JP2009247939A - 流体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】異なる種類の流体を効率的且つ均一的に混合して噴射することが可能な流体噴射装置を提供する。
【解決手段】本発明の流体噴射装置は、異なる種類のインクを混合して噴射する流体噴射ヘッド３４を備え、ノズル１７と、ノズル１７に連通する複数の圧力室３１と、複数の圧力室３１に連通し、複数のインクを複数の圧力室３１へ供給する複数のマイクロ流路６２とを備え、マイクロ流路６２には、互いに異なる複数のインクを混合する混合部６４が設けられている。
【選択図】図２

Description

本発明は、流体噴射装置に関するものである。

流体を噴射する流体噴射装置として、例えばインクジェット式記録装置などが知られている。インクジェット式記録装置は、媒体に文字や画像などを記録する装置であり、記録ヘッドに設けられた複数のノズルからインクを噴射する構成になっている。

現状では、ノズルから吐出される液体は１種類とされており、２種類以上の液体を混合する場合は、同じ箇所に異なる種類の液体を重ねて吐出していた。その他の方法としては、例えば、異なる種類の液体を吐出するノズル同士を近接させておき、これら各ノズルからそれぞれ液体を同時に吐出させることで混合液として媒体に塗布する方法が開示されている（特許文献１）。また、マイクロ流路を用いて液体を混合させる方法も開示されており、例えば、分岐したマイクロ流路中に配置された複数の発熱体を順番に発熱させることで気泡を発生させ、この気泡の体積変化によって液体を移動及び混合させる方法（特許文献２）や、第１の搬送路内に第２の搬送路が複数設けられ各第２の搬送路から排出される第２の流体を第１の流路内で第１の流路と混合させる方法が開示されている（特許文献３）。
特開２００６−２８１１３９号公報 特許第３１８７４８９号 特開２００７−６９２０２号公報

しかしながら、特許文献１では、異なる種類の液体を各ノズルから吐出させた後で混合させているため、予め種類の異なる液体同士を混合させたい場合には好ましくなく、それぞれの吐出量によっては十分に混合されない場合がある。特許文献２では、微量の液体を混合あるいは分岐するのには向いているが、大量の液体を効率よく一様に混合する場合には適していない。また、特許文献３は、流体噴射装置に適用するには構造が複雑なため製造が困難である。

本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、異なる種類の流体を効率的且つ均一的に混合して噴射することが可能な流体噴射装置を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明は、異なる種類の流体を混合して噴射する流体噴射ヘッドを備える流体噴射装置であって、ノズルと、前記ノズルに連通する複数の圧力室と、
前記複数の圧力室に連通し、前記複数の流体を前記複数の圧力室へ供給する複数の流体供給流路と、を備え、前記流体供給流路には、互いに異なる複数の前記流体を混合する混合部が設けられていることを特徴とする。

本発明によれば、混合することによって変性する流体を吐出する直前に混合させることができる。このように、異なる種類の流体を吐出する直前に混合することで、混合することで変性する流体であっても良好に吐出することができるので、様々な流体の混合に用いることができる。

また、前記ノズルを複数備え、前記複数の圧力室と前記混合部との間に共通流体貯留部を備えることが好ましい。
本発明によれば、複数の圧力室と混合部との間に備えられた共通流体貯留部によって、複数の圧力室から混合部への流体の逆流を緩和することができる。

また、混合部を複数備えることが好ましい。
本発明によれば、各混合部内において、異なる種類の流体同士の接触面積が大きくなるので、効果的且つ均一に混合することができる。

また、前記複数の流体の混合比を調整する混合比調整手段を備えることが好ましい。
本発明によれば、異なる種類の複数の流体を所望の混合比で混合させることができるので、所望の特性を有する混合液が効率よく得られるようになる。

また、混合比調整手段は、前記複数の流体供給流路の流路抵抗をそれぞれ異ならせることが好ましい。
本発明によれば、各流体供給流路の流路抵抗を互いに異ならせることによって、異なる種類の流体同士を所望の混合比で混合させることができるので、所望の特性を有する混合液を効率よく得ることができる。

