。
首先，在槽形成工序S1中，准备将压电体粘合于压电体基板或绝缘体基板上的致动器基板，在该致动器基板的基板表面形成由隔壁互相隔离的多个槽。能够通过光刻以及蚀刻法、喷砂法，或者通过使用切割刀片的切削法来形成多个槽。接着，在电极沉积工序S2中，在隔壁的侧面和隔壁的上表面沉积电极材料。能够通过溅射法、真空蒸镀法或者电镀法来沉积金属等导体。接着，在电极形成工序S3中，在隔壁的侧面，形成上端部的一部分与上表面的高度相比在槽的深度方向上更低的形状的驱动电极，而且，在隔壁的上表面形成引出电极。引出电极作为用于与形成于隔壁的侧面的驱动电极电连接并与形成于柔性基板等的布线电极电连接的端子电极而起作用。接着，在柔性基板粘接工序S4中，将形成有布线电极的柔性基板粘接于致动器基板的隔壁的上表面，将布线电极和引出电极电连接。在将驱动电极的上端部的一部分形成为与隔壁的上表面的高度相比在槽的深度方向上更低的区域，是在后面将柔性基板粘接于致动器基板的后端部附近的隔壁的上表面时，形成于柔性基板的布线电极和形成于隔壁的侧面的驱动电极俯视时交叉的区域。
电极形成工序S3能够包括将在隔壁的侧面沉积的电极的一部分除去而形成驱动电极的驱动电极形成工序S5，以及对在隔壁的上表面沉积的电极进行构图而形成引出电极的引出电极形成工序S6。在这种情况下，能够个别地实施驱动电极形成工序S5和引出电极形成工序S6。作为驱动电极形成工序S5，例如，在电极沉积工序S2之后，使用切割刀片来对隔壁的侧面和上表面的角部进行倒角，将沉积于隔壁的侧面的电极的上端部沿槽的深度方向除去。另外，照射激光，使侧面上端部的电极蒸发而除去。另外，通过光刻和蚀刻法将隔壁的侧面上端部的电极除去。另外，能够同时地实施驱动电极形成工序S5和引出电极形成工序S6。例如，在电极沉积工序S2之前，在隔壁的侧面上端部或隔壁的上表面设置掩模，随后，在电极沉积工序S2中，沉积电极材料。接着，在电极形成工序S3中，将掩模除去，能够同时地将上端部的一部分与隔壁的上表面的高度相比在槽的深度方向上更低的驱动电极形成于隔壁的侧面并将引出电极形成于隔壁的上表面。
依照本发明的制造方法，在形成于致动器基板的隔壁的驱动电极和柔性基板的布线电极交叉的交叉区域，驱动电极的上端部比隔壁的上表面的高度更低而电分离，因而绝缘性提高。因此，不需要布线电极9和驱动电极7之间的绝缘对策，或者，即使需要也采用简便的方法即可。以下，对液体喷射头的制造方法具体地进行说明。
(第三实施方式)
图9和图10是用于说明本发明第三实施方式的液体喷射头1的制造方法的液体喷射头1的剖面示意图。对相同的部分或具有相同的功能的部分标记相同的符号。
图9(a)和(b)示出基板准备工序。准备由压电体基板构成的致动器基板2。作为压电体基板，使用沿基板面的垂直方向施行过极化处理的PZT陶瓷材料。图9(b)示出将感光性树脂21涂敷于致动器基板2的基板表面而进行构图的状态。感光性树脂21的图案例如以形成有引出电极的区域除去感光性树脂21且最终未形成电极的区域保留感光性树脂21的方式进行构图。
图9(c)和(d)示出槽形成工序S1。使用切割刀片22来切削致动器基板2的基板表面来并列地形成槽5。邻接的槽5由隔壁6隔离。在第一实施方式的液体喷射头1的情况下，伪通道12用的槽5从致动器基板2的前方端FE笔直地形成至后方端RE，喷出通道11用的槽5从致动器基板2的前方端形成至后方端RE的面前侧。在第二实施方式的液体喷射头1的情况下，伪通道12用和喷出通道11用的任一个的槽5均从前方端FE笔直地形成至后方端RE。在这种情况下，由于不转印切割刀片22的外形形状，因而能够将致动器基板2的宽度较窄地形成。
图9(e)和(f)示出电极沉积工序S2。在形成有多个槽5的基板表面，通过倾斜蒸镀法从相对于垂直方向n倾斜角度θ的方向蒸镀导电材料。由此，能够在构成槽5的隔壁6的侧面将导体膜23从槽5的深度的大致1/2形成至隔壁6的上表面。作为导电材料，能够使用铝、金、铬、钛等金属材料。此外，在本实施方式中，致动器基板2的基板表面的一部分构成隔壁6的上表面。
图10(g)示出引出电极形成工序S6。除去在槽形成工序之前形成的感光性树脂21。由此，除去形成有感光性树脂21的区域的导体膜23，残留在槽形成工序S1中除去了感光性树脂21的区域的导体膜23。由此，能够在致动器基板2的基板表面形成引出电极。
图10(h)示出驱动电极形成工序S5。在驱动电极7和形成于柔性基板的共同布线电极交叉的共同布线交叉区域，切削构成伪通道12的2个隔壁6的侧面和上表面之间的角部，形成倒角部10。角部的倒角使用比槽5的宽度稍厚的切割刀片22’。由此，能够将驱动电极7的上端部形成为与隔壁6的上表面的高度相比在深度方向上更低。如果将驱动电极7的上端部自隔壁6的上表面的位置起向槽5的底面方向切削20μm～30μm，那么，即使将柔性基板的共同布线电极粘接于隔壁6的上表面，驱动电极7和共同布线电极也不会电短路。
