CN103802477A - 液体喷射头以及液体喷射装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种液体喷射头以及液体喷射装置。本发明的液体喷射头(1)具备：排列多个从基板的上表面(US)贯通至下表面(LS)，在面方向上细长的槽(6)的促动器基板(2)；以覆盖槽(6)的上表面开口(7)的方式设置于促动器基板(2)的盖板(3)；以及以覆盖槽(6)的下表面开口(8)的方式设置于促动器基板(2)的喷嘴板(4)。槽(6)包含交替地排列的喷出槽(6a)和非喷出槽(6b)，喷出槽(6a)与非喷出槽(6b)以下表面开口(8)的形状不同的方式形成。从而在将喷嘴板(4)粘接在促动器基板(2)时，能够容易地区分喷出槽(6a)和非喷出槽(6b)，能够将喷嘴(11)容易地对位至喷出槽(6a)。

Description

液体喷射头以及液体喷射装置

技术领域

本发明涉及喷出液滴并记录于被记录介质的液体喷射头以及使用了该液体喷射头的液体喷射装置。

背景技术

近年来，将油墨滴喷出至记录纸等以记录字符、图形，或者将液体材料喷出至元件基板的表面以形成功能性薄膜的喷墨(ink jet)方式的液体喷射头得到利用。该方式将油墨、液体材料等液体从液体罐经由供给管导引至通道，对填充于通道的液体施加压力并从连通于通道的喷嘴喷出液体。在喷出液体时，移动液体喷射头、被记录介质以记录字符、图形，或者形成既定形状的功能性薄膜。

图8是专利文献1所记载的液体喷射头101的截面示意图。图8(a)是用于使液体产生压力波的槽105的长度方向的截面示意图，图8(b)是与槽105正交的方向的截面示意图。液体喷射头101具有包括以下部分的层叠构造：由压电体构成的压电板104、粘接于其一侧表面的盖板108、粘接在盖板108上的流路部件111、和粘接在压电板104的另一侧表面的喷嘴板102。在压电板104中，构成槽105的深槽105a与浅槽105b交替地并列而形成，深槽105a从压电板104的一侧表面贯通至另一侧表面，浅槽105b在一侧表面开口，另一侧留有压电体材料。在深槽105a与浅槽105b之间形成侧壁106a～106c。在深槽105a的侧面形成驱动用电极116a、116c，在浅槽105b的侧面形成116b、116d。

在盖板108形成液体供给口109和液体排出口110，液体供给口109连通于深槽105a的一个端部，液体排出口110连通于该深槽105a的另一个端部。在流路部件111形成液体供给室112和液体排出室113，液体供给室112连通于液体供给口109，液体排出室113连通于液体排出口110。在喷嘴板102形成喷嘴103，喷嘴103连通于深槽105a。

该液体喷射头101如下地被驱动。从设置于流路部件111的供给用接头114供给的液体经由液体供给室112、液体供给口109而被填充于深槽105a。填充于深槽105a的液体进而经由液体排出口110、液体排出室113而从排出用接头115排出至外部。而且，通过在驱动用电极116c与116b之间，以及在驱动用电极116c与116d之间产生电位差，侧壁106b和106c厚度滑移变形，在深槽105a产生压力波并从喷嘴103喷出液滴。

专利文献1：日本特开2011-104791号公报。

发明内容

在专利文献1的液体喷射头101中，液滴喷出用的深槽105a与液滴非喷出用的浅槽105b交替地形成。浅槽105b在压电板104的喷嘴板102侧不开口，深槽105a在压电板104的喷嘴板102侧开口。使用在圆盘的外周部埋入了钻石等磨粒的切割刀片(dicing blade)(也称为钻石切刀(diamond cutter))形成深槽105a以及浅槽105b。因此，如图8(a)所示，在槽105的两端部复制切割刀片的外形形状。通常，切割刀片使用直径为2英寸以上大小的切割刀片。例如，若使深槽105a的深度为360μm，使浅槽105b的深度为320μm，在浅槽105b的底部保留40μm的压电板104，则在浅槽105b的两端部沿其长度方向形成合计约8mm的圆弧形状。浅槽105b两端部的圆弧形状为无用区域，若能够缩短其长度，则能够小型地形成液体喷射头101，还能够增加从压电体晶片的取得个数。

