JP6767666B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに液体噴射装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、ノズル開口から液体を吐出する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに液体噴射装置の製造方法に関し、特に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置並びにインクジェット式記録装置の製造方法に関する。

液滴を噴射する液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、ノズル開口と、ノズル開口に連通する圧力発生室と、を具備し、圧力発生手段によって圧力発生室内のインクに圧力変化を生じさせることで、ノズル開口からインク滴を吐出させるものがある。

このようなインクジェット式記録ヘッドでは、流路形成基板に圧力発生室と、圧力発生室にマニホールドのインクを供給する流路の絞り部である供給路とを設けた構成が開示されている（例えば、特許文献１参照）。

また、インクジェット式記録ヘッドでは、複数の圧力発生室が形成された圧力室形成基板と、複数の圧力発生室に共通して連通する共通流路（マニホールドとも言う）の少なくとも一部を構成する凹部が形成された連通基板とを積層し、連通基板の圧力室形成基板とは反対側に凹部を設けると共に、連通基板に凹部と各圧力発生室とを連通する供給路を積層方向に沿って貫通して設けた構成が提案されている（例えば、特許文献２参照）。

特開２００８−０１８６４２号公報 特開２０１４−０３７１３３号公報

しかしながら、供給路は、その流路抵抗がインクの吐出特性に大きな影響を及ぼすため、流路断面積（穴径）や流路長さを適切に設定しなければならないが、特許文献１のように流路形成基板に供給路を設けた構成では、供給路によって流路形成基板が大型化してしまうという問題がある。

また、特許文献２のように連通板に供給路を設けた構成では、流路長さを適切に設定すると、マニホールドの一部を構成する凹部の深さが減少し、凹部における流路抵抗が大きくなってしまうという問題がある。これに対して、凹部を深く形成すると、供給路の流路長が不足し、適切な流路長で供給路を形成することができなくなってしまうという問題がある。

なお、このような問題は、インクジェット式記録ヘッドに限定されず、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。

本発明はこのような事情に鑑み、凹部の深さ及び供給路の必要な長さを確保することができると共に小型化を図ることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに液体噴射装置の製造方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、液体を吐出するノズル開口に連通する個別流路が形成された流路形成基板と、複数の個別流路に共通して連通する共通流路の少なくとも一部を構成する凹部が前記流路形成基板とは反対側に開口して設けられた連通板と、を具備し、前記凹部は、第１凹部と、前記第１凹部よりも深さの深い第２凹部と、を具備し、前記連通板は、前記第１凹部の底面に開口して設けられて、前記凹部と前記個別流路とを連通して、前記個別流路に対して流路を絞った絞り部となる供給路と、前記個別流路と前記ノズル開口とを連通する連通路と、を具備し、前記個別流路において、前記供給路に連通する部分から前記連通路に連通する部分までの間に当該個別流路を絞る絞り部が設けられていないことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、供給路を第１凹部の底面に開口させることで、供給路の長さを確保して、圧力損失を低減して吐出効率を向上することができる。さらに、第２凹部を設けることで、マニホールドの容積を確保することができると共に小型化することができる。また、絞り部を流路形成基板に設けないようにすることで、流路形成基板の大型化を抑制して小型化を図ることができる。また、供給路と連通路とを連通板に設けることで、供給路と連通路との位置ずれによる液体の吐出特性のばらつきを抑制することができる。

ここで、前記連通路と前記供給路とは、前記連通板の一方面側から異方性エッチングすることにより形成されたものであることが好ましい。これによれば、連通路と供給路との相対的な位置ずれをさらに抑制することができる。

また、前記連通板が、１枚の基板からなることが好ましい。これによれば、積層基板を用いた場合に比べて、積層基板の位置ずれによる精度の低下を抑制することができる。

また、前記連通板が、複数枚の基板が積層されたものであることが好ましい。これによれば、エッチング等によって容易に加工することができる。

また、前記第１凹部と前記第２凹部との間には、前記第１凹部の底面から前記第２凹部の底面に向けて傾斜した傾斜面が形成されていることが好ましい。これによれば、傾斜面を設けることで、液体の流れの澱みを抑制して気泡排出性を向上することができる。

また、前記連通板は、表面の結晶面方位が｛１１０｝面となるシリコン基板であり、前記第１凹部及び前記第２凹部の底面は、結晶面方位が｛１１０｝面で形成されていることが好ましい。これによれば、異方性エッチングによって精密加工を行って、高精度な第１凹部、第２凹部を形成することができる。また、供給路を｛１１０｝面となる第１凹部の底面に開口させることで、加工精度を向上して形状安定性を向上することができる。

さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、圧力損失を低減して吐出効率を向上することができると供に小型化した液体噴射装置を実現できる。

さらに、本発明の他の態様は、液体を吐出するノズル開口に連通する個別流路が形成された流路形成基板と、複数の個別流路に共通して連通する共通流路の少なくとも一部を構成する凹部が前記流路形成基板とは反対側に開口して設けられた連通板と、を具備し、前記凹部は、第１凹部と、前記第１凹部よりも深さの深い第２凹部と、を具備し、前記連通板は、前記第１凹部の底面に開口して設けられて、前記凹部と前記個別流路とを連通して、前記個別流路に対して流路を絞った絞り部となる供給路と、前記個別流路と前記ノズル開口とを連通する連通路と、を具備し、前記個別流路において、前記供給路に連通する部分から前記連通路に連通する部分までの間に当該個別流路を絞る絞り部が設けられていない液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記連通板の前記凹部が開口する面とは反対面側から異方性エッチングすることによって前記連通路と前記供給路とを形成する工程を有することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる態様では、供給路と連通路とを連通板に設けることで、供給路と連通路との位置ずれによる液体の吐出特性のばらつきを抑制することができる。また、連通板の一方面側から連通路と供給路とを形成することで、連通板と供給路との相対的な位置ずれをさらに抑制することができる。

ここで、前記連通板に前記連通路と前記供給路とを形成する工程では、同一のマスクを用いることが好ましい。これによれば、同一のマスクを用いて連通路と供給路とを形成することで、異なるマスクを用いた場合に比べて連通路と供給路との相対的な位置ずれをさらに抑制することができる。

本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。 本発明の実施形態１に係る流路形成基板の平面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。 本発明の実施形態１に係る連通板の平面図である。 本発明の実施形態１に係る連通板の要部を切り欠いた斜視図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。 本発明の実施形態２に係る連通板の平面図である。 本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。 本発明の実施形態２に係る連通板の要部を切り欠いた斜視図である。 本発明の実施形態２に係る連通板の変形例の平面図である。 本発明の実施形態３に係る連通板の平面図である。 本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。 本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。 本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。 本発明の実施形態３に係る連通板の要部を切り欠いた斜視図である。 本発明の他の実施形態に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。 本発明の一実施形態に係る記録装置の概略図である。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。

（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドであるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、記録ヘッドの流路形成基板の要部平面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ′線断面図であり、図４は、図３の要部を拡大した断面図であり、図５は、図２のＢ−Ｂ′線断面図であり、図６は、連通板の平面図であり、図７は、連通板の要部を切り欠いた斜視図である。

