CN103171285A - 液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够在与液体吐出面相反的一侧设有电极端子（10）而使连接部的高度限制缓和并利用简便的制造方法来制造的液体喷射头（1）。本发明具备将底板（4）、喷嘴板（5）、致动器部（2）以及盖板（3）层叠的层叠构造，致动器部（2）具备：第一凹部（6）；第二凹部（7），与该第一凹部隔开而形成；通道列（9），排列有多个通道（8），该通道设置于第一凹部（6）与第二凹部（7）之间，一个端部开口于第一凹部（6），另一个端部开口于第二凹部（7）；以及电极端子列（11），由多个电极端子（10）构成，该电极端子设置于比第二凹部（7）或第一凹部（6）更靠近外周侧的表面（H），用于将驱动信号传递至通道列（9），在与液滴的吐出侧相反的一侧，形成有用于与外部电路连接的电极端子（10）。

Description

液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法

技术领域

本发明涉及从喷嘴吐出液体而将图形或文字记录于被记录介质或形成功能性薄膜的液体喷射头、使用该液体喷射头的液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法。

背景技术

近年来，利用将墨滴吐出至记录纸等而记录文字、图形或将液体材料吐出至元件基板的表面而形成功能性薄膜的喷墨方式的液体喷射头。该方式为，将墨或液体材料从液体罐经由供给管而供给至液体喷射头，使填充至通道的墨或液体材料从与通道连通的喷嘴吐出。在墨的吐出时，使液体喷射头或记录所喷射的液体的被记录介质移动，记录文字或图形或者形成既定形状的功能性薄膜。

在专利文献1中，记载了在由压电材料构成的薄板形成有由许多槽构成的墨通道的喷墨头60。图19是专利文献1的图2所记载的喷墨头60的剖面图。喷墨头60具有基板62、压电部件65以及盖部件64的层叠构造。在基板62的中央形成有供给口81，排出口82形成为夹着供给口81。在基板62的表面粘接有压电部件65和框部件63，在其上表面粘接有盖部件64。

压电部件65将使极化方向互相对置的2块压电板73粘在一起而形成。在压电部件65磨削形成有沿副扫掠方向（与纸面平行的方向）延伸的多条微细的槽，形成有沿主扫掠方向（与纸面垂直的方向）以等间隔并排的多个压力室74。压力室74（通道）由邻接的一对壁75划分，在一对壁75的相对的侧面和其间的底部连续地形成有电极76，还经由形成于基板62的表面的电布线77而与IC 66电连接。盖部件64经由粘接剂而将薄膜92和增强部件94而贴在一起，使增强部件94成为压电部件65侧，粘接于压电部件65和框部件63。在增强部件94和薄膜92 形成有与各压力室74相对应的开口96和喷嘴72。

墨从基板62的中央的供给口81供给，流动至多个压力室74，进一步流动至墨室90，从排出口82排出。然后，如果驱动脉冲从IC 66经由电布线77而施加至夹着压力室74的一对壁75的电极76，则一对壁部75发生剪切变形而以弯曲的方式背离，接着，复位至初始位置，提高压力室74内的压力。与此相伴的是，从喷嘴72吐出墨滴。

在此，各压电部件65具有梯形形状。在梯形形状的倾斜面形成有电极，该倾斜面的电极将形成于基板62的表面的电布线77和形成于压电部件65的侧面的电极76电连接。另外，在基板62，形成有墨供给用的多个供给孔81和墨排出用的多个排出孔82。因此，基板62的表面的电布线77以回避这些供给孔81和排出孔82的方式迂回形成。在专利文献2和专利文献3中也记载了大致相同构造的喷墨头。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2009－196122号公报；

专利文献2：日本特许第4658324号公报；

专利文献3：日本特许第4263742号公报。

在专利文献1所记载的喷墨头60中，有必要将粘接于基板62的表面的压电部件65倾斜加工成梯形状。而且，有必要在该梯形状的倾斜面、两侧面以及基板62的表面形成导电膜，将两侧面的导电膜电分离而形成电极76，并且，对基板62上的导电膜进行构图而形成许多电布线77。可是，在基板62的表面粘接有压电部件65，存在着许多突起物。另外，应该加工的导电膜倾斜。因此，利用光刻和蚀刻法的微细加工困难。于是，在专利文献1中，通过激光构图而一条一条地形成电布线77，针对每个压电部件65的倾斜面而将倾斜面上的导电膜电分离。这样，由于电极的加工是线加工，因而对位等复杂，而且，需要大量的时间。另外，由于在将电布线77形成于基板62上之后设置框部件63，因而框部件63的对位、粘接加工，另外，框部件63的表面94a和梯形状的压电部件65的表面的平坦化等制造工序变得极其复杂。

另外，在专利文献1的喷墨头60中，相对于基板62而在墨的吐出侧的表面92a的一侧形成有电布线77，搭载有IC 66。由于盖部件64与被记录介质之间接近，因而IC 66的高度受到限制。另外，必须由柔性基板等将IC 66和未图示的控制电路电连接，但在这种情况下，高度也受到限制。

本发明是鉴于上述课题而做出的，其目的在于，提供一种液体喷射头，该液体喷射头电极图案的加工容易，而且，与控制电路等之间的电连接部的高度限制得到缓和。

发明内容

本发明的液体喷射头，包括：致动器部，具备：第一凹部；第二凹部，与所述第一凹部隔开而形成；通道列，排列有多个通道，所述通道设置于所述第一凹部与所述第二凹部之间，一个端部开口于所述第一凹部，另一个端部开口于所述第二凹部；以及电极端子列，由多个电极端子构成，所述电极端子设置于比所述第二凹部或所述第一凹部更靠近外周侧的表面，用于将驱动信号传递至所述通道列；盖板，具备与所述第一凹部连通的第一液室和与所述第二凹部连通的第二液室，使所述电极端子列露出，覆盖所述通道列，接合于所述致动器部；以及喷嘴板，具备由与所述通道连通的喷嘴的列构成喷嘴列，接合在与所述盖板相反一侧的所述致动器部。

另外，所述第二凹部包括设置为夹着所述第一凹部的左右第二凹部，所述通道列包括分别设置于左右所述第二凹部与所述第一凹部之间的左右通道列，所述电极端子列包括设置于比左右所述第二凹部更靠近外周侧的表面并用于分别将驱动信号供给至左右所述通道列的左右电极端子列，所述喷嘴列包括与左右所述通道列的通道分别连通的左右喷嘴列。

另外，左侧的所述喷嘴列和右侧的所述喷嘴列沿列方向错开通道间距的1/2。

另外，所述通道由利用从所述第一凹部延伸至所述第二凹部的2个壁夹着的槽构成，所述通道列由利用多个所述壁来划分的多个所述槽的排列构成，在所述壁的侧面设置有驱动电极。

另外，所述电极端子和所述驱动电极经由形成于所述第二凹部或所述第一凹部的底部的布线电极而电连接。

另外，所述第二凹部或所述第一凹部的底面具备与所述壁连续且除去所述壁的上部而残留的突条，所述布线电极形成在所述突条的侧面和邻接的所述突条之间的底面。

另外，多个所述槽延伸设置至比所述第二凹部或所述第一凹部更靠近所述致动器部的外周端侧。

另外，具备接合于所述致动器部的端部侧的表面并与所述电极端子列电连接的柔性基板。

另外，所述致动器部包括将相对于所述表面而沿向上方向极化的压电材料和沿向下方向极化的压电材料层叠而成的层叠构造。

另外，所述致动器部，所述第一凹部与所述第二凹部之间由压电材料构成，相比所述第二凹部或所述第一凹部更外周侧由介电常数比所述压电材料更小的绝缘材料构成。

另外，所述通道经由贯通孔而与所述喷嘴连通。

另外，所述致动器部具备底板，所述贯通孔形成于所述底板。

本发明的液体喷射头，包括：上述的液体喷射头；使所述液体喷射头往复移动的移动机构；将液体供给至所述液体喷射头的液体供给管；以及将所述液体供给至所述液体供给管的液体罐。

