JP5292899B2 - 流体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、液滴吐出ヘッド内の流体を循環させる流体噴射装置に関するものである。

流体を噴射する流体噴射装置として、例えばインクジェット式記録装置などが知られている。インクジェット式記録装置は、媒体に文字や画像などを記録する装置であり、記録ヘッドに設けられた複数のノズルからインク（流体）を噴射する構成になっている。

従来の流体噴射装置には、インクの状態を良好に維持するために、共通インク室（共通流体貯留部）内のインクを循環させる循環機構を備えたものがある。このような構造として、例えば、共通インク室とインクタンクとを２つの流路で繋ぎ、共通インク室内のインクを、共通インク室、排出流路、インクタンク、供給流路を経由して循環させることが知られている。通常、供給流路および排出流路は共通インク室の両端側にそれぞれ接続されるが、供給流路から共通インク室内に供給された流体は排出流路側へと流れるため、排出流路近傍に気泡が溜まり易く、また排出もなかなかされ難い。

そこで、圧力室内にスリット状の壁を形成して圧力室を分割し、気泡が流れる流路側と圧力室側とを分けることで、気泡がノズル側に流れるのを阻止する構成が開示されている（特許文献１）。また、共通インク室の大きさを大きくし、共通インク室の天井面にインク供給口側から排出口側（または、気泡専用の排出口）に向かって傾斜を設けて、浮上してきた気泡を集めて排出する構造が開示されている（特許文献２）。また、他の構造としては、共通インク室に平行な循環路を形成し、インクの循環によって気泡を排出するというのもある（特許文献３）。
特開平８−２３８７７２号公報 特許第３８８５２２６号公報 特開２００２−１４４５７６号公報

しかしながら、特許文献１では、リザーバーと平行な循環路が必要となり、流体噴射ヘッドが大型化してしまう。また、特許文献２では、圧力室の天井を高くできない場合（圧力室がプレート内に形成されているとき）には、気泡を浮上させることができない。また、特許文献３では、インク排出口が圧力室の供給口列より外側にあるため気泡を排出できているが、インク排出口が圧力室の供給口列より内側に配置されている場合については言及していない。

本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、流体中に混入した気泡を効果的に排出することで良好な吐出を可能とした流体噴射装置を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明は、流体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルに連通する複数の圧力室と、前記複数の圧力室に連通し、前記流体を貯留する共通流体貯留部と、前記共通流体貯留部に連通し、前記共通流体貯留部内の前記流体を循環させる流体循環機構と、を備え、前記共通流体貯留部は、前記流体循環機構に接続する流体供給口と流体排出口とを有するとともに、当該共通流体貯留部内の流体澱み領域に流体ガイド部が設けられており、少なくとも前記流体排出口の近くに前記流体ガイド部が設けられていることを特徴とする。
また、本発明は、流体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルに連通する複数の圧力室と、前記複数の圧力室に連通し、流体を貯留する共通流体貯留部と、前記共通流体貯留部に連通し、前記共通流体貯留部内の前記流体を循環させる流体循環機構と、を備え、前記共通流体貯留部は、前記流体循環機構に接続する流体供給口と流体排出口とを有するとともに、当該共通流体貯留部内の流体澱み領域に流体ガイド部が設けられており、前記流体ガイド部が、前記共通流体貯留部と前記複数の圧力室との境界に形成される段差部に配置されることを特徴とする。
また、本発明は、流体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルに連通する複数の圧力室と、前記複数の圧力室に連通し、流体を貯留する共通流体貯留部と、前記共通流体貯留部に連通し、前記共通流体貯留部内の前記流体を循環させる流体循環機構と、を備え、前記共通流体貯留部は、前記流体循環機構に接続する流体供給口と流体排出口とを有するとともに、当該共通流体貯留部内の流体澱み領域に流体ガイド部が設けられており、前記流体ガイド部が複数の凸部からなり、前記複数の凸部同士の配置間隔が前記圧力室の開口幅よりも狭いことを特徴とする。