図示するように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１（以下、単に記録ヘッド１とも言う）を構成する流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁１１によって区画された本実施形態の個別流路である圧力発生室１２がインクを吐出する複数のノズル開口２１が並設される方向に沿って並設されている。以降、この方向を圧力発生室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。さらに、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの両方に直交する方向を第３の方向Ｚと称し、詳しくは後述するケース部材４０側をＺ１側、ノズルプレート２０側をＺ２側と称する。なお、第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚは、互いにそれぞれ直交する方向としたが、特にこれに限定されず、直交以外の角度で交差する方向であってもよい。

また、本実施形態では、各個別流路である各圧力発生室１２は、第２の方向Ｙに亘って第１の方向Ｘに横断する断面積が略同じ大きさとなるように形成されている。すなわち、圧力発生室１２は、第１の方向Ｘの幅及び第３の方向Ｚの深さが、第２の方向Ｙに亘って略同一となっている。

このような流路形成基板１０のＺ２側の面側には、連通板１５と、ノズルプレート２０とが順次積層されている。

連通板１５には、図３及び図４に示すように、圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通する連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このように連通板１５を設けることによってノズルプレート２０のノズル開口２１と圧力発生室１２とを離せるため、圧力発生室１２の中にあるインクは、ノズル開口２１付近のインクで生じるインク中の水分の蒸発による増粘の影響を受け難くなる。また、ノズルプレート２０は圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通する連通路１６の開口を覆うだけで良いので、ノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることができ、コストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル開口２１が開口されて、インク滴が吐出される面を液体噴射面２０ａと称する。

また、連通板１５には、複数の個別流路である圧力発生室１２に共通して連通する共通流路であるマニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、本実施形態の凹部である第２マニホールド部１８とが設けられている。

第１マニホールド部１７は、連通板１５を第３の方向Ｚに貫通して設けられている。

また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を第３の方向Ｚに貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して設けられた凹部となっている。

ここで第２マニホールド部１８は、図４〜図７に示すように、流路形成基板１０とは反対側であるＺ２側の面に開口する第１凹部１８１と、Ｚ２側の面に開口して第１凹部１８１よりも深い第２凹部１８２と、を具備する。第１凹部１８１と第２凹部１８２とは、第２の方向Ｙに並んで形成されており、第２凹部１８２の第１マニホールド部１７とは反対側に第１凹部１８１が配置されている。

このような第１凹部１８１と第２凹部１８２とは、第３の方向Ｚの深さの違いによって段差状に形成されている。言い換えると、第２凹部１８２から見ると、Ｚ２側に盛り上がった台地状の部分に第１凹部１８１が形成されている。そして、第１凹部１８１と第２凹部１８２との間には、第２凹部１８２の底面から第１凹部１８１の底面に向かって傾斜する傾斜面１８３が設けられている。この傾斜面１８３は、第３の方向Ｚに対して傾斜して設けられており、傾斜面１８３の傾斜方向は、第２凹部１８２の底面から第１凹部１８１の底面に向かう方向、すなわち、第２凹部１８２の第２の方向Ｙの幅が徐々に漸大する方向となっている。なお、第１凹部１８１の底面及び第２凹部１８２の底面とは、第１凹部１８１及び第２凹部１８２のそれぞれのＺ１側の面のことである。本実施形態では、第１凹部１８１の底面及び第２凹部１８２の底面は、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む平坦面としたが、特にこれに限定されず、例えば、第１凹部１８１の底面及び第２凹部１８２の底面は、第３の方向Ｚに直交する方向に対して傾斜した面であってもよい。

また、傾斜面１８３は、互いに角度の異なる第１傾斜面１８３ａと、第２傾斜面１８３ｂとを第１の方向Ｘに交互に並設して形成されている。すなわち、角度の異なる第１傾斜面１８３ａと第２傾斜面１８３ｂとを交互に繰り返して並設することで、傾斜面１８３が形成されている。

ここで、連通板１５は、本実施形態では、表面の結晶面方位が｛１１０｝面のシリコン基板（シリコン単結晶基板）からなる。そして、少なくとも第２マニホールド部１８は、連通板１５をＺ１側の面からＫＯＨ等のアルカリ溶液を用いた異方性エッチング（ウェットエッチング）することにより形成されている。異方性エッチングは、シリコン単結晶基板のエッチングレートの違いを利用して行われる。本実施形態では、連通板１５のＺ１及びＺ２側の面の面方位が｛１１０｝のシリコン単結晶基板からなるため、シリコン単結晶基板の｛１１０｝面のエッチングレートと比較して｛１１１｝面のエッチングレートが約１／１８０であるという性質を利用して行われる。すなわち、シリコン単結晶基板をアルカリ溶液に浸漬すると、徐々に浸食されて｛１１０｝面に垂直な第１の｛１１１｝面と、この第１の｛１１１｝面と約７０度の角度をなし且つ上記｛１１０｝面に垂直な第２の｛１１１｝面と、上記｛１１０｝面と約３５度の角度をなし且つ第１の｛１１１｝面と５４．７４度の角度をなす第３の｛１１１｝面とが出現する。本実施形態では、第１凹部１８１の底面及び第２凹部１８２の底面を｛１１０｝面で形成した。また、本実施形態では、傾斜面１８３を構成する第１傾斜面１８３ａは、（エッチングレートの大きい）任意の面で形成され、第２傾斜面１８３ｂは、第３の｛１１１｝面で形成されている。すなわち、傾斜面１８３は、互いに角度の異なる第１傾斜面１８３ａと第２傾斜面１８３ｂとが第１の方向Ｘに交互に並設され形成されている。

また、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給路１９が、圧力発生室１２の各々に対応して独立して設けられている。この供給路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。本実施形態では、供給路１９は、第１凹部１８１の底面である｛１１０｝面に開口して設けられている。また、供給路１９は、圧力発生室１２の並設方向である第１の方向Ｘに並設されている。ここで、供給路１９は、圧力発生室１２及びマニホールド１００に対して流路を絞る絞り部として機能する。なお、本願発明の絞り部とは、流路の液体が流れる方向において、この方向を横断する面積が広い部分から狭くなった後、再度広くなる部分を言う。つまり、インクの流れる方向に対して、幅及び深さの少なくとも一方が減少した後、増大する部分を言う。ちなみに、流路の幅及び深さの少なくとも一方が減少したままのものや、流路の幅及び深さの少なくとも一方が増大したままのものは、絞り部とは言わない。本実施形態では、供給路１９の横断面積は、圧力発生室１２の横断面積よりも小さくなっている。このため、供給路１９が、マニホールド１００から圧力発生室１２までの間で流路を絞る絞り部として機能する。

一方、流路形成基板１０には、本実施形態では、圧力発生室１２のみが形成されており、流路を絞る絞り部が形成されていない。つまり、本実施形態では、圧力発生室１２をその第１の方向Ｘの幅及び第３の方向Ｚの深さが第２の方向Ｙに亘って略同一となるようにしたため、流路形成基板１０には、流路の横断面積が基準となる部分から減少した後、増大する流路が形成されていない。なお、圧力発生室１２の形状は特にこれに限定されず、例えば、第３の方向Ｚから平面視した際に、円形状、楕円形状、台形状等であってもよい。ちなみに、圧力発生室１２が台形状の場合には、供給路１９側が上底であっても下底側であってもよい。何れにしても、圧力発生室１２を平面視した際に円形状、楕円形状、台形状等の場合には、圧力発生室１２である流路の供給路１９に連通する部分から連通路１６に連通する部分までの間に、横断面積が減少した後、増大する、いわゆる絞り部が設けられていないことになる。

