JP2018140599A - 液体噴射装置及びクリーニング方法 - Google Patents

Abstract

【課題】滞留することで特性が変化した液体が圧力発生室に供給されるのを抑制することができる液体噴射装置及びクリーニング方法を提供する。【解決手段】ノズル面２０ａに設けられた複数のノズルに圧力発生室を介して連通する共通液室１００を具備する流路部材を具備し、前記共通液室１００の内壁に設けられ、前記共通液室に液体を供給する供給口４５と、前記共通液室１００の天井４４ａに設けられ、前記共通液室１００から気泡を排出する排出口４７と、前記共通液室１００の前記内壁と連続する壁１３０であって、前記排出口４７に対向して前記天井４４ａに沿った面を有する壁１３０と、を備える。【選択図】図５

Description

本発明は、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッド及び流路部材を具備する液体噴射装置及び液体噴射装置のクリーニング方法に関し、特に液体としてインクを用いるインクジェット式記録装置及びクリーニング方法に関する。

液滴を噴射する液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、ノズルと、ノズルに連通する圧力発生室と、複数の圧力発生室に連通する共通液室であるマニホールドと、を具備し、圧電アクチュエーター等の圧力発生手段によって圧力発生室内のインクに圧力変化を生じさせることで、ノズルからインク滴を吐出させるものがある。

このようなインクジェット式記録ヘッドでは、インクに含まれる気泡が圧力発生室に侵入することによって、吐出不良等の不具合が発生するため、例えば、マニホールド内に気泡を溜めて、排出口から気泡を排出するようにした構成が提案されている（例えば、特許文献１及び２参照）。

特開２０１５−２１２０４７号公報 特開２００９−０６６７８１号公報

しかしながら、排出口が天井にある場合、排出口の直下に気泡が溜まり易く、そのような場所に溜まったインクは、成分が沈降して特性が異なるインクとなってしまう。このように特性が異なるインクが圧力発生室に供給されると、印刷むらや吐出安定性の低下が生じてしまうという問題がある。特に共通液室の容積を大きくすると、排出口の直下のインクの流速が低下し、特性の異なるインクが生じ易いと共に特性の異なるインクが圧力発生室に供給されやすくなってしまう。

一方、インクの流れが澱まないように、共通液室の容積を小さくすると、圧力発生室へのインクの供給能力の低下やインク滴を吐出した際の圧力変動の吸収能力が低下して、安定したインク滴の吐出が行うことができなくなるという問題がある。
なお、このような問題は、インクジェット式記録装置だけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射装置においても同様に存在する。

本発明はこのような事情に鑑み、滞留することで特性が変化した液体が圧力発生室に供給されるのを抑制することができる液体噴射装置及びクリーニング方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、ノズル面に設けられた複数のノズルに圧力発生室を介して連通する共通液室を具備する流路部材を具備し、前記共通液室の内壁に設けられ、前記共通液室に液体を供給する供給口と、前記共通液室の天井に設けられ、前記共通液室から気泡を排出する排出口と、前記共通液室の前記内壁と連続する壁であって、前記排出口に対向して前記天井に沿った面を有する壁と、を備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、排出口の直下において液体が滞留することによって成分の沈降が発生し、特性の異なる液体が存在したとしても、壁によって特性の異なる液体が圧力発生室に供給されるのを抑制することができる。

ここで、前記共通液室の前記天井は、前記排出口に向かって前記ノズル面から離間する斜面を有することが好ましい。これによれば、気泡を浮力によって天井に沿って排出口に向かって移動させることができ、排出口からの気泡排出性を向上して、圧力発生室に気泡が侵入するのを抑制することができる。

また、前記壁は、前記天井と向かい合う床面であって、前記排出口に近づくほど前記ノズル面に近づく床面を有することが好ましい。これによれば、天井と床面との間に特性の異なる液体を溜めることができるため、特性の異なる液体が圧力発生室に侵入するのをさらに抑制することができる。

また、前記供給口は、前記共通液室の前記天井に設けられ、前記壁により、前記供給口から複数の前記圧力発生室への第１の流れと、前記供給口から前記排出口への第２の流れとを前記共通液室内に生じさせ、前記壁のうち、前記第１の流れを規定する部分は、前記供給口から遠ざかるほど、前記ノズル面に近くなる斜面を有することが好ましい。これによれば、第１の流れが斜面に沿って流れるため、液体の流れが澱む領域を減少させて、特性の異なる液体を生じ難くすることができる。

また、前記壁により、前記供給口から複数の前記圧力発生室への第１の流れと、前記供給口から前記排出口への第２の流れとを前記共通液室内に生じさせ、前記第１の流れ及び前記第２の流れが分岐する位置は、前記天井と前記圧力発生室に連通する部分とが対向する方向において、前記共通液室の中心よりも上側にあることが好ましい。これによれば、壁と天井との間の特性の異なる液体を圧力発生室よりも遠ざけることができるため、特性の異なる液体が圧力発生室側に移動しても共通液室内で特性の異なる液体同士を十分に撹拌することができ、特性の異なる液体が圧力発生室に供給されるのをさらに抑制することができる。

また、前記排出口は、前記圧力発生室が並ぶ方向において、前記圧力発生室の外側に配置されていることが好ましい。これによれば、排出口の直下に溜まった特性の異なる液体を圧力発生室から遠ざけることができ、特性の異なる液体が圧力発生室側に移動しても共通液室内で特性の異なる液体同士を十分に撹拌することができ、特性の異なる液体が圧力発生室に供給されるのをさらに抑制することができる。

また、前記排出口は、気液分離壁を有する脱泡室に連通していることが好ましい。これによれば、排出口から脱泡室を介して液体に含まれる気泡を排出させることができる。

さらに、本発明の他の態様は、ノズル面に設けられた複数のノズルに圧力発生室を介して連通する共通液室を具備する流路部材を具備し、前記共通液室の内壁に設けられ、前記共通液室に液体を供給する供給口と、前記共通液室の天井に設けられ、前記共通液室から気泡を排出する排出口と、前記共通液室の前記内壁と連続する壁であって、前記天井に沿った面を有する壁と、を備える液体噴射装置のクリーニング方法であって、前記排出口は、ポンプと連通しており、前記ポンプにより気泡を除去する際に、前記ノズルから液体を排出することを特徴とする液体噴射装置のクリーニング方法にある。
かかる態様では、排出口からの液体の排出と、ノズルからの液体の排出とを同時に行うことで、壁の周辺で液体の流れが澱む部分を減少させることができる。したがって、液体の流れが澱むことによる特性の異なる液体を生じ難くすることができ、クリーニング後の印刷時において特性の異なる液体が圧力発生室内に供給されるのを抑制することができる。

