CN104553325A - 液体喷射头和液体喷射装置 - Google Patents

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Abstract

液体喷射头(1)包括第一压电体基板(2a)和不透明基板。第一压电体基板(2a)具有：在表面的基准方向(K)以相同间距(P)排列的n个(n为1以上的整数)排放槽(3)；相对于排放槽(3)偏离半个间距(P/2)交替排列的(n＋1)个非排放槽(4)。不透明基板接合在第一压电体基板(2a)的表面，具有板厚方向贯通且在基准方向(K)排列的(j＋n＋k)个(j、k分别为1以上的整数)贯通孔(8)。此处，n个贯通孔(8)分别与n个排放槽(3)分别连通，由n个贯通孔(8)构成的孔列(R)的位于一端侧的j个贯通孔(8a)和位于另一端侧的k个贯通孔(8b)与排放槽(3)不连通。从而使压电体基板与不透明基板之间的位置对齐容易。

Description

液体喷射头和液体喷射装置
技术领域
本发明涉及向被记录介质喷射液滴并进行记录的液体喷射头和液体喷射装置。
背景技术
近年来，利用如下的喷墨方式的液体喷射头：向记录纸等排放墨滴并记录字符、图形；或者向元件基板的表面排放液体材料来形成功能性薄膜。该方式将墨、液体材料等液体从液体罐经由供给管引导至通道，向在通道填充的液体施加压力，并从与通道连通的喷嘴排放液体。在排放液体时，移动液体喷射头、被记录介质来记录字符、图形；或者形成预定形状的功能性薄膜。
专利文献1记载了这种液体喷射头。图8是专利文献1所记载的液体喷射头的分解立体图。液体喷射头201包括：压电体基板202；接合在压电体基板202的表面SF的盖板203；接合在压电体基板202的前端FE的喷嘴板216。在压电体基板202的表面SF，虚设通道212与排放通道211交替排列。盖板203包括液体供给室214和与排放通道211连通的狭缝215，狭缝215仅与排放通道211连通，不与虚设通道212连通。喷嘴板216包括喷嘴217，喷嘴217与在前端FE开口的排放通道211连通。排放通道211与虚设通道212由分隔壁206分离，在分隔壁206的侧面形成驱动电极207。驱动电极207与在压电体基板202的后端RE附近的表面SF形成的电极端子电连接。在后端RE附近的表面SF连接有柔性电路基板204，从外部供给驱动信号。供给至液体供给室214的液体经由狭缝215流入至排放通道211。若向驱动电极207提供驱动信号则分隔壁206变形，排放通道211的容积急剧变化并从喷嘴217排放液滴。
专利文献2记载了通道内的液体进行循环的流通类型的液体喷射头。流通类型在液体中混入有气泡、异物的情况下，也能够将其迅速排出至通道外。因此，不使用罩结构、服务站就能够实施维护，能够减少维护时的液体的消耗量，抑制运行成本。进一步，能够将由于排放不良而浪费地消耗的被记录介质抑制在最小限度。
图9是专利文献2所示的液体喷射头的分解立体图。液体喷射头包括：将2枚压电元件重叠而构成3个流路90、92、94的PZT片88、89；形成与流路90和流路94连通的开口，阻塞流路92的掩模板100；跨流路92形成使流路90和流路94连通的开口部的开口板66；形成与开口板66的开口部连通的喷嘴102的喷嘴板64。液体如箭头52所示，从流路90经过开口板66的开口部流至流路94。即，液体在流路92的周围循环。在2个壁96、98的流路92侧的侧面设有线电极，在流路90、94侧的侧面设有接地电极，利用这些电极来驱动壁96、98，从而从喷嘴102排放出小液滴。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2012-101437号公报；
专利文献2：日本特表2003-505281号公报。
发明内容
本发明要解决的问题
近年来，排放通道211、虚设通道212的槽宽度、槽间隔变小，为100μm～20μm。因此，例如在专利文献1的液体喷射头中，需要将喷嘴板216的喷嘴217与在前端FE开口的排放通道211高精度位置对齐。特别是，在使用例如金属板等的不透明材料作为喷嘴板216的情况下，在将喷嘴板216接合在前端FE时，不能通过喷嘴板216目视到排放通道211，难以准确进行位置对齐。例如，若喷嘴板216与压电体基板202以外形为基准进行位置对齐，则位置精度会下降。另外，即使欲通过喷嘴217与在前端FE开口的排放通道211对齐，也不能区别出通过喷嘴217目视的开口是排放通道211的开口还是虚设通道212的开口。
同样的问题在压电体基板202的表面SF形成的排放通道211设置盖板203的情况下也会发生。由于盖板203通常不透明，因此在接合在表面SF时不能通过盖板203目视到排放通道211、虚设通道212。因此，在与通过狭缝215能看到的槽校准的情况下，有时不能区别出通过狭缝215看到的槽是排放通道211还是虚设通道212。