本発明によれば、共通流体貯留部内の流体澱み領域に流体ガイド部を設けることによって、共通流体貯留部内に気泡が溜まることを防止して、流体排出口から排出することができる。これにより、圧力室へ流体が流れやすくなるのでノズルから良好な吐出を行うことができる。

また、少なくとも前記流体排出口の近くに前記流体ガイド部が設けられていることが好ましい。
本発明によれば、流体排出口の近傍で流体澱み領域が発生することを防止することができる。これにより、共通流体貯留部内で気泡を停留させることなく排出することができる。

また、流体ガイド部は、前記流体排出口に向けて前記流体を誘導する機能を有することが好ましい。
本発明によれば、共通流体貯留部内の気泡を流体とともに確実に流体排出口へ導くことができ、流体排出口から外部へ排出することができる。

また、流体ガイド部が、前記共通流体貯留部と前記複数の圧力室との境界に形成される段差部に配置されることが好ましい。
本発明によれば、共通流体貯留部内の気泡が圧力室に入り込むことが防止されて、すべての圧力室に一様に流体が供給される。

また、流体ガイド部が複数の凸部からなり、前記複数の凸部同士の配置間隔が前記圧力室の開口幅よりも狭いことが好ましい。
本発明によれば、圧力室の開口幅よりも狭い間隔で配置された複数の凸部からなる流体ガイド部によって、圧力室の開口幅よりも大きい気泡が圧力室内に入り込むことを防止することができる。これによって、各圧力室に一様に流体が供給されるようになり、ノズルからの良好な吐出が可能となる。

以下、この発明の好適な実施の形態を添付図面等を参照しながら、詳細に説明する。
尚、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。

以下に、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態としての液滴吐出装置１０の概略構成を示す模式図である。図１に示すように、液滴吐出装置（流体噴射装置）１０は、ベース８１と、基板移動手段８２と、ヘッド移動手段７３と、液滴吐出ヘッド３４（流体噴射ヘッド）と、インク供給容器４５と、制御装置９０とを備えて構成されている。ベース８１の上には、基板移動手段８２と、ヘッド移動手段７３とが設置されている。また、液滴吐出装置１０は、クリーニングユニット１０３と、キャッピングユニット１０５とを備えている。

基板移動手段８２はベース８１上に設けられ、Ｙ軸方向に沿って配置されたガイドレール８６を有している。この基板移動手段８２は、例えばリニアモータ（図示せず）により、スライダ８７をガイドレール８６に沿って移動させるよう構成されている。スライダ８７上にはステージ８９が固定されており、このステージ８９は、基板Ｐを位置決めして保持するためのものである。即ち、このステージ８９は、公知の吸着保持手段（図示せず）を有し、この吸着保持手段を作動させることにより、基板Ｐをステージ８９の上に吸着保持するように構成されている。基板Ｐは、例えばステージ８９の位置決めピン（図示せず）により、ステージ８９上の所定位置に正確に位置決めされ、保持されるようになっている。

ヘッド移動手段７３は、ベース８１の後部側に立てられた一対の架台７３ａ、７３ａと、これら架台７３ａ、７３ａ上に設けられた走行路７３ｂを備え、この走行路７３ｂをＸ軸方向、即ち前記の基板移動手段８２のＹ軸方向と直交する方向に沿って配置したものである。走行路７３ｂは、架台７３ａ、７３ａ間に渡された保持板７３ｃと、この保持板７３ｃ上に設けられた一対のガイドレール７３ｄ、７３ｄとを備え、ガイドレール７３ｄ、７３ｄの長さ方向に液滴吐出ヘッド３４を搭載するキャリッジ９２を移動可能に保持している。キャリッジ９２は、リニアモータ（図示せず）等の作動によってガイドレール７３ｄ、７３ｄ上を走行し、これにより液滴吐出ヘッド３４をＸ軸方向に移動させるように構成されている。

ここで、このキャリッジ９２は、ガイドレール７３ｄ、７３ｄの長さ方向、即ちＸ軸方向に、例えば、１μｍ単位で移動可能になっている。キャリッジ９２のこのような移動はコンピュータ等からなる制御装置９０によって制御可能に構成されている。制御装置９０は、液滴吐出ヘッド３４の位置情報、即ち液滴吐出ヘッド３４のガイドレール７３ｄ、７３ｄ上での位置（Ｘ座標）とそのときの各ノズルの位置（Ｘ座標）とを検知して記憶するものである。