因此，若不在浅槽105b的底面保留压电板104并与深槽105a同样地贯通压电板104，则能够较短地形成槽105的长度方向长度。其结果，液体喷射头101小型化，并且从压电体晶片的取得个数也增加。

图9是粘贴喷嘴板102之前的压电板104的从与盖板108相反侧看的俯视示意图(参照图8)。液体喷射头101的制造工序将槽105形成于压电板104，接着，将盖板108以及流路部件111粘接于压电板104的形成了槽105的一侧，接着，磨削压电板104的与盖板108相反侧的表面并使槽105贯通，接着，将喷嘴板102粘接于压电板104的与盖板108侧相反侧的表面。因而，将预先形成了喷嘴103的喷嘴板102粘贴于图9所示的表面，或者在粘贴喷嘴板102之后照射激光射束以使喷嘴103开口。但是，由于形成100条以上具有相同形状，排列方向的间距为80μm～200μm的窄槽105，故难以区分喷出用的槽105(在图8中为深槽105a)和非喷出用的槽105(在图8中为浅槽105b)。

本发明鉴于上述问题而完成，提供容易通过喷嘴板区分喷出用的槽和非喷出用的槽的液体喷射头。

本发明的液体喷射头具备：排列多个槽的促动器基板，所述槽从基板的上表面贯通至下表面，在面方向上为细长的；以及以覆盖所述槽的下表面开口的方式设置于所述促动器基板的喷嘴板，所述槽包含交替地排列的喷出槽和非喷出槽，所述喷出槽与所述非喷出槽的下表面开口的形状或下表面开口在长度方向上的形成位置不同。

另外，所述非喷出槽的下表面开口与所述喷出槽的下表面开口的长度方向长度不同。

另外，所述非喷出槽的下表面开口与所述喷出槽的下表面开口相比长度方向长度较长。

另外，所述非喷出槽的下表面开口与所述喷出槽的下表面开口相比，长度方向的任一侧的长度较长。

另外，所述非喷出槽的下表面开口与所述喷出槽的下表面开口相比长度方向长度较短。

另外，所述非喷出槽的下表面开口与所述喷出槽的下表面开口相比，长度方向的任一侧的长度较短。

另外，在所述槽所排列的方向上，位于至少一个端部的所述槽的下表面开口与其他位置的所述槽的下表面开口的长度方向长度不同。

另外，所述非喷出槽的下表面开口与所述喷出槽的下表面开口的宽度方向宽度不同。

另外，所述非喷出槽的下表面开口与所述喷出槽的下表面开口相比宽度方向宽度较宽。

另外，所述非喷出槽的下表面开口与所述喷出槽的下表面开口相比宽度方向宽度较窄。

另外，所述非喷出槽位于所述槽所排列的方向的端部。

另外，具备以部分地覆盖所述槽的上表面开口的方式设置于所述促动器基板的盖板。

另外，所述喷嘴板由光透射性的膜构成。

本发明的液体喷射装置具备：上述任一项所述的液体喷射头；使所述液体喷射头与被记录介质相对地移动的移动机构；对所述液体喷射头供给液体的液体供给管；以及对所述液体供给管供给所述液体的液体罐。

本发明的液体喷射头具备：排列多个槽的促动器基板，该槽从基板的上表面贯通至下表面，在面方向上为细长的；以及以覆盖槽的下表面开口的方式设置于促动器基板的喷嘴板，槽包含交替地排列的喷出槽和非喷出槽，喷出槽与非喷出槽的下表面开口的形状或下表面开口在长度方向上的形成位置不同。由此，能够容易地区分喷出槽和非喷出槽，因而能够容易地将喷嘴对位至喷出槽。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头的说明图。