また、前記混合比調整手段は、前記複数の流体の温度をそれぞれ異ならせることが好ましい。
本発明によれば、種類の異なる流体の温度を互いに異ならせることによって、所望とする混合液を効率よく得ることができる。

また、混合比調整手段は、前記複数の流体の濃度をそれぞれ異ならせることが好ましい。
本発明によれば、種類の異なる流体の濃度を互いに異ならせることによって、所望とする混合液を効率よく得ることができる。

また、混合比調整手段が、前記複数の流体供給流路の上流側に設けられる加圧機構であることが好ましい。
本発明によれば、流体供給流路の上流側に各流体供給流路ごとに異なる圧力を与えることによって、異なる種類の流体同士の混合比を効率よく調整することができるので、所望とする混合液を効率よく得ることができる。

また、加圧機構に圧力調整弁が設けられていることが好ましい。
本発明によれば、圧力調整弁によって、異なる種類の流体の混合比を調整することができるので、所望とする混合液を容易に得ることができる。

また、複数の流体供給流路にそれぞれ連通する複数の流体供給部を備え、前記混合部に対する前記複数の流体供給部の高さ位置がそれぞれ異なっていることが好ましい。
本発明によれば、各流体供給部の高さ位置をそれぞれ異ならせることによって、各流体供給流路に供給される流体の量を効率よく調整することができる。

以下、この発明の好適な実施の形態を添付図面等を参照しながら、詳細に説明する。
尚、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。

以下に、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は、液滴吐出装置１０の概略構成を示す模式図である。図１に示すように、液滴吐出装置（流体噴射装置）１０は、ベース８１と、基板移動手段８２と、ヘッド移動手段７３と、液滴吐出ヘッド３４（流体噴射ヘッド）と、インク供給部３５と、制御装置９０とを備えて構成されている。ベース８１の上には、基板移動手段８２と、ヘッド移動手段７３とが設置されている。
また、液滴吐出装置１０は、クリーニングユニット１０３と、キャッピングユニット１０５とを備えている。

基板移動手段８２はベース８１上に設けられ、Ｙ軸方向に沿って配置されたガイドレール８６を有している。この基板移動手段８２は、例えばリニアモータ（図示せず）により、スライダ８７をガイドレール８６に沿って移動させるよう構成されている。
スライダ８７上にはステージ８９が固定されており、このステージ８９は、基板Ｐを位置決めして保持するためのものである。即ち、このステージ８９は、公知の吸着保持手段（図示せず）を有し、この吸着保持手段を作動させることにより、基板Ｐをステージ８９の上に吸着保持するように構成されている。基板Ｐは、例えばステージ８９の位置決めピン（図示せず）により、ステージ８９上の所定位置に正確に位置決めされ、保持されるようになっている。

ヘッド移動手段７３は、ベース８１の後部側に立てられた一対の架台７３ａ、７３ａと、これら架台７３ａ、７３ａ上に設けられた走行路７３ｂを備え、この走行路７３ｂをＸ軸方向、即ち前記の基板移動手段８２のＹ軸方向と直交する方向に沿って配置したものである。走行路７３ｂは、架台７３ａ、７３ａ間に渡された保持板７３ｃと、この保持板７３ｃ上に設けられた一対のガイドレール７３ｄ、７３ｄとを備え、ガイドレール７３ｄ、７３ｄの長さ方向に液滴吐出ヘッド３４を搭載するキャリッジ９２を移動可能に保持している。キャリッジ９２は、リニアモータ（図示せず）等の作動によってガイドレール７３ｄ、７３ｄ上を走行し、これにより液滴吐出ヘッド３４をＸ軸方向に移動させるように構成されている。

ここで、このキャリッジ９２は、ガイドレール７３ｄ、７３ｄの長さ方向、即ちＸ軸方向に、例えば、１μｍ単位で移動可能になっている。キャリッジ９２のこのような移動はコンピュータ等からなる制御装置９０によって制御可能に構成されている。
制御装置９０は、液滴吐出ヘッド３４の位置情報、即ち液滴吐出ヘッド３４のガイドレール７３ｄ、７３ｄ上での位置（Ｘ座標）とそのときの各ノズルの位置（Ｘ座標）とを検知して記憶するものである。