本発明の実施形態１に係る記録装置の概略構成を示す図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。 本発明の実施形態１に係る流路形成基板及び連通板の平面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドのインクの流れを説明する図である。 本発明の実施形態２に係る記録ヘッド及び流路構成を説明する図である。 本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの断面図である。 本発明の実施形態３に係る壁の変形例を示す断面図である。 本発明の実施形態３に係る壁の変形例を示す断面図である。 本発明の他の実施形態に係る記録ヘッドの断面図である。 本発明の他の実施形態に係る記録ヘッドの断面図である。

以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。ただし、以下の説明は、本発明の一態様を示すものであって、本発明の範囲内で任意に変更可能である。各図において同じ符号を付したものは、同一の部材を示しており、適宜説明が省略されている。また、各図において、Ｘ、Ｙ、Ｚは、互いに直交する３つの空間軸を表している。本明細書では、これらの軸に沿った方向を第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ、及び第３の方向Ｚとして説明する。また、第３の方向Ｚは鉛直方向を示し、鉛直方向上側をＺ１側、鉛直方向下側をＺ２側と称する。

（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略構成を示す図である。
図１に示すように、液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置Ｉでは、複数の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１（以下、単に記録ヘッド１とも言う）がキャリッジ３に搭載されている。記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。本実施形態では、キャリッジ３の移動方向が第２の方向Ｙとなっている。

また、装置本体４には、液体としてインクが貯留されたインクタンクからなる貯留手段２が設けられており、貯留手段２は、チューブ等の供給管２ａを介して記録ヘッド１と接続されている。なお、供給管２ａの途中には、貯留手段２のインクを記録ヘッド１に向かって圧送する加圧ポンプ等の圧送手段２ｂが設けられている。なお、圧送手段２ｂは、加圧ポンプに限定されず、例えば、貯留手段２の外周を外部から押圧する押圧手段であってもよい。また、圧送手段２ｂは、記録ヘッド１と貯留手段２との鉛直方向の相対位置を調整して発生する水頭圧差を用いるようにしてもよい。すなわち、圧送手段２ｂは、供給管２ａの途中に設けられたものに限定されず、貯留手段２が保持される図示しないホルダー等に設けられていてもよい。

また、本実施形態では、装置本体４には、記録ヘッド１の詳しくは後述する脱泡室にチューブ等の排出管６ａを介して接続された減圧手段６が設けられている。減圧手段６は、真空ポンプなどの減圧ポンプからなり、記録ヘッド１内の脱泡室内の空気を吸引することで、脱泡室内を減圧する。このように減圧手段６によって脱泡室を減圧することで、詳しくは後述する記録ヘッド１内のインクに含まれる気泡を脱泡室を介して排出することができる。なお、減圧手段６による脱泡室の減圧は、例えば、排出管６ａや脱泡室の出口などを開閉する開閉弁（図示せず）を設けることで、減圧手段６を常に動作させなくても脱泡室の減圧状態を維持することができる。

そして、駆動モーター７の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７ａを介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラー８に限られずベルトやドラム等であってもよい。本実施形態では、記録シートＳの搬送方向が第１の方向Ｘとなっている。

また、キャリッジ３の移動方向である第２の方向Ｙの一端部側には、記録ヘッド１のノズルからインク等を吸引する吸引手段９が設けられている。
吸引手段９は、記録ヘッド１のノズルを覆うゴムやエラストマー等の弾性材料で形成されたキャップ部材９ａと、キャップ部材９ａにチューブ等の吸引管９ｂを介して接続された例えば真空ポンプ等の吸引装置９ｃと、を具備する。

このような構成の吸引手段９は、キャップ部材９ａを記録ヘッド１のノズル面に当接させて、吸引装置９ｃに吸引動作を行わせることでキャップ部材９ａの内部を負圧として、ノズルから記録ヘッド１内のインクを気泡と共に吸引してクリーニング動作を行う。また、非印刷時には、キャップ部材９ａによってノズルを封止することによりノズルの乾燥を抑制するようにしてもよい。

なお、キャップ部材９ａは、所望のタイミングで記録ヘッド１のノズル面に当接して、ノズルを覆うため、キャップ部材９ａは、本実施形態では、第３の方向Ｚに移動可能に設けられている。そして、キャップ部材９ａの移動は、例えば、図示しない駆動モーターや電磁石等の移動手段によって行うことができる。

ここで、本実施形態の記録装置Ｉに搭載される記録ヘッド１について図２〜図６を参照して詳細に説明する。なお、図２は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図３は、流路形成基板及び連通板の平面図であり、図４は、図３のＡ−Ａ′線に準じた断面図であり、図５は、図３のＢ−Ｂ′線に準じた断面図であり、図６は、インクの流れを説明する図である。

図２に示すように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例である記録ヘッド１を構成する流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２がインクを吐出する複数のノズル２１が並設される方向に沿って並設されている。本実施形態では、圧力発生室１２の並設された方向が第１の方向Ｘとなっている。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列、第２の方向Ｙに設けられている。また、本実施形態の記録ヘッド１は、第３の方向ＺのＺ２側が鉛直方向下向きとなるように配置されて用いられる。したがって、浮力が働く方向とは第３の方向ＺにおいてＺ２側からＺ１側に向かう方向のことである。

このような流路形成基板１０の第３の方向Ｚの一方面側であるＺ２側には、連通板１５と、ノズルプレート２０とが順次積層されている。
連通板１５には、圧力発生室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このように連通板１５を設けることによってノズルプレート２０のノズル２１と圧力発生室１２とを離せるため、圧力発生室１２の中にあるインクは、ノズル２１付近のインクで生じるインク中の水分の蒸発による増粘の影響を受け難くなる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル２１が開口されて、インク滴が吐出される面をノズル面２０ａと称する。

また、連通板１５には、ノズル２１と複数の圧力発生室１２を介して連通する共通液室であるマニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８とが設けられている。

第１マニホールド部１７は、連通板１５を第３の方向Ｚに貫通して設けられている。
また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を第３の方向Ｚに貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して設けられている。

さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、圧力発生室１２の各々に対して独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。すなわち、供給連通路１９は、マニホールド１００に対して、第１の方向Ｘに並設されている。

ノズルプレート２０には、各圧力発生室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル２１が形成されている。ノズル２１は、同じ種類のインク（液体）を噴射するものが第１の方向Ｘに並設されてノズル列を構成している。この第１の方向Ｘに並設されたノズル２１で構成されたノズル列が、第２の方向Ｙに２列形成されている。