本发明的液体喷射头的制造方法，包括：贯通孔形成工序，在底板形成贯通孔；致动器部形成工序，形成含有压电材料的致动器部；接合工序，将所述致动器部接合于所述底板；槽形成工序，在所述致动器部的与所述底板相反一侧形成并列的多个槽和划分所述槽的壁，构成由并列的多个所述槽构成的通道列；导电膜形成工序，在所述致动器部沉积导电材料，在多个所述壁的上表面和侧面以及所述槽的底面形成导电膜；凹部形成工序，沿与所述槽的长度方向交叉的方向磨削多个所述壁，形成隔着所述通道列而互相隔开并与多个所述槽连通的第一凹部和第二凹部；电极形成工序，对所述导电膜进行构图，在所述壁的侧面形成驱动电极，在所述致动器部的表面形成电极端子；盖板接合工序，将具有第一液室和第二液室的盖板，以使所述第一液室与所述第一凹部连通、使所述第二液室与所述第二凹部连通、使所述电极端子露出、将多个所述槽的上部开口闭塞的方式，接合于所述致动器部；磨削工序，磨削所述底板的与所述致动器部相反的一侧；以及喷嘴板接合工序，将喷嘴板接合于所述底板。

另外，所述槽形成工序，形成互相隔开的左右所述通道列，所述凹部形成工序，在左右所述通道列之间形成所述第一凹部，相对于左右所述通道列的所述第一凹部而在外侧形成左右所述第二凹部。

另外，所述槽形成工序，将左侧的所述通道列相对于右侧的所述通道列而沿列方向错开通道间距的1/2而形成所述槽。

另外，所述凹部形成工序是在形成所述第一凹部时磨削至所述槽的底面、在形成左右所述第二凹部时残留所述槽的底面并磨削所述壁的上部的工序。

另外，所述致动器部形成工序是将相对于基板面而向上方极化的压电材料和向下方极化的压电材料层叠并接合的工序。

另外，所述致动器部形成工序是将由所述压电材料构成的压电体基板嵌入由介电常数比所述压电材料更小的绝缘材料构成的绝缘体基板的成为所述通道列的区域而形成所述致动器部的工序。

另外，还包括在所述槽形成工序之前在所述致动器部的与所述底板相反一侧的表面设置感光性树脂膜的感光性树脂膜设置工序，所述电极形成工序通过除去所述感光性树脂膜的剥离法而进行所述导电膜的构图。

另外，所述槽形成工序是形成为到达所述底板的深度的工序。

另外，所述槽形成工序是延长至比所述第一凹部或所述第二凹部更靠近所述致动器部的外周端侧而形成的工序。

另外，还包括将柔性基板接合于所述致动器部的表面并将形成于所述柔性基板的布线电极和所述电极端子电连接的柔性基板接合工序。

本发明的液体喷射头，包括：致动器部，具备：第一凹部；第二凹部，与第一凹部隔开而形成；通道列，排列有多个通道，该通道设置于第一凹部与第二凹部之间，一个端部开口于第一凹部，另一个端部开口于第二凹部；以及电极端子列，由多个电极端子构成，该电极端子设置于比第二凹部或第一凹部更靠近外周侧的表面，用于将驱动信号传递至通道列；盖板，具备与第一凹部连通的第一液室和与第二凹部连通的第二液室，以使电极端子列露出、覆盖通道列的方式，接合于致动器部；以及喷嘴板，具备由与通道连通的喷嘴的列构成喷嘴列，接合在与盖板相反一侧的致动器部。由此，由于在与液体吐出面相反的一侧设置有电极端子，因而没有必要对与外部电路之间的连接设置高度限制。另外，由于能够在形成布线电极时总括地构图，因而制造方法变得容易。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头的沿着通道的长度方向的纵剖面示意图；

图2是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头的沿着通道的长度方向的纵剖面示意图；

图3是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头的沿着通道的长度方向的纵剖面示意图；

图4是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头的示意性分解立体图；

图5是表示本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头的第一凹部的构造的一个示例的示意性分立体图；

图6是本发明的第四实施方式所涉及的液体喷射头的沿着通道的长度方向的纵剖面示意图；

图7是本发明的第五实施方式所涉及的液体喷射头的沿着通道的长度方向的纵剖面示意图；

图8是本发明的第五实施方式所涉及的液体喷射头的示意性部分分解立体图；

图9是本发明的第六实施方式所涉及的液体喷射头的沿着通道的长度方向的剖面示意图；

图10是本发明的第七实施方式所涉及的液体喷射头的致动器部的俯视示意图；

图11是本发明的第八实施方式所涉及的液体喷射头的示意性立体图；

图12是本发明的第九实施方式所涉及的液体喷射装置的示意性立体图；

图13是表示本发明的第十实施方式所涉及的液体喷射头的基本的制造方法的工序图；

图14是本发明的第十实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的各工序的说明图；

图15是本发明的第十实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的各工序的说明图；

图16是本发明的第十实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的各工序的说明图；

图17是本发明的第十实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的各工序的说明图；

图18是用于说明本发明的第十一实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的致动器基板的示意性部分立体图；

图19是一直以来众所周知的喷墨头的剖面图。

具体实施方式

<液体喷射头>

（第一实施方式）

图1是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头1的沿着通道8的长度方向的纵剖面示意图。如图1所示，液体喷射头1包括：致动器部2，构成有液滴吐出用的通道8；盖板3，堵塞通道8的一侧的开口；以及液滴吐出用的喷嘴板5，接合于致动器部2，堵塞通道8的另一侧。

致动器部2具备：第一凹部6；第二凹部7，与该第一凹部6隔开而形成；未图示的通道列，在纸面里侧排列有多个通道8，该通道8设置于第一凹部6与第二凹部7之间，一个端部开口于第一凹部6，另一个端部开口于第二凹部7；以及在纸面里侧排列的未图示的电极端子列，由多个电极端子10构成，该电极端子10设置于比第一凹部6更靠近外周侧的表面H，用于将驱动信号传递至通道列。

致动器部2能够使用施行过极化处理的压电材料。作为压电材料，使用例如钛酸锆酸铅（PZT）陶瓷。致动器部2能够作为将相对于表面H而沿向上方向（表面H的法线方向）极化的压电材料和沿向下方向（与法线方向相反的方向）极化的压电材料层叠的层叠构造。通道8由槽18构成，该槽18由从第一凹部6延伸至第二凹部7的2个壁19夹着，通道列由利用多个壁19来划分的多个槽18的排列构成。在构成通道8的各壁19的侧面设置有驱动电极16。第一凹部6和第二凹部7由残留作为多个壁19的一部分的突条22而除去多个壁19的区域构成。因此，突条22的侧面与壁19的侧面连续。另外，各通道8开口于第一凹部6和第二凹部7。

盖板3具备与第一凹部6连通的第一液室12和与第二凹部7连通的第二液室13，以使在纸面里侧排列有电极端子10的电极端子列露出、覆盖在纸面里侧排列有通道8的通道列的方式，接合于致动器部2的表面H。作为盖板3，热膨胀系数优选为与致动器部2相同的程度。例如，作为盖板3，能够使用与致动器部2相同材料的压电材料。

喷嘴板5具备由与通道8连通的喷嘴14的列构成并排列于纸面里侧的未图示的喷嘴列，接合于致动器部2。喷嘴板5构成槽18的底部，在该底部的通道8侧的表面，延伸设置有布线电极17。作为喷嘴板5，能够使用聚酰亚胺薄膜。另外，能够使用刚性比聚酰亚胺薄膜更高的陶瓷材料或玻璃材料、其他无机材料。在致动器部2的外周端侧的表面H，设置有柔性基板21。形成于柔性基板21的布线电极23和电极端子10经由未图示的各向异性导电材料而电连接。