图2是从与盖板相反侧看本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头的促动器基板的俯视示意图。

图3是从与盖板相反侧看本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头的促动器基板的俯视示意图。

图4是从与盖板相反侧看本发明的第四实施方式所涉及的液体喷射头的促动器基板的俯视示意图。

图5是从与盖板相反侧看本发明的第五实施方式所涉及的液体喷射头的促动器基板的俯视示意图。

图6是本发明的第六实施方式所涉及的液体喷射头的截面示意图。

图7是本发明的第七实施方式所涉及的液体喷射装置的示意性的立体图。

图8是以往公知的液体喷射头的截面示意图。

图9是粘贴以往公知的喷嘴板之前的压电板的从与盖板相反侧看的俯视示意图。

具体实施方式

(第一实施方式)

图1是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头1的说明图。图1(a)是喷出槽6a的长度方向的截面示意图，图1(b)是非喷出槽6b的长度方向的截面示意图，图1(c)是从液滴喷出侧看促动器基板2的俯视示意图。

本发明的液体喷射头1具有将喷嘴板4、促动器基板2和盖板3层叠的构造。在促动器基板2中，排列多个从其上表面US贯通至下表面LS，在上表面US或下表面LS的面方向上细长的槽6。盖板3以覆盖槽6的上表面开口7的方式设置于促动器基板2。喷嘴板4以覆盖槽6的下表面开口8的方式设置于促动器基板2。槽6包含交替地排列的喷出槽6a和非喷出槽6b，喷出槽6a与非喷出槽6b以下表面开口8的形状不同的方式形成。

由此，在将喷嘴板4粘贴于促动器基板2的下表面LS时，使用光透射性的膜作为喷嘴板4，从而能够使形成于喷嘴板4的喷嘴11的位置与促动器基板2的喷出槽6a容易地对位。或者，在将喷嘴板4粘贴在促动器基板2的下表面LS之后，容易确定连通于喷出槽6a的喷嘴的位置，使喷嘴11开口。

具体地进行说明。如图1(c)所示，非喷出槽6b的下表面开口8的长度方向长度Lb比喷出槽6a的下表面开口8的长度方向长度La长。更详细而言，在槽6的排列方向(x方向)上，喷出槽6a和非喷出槽6b的各自的下表面开口8的一侧(－y方向侧)的端部一致，在另一侧(＋y方向侧)的端部中非喷出槽6b的下表面开口8与喷出槽6a的下表面开口8相比在另一侧(＋y方向侧)上较长。由此，从促动器基板2的下表面LS侧看，能够容易地区分喷出槽6a和非喷出槽6b。

能够通过圆盘状的切割刀片磨削以形成促动器基板2的喷出槽6a以及非喷出槽6b。在该磨削时，通过与喷出槽6a相比较深地磨削非喷出槽6b，或者与喷出槽6a相比在长度方向上较长地磨削非喷出槽6b，能够容易地形成图1(c)所示的下表面开口8的图案。喷出槽6a是从促动器基板2的一侧端部近前至另一侧端部近前，形成至盖板3的端部近前。非喷出槽6b从促动器基板2的一侧端部近前形成至另一侧端部。在该另一侧端部形成活底部(上げ底部)15。通过该活底部15提高促动器基板2的强度。

在隔着喷出槽6a的两侧面形成深度不到达喷出槽6a的底面即喷嘴板4的公用电极12a，与在另一侧的端部的上表面US形成的公用端子16a电连接。同样地，在隔着非喷出槽6b的两侧面形成深度不到达非喷出槽6b的底面即喷嘴板4的有源(active)电极12b，与在另一侧的端部的上表面US形成的有源端子16b电连接。在非喷出槽6b的两侧面形成的有源电极12b相互电分离。此外，公用端子16a以及有源端子16b是与未图示的柔性基板的端子连接的焊盘(land)。

盖板3在一侧的外周端LE的近前形成液体排出室10，在另一侧的外周端RE的近前形成液体供给室9。而且，在液体排出室10的底部形成第一狭缝14a，在液体供给室9的底部形成第二狭缝14b。盖板3以部分地覆盖喷出槽6a以及非排出槽6b的方式，或者以公用端子16a以及有源端子16b露出的方式通过粘接剂而粘接于促动器基板2的上表面US。第一狭缝14a连通于喷出槽6a的一侧的端部，第二狭缝14b连通于喷出槽6a的另一侧的端部。非喷出槽6b不连通于液体供给室9以及液体排出室10。