一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側であるＺ１側には、振動板５０が形成されている。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力発生室１２等の液体流路は、流路形成基板１０をノズルプレート２０が接合された面側から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。

また、流路形成基板１０の振動板５０上には、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とを有する圧電アクチュエーター３００が設けられている。本実施形態では、圧電アクチュエーター３００が、圧力発生室１２内のインクに圧力変化を生じさせる駆動素子となっている。ここで、本実施形態では、第１電極６０は、圧力発生室１２毎に切り分けてあり、圧電アクチュエーター３００の実質的な駆動部である能動部毎に独立する個別電極を構成する。

圧電体層７０は、第１電極６０の供給連通路１９側の端部よりも外側まで設けられている。すなわち、第１電極６０の供給連通路１９側の端部は、圧電体層７０によって覆われている。

圧電体層７０は、第１電極６０上に形成される分極構造を有する酸化物の圧電材料からなり、例えば、一般式ＡＢＯ_３で示されるペロブスカイト型酸化物からなることができ、鉛を含む鉛系圧電材料や鉛を含まない非鉛系圧電材料などを用いることができる。

このような圧電体層７０には、図３に示すように、第１の方向Ｘで隣り合う圧力発生室１２の間の各隔壁に対応する凹部７１が形成されている。この凹部７１の第１の方向Ｘの幅は、各隔壁の第１の方向の幅と略同一、もしくはそれよりも広くなっている。これにより、振動板５０の圧力発生室１２の第２の方向Ｙの端部に対抗する部分、いわゆる振動板５０の腕部の剛性が押さえられるため、圧電アクチュエーター３００を良好に変位させることができる。

第２電極８０は、圧電体層７０の第１電極６０とは反対面側に設けられており、複数の能動部に共通する共通電極を構成する。また、第２電極８０は、凹部７１の内面、すなわち、圧電体層７０の凹部７１の側面内に設けるようにしても良く、設けないようにしてもよい。

このような第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０で構成される圧電アクチュエーター３００は、第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加することで変位が生じる。すなわち両電極の間に電圧を印加することで、第１電極６０と第２電極８０とで挟まれている圧電体層７０に圧電歪みが生じる。そして、両電極に電圧を印加した際に、圧電体層７０に圧電歪みが生じる部分を能動部３１０と称する。これに対して、圧電体層７０に圧電歪みが生じない部分を非能動部と称する。また、圧電体層７０に圧電歪みが生じる能動部３１０において、圧力発生室１２に対向する部分を可撓部と称し、圧力発生室１２の外側の部分を非可撓部と称する。

本実施形態では、第２の方向Ｙにおいて、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０の全てが圧力発生室１２の外側まで連続的に設けられている。すなわち能動部３１０が圧力発生室１２の外側まで連続的に設けられている。このため、能動部３１０のうち圧電アクチュエーター３００の圧力発生室１２に対向する部分が可撓部となり、圧力発生室１２の外側の部分が非可撓部となっている。

また、図３に示すように、圧電アクチュエーター３００の第１電極６０からは、引き出し配線である個別配線９１が引き出されている。また、第２電極８０からは、引き出し配線である共通配線９２が引き出されている。そして、これら個別配線９１及び共通配線９２には、フレキシブルケーブル１２０が接続されている。フレキシブルケーブル１２０は、可撓性を有する配線基板であって、本実施形態では、半導体素子である駆動回路１２１が実装されている。

なお、本実施形態では、圧電アクチュエーター３００において、第１電極６０を各能動部３１０毎に独立した個別電極とし、第２電極８０を複数の能動部３１０に共通する共通電極としたが、特にこれに限定されず、第１電極６０を共通電極とし、第２電極８０を個別電極としてもよい。

このような流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、図４に示すように、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。保持部３１は、第１の方向Ｘに並設された圧電アクチュエーター３００の列に対応して第２の方向Ｙに２つ並んで形成されている。また、保護基板３０には、第２の方向Ｙで並設された２つの保持部３１の間に第３の方向Ｚに貫通する貫通孔３２が設けられている。そして、圧電アクチュエーター３００の第１電極６０から引き出された個別配線９１と第２電極８０から引き出された共通配線９２の端部（図３参照）は、この貫通孔３２内に露出するように延設されており、貫通孔３２内でフレキシブルケーブル１２０と電気的に接続されている。

また、保護基板３０及び連通板１５のＺ１側には、ケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、ケース部材本体４１と、蓋部材４２と、を具備する。ケース部材本体４１は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０と連通板１５との両方に接合されている。具体的には、ケース部材本体４１は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４３を有する。そして、凹部４３に流路形成基板１０及び保護基板３０等が収容された状態で凹部４３のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。
また、ケース部材本体４１は、連通板１５に設けられた貫通孔３２に連通してフレキシブルケーブル１２０が挿通される接続口４１ａが設けられている。

また、ケース部材本体４１には、凹部４３の第２の方向Ｙの両側に第３の方向Ｚの連通板１５側及び第２の方向Ｙの側面に開口する第３マニホールド部４４が形成されている。第３マニホールド部４４の第２の方向Ｙ側の開口は蓋部材４２によって封止されている。具体的には、ケース部材本体４１の第３マニホールド部４４の第２の方向Ｙの開口には、連通板１５側であるＺ２側の開口を塞ぐ壁部４６が設けられている。壁部４６に蓋部材４２が接合されることで、第３マニホールド部４４の第２の方向Ｙの開口は封止されている。このように壁部４６を設けることで、連通板１５とケース部材本体４１との２つを接合するだけで、マニホールド１００を封止することができ、ケース部材本体４１、蓋部材４２及び連通板１５の部品公差による接合ばらつきを抑制して、インクの漏出等を抑制することができる。ちなみに、壁部４６が設けられていない場合には、蓋部材４２とケース部材本体４１と連通板１５との３つを接合してマニホールド１００を封止しなくてはならず、各部品の公差によってはマニホールド１００を完全に封止することができずに外部にインクが漏出してしまう虞がある。また、特に図示していないが、壁部４６は、第３マニホールド部４４内に設けたリブ、すなわち、壁部４６と、壁部４６に対向する第３マニホールド部４４の内壁面とを結ぶリブによって補強するようにしてもよい。リブは、単体であってもよく、また、第１の方向Ｘに所定の間隔で複数設けるようにしてもよい。

