JP2013252692A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】各ノズルにおける気泡の排出性を向上させた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドは、液体が吐出されるノズルに連通し、複数が並設された圧力発生室１１と、圧力発生室に連通し、それぞれ隔壁２１により画成された液体供給路と、複数の液体供給路に共通して液体が貯留されるマニホールド２２とが形成された流路形成基板、及び圧力発生室に圧力を発生させる圧力発生手段を備え、マニホールドを画成し、マニホールドと液体供給路とを区画する側壁面５２は、液体供給路の幅方向の中心に向かって突出し、隔壁は、マニホールド側の端部の幅が先端に向かって細くなり、かつ互いに隣接する隔壁同士は液体供給路の幅方向の中心線に対して鏡面対称となるように形成された。
【選択図】図２

Description

本発明は液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。

液体噴射ヘッドの代表例として、例えば圧電素子の変位により圧力発生室内のインクに作用する圧力を利用してノズル開口からインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドがある。このようなインクジェット式記録ヘッドにおける圧力発生室を含む液体流路は、例えば結晶面方位（１１０）面が表面となる単結晶シリコン基板にエッチングにより形成される（例えば、特許文献１参照）。

特開２００６−２２４５６８号公報（請求項２等）

このように形成されたインクジェット式記録ヘッドでは、ノズル面をキャップ部材で封止して吸引を行う、いわゆるクリーニングを行うが、クリーニングを行った場合に、気泡の排出性が低いことがあるという問題がある。なお、このような問題は、インクジェット式記録ヘッドユニットに限らず、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドユニットにおいても同様に存在する。

本発明は、上記従来技術に鑑み、各ノズルにおける気泡の排出性を向上させた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。

本発明の液体噴射ヘッドは、液体が吐出されるノズルに連通し、複数が並設された圧力発生室と、該圧力発生室に連通し、それぞれ隔壁により画成された液体供給路と、複数の該液体供給路に共通して液体が貯留されるマニホールドとが形成された流路形成基板、及び前記圧力発生室に圧力を発生させる圧力発生手段を備え、前記マニホールドを画成し、該マニホールドと前記液体供給路とを区画する側壁面は、前記液体供給路の幅方向の中心に向かって突出し、前記隔壁は、前記マニホールド側の端部の幅が先端に向かって細くなり、かつ互いに隣接する該隔壁同士は前記液体供給路の幅方向の中心線に対して鏡面対称となるように形成されたことを特徴とする。本発明では、側壁面が、前記液体供給路の幅方向の中心に向かって突出し、前記隔壁は、前記マニホールド側の端部の幅が先端に向かって細くなり、かつ互いに隣接する該隔壁同士は前記液体供給路の幅方向の中心線に対して鏡面対称となるように形成されたことで、気泡がクリーニング時において液体供給路の開口において止められやすい（チョークされやすい）と共に液体供給路に流入しやすい。従って、気泡の排出性が高い。

前記側壁面は、前記液体供給路の前記マニホールド側の開口の中心線に対して鏡面対称となるように前記液体供給路の幅方向の中心に向かって突出していることが好ましい。このように構成されていることで、気泡がより液体供給路に流入しやすく、気泡の排出性が高い。

前記側壁面は、前記液体供給路の幅方向の中心に向かって突出する谷部と、該谷部との間に設けられ、前記マニホールド側に突出する山部とを備え、前記隔壁の前記マニホールド側の端部は先端に向かって幅が狭くなっており、該先端の頂点が、前記山部の頂点とは上面視において一致することが好ましい。このように構成されることで、気泡がより液体供給路に流入しやすく、気泡の排出性が高い。

前記液体供給路には、該液体供給路の長手方向に沿って前記開口の中心線に対して鏡面対称となる壁面部が設けられていることが好ましい。このように構成されることで、より流れが均一化されて気泡の排出性が高くなる。

本発明の液体噴射装置は、前記いずれかの液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする。

本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドに用いる流路形成基板の上面図。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドに用いる流路形成基板の上面図。 従来の記録ヘッドに用いる流路形成基板の上面図。 従来の記録ヘッドの製造についての説明図。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの製造についての説明図。 本発明の実施形態１に係る記録装置の概略斜視図である。