电极端子10和驱动电极16经由形成于第一凹部6的底面G的布线电极17而电连接。即，第一凹部6的底面G具备与壁19连续并将壁19的上部除去而残留的突条22，布线电极17形成在突条22的侧面和邻接的突条22之间的底面G。所以，施加至电极端子10的驱动信号经由布线电极17而传递至驱动电极16。

该液体喷射头1如下地驱动。将液体从未图示的液体罐供给至盖板3的第一液室12。于是，液体流入第一凹部6，从第一凹部6填充至各通道8。进一步，液体从第二凹部7流出至第二液室13，返回至未图示的液体罐。接着，如果将驱动信号从未图示的控制电路施加至电极端子10，则将驱动信号经由布线电极17而传递至构成对应的通道8的壁19的侧面的驱动电极16。如果基于驱动信号而将电场施加至壁19，则壁19以剪切模式变形，壁19发生弯曲变形，使通道8的容积变化，填充至内部的液体经由喷嘴14而作为液滴吐出。该液体喷射头1通过以例如3个通道作为一组而依次选择各通道的3循环驱动而进行吐出动作。

这样，由于在与吐出液滴一侧相反一侧的致动器部2的表面H设有电极端子列11，因而没有必要对与外部电路之间的连接设置高度限制，对设置于电极端子列11的柔性基板21或其他元件的厚度制约得到大幅缓和。另外，能够对形成于致动器部2的表面H的电极端子10总括地进行构图。另外，由于是液体循环的循环型的液体喷射头1，因而能够将由于驱动致动器部2而发出的热传递至液体而效率良好地放热。另外，能够将混入液体的气泡或尘埃迅速地排出至外部，不浪费地使用液体，能够抑制记录不良所导致的被记录介质的无用的消耗。

另外，由于在槽18的底部不存在高介电常数的压电材料，因而驱动信号在邻接的通道8之间泄漏的串扰降低。另外，由于第一和第二凹部6、7，壁19的大部分被除去，因而与在该区域存在有壁19并在两侧面形成有驱动电极的情况相比较，消耗电力大幅地降低。

此外，在上述实施方式中，作为致动器部2，使用施行过极化处理的压电材料，但能够代之仅以构成通道8的壁19作为压电材料，以第一凹部6或第二凹部7和比第一凹部6或第二凹部7更靠近外周侧的材料作为介电常数比压电材料更小的绝缘材料。如果这样构成，则能够使高价的压电材料的使用量减少而削减成本。另外，由于未在压电材料上形成布线电极或电极端子列，因而电极间的电容下降，消耗电力大幅地降低。此外，作为绝缘材料，能够使用可加工陶瓷或氧化铝陶瓷、二氧化硅等低介电常数材料。

（第二实施方式）

图2是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头1的沿着通道8的长度方向的纵剖面示意图。与第一实施方式不同的部分是以下这点：在构成通道8的槽18的底面残留致动器部2，通道8经由形成于所残留的致动器部2的贯通孔20而与喷嘴14连通。其他的构成与第一实施方式同样。对相同的部分或具有相同的功能的部分标记相同的符号。

磨削致动器部2，从而在槽18的底部残留致动器部2。然后，从背面侧磨削并减薄所残留的致动器部2，通过喷砂等而形成与通道8连通的贯通孔20。这样，通过在槽18的底部残留致动器部2，从而在形成第一和第二液体室12、13时，壁19稳定，制造变得容易。由于其他与第一实施方式同样，因而省略说明。

（第三实施方式）

图3~图5是用于说明本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头1的图，图3是液体喷射头1的沿着通道8的长度方向的纵剖面示意图，图4是液体喷射头1的示意性部分分解立体图，图5是表示第一凹部6的构造的一个示例的示意性部分立体图。

如图3和图4所示，液体喷射头1具备：致动器部2，构成有液滴吐出用的通道8；盖板3，堵塞通道8的一侧的开口；以及液滴吐出用的喷嘴板5，接合在与盖板3相反一侧的致动器部2。致动器部2在喷嘴板5侧具备底板4。（在以下的说明中，以除了底板4以外的部分作为致动器部2，致动器部2和底板4作为分体而说明）。

致动器部2具备：第一凹部6；第二凹部7，与该第一凹部6隔开而形成；通道列9，排列有多个通道8，该通道8设置于第一凹部6与第二凹部7之间，一个端部开口于第一凹部6，另一个端部开口于第二凹部7；以及电极端子列11，由多个电极端子10构成，该电极端子10设置于比第一凹部6更靠近外周侧的表面H，用于将驱动信号传递至通道列9。

致动器部2能够使用施行过极化处理的压电材料。作为压电材料，使用例如钛酸锆酸铅（PZT）陶瓷。致动器部2能够作为将相对于表面H而沿向上方向（+z方向）极化的压电材料和沿向下方向（-z方向）极化的压电材料层叠的层叠构造。通道8由槽18构成，该槽18由从第一凹部6延伸至第二凹部7的2个壁19夹着，通道列9由利用多个壁19来划分的多个槽18的排列构成。在构成通道8的各壁19的侧面设置有驱动电极16。第一凹部6和第二凹部7由残留作为多个壁19的一部分的突条22而除去多个壁19的区域构成。因此，突条22的侧面与壁19的侧面连续。另外，各通道8开口于第一凹部6和第二凹部7。

此外，槽18也可以形成为致动器部2在底面残留的深度，也可以形成至到达底板4的深度。在底板4使用介电常数比压电材料更小的低介电常数材料的情况下，优选将槽18形成为到达底板4的深度。通过从构成槽18的2个壁19之间除去高介电常数的压电材料，从而能够使驱动信号泄漏至邻接的通道的串扰降低。

盖板3具备与第一凹部6连通的第一液室12和与第二凹部7连通的第二液室13，以使上述电极端子列11露出、覆盖通道列9的方式，接合于致动器部2的表面H。作为盖板3，热膨胀系数优选为与致动器部2相同的程度。例如，作为盖板3，能够使用与致动器部2相同的材料的压电材料。底板4具有与各通道8分别连通的多个贯通孔20，接合在与盖板3相反一侧的致动器部2。

作为底板4，能够使用可加工陶瓷、PZT陶瓷、氧化硅、氧化铝（alumina：氧化铝）、氮化铝等陶瓷材料。作为可加工陶瓷，能够使用例如Macerite（マセライト）、Macor（マコール）、Photoveel（ホトベール）、Shapal（シェイパル）（以上全都是注册商标）等。尤其是，可加工陶瓷，磨削加工容易，能够使热膨胀系数与致动器部2同等。因此，致动器部2不会相对于温度变化而翘曲或破裂，能够构成可靠性高的液体喷射头1。此外，如果使用可加工陶瓷，则由于介电常数比压电材料更小，因而能够使在邻接的通道之间发生的串扰降低。

喷嘴板5具备由经由贯通孔20而与通道8连通的喷嘴14的列构成的喷嘴列15，接合于底板4。作为喷嘴板5，能够使用聚酰亚胺薄膜。在致动器部2的外周端侧的表面H，设置有柔性基板21。形成于柔性基板21的布线电极23和电极端子10经由未图示的各向异性导电材料而电连接。

电极端子10和驱动电极16经由形成于第一凹部6的底面G的布线电极17而电连接。即，第一凹部6的底面G具备与壁19连续并将壁19的上部除去而残留的突条22，布线电极17形成在突条22的侧面和邻接的突条22之间的底面G。所以，施加至电极端子10的驱动信号经由布线电极17而传递至驱动电极16。