液滴吐出ヘッド３４は、キャリッジ９２に取付部９３を介して回動可能に取り付けられたものである。取付部９３にはモータ９４が設けられており、液滴吐出ヘッド３４はその支持軸（図示せず）がモータ９４に連結している。このような構成のもとに、液滴吐出ヘッド３４はその周方向に回動可能となっている。また、モータ９４も制御装置９０に接続されており、これによって液滴吐出ヘッド３４はその周方向への回動が、制御装置９０に制御されるようになっている。

インク供給容器４５（流体供給部）には、インクＬ（流体）が充填されている。そして、このインク供給容器４５と液滴吐出ヘッド３４とがチューブ４６Ａ，４６Ｂを介して接続され、各チューブ４６Ａ，４６Ｂには、循環ポンプ４９ａ，４９ｂがそれぞれ配置されている。循環ポンプ４９ａは、インク供給容器４５からインクＬを液滴吐出ヘッド３４へ送出するよう機能し、循環ポンプ４９ｂは、液滴吐出ヘッド３４内のインクＬをインク供給容器４５へと戻すよう機能するもので、これら循環ポンプ４９ａ，４９ｂが駆動されることでヘッド内のインクが循環される。また、循環ポンプ４９ａ，４９ｂのうち、チューブ４６Ａに配置される循環ポンプ４９ａには、インクＬを加圧する加圧度を調整するための圧力調整弁（図示略）が設けられていてもよく、チューブ４６Ｂに配置される循環ポンプ４９ｂには、インクＬを吸引する減圧度を調整するための圧力調整弁（図示略）が設けられていてもよい。そして、これら圧力調整弁は制御装置９０に接続されており、これによって圧力の増減圧が制御されるようになっている。

クリーニングユニット１０３は、液滴吐出ヘッド３４のノズル等のクリーニングを基板Ｐの製造工程中や待機時に定期的にあるいは随時に行うことができる。なお、インクを基板Ｐに吐出する際には、クリーニングユニット１０３は液滴吐出ヘッド３４に干渉しない位置に保持される。

キャッピングユニット１０５は、キャップ部９７と、液体吸引チューブ９８と、液体吸引チューブ９８に接続される吸引ポンプ１０１とを有している。キャッピングユニット１０５は、液滴吐出ヘッド３４のノズル開口面２１Ａ（図２参照）が乾燥しないようにするために、基板Ｐに対するインクＬの吐出工程中や待機時に、ノズル開口面２１Ａ（図２参照）にキャップ部９７を被着させるものである。また、キャッピングユニット１０５は、液滴吐出ヘッド３４にインクＬを初期充填する機能も有している。この初期充填の際にも、ノズル開口面２１Ａにキャップ部９７を被着させるようになっている。キャップ部９７は、例えば、液滴吐出装置１０内に設けられたガイド（図示せず）などに沿って上下方向に移動することで、液滴吐出ヘッド３４のノズル開口面２１Ａ（図２参照）に当接し、これに被着されるよう構成されたものである。キャップ部９７は、シリコーン、フッ素樹脂等からなり、液体吸引チューブ９８を介して、インクＬを吸引する吸引ポンプ１０１に接続されている。

なお、インクＬを基板Ｐに吐出する際には、キャッピングユニット１０５は液滴吐出ヘッド３４に干渉しない位置に保持される。

次に、液滴吐出ヘッドの概略構成を図２および図３を用いて説明する。
図２は液滴吐出ヘッドの一部を示す断面図であって、図３（ａ）は図２のＣ−Ｃ断面図である。図３（ｂ）は図３（ａ）のＡ−Ａ断面図、図３（ｃ）は図３（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
液滴吐出ヘッド３４は、ヘッド本体１８と、振動板１９、流路基板２０、及びノズル基板２１を含む流路形成ユニット２２とを備えている。インクＬを噴射するノズル開口１７はノズル基板２１に形成され、ノズル基板２１の下面がノズル開口面２１Ａとされている。流路形成ユニット２２は、振動板１９、流路基板２０、及びノズル基板２１を積層し、接着剤等で接合して一体にしたものである。

