JP2007152624A - インクジェット記録装置、インクジェットヘッド、インクジェットヘッドチップ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】容易にノズルの狭ピッチ化を実現し、製造工程を減少すると共に製造コストを低減した高解像度のインクジェットヘッド及び製造方法を提供する。
【解決手段】第一１アクチュエーターエリアと第二アクチュエーターエリアの同一溝を溝の中央部で仕切り板２５により分割し、チャンバ１７とダミーチャンバ１８を形成し、各チャンバ１７の底部には千鳥並列にインク吐出孔２４が設けられ、インク吐出孔２４に対応して配置されたノズル開口２６が形成されたノズルプレート２７が接合されている。 また、隣り合うダミーチャンバ１８の間に挟まれたチャンバ1７を跨いで個別電極２０ａを相互に導通させる個別電極用配線パターン８１と、チャンバ１７の後端部近傍にチャンバ１７内の各共通電極２０ａと導通して個別電極配線パターンパターン８１と導通しないように設けられた共通電極配線パターン８０が設けられている。
【選択図】図２

Description

本発明は、圧電セラミックスのせん断モードを利用し導電性インクを用いた例えば、プリンタ、ファックスなどに適用されるインクジェット記録装置に搭載されるインクジェットヘッド及びその製造方法に関する。

従来より、インクを吐出する複数のノズルを有するインクジェットヘッドを用いて被記録媒体に文字や画像を記録するインクジェット式記録装置が知られている。かかるインクジェット式記録装置では、インクジェットヘッドのノズルが被記録媒体に対向するようにヘッドホルダに設けられ、このヘッドホルダはキャリッジに搭載され被記録媒体の搬送方向とは直交する方向に走査されるようになっている。

先ず、非導電性インク仕様のインクジェットヘッドチップの一例の斜視図を図７に、分解概略を図８に、要部断面を図９に示す。また、導電性インク仕様のインクジェットヘッドチップの断面概略を図１０に示す。図８及び図９に示すように、圧電セラミックスプレート１０１には、複数の溝１０２が並設され、各溝１０２は、側壁１０３で分離されている。各溝１０２の長手方向一端部は圧電セラミックスプレート１０１の一端面まで延設されており、他端部は、他端面までは延びておらず、深さが徐々に浅くなっている。また、各溝１０２内の両側壁１０３の開口側表面には、長手方向に亘って、駆動電界印加用の電極１０５が形成されている。

また、圧電セラミックスプレート１０１の溝１０２の開口側には、カバープレート１０７が接着剤１０９を介して接合されている。カバープレート１０７には、各溝１０２の浅くなった他端部と連通する凹部となる共通インク室１１１と、この共通インク室１１１の底部から溝１０２とは反対方向に貫通するインク供給口１１２とを有する。

また、圧電セラミックスプレート１０１とカバープレート１０７との接合体の溝１０２が開口している端面には、ノズルプレート１１５が接合されており、ノズルプレート１１５の各溝１０２に対向する位置にはノズル開口１１７が形成されている。

なお、圧電セラミックスプレート１０１のノズルプレート１１５とは反対側でカバープレート１０７とは反対側の面には、配線基板１２０が固着されている。配線基板１２０には、各電極１０５とボンディングワイヤ１２１等で接続された配線パターン１２２が形成され、この配線パターン１２２を介して電極１０５に駆動電圧を印加できるようになっている。

このように構成されるインクジェットヘッドチップでは、インク供給口１１２から各溝１０２内にインクを充填し、所定の溝１０２の両側の側壁１０３に電極１０５を介して所定の駆動電界を作用させると、側壁１０３が変形して所定の溝１０２内の容積が変化し、これにより、溝１０２内のインクがノズル開口１１７から吐出する。

例えば、図９に示すように、溝１０２ａに対応するノズル開口１１７からインクを吐出する場合には、その溝１０２ａ内の電極１０５ａ，１０５ｂに正の駆動電圧を印加すると共にそれぞれに対向する電極１０５ｃ，１０５ｄを接地するようにする。これにより、側壁１０３ａ，１０３ｂには溝１０２ａに向かう方向の駆動電界が作用し、これが圧電セラミックスプレート１０１の分極方向と直交すれば、圧電厚みすべり効果により側壁１０３ａ，１０３ｂが溝１０２ａ方向に変形し、溝１０２ａ内の容積が減少して圧力が増加し、ノズル開口１１７からインクが吐出する。このようなインクジェットヘッドチップに水性インク等の導電性インクを使用した場合、一つの溝１０２ａ内の側壁１０３ａ，１０３ｂに設けられた隣り合う電極１０５ａ，１０５ｂが導通してしまい、電位差が無くなることによって側壁１０３ａ，１０３ｂが変形しなくなり、インクを吐出できない。