このように絞り部となる供給路１９を流路形成基板１０に設けずに、連通板１５に設けることで、流路形成基板１０の小型化を図ることができる。すなわち、流路形成基板１０に圧力発生室１２と供給路１９とを設ける場合、供給路１９を設けるスペースが必要となって大型化してしまうが、本実施形態では、流路形成基板１０に圧力発生室１２を設け、絞り部である供給路１９等を設けないようにしたため、流路形成基板１０の小型化を図ってコストを低減することができる。

また、連通板１５に連通路１６と供給路１９とを設けることで、流路形成基板１０に絞り部である供給路を設ける場合に比べて、連通路１６と供給路１９との位置ずれを抑制することができる。ちなみに、流路形成基板１０に供給路を設けた場合、連通板１５に設けられた連通路１６と流路形成基板１０に設けられた供給路との相対位置は、連通板１５と流路形成基板１０との位置決め精度が大きく影響されるため、位置決め精度によって位置ずれが生じ易い。これに対して、本実施形態では、連通板１５に連通路１６と供給路１９とを設けているため、連通路１６と供給路１９との相対位置は、連通板１５と流路形成基板１０との位置決め精度が影響することがない。そして、圧力発生室１２の実質的な長さは、供給路１９に連通する部分から連通路１６に連通する部分によって規定されるため、本実施形態において圧力発生室１２の実質的な長さは、連通板１５と流路形成基板１０との位置ずれが影響することがなく、圧力発生室１２の長さのばらつきを抑制してインクの吐出特性のばらつきを低減することができる。

また、連通板１５において、連通路１６と供給路１９とは、第３の方向Ｚの一方面側から異方性エッチングによって形成するのが好ましい。すなわち、連通路１６と供給路１９とは、連通板１５の一方面に設けられた同じマスクを用いて形成するのが好適である。このように、連通路１６を形成するマスクと、供給路１９を形成するマスクとを同一のマスクとすることで、連通路１６と供給路１９との相対的な位置ずれを抑制することができる。ちなみに、連通路１６と供給路１９との位置にばらつきが生じると、供給路１９から連通路１６までの圧力発生室１２の実質的な長さにばらつきが生じ、インク滴の吐出特性にばらつきが生じて印刷品質が低下してしまう。本実施形態では、連通路１６と供給路１９とを同一のマスクを用いて形成することで、連通路１６と供給路１９との位置ずれを抑制して、圧力発生室１２の実質的な長さのばらつきを抑制して、吐出特性のばらつきを抑制し、印刷品質を向上することができる。

また、マニホールド１００と圧力発生室１２とを連通する供給路１９を、第１凹部１８１の底面に開口させることで、第２凹部１８２の深さに影響されることなく、供給路１９の流路の長さを確保して、適切に設定することができる。すなわち、供給路１９の長さを確保して、供給路１９の圧力損失を低減して、吐出効率を向上することができる。ちなみに、供給路１９における圧力損失は、供給路１９の開口径と長さとによって決まるものであるが、開口径の小径化は技術的に限界がある。このため、供給路１９の開口径によって吐出効率が足りない場合には、長さを確保して吐出効率を向上する必要がある。本実施形態では、供給路１９を第２凹部１８２よりも浅い第１凹部１８１の底面に開口させることで、供給路１９の開口径の小径化が困難であっても、供給路１９の長さを確保して、吐出効率を向上させることができる。また、供給路１９が開口する第１凹部１８１よりも深い第２凹部１８２を設けることで第２マニホールド部１８の容積を確保することができ、第２マニホールド部１８における圧力損失を低減して、吐出効率を向上することができる。そして、このような構成を採用することにより、連通板１５の第３の方向Ｚの厚さが薄くなる傾向にあっても、供給路１９の長さ及び第２マニホールド部１８の深さ（第２凹部１８２の深さ）の確保を両立させることができるので、インク吐出特性等を低下させることなく、すなわち、吐出特性に影響を及ぼすことなく記録ヘッド１の小型化を図ることができる。

さらに、本実施形態では、供給路１９を第１凹部１８１の底面である｛１１０｝面、すなわち平坦面に開口させることで、第１凹部１８１をエッチングによって形成した際に、供給路１９の流路長を高精度に規定することができると共に、供給路１９の第１凹部１８１側における開口部分を高精度に形成することができる。ちなみに、供給路１９を傾斜面１８３に開口させると、傾斜面１８３の位置のばらつきによって供給路１９の流路長にばらつきが生じてしまう。また、傾斜面１８３に供給路１９を開口させると、開口形状が安定せずに精度が低下してしまう。

また、本実施形態では、第１凹部１８１と第２凹部１８２との間に傾斜面１８３を設けるようにしたため、傾斜面１８３と第２凹部１８２の底面とがなす角度を鈍角とすることができる。したがって、この傾斜面１８３と第２凹部１８２の底面との間の角部のインクの流れを向上して、角部における気泡の滞留を抑制することができる。なお、本実施形態では、第１凹部１８１も異方性エッチングによって形成したため、第１凹部１８１と連通板１５のノズルプレート２０が接合される面との間にも傾斜面１８３と同様の傾斜面が形成されている。

このような連通板１５のＺ２側に接合されたノズルプレート２０には、各圧力発生室１２と連通路１６を介して連通するノズル開口２１が形成されている。すなわち、ノズル開口２１は、同じ種類の液体（インク）を噴射するものが第１の方向Ｘに並設され、この第１の方向Ｘに並設されたノズル開口２１の列が第２の方向Ｙに２列形成されている。

一方、流路形成基板１０のＺ１側の面側には、振動板５０が形成されている。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力発生室１２等の液体流路は、流路形成基板１０を一方面側（ノズルプレート２０が接合された面側）から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。

また、流路形成基板１０の振動板５０上には、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とが成膜及びリソグラフィー法によって積層されて圧電アクチュエーター３００を構成している。本実施形態では、圧電アクチュエーター３００が圧力発生室１２内のインクに圧力変化を生じさせる圧力発生手段となっている。ここで、圧電アクチュエーター３００は、圧電素子３００ともいい、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。また、第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加した際に、圧電体層７０に圧電歪みが生じる部分を能動部３１０と称する。本実施形態では、詳しくは後述するが、圧力発生室１２毎に能動部３１０が形成されている。つまり、流路形成基板１０上には複数の能動部３１０が形成されていることになる。そして、一般的には、能動部３１０の何れか一方の電極を複数の能動部３１０に共通する共通電極とし、他方の電極を能動部３１０毎に独立する個別電極として構成する。本実施形態では、第１電極６０を個別電極とし、第２電極８０を共通電極としているが、これを逆にしてもよい。なお、上述した例では、振動板５０及び第１電極６０が振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、振動板５０を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。