液滴吐出ヘッド３４は、ヘッド本体１８の内部に形成された収容空間２３と、収容空間２３に配置された駆動ユニット２４とを備えている。駆動ユニット２４は、複数の圧電素子（流体供給部）２５と、圧電素子２５の上端を支持する固定部材２６と、駆動信号を圧電素子２５に供給する柔軟なケーブル２７とを備えている。圧電素子２５は、複数のノズル開口１７のそれぞれに対応するように設けられている。

また、ヘッド本体１８の内部に形成され、インク供給容器４５（図１）から延在するチューブ４６Ａが接続（連通）する内部流路２８Ａ、および同じくインク供給容器４５から延在するチューブ４６Ｂが接続（連通）する内部流路２８Ｂと、振動板１９、流路基板２０、及びノズル基板２１を含む流路形成ユニット２２によって形成され、上記内部流路２８Ａ，２８Ｂの下端に連通する共通インク室２９と、共通インク室２９に連通する複数のインク供給流路３０と、各インク供給流路３０に連通する複数の圧力室３１を備えている。圧力室３１は、複数のノズル開口１７に対応するように複数設けられている。複数のノズル開口１７のそれぞれは、複数の圧力室３１のそれぞれに連通している。

ヘッド本体１８は、合成樹脂で形成されている。振動板１９は、例えばステンレス鋼等の金属製の支持板上に弾性フィルムをラミネート加工したものである。振動板１９のキャビティに対応する部分には、圧電素子２５の下端と接合される島部３２が形成されている。振動板１９の少なくとも一部は、圧電素子２５の駆動に応じて弾性変形する。振動板１９の共通インク室２９に対応する箇所にコンプライアンス部３３が形成されている。

流路基板２０は、内部流路２８Ａ，２８Ｂの下端とノズル開口１７とを接続する、共通インク室２９、インク供給流路３０、及び複数の圧力室３１それぞれの空間を形成するための凹部を有した板材からなる。本実施形態においては、流路基板２０は、シリコンからなる板材を異方性エッチングすることで形成されている。

次に、本実施形態の特徴部分である共通インク室２９の構成について詳しく述べる。
図３に示すように、本実施形態の共通インク室２９は、圧力部３８を構成する複数のインク供給流路３０及び複数の圧力室３１の連設方向に沿って延在し、壁部２９ａ側の長手方向一方の端部にインク供給口２９Ａが設けられ、他方の端部にインク排出口２９Ｂが設けられている。インク供給口２９Ａは上記した内部流路２８Ａの下端開口を構成する一方、インク排出口２９Ｂは上記した内部流路２８Ｂの下端開口を構成し、インク供給口２９Ａから共通インク室２９内に供給されたインクＬが図中の矢印で示す方向に流れてインク排出口２９Ｂから排出される構成となっている。ここで、インク供給口２９Ａおよびインク排出口２９Ｂの直径は、約１〜５ｍｍとなっている。本実施形態における共通インク室２９は、圧力部３８とは反対側の壁部２９ａから圧力部３８側へ向かって拡がるテーパ形状とされている。

共通インク室２９内には、少なくともインク排出口２９Ｂ近傍の角部であって、共通インク室２９と圧力室３１およびインク供給流路３０との境界に形成される段差部１１０に、圧力室３１及びインク供給流路３０を構成する複数の隔壁３１ａと一体に形成された流体ガイド部１２０が設けられている。流体ガイド部１２０は、各隔壁３１ａと同じ高さを有した角柱状を呈するもので、その側部に圧力室３１側からインク排出口２９Ｂ側へ向けて傾斜する傾斜面１２０Ａを有している。本実施形態においては、傾斜面１２０Ａの端部が、インク排出口２９Ｂよりも１〜３ｍｍ程度、インク供給口２９Ａ側へ延在した状態となっている。