另外，在专利文献2所记载的液体喷射头中，由于使用掩模板100、开口板66和喷嘴板64成为液体循环型，因此构成要素多，各板的位置对齐变得极其麻烦。另外，若欲将这些构成要素以外形为基准贴合在PZT片88、89，则难以高精度位置对齐。
用于解决问题的方案
本发明的液体喷射头包括：第一压电体基板，所述第一压电体基板具有在表面的基准方向以相同间距P排列的n个(n为1以上的整数)排放槽、和相对于所述排放槽偏离半个间距(P/2)而与所述排放槽交替排列的(n＋1)个非排放槽；不透明基板，所述不透明基板接合在所述第一压电体基板的表面，具有板厚方向贯通且在基准方向排列的(j＋n＋k)个(j、k分别为1以上的整数)贯通孔，n个所述贯通孔分别与n个所述排放槽分别连通，由与所述排放槽连通的n个所述贯通孔构成的孔列的位于一端侧的j个所述贯通孔和位于另一端侧的k个所述贯通孔、与所述排放槽不连通。
另外，所述孔列的位于一端侧的j个所述贯通孔的配置在第j个的所述贯通孔、与所述孔列的配置在第1个的所述贯通孔相隔所述间距P或者所述半个间距(P/2)，所述孔列的配置在第n个所述贯通孔、与所述孔列的位于另一端侧的k个所述贯通孔的配置在第1个的所述贯通孔相隔所述间距P或者所述半个间距(P/2)。
另外，所述孔列的位于一端侧的j个所述贯通孔和位于另一端侧的k个所述贯通孔在与基准方向K正交且与所述不透明基板的基板面平行的方向，设置在与所述非排放槽朝向所述不透明基板侧开口的开口区域的范围重叠的位置。
另外，所述不透明基板是n个所述贯通孔由n个喷嘴构成的喷嘴板。
另外，还包括具有n个喷嘴的喷嘴板，所述喷嘴板的n个所述喷嘴分别与n个所述贯通孔分别连通，所述喷嘴板接合在所述不透明基板的与所述第一压电体基板的相反侧。
另外，述排放槽和所述非排放槽设置在所述第一压电体基板的上表面，所述不透明基板是具有与n个所述贯通孔连通的液腔，并接合在所述上表面的盖板。
另外，n个所述排放槽和(n＋1)个所述非排放槽在所述第一压电体基板的侧面开口。
另外，还包含第二压电体基板，所述第二压电体基板具有：在表面的基准方向以相同的所述间距P排列的n个排放槽、和相对于所述排放槽偏离半个间距(P/2)而与所述排放槽交替排列的(n＋1)个非排放槽，所述第一压电体基板和所述第二压电体基板使各所述压电体基板的侧面为同一面，使与所述上表面的相反侧的下表面彼此对置且一体地构成，所述贯通孔使在所述第一压电体基板的侧面开口的排放槽、与在所述第二压电体基板的侧面开口的排放槽连通。
另外，还包括：第一盖板，所述第一盖板具有第一液腔、和与所述第一液腔连通的n个狭缝；第二盖板，所述第二盖板具有第二液腔、和与所述第二液腔连通的n个狭缝，所述第一盖板的n个所述狭缝分别与n个所述排放槽分别连通，所述第一盖板接合在所述第一压电体基板的上表面，所述第二盖板的n个所述狭缝分别与n个所述排放槽分别连通，所述第二盖板接合在所述第二压电体基板的上表面。
另外，n个所述排放槽和(n＋1)个所述非排放槽在所述第一压电体基板的上表面和与所述上表面的相反侧的下表面开口。
本发明的液体喷射装置包括：上述的液体喷射头；移动机构，使所述液体喷射头与被记录介质相对移动；液体供给管，向所述液体喷射头供给液体；以及液体罐，向所述液体供给管供给所述液体。
发明效果
本发明所涉及的液体喷射头包括：第一压电体基板，具有在表面的基准方向以相同间距P排列的n个(n为1以上的整数)排放槽、和相对于排放槽偏离半个间距(P/2)而与排放槽交替排列的(n＋1)个非排放槽；以及不透明基板，接合在第一压电体基板的表面，具有板厚方向贯通且在基准方向排列的(j＋n＋k)个(j、k分别为1以上的整数)贯通孔，n个贯通孔分别与n个排放槽分别连通，由与排放槽连通的n个贯通孔构成的孔列的位于一端侧的j个所述贯通孔和位于另一端侧的k个贯通孔、与排放槽不连通。由此，由于能够根据通过一端侧的j个贯通孔和另一端侧的k个贯通孔看到的第一压电体基板的表面状态，来决定第一压电体基板的n个排放槽与不透明基板的n个贯通孔之间的位置，因此，2个基板的位置对齐变得极其容易。
附图说明
图1是用于说明本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头的图；
图2是用于说明本发明的第一实施方式的变形例所涉及的液体喷射头的图；
图3是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头的示意部分分解立体图；
图4是从盖板侧看到本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头的平面示意图；
图5是用于说明本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头的图；