喷嘴板4通过粘接剂而粘接于促动器基板2的下表面LS。形成于喷嘴板4的喷嘴11连通于喷出槽6a。非喷出槽6b的下表面开口8通过喷嘴板4而闭塞。

促动器基板2能够使用在上表面US的垂直方向上实施了极化处理的压电体材料，例如PZT陶瓷。盖板3也能够使用与促动器基板2为相同材料的PZT陶瓷、可加工陶瓷、其他陶瓷、玻璃等低电介质材料。若使用与促动器基板2相同的材料作为盖板3，则能够使热膨胀相等以使对应于温度变化的翘曲、变形不产生。喷嘴板4能够使用聚酰亚胺膜、聚丙烯膜、其他合成树脂膜、金属膜等。在此，优选使盖板3的厚度为0.3mm～1.0mm，使喷嘴板4的厚度为0.01mm～0.1mm。若使盖板3薄于0.3mm则强度降低，若厚于1.0mm则液体供给室9、液体排出室10、以及第一及第二狭缝14a、14b的加工需要时间，另外，材料的增加引起成本变高。若使喷嘴板薄于0.01mm则强度降低，若厚于0.1mm则振动传递至邻接的喷嘴，容易产生干扰。

此外，PZT陶瓷的杨氏模量为58.48GPa，聚酰亚胺的杨氏模量为3.4GPa。因此，若使用PZT陶瓷作为盖板3，使用聚酰亚胺膜作为喷嘴板4，则覆盖促动器基板2的上表面US的盖板3与覆盖下表面LS的喷嘴板4相比刚性高。优选地，盖板3的材质的杨氏模量不低于40GPa，优选地，喷嘴板4的材质的杨氏模量为1.5GPa～30GPa的范围。在喷嘴板4中，若杨氏模量低于1.5GPa则在接触被记录介质时容易受损，可靠性降低，若超过30GPa则振动传递至邻接的喷嘴，容易产生干扰。

该液体喷射头1如下地被驱动。从液体供给室9供给的液体经由第二狭缝14b流入喷出槽6a，而且，从喷出槽6a经由第一狭缝14a流出至液体排出室10。然后，若对公用端子16a和有源端子16b施加驱动信号，则隔着喷出槽6a的两壁厚度滑移变形并对填充于喷出槽6a的液体产生压力波。由于该压力波，从喷嘴11喷出液滴，液体记录于被记录介质。通过使公用电极12a以及有源电极12b与槽6的底面即喷嘴板4分离，对液体引发的压力波稳定，能够稳定地喷出液滴。此外，具体而言，上述驱动信号经由公用端子16a对公用电极12a供给GND电位，经由有源端子16b对有源电极12b供给驱动电压。

此外，在本实施方式中，使在促动器基板2的下表面LS开口的喷出槽6a的下表面开口8和非喷出槽6b的下表面开口8的一侧的端部相对于槽6的排列方向一致，在另一侧的端部中使非喷出槽6b的下表面开口8比喷出槽6a的下表面开口8长，使得能够区分喷出槽6a和非喷出槽6b。还可以使喷出槽6a的下表面开口8和非喷出槽6b的下表面开口8的另一侧的端部相对于槽6的排列方向一致，在一侧的端部中使非喷出槽6b的下表面开口8比喷出槽6a的下表面开口8长，使得能够区分喷出槽6a和非喷出槽6b。另外，还可以以非喷出槽6b的下表面开口8比喷出槽6a的下表面开口8长的方式形成喷出槽6a以及非喷出槽6b的各自的两端部。另外，还可以使液体排出室10与液体供给室9的功能相反，从液体排出室10供给液体，从液体供给室9排出液体。

(第二实施方式)