使用图5来具体地说明。第一凹部6的底面G包括与槽18连续的圆弧状底面GC和从该圆弧状底面GC突出且上表面为阶梯状的阶梯状底面GS。布线电极17由形成于圆弧状底面GC上的导电膜和形成于突条22的侧面的导电膜构成。后面详细地说明，该圆弧状底面GC在形成槽18时使用圆盘状的切割刀片（也称为切割锯、金刚石砂轮）。另外，上端部为阶梯状的突条22由相当于与槽18正交的方向的各阶梯的宽度的切割刀片磨削壁19而形成。此时，未将形成于圆弧状底面GC的布线电极17切断。由于以切割刀片的外周未到达圆弧状底面GC的方式磨削，因而与壁19连续的突条22残留。此外，在第二凹部7的底面也形成有突条22，在第二凹部7的底面形成有布线电极17，但第二凹部7的底面的突条22或布线电极17也可以磨削而除去。另外，不一定必须使第二凹部7的底面G为圆弧状，也可以在形成第二凹部7时除去圆弧状的底面G。

该液体喷射头1如下地驱动。将液体从未图示的液体罐供给至盖板3的第一液室12。于是，液体流入第一凹部6，从第一凹部6填充至各通道8。进一步，液体从第二凹部7流出至第二液室13，返回至未图示的液体罐。接着，如果将驱动信号从未图示的控制电路施加至电极端子10，则将驱动信号经由布线电极17而传递至构成对应的通道8的壁19的侧面的驱动电极16。如果基于驱动信号而将电场施加至壁19，则壁19以剪切模式变形，壁19发生弯曲变形，使通道8的容积变化，填充至内部的液体经由贯通孔20和喷嘴14而作为液滴吐出。该液体喷射头1通过以3个通道作为一组而依次选择各通道的3循环驱动而进行吐出动作。

这样，由于在与吐出液滴的一侧相反一侧的致动器部2的表面H设有电极端子列11，因而没有必要对与外部电路之间的连接设置高度限制，对设置于电极端子列11的柔性基板21或其他元件的厚度制约得到大幅缓和。另外，后面详细地说明，能够对形成于致动器部2的表面H的电极端子10总括地进行构图。另外，由于是液体循环的循环型的液体喷射头1，因而能够将由于驱动致动器部2而发出的热传递至液体而效率良好地放热。另外，能够将混入液体的气泡或尘埃迅速地排出至外部，不浪费地使用液体，能够抑制记录不良所导致的被记录介质的无用的消耗。

此外，在上述实施方式中，作为致动器部2，使用施行过极化处理的压电材料，但能够代之仅以构成通道8的壁19作为压电材料，以第一凹部6或第二凹部7和比第一凹部6或第二凹部7更靠近外周侧的材料作为介电常数比压电材料更小的绝缘材料。如果这样构成，则能够使高价的压电材料的使用量减少而削减成本。另外，由于未在压电材料上形成布线电极或电极端子列，因而电极间的电容下降，消耗电力大幅地降低。此外，作为绝缘材料，能够使用可加工陶瓷或氧化铝陶瓷、二氧化硅等低介电常数材料。

（第四实施方式）

图6是本发明的第四实施方式所涉及的液体喷射头1的沿着通道8的长度方向的纵剖面示意图。与第三实施方式不同的部分是构成通道8的槽18超出第一凹部6和第二凹部7而笔直地形成至致动器部2的外周端这点，其他构成与第三实施方式同样。所以，以下对与第三实施方式不同的部分进行说明。

致动器部2的构成通道8的槽18超出第一凹部6和第二凹部7而延伸设置至致动器部2的外周端。将壁19磨削至突条22残留的程度的深度而形成第一凹部6和第二凹部7。第一凹部6和第二凹部7的底部由与构成通道8的槽18的底面相同的深度的平坦面和与壁19连续的突条22构成。布线电极17由形成在槽18的底面的导电膜、形成在与此连续的第一凹部6的底面和突条22的侧面的导电膜以及与突条22的侧面连续且形成于比第一凹部6更靠近外周侧的壁19’的侧面的导电膜构成。

在第一凹部6和第二凹部7的致动器部2的外周侧设置有密封件24，填充至通道8的液体不泄漏至外部。此外，密封件24不限定于图6所示的位置，也可以设置于盖板3的端部侧。

在本实施方式中，也在第一凹部6和第二凹部7的底部残留与壁19连续的突条22。其理由是因为，与第三实施方式的情况同样地，在形成第一凹部6和第二凹部7时，以切割刀片的外周未到达底面G的方式磨削壁19，防止沉积于底面G的导电膜的切断。此外，在图6中，在第二凹部7的底面G形成有突条22，在突条22与突条22之间的底面G形成有布线电极17，但第二凹部7的突条22和底面G的导电膜也可以磨削而除去。

由于用于构成通道8的槽18超出第一凹部6和第二凹部7而笔直地形成至致动器部2的外周端，因而能够不受切割刀片的外形形状的影响而使液体喷射头1小型化。例如，在使用直径为2英寸的切割刀片来形成深度约0.35mm的槽18的情况下，底面G成为圆弧形状的槽18方向的长度为大概8mm，在直径为4英寸的情况下，需要大概12mm。与此相对的是，由于像本实施方式那样笔直地形成槽18，因而能够将该长度缩小至几分之一以下。另外，如果使液体喷射头1的大小相同，则能够较长地形成通道8。关于其他，由于与第三实施方式同样，因而省略说明。

（第五实施方式）

图7和图8是用于说明本发明的第五实施方式所涉及的液体喷射头1的图，图7是液体喷射头1的沿着通道8的长度方向的纵剖面示意图，图8是液体喷射头1的示意性部分分解立体图。与第四实施方式不同的一点是：左右对称地构成2列通道列，具备与此相对应的2列喷嘴列，能够使记录密度提高至2倍。对相同的部分或具有相同的功能的部分标记相同的符号。

如图7和图8所示，液体喷射头1具备：致动器部2，构成有液滴吐出用的左右通道8L、8R；盖板3，堵塞左右通道8L、8R的一侧的开口；底板4，接合在与盖板3相反一侧的致动器部2；以及液滴吐出用的喷嘴板5，接合在底板4。

致动器部2具备：第一凹部6；左右第二凹部7L、7R，与该第一凹部6隔开，设置为夹着第一凹部6；左通道列9L，排列有多个左通道8L，该左通道8L设置于第一凹部6与左第二凹部7L之间，一个端部开口于第一凹部6，另一个端部开口于左第二凹部7L；以及右通道列9R，排列有多个右通道8R，该右通道8R设置于第一凹部6与右第二凹部7R之间，一个端部开口于第一凹部6，另一个端部开口于右第二凹部7R。致动器部2还具备：左电极端子列11L，由多个左电极端子10L构成，该左电极端子10L设置于比左第二凹部7L更靠近外周侧的表面H，用于将驱动信号传递至左通道列9L；和右电极端子列11R，由多个右电极端子10R构成，该右电极端子10R设置于比右第二凹部7R更靠近外周侧的表面H，用于将驱动信号传递至右通道列9R。

致动器部2能够使用施行过极化处理的压电材料。压电材料和极化方向与第三实施方式同样。左通道8L由利用从第一凹部6延伸至左第二凹部7L的2个壁19来夹着的槽18构成，左通道列9L由利用多个壁19来划分的多个槽18的排列构成。右通道8R由利用从第一凹部6延伸至右第二凹部7R的2个壁19来夹着的槽18构成，右通道列9R由利用多个壁19来划分的多个槽18的排列构成。而且，构成左右通道8L、8R的各槽18延伸设置至比左右第二凹部7L、7R更靠近致动器部2的外周端侧。