图6是用于说明本发明的第四实施方式所涉及的液体喷射头的图；
图7是本发明的第五实施方式所涉及的液体喷射装置的示意立体图；
图8是以往已知的液体喷射头的分解立体图；
图9是以往已知的其他液体喷射头的分解立体图。
具体实施方式
(第一实施方式)
图1是用于说明本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头1的图。图1(a)是液体喷射头1的示意部分分解立体图，图1(b)～(d)是分别从喷嘴板7侧观看液体喷射头1的主视示意图。本实施方式涉及第一压电体基板2a与不透明的喷嘴板7之间容易位置对齐的结构。
如图1(a)所示，液体喷射头1包括第一压电体基板2a；接合在第一压电体基板2a的侧面SP的不透明基板即喷嘴板7；接合在第一压电体基板2a的上表面UP的盖板6。第一压电体基板2a具有：在上表面UP的基准方向K以相同间距P排列的n个(n为1以上的整数，下同)排放槽3；相对于排放槽3偏离半个间距(P/2)以与排放槽3交替排列的(n＋1)个非排放槽4。所以，在基准方向K排列的槽列的两端配置有非排放槽4。
喷嘴板7接合在第一压电体基板2a的侧面SP，具有贯通板厚方向且在基准方向K排列的(j＋n＋k)个(j、k为1以上的整数，下同)贯通孔8，n个贯通孔8分别与n个排放槽3分别连通，由与排放槽3连通的n个贯通孔8构成的孔列R的位于一端侧的j个贯通孔8和位于另一端侧的k个贯通孔8与排放槽3不连通。盖板6覆盖排放槽3和非排放槽4的一部分或者全部地接合在第一压电体基板2a的上表面UP。此处，第一压电体基板2a的上表面UP、侧面SP、和上表面UP的相反侧的下表面LP包含在第一压电体基板2a的表面中。n个排放槽3和(n＋1)个非排放槽4在第一压电体基板2a的上表面UP和侧面SP开口。
喷嘴板7是由不透明的材料形成的不透明基板，构成孔列R的n个贯通孔8(以下记为贯通孔81～8n)作为用于排放液滴的n个喷嘴11(以下记为喷嘴111～11n)发挥功能。此外，喷嘴板7的n个喷嘴111～11n；以及n个喷嘴111～11n的列，即孔列R的一端侧的j个贯通孔8(以下记为贯通孔8a)和另一端侧的k个贯通孔8(以下记为贯通孔8b)以间距P排列为一列。在表示本实施方式的图1中，j＝k＝1。因此，将孔列R的一端侧的贯通孔8a记为贯通孔8a1，将另一端侧的贯通孔8b记为贯通孔8b1。另外，n个喷嘴111～11n从一端侧向另一端侧为111、112、……11n-1、11n地排列。
所以，位于孔列R的一端侧的1个贯通孔8a1、与配置在孔列R的第1个的喷嘴111(贯通孔81)相隔间距P。同样，配置在孔列R的第n个喷嘴11n(贯通孔8n)与位于孔列R的另一端侧的1个贯通孔8b1相隔间距P。而且，贯通孔8a1和贯通孔8b1在与基准方向K正交且与喷嘴板7的基板面平行的方向H，设置在与非排放槽4朝向喷嘴板7侧开口的开口区域的范围L重叠的位置。由此，在喷嘴板7相对于第一压电体基板2a在基准方向K偏离半个间距(P/2)以上时，能够通过贯通孔8a1或者贯通孔8b1目视到非排放槽4、排放槽3。
第一压电体基板2a能够使用PZT陶瓷或其他压电体材料。喷嘴板7例如使用金属板、不透明塑料板。此外，作为不透明基板的“不透明”是指将基板接合在压电体基板时，不能观察到压电体基板的表面的基板。所以，除了不透过光的基板之外，还包含是透光性，但光散射较大，不能观察到接合的压电体基板的表面的基板；是透光性的基板，但在表面形成不透明膜，不能观察到接合的基板的基板。在图1中，排放槽3从侧面SP形成到对置的侧面的跟前，非排放槽4从侧面SP到对置的侧面笔直地形成。在排放槽3和非排放槽4的侧壁形成有驱动电极12，与在上表面UP形成的电极端子13连接。若向该电极端子13施加驱动信号，则排放槽3的两个侧壁变形，填充在排放槽3的液体从贯通孔8、即喷嘴11排放。此外，排放槽3或非排放槽4的形状、驱动电极12或电极端子13的位置、形状不限于图1所示。
图1(b)表示第一压电体基板2a与喷嘴板7正确地位置对齐时的贯通孔8a1、8b1和喷嘴111～11n与排放槽3和非排放槽4的位置关系。孔列R的位于两端侧的贯通孔8a1、8b1不与排放槽3和非排放槽4连通，通过这些贯通孔8a1、8b1能看到侧面SP。孔列R的n个喷嘴111～11n(贯通孔81～8n)与n个排放槽3连通，通过喷嘴111、・・・11n能看到排放槽3。
图1(c)表示将喷嘴板7相对于第一压电体基板2a向右方偏离半个间距(P/2)时的贯通孔8a1、8b1和喷嘴111～11n的位置。从贯通孔8a1和n个喷嘴111～11n能看到非排放槽4，从贯通孔8b1能看到第一压电体基板2a的侧面SP。此外，不能区别出通过贯通孔8能看到的槽是排放槽3还是非排放槽4。图1(d)表示将喷嘴板7相对于第一压电体基板2a向左方偏离半个间距(P/2)时的贯通孔8a1、8b1和喷嘴111～11n的位置。从贯通孔8b1和n个喷嘴111～11n能看到非排放槽4，从贯通孔8a1能看到第一压电体基板2a的侧面SP。