ここで、本実施形態の圧電アクチュエーター３００を構成する第１電極６０は、圧力発生室１２毎に切り分けてあり、圧電アクチュエーター３００の実質的な駆動部である能動部３１０毎に独立する個別電極を構成する。この第１電極６０は、圧力発生室１２の第１の方向Ｘにおいては、圧力発生室１２の幅よりも狭い幅で形成されている。すなわち、圧力発生室１２の第１の方向Ｘにおいて、第１電極６０の端部は、圧力発生室１２に対向する領域の内側に位置している。また、第２の方向Ｙにおいて、第１電極６０の両端部は、それぞれ圧力発生室１２の外側まで延設されている。

圧電体層７０は、第２の方向Ｙが所定の幅となるように、第１の方向Ｘに亘って連続して設けられている。圧電体層７０の第２の方向Ｙの幅は、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの長さよりも広い。このため、圧力発生室１２の第２の方向Ｙでは、圧電体層７０は圧力発生室１２の外側まで設けられている。

圧力発生室１２の第２の方向Ｙにおいて、圧電体層７０のインク供給路側の端部は、第１電極６０の端部よりも外側に位置している。すなわち、第１電極６０の端部は圧電体層７０によって覆われている。また、圧電体層７０のノズル開口２１側の端部は、第１電極６０の端部よりも内側（圧力発生室１２側）に位置しており、第１電極６０のノズル開口２１側の端部は、圧電体層７０に覆われていない。

圧電体層７０は、第１電極６０上に形成される分極構造を有する酸化物の圧電材料からなり、例えば、一般式ＡＢＯ_３で示されるペロブスカイト型酸化物からなることができ、鉛を含む鉛系圧電材料や鉛を含まない非鉛系圧電材料などを用いることができる。

このような圧電体層７０には、各隔壁に対応する凹部７１が形成されている。この凹部７１の第１の方向Ｘの幅は、各隔壁の第１の方向Ｘの幅と略同一、もしくはそれよりも広くなっている。これにより、振動板５０の圧力発生室１２の第２の方向Ｙの端部に対向する部分（いわゆる振動板５０の腕部）の剛性が押さえられるため、圧電アクチュエーター３００を良好に変位させることができる。

第２電極８０は、圧電体層７０の第１電極６０とは反対面側に設けられており、複数の能動部３１０に共通する共通電極を構成する。また、第２電極８０は、凹部７１の内面、すなわち、圧電体層７０の凹部７１の側面内に設けるようにしても良く、設けないようにしてもよい。

また、圧電アクチュエーター３００の第１電極６０からは、引き出し配線である個別配線９１が引き出されている。また、第２電極８０からは、引き出し配線である共通配線９２が引き出されている。さらに、個別配線９１及び共通配線９２の圧電アクチュエーター３００に接続された端部とは反対側の延設された端部には、フレキシブルケーブル１２０が接続されている。フレキシブルケーブル１２０は、可撓性を有する配線基板であって、本実施形態では、駆動素子である駆動回路１２１が実装されている。

このような流路形成基板１０のＺ１側の面側には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。保持部３１は、第１の方向Ｘに並設された圧電アクチュエーター３００の列の間に第２の方向Ｙに２つ並んで形成されている。また、保護基板３０には、第２の方向Ｙで並設された２つの保持部３１の間に第３の方向Ｚに貫通する貫通孔３２が設けられている。圧電アクチュエーター３００の電極から引き出された個別配線９１及び共通配線９２の端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、個別配線９１及び共通配線９２とフレキシブルケーブル１２０とは、貫通孔３２内で電気的に接続されている。なお、個別配線９１及び共通配線９２と、フレキシブルケーブル１２０との接続方法は、特に限定されず、例えば、ハンダ付けやろう付けなどのろう接や、共晶接合、溶接、導電性粒子を含む導電性接着剤（ＡＣＰ、ＡＣＦ）、非導電性接着剤（ＮＣＰ、ＮＣＦ）等が挙げられる。

また、保護基板３０上には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００を流路形成基板１０と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース部材４０と流路形成基板１０とによって第３マニホールド部４２が画成されている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース部材４０と流路形成基板１０とによって画成された第３マニホールド部４２と、によって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。マニホールド１００は、圧力発生室１２の並設方向である第１の方向Ｘに亘って連続して設けられており、各圧力発生室１２とマニホールド１００とを連通する供給路１９は、第１の方向Ｘに並設されている。

また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口するＺ２側の面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５が、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の液体噴射面２０ａ側の開口を封止している。このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、可撓性を有する薄膜からなる封止膜４６と、金属等の硬質の材料からなる固定基板４７と、を具備する。固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９となっている。

なお、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入路４４が設けられている。また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通してフレキシブルケーブル１２０が挿通される接続口４３が設けられている。

このような記録ヘッド１では、インクを噴射する際に、インクを導入路４４から取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２１からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各能動部３１０に電圧を印加することにより、能動部３１０と共に振動板５０をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル開口２１からインク滴が噴射される。

ここで、記録ヘッド１の製造方法、特に、連通板１５の形成方法について、図８〜図１４を参照して説明する。なお、図８〜図１４は、記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。

まず、図８に示すように、連通板１５となるシリコン単結晶基板である基材１５０の表面に第１マニホールド部１７となる部分に開口部１５２を有するマスク１５１を形成する。このとき、第２凹部１８２が形成される領域と、第１凹部１８１が形成される領域のマスク１５１をハーフエッチングすることにより段階的に薄くする。これにより、後の工程でマスク１５１の厚さを減らすことで、第１凹部１８１が形成される領域及び第２凹部１８２が形成される領域が段階的に開口するようにする。また、開口部１５２が形成された一方面側のマスク１５１とは反対の他方面側に設けられたマスク１５１には、供給路１９が形成される領域に開口部１５５と、連通路１６が形成される領域に開口部１５６とを形成する。

次に、連通路１６及び供給路１９を形成する。本実施形態では、図９に示すように、連通路１６となる連通路下穴１６１と、供給路１９となる供給路下穴１９１とを形成した後、後の工程で基材１５０を異方性エッチングして第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８等を形成する際に連通路下穴１６１及び供給路下穴１９１の内壁面を同時にエッチングすることで連通路１６及び供給路１９を形成する。なお、連通路下穴１６１及び供給路下穴１９１は、レーザー加工、ドライエッチング、サンドブラスト加工等によって形成することができる。

次に、図１０に示すように、基材１５０をＫＯＨ等のアルカリ溶液を用いた異方性エッチングすることにより、第１マニホールド部１７の深さの一部を形成する。すなわち、ここでは、第１マニホールド部１７の深さを完全に形成することなく、その一部のみを形成する。また、この第１マニホールド部１７の一部を形成する異方性エッチングにおいて、同時に連通路下穴１６１及び供給路下穴１９１の内壁面をエッチングすることで、連通路１６及び供給路１９の深さ方向の一部を形成する。

次に、図１１に示すように、マスク１５１の厚さを薄くする。これにより、第２凹部１８２が形成される領域に開口部１５３が形成される。

次に、図１２に示すように、基材１５０を異方性エッチングすることにより、第２凹部１８２の深さの一部を形成する。また、同時に基材が異方性エッチングされることにより、第１マニホールド部１７の深さの一部も形成される。さらに、同時に連通路下穴１６１及び供給路下穴１９１の内壁面をエッチングすることで、連通路１６及び供給路１９の深さ方向の一部を形成する。