在构成左右通道8L、8R的各壁19的侧面，设置有驱动电极16。左右第二凹部7L、7R由残留作为多个壁19的一部分的突条22而除去多个壁19的区域构成。因此，突条22的侧面与壁19的侧面以及致动器部2的外周端侧的壁19’的侧面连续。第一凹部6，除去多个壁19的全部，在其底面未残留突条22。左通道列9L的各左通道8L开口于第一凹部6和左第二凹部7L。同样地，右通道列9R的各右通道8R开口于第一凹部6和右第二凹部7R。

盖板3具备与第一凹部6连通的第一液室12、与左第二凹部7L连通的左第二液室13L以及与右第二凹部7R连通的右第二液室13R，以使左电极端子列11L和右电极端子列11R露出、覆盖左通道列9L和右通道列9R的方式，接合于致动器部2的表面H。由于盖板3的材质等与第三实施方式同样，因而省略说明。底板4具备与左通道列9L的各左通道8L分别连通的多个贯通孔20L和与右通道列9R的各右通道8R分别连通的多个贯通孔20R，接合在与盖板3相反一侧的致动器部2。由于底板4的材质等与第三实施方式同样，因而省略说明。

喷嘴板5具备由经由贯通孔20L而与左通道列9L的各左通道8L分别连通的多个左喷嘴14L构成的左喷嘴列15L和由经由贯通孔20L而与右通道列9R的各右通道8R分别连通的多个右喷嘴14R构成的右喷嘴列15R，接合于底板4。由于喷嘴板5的材质等与第三实施方式同样，因而省略说明。

在致动器部2的左外周端侧的表面H设置有左柔性基板21L，形成于左柔性基板21L的各布线电极23L和各左电极端子10L经由未图示的各向异性导电材料而电连接。同样地，在致动器部2的右外周端侧的表面H设置有右柔性基板21R，形成于右柔性基板21R的各布线电极23R和各右电极端子10R经由未图示的各向异性导电材料而电连接。

在左右第二凹部7L、7R的底面G残留与壁19和壁19’连续的突条22。这是因为，与第四实施方式同样地，在形成左右第二凹部7L、7R时，以切割刀片的外周未到达底面G的方式磨削壁19，防止沉积于底面G的导电膜的切断。形成在壁19’的上端面的左电极端子10L和形成在左通道8L的壁19的侧面的驱动电极16经由形成在左通道8L的槽18的底面G的布线电极17、形成在与槽18的底面G连续的左第二凹部7L的底面G和突条22的侧面的布线电极17以及形成在外周部的壁19’所构成的槽的底面和壁19’的侧面的布线电极17而电连接。

而且，与第四实施方式同样地，在左右第二凹部7L、7R的致动器部2的外周侧设置有密封件24，防止填充至左右通道8L、8R和左右凹部7L、7R的液体泄漏至外部。此外，密封件不限定于图7所示的位置，也可以设置于盖板3的端部侧。

该液体喷射头1如下地进行动作。将液体从未图示的液体罐供给至盖板3的第一液室12。液体流入第一凹部6，从第一凹部6填充至左右通道列9L、9R的各通道8。进一步，液体从左第二凹部7L和右第二凹部7R流出至左第二液室13L和右第二液室13R的各个，返回至未图示的液体罐。接着，如果将驱动信号从未图示的控制电路施加至左右电极端子列11L、11R的各个电极端子10L、10R，则将驱动信号经由布线电极17而传递至对应的通道8的驱动电极16。根据该驱动信号，将电场施加至壁19，壁19变形，从对应的各个喷嘴14L、14R吐出液滴。

这样，由于构成为通道的构造和液体流左右对称，因而能够使从左喷嘴列15L吐出的液滴的吐出条件和从右喷嘴列15R吐出的液滴的吐出条件一致。另外，由于用于构成通道的槽18从致动器部2的一端笔直地形成至另一端，因而能够不受切割刀片的外形形状的影响而使液体喷射头1小型化。另外，由于在与吐出液滴的一侧相反一侧的致动器部2的表面H设有左右电极端子列11L、11R，因而没有必要对与外部电路之间的连接设置高度限制，对设置于左右电极端子列11L、11R的柔性基板21或其他元件的厚度限制得到大幅缓和。

（第六实施方式）

图9是本发明的第六实施方式所涉及的液体喷射头1的沿着通道8的长度方向的纵剖面示意图。与第五实施方式不同的部分是左右第二凹部7L、7R的底面具有圆弧形状这点，其他部分与第五实施方式同样。所以，以下对不同的部分进行说明。

如图9所示，左第二凹部7L的底部具备与左通道8L的槽18的底面G连续的圆弧状底面和比该圆弧状底面更突出至上部的突条22。该圆弧形状用于在利用切割刀片来形成左通道8L时转印切割刀片的外形形状。右通道8R的底部也同样地具备圆弧形状。实际的形状，如图5所示，具备圆弧形状的底面和从该底面吐出的突条22，该突条22的上端形成为阶梯状。其理由如在第三实施方式中所说明的。

左右第二凹部7L、7R的底部具有沿着液体流逐渐变浅的倾斜，与底部为矩形形状的情况相比较，液体不滞留，流动变得顺利。因此，液体喷射头的内部的清洁和液体的更换变得容易。另外，由于混入液体的气泡变得难以滞留于通道的附近，因而吐出特性稳定。

（第七实施方式）

图10是本发明的第七实施方式所涉及的液体喷射头1的致动器部2的俯视示意图。配置为左第二凹部7L和右第二凹部7R夹着第一凹部6，在第一凹部6与左第二凹部7L之间构成有多个左通道8L排列的左通道列9L，在第一凹部6与右第二凹部7R之间构成有多个右通道8R排列的右通道列9R。

在此，左通道列9L和右通道列9R为沿列方向（x方向）错开通道间距P的半间距（P/2）的程度的位置。结果，左喷嘴列15L和右喷嘴列15R沿列方向错开喷嘴间距P的半间距（P/2）的程度，在从与列方向正交的y方向观看时，右喷嘴14R位于左喷嘴14L的中间。如果以与列方向正交的y方向作为液体喷射头1的扫掠方向，则能够使记录密度成为2倍。

在本实施方式中，以各通道8排列的列方向作为x方向，以与该x方向正交的方向作为y方向，使左右通道8L、8R的长度方向相对于y方向而以倾斜角θ倾斜，左通道8L和右通道8R配置为成为一条直线。而且，以该y方向作为液体喷射头1的扫掠方向即可。

此外，在本实施方式中，使右喷嘴列15R相对于左喷嘴列15L而沿列方向错开半间距的程度，但本发明不限定于此，一般而言，左喷嘴列15L和右喷嘴列15R配置为沿列方向错开（2n-1）P/2（n为正整数，P为喷嘴间距）即可。此外，以左通道8L和右通道8R的y方向的距离作为D，能够决定倾斜角θ以满足下式。

tan（θ）=（2n-1）P/（2D）

（第八实施方式）

图11是本发明的第八实施方式所涉及的液体喷射头1的示意性立体图。图11（a）是液体喷射头1的整体立体图，图11（b）是液体喷射头1的内部立体图。

如图11（a）和（b）所示，液体喷射头1具备喷嘴板5、底板4、包括多个壁19’的致动器部2、盖板3以及流路部件25的层叠构造。喷嘴板5、底板4、致动器部2以及盖板3的层叠构造与第四实施方式相同。喷嘴板5、底板4以及致动器部2，y方向的宽度比盖板3和流路部件25的y方向的宽度更长，盖板3以壁19’露出的方式接合于致动器部2的上表面。多个壁19’沿x方向并列地排列，在其上表面形成有未图示的电极端子10。盖板3具备与第一凹部连通的第一液室12和与第二凹部连通的第二液室13。