所以，如图1(b)所示，在孔列R的一端侧设置j个贯通孔8a1～8aj，在另一端侧设置k个贯通孔8b1～8bk的情况下，在通过这些j个和k个贯通孔8a、8b能看到第一压电体基板2a的侧面SP，通过孔列R的n个喷嘴111～11n能看到槽时，示出为正确地进行了位置对齐。这样，能够极其简便，且以高精度进行位置对齐。
此外，一般而言，基于通过孔列R的一端侧的j个贯通孔8a1～8aj和另一端侧的k个贯通孔8b1～8bk能看到的侧面SP的观看方式来进行位置对齐。在该情况下，贯通孔8a1～8aj、8b1～8bk在与基准方向K正交且与不透明基板(喷嘴板7)的基板面平行的方向H，设置在与非排放槽4朝向喷嘴板7侧开口的开口区域的范围L重叠的位置。而且，在通过形成孔列R的所有贯通孔81～8n能看到槽的状态下，在通过孔列R的位于两端侧的j个和k个贯通孔8a1～8aj、8b1～8bk能看到的侧面SP的状态、与预先决定的图案一致时，进行准确的位置对齐。在本实施方式中，在从孔列R的所有贯通孔81～8n能看到排放槽3的状态下，在通过2个贯通孔8a1、8b1能看到侧面SP时，正确地进行位置对齐。
(变形例)
图2是用于说明本发明的第一实施方式的变形例所涉及的液体喷射头1的图。图2(a)～(c)是分别从喷嘴板7(不透明基板)侧看到液体喷射头1的主视示意图。与第一实施方式的不同点在于，孔列R的两端的喷嘴111、11n与孔列R的位于两端侧的贯通孔8a1、8b1之间相隔半个间距(P/2)，其他构成与第一实施方式相同。
图2(a)表示第一压电体基板2a与喷嘴板7正确地位置对齐时的喷嘴111～11n和贯通孔8a1、8b1与排放槽3和非排放槽4的位置关系。孔列R的两端侧的贯通孔8a1、8b1不与排放槽3连通，通过这些贯通孔8a1、8b1能看到非排放槽4。但是，不能区别出通过贯通孔8a1、8b1能看到的槽是排放槽3还是非排放槽4。图2(b)表示将喷嘴板7相对于第一压电体基板2a向右方偏离半个间距(P/2)时的喷嘴111～11n和贯通孔8a1、8b1的位置。从贯通孔8a1能看到排放槽3，从贯通孔8b1能看到侧面SP。从n个喷嘴111～11n能看到非排放槽4。
图2(c)表示将喷嘴板7相对于第一压电体基板2a向左方偏离半个间距(P/2)时的喷嘴111～11n和贯通孔8a1、8b1的位置关系。从贯通孔8a1能看到侧面SP，从贯通孔8b1能看到排放槽3，从n个喷嘴111～11n能看到非排放槽4。所以，排放槽3和非排放槽4与喷嘴板7正确地位置对齐的状态是无论从哪个贯通孔8a1、8b1都不能看到侧面SP的图2(a)的状态。
更一般而言，孔列R的位于一端侧的j个贯通孔8a1～8aj的配置在第j个的贯通孔8aj、与孔列R的配置在第1个的喷嘴111(贯通孔81)相隔间距P或者半个间距(p/2)；孔列R的配置在第n个的喷嘴11n(贯通孔8n)、与孔列R的位于另一端侧的k个贯通孔8b1～8bk的配置在第1个的贯通孔8b1相隔间距P或者半个间距(P/2)地构成即可。
(第二实施方式)
图3是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头1的示意部分分解立体图。图4是从盖板6侧看到本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头1的平面示意图。本实施方式涉及第一压电体基板2a与盖板6之间容易位置对齐的结构。在同一部分或者具有同一功能的部分标注同一标号。
如图3所示，液体喷射头1包括：第一压电体基板2a；接合在第一压电体基板2a的上表面UP的不透明基板即盖板6；接合在第一压电体基板2a的侧面SP的喷嘴板7。第一压电体基板2a具有：在上表面UP的基准方向K以相同间距P排列的n个排放槽3；相对于排放槽3偏离半个间距(P/2)而以与排放槽3交替排列的(n＋1)个非排放槽4。盖板6接合在第一压电体基板2a的上表面UP，具有板厚方向贯通且在基准方向K排列的(j＋n＋k)个贯通孔8(本实施方式中为狭缝10)。n个狭缝101～10n(贯通孔81～8n)分别与n个排放槽3分别连通，由与排放槽3连通的n个贯通孔8构成的孔列R的位于一侧的j个贯通孔8和位于另一端侧的k个贯通孔8被第一压电体基板2a的上表面UP塞住。喷嘴板7形成有与n个排放槽3分别连通的n个喷嘴11，接合在第一压电体基板2a的侧面SP。
此处，第一压电体基板2a的上表面UP包含在第一压电体基板2a的外面即表面中。盖板6是由不透明的材料形成的不透明基板，例如由PZT陶瓷、不透明塑料等形成。盖板6具有与n个狭缝101～10n(贯通孔81～8n)连通的液腔9。n个狭缝101～10n从液腔9的底面向第一压电体基板2a侧贯通。n个狭缝101～10n分别与n个排放槽3分别连通，不与非排放槽4连通。喷嘴板7能够使用聚酰亚胺膜等透明塑料膜、不透明的金属板等。
