JP6073660B2 - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
図1及び図2は本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッド1を説明するための図である。図1は液体噴射ヘッド1の分解斜視図であり、図2(a)は吐出溝6aの長手方向に沿う断面模式図であり、図2(b)は非吐出溝6bの長手方向に沿う断面模式図であり、図2(c)は図1に示す部分AAの部分断面模式図である。
図3は、本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド1の非吐出溝6bの長手方向の断面模式図である。第一実施形態と異なる部分は、非吐出溝6bの底部にアクチュエータ基板2が残る点であり、その他の構成は第一実施形態と同様である。従って、以下、主に第一実施形態と異なる非吐出溝6bについて説明し、第一実施形態と同じ吐出溝6aについては説明を省略する。同一部の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
図4は、本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッド1の断面模式図である。図4(a)は吐出溝6aの長手方向の断面模式図であり、図4(b)は非吐出溝6bの長手方向の断面模式図である。第一実施形態と異なる部分は、ノズルプレート4が多層に構成される点であり、その他は第一実施形態と同様である。以下、第一実施形態と異なる部分について説明し、同一の部分は説明を省略する。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
図5〜図13は、本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッド1の製造方法を説明するための図である。図5は、本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッド1の製造工程の流れ図であり、図6〜図13は、各工程を説明するための図である。以下、図5と図6〜図13を参照して液体噴射ヘッド1の製造方法を詳細に説明する。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
図14は本発明の第五実施形態に係る液体噴射装置30の模式的な斜視図である。液体噴射装置30は、液体噴射ヘッド1、1’を往復移動させる移動機構40と、液体噴射ヘッド1、1’に液体を供給し、液体噴射ヘッド1、1’から液体を排出する流路部35、35’と、流路部35、35’に連通する液体ポンプ33、33’及び液体タンク34、34’とを備えている。各液体噴射ヘッド1、1’は複数のヘッドチップを備え、各ヘッドチップは複数の吐出溝からなるチャンネルを備え、各チャンネルに連通するノズルから液滴を吐出する。液体ポンプ33、33’として、流路部35、35’に液体を供給する供給ポンプとそれ以外に液体を排出する排出ポンプのいずれか若しくは両方を設置する。また、図示しない圧力センサーや流量センサーを設置し、液体の流量を制御することもある。液体噴射ヘッド1、1’は既に説明した第一〜第四実施形態のいずれかを使用する。
2 アクチュエータ基板
3 カバープレート
4 ノズルプレート
5 壁
6 溝、6a 吐出溝、6b 非吐出溝
7 上面開口
8 下面開口
9 液体供給室
10 液体排出室
11 ノズル
12 駆動電極、12a コモン電極、12b アクティブ電極
13 補助プレート
14a 第一スリット、14b 第二スリット
15 上げ底部
16a コモン端子、16b アクティブ端子
17 ポリイミドフィルム
18 貫通孔
19 圧電体基板
20 樹脂膜
21 ダイシングブレード
22 傾斜面
23 マスク
24 導電体
30 液体噴射装置
LE 一方側の外周端、RE 他方側の外周端、US 上面、LS 下面、BP 上面
BB 底面、E 下端、P 地点
Claims (12)
- 圧電体からなる細長い壁により仕切られる細長い吐出溝と細長い非吐出溝を有し、前記吐出溝と前記非吐出溝が交互に配列するアクチュエータ基板を備え、
前記非吐出溝は、一方側の端部が前記非吐出溝の底面から上部の上面開口にかけて切り上がる傾斜面を有し、
前記壁の前記吐出溝に面する両側面には前記壁の長手方向に沿って帯状にコモン電極が設置され、前記壁の前記非吐出溝に面する両側面には前記壁の長手方向に沿って帯状にアクティブ電極が設置され、
前記アクティブ電極は、前記非吐出溝の一方側の端部の手前から他方側の端部に亘って設置される、
液体噴射ヘッドであって、
さらに、前記吐出溝に連通するノズルから液滴を吐出するための駆動信号を与える、前記アクティブ電極に電気的に接続されるアクティブ端子が、前記非吐出溝の他端側に設置される、
液体噴射ヘッド。 - 前記アクチュエータ基板の上部に設置され、前記吐出溝の一方側に連通する第一スリットと、前記吐出溝の他方側に連通する第二スリットとを有するカバープレートと、
前記アクチュエータ基板の下部に設置され、前記吐出溝に連通するノズルを有するノズルプレートと、を備える請求項1に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記コモン電極は、前記吐出溝の前記第一スリットが開口する位置から前記吐出溝の他方側の端部に亘って設置される請求項2に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記アクティブ電極の一方側の端部は、前記傾斜面の深さが前記アクティブ電極の下端の深さとなる地点よりも他方側に位置する請求項1〜3のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記非吐出溝は、他方側が前記アクチュエータ基板の外周端まで延在し、前記外周端の近傍では底部に前記アクチュエータ基板が残る上げ底部が形成される請求項1〜4のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記吐出溝及び前記非吐出溝は前記上面開口とは反対側に下面開口を有し、
前記ノズルプレートは前記下面開口を覆うように設置される請求項2に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記ノズルプレートは前記カバープレートよりも剛性が低い請求項2又は6に記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項1に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、
前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、
前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備える液体噴射装置。 - 圧電体基板に並列する複数の溝を形成する溝形成工程と、
前記溝の一方側の端部を覆うようにマスクを設置するマスク設置工程と、
前記圧電体基板に斜め蒸着法により導電体を堆積する導電体堆積工程と、
前記導電体をパターニングして電極を形成する電極形成工程と、
前記圧電体基板の上方にカバープレートを設置するカバープレート設置工程と、
前記圧電体基板の下方にノズルプレートを設置するノズルプレート設置工程と、を備える、
液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記電極形成工程は、液滴を吐出するための駆動信号を与える、前記電極に電気的に接続される端子を前記溝の他方側に形成する工程を含む、
液体噴射ヘッドの製造方法。 - 前記溝形成工程の前に、前記圧電体基板に樹脂膜を形成する樹脂膜形成工程と、前記樹脂膜をパターニングするパターン形成工程とを備える請求項9に記載の液体噴射ヘッドの
製造方法。 - 前記溝形成工程の後に、前記溝が形成される側とは反対側の前記圧電体基板を研削して前記溝を上面から下面に貫通させる圧電体基板研削工程を有する請求項9又は10に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記ノズルプレート設置工程は、前記圧電体基板の下面に前記ノズルプレートを設置する工程である請求項11に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
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