流路部件25具备由开口于盖板3侧的表面的凹部构成的未图示的液体供给室和液体排出室，在与盖板3相反一侧的表面具备与液体供给室连通的供给接头27a和与液体排出室连通的排出接头27b。

柔性基板21接合于壁19’的上表面。在柔性基板21形成有未图示的许多布线电极，与形成于壁19’的上表面的未图示的电极端子10电连接。柔性基板21在其表面具备作为驱动电路的驱动器IC 28和连接连接器29。驱动器IC 28基于从连接连接器29输入的信号而生成用于驱动未图示的通道8的驱动信号，经由未图示的电极端子10而供给至未图示的驱动电极16。

基座30收纳喷嘴板5、底板4、致动器部2、盖板3以及流路部件25的层叠体。喷嘴板5的液体喷射面露出于基座30的下表面。柔性基板21从基座30的侧面引出至外部，固定于基座30的外侧面。基座30在其上表面具备2个贯通孔，液体供给用的供给管31a贯通一个贯通孔并与供给接头27a连接，液体排出用的排出管31b贯通另一个贯通孔并与排出接头27b连接。

设有流路部件25，构成为从上方供给液体并向上方排出液体，并且，将驱动器IC 28安装于柔性基板21，将柔性基板21沿z方向弯折并竖立设置。由于柔性基板21接合在与液体的吐出面相反一侧的、壁19’的上表面，因而能够充分确保布线周围的空间。另外，驱动器IC 28和致动器部2在驱动时发热，热经由基座30和流路部件25而传导至流动于内部的液体。即，能够将被记录介质的记录用液体作为冷却介质而利用，将在内部产生的热效率良好地放热至外部。因此，能够防止驱动器IC 28或致动器部2的过热所导致的驱动能力的下降。另外，由于液体循环于槽内，因而即使在气泡混入的情况下，也能够将该气泡迅速地排出至外部，不浪费地使用液体，能够抑制记录不良所导致的被记录介质的无用的消耗。由此，能够提供可靠性高的液体喷射头1。

此外，在上述第三实施方式~第八实施方式中，对致动器部2在其喷嘴板5侧具备底板4的实施方式进行了说明，但能够代之而作为像第一和第二实施方式那样除去底板4的构成。

<液体喷射装置>

（第九实施方式）

图12是本发明的第九实施方式所涉及的液体喷射装置50的示意性立体图。液体喷射装置50具备：移动机构40，使液体喷射头1、1’ 往复移动；流路部35、35’，将液体供给至液体喷射头1、1’，从液体喷射头1、1’ 回收液体；液体泵33、33’，使液体循环至流路部35、35’和液体喷射头1、1’； 以及液体罐34、34’。各液体喷射头1、1’具备多个吐出槽，从与各吐出槽连通的喷嘴吐出液滴。液体喷射头1、1’使用已经说明的第一~第八实施方式的任一个。

液体喷射装置50具备：一对输送装置41、42，将纸等被记录介质44沿主扫掠方向输送；液体喷射头1、1’，将液体吐出至被记录介质44；滑架单元43，载置液体喷射头1、1’；液体泵33、33’，将存积于液体罐34、34’的液体按压至流路部35、35’并使液体循环；移动机构40，将液体喷射头1、1’沿与主扫掠方向正交的副扫掠方向扫掠。未图示的控制部控制并驱动液体喷射头1、1’、移动机构40以及输送装置41、42。

一对输送装置41、42具备沿副扫掠方向延伸且一边接触辊面一边旋转的格栅辊（grid roller）和夹送辊（pinch roller）。由未图示的电动机使格栅辊和夹送辊围绕轴而转移，将夹入辊间的被记录介质44沿主扫掠方向输送。移动机构40具备：一对导轨36、37，沿副扫掠方向延伸；滑架单元43，能够沿着一对导轨36、37滑动；无接头皮带38，联接有滑架单元43并使滑架单元43沿副扫掠方向移动；以及电动机39，使该无接头皮带38经由未图示的皮带轮而绕转。

滑架单元43载置多个液体喷射头1、1’，吐出例如黄色、品红、青色、黑色的4个种类的液滴。液体罐34、34’存积对应的颜色的液体，经由液体泵33、33’、流路部35、35’而使液体循环至液体喷射头1、1’。各液体喷射头1、1’根据驱动信号而吐出各种颜色的液滴。通过控制使液体从液体喷射头1、1’吐出的定时、驱动滑架单元43的电动机39的旋转以及被记录介质44的输送速度，从而能够将任意的图案记录于被记录介质44上。

<液体喷射头的制造方法>

（第十实施方式）

接着，对本发明的第十实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法进行说明。图13是表示本发明的液体喷射头1的基本的制造方法的工序图。图14~图17是用于说明各工序的说明图。

首先，在贯通孔形成工序S1中，在底板4形成贯通孔20。在底板4的一个表面形成锪孔部51，形成从另一个表面贯通至锪孔部51的底面的贯通孔20。图14（S1）是底板4的形成有贯通孔20的区域的剖面示意图。锪孔部51是为了使贯通孔20的穿孔变得容易而设置的。在作为底板4而使用陶瓷板的情况下，极其难以在该陶瓷板高精度地定位并形成许多直径为数10μm~100μm且深度为200μm以上的细孔。于是，预先准备例如0.2mm~1mm左右的厚度的陶瓷板，在与贯通孔20相对应的位置通过喷砂来使底厚残留0.1mm~0.2mm而形成锪孔部51。

作为底板4，能够使用可加工陶瓷、PZT陶瓷、氧化硅、氧化铝、氮化铝等。作为可加工陶瓷，能够使用例如Macerite、Macor、Photoveel、Shapal（以上全都是注册商标）等。贯通孔20以与喷嘴的数量相同的数量形成于设置有喷嘴的位置。

接着，在致动器部形成工序S2中，如图14（S2）所示，相对于板面而沿向上方向和向下方向的互相相反的方向将施行过极化P的处理的2块压电材料贴在一起而形成致动器部2。作为压电材料，能够使用PZT陶瓷。

接着，在接合工序S3中，如14（S3）所示，使用粘接剂来将致动器部2接合于底板4。由于在将致动器部2和底板4贴在一起时，多余的粘接剂从贯通孔20压出，因而贯通孔20有助于粘接剂的厚度的均匀化。

接着，在感光性树脂膜设置工序S11中（在图13中省略），如图14（S11）所示，在致动器部2的与底板4侧相反一侧的表面设置感光性树脂膜53。作为感光性树脂膜53，贴附抗蚀剂薄膜，接着，通过光刻工序而进行曝光并显影而形成抗蚀剂薄膜的图案。抗蚀剂薄膜的图案是主要用于形成电极端子列的图案，从形成有电极端子列的区域除去抗蚀剂薄膜。与利用激光来对图案进行线描绘的情况相比较，能够在短时间内形成高精度的图案。此外，也可以涂敷并干燥抗蚀剂液而作为抗蚀剂薄膜，以代替贴附抗蚀剂薄膜。另外，感光性树脂膜设置工序S11只要在接合工序S3之后且在导电膜形成工序S5之前即可。

接着，在槽形成工序S4中，如图14（S4）所示，在致动器部2的与底板4相反一侧的表面形成并列的多个槽18和划分该槽18的壁19，构成多个由槽18构成的通道8并列而成的通道列9。图14（S4）的上图是通道列9的方向的纵剖面示意图，下图是通道8的长度方向的纵剖面示意图。切割刀片54具有圆盘形状。因此，通道8（槽18）的两端部转印有切割刀片54的外形形状。

也可以以在槽18的底部残留致动器部2的材料的方式磨削，但优选将槽18的底部磨削至到达底板4的深度。在作为底板4而使用介电常数比压电材料更低的材料的情况下，通过以在槽18的底部未残留高介电常数的压电材料的方式磨削，从而能够使邻接的通道间的串扰降低。