図１は、インクジェット式記録ヘッドの一例を示す断面図である。図示するように、インクジェット式記録ヘッド１０は、複数の圧力発生室１１を有する流路形成基板１２と、各圧力発生室１１に連通する複数のノズル開口１３が穿設されたノズルプレート１４と、流路形成基板１２のノズルプレート１４とは反対側の面に設けられる振動板１５とを具備する流路ユニット１６を有する。さらに、振動板１５上の各圧力発生室１１に対応する領域に設けられる圧電素子１７を有する圧電素子ユニット１８と、振動板１５上に固定されて圧電素子ユニット１８が収容される収容部１９を有するケースヘッド２０とを有する。

流路形成基板１２は、結晶面方位（１１０）面が表面となる単結晶シリコン基板からなる。流路形成基板１２には、その一方面側の表層部分に、圧力発生室１１が隔壁２１によって区画されてその幅方向で複数並設されている。例えば、本実施形態では、流路形成基板１２には、複数の圧力発生室１１が並設され、各圧力発生室１１の列の外側には、各圧力発生室１１にインクを供給するためのマニホールド２２が、流路形成基板１２を厚さ方向に貫通して設けられている。そして、各圧力発生室１１とマニホールド２２とは、インク供給路（液体供給路）２３を介して連通している。インク供給路２３には、本実施形態では、詳しくは図２において後述するように圧力発生室１１よりも狭い幅となるように壁面部５１がその幅方向の中央部に形成されている。インク供給路２３は、マニホールド２２から圧力発生室１１に流入するインクの流路抵抗を一定に保持する役割を果たしている。

さらに、圧力発生室１１のマニホールド２２とは反対の端部側には、流路形成基板１２を貫通するノズル連通孔２４が形成されている。このような流路形成基板１２は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、流路形成基板１２に設けられる上記圧力発生室１１等は、流路形成基板１２をエッチングすることによって形成されている。

この流路形成基板１２の一方面側にはノズル開口１３が穿設されたノズルプレート１４が接着剤や熱溶着フィルムを介して接着され、各ノズル開口１３は、流路形成基板１２に設けられたノズル連通孔２４を介して各圧力発生室１１と連通している。また、流路形成基板１２の他方面側、すなわち、圧力発生室１１の開口面側には振動板１５が接合されて、各圧力発生室１１はこの振動板１５によって封止されている。

流路形成基板１２にエッチングにより形成された液体流路について、図２を用いて説明する。図２は、流路形成基板１２の上面図である。図２に示すように、マニホールド２２のインク供給路２３との側壁面を画成し、上面視においてマニホールド２２とインク供給路２３との境界線ともなる側壁部５２は、マニホールド２２側に突出した山部５３とインク供給路２３側に突出した谷部５４とが交互に形成されて（いわゆるジグザグ形状に）構成されている。このように側壁部５２が上面視において山部５３及び谷部５４からなるのは、詳しくは後述するエッチングによるものである。

谷部５４及び山部５３は、谷部５４の頂点５５がインク供給路２３の幅方向の中心線Ｌ上に位置し、山部５３は、その頂点５９が隔壁２１の幅方向（即ち圧力発生室の並設方向に一致する）の中心線上に位置する。即ち、谷部５４はインク供給路２３の中心線Ｌに対して鏡面対称となるように形成されている。なお、本実施形態ではインク供給路２３の幅方向の中心線Ｌは、インク供給路２３のマニホールド２２側の開口の幅方向の中心線Ｌと一致する。

各圧力発生室１１及びインク供給路２３を区画する隔壁２１は、そのマニホールド２２側の端部５７がその先端５８に向かって均一に幅が細くなっている。このように幅が細くなるのは詳しくは後述するエッチングによるものであるが、本実施形態ではこの幅が均一に細くなるように構成することで、各隔壁２１の端部５７の先端５８は隔壁２１の幅方向の中心線上に位置する。従って、図示するように隣接する隔壁２１は、互いにインク供給路２３の中心線Ｌに対して鏡面対称となるように形成されており、それぞれ同一形状である。また、端部５７の先端５８は山部５３の頂点５９と一致する。