流体ガイド部１２０の高さは、上述したように圧力室３１の隔壁３１ａと同じ高さとされていることが好適であるが、隔壁３１ａよりも若干高く形成されていてもよい。流体ガイド部１２０の高さが隔壁３１ａの高さよりも低い場合には、流体ガイド部１２０と隔壁３１ａの高低差よりも直径の大きな気泡がインク供給流路３０へ流出してしまう虞があるため、流体ガイド部１２０の高さは少なくとも隔壁３１ａの高さ以上であることが望ましい。但し、流体ガイド部１２０を隔壁３１ａよりも高く形成する場合には、インク供給流路３０へ流出するインクＬの流量に影響を与えない寸法とする。このような流体ガイド部１２０は、流路基板２０をエッチングする際、ハーフエッジによって形成することができ、従来のマスクパターンを変更するだけで簡単に形成することができる。

本実施形態の液滴吐出装置１０は、図１に示すインク供給容器４５と液滴吐出ヘッド３４との間に流体循環経路を有している。この流体循環経路は、インク供給容器４５、チューブ４６Ａ、液滴吐出ヘッド３４、チューブ４６Ｂから構成され、液滴吐出ヘッド３４内の気泡を排出することを目的としている。インクＬは、この流体循環経路Ｒ上に設けられた上記循環ポンプ４９ａ，４９ｂによって流体循環経路Ｒ内を圧送される構成になっている。

インクＬを循環する際には、まず、循環ポンプ４９ａを駆動することによってチューブ４６Ａ内のインクＬを加圧圧送することによってインク供給容器４５内のインクＬを液滴吐出ヘッド３４の共通インク室２９内に供給および充填する。その後、循環ポンプ４９ａと同時に駆動される循環ポンプ４９ｂによって、共通インク室２９内に充填されたインクＬがチューブ４６Ｂ内へ吸引されて循環ポンプ４９ａによってインク供給容器４５へと戻される。共通インク室２９内でインクＬを循環させる場合、インク排出口２９Ｂの近傍においてインクＬの流れが低迷する澱み領域１３５が発生する。共通インク室２９内の気泡は、インクＬの流れによって押し流されてインク排出口２９Ｂ近傍の澱み領域１３５に停滞しやすい。初め小さかった気泡でも互いに結合するなどして次第に大きくなりその直径が圧力室３１の開口（インク供給口の開口）よりも大きくなった場合には、気泡付近に存在するいくつかの圧力室３１（インク供給流路３０）にインクＬが十分に供給されず、ノズルにおいてインクＬの吐出不良が発生してしまう。

そこで、本実施形態では、上述したように共通インク室２９内における少なくともインク排出口２９Ｂの近傍であってその角部、すなわち澱み領域１３５に流体ガイド部１２０を設けて、澱み領域１３５に停滞する気泡がインクＬとともにインク排出口２９Ｂへと誘導されるようにした。この流体ガイド部１２０にはインク排出口２９Ｂ側に向かって傾斜する傾斜面１２０Ａが設けられているため、共通インク室２９内を流れるインクＬがこの傾斜面１２０Ａに沿ってインク排出口２９Ｂへ向かって流れるようになる。またこの流体ガイド部１２０は、圧力室３１を構成する隔壁３１ａと同じ高さを有するため、気泡が圧力部３８側へ入り込みにくくなり、共通インク室２９内の気泡を確実にインク排出口２９Ｂへ誘導することができる。

本実施形態のような液滴吐出ヘッド３４の構成では、共通インク室２９の高さが低くその略全体にインクＬが充填されるために気泡を浮上させることができない。一方、インク供給容器４５は共通インク室２９に比べて高さを有するので、流体循環経路に沿ってインクＬを循環させて共通インク室２９内の気泡をインク供給容器４５へ排出すると、インク供給容器４５においてインクＬ内から気泡が浮上して、空間Ｋに気泡を排出することができる。