このようなケース部材４０に設けられた第３マニホールド部４４は、連通板１５側であるＺ２側の開口で第１マニホールド部１７と連通する。したがって、ケース部材４０に設けられた第３マニホールド部４４と、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８とによって本実施形態の共通液室であるマニホールド１００が構成されている。すなわち、本実施形態のマニホールド１００が設けられた流路部材とは、流路形成基板１０、連通板１５及びケース部材４０を含む構成のことをいう。また、上述のように、マニホールド１００の最もＺ２側に設けられた第２マニホールド部１８は、圧力発生室１２に供給連通路１９を介して連通している。つまり、マニホールド１００は、第３の方向ＺのＺ２側が圧力発生室１２に連通している。なお、上述のようにマニホールド１００は、ケース部材４０の第２の方向Ｙの両側にそれぞれ設けられており、ケース部材４０の第２の方向Ｙの両側に設けられた２つのマニホールド１００は、互いに連通することなく独立して形成されている。そして、各マニホールド１００は、第１の方向Ｘに並設された圧力発生室１２の列にそれぞれ連通する。

また、図５に示すように、ケース部材本体４１には、各マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための供給口４５が設けられている。供給口４５は、第３の方向Ｚにおいてケース部材本体４１の連通板１５とは反対側であるＺ１側に開口して設けられている。また、供給口４５は、第３マニホールド部４４の第１の方向Ｘの一端部側であるＸ１側に連通する位置に設けられている。すなわち、供給口４５は、マニホールド１００の内壁に開口して設けられている。

また、ケース部材本体４１には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００内の気泡を排出するための排出口４７が設けられている。排出口４７は、本実施形態では、第３の方向Ｚにおいて第３マニホールド部４４のＺ１側に連通して設けられている。また、排出口４７は、第３マニホールド部４４の第１の方向Ｘの供給口４５が設けられた一端側とは反対側のＸ２側に設けられている。

本実施形態では、第３マニホールド部４４は、第３の方向ＺにおけるＺ１側の第１の方向Ｘの幅は、ノズル２１に連通するＺ２側の幅よりも広くなるように設けられている。また、第１マニホールド部１７は、第３マニホールド部４４のＺ１側の第１の方向Ｘの幅と略同じ幅で設けられている。このように、第３マニホールド部４４のＺ１側の第１の方向Ｘの幅を広げることで、マニホールド１００の全体の容積を確保することができ、インク供給能力及びインク吐出時の圧力変動の吸収能力を確保することができる。また、本実施形態では、供給口４５は、第３マニホールド部４４のＺ１側において、第１マニホールド部１７のＸ１側の端部よりも外側に配置されている。また、排出口４７は、第３マニホールド部４４のＺ１側において、第１マニホールド部１７のＸ２側の端部よりも外側に配置されている。すなわち、排出口４７は、圧力発生室１２が並設する第１の方向Ｘにおいて、複数の圧力発生室１２の外側に配置されている。言い換えると、排出口４７は、第３の方向Ｚから平面視した際に、第１の方向Ｘにおいて複数の圧力発生室１２が形成された領域に重ならない位置に設けられている。このように、排出口４７を圧力発生室１２の外側に配置することで、排出口４７を圧力発生室１２からできるだけ遠ざけることができ、排出口４７近傍に溜まった気泡や、排出口４７の直下に溜まったインク、つまり、滞留することによって成分が沈降して特性の変化したインクが圧力発生室１２に供給されるのを抑制することができる。

また、ケース部材４０に設けられた第３マニホールド部４４の天井４４ａは、排出口４７に向かってノズル面２０ａから離間する斜面を有する。すなわち、第３マニホールド部４４の天井４４ａは、圧力発生室１２の並設方向である第１の方向Ｘにおいて、供給口４５が設けられたＸ１側から排出口４７が設けられたＸ２側に向かって高くなっている。ここで、第３マニホールド部４４の天井４４ａとは、浮力が働く方向、つまり、インクに含まれる気泡が上昇する方向である鉛直方向上側の内壁面のことであり、本実施形態では、第３の方向Ｚの連通板１５側とは反対側であるＺ１側の内壁面のことである。また、本実施形態では、ノズル面２０ａが、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む方向が面方向となるように配置されているため、天井４４ａが高いとは、ノズル面２０ａからの距離が大きく設けられていることを言う。また、本実施形態では、天井４４ａは、第１の方向ＸのＸ１側からＸ２側に向かって、ノズル面２０ａからの第３の方向Ｚの高さが第１の方向Ｘに亘って連続して徐々に高くなる斜面となっている。もちろん、斜面は、天井４４ａの一部に設けられていてもよく、天井４４ａの一部に断続的に設けられていてもよい。

このように、第３マニホールド部４４の天井４４ａ、すなわち、マニホールド１００の天井４４ａを供給口４５が設けられたＸ１側から反対側のＸ２側に向かって高くすることで、供給口４５からマニホールド１００内に供給されたインクに含まれる気泡を、マニホールド１００の天井４４ａの高くなった部分、すなわち、Ｘ２側に集めて収容することができる。これにより、インクに含まれる気泡が、圧力発生室１２側に供給されるのを抑制してインク滴の吐出不良を抑制することができる。すなわち、マニホールド１００のＺ２側から圧力発生室１２にはインクが供給されるため、圧力発生室１２にインクが供給されるＺ２側とは反対側であるＺ１側に気泡を収容することで、収容した気泡が圧力発生室１２側に供給されるのを抑制することができる。

ちなみに、本実施形態では、ノズル面２０ａを第１の方向Ｘに沿って設け、天井４４ａの第３の方向Ｚにおけるノズル面２０ａからの高さを、第１の方向Ｘにおいて供給口４５側よりも排出口４７側が高くなるようにマニホールド１００の形状を規定したが、特にこれに限定されない。例えば、ノズル面２０ａから天井４４ａまでの距離が、供給口４５側であるＸ１側と、排出口４７側であるＸ２側とで同じであっても、ノズル面２０ａを第１の方向Ｘに対してＸ２側が鉛直上側となるように配置すれば、天井４４ａは、排出口４７側が供給口４５よりも鉛直上側となる斜面となる。すなわち、天井４４ａは、上述のように浮力によって移動した気泡を天井４４ａに沿って排出口４７に向かって移動させるものであるため、天井４４ａは、記録ヘッド１の使用時に排出口４７側が供給口４５側よりも鉛直上側となるように配置される斜面を有するものであればよい。

また、ケース部材４０には、排出口４７に気液分離壁４８を介して連通する脱泡室４９が設けられている。気液分離壁４８は、気体（空気）は透過させるがインク等の液体は透過させない気体透過性の膜体であり、例えば、公知の高分子材料で形成される。また、脱泡室４９は、上述のようにインクジェット式記録装置Ｉに設けられた減圧手段に接続されており、減圧状態が維持される。したがって、天井４４ａによって排出口４７に向かって集められた気泡は、浮力による上昇で気液分離壁４８に到達し、気液分離壁４８を透過することで脱泡室４９に排出される。すなわち、インクに混入した気泡が分離される。