本実施形態では、このようにマニホールド２２とインク供給路２３とを区画する側壁部５２が山部５３と谷部５４とを備えている。そして、谷部５４の頂点５５がインク供給路２３の中心線Ｌ上に位置すると共に、各インク供給路２３に対応する側壁部５２及び隔壁２１が、それぞれインク供給路２３の幅方向の中心線Ｌを中心として鏡面対称であるように、液体流路が形成されている。このように液体流路が形成されることで、後述するように本実施形態では、クリーニング時におけるインク流れがよい結果、気泡をチョークしやすいと共に気泡を排出しやすいので気泡排出性が高くなる。

さらに、インク供給路２３には、上述のようにインク供給路２３の幅を狭めるための壁面部５１が設けられている。壁面部５１は、インク供給路２３の長手方向に沿って形成されている。壁面部５１の両端部６１は、それぞれ先端６２に向かって均一に幅が狭くなっており、この各先端６２は、壁面部５１の幅方向の中心線上に位置すると共に、インク供給路２３の幅方向における中心線Ｌ上に位置する。このようにさらに壁面部５１もインク供給路２３の幅方向における中心線Ｌに対して鏡面対称となるように形成されていることで、本実施形態では、よりクリーニング時におけるインク流れがよく、気泡排出性を高めることができる。

振動板１５は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜２５と、この弾性膜２５を支持する、例えば、金属材料等からなる支持板２６との複合板で形成されており、弾性膜２５側が流路形成基板１２に接合されている。例えば、本実施形態では、弾性膜２５は、厚さが数μｍ程度のＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）フィルムからなり、支持板２６は、厚さが数十μｍ程度のステンレス鋼板（ＳＵＳ）からなる。また、振動板１５の各圧力発生室１１に対向する領域内には、圧電素子１７の先端部が当接する島部２７が設けられている。すなわち、振動板１５の各圧力発生室１１の周縁部に対向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部２８が形成されて、この薄肉部２８の内側にそれぞれ島部２７が設けられている。また、本実施形態では、振動板１５のマニホールド２２に対向する領域に、薄肉部２８と同様に、支持板２６がエッチングにより除去されて実質的に弾性膜のみで構成されるコンプライアンス部２９が設けられている。なお、このコンプライアンス部２９は、マニホールド２２内の圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部２９の弾性膜２５が変形することによって圧力変化を吸収し、マニホールド２２内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。

そして、圧電素子ユニット１８を構成する各圧電素子１７は、その活性領域の先端が振動板１５の島部２７に当接されている。実際には、各圧電素子１７の先端面が接着剤３０によって島部２７に接合されている。

ここで、圧力発生室１１内にインク滴を吐出するための圧力を発生する圧力発生手段である圧電素子１７は、本実施形態では、一つの圧電素子ユニット１８において一体的に形成されている。すなわち、圧電材料３１と電極形成材料３２，３３とを縦に交互にサンドイッチ状に挟んで積層した圧電素子形成部材３４を形成し、この圧電素子形成部材３４を各圧力発生室１１に対応して櫛歯上に切り分けることによって各圧電素子１７が形成されている。すなわち、本実施形態では、複数の圧電素子１７が一体的に形成されている。そして、この圧電素子１７（圧電素子形成部材３４）の振動に寄与しない不活性領域、すなわち、圧電素子１７の基端部側が固定基板３５に固着されている。そして、圧電素子１７の基端部近傍には、固定基板３５とは反対側の面に、各圧電素子１７を駆動するための信号を供給する配線３６を有する回路基板３７が接続され、本実施形態では、これら圧電素子１７（圧電素子形成部材３４）と固定基板３５と回路基板３７とで圧電素子ユニット１８が構成されている。

このような圧電素子ユニット１８は、圧電素子１７の先端部が上述したように振動板１５の島部２７に当接された状態で固定されている。例えば、本実施形態では、上述したように振動板１５上にケースヘッド２０が固定されており、圧電素子ユニット１８は、このケースヘッド２０の収容部１９内に収容されて、圧電素子１７が固定された固定基板３５が、圧電素子１７とは反対面側でケースヘッド２０に固定されている。具体的には、ケースヘッド２０の収容部１９内には、段差部３８が設けられており、固定基板３５は、このケースヘッド２０の段差部３８に接着剤３９によって接合されている。