此外，如果自隔壁6的上表面起的切削量变大，那么，倒角部10的长度变长，倒角至个别引出电极8b的形成区域，将个别引出电极8b和驱动电极7电气地切断。在使用例如直径2英寸(50.8mmφ)的切割刀片22’来形成深度30μm的倒角部10的情况下，利用切割刀片22’的外周的圆弧部分来遍及单侧1.23mm、整体2.46mm的长度而进行倒角。在假设形成深度100μm的倒角部10的情况下，利用切割刀片22’的外周的圆弧部分来遍及单侧2.25mm、整体4.50mm的长度而进行倒角。即，为了将个别引出电极8b和驱动电极7电气地切断，必须延长槽5的长度，所以，液体喷射头1变长。因此，能够紧凑地构成液体喷射头1，而且，柔性基板4的共同布线电极9a和驱动电极7不短路的切削量(共同布线交叉区域CR的从隔壁6的上表面的位置向底面方向的深度)可以是15μm～50μm，优选为20μm～40μm，更优选为30μm左右。此外，在形成倒角部10时，使用厚度比槽5的宽度更厚的切割刀片，但也可以使用例如形成槽5的切割刀片来依次对槽5的一方的侧面和另一方的侧面进行倒角。
图10(i)示出将盖板3与致动器基板2的基板表面接合的盖板接合工序。盖板3将构成致动器基板2的喷出通道11的槽5闭塞，使在致动器基板2的后方端RE附近的基板表面形成的共同引出电极和个别引出电极露出并利用粘接剂来接合。使形成于盖板3的液体供给室14的下部的各狭缝15与喷出通道11连通，能够从液体供给室14填充液体，伪通道12被盖板3的底面闭塞而不从液体供给室14供给液体。
图10(j)示出柔性基板粘接工序S4。将形成有共同布线电极9a和个别布线电极9b的柔性基板4经由各向异性导电膜24而粘接于致动器基板2的后方端RE附近的基板表面。由此，致动器基板2上的共同引出电极8a和个别引出电极8b经由各向异性导电膜24而分别电连接至柔性基板4上的共同布线电极9a和个别布线电极9b。共同引出电极8a与在喷出通道11的两个侧面形成的驱动电极7电连接，个别引出电极8b与在与喷出通道11邻接的未图示的两个伪通道的喷出通道11侧的侧面形成的驱动电极电连接。在致动器基板2上接合有盖板3，液体供给室14经由狭缝15而与喷出通道11连通。形成于柔性基板4的布线电极9a、9b由保护部件18保护表面。
这样，由于与各喷出通道11相对应的共同引出电极8a由共同布线电极9a连接，因而能够使柔性基板4上的布线电极与现有示例相比减少至大致1/2。而且，由于在共同布线交叉区域CR，切削形成于槽5的侧面的驱动电极7的上端部，因而驱动电极7和共同布线电极9a的绝缘性提高。因此，由于不需要布线电极9和驱动电极7之间的绝缘对策，或者，即使需要也采用简便的方法即可，因而柔性基板4相对于致动器基板2的粘接变得极其容易，能够削减制造成本。
此外，在本实施方式中，说明了在第一实施方式所说明的液体喷射头1的制造方法，但第二实施方式所说明的液体喷射头1也能够同样地制造。在这种情况下，在槽形成工序S1中，与伪通道12用的槽5同样地将喷出通道11用的槽5从致动器基板2的前方端FE形成至后方端RE。另外，在驱动电极形成工序S5中，除了在共同布线交叉区域CR的伪通道12形成倒角部10之外，还在个别布线交叉区域SR的喷出通道11形成倒角部10。另外，在盖板接合工序中，在盖板3的后方端RE侧的端部设置封闭件13，防止液体从喷出通道11泄漏。
另外，在本实施方式中，通过剥离(lift off)法而进行电极的构图，但本发明不限定于此，也可以在通过倾斜蒸镀法而形成电极之后，通过光刻和蚀刻工序来对电极进行构图。另外，在驱动电极形成工序S5中，也可以通过激光束、光刻以及蚀刻法而仅除去驱动电极7的上端部，以代替通过切削隔壁6的侧面和上表面的角部来进行倒角。另外，在本实施方式中，个别地实施驱动电极形成工序S5和引出电极形成工序S6，但本发明不限定于此，能够同时地实施驱动电极形成工序S5和引出电极形成工序S6。例如，在基板准备工序中，不涂敷感光性树脂21，而是在电极沉积工序S2之前，在隔壁6的侧面上端部或隔壁的上表面设置掩模，随后，在电极沉积工序S2中沉积电极材料。接着，在电极形成工序S3中除去掩模，能够同时地将上端部的一部分与隔壁的上表面的高度相比在槽5的深度方向上更低的驱动电极7形成于隔壁6的侧面并将引出电极形成于隔壁6的上表面。所以，不需要对隔壁6的侧面和上表面的角部进行倒角的工序、追加地除去侧面的上端部电极的工序。
另外，作为同时地实施驱动电极形成工序S5和引出电极形成工序S6的其他方法，例如，在通过槽形成工序S1而形成槽5之后，使感光性树脂21软化而流动至隔壁6的侧面上端部。接着，在电极沉积工序S2中，沉积电极材料，接着，在电极形成工序S3中，除去感光性树脂21。即，隔壁6的上表面的感光性树脂21流动并覆盖隔壁6的上端部，因而如果除去感光性树脂21，则形成上端部的一部分与隔壁6的上表面的高度相比在槽5的深度方向上更低的驱动电极7。所以，能够同时地形成隔壁6的侧面的驱动电极7和隔壁6的上表面的引出电极，不需要对隔壁6的侧面和上表面的角部进行倒角的工序、追加地除去侧面的上端部电极的工序。此外，在如上所述地在感光性树脂21的构图之后沉积电极材料并接着除去感光性树脂21而形成电极图案的剥离法中，感光性树脂21作为掩模而起作用。