图4(a)表示第一压电体基板2a与盖板6正确地位置对齐时的贯通孔8a1、8b1和狭缝101～10n与排放槽3和非排放槽4的位置关系。孔列R的位于两端侧的贯通孔8a1、8b1不与排放槽3和非排放槽4连通，通过这些贯通孔8a1、8b1能看到上表面UP。n个狭缝101～10n(n个贯通孔81～8n)构成孔列R。n个狭缝101～10n与n个排放槽3连通，通过各狭缝101～10n能看到排放槽3。
图4(b)表示将盖板6相对于第一压电体基板2a向右方偏离半个间距(P/2)时的贯通孔8a1、8b1和狭缝101～10n的位置。从贯通孔8a1和n个狭缝101～10n能看到非排放槽4，从贯通孔8b1能看到第一压电体基板2a的上表面UP。此外，不能区别出通过贯通孔8能看到的槽是排放槽3还是非排放槽4。图4(c)表示将盖板6相对于第一压电体基板2a向左方偏离半个间距(P/2)时的贯通孔8a1、8b1和狭缝101～10n的位置。从贯通孔8b1和n个狭缝101～10n能看到非排放槽4，从贯通孔8a1能看到第一压电体基板2a的上表面UP。
如图4(a)所示，在孔列R的一端侧设置j个贯通孔8a1～8aj，在另一端侧设置k个贯通孔8b1～8bk的情况下，在从这些j个和k个贯通孔8a、8b能看到第一压电体基板2a的上表面UP，通过孔列R的n个狭缝101～10n能看到排放槽3时，正确地进行了位置对齐。因此，能够极其简便，且以高精度进行位置对齐。
此外，非排放槽4从侧面SP到对置的侧面笔直地形成。因此，可知贯通孔8a1和贯通孔8b1在与基准方向K正交且与盖板6(不透明基板)的基板面平行的方向H，设置在与非排放槽4朝向盖板6侧开口的开口区域重叠的位置。另外，与上述第一实施方式的变形例同样，也可以将贯通孔8a1和贯通孔8b1从孔列R的两端的狭缝101、10n偏离半个间距(P/2)。
(第三实施方式)
图5是用于说明本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头1的图。图5(a)是液体喷射头1的沿着排放槽3的槽方向的截面示意图，图5(b)是移除喷嘴板7并从喷嘴板7侧看到的主视示意图，图5(c)是连通板5的平面示意图。本实施方式是流通类型的液体喷射头1，构成为将2枚压电体基板的下表面彼此接合，在喷嘴板附近，一个压电体基板的排放槽与另一个压电体基板的排放槽连通，液体能在排放槽循环。在同一部分或者具有同一功能的部分标注同一标号。
如图5(a)所示，喷射头1包括：下表面LP彼此接合的第一压电体基板2a和第二压电体基板2b；接合在第一压电体基板2a和第二压电体基板2b的各自上表面UP的第一盖板6a和第二盖板6b；接合在第一压电体基板2a和第二压电体基板2b的侧面SP的不透明基板即连通板5；接合在连通板5的与压电体基板侧的相反侧的喷嘴板7。下面具体说明。
第一压电体基板2a和第二压电体基板2b具有：分别在上表面UP的基准方向K以相同间距P排列的n个排放槽3；相对于排放槽3偏离半个间距(P/2)以与排放槽3交替排列的(n＋1)个非排放槽4。第一压电体基板2a与第二压电体基板2b使各压电体基板的侧面SP为同一面，使与上表面UP的相反侧的下表面LP彼此对置且一体地构成。此外，第一压电体基板2a和第二压电体基板2b与第一或者第二实施方式的第一压电体基板2a相同。
如图5(a)～(c)所示，连通板5接合在第一压电体基板2a和第二压电体基板2b的侧面SP，具有板厚方向贯通且在基准方向K排列的(j＋n＋k)个贯通孔8。由n个贯通孔81～8n构成的孔列R分别与第一压电体基板2a的n个排放槽3分别连通，并且与第二压电体基板2b的n个排放槽3分别连通。即，n个贯通孔81～8n的基准方向K的并列的第1个贯通孔81使第一压电体基板2a的基准方向K的并列的第1个排放槽3、与第二压电体基板2b的基准方向K的并列的第1个排放槽3连通。下面同样，第n个贯通孔8n使第一压电体基板2a的第n个排放槽3与第二压电体基板2b的第n个排放槽3连通。因此，经由贯通孔8能看到第一压电体基板2a和第二压电体基板2b的排放槽3。进一步，孔列R的位于一端侧的j个贯通孔8a1～8aj和位于另一端侧的k个贯通孔8b1～8bk被第一压电体基板2a和第二压电体基板2b的侧面SP塞住，不与排放槽3连通。即，通过贯通孔8a1～8aj、8b1～8bk能看到侧面SP。此外，在本实施方式中，将连通板5的(j＋n＋k)个贯通孔8以与排放槽3的间距P相同的间距P配置，且j＝k＝2。