さらにケースヘッド２０上には、回路基板３７の各配線３６がそれぞれ接続される複数の導電パッド４０が設けられた配線基板４１が固定されており、ケースヘッド２０の収容部１９は、この配線基板４１によって実質的に塞がれている。配線基板４１には、ケースヘッド２０の収容部１９に対向する領域にスリット状の開口部４２が形成されており、回路基板３７はこの配線基板４１の開口部４２から収容部１９の外側に引き出されている。

また、圧電素子ユニット１８を構成する回路基板３７は、例えば、本実施形態では、圧電素子１７を駆動するための駆動ＩＣ（図示なし）が搭載されたチップオンフィルム（ＣＯＦ）からなる。そして、回路基板３７の各配線３６は、その基端部側では、例えば、半田、異方性導電材等によって圧電素子１７を構成する電極形成材料３２，３３に接続されている。一方、先端部側では、各配線３６は配線基板４１の各導電パッド４０に接合されている。具体的には、配線基板４１の開口部４２から収容部１９の外側に引き出された回路基板３７の先端部が配線基板４１の表面に沿って折り曲げられた状態で、各配線３６は配線基板４１の各導電パッド４０に接合されている。

そして、このようなインクジェット式記録ヘッド１０では、インク滴を吐出する際に、圧電素子１７及び振動板１５の変形によって各圧力発生室１１の容積を変化させて所定のノズル開口１３からインク滴を吐出させるようになっている。具体的には、図示しないインクカートリッジからマニホールド２２にインクが供給されると、インク供給路２３を介して各圧力発生室１１にインクが分配される。実際には、圧電素子１７に電圧を印加することにより圧電素子１７を収縮させる。これにより、振動板１５が圧電素子１７と共に変形されて圧力発生室１１の容積が広げられ、圧力発生室１１内にインクが引き込まれる。ノズル開口１３に至るまで内部にインクが満たされた後、配線基板を介して供給される記録信号に従い、圧電素子１７の電極形成材料３２，３３に印加していた電圧を解除する。これにより、圧電素子１７が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板１５も変位して元の状態に戻る。結果として圧力発生室１１の容積が収縮して圧力発生室１１内の圧力が高まりノズル開口１３からインク滴が吐出される。

また、かかるインクジェット式記録ヘッド１０では、インクジェット式記録ヘッド１０のノズルプレート１４のノズル面にキャップ部材（図示せず）を密着させて吸引動作を行うことで、クリーニング動作を行う。この場合に、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０では、以下説明するように気泡排出性がよい。

この点について図３を用いて説明する。
図３（ａ）は、本実施形態における流路形成基板１２においてインクの流れをシミュレーションにより解析したものである。インクの流れる方向が矢印で示されている。なお、シミュレーション条件の簡略化のため、壁部は設けられていない。

図３（ａ）に示すように、本実施形態の各インク供給路２３に対応する谷部５４の頂点５５がインク供給路２３の幅方向の中心線Ｌ上に位置し、かつ、隣接する隔壁２１がインク供給路２３の幅方向の中心線Ｌに対して鏡面対称であるように液体流路が形成されていることで、インクがスムーズにインク供給路２３内に流入している。このようなインク流れが形成されることで、クリーニング時に図３（ｂ）に示すように気泡Ｂが隔壁２１の端部５７の斜面においてチョークすることができると共に、気泡Ｂがチョークすることで圧力発生室における圧力が高まり、気泡Ｂがインク供給路に流入する。この場合においてインク供給路２３が中心線Ｌに対して鏡面対称であることから、気泡Ｂはスムーズにインク供給路２３に流入する。これにより、クリーニング時の気泡排出性を高めることができる。

参考のため、別の流路形成基板を用いたインクジェット式記録ヘッドの気泡排出性について、図４を用いて説明する。図４に示すように、従来の流路形成基板を用いたインクジェット式記録ヘッドにおいては、各インク供給路２３に対応する側壁部５２’及び隔壁２１’が、それぞれインク供給路２３’の幅方向の中心線Ｌを中心として鏡面対称ではない。谷部５４’の頂点５５’は、隔壁２１’の先端５８’近辺に位置し、かつ、隣接する隔壁２１’は、インク供給路２３の幅方向の中心線Ｌを中心とした鏡面対称とはなっていない。