<液体喷射装置>
(第四实施方式)
图11是本发明第四实施方式的液体喷射装置30的示意性立体图。
液体喷射装置30具备：移动机构43，使上述本发明的液体喷射头1、1’往复移动；液体供给管33、33’，将液体供给至液体喷射头1、1’；以及液体罐31、31’，将液体供给至液体供给管33、33’。各液体喷射头1、1’由本发明的液体喷射头1构成。即，具备：多个槽，并列于基板表面；致动器基板，具有将邻接的槽隔离的隔壁；盖板，覆盖槽，与致动器基板的基板表面接合；以及喷嘴板，具有与槽连通的喷嘴，与致动器基板的端面接合。该致动器基板交替地排列有液滴喷出用的喷出通道和不喷出液滴的伪通道。而且，在致动器基板的基板表面的后方端附近，设置有与形成于喷出通道的侧面的驱动电极连接的共同引出电极和与形成于伪通道的该喷出通道侧的侧面的驱动电极连接的个别引出电极。共同引出电极比个别引出电极更位于前方端侧。在柔性基板，设置有电连接至共同引出电极的共同布线电极和电连接至个别引出电极的个别布线电极。
具体地说明。液体喷射装置30具备：一对输送装置41、42，将纸等被记录介质34沿主扫掠方向输送；液体喷射头1、1’，将液体喷出至被记录介质34；泵32、32’，将存积于液体罐31、31’的液体按压并供给至液体供给管33、33’；以及移动机构43，将液体喷射头1沿与主扫掠方向正交的副扫掠方向扫掠。
一对输送装置41、42具备沿副扫掠方向延伸且一边接触辊面一边旋转的格栅辊(grid roller)和夹送辊(pinch roller)。由未图示的电动机使格栅辊和夹送辊围绕轴转动，将夹入辊间的被记录介质34沿主扫掠方向输送。移动机构43具备：一对导轨36、37，沿副扫掠方向延伸；滑架单元38，能够沿着一对导轨36、37滑动；无接头带39，连结滑架单元38并使滑架单元38沿副扫掠方向移动；以及电动机40，经由未图示的滑轮而使该无接头带39环绕。
滑架单元38载置有多个液体喷射头1、1’，喷出例如黄色、品红、青色、黑色的4种液滴。液体罐31、31’存积对应的颜色的液体，经由泵32、32’、液体供给管33、33’而供给至液体喷射头1、1’。各液体喷射头1、1’响应驱动信号而喷出各种颜色的液滴。通过在使液体从液体喷射头1、1’喷出的定时，控制驱动滑架单元38的电动机40的旋转和被记录介质34的输送速度，从而能够在被记录介质34上记录任意的图案。
依据该结构，柔性基板上的布线电极数量相对于致动器基板上的端子电极数量降低，布线密度成为大概1/2。而且，由于在形成于槽5的驱动电极7和形成于柔性基板4的布线电极交叉的区域，驱动电极7上端部形成为比隔壁6的上表面更深，因而柔性基板4的布线电极和形成于槽5的驱动电极7不会电接触。结果，柔性基板4相对于致动器基板2的粘接变容易，能够使制造成品率提高。
Claims (12)
1.一种液体喷射头，具备：
致动器基板，具有多个槽、驱动电极以及引出电极，所述多个槽在基板表面的前方端至后方端的方向上细长，由隔壁互相隔离，沿与所述方向交叉的方向排列，所述驱动电极形成于所述隔壁的侧面，所述引出电极与所述驱动电极电连接，形成于所述基板表面的后方端附近；
盖板，与所述基板表面接合，将所述多个槽的上部开口堵塞，构成多个通道；以及
柔性基板，粘接于所述基板表面的后方端附近，具有与所述引出电极电连接的布线电极，
所述多个通道，喷出液体的喷出通道和不喷出液体的伪通道交替地排列，
构成所述伪通道的槽延伸至所述致动器基板的后方端，
所述引出电极具有个别引出电极和共同引出电极，所述个别引出电极与在与所述喷出通道的两侧邻接的2个伪通道的所述喷出通道侧的侧面形成的驱动电极电连接，形成于所述2个伪通道之间的所述基板表面的后方端附近，所述共同引出电极与在所述喷出通道的2个侧面形成的驱动电极电连接，形成于所述基板表面的后方端附近的比所述个别引出电极更靠近前方端的一侧，
所述布线电极具有共同布线电极和多个个别布线电极，所述共同布线电极将与所述喷出通道相对应的所述共同引出电极和与其他喷出通道相对应的其他共同引出电极电连接，所述个别布线电极个别地电连接至与各喷出通道相对应的个别引出电极的各个，
在所述共同布线电极和所述驱动电极交叉的共同布线交叉区域，在构成所述伪通道的槽的侧面形成的驱动电极，形成为其上端部与所述基板表面相比在槽的深度方向上更深。
2.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，
在所述共同布线交叉区域，将所述基板表面和构成所述伪通道的槽的侧面之间的角部沿深度方向切削。
3.如权利要求1或2所述的液体喷射头，其中，
构成所述喷出通道的槽从所述致动器基板的前方端延伸至后方端的面前侧。
4.如权利要求1或2所述的液体喷射头，其中，
构成所述喷出通道的槽从所述致动器基板的前方端延伸至后方端，
所述个别引出电极包括，在所述喷出通道和与所述喷出通道的一侧邻接的伪通道之间形成的第一个别引出电极，以及在所述喷出通道和与所述喷出通道的另一侧邻接的伪通道之间形成的第二个别引出电极，