次に、図１３に示すように、マスク１５１の厚さを薄くする。これにより、第２凹部１８２が形成される領域に加えて第１凹部１８１が形成される領域も開口する開口部１５４を形成する。

次に、図１４に示すように、基材１５０を異方性エッチングすることにより、第１凹部１８１と第２凹部１８２とを有する第２マニホールド部１８を形成する。すなわち、この工程では、第１凹部１８１を形成すると同時に第２凹部１８２の残りを形成する。また、第１マニホールド部１７が完全に形成される。また、このとき、同時に連通路下穴１６１及び供給路下穴１９１の内壁面をエッチングすることで、連通路１６及び供給路１９が完全に形成される。

以上の工程によって連通板１５に連通路１６と、供給路１９と、第１凹部１８１及び第２凹部１８２を有する第２マニホールド部１８と、第１マニホールド部１７とが形成される。

このように、連通板１５の基材１５０は、表面の結晶面方位が｛１１０｝面のシリコン単結晶基板からなるため、第１凹部１８１及び第２凹部１８２の底面は｛１１０｝面で形成される。また、第１凹部１８１と第２凹部１８２との間の傾斜面１８３は、（エッチングレートの大きい）任意の面である第１傾斜面１８３ａと、第３の｛１１１｝面である第２傾斜面１８３ｂとで形成される（図７参照）。したがって、傾斜面１８３を別途形成する工程が不要となり、コストを低減することができる。

また、連通路１６と供給路１９とを一方面側から異方性エッチングすることによって形成することで、連通路１６と供給路１９とを同一のマスク１５１を用いて形成することができる。そして、同一のマスク１５１を用いて連通路１６と供給路１９とを形成することで、連通路１６と供給路１９との位置ずれを抑制することができる。したがって、圧力発生室１２の実質的な長さのばらつきを抑制して、吐出特性のばらつきを抑制し、印刷品質を向上することができる。

（実施形態２）
図１５は、本発明の実施形態２に係る連通板の平面図であり、図１６は、図１５のＣ−Ｃ′線に準じた記録ヘッドの要部を拡大した断面図であり、図１７は、連通板の要部を切り欠いた斜視図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図示するように、圧力発生室１２とマニホールド１００とを連通する供給路１９は、第１の方向Ｘに直線状に並設されている。そして、供給路１９は、第１凹部１８１の底面に開口して設けられている。

本実施形態では、図１５に示すように、傾斜面１８３を構成する第２傾斜面１８３ｂの第１の方向Ｘにおけるピッチｄ_１は、供給路１９のピッチｄ_２よりも小さい（ｄ_１＜ｄ_２）。ちなみに、傾斜面１８３における気泡排出性は、第１の方向Ｘのインク速度、インク物性、第２傾斜面１８３ｂのピッチｄ_１により決定される。なお、ピッチｄ_１とは、第１の方向Ｘで互いに隣り合う第２傾斜面１８３ｂの中心間の距離のことであり、ピッチｄ_２とは、第１の方向Ｘで互いに隣り合う供給路１９の中心間の距離のことである。

このように、第２傾斜面１８３ｂのピッチｄ_１を供給路１９のピッチｄ_２よりも小さくすることで、傾斜面１８３において第１の方向Ｘに移動する気泡２００の引っかかりを抑制して、気泡２００を傾斜面１８３に沿って第１の方向Ｘに移動し易くすることができる。すなわち、マニホールド１００内のインクに含まれる気泡２００は、第２凹部１８２の底面（鉛直方向における天井面）において傾斜面１８３に沿って第１の方向Ｘに移動して成長し、成長した気泡２００をインクによって押し流させて排出し易くすることができる。

また、第１凹部１８１と第２凹部１８２との間に傾斜面１８３を設けるようにしたため、傾斜面１８３と第２凹部１８２の底面とがなす角度を鈍角とすることができる。したがって、この傾斜面１８３と第２凹部１８２の底面との間の角部のインクの流れを向上して、角部における気泡の滞留を抑制することができる。なお、本実施形態では、第１凹部１８１も異方性エッチングによって形成したため、第１凹部１８１と連通板１５のノズルプレート２０が接合される面との間にも傾斜面１８３と同様の傾斜面が形成されている。この第１凹部１８１と連通板１５のノズルプレート２０が接合される面との間の傾斜面のピッチについては、傾斜面１８３と同様のピッチであってもよく、供給路１９と同様のピッチであってもよい。

ちなみに、供給路１９のピッチｄ_２は、ノズル開口２１のピッチに合わせて形成されたものであり、ノズル開口２１が３００ｄｐｉの場合には、供給路１９のピッチｄ_２は約８４．７μｍとなる。これに対して、第２傾斜面１８３ｂのピッチｄ_１としては、８４．７μｍよりも小さなピッチであればよく、例えば、ノズル開口２１が６００ｄｐｉの場合のピッチ、すなわち、約４２．４μｍ以下であるのが好ましく、１２００ｄｐｉの場合のピッチ、すなわち、約２１．３μｍが好適である。このように、第２傾斜面１８３ｂのピッチｄ_１を約４２．４μｍ以下、好ましくは２１．３μｍ以下とすることで、傾斜面１８３の第２の方向Ｙへの出っ張りが小さくなるため、傾斜面１８３において気泡２００が引っかかることなく、気泡２００を第１の方向Ｘに移動させることができる。

なお、供給路１９の一部をインクの吐出に用いないダミー圧力発生室に連通するダミー用供給路とし、ダミー用供給路からノズル開口２１に至るまでの流路抵抗を小さくすることで、気泡２００を傾斜面１８３に沿って第１の方向Ｘに移動させて、気泡２００をダミー用供給路から容易に排出することができる。

ここで、このような例を図１８に示す。なお、図１８は、本発明の実施形態２に係る連通板の変形例を示す平面図である。

図１８に示すように、供給路１９は、吐出用供給路１９Ａと、ダミー用供給路１９Ｂとに分けられる。ダミー用供給路１９Ｂは、供給路１９の並設方向である第１の方向Ｘの両端部のそれぞれに１個以上、本実施形態では、２個設けられている。

ダミー用供給路１９Ｂのピッチｄ_３は、吐出用供給路１９Ａのピッチｄ_２よりも大きくなっている（ｄ_３＞ｄ_２）。このようにダミー用供給路１９Ｂのピッチｄ_３を、吐出用供給路１９Ａのピッチｄ_２よりも大きくすることで、ダミー用供給路１９Ｂからノズル開口２１までの流路の断面積を大きくすることができる。すなわち、隣り合うダミー用供給路１９Ｂのピッチｄ_３を大きくすることで、隣り合うダミー用供給路１９Ｂの間にスペースを確保することができる。したがって、ダミー用供給路１９Ｂの開口径を大きくすることができる。また、ダミー用供給路１９Ｂに連通する圧力発生室１２のピッチもダミー用供給路１９Ｂに合わせて大きくすれば、ダミー用供給路１９Ｂの開口径に関わらずダミー用供給路１９Ｂに連通する圧力発生室１２の横断面積を大きくすることができる。同様に、連通路１６の横断面積も大きくすることができると共に、ノズル開口２１も大きくすることができる。すなわち、ダミー用供給路１９Ｂのピッチｄ_３を大きくすることで、それに連通する圧力発生室１２、連通路１６及びノズル開口２１などの流路のピッチも大きくすることができる。つまり、ダミー用供給路１９Ｂのピッチｄ_３を大きくすることで、ダミー用供給路１９Ｂ、圧力発生室１２、連通路１６及びノズル開口２１から選択される少なくとも１つの横断面積を大きくすることができる。これによりダミー用供給路１９Ｂからノズル開口２１までの流路抵抗を、吐出用供給路１９Ａからノズル開口２１までの流路抵抗に比べて低減することができ、気泡排出性をさらに向上することができる。