此外，在像第四实施方式和第五实施方式那样将槽18从致动器部2的一端笔直地形成至另一端的情况下，未转印切割刀片54的外形形状。与未转印外形形状相应地，能够减小致动器部2的通道方向的长度而紧凑地构成。

接着，在导电膜形成工序S5中，如图14（S5）所示，在致动器部2沉积导电材料，在多个壁19的上部及侧面和槽18的底面形成导电膜55。导电膜55通过溅射法、蒸镀法、电镀法等而沉积铝、镍、铬、铜、金、银等金属。

图15（a）是导电膜形成工序S5之后的由致动器部2和底板4构成的层叠体的示意性部分立体图，图15（b）是通道8的长度方向的纵剖面示意图。在致动器部2形成有通道8排列而成的通道列9。在致动器部2的上表面、壁19的侧面以及槽18的底面的整面沉积导电膜55。致动器部2的一个端部的表面H，除去形成有电极端子的区域的感光性树脂膜53。该区域的导电膜55与槽18的圆弧形状的底面和槽18的平坦的底面的导电膜55连续地沉积。此外，在底板4的与致动器部2相反一侧的形成有贯通孔20的区域，形成有锪孔部51。

接着，在凹部形成工序S6中，沿与槽18的长度方向正交的方向磨削多个壁19，形成隔着通道列9而互相隔开并与多个槽18连通的第一凹部6和第二凹部7。图16（S6）的上图是形成第一凹部6和第二凹部7之后的由致动器部2和底板4构成的层叠体的示意性部分立体图，下图是通道8的长度方向的纵剖面示意图。如图16（S6）所示，使用切割刀片来沿与通道8的长度方向正交的方向扫掠并磨削。在磨削时，以切割刀片的外周未到达圆弧形状的底面的方式磨削壁19，从而不切断沉积于圆弧形状的底面的导电膜55。因此，在第一凹部6或第二凹部7的底面形成从圆弧形状的底面突出的突条22。

由于壁19的磨削使用比第一凹部6或第二凹部7的通道方向的宽度更薄的厚度的切割刀片，因而突条22的上表面成为阶梯状。此外，如果代替使用比第一凹部6或第二凹部7的通道方向的宽度更薄的厚度的切割刀片，使用外径具有槽18的圆弧形状的圆筒状的磨削盘，则能够以突条22的上表面作为圆弧形状。另外，不一定必须使第二凹部7的底面为圆弧形状，也可以与第四实施方式的情况同样地作为矩形形状，从底面除去导电膜55。

接着，在电极形成工序S7中，如图16（S7）所示，对导电膜55进行构图而在壁19的侧面形成驱动电极16，在致动器部2的表面H形成电极端子10。通过除去感光性树脂膜53而对导电膜55进行构图（称为剥离法）。 即，通过除去感光性树脂膜53，从而除去沉积于感光性树脂膜53上的导电膜55，对壁19的两侧面的导电膜55和表面H的导电膜55进行构图。结果，形成与致动器部2的表面H电分离的多个电极端子10和与壁19的两侧面电分离的驱动电极16，将驱动电极16与电极端子10之间经由形成于第一凹部6的圆弧状底面、突条22的侧面以及槽18的底面的布线电极17而电连接。

接着，在盖板接合工序S8中，如图16（S8）所示，将具有第一液室12和第二液室13的盖板3，以使第一液室12与第一凹部6连通、使第二液室13与第二凹部7连通、使电极端子10露出、将多个槽18的上部开口闭塞的方式，使用粘接剂来接合于致动器部2。盖板3优选使用具有与致动器部2相同的程度的热膨胀系数的材料。例如，在作为致动器部2而使用PZT陶瓷的情况下，能够使用与盖板3相同的PZT陶瓷。盖板3具备将各槽18的上端开口闭塞而构成通道8的功能和将液体均等地供给至第一凹部6并从第二凹部7均等地排出液体的功能。

接着，在磨削工序S9中，磨削底板4的与致动器部2相反的一侧，如图17（S9）所示，使表面平坦化。接着，在喷嘴板接合工序S10中，如图17（S10）所示，将喷嘴板5经由粘接剂而接合于底板4。在喷嘴板5形成有与贯通孔20连通的喷嘴14。喷嘴14也可以预先在将喷嘴板5接合于底板4之前形成，也可以在接合之后将喷嘴14形成于贯通孔20的位置。喷嘴板5能够使用聚酰亚胺薄膜。喷嘴14能够使用激光来穿孔。

接着，在柔性基板接合工序S12中（在图13中省略），如图17（S12）所示，在致动器部2的表面H接合有柔性基板21，将形成于柔性基板21的布线电极和形成于致动器部2的电极端子10经由未图示的各向异性导电材料而电连接。

如以上所说明的，依照本发明的液体喷射头1的制造方法，由于能够通过光刻法而总括地对电极端子10进行构图，因而与像现有方法那样使用激光来通过线描绘而构图的方法相比而简便，能够在短时间内制造。另外，没有必要像现有方法那样在梯形形状的压电材料的倾斜部和粘接有该压电材料的平坦部之间取得电连接，能够形成可靠性高的布线图案。另外，在现有方法中，由于在形成电极图案之后设置框部件，因而需要高精度的对位，但在本发明中，没有必要进行框部件的对位。另外，在现有方法中，在设置框部件之后需要表面的平坦化工序，但在本发明中，不需要这样的平坦化工序，具有能够简便地制造的优点。

此外，在本实施方式中，对第三实施方式的液体喷射头1的制造方法进行了说明，但显然能够适用于第四~第六实施方式的液体喷射头1的制造。即，在第四实施方式的液体喷射头1中，在槽形成工序S4中，从致动器部2的一个端部笔直地磨削至另一个端部，在第一凹部6和第二凹部7的外周侧设置密封件24，使得填充至通道的液体不泄漏至外部即可。

另外，在第五实施方式的液体喷射头1中，在贯通孔形成工序S1中，在与左右通道列9L、9R相对应的位置形成贯通孔20L、20R，在凹部形成工序S6中，在形成第一凹部6时，磨削至槽18的底面，在磨削左右第二凹部7L、7R时，残留槽18的底面，磨削壁19的上部。具体而言，在左右通道列9L、9R的中间的位置形成第一凹部6，相对于第一凹部6隔开而在第一凹部6的左右形成左右第二凹部7L、7R。在导电膜形成工序S5中，在致动器部2的两端部的表面H形成左右电极端子列11L、11R。而且，在盖板接合工序S8中，将盖板3接合于致动器部2，该盖板3在与第一凹部6相对应的位置，形成有第一液室12，在与左右第二凹部7L、7R的各个相对应的位置，形成有左右第二液室13L、13R，在喷嘴板接合工序S10中，将喷嘴板5接合于底板4，该喷嘴板5在与左右贯通孔20L、20R相对应的位置，形成有左右喷嘴列15L、15R。而且，在柔性基板接合工序S12中，将左右柔性基板21L、21R接合于形成有左右电极端子列11L、11R的致动器部2的表面H。

（第十一实施方式）

图18是用于说明本发明的第十一实施方式所涉及的液体喷射头1的制造方法的致动器部2的示意性部分立体图。在致动器部形成工序S2中，将压电体基板56嵌入由介电常数比压电材料更小的绝缘材料构成的绝缘体基板57的成为通道列的区域，进行平坦化，形成致动器部2。在此，压电体基板56具有将相对于基板面而极化至上方的压电体基板和极化至下方的压电体基板层叠而成的层叠构造。