图2是从与盖板3相反侧看本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头1的促动器基板2的俯视示意图。与第一实施方式的不同点是，非喷出槽6b的下表面开口8的长度方向长度Lb比喷出槽6a的下表面开口8的长度方向长度La短这一点，其他构成与第一实施方式相同。对相同部分或具有相同功能的部分附以相同符号。

如图2所示，非喷出槽6b的下表面开口8的长度方向长度Lb比喷出槽6a的下表面开口8的长度方向长度La短。更详细而言，在槽6的排列方向(x方向)上，喷出槽6a和非喷出槽6b的各自的下表面开口8的一侧的端部一致，在另一侧的端部中非喷出槽6b的下表面开口8与喷出槽6a的下表面开口8相比在另一侧(－y方向侧)上较短。由此，从促动器基板2的下表面LS侧看，能够容易地区分喷出槽6a和非喷出槽6b。

与第一实施方式中的说明同样地，在使用切割刀片磨削促动器基板2时，与喷出槽6a相比较浅地磨削非喷出槽6b，或者与喷出槽6a相比在长度方向上较短地磨削非喷出槽6b，即可与喷出槽6a的下表面开口8相比下表面开口8的长度方向长度较短地形成非喷出槽6b。通过使用光透射性的喷嘴板4，能够将喷嘴11与喷出槽6a容易地对位。或者，能够在确认下表面开口8的同时将喷嘴11容易地形成于光透射性的喷嘴板4。

其他构成与第一实施方式相同，故省略说明。此外，在本实施方式中，使在促动器基板2的下表面LS开口的喷出槽6a的下表面开口8和非喷出槽6b的下表面开口8的一侧的端部相对于槽6的排列方向一致，在另一侧的端部中使非喷出槽6b的下表面开口8比喷出槽6a的下表面开口8短，使得能够区分喷出槽6a和非喷出槽6b。还可以使喷出槽6a的下表面开口8和非喷出槽6b的下表面开口8的另一侧的端部相对于槽6的排列方向一致，在一侧的端部中使非喷出槽6b的下表面开口8比喷出槽6a的下表面开口8短，使得能够区分喷出槽6a和非喷出槽6b。另外，还可以以非喷出槽6b的下表面开口8比喷出槽6a的下表面开口8短地形成喷出槽6a以及非喷出槽6b的各自的两端部。

(第三实施方式)

图3是从与盖板3相反侧看本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头1的促动器基板2的俯视示意图。与第一实施方式的不同点是，位于槽6的排列方向端部的槽6的下表面开口8的长度方向长度与其他槽6的下表面开口8的长度方向长度不同这一点，其他构成与第一实施方式相同。对相同部分或具有相同功能的部分附以相同符号。

如图3所示，在槽6排列的排列方向(x方向)上，位于至少一个端部的槽6的下表面开口8与其他位置的槽6的下表面开口8的长度方向(y方向)长度不同。更详细而言，位于排列方向(＋x方向)端部的槽6的下表面开口8的长度方向的一侧端部与其他槽6的下表面开口8一致，长度方向的另一侧端部与其他槽6的下表面开口8相比位于另一侧。由此，从促动器基板2的下表面LS侧看，能够容易地视觉辨认位于排列方向的端部的槽6。而且，通过预先将位于排列方向的端部的槽6设定为喷出槽6a或者非喷出槽6b，能够容易地视觉辨认喷出槽6a和非喷出槽6b。由此，能够使用光透射性的喷嘴板4，将喷嘴11与喷出槽6a容易地对位。或者，能够在确认下表面开口8的同时将喷嘴11容易地形成于光透射性的喷嘴板4。

其他构成与第一实施方式相同，故省略说明。此外，在本实施方式中，以使槽6的长度方向的一侧端部一致，使另一侧端部不一致的方式形成位于槽6的排列方向的至少一个端部的槽6的下表面开口8和其他槽6的下表面开口8。也可以以使长度方向(y方向)的另一侧(＋y方向侧)的端部相对于排列方向(x方向)一致，使另一侧(－y方向侧)的端部不一致的方式形成，还可以长度方向的两端部相对于排列方向不一致。其他构成与第一实施方式相同，故省略说明。