このようにマニホールド１００内のインクに含まれる気泡２００は、ダミー用供給路１９Ｂを介してノズル開口２１から排出され易くすることで、気泡２００が印刷などの吐出に用いる吐出用供給路１９Ａや圧力発生室１２、連通路１６及びノズル開口２１に侵入するのを抑制することができるため、インク滴の吐出不良を抑制することができる。

なお、図１８に示す例では、ダミー用供給路１９Ｂを供給路１９の並設方向である第１の方向Ｘの両端部のそれぞれに設けるようにしたが、特にこれに限定されず、ダミー用供給路１９Ｂの位置は特に限定されるものではない。ダミー用供給路１９Ｂが何れの位置に配置されていても、傾斜面１８３に沿って気泡２００がダミー用供給路１９Ｂに向かって移動し易く、気泡排出性を向上することができる。もちろん、ダミー用供給路１９Ｂの数、すなわち、ダミー圧力発生室１２Ｂの数も特にこれに限定されず、１つであってもよく、２以上の複数であってもよい。

また、図１８に示す例では、吸引クリーニングを全てのノズル開口２１に対して行った場合について説明したが、もちろん、吸引クリーニングをダミー用供給路１９Ｂに連通する圧力発生室１２に連通するノズル開口２１のみに対して行うようにしてもよい。つまり、ダミー用供給路１９Ｂに連通する圧力発生室１２に連通するノズル開口２１のみから吸引動作を行う吸引手段を具備するようにしてもよい。吸引手段としては、液体噴射面２０ａに当接してノズル開口２１を覆うキャップと、キャップ内を吸引して負圧にする吸引ポンプ等の吸引装置とを具備する従来周知のものを用いることができる。ちなみに、吸引手段がダミー用供給路１９Ｂに連通する圧力発生室１２に連通するノズル開口２１のみを吸引する場合には、ダミー用供給路１９Ｂに連通する圧力発生室１２に連通するノズル開口２１のみを覆うキャップを用いればよい。また、キャップが全てのノズル開口２１を覆う場合には、ダミー用供給路１９Ｂに連通する圧力発生室１２に連通するノズル開口２１以外を閉塞する閉塞手段等をさらに設ければよい。このように、ダミー用供給路１９Ｂに連通する圧力発生室１２に連通するノズル開口２１のみから吸引クリーニングを行った場合であっても、気泡２００を傾斜面１８３に沿って第１の方向Ｘに移動させ易くして、ダミー用供給路１９Ｂからインクの気泡の排出を効率よく行うことができる。また、図１８に示す例では、ダミー用供給路１９Ｂを供給路１９の並設方向である第１の方向Ｘの両端部にそれぞれ設けるようにした。このため、マニホールド１００内において気泡の滞留し易い第１の方向Ｘの両端部の気泡をダミー用供給路１９Ｂから排出することができ、気泡の滞留をさらに抑制することができる。もちろん、吸引手段による吸引動作は、ダミー用供給路１９Ｂを有さない記録ヘッドのノズル開口２１に対して選択的に行うようにしてもよい。これにより、吸引動作を行ったノズル開口２１に連通する供給路１９に向かって傾斜面１８３を気泡２００が移動して、吸引動作を行ったノズル開口２１からの気泡排出性を向上することができる。

（実施形態３）
図１９は、本発明の実施形態３に係る連通板の平面図であり、図２０は、図１９のＤ−Ｄ′線に準じた記録ヘッドの要部を拡大した断面図であり、図２１は、図１９のＥ−Ｅ′線に準じた記録ヘッドの要部を拡大した断面図であり、図２２は、図１９のＦ−Ｆ′線に準じた記録ヘッドの要部を拡大した断面図であり、図２３は、連通板の要部を切り欠いた斜視図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

本実施形態では、図示するように、圧力発生室１２は、連通するノズル開口２１からインク滴の吐出に用いられる吐出用圧力発生室１２Ａと、連通するノズル開口２１からインク滴の吐出に用いられないダミー圧力発生室１２Ｂとに分けられる。なお、インク滴の吐出に用いられないダミー圧力発生室１２Ｂとは、紙や記録シート等の被噴射媒体にインク滴を着弾させて文字や画像を形成する、所謂、印刷に用いられないものを言う。すなわち、印刷には吐出用圧力発生室１２Ａに連通するノズル開口２１から吐出されたインク滴が用いられる。ちなみに、印刷に用いなければ、つまり、被噴射媒体にインク滴を着弾させなければ、ダミー圧力発生室１２Ｂに連通するノズル開口２１から圧電アクチュエーター３００の駆動によりインク滴を吐出させてもよい。なお、ダミー圧力発生室１２Ｂに連通するノズル開口２１からは、クリーニング時のインクの排出が行われる。ちなみに、クリーニングとは、インク滴の吐出、所謂、フラッシングや、ノズル開口２１をキャップで覆い、キャップ内を吸引ポンプ等で負圧にすることによってノズル開口２１からダミー圧力発生室１２Ｂ及びマニホールド１００内のインクを気泡やゴミ等の異物と共に吸引する吸引クリーニング等が挙げられる。

本実施形態では、第１の方向Ｘに並設された圧力発生室１２のうち、第１の方向Ｘの両端部側に設けられた１以上の圧力発生室１２をダミー圧力発生室１２Ｂとし、それ以外の圧力発生室１２を吐出用圧力発生室１２Ａとした。また、本実施形態では、ダミー圧力発生室１２Ｂを第１の方向Ｘの両端部のそれぞれに４個ずつ、合計８個設けるようにした。

また、供給路１９は、吐出用圧力発生室１２Ａに連通する吐出用供給路１９Ａと、ダミー圧力発生室１２Ｂに連通するダミー用供給路１９Ｂとに分けられる。そして、吐出用供給路１９Ａは、図１９、図２０、図２１及び図２３に示すように、第１凹部１８１の底面に開口して設けられている。これにより、マニホールド１００と吐出用圧力発生室１２Ａとを連通する吐出用供給路１９Ａの流路長を長く確保することができる。

これに対して、ダミー用供給路１９Ｂは、図１９、図２０、図２２及び図２３に示すように、第２凹部１８２の底面に開口して設けられている。すなわち、供給路１９のうち、ダミー用供給路１９Ｂが開口する部分には、第２凹部１８２が形成されている。つまり、供給路１９は、第１の方向Ｘに並設されているため、第１凹部１８１は、供給路１９の並設方向の中央部側に設けられ、第２凹部１８２は、供給路１９の並設方向の両端部側に延設されている。ダミー用供給路１９Ｂを第２凹部１８２の底面に開口させることで、マニホールド１００とダミー圧力発生室１２Ｂとを連通するダミー用供給路１９Ｂの流路長を吐出用供給路１９Ａに比べて短くすることができる。なお、本実施形態では、吐出用供給路１９Ａとダミー用供給路１９Ｂとは、本実施形態では、第３の方向ＺのＺ１側において同じ面に開口することで、その長さに差が生じるものである。このため、吐出用供給路１９Ａとダミー用供給路１９ＢとがＺ１側で開口する位置が異なる場合には、吐出用供給路１９Ａとダミー用供給路１９Ｂとの長さの関係が、上述した条件と同じになるようにＺ１側の開口を配置する必要がある。