このような別の流路形成基板を用いたインクジェット式記録ヘッドにおいては、隔壁２１’の端部５７’付近はインクの流れが弱いためにインクが滞留してしまう。インクが滞留すると、この部分で気泡が成長することが考えられ、図４（ｂ）に示すように気泡Ｂ’が滞留する。このような位置に気泡Ｂ’が滞留すると、クリーニング動作時においてもインク供給路２３’が気泡Ｂ’によりチョークされない。従って、気泡Ｂ’は排出されにくい。従って、クリーニング時における気泡排出性は低い。

本実施形態では、谷部５４の頂点５５がインク供給路２３の幅方向の中心線Ｌに一致すると共に、各隔壁２１は、インク供給路２３の幅方向の中心線Ｌに対して鏡面対称となるように設けられていることで、インクの滞留を抑制し、クリーニング時における気泡排出性に優れると共に、インクの吐出特性も良い。

このような従来の流路形成基板における流路の形成工程について図５を用いて説明する。従来、マスクを用いて公知のエッチング方法によりエッチングを行って流路形成基板に流路を形成している。流路形成基板は、結晶面方位（１１０）面が表面となる単結晶シリコン基板であるので、結晶面方位を考慮すれば、図５に示すようなマスクを用いることとなる。具体的には、従来の流路形成基板における流路の形成時には、第１のエッチング液でエッチングする第１エッチング工程に用いられる第１マスクＭ１’と、第２のエッチング液でエッチングする第２エッチング工程に用いられる第２マスクＭ２’とを用いて、所望の流路を形成していた。第２マスクＭ２’は、隔壁２１’に対応する第１マスク部１０１’と、第１マスク部１０１’のマニホールド２２’側に設けられ、第１マスク部１０１’と交差する第２マスク部１０２’とを有する。即ち、第２エッチング工程では、隔壁２１’毎に個別のマスクを用いてエッチングを行っていた。

このような第１マスクＭ１’と、第２マスクＭ２’を用いた場合には、図５中点線部で示すような非対称な隔壁２１’及び側壁部５２’が形成されていた。

これに対し、本実施形態では、図６に示すマスクを用いて流路の形成を行う。本実施形態では、第１のエッチング液でエッチングする第１エッチング工程に用いられる第１マスクＭ１と、第２のエッチング液でエッチングする第２エッチング工程に用いられる第２マスクＭ２とを用いて、所望の流路を形成している。第１マスクＭ１は、従来と同様であるが、第２マスクＭ２が従来とは異なり、各隔壁部に対応するマスク部はそれぞれ互いに接続されている。即ち、第２マスク部１０２が互いに接続するように延設されている。このような第２マスクＭ２を用いてエッチングをすることで、図６中点線で示すような、インク供給路２３の中心線Ｌに対して互いに鏡面対称な隔壁２１及び側壁部５２を形成することができる。

このように、本実施形態では、従来とは第２マスクＭ２の形状を変更することで、インク供給路２３の幅方向の中心線Ｌに対して互いに鏡面対称な隔壁２１と、インク供給路２３の幅方向の中心線Ｌ上に各谷部５４が位置する側壁部５２とを形成することができる。これにより、上述のようなインクの滞留を抑制し、クリーニング時における排出性に優れると共に、インクの吐出特性も良いインクジェット式記録ヘッドとすることができる。

さらに、インク供給路２３の壁面部５１もインク供給路２３の幅方向における中心線Ｌに対して鏡面対称となるように形成されていることで、インクがインク供給路２３内に流入した後もインク流れがよい。これにより気泡排出性が高くなる。

また、山部５３の頂点５５と、隔壁２１の端部５７の先端５８が上面視において一致する位置にあることで、隔壁２１の端部５７近辺における段差が減少するので、より気泡がスムーズにインク供給路２３内に流入することができる。

図７は、本発明の実施形態１に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略斜視図である。本発明のインクジェット式記録装置Ｉは、図７に示すように、インクジェット式記録ヘッド１がキャリッジ２に固定されている。

この記録ヘッド１には、インクが貯留された液体貯留手段の一例であるインクカートリッジ３がそれぞれ着脱可能に固定されている。本実施形態では、インクカートリッジ３は、ブラック（Ｂ）、ライトブラック（ＬＢ）、シアン（Ｃ）、マゼンダ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）等の複数の異なる色毎に設けられている。