液滴吐出ヘッド３４は、キャリッジ９２に取付部９３を介して回動可能に取り付けられたものである。取付部９３にはモータ９４が設けられており、液滴吐出ヘッド３４はその支持軸（図示せず）がモータ９４に連結している。このような構成のもとに、液滴吐出ヘッド３４はその周方向に回動可能となっている。また、モータ９４も制御装置９０に接続されており、これによって液滴吐出ヘッド３４はその周方向への回動が、制御装置９０に制御されるようになっている。

インク供給部３５は、インクＬ１（流体）が充填されたインク供給容器４５Ａ（流体供給部）と、インクＬ１とは異なる種類のインクＬ２（流体）が充填されたインク供給容器４５Ｂ（流体供給部）とを有している。また、インク供給容器４５Ａには、液滴吐出ヘッド３４にインクＬ１を送るためのインク供給チューブ４６Ａが接続され、インク供給容器４５Ｂには、液滴吐出ヘッド３４にインクＬ２を送るためのインク供給チューブ４６Ｂがそれぞれ接続されている。

インク供給チューブ４６Ａ，４６Ｂの上流側には、インク供給容器４５Ａ，４５Ｂから吸引したインクＬ１，Ｌ２を液滴吐出ヘッド３４へと送出する供給ポンプ４９ａ，４９ｂ（加圧機構）が配置されている。

また、供給ポンプ４９ａ，４９ｂには、インクＬ１，Ｌ２を加圧する加圧度を調整するための圧力調整弁（図示せず）が設けられている。そして、この圧力調整弁は制御装置９０に接続されており、これによって圧力の増減圧が制御されるようになっている。

クリーニングユニット１０３は、液滴吐出ヘッド３４のノズル等のクリーニングを基板Ｐの製造工程中や待機時に定期的にあるいは随時に行うことができる。
なお、インクを基板Ｐに吐出する際には、クリーニングユニット１０３は液滴吐出ヘッド３４に干渉しない位置に保持される。

キャッピングユニット１０５は、キャップ部９７と、液体吸引チューブ９８と、液体吸引チューブ９８に接続される吸引ポンプ１０１とを有している。キャッピングユニット１０５は、液滴吐出ヘッド３４のノズル開口面２１Ａ（図２参照）が乾燥しないようにするために、基板Ｐに対するインクの吐出工程中や待機時に、ノズル開口面２１Ａ（図２参照）にキャップ部９７を被着させるものである。

また、キャッピングユニット１０５は、液滴吐出ヘッド３４にインクを初期充填する機能も有している。この初期充填の際にも、ノズル開口面２１Ａにキャップ部９７を被着させるようになっている。

キャップ部９７は、例えば、液滴吐出装置１０内に設けられたガイド（図示せず）などに沿って上下方向に移動することで、液滴吐出ヘッド３４のノズル開口面２１Ａ（図２参照）に当接し、これに被着されるよう構成されたものである。キャップ部９７は、シリコーン、フッ素樹脂等からなり、液体吸引チューブ９８を介して、インクを吸引する吸引ポンプ１０１に接続されている。

なお、インクを基板Ｐに吐出する際には、キャッピングユニット１０５は液滴吐出ヘッド３４に干渉しない位置に保持される。

次に、液滴吐出ヘッドの概略構成を図２〜図４を用いて説明する。
図２は液滴吐出ヘッドの一部を示す断面図であって、図３（ａ）は図２のＣ−Ｃ断面図、図３（ｂ）は図２のＥ−Ｅ断面図である。また、図４（ａ）は図２のＣ−Ｃ断面図の一部を拡大して示す断面図、図４（ｂ）は図２のＤ−Ｄ断面の一部を拡大して示す断面図、図４（ｃ）は図２のＥ−Ｅ断面図の一部を拡大して示す断面図である。

図２に示すように、液滴吐出ヘッド３４は、ヘッド本体１８と、振動板１９、流路基板２０、及びノズル基板２１を含む流路形成ユニット２２とを備えている。インクを噴射するノズル開口１７はノズル基板２１に形成され、ノズル基板２１の下面がノズル開口面２１Ａとされている。流路形成ユニット２２は、振動板１９、流路基板２０、及びノズル基板２１を積層し、接着剤等で接合して一体にしたものである。