而且，在凹部形成工序S6中，在磨削并形成由虚线示出的第一凹部6和第二凹部7时，除去压电体基板56和绝缘体基板57的边界面58。由此，能够使高价的压电材料的使用量减少而削减制造成本。另外，由于未在压电体基板上形成布线电极或电极端子列，因而电极间的电容下降，消耗电力大幅地降低。此外，作为绝缘体基板57，能够使用可加工陶瓷或氧化铝陶瓷、二氧化硅等低介电常数材料。

附图标记说明

1 液体喷射头；2 致动器部；3 盖板；4 底板；5 喷嘴板；6 第一凹部；7 第二凹部；8 通道；9 通道列；10 电极端子；11 电极端子列；12 第一液室；13 第二液室；14 喷嘴；15 喷嘴列；16 驱动电极；17 布线电极；18 槽；19 壁；19’ 壁；20 贯通孔；21 柔性基板；22 突条；24 封闭件。

Claims (23)

1. 一种液体喷射头，包括：

致动器部，具备：第一凹部；第二凹部，与所述第一凹部隔开而形成；通道列，排列有多个通道，所述通道设置于所述第一凹部与所述第二凹部之间，一个端部开口于所述第一凹部，另一个端部开口于所述第二凹部；以及电极端子列，由多个电极端子构成，该电极端子设置于比所述第二凹部或所述第一凹部更靠近外周侧的表面，用于将驱动信号传递至所述通道列；

盖板，具备与所述第一凹部连通的第一液室和与所述第二凹部连通的第二液室，以使所述电极端子列露出、覆盖所述通道列的方式，接合于所述致动器部；以及

喷嘴板，具备由与所述通道连通的喷嘴的列构成喷嘴列，接合在与所述盖板相反一侧的所述致动器部。

2. 如权利要求1所述的液体喷射头，其中，

所述第二凹部包括设置为夹着所述第一凹部的左右第二凹部，

所述通道列包括分别设置于左右所述第二凹部与所述第一凹部之间的左右通道列，

所述电极端子列包括设置于比左右所述第二凹部更靠近外周侧的表面并用于分别将驱动信号供给至左右所述通道列的左右电极端子列，

所述喷嘴列包括与左右所述通道列的通道分别连通的左右喷嘴列。

3. 如权利要求2所述的液体喷射头，其中，

左侧的所述喷嘴列和右侧的所述喷嘴列沿列方向错开通道间距的1/2。

4. 如权利要求1~3的任一项所述的液体喷射头，其中，

所述通道由利用从所述第一凹部延伸至所述第二凹部的2个壁夹着的槽构成，所述通道列由利用多个所述壁来划分的多个所述槽的排列构成，在所述壁的侧面设置有驱动电极。

5. 如权利要求4所述的液体喷射头，其中，

所述电极端子和所述驱动电极经由形成于所述第二凹部或所述第一凹部的底部的布线电极而电连接。

6. 如权利要求5所述的液体喷射头，其中，

所述第二凹部或所述第一凹部的底面具备与所述壁连续且除去所述壁的上部而残留的突条，

所述布线电极形成在所述突条的侧面和邻接的所述突条之间的底面。

7. 如权利要求4所述的液体喷射头，其中，

多个所述槽延伸设置至比所述第二凹部和所述第一凹部的至少一个更靠近所述致动器部的外周端侧。

8. 如权利要求1~3的任一项所述的液体喷射头，其中，

具备接合于所述致动器部的端部侧的表面并与所述电极端子列电连接的柔性基板。

9. 如权利要求1~3的任一项所述的液体喷射头，其中，

所述致动器部包括将相对于所述表面而沿向上方向极化的压电材料和沿向下方向极化的压电材料层叠而成的层叠构造。

10. 如权利要求1~3的任一项所述的液体喷射头，其中，

所述致动器部，所述第一凹部与所述第二凹部之间由压电材料构成，相比所述第二凹部或所述第一凹部更靠外周侧由介电常数比所述压电材料更小的绝缘材料构成。

11. 如权利要求1~3的任一项所述的液体喷射头，其中，

所述通道经由贯通孔而与所述喷嘴连通。

12. 如权利要求11所述的液体喷射头，其中，

所述致动器部具备底板，所述贯通孔形成于所述底板。

13. 一种液体喷射装置，包括：

权利要求1所述的液体喷射头；

使所述液体喷射头往复移动的移动机构；

将液体供给至所述液体喷射头的液体供给管；以及

将所述液体供给至所述液体供给管的液体罐。

14. 一种液体喷射头的制造方法，包括：

贯通孔形成工序，在底板形成贯通孔；

致动器部形成工序，形成含有压电材料的致动器部；

接合工序，将所述致动器部接合于所述底板；

槽形成工序，在所述致动器部的与所述底板相反的一侧形成并列的多个槽和划分所述槽的壁，构成由并列的多个所述槽构成的通道列；

导电膜形成工序，在所述致动器部沉积导电材料，在多个所述壁的上表面和侧面以及所述槽的底面形成导电膜；

凹部形成工序，沿与所述槽的长度方向交叉的方向磨削多个所述壁，形成隔着所述通道列而互相隔开并与多个所述槽连通的第一凹部和第二凹部；

电极形成工序，对所述导电膜进行构图，在所述壁的侧面形成驱动电极，在所述致动器部的表面形成电极端子；

盖板接合工序，具有第一液室和第二液室的盖板，以使所述第一液室与所述第一凹部连通、使所述第二液室与所述第二凹部连通、使所述电极端子露出、将多个所述槽的上部开口闭塞的方式，接合于所述致动器部；

磨削工序，磨削所述底板的与所述致动器部相反的一侧；以及

喷嘴板接合工序，将喷嘴板接合于所述底板。

15. 如权利要求14所述的液体喷射头的制造方法，其中，

所述槽形成工序，形成互相隔开的左右所述通道列，

所述凹部形成工序，在左右所述通道列之间形成所述第一凹部，相对于左右所述通道列的所述第一凹部而在外侧形成左右所述第二凹部。

16. 如权利要求15所述的液体喷射头的制造方法，其中，

所述槽形成工序，将左侧的所述通道列相对于右侧的所述通道列而沿列方向错开通道间距的1/2而形成所述槽。

17. 如权利要求15或16所述的液体喷射头的制造方法，其中，

所述凹部形成工序是在形成所述第一凹部时磨削至所述槽的底面、在形成左右所述第二凹部时残留所述槽的底面并磨削所述壁的上部的工序。

18. 如权利要求14~16的任一项所述的液体喷射头的制造方法，其中，

所述致动器部形成工序是将相对于基板面而向上方极化的压电材料和向下方极化的压电材料层叠并接合的工序。

19. 如权利要求14~16的任一项所述的液体喷射头的制造方法，其中，

所述致动器部形成工序是将由所述压电材料构成的压电体基板嵌入由介电常数比所述压电材料更小的绝缘材料构成的绝缘体基板的成为所述通道列的区域而形成所述致动器部的工序。

20. 如权利要求14~16的任一项所述的液体喷射头的制造方法，其中，

还包括在所述槽形成工序之前在所述致动器部的与所述底板相反一侧的表面设置感光性树脂膜的感光性树脂膜设置工序，

所述电极形成工序通过除去所述感光性树脂膜的剥离法而进行所述导电膜的构图。

21. 如权利要求14~16的任一项所述的液体喷射头的制造方法，其中，

所述槽形成工序是形成为到达所述底板的深度的工序。

22. 如权利要求14~16的任一项所述的液体喷射头的制造方法，其中，

所述槽形成工序是延长至比所述第一凹部或所述第二凹部更靠近所述致动器部的外周端侧而形成的工序。

23. 如权利要求14~16的任一项所述的液体喷射头的制造方法，其中，

还包括将柔性基板接合于所述致动器部的表面并将形成于所述柔性基板的布线电极和所述电极端子电连接的柔性基板接合工序。

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