そのため、図１０（a）に示すように、水性インク仕様のインクジェットヘッドチップ１３６はマニホールド１３５に連通してインクを充填しノズル開口１３２からインクを吐出するチャンバ１３３と、マニホールド１３５に連通せずインクを充填しないダミーチャンバ１３４を一溝置きに設けている。そして、チャンバ１３３の両側壁の内面に設けられた電極を全てのチャンバ１３３で同電位とする共通電極とすると共にダミーチャンバ１３４の両側壁の電極を選択的に駆動する個別電極とすることでチャンバ１３３の両側の側壁に電界を印加してインクを吐出させる構造が採用されている。しかし、ノズル間ピッチが広くなってしまい解像度が低下してしまうという問題が生じ、例えば図１０（ｂ）に示すように、分極方向の異なる圧電セラミックプレート１４０ａと１４０ｂとを積層したシェブロン基板１４０を用いたインクジェットヘッドチップを、チャンバ１３３とダミーチャンバ１３４とを半ピッチずらし貼り合せる構造も提案されている。
特開平９−６６６０４号公報 特開２００２−０１１８８７号公報

しかしながら、以上に述べた従来の貼り合せインクジェットヘッドにはインク導入用の流路を表裏にそれぞれ取り付けなければならず、製造工程が複雑になってしまう。或いは、尾部に共通のインク導入口を設ける構造も提案されているが、電極を三次元的に引き回し、圧電セラミックスプレート上に接続される配線パターンをレーザー加工によって形成しており、接続した配線がレーザー加工により発生した電極屑で他の電極パターンと短絡して正常な駆動ができないという問題がある。

さらに、貼り合せた事によりヘッドチップ駆動時の熱が重複され放熱しにくい構造のため、昇熱を抑えるために圧電セラミックスプレートを分極方向の異なる２枚のウエハーを貼り合せるシェブロン構造を採用しなければならず、製造時間や製造コストが増大してしまうという問題がある。

本発明はこのような事情に鑑み、容易にノズルの狭ピッチ化を実現し、製造工程を減少すると共に製造コストを低減した高解像度のインクジェットヘッド及びその製造方法を提供することを課題とするものである。

上記目的を解決する本発明の第１の課題解決手段は、インク吐出孔に連通しインクが充填される複数のチャンバとインクの充填されない複数のダミーチャンバとを交互に並設した基板と、前記基板の前記チャンバの開口面に接合されたカバープレートと、前記各チャンバ及びダミーチャンバの両側の側壁に設けられた電極と、を有し、前記電極に駆動電界を印加してインクを吐出するインクジェットヘッドチップにおいて、前記交互に並設されたチャンバおよびダミーチャンバが第一のアクチュエーターエリアと、第二のアクチュエーターエリアを形成しており、前記第一のアクチュエーターエリアのチャンバと前記第二のアクチュエーターエリアのダミーチャンバ又は、前記第一のアクチュエーターエリアのダミーチャンバと前記第二のアクチュエーターエリアのチャンバが、分割部を境として長手方向で直線状に並んでおり、前記チャンバ内底部にインク吐出孔を設けたことを特徴とするインクジェットヘッドチップにある。

また、本発明の第２の課題解決手段は、前記チャンバの長手方向の長さは、前記ダミーチャンバの長手方向の長さより短いことを特徴とするインクジェットヘッドにある。

また、本発明の第３の課題解決手段は、前記チャンバ内の電極を共通電極とし、前記ダミーチャンバ内の電極を個別電極とし、前記チャンバの後端部には前記共通電極にそれぞれ連通する共通電極用配線パターンが設けられ、前記ダミーチャンバの後端部には前記各チャンバに対応する個別電極を導通する個別電極用配線パターンが設けられていることを特徴とするインクジェットヘッドチップにある。
また、本発明の第４の課題解決手段は前記基板には、前記インク吐出孔に対応して配置された複数のノズルを有するノズルプレートが接合されていることを特徴とするインクジェットヘッドチップにある。

また、本発明の第５の課題解決手段は、前記基板は圧電セラミックプレートであって、前記チャンバの深さ方向に向かって分極方向が一方向であることを特徴とするインクジェットヘッドチップにある。