(第四实施方式)

图4是从与盖板3相反侧看本发明的第四实施方式所涉及的液体喷射头1的促动器基板2的俯视示意图。与第一实施方式的不同点是，非喷出槽6b的下表面开口8的宽度方向(x方向)宽度比喷出槽6a的下表面开口8的宽度方向宽度宽这一点，其他构成与第一实施方式相同。对相同部分或具有相同功能的部分附以相同符号。

如图4所示，非喷出槽6b的下表面开口8与喷出槽6a的下表面开口8的宽度方向宽度不同。更详细而言，非喷出槽6b的宽度方向宽度Wb比喷出槽6a的宽度方向宽度Wa宽。能够通过改变切割刀片的厚度并磨削促动器基板2而容易地变更喷出槽6a的槽宽和非喷出槽6b的槽宽。其他构成与第一实施方式相同，故省略说明。

由此，从促动器基板2的下表面LS侧看，能够容易地视觉辨认喷出槽6a和非喷出槽6b。其结果，能够使用光透射性的喷嘴板4，将喷嘴11与喷出槽6a容易地对位。或者，能够在确认下表面开口8的同时将喷嘴11容易地形成于光透射性的喷嘴板4。此外，在本实施方式中，与喷出槽6a的下表面开口8的宽度相比较宽地形成了非喷出槽6b的下表面开口8的宽度，但是也可以作为其替代，与喷出槽6a的下表面开口8的宽度相比较窄地形成非喷出槽6b的下表面开口8的宽度。另外，还可以以与其他位置的槽6的下表面开口8的宽度方向的宽度不同的方式形成位于排列方向的至少一个端部的槽6的下表面开口8的宽度方向宽度。

(第五实施方式)

图5是从与盖板3相反侧看本发明的第五实施方式所涉及的液体喷射头1的促动器基板2的俯视示意图。与第一实施方式的不同点是，喷出槽6a与非喷出槽6b的下表面开口8沿下表面开口8的长度方向(y方向)偏移这一点，其他构成与第一实施方式相同。对相同部分或具有相同功能的部分附以相同符号。

如图5所示，喷出槽6a的下表面开口8与非喷出槽6b的下表面开口8的长度方向长度相等，但喷出槽6a相对于非喷出槽6b，下表面开口8在长度方向(＋y方向)上的形成位置偏移。若预先使喷出槽6a沿＋y方向偏移，使非喷出槽6b沿－y方向或与其相反地偏移位置而形成，则从促动器基板2的下表面LS侧看，能够容易地视觉辨认喷出槽6a和非喷出槽6b。其结果，能够使用透光性的喷嘴板4，将喷嘴11与喷出槽6a容易地对位。或者，能够在视觉辨认下表面开口8的同时将喷嘴11容易地形成于透光性的喷嘴板4。

(第六实施方式)

图6是本发明的第六实施方式所涉及的液体喷射头1的截面示意图。图6(a)是喷出槽6a的长度方向的截面示意图，图6(b)是非喷出槽6b的长度方向的截面示意图。与第一实施方式的不同点是，为液体不循环的喷出方式这一点，其他构成与第一实施方式相同。对相同部分或具有相同功能的部分附以相同符号。

如图6所示，液体喷射头1具备促动器基板2、设置于促动器基板2的上表面US的盖板3、和设置于促动器基板2的下表面LS的喷嘴板4。促动器基板2被由压电体形成的细长的壁5隔开，交替地排列从基板的上表面US贯通至下表面LS，在面方向上细长的喷出槽6a和非喷出槽6b。盖板3以覆盖喷出槽6a以及非喷出槽6b的上表面开口7的方式设置于促动器基板2，具有对喷出槽6a供给液体的液体供给室9。喷嘴板4具备连通于喷出槽6a的喷嘴11，以覆盖喷出槽6a以及非喷出槽6b的下表面开口8的方式设置于促动器基板2。而且，在壁5的侧面，以与喷嘴板4分离的深度且沿壁5的长度方向带状地设置公用电极12a以及有源电极12b。而且，喷嘴板4与盖板3相比刚性较低。