液滴吐出ヘッド３４は、ヘッド本体１８の内部に形成された収容空間２３と、収容空間２３に配置された駆動ユニット２４とを備えている。駆動ユニット２４は、複数の圧電素子２５と、圧電素子２５の上端を支持する固定部材２６と、駆動信号を圧電素子２５に供給する柔軟なケーブル２７とを備えている。圧電素子２５は、複数のノズル開口１７のそれぞれに対応するように設けられている。

また、ヘッド本体１８の内部に形成され、インク供給容器４５Ａ，４５Ｂ（図１）からインク供給チューブ４６Ａ，４６Ｂを介して供給された異なる種類のインクＬ１，Ｌ２がそれぞれ流れる内部流路２８Ａ，２８Ｂと、振動板１９、流路基板２０、及びノズル基板２１を含む流路形成ユニット２２によって形成され、上記内部流路２８Ａ，２８Ｂにインク共用部６１Ａ，６１Ｂを介し連通する複数のマイクロ流路６２と、複数のマイクロ流路６２に連通する共通インク室２９（共通流体貯留部）と、共通インク室２９と連通する複数のインク供給口３０と、各インク供給口３０と連通する複数の圧力室３１を備えている。圧力室３１は、複数のノズル開口１７に対応するように複数設けられている。複数のノズル開口１７のそれぞれは、複数の圧力室３１のそれぞれに連通している。

ヘッド本体１８は、合成樹脂で形成されている。振動板１９は、例えばステンレス鋼等の金属製の支持板上に弾性フィルムをラミネート加工したものである。振動板１９のキャビティに対応する部分には、圧電素子２５の下端と接合される島部３２が形成されている。振動板１９の少なくとも一部は、圧電素子２５の駆動に応じて弾性変形する。振動板１９の共通インク室２９に対応する箇所にコンプライアンス部３３が形成されている。

流路基板２０は、内部流路２８Ａ，２８Ｂの下端とノズル開口１７とを接続する、インク共用部６１Ａ，６１Ｂ、複数のマイクロ流路６２、共通インク室２９、複数のインク供給口３０、及び複数の圧力室３１それぞれの空間を形成するための凹部を有した複数の板材を合成してなる。本実施形態においては、流路基板２０は、シリコンからなる各板材を異方性エッチングした後に貼り合わせることで形成されている。

流路基板２０の構成について詳述する。
図２および図３（ａ），（ｂ）に示すように、各インク共用部６１Ａ，６１Ｂは、複数のノズル開口１７の配列方向に沿って延在し、流路基板２０の厚さ方向における深さを互いに異ならせて形成されている。各インク共用部６１Ａ，６１Ｂに連通するマイクロ流路６２は、インク共用部６１Ａ内のインクＬ１を分配する複数の分配部６３Ａと、インク共用部６１Ｂ内のインクＬ２を分配する複数の分配部６３Ｂと、これら各分配部６３Ａ，６３Ｂに連通する混合部６４を有している。

図２，４に示すように、複数のマイクロ流路６２は、ノズル基板２１に対して垂直に起立する仕切り板７２によって仕切られており、各マイクロ流路６２の流路内はノズル基板２１に対して平行に設けられた分離板７２によって分配部６３Ａと分配部６３Ａとに分離されている。そして、隣り合う仕切り板７２，７２と分離板７１と振動板１９によって分配部６３Ａが構成され、隣り合う仕切り板７２，７２と分離板７１とノズル基板２１とによって分配部６３Ｂが構成されている。

本実施形態のマイクロ流路６２は、異なる種類のインクＬ１，Ｌ２を混合する混合部６３を有しており、各混合部６３は、隣り合う一対の仕切り板７２，７２と振動板１９とノズル基板２１とによって構成されるもので、対応する各分離路６２Ａ，６２Ｂに連通している。これにより、混合部６４内に異なる種類のインクＬ１，Ｌ２が供給される。

共通インク室２９は、複数のマイクロ流路６２の配列方向に沿って延在し、その上流側が複数のマイクロ流路６２に連通している一方、下流側は複数のインク供給口３０に連通しており、各混合部６３において混合された混合インクを一時的に貯留した後、対応する各インク供給口３０に分配するようになっている。