なお、本実施形態では、ケース部材４０に気液分離壁４８及び脱泡室４９を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、ケース部材４０とは異なる部材に気液分離壁４８を有する脱泡室４９を設けるようにしてもよい。また、本実施形態では、排出口４７を気液分離壁４８を有する脱泡室４９に連通するようにしたが、特にこれに限定されず、排出口４７から気泡が含まれるインクを排出するようにしてもよく、排出したインクを循環させて供給口からマニホールド１００内に再度供給するようにしてもよい。

また、第３マニホールド部４４内には、壁１３０が設けられている。壁１３０は、第３マニホールド部４４のＸ２側の内壁から連続して設けられており、排出口４７に鉛直方向である第３の方向Ｚで対向して天井４４ａに沿って設けられている。本実施形態では、壁１３０は、天井４４ａに向かい合う床面１３１を有する。すなわち、壁１３０の床面１３１とは、第３の方向Ｚにおいて天井４４ａに相対向して配置された壁１３０のＺ１側の面のことであり、排出口４７に第３の方向Ｚで対向して天井４４ａに沿って、すなわち、第１の方向Ｘに沿って設けられている。なお、本実施形態では、床面１３１は、第１の方向Ｘに対して傾斜することなく、第１の方向Ｘに沿って設けられている。また、床面１３１は、第３の方向Ｚにおいて排出口４７に相対向して設けられている。すなわち、第３の方向Ｚから平面視した際に、壁１３０の床面１３１と排出口４７とは重なり合う位置に配置されている。

このような壁１３０は、供給口４５からマニホールド１００内に供給されたインクに対して、複数の圧力発生室１２へ向かう第１の流れ１１１（図６中の矢印）と、排出口４７へ向かう第２の流れ１１２（図６中の矢印）と、を生じさせる。供給口４５から壁１３０に向かって流れたインクは、第１の方向Ｘにおいて壁１３０の供給口４５側であるＸ１側を向く面１３２に規制されることによって、この壁１３０の面１３２に沿って複数の圧力発生室１２へ向かう第１の流れ１１１が生じる。また、供給口４５から壁１３０に向かって流れたインクは、壁１３０の床面１３１と天井４４ａとの間で排出口４７へ向かう第２の流れ１１２が生じる。

本実施形態では、壁１３０の第１の流れ１１１を規定する部分、すなわち、第１の方向Ｘにおいて壁１３０のＸ１側を向く面１３２は、供給口４５から遠ざかるほど、すなわち、第１の方向ＸのＸ２側に行くほど、ノズル面２０ａに近くなる斜面を有する。すなわち、壁１３０のＸ１側の面１３２は、第３の方向Ｚに対して、Ｚ２側を向く方向に傾斜した斜面を有する。本実施形態では、壁１３０のＸ１側を向く面１３２の全体が斜面となっている。もちろん、斜面は、壁１３０のＸ１側を向く面１３２の一部に設けられていてもよい。

このように壁１３０にＸ１側に向かう面１３２を斜面とすることで、インクの第１の流れ１１１が、面１３２に沿って流れるため、第１の流れ１１１に対するインクの澱みを抑制することができる。

また、壁１３０の床面１３１とＸ１側を向く面１３２とが接続される部分は、Ｘ２側からＸ１側に向かって先端が尖った形状を有する。この壁１３０の供給口４５側であるＸ１側に突出した先端部分が、供給口４５から複数の圧力発生室１２へ向かう第１の流れ１１１と、供給口４５から排出口４７へ向かう第２の流れ１１２を分岐している。

このように、マニホールド１００内に壁１３０を設け、壁１３０によって供給口４５から供給されたマニホールド１００内のインクに複数の圧力発生室１２へ向かう第１の流れ１１１と、排出口４７に向かう第２の流れ１１２とを生じさせることで、マニホールド１００内でインクの流れが澱む部分を減少させることができる。すなわち、壁１３０は、マニホールド１００内のインクの流れが澱む部分に設けられている。このため、マニホールド１００内でインクの流れが澱む部分を減少させることができ、インクが澱むことによってインクに含まれる成分の沈降を抑制すると共に、成分が沈降することによって特性の変化したインクが圧力発生室１２に供給されるのを抑制することができる。また、排出口４７付近、すなわち、壁１３０の床面１３１と天井４４ａとの間のインクの成分が沈降して特性が変化したとしても、この壁１３０と天井４４ａとの間の特性が変化したインクと、複数の圧力発生室１２へ向かう第１の流れ１１１との接点を壁１３０によって減少させることができる。したがって、壁１３０と天井４４ａとの間の特性が変化したインクと、複数の圧力発生室１２へ向かう第１の流れ１１１を生じさせるインクとが混ざり合うのを抑制することができ、特性の変化したインクがノズル２１に流れるのを抑制することができる。

ちなみに、壁１３０が設けられていない場合には、供給口４５から複数の圧力発生室１２に向かう第１の流れ１１１と、供給口４５から天井４４ａに沿って排出口４７に流れる第２の流れ１１２とが生じるものの、第１の流れ１１１と第２の流れ１１２とに分岐した後の部分、すなわち、マニホールド１００のＸ２側にインクの流れが澱む部分が生じる。このインクの流れが澱む部分においてインクの成分の沈降が発生し、特性の異なるインクと第１の流れ１１１を生じさせるマニホールド１００内に供給された新たなインクとが混ざり合って、圧力発生室１２に供給されることにより、印刷物に色むらや吐出安定性の低下が生じる。特に、吸引手段によってノズル２１からインクを吸引した後の印刷時に、流れが澱んだ部分のインクの置換が行われずに、色むらや吐出安定性の低下が生じ易い。本実施形態では、吸引手段によってクリーニング動作を行った場合であっても、インクの流れが澱む部分を壁１３０によって減少させることができると共に、壁１３０によって成分が変化したインクと第１の流れ１１１を生じさせるインクとの接点を減少させて成分が変化したインクが圧力発生室１２に供給されるのを抑制することができる。