喷出槽6a以及非喷出槽6b的形状、在促动器基板2中的形成位置等构造与第一实施方式同样。另外，在喷出槽6a的两侧面形成的公用电极12a、与公用电极12a电连接的公用端子16a、在非喷出槽6b的两侧面形成的有源电极12b、连接于有源电极12b的有源端子16b与第一实施方式相同。

盖板3在促动器基板2的另一侧具备液体供给室9，液体供给室9经由第二狭缝14b而连通于喷出槽6a，但不与非喷出槽6b连通。盖板3通过粘接剂粘接于促动器基板2的上表面US，喷嘴板4通过粘接剂粘接于促动器基板2的下表面LS。连通于喷出槽6a的喷嘴11形成于喷嘴板4。喷嘴11与喷出槽6a的长度方向中央相比位于一侧。此外，喷嘴11也可以是喷出槽6a的中央位置。供给于液体供给室9的液体经由第二狭缝14b而填充于喷出槽6a。液体喷射头1的驱动与第一实施方式相同，故省略说明。

另外，盖板3的刚性、杨氏模量、厚度、喷嘴板4的刚性、杨氏模量、厚度与第一实施方式相同。因此，即使喷嘴板4接触被记录介质也难以受损，能够防止干扰。另外，由于与喷嘴板4分离地形成公用电极12a以及有源电极12b，故从喷嘴11稳定地喷出液滴。

关于喷出槽6a以及非喷出槽6b的在促动器基板2的下表面LS开口的下表面开口8，与第一实施方式相同。因而，在将喷嘴板4粘贴于促动器基板2的下表面LS时，使用光透射性的膜作为喷嘴板4，从而能够使形成于喷嘴板4的喷嘴11的位置与促动器基板2的喷出槽6a容易地对位。或者，在将喷嘴板4粘贴在促动器基板2的下表面LS之后，能够容易地确定连通于喷出槽6a的喷嘴的位置。另外，关于喷出槽6a以及非喷出槽6b的下表面开口8，明显能够适用已经说明了的第二实施方式到第四实施方式。

(第七实施方式)

图7是本发明的第七实施方式所涉及的液体喷射装置30的示意性立体图。液体喷射装置30具备：使液体喷射头1、1’往复移动的移动机构40、对液体喷射头1、1’供给液体，从液体喷射头1、1’排出液体的流路部35、35’、连通于流路部35、35’的液体泵33、33’以及液体罐34、34’。各液体喷射头1、1’具备多个头芯片(head chip)，各头芯片具备多个通道，从连通于各通道的喷嘴喷出液滴。作为液体泵33、33’，设置对流路部35、35’供给液体的供给泵和在此之外排出液体的排出泵中的任一方或者双方。另外，有时也设置未图示的压力传感器、流量传感器，控制液体的流量。液体喷射头1、1’使用已经说明了的第一～第四实施方式中的任一个。

液体喷射装置30具备：沿主扫描方向输送纸等被记录介质44的一对输送部件41、42、将液体喷出至被记录介质44的液体喷射头1、1’、载置液体喷射头1、1’的滑架(carriage)单元43、将储存于液体罐34、34’的液体推压并供给至流路部35、35’的液体泵33、33’、和沿与主扫描方向正交的副扫描方向扫描液体喷射头1、1’的移动机构40。未图示的控制部控制并驱动液体喷射头1、1’、移动机构40、输送部件41、42。

一对输送部件41、42具备沿副扫描方向延伸，在接触辊面的同时旋转的栅格辊(grid roller)和夹送辊(pinch roller)。通过未图示的电动机使栅格辊与夹送辊绕轴转移并沿主扫描方向输送夹入在辊之间的被记录介质44。移动机构40具备沿副扫描方向延伸的一对导轨36、37、能够沿一对导轨36、37滑动的滑架单元43、连结滑架单元32并使其沿副扫描方向移动的无接头带38、和通过未图示的滑轮使该无接头带38旋转的电动机39。