本実施形態の流体供給流路は、インク供給チューブ４６Ａ，４６Ｂとマイクロ流路６２とによって構成される。

ノズル基板２１は、所定方向に所定間隔（ピッチ）で形成された複数のノズル開口１７を有する。本実施形態のノズル基板２１は、例えばステンレス鋼等の金属で形成された板状の部材である。

このような構成の液滴吐出ヘッド３４において、各インク供給容器４５Ａ，４５Ｂ（図１参照）から各々のインク供給チューブ４６Ａ，４６Ｂを介して供給されたインクＬ１，Ｌ２は、内部流路２８Ａ，２８Ｂの上端にそれぞれ流入する。内部流路２８Ａ，２８Ｂの下端はインク共用部６１Ａ，６１Ｂに連通されているため、内部流路２８Ａ，２８Ｂの上端に流入したインクＬ１，Ｌ２は、内部流路２８Ａ，２８Ｂをそれぞれ流れた後、インク共用部６１Ａ，６１Ｂに供給される。

そして、インク共用部６１Ａ，６１Ｂに供給されたインクＬ１，Ｌ２は複数のマイクロ流路６２に分配されて、各分配部６３Ａ，６３Ｂにそれぞれ対応（連通）する混合部６４に流入することでインクＬ１とインクＬ２が混合する。つまり、マイクロ流路６２に流入したインクＬ１，Ｌ２のうち、インクＬ１は分配部６３Ａを介して混合部６４へと供給され、インクＬ２は分配部６３Ｂを介して混合部６４へと供給されて、この混合部６４においてインクＬ１とインクＬ２が混合される。このように、インクＬ１，Ｌ２はマイクロ流路６２において搬送される過程で混合される。

混合したインク（混合インク）は、各混合部６３と連通する共通インク室２９に一旦集められ、インク供給口３０を介して、複数の圧力室３１のそれぞれに分配される。

ケーブル２７を介して圧電素子２５に駆動信号が入力されると、圧電素子２５が伸縮する。これにより、振動板１９が圧力室３１に接近する方向及び離れる方向に変形（移動）する。これにより、圧力室３１の容積が変化し、インクを収容した圧力室３１の圧力が変動する。この圧力の変動によって、ノズル開口１７から混合インクが噴射される。圧電素子２５は、ノズル開口１７より混合インクを噴射するために、入力される駆動信号に基づいてノズル開口１７に連通する圧力室３１の圧力を変動させるので、ノズル開口１７から噴射された混合インクによって記録紙１２に所望の画像が形成される。

なお、圧力室３１と混合部６４との間に介在する共通インク室２９によって、圧力室３１から混合部６４への混合インクの逆流が緩和される。また、共通インク室２９の上方にはコンプライアンス部３３が設けられているので、共通インク室２９を構成している振動板１９がダンパの役目を果たすため、混合部６４への混合インクの逆流が防止される。

以上により、本発明に係る液滴吐出装置１０では、吐出する直前に異なる種類のインクＬ１，Ｌ２を混合することができる。インクＬ１，Ｌ２は、マイクロ流路６２に分配されることで微量化されるため、混合部６４においてインクＬ１，Ｌ２同士の接触面積が小さくなって効率よく一様に混合する。吐出直前に混合するのが好ましい液体の例としては、ＵＶインク、蛍光体インク、３次元造形インク、蛋白質溶液、混合することで硬化する液体（２成分接着剤など）やゲル化する溶液、あるいは細胞溶液などが考えられる。

また、本実施形態においては、各インクＬ１，Ｌ２の混合比（供給量）を上述した供給ポンプ４９ａ，４９ｂ（圧力調整弁）によって簡単に調整することが可能である。混合比を調整する他の方法として、例えば、インクＬ１，Ｌ２に対して温度差あるいは濃度差を与えるようにしても良い。

混合比を調整する手段としては、流体供給流路（インク供給チューブ４６Ａ，４６Ｂ、マイクロ流路６２）の流路抵抗を異ならせることによって可能となる。例えば、インク供給チューブ４６Ａ，４６Ｂやマイクロ流路６２の流路径や流路長さを異ならせることによっても可能である。