なお、壁１３０の第１の流れ１１１と第２の流れ１１２とを分岐する先端部分１３３の位置は、天井４４ａと圧力発生室１２に連通する部分、すなわち、マニホールド１００のＺ１側の端部とが対向する第３の方向Ｚにおいて、マニホールド１００の中心よりも上側、すなわち、天井４４ａ側であるＺ１側に配置されているのが好ましい。これにより、マニホールド１００内でインクの流れが澱みやすい部分、すなわち、壁１３０と天井４４ａとの間をＺ１側に配置することができるので、たとえ第１の流れ１１１が壁１３０と天井４４ａとの間の特性が変化したインクを圧力発生室１２側に移動したとしても、成分が変化したインクが圧力発生室１２に至るまでにマニホールド１００内で十分に拡散させることができる。つまり、壁１３０と天井４４ａとの間に滞留することで成分が変化したインクを圧力発生室１２に供給される部分、すなわち、マニホールド１００のＺ２側の端部からできるだけ離すことで、たとえ成分が変化したインクが圧力発生室１２に向かって流れたとしても、成分が変化したインクが圧力発生室１２に至るまでにマニホールド１００内で十分に拡散させることができる。したがって、成分が変化したインクが圧力発生室１２に供給されるのを抑制して印刷むらの発生や吐出安定性の低下を抑制することができる。

なお、マニホールド１００内に供給されたインクに含まれる気泡は、浮力によって天井４４ａ側に上昇する。本実施形態では、天井４４ａは、供給口４５側であるＸ１側から排出口４７側であるＸ２側に向かってＺ１側の位置が高い斜面となっているため、浮力によって天井４４ａ側に上昇した気泡は、天井４４ａに沿って排出口４７側に移動する。また、本実施形態では、天井４４ａと壁１３０の床面１３１との間に第２の流れ１１２が生じるため、天井４４ａ側に移動した気泡は、第２の流れ１１２によって排出口４７側に移動する。ちなみに、本実施形態では、天井４４ａを供給口４５側よりも排出口４７側の方が鉛直方向が上となる斜面となるようにしたが、特にこれに限定されず、天井４４ａが水平であっても、壁１３０によって第２の流れ１１２が生じるため、気泡は、排出口４７側に移動する。もちろん、天井４４ａに斜面を設けた方が、水平な天井４４ａに比べて、気泡は排出口４７側に移動し易い。

また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、コンプライアンス基板２５が設けられている。このコンプライアンス基板２５が、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８のノズル面２０ａ側の開口を封止している。このようなコンプライアンス基板２５は、本実施形態では、可撓性を有する薄膜からなる封止膜２６と、金属等の硬質の材料からなる固定基板２７と、を具備する。固定基板２７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部２８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜２６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部２９となっている。

以上説明したように、本実施形態では、マニホールド１００内に、マニホールド１００の内壁と連続する壁１３０であって、天井４４ａに沿った床面１３１を有する壁１３０を設けることで、壁１３０によって供給口４５から供給されたインクが複数の圧力発生室１２に向かう第１の流れ１１１と、壁１３０と天井４４ａとの間で排出口４７に向かう第２の流れ１１２とを生じさせることができる。このため、インクの流れに澱みが生じやすい部分に壁１３０を設けることができ、澱みが生じ易い部分を減少させて、澱みによって生じる特性の異なるインクが複数の圧力発生室１２に供給されるのを低減することができる。また、壁１３０と天井４４ａとの間に滞留することによって成分が沈降して特性の異なるインクと、第１の流れ１１１を生じさせるインクとの接点を減少させて成分が変化したインクが圧力発生室１２に供給されるのを抑制することができる。

また、マニホールド１００の天井４４ａは、排出口４７に向かってノズル面２０ａから離間する斜面となっている。このため、浮力によって上昇した気泡が、天井４４ａの斜面に沿って排出口４７に向かって移動しやすく、気泡を排出口４７の直下に収容することができる。したがって、気泡が圧力発生室１２等に侵入するのを抑制して、気泡が圧力発生室１２に侵入することによる吐出不良等の不具合を抑制することができる。

なお、本実施形態では、天井４４ａは、第１の方向Ｘに亘って全体が斜面となっているが、特にこれに限定されず、天井４４ａの一部又は複数箇所が斜面となっていてもよい。すなわち、天井４４ａが斜面を有する構成であれば、その全てであっても、一部であってもよい。
また、天井４４ａは、例えば、Ｘ１側が低く、Ｘ２側が高い、所謂段差形状となっていてもよい。

また、本実施形態では、天井４４ａを斜面としたが、天井４４ａに斜面が設けられていなくてもよい。天井４４ａに斜面が設けられていなくても、天井４４ａと壁１３０の床面１３１との間に第２の流れ１１２が生じるため、天井４４ａ側に移動した気泡は、第２の流れ１１２によって排出口４７側に移動する。

また、本実施形態では、供給口４５は、マニホールド１００の天井４４ａに設けられ、壁１３０により、供給口４５から複数の圧力発生室１２への第１の流れ１１１と、供給口４５から排出口４７への第２の流れ１１２とをマニホールド１００内に生じさせ、壁１３０のうち、第１の流れ１１１を規定する部分、すなわち、供給口４５側であるＸ１側を向く面１３２は、供給口４５から遠ざかるほど、ノズル面２０ａに近くなる斜面となっている。

このように壁１３０の面１３２を斜面とすることで、インクの第１の流れ１１１が、面１３２に沿って流れるため、第１の流れ１１１に対するインクの澱みを抑制することができる。

なお、本実施形態では、壁１３０の面１３２の略全てを斜面としたが、特にこれに限定されず、壁１３０の面１３２の一部が斜面となっていてもよい。特に、壁１３０の第１の流れ１１１と第２の流れ１１２とが分岐する先端部分１３３側に斜面を有するのが好ましい。これにより、特にインクの流れが澱みやすい、第１の流れ１１１と第２の流れ１１２とが分岐する部分においてインクの澱みを抑制することができる。

もちろん、壁１３０の面１３２は、斜面とすることなく、第３の方向Ｚに沿った面であってもよいが、壁１３０の面１３２が第３の方向Ｚに沿った面の場合には、面１３２が斜面を有する場合に比べて、第１の流れ１１１と第２の流れ１１２とが分岐する部分、すなわち、壁１３０のＸ１側のＺ１側においてインクの澱みが生じやすい。

また、本実施形態では、壁１３０により、第１の流れ１１１及び第２の流れ１１２が分岐する位置、すなわち、壁１３０のＸ１側に突出した先端部分１３３は、マニホールド１００の天井４４ａと圧力発生室１２に連通する部分とが対向する第３の方向Ｚにおいて、マニホールド１００の中心よりも上側となっている。これにより、壁１３０と天井４４ａとの間のインクが滞留する部分を圧力発生室１２から遠ざけることができ、インクが滞留することによって成分が沈降した特性の異なるインクが圧力発生室１２に供給されるのを低減することができる。
なお、壁１３０の先端部分１３３は、マニホールド１００の天井と圧力発生室１２に連通するＺ２側の端部との間の中心を含み中心よりもＺ２側に配置してもよい。