このように、吐出用供給路１９Ａを第１凹部１８１の底面に開口させることで、吐出用供給路１９Ａの長さを第２凹部１８２の深さに左右されることなく、必要な長さを適切に設定することができる。すなわち、吐出用供給路１９Ａの長さを確保して、吐出用供給路１９Ａの圧力損失を低減して、吐出効率を向上することができる。また、吐出用供給路１９Ａが開口する第１凹部１８１よりも深い第２凹部１８２を設けることで第２マニホールド部１８の容積を確保することができ、第２マニホールド部１８における圧力損失を低減して、吐出効率を向上することができる。そして、このような構成を採用することにより、連通板１５の第３の方向Ｚの厚さが薄くなる傾向にあっても、吐出用供給路１９Ａの長さ及び第２マニホールド部１８の深さ（第２凹部１８２の深さ）の確保を両立させることができるので、インク吐出特性等を低下させることなく、すなわち、吐出特性に影響を及ぼすことなく記録ヘッド１の小型化を図ることができる。

また、ダミー用供給路１９Ｂを第２凹部１８２の底面に開口させて、その長さを短くすることで、ダミー用供給路１９Ｂの流路抵抗を吐出用供給路１９Ａの流路抵抗よりも低減することができる。したがって、全てのノズル開口２１から吸引動作による吸引クリーニングを行った際に、マニホールド１００からノズル開口２１までの供給路１９を通過する経路において、ダミー用供給路１９Ｂを通る経路の流量が多くなる。このため、マニホールド１００内のインクに含まれる気泡が、流路抵抗の低いダミー用供給路１９Ｂを介して排出される。また、ダミー用供給路１９Ｂは、第２凹部１８２の底面に開口しているため、第１マニホールド部１７から第２マニホールド部１８に供給されたインク及びそれに含まれる気泡は、傾斜面１８３を乗り越えずにダミー用供給路１９Ｂの開口に到達しやすい。特に、圧力発生室１２が第２マニホールド部１８に対して鉛直方向上側となるように配置されていると、インクに含まれる気泡は浮力によって鉛直方向上側に移動するため、気泡は傾斜面１８３を鉛直方向下側に移動して乗り越えるのが困難となり、気泡が吐出用供給路１９Ａの開口に到達し難い。このため、図１９に示すように、マニホールド１００内のインクに含まれる気泡２００は、第２凹部１８２の底面（鉛直方向における天井面）において傾斜面１８３に沿って第１の方向Ｘに移動して、第２凹部１８２の底面に開口するダミー用供給路１９Ｂに到達し易い。したがって、マニホールド１００内のインクに含まれる気泡２００は、ダミー用供給路１９Ｂ及びダミー圧力発生室１２Ｂを介してノズル開口２１から排出され易く、気泡排出性を向上することができる。また、インクに含まれる気泡２００が吐出用供給路１９Ａから吐出用圧力発生室１２Ａに侵入するのを抑制することができるため、吐出用圧力発生室１２Ａに侵入した気泡２００が排出されずに滞留することによるインク滴の吐出不良を抑制することができる。なお、吸引クリーニングを全てのノズル開口２１に対して行った場合について説明したが、もちろん、吸引クリーニングをダミー圧力発生室１２Ｂに連通するノズル開口２１のみに対して行うようにしてもよい。すなわち、ダミー圧力発生室１２Ｂに連通するノズル開口２１のみから吸引クリーニングを行った場合であっても、流路抵抗の低いダミー用供給路１９Ｂからインクの気泡の排出を効率よく行うことができる。また、本実施形態では、ダミー用供給路１９Ｂを供給路１９の並設方向である第１の方向Ｘの両端部にそれぞれ設けるようにした。このため、マニホールド１００内において気泡の滞留し易い第１の方向Ｘの両端部の気泡をダミー用供給路１９Ｂから排出することができ、気泡の滞留をさらに抑制することができる。

さらに、第１凹部１８１と第２凹部１８２との間に傾斜面１８３を設けるようにしたため、傾斜面１８３と第２凹部１８２の底面とがなす角度を鈍角とすることができる。したがって、この傾斜面１８３と第２凹部１８２の底面との間の角部のインクの流れを向上して、角部における気泡の滞留を抑制することができる。

なお、本実施形態３の構成において、上述した実施形態２と同様の傾斜面１８３とすることで、気泡２００をさらにさらにダミー用供給路１９Ｂ側に移動させ易くして、気泡２００を、ダミー用供給路１９Ｂを介して排出させる排出性の向上を図ることができる。

（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。

例えば、上述した実施形態２及び３では、ダミー用供給路１９Ｂを設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、マニホールド１００に開口すると共に、外部に開口する排出路を別途設けるようにしてもよい。また、排出路は、マニホールド１００とインクタンク等の液体貯留手段とを循環する循環路の一部を構成するものであってもよい。このような排出路を、傾斜面１８３の近傍に配置することで、気泡２００を傾斜面１８３に沿って効率よく移動させて排出路から排出させることができ、気泡排出性を向上させることができる。

また、上述した各実施形態では、傾斜面１８３を互いに角度の異なる第１傾斜面１８３ａと第２傾斜面１８３ｂとで構成したが、特にこれに限定されず、例えば、第１傾斜面１８３ａ及び第２傾斜面１８３ｂと角度の異なる第３傾斜面を有するものであってもよい。すなわち、傾斜面１８３は、少なくとも第１傾斜面１８３ａと第２傾斜面１８３ｂとを有するものであれば、３つ以上の角度の異なる傾斜面を有するものであってもよい。

さらに、上述した各実施形態では、連通板１５として、表面の結晶面方位が｛１１０｝のシリコン基板を用いて、第２マニホールド部１８を異方性エッチングによって形成したが、特にこれに限定されず、例えば、連通板１５として、結晶面方位が｛１００｝面のシリコン基板であってもよく、ＳＯＩ基板、ガラス等の材料を用いるようにしてもよい。また、第２マニホールド部１８の形成方法も異方性エッチングに限定されず、例えば、ドライエッチング、機械加工等であってもよい。また、上述した各実施形態では、連通板１５を１枚の基板としたが、特にこれに限定されず、連通板１５を複数枚の基板を積層して構成してもよい。このような例を図２４に示す。なお、図２４は、他の実施形態に係る記録ヘッドの断面図である。