あるいは、インク供給容器４５Ａ，４５Ｂに昇降手段（不図示）を備え、昇降手段によって液滴吐出ヘッド３４（混合部６４）に対するインク供給容器４５Ａ，４５Ｂの高さ位置を異ならせることによって、各インク供給容器４５Ａ，４５Ｂ内に貯留されているインクＬ１，Ｌ２の液面高さを変えることにより水頭値を変化させるようにしてもよい。このとき、昇降手段によりインクＬ１，Ｌ２の減り具合に応じてインク供給容器４５Ａ，４５Ｂの位置調整を適宜行うようにするとなお良い。
また、マイクロ流路を設けることで圧力損失が大きくなり、特にインク吐出周波数を大きくした場合にはインクの供給不足を招くおそれがあるが、これを防止するために、共通インク室に排出口を設け、共通インク室内の混合インクがノズル側及び排出口の両方に流れるようにすると良い。

ところで、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。

例えば、先の実施形態においては、多ノズル式の液滴吐出装置１０について述べたが、１ノズル式の液滴吐出装置１０としてもよく、この場合も、複数のマイクロ流路６２を備えた構成とすることで異なる種類のインクＬ１，Ｌ２の混合を良好に行うことができる。
なお、マイクロ流路６２（分配部６３Ａ、混合部６４）の数は、インクＬ１，Ｌ２の混合比などに応じて適宜設定する。また、インクの種類は３種類以上であってもよい。

また、本発明は、インクジェット式記録装置に限らず、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等の液体を噴射する流体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置、精密ピペットとしての試料噴射装置等にも適用できる。

本発明の液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図。 流体吐出ヘッドの要部を拡大して示す断面図。 流体吐出ヘッドの要部を拡大して示す断面図 （ａ）は図２のＣ−Ｃ断面図の一部を拡大して示す断面図、（ｂ）は図２のＤ−Ｄ断面の一部を拡大して示す断面図、（ｃ）は図２のＥ−Ｅ断面図の一部を拡大して示す断面図

符号の説明

３４…液滴吐出ヘッド（流体噴射ヘッド）、４５Ａ，４５Ｂ…インク収容容器（流体供給部）、Ｌ１，Ｌ２…インク（流体）、３１…圧力室、４９ａ，４９ｂ…供給ポンプ（加圧機構）、２９…（共通流体貯留部）、６４…混合部、１０…液滴吐出装置（流体噴射装置）

Claims (10)

1. 異なる種類の流体を混合して噴射する流体噴射ヘッドを備える流体噴射装置であって、
   ノズルと、
   前記ノズルに連通する複数の圧力室と、
   前記複数の圧力室に連通し、前記複数の流体を前記複数の圧力室へ供給する複数の流体供給流路と、を備え、
   前記流体供給流路には、互いに異なる複数の前記流体を混合する混合部が設けられていることを特徴とする流体噴射装置。
2. 前記ノズルを複数備え、
   前記複数の圧力室と前記混合部との間に共通流体貯留部を備えることを特徴とする請求項１記載の流体噴射装置。
3. 前記混合部を複数備えることを特徴とする請求項１または２記載の流体噴射装置。
4. 前記複数の流体の混合比を調整する混合比調整手段を備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の流体噴射装置。
5. 前記混合比調整手段は、
   前記複数の流体供給流路の流路抵抗をそれぞれ異ならせることを特徴とする請求項４項に記載の流体噴射装置。
6. 前記混合比調整手段は、
   前記複数の流体の温度をそれぞれ異ならせることを特徴とする請求項４記載の流体噴射装置。
7. 前記混合比調整手段は、
   前記複数の流体の濃度をそれぞれ異ならせることを特徴とする請求項４記載の流体噴射装置。
8. 前記混合比調整手段が、前記複数の流体供給流路の上流側に設けられる加圧機構であることを特徴とする請求項４記載の流体噴射装置。
9. 前記加圧機構に圧力調整弁が設けられていることを特徴とする請求項８記載の流体噴射装置。
10. 前記複数の流体供給流路にそれぞれ連通する複数の流体供給部を備え、
    前記混合部に対する前記複数の流体供給部の高さ位置がそれぞれ異なっていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載の流体噴射装置。

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