在与所述喷出通道的一侧邻接的伪通道的所述喷出通道侧的侧面形成的驱动电极与所述第一个别引出电极电连接，在与所述喷出通道的另一侧邻接的伪通道的所述喷出通道侧的侧面形成的驱动电极与所述第二个别引出电极电连接，
所述共同引出电极包括，在所述喷出通道和与所述喷出通道的一侧邻接的伪通道之间形成的第一共同引出电极，以及在所述喷出通道和与所述喷出通道的另一侧邻接的伪通道之间形成的第二共同引出电极，
在构成所述喷出通道的槽的一侧的侧面形成的驱动电极与所述第一共同引出电极电连接，在构成所述喷出通道的槽的另一侧的侧面形成的驱动电极与所述第二共同引出电极电连接，
所述共同布线电极将与所述喷出通道相对应的所述第一共同引出电极和所述第二共同引出电极电连接。
5.如权利要求4所述的液体喷射头，其中，
所述个别布线电极将与所述喷出通道相对应的所述第一个别引出电极和所述第二个别引出电极电连接。
6.如权利要求5所述的液体喷射头，其中，
在所述个别布线电极和所述驱动电极交叉的个别布线交叉区域，在构成所述喷出通道的槽的侧面形成的驱动电极，形成为其上端部与所述基板表面相比在槽的深度方向上更深。
7.如权利要求6所述的液体喷射头，其中，
在所述个别布线交叉区域，将所述基板表面和构成所述喷出通道的槽的侧面之间的角部沿深度方向切削。
8.一种液体喷射装置，具备：
权利要求1或2所述的液体喷射头；
移动机构，使所述液体喷射头往复移动；
液体供给管，将液体供给至所述液体喷射头；以及
液体罐，将所述液体供给至所述液体供给管。
9.一种液体喷射头的制造方法，具备：
槽形成工序，在致动器基板的基板表面形成由隔壁互相隔离的多个槽；
电极沉积工序，在所述隔壁的侧面和所述隔壁的上表面沉积电极材料；
电极形成工序，在所述隔壁的侧面，形成上端部的一部分与所述上表面的高度相比在所述槽的深度方向上更低的形状的驱动电极，并且，在所述上表面形成引出电极；以及
柔性基板粘接工序，将形成有布线电极的柔性基板粘接于所述隔壁的上表面，将所述引出电极和所述布线电极电连接。
10.如权利要求9所述的液体喷射头的制造方法，其中，所述电极形成工序包括：
驱动电极形成工序，将在所述侧面的上端部沉积的电极的一部分除去，形成所述驱动电极；以及
引出电极形成工序，对在所述隔壁的所述上表面沉积的电极进行构图，形成引出电极。
11.如权利要求10所述的液体喷射头的制造方法，其中，
所述驱动电极形成工序由对所述隔壁的所述上表面和所述侧面之间的角部进行倒角的工序构成。
12.如权利要求9～11中的任一项所述的液体喷射头的制造方法，其中，
所述电极形成工序，在所述电极沉积工序之前在所述隔壁的所述上表面或所述上表面的附近设置掩模，并在所述电极沉积工序之后除去所述掩模，形成所述驱动电极和所述引出电极。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010251816A JP5689652B2 (ja) | 2010-11-10 | 2010-11-10 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
| JP2010-251816 | 2010-11-10 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102529372A true CN102529372A (zh) | 2012-07-04 |
| CN102529372B CN102529372B (zh) | 2015-07-01 |
Family
ID=45315471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201110371907.5A Expired - Fee Related CN102529372B (zh) | 2010-11-10 | 2011-11-10 | 液体喷射头、液体喷射装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8596757B2 (zh) |
| EP (1) | EP2452820B1 (zh) |
| JP (1) | JP5689652B2 (zh) |
| KR (1) | KR20120050387A (zh) |
| CN (1) | CN102529372B (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103963465A (zh) * | 2013-02-06 | 2014-08-06 | 精工电子打印科技有限公司 | 液体喷射头、液体喷射头的制造方法及液体喷射装置 |
| CN104924763A (zh) * | 2014-03-19 | 2015-09-23 | 精工电子打印科技有限公司 | 液体喷射头的制造方法、液体喷射头及液体喷射装置 |
| CN106346955A (zh) * | 2013-11-22 | 2017-01-25 | 株式会社东芝 | 喷墨头 |