図２４に示すように、連通板１５は、第３の方向ＺにＺ２側からＺ１側に向かって順番に積層された第１連通板１５ａ、第２連通板１５ｂ、第３連通板１５ｃを具備する。

第１連通板１５ａは、第１凹部１８１の深さと同じ厚さで形成されている。また、第２連通板１５ｂは、Ｚ２側の面で第１凹部１８１の底面を形成し、第２凹部１８２の深さと同じ厚さで形成されている。また、第３連通板１５ｃは、Ｚ２側の面で第２凹部１８２の底面を形成する。このような第１連通板１５ａ、第２連通板１５ｂ及び第３連通板１５ｃは、それぞれ第１凹部１８１、第２凹部１８２及び第１マニホールド部１７等を、例えば、異方性エッチングによって形成した後、接着剤等で互いに接着することで形成することができる。また、第１連通板１５ａ、第２連通板１５ｂ及び第３連通板１５ｃに連通路１６及び供給路１９を形成した後で積層してもよく、これらを積層した後に連通路１６及び供給路１９を形成してもよい。何れの場合であっても、第３連通板１５ｃにおいて、連通路１６及び供給路１９を同一面側からの異方性エッチングによって形成することで、連通路１６及び供給路１９の相対位置ずれを抑制して、インク吐出特性のばらつきを抑制することができる。ただし、連通板１５を複数枚の基板を積層して形成した場合に比べて、上述した各実施形態のように１枚の基板からなる連通板１５を用いた方が、第１凹部１８１、第２凹部１８２等の相対位置ずれを抑制して第１マニホールド部１７、第２マニホールド部１８、連通路１６及び供給路１９等を高精度に形成することができる。

なお、図２４に示す例では、連通板１５を３枚の基板で構成したが、連通板１５を構成する積層基板の枚数は２枚以上であれば特に限定されない。また、連通板１５を構成する積層基板の境界は、図２４に示すように、第１凹部１８１、第２凹部１８２等の深さに合わせた位置とすることで、第１凹部１８１、第２凹部１８２及び傾斜面１８３等を高精度に形成することができるが、積層基板の境界は特にこれに限定されるものではなく、例えば、積層基板の境界が傾斜面１８３の途中等であってもよい。

また、図２４に示す例では、連通路１６及び供給路１９のそれぞれを第１連通板１５ａ、第２連通板１５ｂ、第３連通板１５ｃに亘って同じ開口面積となるように設けたが、特にこれに限定されず、第１連通板１５ａ、第２連通板１５ｂ、第３連通板１５ｃの各連通路１６及び各供給路１９の開口面積を異なる大きさで形成してもよい。

また、上述した各実施形態では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター３００を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。

このような記録ヘッド１は、インクジェット式記録装置Ｉに搭載される。図２５は、本実施形態のインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。

図２５に示すインクジェット式記録装置Ｉにおいて、記録ヘッド１は、液体供給手段を構成するカートリッジ２が着脱可能に設けられ、この記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。

そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラーに限られずベルトやドラム等であってもよい。

また、上述した例では、インクジェット式記録装置Ｉは、インク供給手段であるカートリッジ２がキャリッジ３に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等の液体供給手段を装置本体４に固定して、液体供給手段と記録ヘッド１とをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。また、液体供給手段がインクジェット式記録装置に搭載されていなくてもよい。

さらに、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、記録ヘッド１がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。

また、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。また、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置Ｉを挙げて説明したが、上述した他の液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置にも用いることが可能である。

Ｉ…インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、１…インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、２…カートリッジ、１０…流路形成基板（基板）、１１…隔壁、１２…圧力発生室（個別流路）、１２Ａ…吐出用圧力発生室、１２Ｂ…ダミー圧力発生室、１５…連通板、１６…連通路、１７…第１マニホールド部、１８…第２マニホールド部（凹部）、１９…供給路、１９Ａ…吐出用供給路、１９Ｂ…ダミー用供給路、２０…ノズルプレート、２１…ノズル開口、３０…保護基板、４０…ケース部材、４５…コンプライアンス基板、５０…振動板、６０…第１電極、７０…圧電体層、７１…凹部、８０…第２電極、９１…個別配線、９２…共通配線、１００…マニホールド（共通流路）、１２０…フレキシブルケーブル、１２１…駆動回路、１８１…第１凹部、１８２…第２凹部、１８３…傾斜面、１８３ａ…第１傾斜面、１８３ｂ…第２傾斜面、３００…圧電アクチュエーター（圧電素子）、３１０…能動部

Claims (8)

1. 液体を吐出するノズル開口が設けられたノズルプレートと、
   前記ノズル開口に連通する個別流路が形成された流路形成基板と、
   複数の個別流路に共通して連通する共通流路が形成された連通板と、
   を具備する液体噴射ヘッドであって、
   前記連通板は、
   前記共通流路の一部であり、前記連通板を貫通する貫通部と、
   前記共通流路の一部であり、前記連通板の一部が前記流路形成基板側の面を構成し、前記貫通部と前記ノズル開口の液体の流れ方向における間に位置する第１凹部と、
   前記共通流路の一部であり、前記連通板の一部が前記流路形成基板側の面を構成し、前記第１凹部と前記貫通部の液体の流れ方向における間に位置し、前記第１凹部よりも深さの深い第２凹部と、
   前記第１凹部の前記流路形成基板側の面に開口して設けられて、前記第１凹部と前記個別流路とを連通して、前記個別流路に対して流路を絞った絞り部となる供給路と、
   前記個別流路と前記ノズル開口とを連通する連通路と、を具備し、
   前記個別流路において、前記供給路に連通する部分から前記連通路に連通する部分までの間に当該個別流路を絞る絞り部が設けられていないことを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記連通路と前記供給路とは、前記連通板の一方面側から異方性エッチングすることにより形成されたものであることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記連通板が、１枚の基板からなることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記連通板が、複数枚の基板が積層されたものであることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記第１凹部と前記第２凹部との間には、前記第１凹部の前記流路形成基板側の面から前記第２凹部の前記流路形成基板側の面に向けて前記流路形成基板側へと傾斜した傾斜面が形成されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
6. 前記連通板は、表面の結晶面方位が｛１１０｝面となるシリコン基板であり、
   前記第１凹部及び前記第２凹部の前記流路形成基板側の面は、結晶面方位が｛１１０｝面で形成されていることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
7. 請求項１〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
8. 液体を吐出するノズル開口が設けられたノズルプレートと、
   前記ノズル開口に連通する個別流路が形成された流路形成基板と、
   複数の個別流路に共通して連通する共通流路が形成された連通板と、
   を具備し、
   前記連通板は、
   前記共通流路の一部であり、前記連通板を貫通する貫通部と、
   前記共通流路の一部であり、前記連通板の一部が前記流路形成基板側の面を構成し、前記貫通部と前記ノズル開口の液体の流れ方向における間に位置する第１凹部と、
   前記共通流路の一部であり、前記連通板の一部が前記流路形成基板側の面を構成し、前記第１凹部と前記貫通部の液体の流れ方向における間に位置し、前記第１凹部よりも深さの深い第２凹部と、
   前記第１凹部の前記流路形成基板側の面に開口して設けられて、前記第１凹部と前記個別流路とを連通して、前記個別流路に対して流路を絞った絞り部となる供給路と、
   前記個別流路と前記ノズル開口とを連通する連通路と、を具備し、
   前記個別流路において、前記供給路に連通する部分から前記連通路に連通する部分までの間に当該個別流路を絞る絞り部が設けられていない液体噴射ヘッドの製造方法であって、
   前記連通板の前記第１凹部が開口する面とは反対面側から異方性エッチングすることによって前記連通路と前記供給路とを形成する工程を有することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。

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