滑架单元43载置多个液体喷射头1、1’，喷出例如黄、洋红、青、黑四种液滴。液体罐34、34’储存对应颜色的液体，经由液体泵33、33’、流路部35、35’对液体喷射头1、1’进行供给。各液体喷射头1、1’根据驱动信号喷出各色液滴。通过控制从液体喷射头1、1’喷出液体的定时、驱动滑架单元43的电动机39的旋转以及被记录介质44的输送速度，能够在被记录介质44上记录任意图案。

此外，虽然本实施方式是移动机构40使滑架单元43和被记录介质44移动并进行记录的液体喷射装置30，但是作为其替代，还可以是固定滑架单元，移动机构使被记录介质二维地移动并进行记录的液体喷射装置。即，移动机构是使液体喷射头与被记录介质相对地移动的机构即可。

符号说明

1 液体喷射头

2 促动器基板

3 盖板

4 喷嘴板

5 壁

6 槽、6a 喷出槽、6b 非喷出槽

7 上表面开口

8 下表面开口

9 液体供给室

10 液体排出室

11 喷嘴

12a 公用电极、12b 有源电极

14a 第一狭缝、14b 第二狭缝

15 活底部

16a 公用端子、16b 有源端子

30 液体喷射装置

LE 一侧的外周端、RE 另一侧的外周端、US 上表面、LS 下表面。

Claims (14)

1.一种液体喷射头，具备：

排列多个槽的促动器基板，所述槽从基板的上表面贯通至下表面，在面方向上为细长的；以及

以覆盖所述槽的下表面开口的方式设置于所述促动器基板的喷嘴板，

所述槽包含交替地排列的喷出槽和非喷出槽，所述喷出槽与所述非喷出槽的下表面开口的形状或下表面开口在长度方向上的形成位置不同。

2.根据权利要求1所述的液体喷射头，其中，所述非喷出槽的下表面开口与所述喷出槽的下表面开口的长度方向长度不同。

3.根据权利要求2所述的液体喷射头，其中，所述非喷出槽的下表面开口与所述喷出槽的下表面开口相比长度方向长度较长。

4.根据权利要求3所述的液体喷射头，其中，所述非喷出槽的下表面开口的一侧端部与所述喷出槽的下表面开口的一侧端部在长度方向上一致，所述非喷出槽的下表面开口的另一侧端部与所述喷出槽的下表面开口的另一侧端部相比在长度方向上较长。

5.根据权利要求2所述的液体喷射头，其中，所述非喷出槽的下表面开口与所述喷出槽的下表面开口相比长度方向长度较短。

6.根据权利要求5所述的液体喷射头，其中，所述非喷出槽的下表面开口的一侧端部与所述喷出槽的下表面开口的一侧端部在长度方向上一致，所述非喷出槽的下表面开口的另一侧端部与所述喷出槽的下表面开口的另一侧端部相比在长度方向上较短。

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的液体喷射头，其中，在所述槽所排列的方向上，位于至少一个端部的所述槽的下表面开口与其他位置的所述槽的下表面开口的长度方向长度不同。

8.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其中，所述非喷出槽的下表面开口与所述喷出槽的下表面开口的宽度方向宽度不同。

9.根据权利要求8所述的液体喷射头，其中，所述非喷出槽的下表面开口与所述喷出槽的下表面开口相比宽度方向宽度较宽。

10.根据权利要求8所述的液体喷射头，其中，所述非喷出槽的下表面开口与所述喷出槽的下表面开口相比宽度方向宽度较窄。

11.根据权利要求2或3所述的液体喷射头，其中，所述非喷出槽位于所述槽所排列的方向的端部。

12.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，具备以部分地覆盖所述槽的上表面开口的方式设置于所述促动器基板的盖板。

13.根据权利要求12所述的液体喷射头，其中，所述喷嘴板由光透射性的膜构成。

14.一种液体喷射装置，具备：

权利要求1所述的液体喷射头；

使所述液体喷射头与被记录介质相对地移动的移动机构；

对所述液体喷射头供给液体的液体供给管；以及

对所述液体供给管供给所述液体的液体罐。

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