| CN111169166A (zh) * | 2018-11-09 | 2020-05-19 | 精工电子打印科技有限公司 | 头芯片、液体喷射头和液体喷射记录装置 |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6073660B2 (ja) * | 2012-11-19 | 2017-02-01 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
| JP5939966B2 (ja) * | 2012-11-22 | 2016-06-29 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
| JP6162489B2 (ja) * | 2013-05-31 | 2017-07-12 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法および液体噴射装置 |
| US9409394B2 (en) * | 2013-05-31 | 2016-08-09 | Stmicroelectronics, Inc. | Method of making inkjet print heads by filling residual slotted recesses and related devices |
| JP6295058B2 (ja) | 2013-10-17 | 2018-03-14 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
| JP2015120296A (ja) * | 2013-12-24 | 2015-07-02 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
| JP6415859B2 (ja) * | 2014-06-04 | 2018-10-31 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
| US10992254B2 (en) * | 2014-09-09 | 2021-04-27 | Shoals Technologies Group, Llc | Lead assembly for connecting solar panel arrays to inverter |
| JP6473375B2 (ja) * | 2015-04-28 | 2019-02-20 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射装置 |
| JP6573825B2 (ja) * | 2015-11-27 | 2019-09-11 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0929977A (ja) * | 1995-07-17 | 1997-02-04 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
| JP2002160365A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-06-04 | Seiko Instruments Inc | ヘッドチップ及びその製造方法 |
| JP2003011374A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-15 | Noritsu Koki Co Ltd | 静電式インクジェットヘッド |
| WO2003059627A1 (en) * | 2002-01-15 | 2003-07-24 | Xaar Technology Limited | Droplet deposition apparatus |
| EP2130678A1 (en) * | 2008-06-04 | 2009-12-09 | SII Printek Inc | Head chip, liquid jet head, liquid jet recording device, and method of manufacturing the head chip |
| US20100177133A1 (en) * | 2009-01-09 | 2010-07-15 | Tomiharu Makishima | Liquid jet head chip, manufacturing method therefor, liquid jet head, and liquid jet recording apparatus |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003094654A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-03 | Sii Printek Inc | ヘッドチップ及びその製造方法 |