また、本発明の第６の課題解決手段は、前記チャンバにインクを供給するインク供給路と、前記電極に駆動電界を印加する駆動回路と、前記解決手段のインクジェットヘッドチップと、からなるインクジェットヘッドにある。

また、本発明の第７の課題解決手段は、前記個別電極用配線パターンと前記共通電極用配線パターンには引き出し配線が異方性導電性接着剤により前記駆動回路に接続されていること特徴とするインクジェットヘッドにある。

また、本発明の第８の課題解決手段は、前記カバープレートには、前記インク供給路と連通するインク導入口が前記各チャンバに対応して設けられインクを供給することを特徴とするインクジェットヘッド。

また、本発明の第９の課題解決手段は、前記インクが導電性インクであることを特徴とするインクジェットヘッドにある。
また、本発明の第１０の課題解決手段は、前記課題解決手段からなるインクジェットヘッドと、前記インク供給路に連通し、前記インクジェットヘッドにインクを供給するインク貯留部と、被記録媒体を搬送する被記録媒体搬送部と、からなるインクジェット記録装置にある。

また、本発明の第１１の課題解決手段は、基板に、インク吐出孔に連通しインクが充填される複数のチャンバとインクの充填されない複数のダミーチャンバとを交互に並設する工程と、前記各チャンバ及びダミーチャンバの両側の側壁に電極を設ける工程と、前記基板の前記チャンバの開口面にカバープレートを接合する工程と、からなるインクジェットヘッドチップの製造方法において、前記基板の一方面にレジスト層を形成する工程と、該レジスト層に第一アクチュエーターエリアと第二アクチュエーターエリアの前記ダミーチャンバの一端部となる位置に第１開口及び前記チャンバの一端と前記第１開口との間のそれぞれに第２の開口を形成する工程と、前記基板に前記チャンバ及び前記ダミーチャンバを形成する工程と、前記チャンバ及び前記ダミーチャンバの側壁に前記電極を形成すると共に前記第１開口により露出した前記基板上に前記個別電極と連続する前記個別電極用配線パターンと前記第２開口により露出した前記基板上に前記共通電極と連続する前記共通電極用配線パターンとを形成する工程と、前記レジスト層を除去する工程と、を有することを特徴とするインクジェットヘッドチップの製造方法にある。

かかる本発明では、第一アクチュエーターエリアのチャンバと第二アクチュエーターエリアのダミーチャンバを１本の溝として同時に加工するため、位置ズレを生じること無く形成することができる。

また、基板上に各配線パターンをパターニングにより形成するため、レーザー電極分割による電極屑が発生すること無く個別電極用及び共通電極パターンに配線を容易に且つ確実に接続することができる。

また、駆動時の蓄熱が抑えられるため、圧電セラミックプレートはシェブロン構造を必要としない。

上述したように本発明のインクジェットヘッド及びその製造方法は、容易にノズルの狭ピッチ化を実現し、製造工程を減少すると共に製造コストを低減した高解像度のインクジェットヘッド及びその製造方法を提供することができる。

以下、本発明の実施の形態に基づいて本発明を詳細に説明する。勿論、本発明はこれに限定されるものでないことは言うまでもない。

図１はインクジェットヘッドチップユニットの分解斜視図であり、図２はインクジェットヘッドチップの分解斜視図であり、図３はインクジェットヘッドチップの断面図である。

図１に示すように、インクジェットヘッドチップユニット１０は、インクジェットヘッドチップ１１と、このインクジェットヘッドチップ１１の両側の電極パターン１２に接続されるフレキシブレケーブル１４と、インクジェットヘッドチップ１１を駆動するための駆動回路３１が搭載されたプリント基板３０とを有する。

まず、インクジェットヘッドチップ１１について詳しく説明する。図２及び図３に示すように、インクジェットヘッドチップ１１を構成する基板である圧電セラミックプレート１６は分極方向が厚さ方向に向かって一方向の圧電セラミックプレート１６とインク導入孔２３を有するカバープレート２２からなり、インクを吐出するノズル開口２６に連通して圧力室であるチャンバ１７と、インクが充填されないダミーチャンバ１８とが側壁１９により交互に設けられている。第一アクチュエーターエリア４０のチャンバ１７と第二アクチュエーターエリア４１のダミーチャンバ１８、第一アクチュエーターエリア４０のダミーチャンバ１８と第二アクチュエーターエリア４１のチャンバ１７は同一溝で延設されている。すなわち、第一アクチュエーターエリア４０のチャンバ１７の長手方向に延長された溝は中央部で分割され、分割部である仕切り板２５により第二アクチュエーターエリア４１ではダミーチャンバ１８となるように形成されている。