記録ヘッド１が搭載されたキャリッジ２は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動可能に設けられている。そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ２に伝達されることで、キャリッジ２はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙装置等により給紙された紙等の被記録媒体Ｓがプラテン８上を搬送されるようになっている。

本発明は上述した実施形態に限定されない。
本実施形態では、隔壁２１の端部５７の先端５８は頂点５９を有する略三角形状となったものであったが、これに限定されない。隔壁２１はマニホールド２２側の端部の幅が先端に向かって細くなっていて、かつ、隣接する隔壁２１が中心線Ｌに対して鏡面対称となるように設けられていればよい。例えば、図３に示すように、先端が緩やかな平坦部となっていてもよい。このようになっていても、図３に示すようにインク供給路２３の開口において気泡Ｂをチョークすることができる。

上述した実施形態では、壁面部５１は、インク供給路２３の中央部に配されたが、これに限定されない。インク供給路２３の幅方向の中心線に対して鏡面対称となるように、かつ、インク供給路２３の断面積を小さくすることができればよい。例えば、二つの壁面部５１を有し、これらを共に隔壁２１に接続させて、インク供給路２３の幅方向の中心線に対して鏡面対称となるように設けることも可能である。

上述した実施形態では、側壁部５２が上面視において山部５３及び谷部５４が交互に形成された形状であり、この谷部５４がインク供給路２３の中心線Ｌに対して鏡面対称となるように形成されているが、これに限定されない。インクの流れについては、少なくとも谷部５４がインク供給路２３の中心に向かって突出していれば、即ち谷部５４の頂点がインク供給路２３の中心線Ｌ上にあればよい。

また、上述した実施形態においては、本発明の液体噴射装置としてインクジェット式記録装置Ｉを例示したが、液体噴射装置の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。本発明は、広く液体噴射装置の全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドを用いる液体噴射装置等にも適用することができる。

本発明でインクジェット式記録装置には、キャリッジに搭載されたインクジェット式記録ヘッドを移動させながら印刷を行うシリアル型のものについて説明したが、記録媒体の全副に亘って配置されたノズルからインクを噴射して印刷を行うライン型の液体噴射装置に適用することも可能である。

１０ インクジェット式記録ヘッド、 １１ 圧力発生室、 １２ 流路形成基板、 １３ ノズル開口、 １４ ノズルプレート、 １５ 振動板、 １６ 流路ユニット、 １７ 圧電素子、 １８ 圧電素子ユニット、 １９ 収容部、 ２０ ケースヘッド、 ２１ 隔壁、 ２２ リザーバ、 ２３ インク供給路、 ２４ ノズル連通孔、 ２５ 弾性膜、 ２６ 支持板、 ２７ 島部、 ２８ 薄肉部、 ２９ コンプライアンス部、 ３０ 接着剤、 ３１ 圧電材料、 ３２，３３ 電極形成材料、 ３４ 圧電素子形成部材、 ５１ 壁面部、 ５２ 側壁部、 ５３ 山部、 ５４ 谷部

Claims (5)

1. 液体が吐出されるノズルに連通し、複数が並設された圧力発生室と、
   該圧力発生室に連通し、それぞれ隔壁により画成された液体供給路と、
   複数の該液体供給路に共通して液体が貯留されるマニホールドとが形成された流路形成基板、及び前記圧力発生室に圧力を発生させる圧力発生手段を備え、
   前記マニホールドを画成し、該マニホールドと前記液体供給路とを区画する側壁面は、前記液体供給路の幅方向の中心に向かって突出し、
   前記隔壁は、前記マニホールド側の端部の幅が先端に向かって細くなり、かつ互いに隣接する該隔壁同士は前記液体供給路の幅方向の中心線に対して鏡面対称となるように形成されたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記側壁面は、前記液体供給路の前記マニホールド側の開口の中心線に対して鏡面対称となるように前記液体供給路の幅方向の中心に向かって突出していることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記側壁面は、前記液体供給路の幅方向の中心に向かって突出する谷部と、該谷部との間に設けられ、前記マニホールド側に突出する山部とを備え、
   前記隔壁の前記マニホールド側の端部は先端に向かって幅が狭くなっており、該先端の頂点が、前記山部の頂点とは上面視において一致することを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記液体供給路には、該液体供給路の長手方向に沿って前記開口の中心線に対して鏡面対称となる壁面部が設けられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。