| JP2007229976A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Sii Printek Inc | インクジェットヘッドチップ、インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドチップの製造方法 |
-
2010
- 2010-11-10 JP JP2010251816A patent/JP5689652B2/ja active Active
-
2011
- 2011-11-07 US US13/373,178 patent/US8596757B2/en active Active
- 2011-11-09 KR KR1020110116486A patent/KR20120050387A/ko not_active Application Discontinuation
- 2011-11-10 EP EP11188608.1A patent/EP2452820B1/en not_active Not-in-force
- 2011-11-10 CN CN201110371907.5A patent/CN102529372B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0929977A (ja) * | 1995-07-17 | 1997-02-04 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
| JP2002160365A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-06-04 | Seiko Instruments Inc | ヘッドチップ及びその製造方法 |
| JP2003011374A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-15 | Noritsu Koki Co Ltd | 静電式インクジェットヘッド |
| WO2003059627A1 (en) * | 2002-01-15 | 2003-07-24 | Xaar Technology Limited | Droplet deposition apparatus |
| EP2130678A1 (en) * | 2008-06-04 | 2009-12-09 | SII Printek Inc | Head chip, liquid jet head, liquid jet recording device, and method of manufacturing the head chip |
| US20100177133A1 (en) * | 2009-01-09 | 2010-07-15 | Tomiharu Makishima | Liquid jet head chip, manufacturing method therefor, liquid jet head, and liquid jet recording apparatus |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103963465A (zh) * | 2013-02-06 | 2014-08-06 | 精工电子打印科技有限公司 | 液体喷射头、液体喷射头的制造方法及液体喷射装置 |
| CN103963465B (zh) * | 2013-02-06 | 2017-04-05 | 精工电子打印科技有限公司 | 液体喷射头、液体喷射头的制造方法及液体喷射装置 |
| CN106346955A (zh) * | 2013-11-22 | 2017-01-25 | 株式会社东芝 | 喷墨头 |
| CN106346955B (zh) * | 2013-11-22 | 2017-11-14 | 株式会社东芝 | 喷墨头 |
| CN104924763A (zh) * | 2014-03-19 | 2015-09-23 | 精工电子打印科技有限公司 | 液体喷射头的制造方法、液体喷射头及液体喷射装置 |
| CN104924763B (zh) * | 2014-03-19 | 2017-10-13 | 精工电子打印科技有限公司 | 液体喷射头的制造方法、液体喷射头及液体喷射装置 |
| CN111169166A (zh) * | 2018-11-09 | 2020-05-19 | 精工电子打印科技有限公司 | 头芯片、液体喷射头和液体喷射记录装置 |