チャンバ１７は圧電セラミックプレート１６の端面まで延設されておらず、ダミーチャンバ１８は、公知の斜方蒸着等で形成される個別電極２０ｂが該ダミーチャンバ底で短絡されない任意の深さで延設されている。このため、チャンバ１７の長手方向の長さよりも、ダミーチャンバの長手方向の長さの方が長くなっている。

また、チャンバ１７及びダミーチャンバ１８を区画する側壁１９には、長手方向に亘って駆動電界用の電極２０が形成されている。チャンバ１７の内面に設けられた電極２０は導電性インクの場合、導通してしまうと共に電極材料の溶出、腐食などを防止するため各チャンバ１７内で同電位となる共通電極２０ａとなっている。ダミーチャンバ１８の開口側の長手方向に亘って設けられた電極２０は独立した電気信号与えることができる個別電極２０ｂとなっている。

さらに、圧電セラミックプレート１６のチャンバ１７及びダミーチャンバ１８が開口する表面には、隣り合うダミーチャンバ１８の間に挟まれたチャンバ1７を跨いで個別電極２０ｂを相互に導通させる個別電極用配線パターン８１と、チャンバ１７の後端部近傍にチャンバ１７内の各共通電極２０ａと導通して個別電極配線パターン８１と導通しないように設けられた共通電極配線パターン８０が設けられている。この共通電極配線パターン８０及び個別電極配線パターンパターン８１には、回路基板３０上の駆動回路３１とフレキシブルプリントケーブル１４を介して接続されて動信号が与えられるようになっている。

このような圧電セラミックプレート１６のチャンバ１７の開口面にはカバープレート２２が接合されている。カバープレート２２は各チャンバ１７の浅くなった端部のみと連通するインクインク供給口２３を有している。

また、第一アクチュエーターエリア４０と第二アクチュエーターエリア４１の同一溝で延設されているチャンバ１７とダミーチャンバ１８は仕切り板２５によりダミーチャンバ１８にはインクが供給されないようにしている。

また、圧電セラミックプレート１６の第一アクチュエーターエリア４０と第二アクチュエーターエリア４１の各チャンバ１７の底部には千鳥並列にインク吐出孔２４が設けられ、インク吐出孔２４に対応して配置されたノズル開口２６が形成されたノズルプレート２７が接合されている。

ここで、本実施形態のインクジェットヘッドの製造方法について詳細に説明する。図４−１及び図４−２は圧電セラミックプレートの配線パターン部分及びアクチュエーターの製造工程を示す要部斜視図であり、図５はインクジェットヘッドユニットの組み立て工程を示す概略斜視図である。

まず、図４−１(ａ)に示すように、チャンバが形成される位置の圧電セラミックプレート１６にＹＡＧレーザーでインク吐出孔２４を明け、一方面にレジスト層９０を形成する。

次に、共通電極用配線パターン及び個別電極用配線パターンとなる位置に露光マスクを用いて露光し、現像することにより、図４−１(ｂ)に示すように、開口部９１と９２のみレジスト層９０を除去する。

次に、図４−１(ｃ)に示すように、圧電セラミックプレート１６にレジスト層９０側からレジスト層９０ごと円盤状のダイスカッターで切削加工し、チャンバ及びダミーチャンバとなる溝９３を形成する。

次に、圧電セラミックプレート１６のレジスト層９０側の露出した開口部９１と９２及びレジスト層９０に電極層を形成する。電極層は、本実施形態では、レジスト層９０側から斜方蒸着することにより形成した。この斜方蒸着により圧電セラミックプレート１６の一方面の全ての領域に電極層が形成されると共に、ダイスカッターで切削加工した溝９３の側壁にも長手方向に亘って電極層が形成される。また、溝９３の浅く形成された端部は底面まで電極層が形成されるが、溝９３が延設されたもう一方の端部は側壁のみ電極層が形成される。

その後、レジスト層９０を除去することでレジスト層９０面に蒸着された電極層のみ剥離され、図４−２(ｄ)に示すように、レジスト層９０を露光、現像して露出した開口部９１及び９２の圧電セラミックプレート１６の表面に残留した電極層は、それぞれ共通電極配線パターン８０及び個別電極配線パターン８１となる。また、溝９３が浅く形成された端部の底面に残留した電極層は共通電極配線パターン８０と接続され、溝９３が延設されたもう一方の端部の側壁の電極層は個別電極配線パターン８１と接続される。