このように、本実施形態の液滴吐出装置１０によれば、共通インク室２９内における澱み領域１３５に圧力部３８の隔壁３１ａと同じ高さの流体ガイド部１２０を設けたことによって、共通インク室２９内の気泡を確実にインク排出口２９Ｂへ誘導することができる。また、インク排出口２９Ｂへ向けて傾斜する傾斜面１２０Ａがインク排出口２９Ｂよりもインク供給口２９Ａ側へ延在していることから、共通インク室２９内のインクＬをインク排出口２９Ｂへと確実に誘導することが可能となる。そのため、圧力室３１の開口（インク供給流路３０）よりも大きい気泡が圧力室３１側へ入り込むことがなくなり、ノズルにおいて吐出不良が発生するのを防止することができる。

今までは、共通インク室２９内の気泡をノズル側からクリーニング動作によってインクＬを吸引することによって排出していたため、全ての気泡を排出するまでに大量のインクＬを消費してしまっていたが、本実施形態の構成によれば、流体循環経路に沿ってインクＬを循環させるだけで共通インク室２９内のインクＬを排出することができるので、インクＬの無駄遣いをなくすことができる。また、印字の途中でノズルから気泡が流入してしまった場合にも、印字を中断してインクＬの循環を行うことによって液滴吐出ヘッド３４内の気泡を排出することができる。

以上のように、共通インク室２９内において気泡が溜まり易い澱み領域１３５に流体ガイド部１２０を設けることによって共通インク室２９の気泡排出性が確保されるので、ノズルからのインク吐出信頼性を高めることができる。また、インクＬを循環させることによって、沈殿する成分を有するインクＬを用いる場合でも沈降の影響を軽減することができるのでインクＬの特性を変化させることなく良好な状態で吐出することができる。

図４は、共通インク室２９内におけるインクＬの流動をシュミレーションした結果を示す図であって（ｂ）には（ａ）のコンター・レンジを変更したものを示している。
図４（ａ），（ｂ）に示すように、共通インク室２９内において、インク排出口２９Ｂ近傍にインクの澱み領域１３５が発生していることが明らかである。この澱み領域１３５には気泡が溜まりやすいため、少なくともこの澱み流域がなくなるように流体ガイド部１２０を設けるようにする。また、同図からも分かるように、インク供給口２９Ａの近傍においても澱み領域１３５が発生している。そのため、インク供給口２９Ａの近傍にも流体ガイド部１２０を設けるようにしてもよい。

（第２の実施形態）
図５（ａ），（ｂ）に示すように、本実施形態の流体ガイド部１２２は、等間隔に配置された複数の曲板１２２ａから構成されている。各曲板１２２ａは、インク排出口２９Ｂ側へ湾曲しており、インクＬおよび気泡をインク排出口２９Ｂへと確実に誘導することができる。また、インク排出口２９Ｂ付近でインクの逆流等が発生することを防止できるので、気泡排出性が確保されるとともに、圧力室３１へ十分な量のインクＬを供給することができる。なお、圧力室３１を構成する壁部３１ａと流体ガイド部１２２との配置間隔ｅは、圧力室３１へ供給されるインクＬの流量に影響を与えることのないものとする。

（第３の実施形態）
図６（ａ），（ｂ）に示すように、本実施形態の流体ガイド部１２３は、互いに平行をなす複数の板状部１３５（凸部）によってスリット状に構成されている。また、各板状部１３５はインク排出口２９Ｂ側の端部側が直線状に揃えられており、これら端部によってインク排出口２９Ｂ側へ向かって傾斜する傾斜面１２３Ａが擬似的に構成された形状になっている。各板状部１３５は等間隔で配置され、その配置間隔は圧力室３１の開口幅ｆよりも狭い方が好ましい。本実施形態における開口幅ｆは１２０μｍ程度であることから、例えば、板状部１３５の配置ピッチを８０μｍ程度とする。これによって、圧力室３１の開口よりも大きい気泡が圧力室３１内に入り込まないよう防止する。また、擬似的な傾斜面１２０Ａによって、気泡をインク排出口２９Ｂ側へ誘導することができ、共通インク室２９内の気泡を確実にインク排出口２９Ｂから排出させることができる。