第一盖板6a具有第一液腔9a和与第一液腔9a连通的n个狭缝10a。第二盖板6b具有第二液腔9b和与第二液腔9b连通的n个狭缝10b。第一盖板6a的n个狭缝10a分别与n个排放槽3分别连通，接合在第一压电体基板2a的上表面UP。第二盖板6b的n个狭缝10b分别与n个排放槽3分别连通，接合在第二压电体基板2b的上表面UP。喷嘴板7具有n个喷嘴11，n个喷嘴11分别与n个贯通孔81～8n分别连通，接合在连通板5的与第一压电体基板2a和第二压电体基板2b侧的相反侧。
第一压电体基板2a和第二压电体基板2b如已经说明的那样，能够使用PZT陶瓷、其他压电体基板。第一盖板6a和第二盖板6b能够使用PZT陶瓷、其他陶瓷、金属板、塑料板等。连通板5能够使用金属板、不透明的陶瓷、不透明的塑料板、其他不透明的板。喷嘴板7能够使用聚酰亚胺膜、其他塑料膜、金属板等。
图5(c)表示第一压电体基板2a和第二压电体基板2b与连通板5正确地位置对齐时的、贯通孔8a、8b和由贯通孔81～8n构成的孔列R与排放槽3和非排放槽4的位置关系。通过孔列R的一端侧的2个贯通孔8a1、8a2能看到侧面SP，通过另一端侧的2个贯通孔8b1、8b2能看到侧面SP。即，孔列R的两端侧的4个贯通孔8a1、8a2、8b1、8b2与哪个排放槽3都不连通。与之相对，若连通板5向右方偏离半个间距(P/2)，则通过一端侧之一的贯通孔8a1能看到侧面SP，但另一端侧通过2个贯通孔8b1、8b2能看到侧面SP，从其他贯通孔8a2、81～8n都能看到非排放槽4的开口。同样，若连通板5向左方偏离半个间距(P/2)，则通过另一端侧之一的贯通孔8b2能看到侧面SP，但一端侧通过2个贯通孔8a1、8a2能看到侧面SP，从其他贯通孔8b1、81～8n都能看到非排放槽4的开口。若连通板5相对于第一压电体基板2a向左方或者右方偏离半个间距(P/2)以上，则通过位于一端侧的贯通孔8a1、8a2看到的侧面SP、与通过位于另一端侧的贯通孔8b1、8b2看到的侧面SP不同，没有正确地进行位置对齐是一目了然的。这样，能够根据通过两端侧的贯通孔8能看到的状态，极其简便且以高精度将第一压电体基板2a和第二压电体基板2b与连通板5进行位置对齐。
液体喷射头1如下进行动作。首先，向第一液腔9a供给液体。液体如箭头所示，经由n个狭缝10a分别流入至第一压电体基板2a的n个排放槽3。各排放槽3的液体经由连通板5的各贯通孔81～8n流入至第二压电体基板2b的n个排放槽3。液体进一步经由第二盖板6b的n个狭缝10b流出至第二液腔9b，排出至外部。接下来，向第一压电体基板2a的排放槽3、与夹着该排放槽3的2个非排放槽4之间的2个侧壁施加驱动信号，并且向第一压电体基板2a的排放槽3所连通的第二压电体基板2b的排放槽3、与夹着第二压电体基板2b的排放槽3的2个非排放槽4之间的2个侧壁施加驱动信号来进行驱动。即，同时驱动4个侧壁并在第一压电体基板2a的排放槽3和第二压电体基板2b的排放槽3同时生成压力波，从喷嘴11排放液滴。
此外，一般而言，使由n个贯通孔8的列构成的孔列R的位于一端侧的j个贯通孔8a的配置在第j个的贯通孔8aj、与孔列R的配置在第1个的贯通孔81相隔间距P或者半个间距(P/2)，使配置在第n个的贯通孔8n、与孔列R的位于另一端侧的k个贯通孔8b的配置在第1个的贯通孔8b1相隔间距P或者半个间距(P/2)。另外，孔列R的位于一端侧的j个贯通孔8和位于另一端侧的k个贯通孔8在与基准方向K正交且与连通板5的基板面平行的方向H，设置在与第一压电体基板2a和第二压电体基板2b的非排放槽4朝向连通板5侧开口的开口区域的范围L重叠的位置。由此，能够极其简便且以高精度将第一压电体基板2a和第二压电体基板2b与连通板5之间进行位置对齐。
(第四实施方式)
图6是用于说明本发明的第四实施方式所涉及的液体喷射头1的图。图6(a)是液体喷射头1的排放槽3的槽方向的截面示意图，图6(b)是移除喷嘴板7看到的接合在第一压电体基板2a的与上表面UP相反侧的下表面LP的增强板15侧的平面示意图。在本实施方式中，排放槽3和非排放槽4从第一压电体基板2a的上表面UP贯通到下表面LP，喷嘴板7设置在下表面LP侧。在同一部分或者具有同一功能的部分标注同一标号。
液体喷射头1包括：第一压电体基板2a；接合在第一压电体基板2a的上表面UP的盖板6；接合在第一压电体基板2a的与上表面UP相反侧的下表面LP，作为不透明基板的增强板15；设置在增强板15的与第一压电体基板2a的相反侧的喷嘴板7。第一压电体基板2a具有：在上表面UP的基准方向K以相同间距P排列的n个排放槽3；相对于排放槽3偏离半个间距(P/2)以与排放槽3交替排列的(n＋1)个非排放槽4。排放槽3和非排放槽4沿第一压电体基板2a的板厚方向贯通，在与上表面UP的相反侧的下表面LP开口。增强板15接合在第一压电体基板2a的下表面LP，具有板厚方向贯通且在基准方向K排列的(j＋n＋k)个贯通孔8，n个贯通孔81～8n分别与n个排放槽3分别连通，由n个贯通孔81～8n构成的孔列R的位于一端侧的j个贯通孔8a和位于另一端侧的k个贯通孔8b与哪个排放槽3都不连通。此外，在本实施方式中，将增强板15的(j＋n＋k)个贯通孔8以与排放槽3的间距P相同的间距P配置，且j＝k＝2。