このように、底面及び側壁の電極２０と、共通電極配線パターン８０及び個別電極配線パターン８１を同時に形成することにより、共通電極２０ａと共通電極配線パターン８０、個別電極２０ｂと個別電極配線パターン８１とを容易に且つ確実に導通形成することができる。また、溝９３が延設された隣り合う端部同士の側壁の電極を浅く形成された溝を跨いで圧電セラミックプレート１６上で容易に且つ確実に導通形成することができる。

次に、溝９３の長手方向の中央部を溝９３と直行方向からダイスカッターで溝９３の底部まで切削し、図４−２(ｄ)に示すように仕切り板２５を挿入接合することによりチャンバ１７及びダミーチャンバ１８に分割され、第一アクチュエーターエリア４０と第二アクチュエーターエリア４１が形成される。

その後、圧電セラミックプレート１６の共通電極配線パターン８０及び個別電極配線パターン８１の形成された側の面にカバープレート２２を接合し、圧電セラミックプレート１６の裏面にノズルプレートを接合することでインクジェットヘッドチップが完成する。

次に、図５に示すように、インクジェットヘッドチップ１１の第一及び第二アクチュエーターエリアの電極配線パターン１２に、それぞれ異方性導電性接着剤として異方性導電性フィルム１３を図示しない熱圧着機で仮圧着し、フレキシブルプリントケーブル１４の電極配線パターン２８(ａ)をヘッドチップ１１の電極配線パターン１２に位置合わせして熱圧着機で本圧着する。この時、異方性導電性フィルム１３の仮圧着はフレキシブルプリントケーブル１４の電極配線パターン２８(ａ)側でも良い。

次に、インク供給路である流路１５をインクジェットヘッドチップ１１のカバープレート２２に接合する。

次に、駆動回路を設けたプリント基板３０の電極配線パターン３４に、それぞれ異方性導電性フィルム３３を熱圧着機で仮圧着し、フレキシブルプリントケーブル１４の電極配線パターン２８(ｂ)にプリント基板３０の電極配線パターン３４を位置合わせして熱圧着機で本圧着する。この時、異方性導電性フィルム３３の仮圧着はフレキシブルプリントケーブル１４の電極配線パターン２８(ｂ)側でも良いことは言うまでもない。

次に、流路１５のインレット３２をインクチューブ３５の一方に挿入して、インクチューブ３５のもう一方にジョイント３６を挿入して、これらをヘッドケース３７に収納固定することでインクジェットヘッド５０が完成する。

また、このように形成されたインクジェットヘッドは、例えば、インクジェット式記録装置に装備されて使用される。この使用態様の一例の概略を図６に示す。

図６に示すように、インクジェットヘッド５０は、一対のガイドレール６２ａ，６２ｂ上の軸方向に移動自在なキャリッジ６１に搭載されており、インクチューブ７１を介してインクカートリッジ７０からインクを供給し、ガイドレール６２ａ，６２ｂの一端側に設けられてキャリッジ駆動モータ６３に連結されたプーリ６４ａと、他端側に設けられたプーリ６４ｂとに掛け渡されたタイミングベルト６５を介して搬送される。インクジェットヘッド５０の搬送方向と直交する方向の両側には、ガイドレール６２ａ，６２ｂに沿ってそれぞれ一対の搬送ローラ６６及び６７が設けられている。これらの搬送ローラ６６，６７は、インクジェットヘッド５０の下方に当該インクジェットヘッド５０の搬送方向とは直交する方向に被記録媒体Ｓを搬送するものである。

このようなインクジェット式記録装置により、被記録媒体Ｓを送りつつインクジェットヘッド５０をその送り方向とは直交方向に走査することにより、被記録媒体Ｓ上に文字及び画像を記録することができる。

本発明に係るインクジェットヘッドチップユニットの分解斜視図である。 本発明に係るインクジェットヘッドチップの斜視図である。 本発明に係るインクジェットヘッドチップの断面図である。 本発明に係る圧電セラミックプレートの配線パターン部分及びアクチュエーターの製造工程を示す要部斜視図である。 本発明に係る圧電セラミックプレートの配線パターン部分及びアクチュエーターの製造工程を示す要部斜視図である。 本発明に係るインクジェットヘッドユニットの組み立て工程を示す斜視図である。 本発明に係るインクジェット式記録装置の概略を示す斜視図である。 従来技術に係るインクジェットチップの概略を示す斜視図である。 従来技術に係るインクジェットチップの概略を示す断面図である。 従来技術に係るインクジェットチップの概略を示す断面図である。 従来技術に係るインクジェットチップの概略を示す断面図である。