（第４の実施形態）
図７（ａ），（ｂ）に示すように、本実施形態の流体ガイド部１２４は、細棒状を呈する複数の柱状体１２４ａから構成されている。各柱状体１２４ａは角柱状でも円柱状であってもよく、互いの配置間隔が圧力室３１の開口幅よりも狭くなっていればよい。また、この柱状体１２４ａの太さ（直径）によっては、圧力室３１を構成する隔壁３１ａよりも高く構成されていてもよく、圧力室３１に流入するインクＬの流量に影響を与えないほど細い（径の小さい）構造であれば共通インク室２９の天井まで延びていてもよい。

（第５の実施形態）
図８（ａ）に示すように、本実施形態では、共通インク室２９内の長手方向両側に一つずつインク供給口２９Ａ，２９Ａが配置され且つ共通インク室２９の中央にインク排出口２９Ｂが配置されている。さらに、インク排出口２９Ｂの近傍である共通インク室２９の中央付近に三角柱状の流体ガイド部１２５がその頂部をインク排出口２９Ｂへ向けて配置されている。本実施形態では、図１に示したインク供給容器４５と液滴吐出ヘッド３４とが計３つのチューブ（供給用のチューブ２つと排出用のチューブ１つ）によって接続されてなるもので、インク供給容器４５から供給用の各チューブ内をそれぞれ圧送されたインクＬがインク供給口２９Ａ，２９Ａから共通インク室２９内にそれぞれ流入し、図中矢印で示す方向に気泡を押し流しながら流体ガイド部１２５の各傾斜面１２５Ａ，１２５Ａに沿って流動することによって気泡がインク排出口２９Ｂ側へ誘導される。これによって、共通インク室２９内の気泡を確実にインク排出口２９Ｂから排出することができる。

（第６の実施形態）
図８（ｂ）に示すように、本実施形態では、共通インク室２９内の長手方向両側に一つずつインク排出口２９Ｂ，２９Ｂが配置され且つ共通インク室２９の中央にインク供給口２９Ａが配置されている。さらに、各インク排出口２９Ｂ，２９Ｂの近傍である共通インク室２９の両側に三角柱状の流体ガイド部１２６，１２６が各々の傾斜面１２６Ａ，１２６Ａを対応するインク排出口２９Ｂ，２９Ｂへ向けて配置されている。本実施形態では、図１に示したインク供給容器４５と液滴吐出ヘッド３４とが計３つのチューブ（供給用のチューブ１つと排出用のチューブ２つ）によって接続されてなるもので、インク供給容器４５から供給用のチューブ内を圧送されたインクＬがインク供給口２９Ａから共通インク室２９内に流入すると、図中矢印で示す方向に気泡を押し流しながら流体ガイド部１２６，１２６の各傾斜面１２６Ａ，１２６Ａに沿って流動することによって気泡がインク排出口２９Ｂ，２９Ｂ側へ誘導される。これによって、共通インク室２９内の気泡を確実にインク排出口２９Ｂ，２９Ｂから排出することができる。

ところで、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。

また、流体ガイド部は上記以外の構成であってもよく、例えば図９（ａ），（ｂ）に示すような格子状の突出部１２７ａからなる流体ガイド部１２７であってもよい。このガイド部１２７にも、側部にインク排出口２９Ｂに向かう傾斜面１２７Ａが形成されていることが好ましい。
このような流体ガイド部を設けることによって共通インク室２９内の澱み領域をなくして、共通インク室２９内の気泡をインク排出口２９Ｂ側へと誘導できるようになっていればよい。

また、流体ガイド部が、圧力室３１を構成する隔壁３１ａや共通インク室２９の側壁２９ｂから離間して島状に設けられていてもよい。但し、圧力室３１を構成する隔壁３１ａと流体ガイド部１２２との隙間は、圧力室３１の開口幅よりも大きい気泡が圧力室３１内に入り込むことを防止するとともに、インクの澱みを防止できるような隙間とする。

また、先の実施形態においては、インク供給容器４５と液滴吐出ヘッド３４とを接続するチューブ４６Ａ，４６Ｂにそれぞれ循環ポンプ４９ａ，４９ｂを備えたが、いずれか一方のチューブのみに循環ポンプを備えるようにしても良い。

また、本発明は、インクジェット式記録装置に限らず、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等の液体を噴射する流体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置、精密ピペットとしての試料噴射装置等にも適用できる。