また、排出口４７は、圧力発生室１２が並ぶ第１の方向Ｘにおいて、圧力発生室１２の外側に配置されている。このように、排出口４７を圧力発生室１２の外側に配置することで、排出口４７を圧力発生室１２からできるだけ遠ざけることができ、排出口４７近傍に溜まった気泡や、排出口４７の直下に溜まったインク、つまり、滞留することによって成分が沈降して特性の変化したインクが圧力発生室１２に供給されるのを抑制することができる。

もちろん、排出口４７は、第１の方向Ｘにおいて、圧力発生室１２の形成された領域の内側、すなわち、第３の方向Ｚから平面視した際に、圧力発生室１２の形成された領域に重なる位置に設けられていてもよい。

また、排出口４７は、気液分離壁４８を有する脱泡室４９に連通している。このように、排出口４７を気液分離壁４８を有する脱泡室４９に連通させることで、排出口４７に溜まった気泡のみを気液分離壁４８及び脱泡室４９を介して排出することができ、マニホールド１００内の気泡が圧力発生室１２に供給されるのを抑制することができる。
なお、排出口４７は、脱泡室４９に連通することなく、定期的にインクと共に気泡が排出されるものであってもよい。

（実施形態２）
図７は、本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの断面図と、液体噴射装置の流路構成を模式的に示す図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図７に示すように、記録ヘッド１には、上述した実施形態１の気液分離壁４８及び脱泡室４９が設けられておらず、排出口４７が開口して設けられている。
この排出口４７には、チューブ等の排出管６ａを介して貯留手段２が接続されている。また、排出管６ａの途中には、排出口４７からインクを吸引する真空ポンプ等の吸引ポンプ６Ａが接続されており、吸引ポンプ６Ａによって排出口４７を介してマニホールド１００内のインクは、貯留手段２に戻される。すなわち、本実施形態では、貯留手段２のインクは、記録ヘッド１のマニホールド１００との間で循環するようになっている。

ここで、本実施形態の記録ヘッド１のクリーニング方法について説明する。本実施形態では、吸引ポンプ６Ａによって排出口４７からマニホールド１００内のインクを気泡と共に排出する際に、ノズル２１からインクを排出することでクリーニングを実行する。ノズル２１からのインクの排出は、例えば、図１に示す吸引手段９を用いて行われる。すなわち、吸引手段９によってノズル２１からインクを気泡と共に吸引して排出することができる。なお、ノズル２１からのインクの排出は吸引手段９に限定されず、例えば、圧電アクチュエーター３００を駆動することによってノズル２１からインクを排出するようにしてもよい。

このように排出口４７からインクを気泡と共に排出すると、壁１３０のＸ１側を向く面１３２の周辺にインクの澱みが発生する。本実施形態では、排出口４７からインクを排出する際に、ノズル２１からもインクを排出することで、排出口４７からインクを排出することによって発生する壁１３０の面１３２の周辺のインクの澱みを抑制することができる。

なお、本実施形態では、排出口４７を排出管６ａを介して貯留手段２に接続して循環するようにしたが、特にこれに限定されず、排出口４７から排出されたインクを貯留手段２に戻すことなく廃棄するようにしてもよい。

（実施形態３）
図８は、本発明の実施形態３に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの断面図と、液体噴射装置の流路構成を模式的に示す図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図８に示すように、記録ヘッド１を構成するケース部材４０の第３マニホールド部４４内には、壁１３０Ａが設けられている。
壁１３０Ａの天井４４ａと向かい合う床面１３１Ａは、排出口４７に近づくほどノズル面２０ａに近づくように設けられている。本実施形態では、床面１３１Ａは、第１の方向Ｘにおいて排出口４７に近づくほど、すなわち、Ｘ２側に向かって、ノズル面２０ａに連続して徐々に近くなる斜面となっている。

このように床面１３１Ａを、排出口４７に近づくほどノズル面２０ａに近づくように設けることで、床面１３１Ａと天井４４ａとの間に滞留して成分が沈降した特性の異なるインクが圧力発生室１２側に流れ出るのを抑制することができる。すなわち、床面１３１Ａと天井４４ａとの間に滞留したインクの成分は、斜面である床面１３１Ａに沿ってＸ２側に移動して滞留する。このため、床面１３１Ａと天井４４ａとの間に滞留することで特性が異なるインクは、第１の流れ１１１（図６参照）から遠ざかることになり、特性が異なるインクが圧力発生室１２に供給されるのをさらに抑制することができる。

また、本実施形態では、第１の方向Ｘにおいて壁１３０ＡのＸ１側を向く面１３２は、供給口４５から遠ざかるほど、すなわち、第１の方向ＸのＸ２側に行くほど、ノズル面２０ａに近くなる斜面を有する。

このように壁１３０Ａの面１３２を斜面とすることで、インクの第１の流れ１１１が、面１３２に沿って流れるため、第１の流れ１１１に対するインクの澱みを抑制することができる。

なお、床面１３１Ａは、排出口４７に近づくほどノズル面２０ａに近づいていればよいため、連続してノズル面２０ａに近づくものに限定されず、例えば、床面１３１Ａが供給口４５側でノズル面２０ａから第３の方向Ｚの高さが高く、排出口４７側でノズル面２０ａから第３の方向Ｚの高さが低い、所謂、段差状に設けられていてもよい。このような例を図９に示す。なお、図９は、壁の変形例を示すインクジェット式記録ヘッドの断面図と、液体噴射装置の流路構成を模式的に示す図である。

図９に示すように、壁１３０Ｂには、天井４４ａに向かって、すなわちＺ２側に開口する凹部１３４が設けられており、天井４４ａに対向して天井４４ａに沿った床面１３１Ｂは、凹部１３４が開口する第１床面１３１ａと、凹部１３４のＺ２側の底面である第２床面１３１ｂとを具備する。このような構成であっても、床面１３１Ｂは、排出口４７に近づくほどノズル面２０ａに近づいて設けられていることになる。

そして、壁１３０Ｂに天井４４ａに向かって開口する凹部１３４を設けた場合であっても、壁１３０と天井４４ａとの間で滞留して特性が異なるインクは、凹部１３４内に留まるため、特性の異なるインクが圧力発生室１２に供給されるのを抑制することができる。

また、図９に示す例では、壁１３０ＢのＸ１側の面１３２を上述した実施形態１と同様に斜面としたが、特にこれに限定されない。例えば、図１０に示すように、壁１３０ＣのＸ１側の面１３２を第３の方向Ｚに沿った面としてもよい。このような場合であっても、凹部１３４を設けることで、凹部１３４内に特性が異なるインクを留まらせて、特性が異なるインクが圧力発生室１２に供給されるのを抑制することができる。もちろん、図１０に示す壁１３０Ｃにおいても、図８の斜面である床面１３１Ａを有する壁としてもよい。