| CN111169166B (zh) * | 2018-11-09 | 2023-03-14 | 精工电子打印科技有限公司 | 头芯片、液体喷射头和液体喷射记录装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2012101437A (ja) | 2012-05-31 |
| EP2452820B1 (en) | 2013-09-18 |
| US8596757B2 (en) | 2013-12-03 |
| CN102529372B (zh) | 2015-07-01 |
| JP5689652B2 (ja) | 2015-03-25 |
| US20120121797A1 (en) | 2012-05-17 |
| EP2452820A1 (en) | 2012-05-16 |
| KR20120050387A (ko) | 2012-05-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102529372A (zh) | 液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法 | |
| CN102431303B (zh) | 液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法 | |
| CN102848730B (zh) | 液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法 | |
| JP5432064B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
| CN103171283A (zh) | 液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法 | |
| JP5563354B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
| CN103171285A (zh) | 液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法 | |
| CN102848729A (zh) | 液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法 | |
| JP6139319B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
| JP6209383B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 | |
| US20140118440A1 (en) | Liquid jet head, liquid jet apparatus, and method of manufacturing liquid jet head | |
| JP6004960B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法および液体噴射装置 | |
| JP2015120296A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
| EP1640164B1 (en) | Liquid-jetting apparatus and method for producing the same | |
| JP6162489B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法および液体噴射装置 | |
| US20150158299A1 (en) | Liquid jet head and liquid jet apparatus | |
| US9227402B2 (en) | Liquid jet head and liquid jet apparatus | |
| CN104723682B (zh) | 液体喷射头及液体喷射装置 | |
| US9931841B2 (en) | Manufacturing method of liquid jet head, liquid jet head, and liquid jet apparatus | |
| US7788776B2 (en) | Method of producing piezoelectric actuator | |
| CN104290452B (zh) | 液体喷射头、液体喷射装置及液体喷射头的制造方法 | |
| JP2012125984A (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 | |
| JPH06344551A (ja) | インク噴射装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20150701 |