盖板6具有：第一液腔9a；与第一液腔9a分离的第二液腔9b；将第一液腔9a与n个排放槽3分别连通的n个狭缝10a；将第二液腔9b与n个排放槽3分别连通的n个狭缝10b。狭缝10a在排放槽3的一侧连通，狭缝10b在排放槽3的另一侧连通。喷嘴板7具有n个喷嘴11，n个喷嘴11分别与n个贯通孔81～8n分别连通。
此处，第一压电体基板2a的下表面LP包含在第一压电体基板2a的表面中。关于第一压电体基板2a、增强板15、盖板6和喷嘴板7的材质等，与其他实施方式中说明的相同。在本实施方式中，增强板15具有增强喷嘴板7的功能。若在下表面LP开口的排放槽3的直径大，在下表面LP直接粘贴薄的喷嘴板7，则由排放槽3的液体引起的压力波会由于喷嘴板7而衰减。因此，在下表面LP粘贴硬度比喷嘴板7高的增强板15，抑制压力波的衰减。
图6(b)表示第一压电体基板2a与增强板15正确地位置对齐时的贯通孔8与排放槽3和非排放槽4的位置关系。通过孔列R的一端侧的2个贯通孔8a1、8a2能看到下表面LP，通过另一端侧的2个贯通孔8b1、8b2能看到下表面LP。即，孔列R的两端侧的4个贯通孔8a1、8a2、8b1、8b2与哪个排放槽3都不连通。与第三实施方式的情况同样，若增强板15相对于第一压电体基板2a偏离半个间距(P/2)以上，则通过位于一端侧的贯通孔8a1、8a2看到的下表面LP与通过位于另一端侧的贯通孔8b1、8b2看到的下表面LP不同，没有正确地进行位置对齐是一目了然的。这样，能够根据通过两端侧的贯通孔8a、8b能看到的状态，极其简便且以高精度将第一压电体基板2a与增强板15进行位置对齐。
液体喷射头1如下进行动作。供给至第一液腔9a的液体如箭头所示，经由狭缝10a从一端部流入至排放槽3，从排放槽3的另一个端部经由狭缝10b流出至第二液腔9b。然后，向排放槽3和夹着排放槽3的2个非排放槽4之间的2个侧壁施加驱动信号并同时驱动2个侧壁，使得在填充在排放槽3的液体产生压力波，从与贯通孔8连通的喷嘴11排放液滴。
此外，在本实施方式中，一般而言，也使由n个贯通孔8的列构成的孔列R的位于一端侧的j个贯通孔8a的配置在第j个的贯通孔8aj、与孔列R的配置在第1个的贯通孔81相隔间距P或者半个间距(P/2)，使配置在第n个的贯通孔8n、与孔列R的位于另一端侧的k个贯通孔8b的配置在第1个的贯通孔8b1相隔间距P或者半个间距(P/2)。另外，孔列R的位于一端侧的j个贯通孔8和位于另一端侧的k个贯通孔8在与基准方向K正交且与增强板15的基板面平行的方向H，设置在与第一压电体基板2a的非排放槽4朝向增强板15侧开口的开口区域的范围L重叠的位置。由此，能够极其简便且以高精度在第一压电体基板2a与增强板15之间进行位置对齐。
(第五实施方式)
图7是本发明的第五实施方式所涉及的液体喷射装置30的示意立体图。液体喷射装置30包括：使液体喷射头1、1’往返移动的移动机构40；向液体喷射头1、1’供给液体，从液体喷射头1、1’排出液体的流路部35、35’；与流路部35、35’连通的液体泵33、33’和液体罐34、34’。各液体喷射头1、1’包括压电体基板2、盖板6、喷嘴板7。作为液体泵33、33’，设置向流路部35、35’供给液体的供给泵和除此之外的排出液体的排出泵的任一个或者两者，使液体循环。另外，还设置未图示的压力传感器、流量传感器，控制液体的流量。液体喷射头1、1’在第一压电体基板2a或者第二压电体基板2b的上表面UP交替排列有排放槽3和非排放槽4，在第一压电体基板2a或者第二压电体基板2b的表面接合有不透明基板。液体喷射头1、1’使用已经说明的第一～第四实施方式中的任一个。
液体喷射装置30包括：将纸等被记录介质44在主扫描方向运送的一对运送单元41、42；向被记录介质44排放液体的液体喷射头1、1’；载放液体喷射头1、1’的滑架单元43；将蓄存在液体罐34、34’的液体按压至流路部35、35’并进行供给的液体泵33、33’；将液体喷射头1、1’在与主扫描方向正交的副扫描方向进行扫描的移动机构40。未图示的控制部控制并驱动液体喷射头1、1’、移动机构40、运送单元41、42。
一对运送单元41、42包括在副扫描方向延伸，边接触辊面边旋转的网格辊和夹送辊。利用未图示的马达使网格辊和夹送辊绕轴旋转，将在辊间夹着的被记录介质44在主扫描方向进行运送。移动机构40包括：在副扫描方向延伸的一对导轨36、37；能沿着一对导轨36、37滑动的滑架单元43；连结滑架单元43并在副扫描方向移动的无接头带38；以及经由未图示的带轮使该无接头带38绕动的马达39。