（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
例えば、上述した各実施形態では、記録ヘッド１のケース部材４０に設けられた間にマニホールド１００を構成する第３マニホールド部４４に壁１３０を設けるようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、記録ヘッド１に、マニホールド１００と、マニホールド１００の上流側に当該マニホールド１００に連通するサブタンクを設け、サブタンク内の共通液室に壁１３０を設けるようにしてもよい。

また、上述した各実施形態では、供給口４５をマニホールド１００のＸ１側に設けるようにしたが、特にこれに限定されない。ここで、供給口４５の変形例を図１１に示す。図１１に示すように、供給口４５は、マニホールド１００の天井４４ａにおいて、第１の方向Ｘの中央部に開口する位置に設けるようにしてもよい。図１１に示すように、供給口４５をマニホールド１００の天井４４ａの中央部に開口して設けた場合には、排出口４７は、例えば、マニホールド１００のＸ１側及びＸ２側の両端部側に設けるようにすればよく、Ｘ１側及びＸ２側の排出口４７に対応してＸ１側及びＸ２側のそれぞれに壁１３０を設けるようにすればよい。また、天井４４ａは、供給口４５が開口する位置からＸ１側及びＸ２側に向かってノズル面２０ａからの高さが高くなっていればよい。

さらに、排出口４７についても同様に、図１２に示すように、排出口４７をマニホールド１００の第１の方向Ｘの中央に開口するように設け、供給口４５をＸ１側及びＸ２側の両方に設けるようにしてもよい。この場合であっても、壁１３０を設けることで、インクの流れの澱みを抑制すると共に、排出口４７直下の特性の異なるインクが圧力発生室１２に供給されるのを抑制することができる。

また、上述した実施形態では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター３００を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。

また、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、記録ヘッド１がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。

また、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、インクタンク等の貯留手段２が装置本体４に固定された構成を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクカートリッジ等の貯留手段を記録ヘッド１と共にキャリッジ３に搭載するようにしてもよい。

なお、上記実施の形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。

Ｉ…インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、１…インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、２…貯留手段、２ａ…供給管、２ｂ…圧送手段、３…キャリッジ、４…装置本体、５…キャリッジ軸、６…減圧手段、６Ａ…吸引ポンプ、６ａ…排出管、７…駆動モーター、７ａ…タイミングベルト、８…搬送ローラー、９…吸引手段、９ａ…キャップ部材、９ｂ…吸引管、９ｃ…吸引装置、１０…流路形成基板、１２…圧力発生室、１５…連通板、１６…ノズル連通路、１７…第１マニホールド部、１８…第２マニホールド部、１９…供給連通路、２０…ノズルプレート、２０ａ…ノズル面、２１…ノズル、２５…コンプライアンス基板、２６…封止膜、２７…固定基板、２８…開口部、２９…コンプライアンス部、３０…保護基板、３１…保持部、３２…貫通孔、４０…ケース部材、４１…ケース部材本体、４１ａ…接続口、４２…蓋部材、４３…凹部、４４…第３マニホールド部、４４ａ…天井、４５…供給口、４６…壁部、４７…排出口、４８…気液分離壁、４９…脱泡室、５０…振動板、５１…弾性膜、５２…絶縁体膜、６０…第１電極、７０…圧電体層、７１…凹部、８０…第２電極、９１…個別配線、９２…共通配線、１００…マニホールド（共通液室）、１１１…第１の流れ、１１２…第２の流れ、１２０…フレキシブルケーブル、１２１…駆動回路、１３０、１３０Ａ、１３０Ｂ、１３０Ｃ…壁、１３１、１３１Ａ、１３１Ｂ…床面、１３１ａ…第１床面、１３１ｂ…第２床面、１３２…面、１３３…先端部分、１３４…凹部、３００…圧電アクチュエーター、３１０…能動部、Ｓ…記録シート、Ｘ…第１の方向、Ｙ…第２の方向、Ｚ…第３の方向

Claims (8)

1. ノズル面に設けられた複数のノズルに圧力発生室を介して連通する共通液室を具備する流路部材を具備し、
   前記共通液室の内壁に設けられ、前記共通液室に液体を供給する供給口と、
   前記共通液室の天井に設けられ、前記共通液室から気泡を排出する排出口と、
   前記共通液室の前記内壁と連続する壁であって、前記排出口に対向して前記天井に沿った面を有する壁と、
   を備えることを特徴とする液体噴射装置。
2. 前記共通液室の前記天井は、前記排出口に向かって前記ノズル面から離間する斜面を有することを特徴とする請求項１記載の液体噴射装置。
3. 前記壁は、前記天井と向かい合う床面であって、前記排出口に近づくほど前記ノズル面に近づく床面を有することを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射装置。
4. 前記供給口は、前記共通液室の前記天井に設けられ、
   前記壁により、前記供給口から複数の前記圧力発生室への第１の流れと、前記供給口から前記排出口への第２の流れとを前記共通液室内に生じさせ、
   前記壁のうち、前記第１の流れを規定する部分は、前記供給口から遠ざかるほど、前記ノズル面に近くなる斜面を有することを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射装置。
5. 前記壁により、前記供給口から複数の前記圧力発生室への第１の流れと、前記供給口から前記排出口への第２の流れとを前記共通液室内に生じさせ、
   前記第１の流れ及び前記第２の流れが分岐する位置は、前記天井と前記圧力発生室に連通する部分とが対向する方向において、前記共通液室の中心よりも上側にあることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射装置。
6. 前記排出口は、前記圧力発生室が並ぶ方向において、前記圧力発生室の外側に配置されていることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射装置。
7. 前記排出口は、気液分離壁を有する脱泡室に連通していることを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の液体噴射装置。
8. ノズル面に設けられた複数のノズルに圧力発生室を介して連通する共通液室を具備する流路部材を具備し、
   前記共通液室の内壁に設けられ、前記共通液室に液体を供給する供給口と、
   前記共通液室の天井に設けられ、前記共通液室から気泡を排出する排出口と、
   前記共通液室の前記内壁と連続する壁であって、前記天井に沿った面を有する壁と、
   を備える液体噴射装置のクリーニング方法であって、
   前記排出口は、ポンプと連通しており、
   前記ポンプにより気泡を除去する際に、前記ノズルから液体を排出することを特徴とする液体噴射装置のクリーニング方法。

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