本発明の第１の実施形態における液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図。 流体吐出ヘッドの要部を拡大して示す断面図。 （ａ）は図２Ｃ−Ｃ断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図、（ｃ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図。 （ａ）は共通インク室内におけるインク流れのシミュレーション結果を示す図であって、（ｂ）は（ａ）の結果をコンター・レンジを変更して示すものである。 （ａ）は第２の実施形態における共通インク室の平面図、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ断面図。 （ａ）は第３の実施形態における共通インク室の平面図、（ｂ）は（ａ）のＥ−Ｅ断面図。 （ａ）は第４の実施形態における共通インク室の平面図、（ｂ）は（ａ）のＦ−Ｆ断面図。 （ａ）は第５の実施形態における共通インク室の平面図、（ｂ）は第６の実施形態における共通インク室の平面図。 （ａ）流体ガイド部の他の実施形態を示す平面図、（ｂ）は（ａ）のＧ−Ｇ断面図。

符号の説明

１０…液滴吐出装置（流体噴射装置）、１７…ノズル開口、２８Ａ…流体供給口、２８Ｂ…流体排出口、２９…共通インク室（共通流体貯留部）、３１…圧力室、３４…液滴吐出ヘッド（流体噴射ヘッド）、４５…インク収容容器（流体供給部）、４９ａ，４９ｂ…循環ポンプ（循環機構）、１２０，１２２，１２３，１２４，１２５，１２６…流体ガイド部、Ｌ…インク（流体）

Claims (6)

1. 流体を吐出する複数のノズルと、
   前記複数のノズルに連通する複数の圧力室と、
   前記複数の圧力室に連通し、流体を貯留する共通流体貯留部と、
   前記共通流体貯留部に連通し、前記共通流体貯留部内の前記流体を循環させる流体循環機構と、を備え、
   前記共通流体貯留部は、前記流体循環機構に接続する流体供給口と流体排出口とを有するとともに、当該共通流体貯留部内の流体澱み領域に流体ガイド部が設けられており、
   少なくとも前記流体排出口の近くに前記流体ガイド部が設けられていることを特徴とする流体噴射装置。
2. 流体を吐出する複数のノズルと、
   前記複数のノズルに連通する複数の圧力室と、
   前記複数の圧力室に連通し、流体を貯留する共通流体貯留部と、
   前記共通流体貯留部に連通し、前記共通流体貯留部内の前記流体を循環させる流体循環機構と、を備え、
   前記共通流体貯留部は、前記流体循環機構に接続する流体供給口と流体排出口とを有するとともに、当該共通流体貯留部内の流体澱み領域に流体ガイド部が設けられており、
   前記流体ガイド部が、前記共通流体貯留部と前記複数の圧力室との境界に形成される段差部に配置されることを特徴とする流体噴射装置。
3. 流体を吐出する複数のノズルと、
   前記複数のノズルに連通する複数の圧力室と、
   前記複数の圧力室に連通し、流体を貯留する共通流体貯留部と、
   前記共通流体貯留部に連通し、前記共通流体貯留部内の前記流体を循環させる流体循環機構と、を備え、
   前記共通流体貯留部は、前記流体循環機構に接続する流体供給口と流体排出口とを有するとともに、当該共通流体貯留部内の流体澱み領域に流体ガイド部が設けられており、
   前記流体ガイド部が複数の凸部からなり、前記複数の凸部同士の配置間隔が前記圧力室の開口幅よりも狭いことを特徴とする流体噴射装置。
4. 少なくとも前記流体排出口の近くに前記流体ガイド部が設けられていることを特徴とする請求項２又は３記載の流体噴射装置。
5. 前記流体ガイド部が、前記共通流体貯留部と前記複数の圧力室との境界に形成される段差部に配置されることを特徴とする請求項１、３、４のいずれか一項に記載の流体噴射装置。
6. 前記流体ガイド部が複数の凸部からなり、前記複数の凸部同士の配置間隔が前記圧力室の開口幅よりも狭いことを特徴とする請求項１、２、４、５のいずれか一項に記載の流体噴射装置。

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