符号の説明

１０ インクジェットヘッドチップユニット
１１ インクジェットヘッドチップ
１２ 電極
１３ 異方性導電性フィルム
１４ フレキシブルプリントケーブル
１６ 圧電セラミックプレート（基板）
１７ チャンバ
１８ ダミーチャンバ
２５ 仕切り板（分割部）
２７ ノズルプレート
４０ 第一アクチュエーターエリア
４１ 第二アクチュエーターエリア
３８ インクジェットヘッド
８０ 共通電極配線パターン
８１ 個別電極配線パターン
２５ ノズルキャップユニット
１４０ シェブロン基板

Claims (11)

1. インク吐出孔に連通しインクが充填される複数のチャンバとインクの充填されない複数のダミーチャンバとを交互に並設した基板と、
   前記基板の前記チャンバの開口面に接合されたカバープレートと、
   前記各チャンバ及びダミーチャンバの両側の側壁に設けられた電極と、を有し、
   前記電極に駆動電界を印加してインクを吐出するインクジェットヘッドチップにおいて、
   前記交互に並設されたチャンバおよびダミーチャンバが第一のアクチュエーターエリアと、第二のアクチュエーターエリアを形成しており、前記第一のアクチュエーターエリアのチャンバと前記第二のアクチュエーターエリアのダミーチャンバ又は、前記第一のアクチュエーターエリアのダミーチャンバと前記第二のアクチュエーターエリアのチャンバが、分割部を境として長手方向で直線状に並んでおり、前記チャンバ内底部にインク吐出孔を設けたことを特徴とするインクジェットヘッドチップ。
2. 前記チャンバの長手方向の長さは、前記ダミーチャンバの長手方向の長さより短いことを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドチップ。
3. 前記チャンバ内の電極を共通電極とし、前記ダミーチャンバ内の電極を個別電極とし、前記チャンバの後端部には前記共通電極にそれぞれ連通する共通電極用配線パターンが設けられ、前記ダミーチャンバの後端部には前記各チャンバに対応する個別電極を導通する個別電極用配線パターンが設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載のインクジェットヘッドチップ。
4. 前記基板には、前記インク吐出孔に対応して配置された複数のノズルを有するノズルプレートが接合されていることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドチップ。
5. 前記基板は圧電セラミックプレートであって、前記チャンバの深さ方向に向かって分極方向が一方向であることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドチップ。
6. 前記チャンバにインクを供給するインク供給路と、前記電極に駆動電圧を印加する駆動回路と、請求項１から５のいずれか１つに記載のインクジェットヘッドチップと、からなるインクジェットヘッド。
7. 前記個別電極用配線パターンおよび前記共通電極用配線パターンは、異方性導電性接着剤により前記駆動回路に接続されていること特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッド。
8. 前記カバープレートには、前記インク供給路と連通するインク導入口が前記各チャンバに対応して設けられインクを供給することを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッド。
9. 前記インクが導電性インクであることを特徴とする請求項６記載のインクジェットヘッド。
10. 請求項６から９のうちいずれか１項記載のインクジェットヘッドと、
    前記インク供給路に連通し、前記インクジェットヘッドにインクを供給するインク貯留部と、被記録媒体を搬送する被記録媒体搬送部と、からなるインクジェット記録装置。
11. 基板に、インク吐出孔に連通しインクが充填される複数のチャンバとインクの充填されない複数のダミーチャンバとを交互に並設し、前記各チャンバ及びダミーチャンバの両側の側壁に電極を設けたインクジェットヘッドチップの製造方法において、
    前記基板の一方面にレジスト層を形成する工程と、
    前記レジスト層の第一アクチュエーターエリアと第二アクチュエーターエリアの前記ダミーチャンバの一端部となる位置に第１開口を形成し、前記チャンバの一端と前記第１開口との間に第２の開口を形成する工程と、
    前記基板に前記チャンバ及び前記ダミーチャンバを形成する工程と、
    前記チャンバ及び前記ダミーチャンバの側壁に前記電極を形成すると共に前記第１開口により露出した前記基板上に前記個別電極と連続する前記個別電極用配線パターンと前記第２開口により露出した前記基板上に前記共通電極と連続する前記共通電極用配線パターンとを形成する工程と、
    前記レジスト層を除去する工程と、を有することを特徴とするインクジェットヘッドチップの製造方法。

Images