滑架单元43载放多个液体喷射头1、1’，例如排放出黄色、品红色、青色、黑色的4种液滴。液体罐34、34’蓄存对应颜色的液体，经由液体泵33、33’、流路部35、35’供给至液体喷射头1、1’。各液体喷射头1、1’根据驱动信号排放出各色的液滴。在从液体喷射头1、1’排放出液体的时间点，对驱动滑架单元43的马达39的旋转和被记录介质44的运送速度行进控制，从而能够在被记录介质44上记录任意的图案。
此外，本实施方式是移动机构40使滑架单元43和被记录介质44移动并进行记录的液体喷射装置30，但作为替代，也可以是将滑架单元固定，移动机构使被记录介质2维移动并进行记录的液体喷射装置。即，移动机构使液体喷射头与被记录介质相对移动即可。
附图标记说明
1　液体喷射头；2　压电体基板、2a　第一压电体基板、2b　第二压电体基板；3　排放槽；4　非排放槽；5　连通板；6　盖板、6a　第一盖板、6b　第二盖板；7　喷嘴板；8、8a、8b、81～8n　贯通孔；9　液腔、9a　第一液腔、9b　第二液腔；10、101～10n　狭缝；11、111～11n　喷嘴；12　驱动电极；13　电极端子；15　增强板；K　基准方向、H　方向、L　范围、P　间距、P/2　半个间距、R　孔列；UP　上表面、SP　侧面、LP　下表面。

Claims (11)

1. 一种液体喷射头，包括：
第一压电体基板，所述第一压电体基板具有在表面的基准方向以相同间距P排列的n个排放槽、和相对于所述排放槽偏离半个间距即P/2而与所述排放槽交替排列的(n＋1)个非排放槽；以及
不透明基板，所述不透明基板接合在所述第一压电体基板的表面，具有板厚方向贯通且在基准方向排列的(j＋n＋k)个贯通孔，n个所述贯通孔分别与n个所述排放槽分别连通，由与所述排放槽连通的n个所述贯通孔构成的孔列的位于一端侧的j个所述贯通孔和位于另一端侧的k个所述贯通孔、与所述排放槽不连通，其中n为1以上的整数，j、k分别为1以上的整数。
2. 如权利要求1所述的液体喷射头，其中，
所述孔列的位于一端侧的j个所述贯通孔的配置在第j个的所述贯通孔、与所述孔列的配置在第1个的所述贯通孔相隔所述间距P或者所述半个间距即P/2，
所述孔列的配置在第n个所述贯通孔、与所述孔列的位于另一端侧的k个所述贯通孔的配置在第1个的所述贯通孔相隔所述间距P或者所述半个间距即P/2。
3. 如权利要求1所述的液体喷射头，其中，
所述孔列的位于一端侧的j个所述贯通孔和位于另一端侧的k个所述贯通孔在与基准方向正交且与所述不透明基板的基板面平行的方向，设置在与所述非排放槽朝向所述不透明基板侧开口的开口区域的范围重叠的位置。
4. 如权利要求1所述的液体喷射头，其中，
所述不透明基板是n个所述贯通孔由n个喷嘴构成的喷嘴板。
5. 如权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，
还包括具有n个喷嘴的喷嘴板，
所述喷嘴板的n个所述喷嘴分别与n个所述贯通孔分别连通，所述喷嘴板接合在所述不透明基板的与所述第一压电体基板的相反侧。
6. 如权利要求1所述的液体喷射头，其中，
所述排放槽和所述非排放槽设置在所述第一压电体基板的上表面，
所述不透明基板是具有与n个所述贯通孔连通的液腔，并接合在所述上表面的盖板。
7. 如权利要求4所述的液体喷射头，其中，
n个所述排放槽和(n＋1)个所述非排放槽在所述第一压电体基板的侧面开口。
8. 如权利要求5所述的液体喷射头，其中，
还包含第二压电体基板，所述第二压电体基板具有：在表面的基准方向以相同的所述间距P排列的n个排放槽、和相对于所述排放槽偏离半个间距即P/2而与所述排放槽交替排列的(n＋1)个非排放槽，
所述第一压电体基板和所述第二压电体基板使各所述压电体基板的侧面为同一面，使与所述上表面的相反侧的下表面彼此对置且一体地构成，
所述贯通孔使在所述第一压电体基板的侧面开口的排放槽、和与在所述第二压电体基板的侧面开口的排放槽连通。
9. 如权利要求8所述的液体喷射头，其中，
还包括：第一盖板，所述第一盖板具有第一液腔、与所述第一液腔连通的n个狭缝；第二盖板，所述第二盖板具有第二液腔、和与所述第二液腔连通的n个狭缝，
所述第一盖板的n个所述狭缝分别与n个所述排放槽分别连通，所述第一盖板接合在所述第一压电体基板的上表面，
所述第二盖板的n个所述狭缝分别与n个所述排放槽分别连通，所述第二盖板接合在所述第二压电体基板的上表面。
10. 如权利要求4所述的液体喷射头，其中，
n个所述排放槽和(n＋1)个所述非排放槽在所述第一压电体基板的上表面和与所述上表面的相反侧的下表面开口。
11. 一种液体喷射装置，包括：
权利要求1所述的液体喷射头；
移动机构，使所述液体喷射头与被记录介质相对移动；
液体供给管，向所述液体喷射头供给液体；以及
液体罐，向所述液体供给管供给所述液体。
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