JP2019199015A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】簡便な構造で気泡を排除することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】第１の流路１７１を有する第１の流路部材１５１と、前記第１の流路１７１に接続されて当該第１の流路１７１から液体が供給される第２の流路１７２を有する第２の流路部材１５２と、前記第２の流路１７２に連通して液体を噴射するノズル２６と、を有し、前記第１の流路部材１５１と前記第２の流路部材１５２との積層方向Ｚの平面視において、前記第１の流路１７１の前記第２の流路１７２側の開口である第１の開口１７１ａと、前記第２の流路１７２の前記第１の流路１７１側の開口である第２の開口１７２ａとは、互いに重なる部分と互いに重ならない部分とを有する。【選択図】図４

Description

本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。

液体を噴射する液体噴射ヘッドとして、被印刷媒体に液体としてインクを吐出して印刷を行うインクジェット式記録ヘッドが知られている。

インクジェット式記録ヘッドは、複数のノズルと、各ノズルに連通する圧力発生室を有する個別流路と、複数の圧力発生室に共通して連通する共通液室と、圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段とを具備し、圧力発生手段が圧力発生室内のインクに圧力変化を生じさせることで、ノズルからインクをインク滴として吐出する。

このようなインクジェット式記録ヘッドでは、圧力発生室内に気泡が滞留すると、圧力発生手段による圧力変化を気泡が吸収し、ノズルからインク滴を正常に吐出することができなくなってしまう。

このため、フラッシングを行うノズルを選択的に切り替えて、共通流路内にノズル列の中央から端部へのインクの流れを生じさせて、気泡を端部のノズルに移動させる方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１８−０２４１６２号公報

しかしながら、特許文献１のようにフラッシングを行うノズルを選択的に切り替えるには、制御が複雑になってしまうという問題がある。

特に、液体貯留部と記録ヘッドとの間でインクを循環する場合、すなわち、第１のマニホールドと、圧力発生室を有しノズルに連通する個別流路と、個別流路に連通する第２のマニホールドとの順にインクを流す場合、個別流路内に流れ込んだ気泡を第２のマニホールド側に移動させるのが困難であり、第２のマニホールド側から加圧するなどの手段が必要となると共にインクの無駄な消費が増大してしまうという問題がある。

なお、このような問題は、インクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。

本発明はこのような事情に鑑み、簡便な構造で気泡を排除することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、第１の流路を有する第１の流路部材と、前記第１の流路に接続されて当該第１の流路から液体が供給される第２の流路を有する第２の流路部材と、前記第２の流路に連通して液体を噴射するノズルと、を有し、前記第１の流路部材と前記第２の流路部材との積層方向の平面視において、前記第１の流路の前記第２の流路側の開口である第１の開口と、前記第２の流路の前記第１の流路側の開口である第２の開口とは、互いに重なる部分と互いに重ならない部分とを有することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。

また、本発明の他の態様は、第１の流路を有する第１の流路部材と、前記第１の流路に接続されて当該第１の流路から液体が供給される第２の流路を有する第２の流路部材と、前記第２の流路に連通して液体を噴射するノズルが設けられたノズルプレートであって、前記第２の流路部材に対して、前記第１の流路部材とは反対側に配置された前記ノズルプレートと、前記第２の流路部材に対して、前記第１の流路部材とは反対側に配置されたコンプライアンス基板であって、前記第２の流路の圧力変動を吸収する前記コンプライアンス基板と、前記ノズルに連通する圧力発生室であって、圧力発生手段によって内部の液体に圧力変化が生じる前記圧力発生室を有する個別流路と、を有し、前記第２の流路は、複数の前記個別流路に共通して連通する第１の共通流路を構成し、前記第２の流路には、前記個別流路を経由せずに前記第２の流路から外部に液体を排出するバイパス流路が接続されており、前記コンプライアンス基板は、前記第１の共通流路と前記バイパス流路とを形成することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。

また、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。

本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの流路形成基板の平面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 本発明の実施形態１に係る流路を説明する平面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの流路を説明する断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの流路を説明する断面図である。 本発明の実施形態２に係る流路を説明する平面図である。 本発明の実施形態２に係る変形例を示す断面図である。 本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの要部断面図である。 本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。 本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの流路を説明する図である。 第１の段差の変形例を示す平面図である。 第１及び第２の段差の変形例を示す平面図である。 本発明の一実施形態に係る記録装置の概略構成を示す図である。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの流路部材の平面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ′線に準じた断面図である。

図示するように、インクジェット式記録ヘッド１（以下、単に記録ヘッド１とも言う）を構成する流路形成基板１０は、ステンレス鋼やニッケル（Ｎｉ）などの金属、ＺｒＯ_２あるいはＡＬ_２Ｏ_３を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、ＭｇＯ、ＬａＡｌＯ_３のような酸化物などを用いることができる。本実施形態では、流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより複数の隔壁によって区画された複数の圧力発生室１２が並設されている。複数の圧力発生室１２が並設される方向は、インクを吐出する複数のノズル２６が並設される方向に沿っている。以降、この方向を圧力発生室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０の面内であって、第１の方向Ｘと直交する方向を第２の方向Ｙと称する。また、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの両方に直交する方向を第３の方向Ｚと称する。第３の方向Ｚにおいて、流路形成基板１０側をＺ１側、ノズルプレート２５側をＺ２側と称する。なお、第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚは、互いにそれぞれ直交する方向としたが、特にこれに限定されず、直交以外の角度で交差する方向であってもよい。

このような流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、振動板５０が形成されている。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力発生室１２等の液体流路は、流路形成基板１０をノズルプレート２５が接合された面側から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。

また、流路形成基板１０の振動板５０上には、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とを有する圧電アクチュエーター３００が設けられている。本実施形態では、圧電アクチュエーター３００が、圧力発生室１２内のインクに圧力変化を生じさせる圧力発生手段となっている。ここで、圧電アクチュエーター３００は、圧電素子３００とも言い、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分を言う。また、第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加した際に、圧電体層７０に圧電歪みが生じる部分を活性部と称する。すなわち、活性部は、圧電体層７０が第１電極６０と第２電極８０とによって第３の方向Ｚで挟まれた部分を言う。本実施形態では、第１凹部である圧力発生室１２毎に活性部３１０が形成されている。そして、本実施形態では、第１電極６０は、活性部の各々に独立して設けられた個別電極を構成し、第２電極８０は、複数の活性部に共通して設けられた共通電極を構成している。

図２に示すように、本実施形態の圧電アクチュエーター３００を構成する第１電極６０は、圧力発生室１２毎に切り分けてあり、圧電アクチュエーター３００の実質的な駆動部である活性部毎に独立する個別電極を構成する。

圧電体層７０は、第２の方向Ｙが所定の幅となるように、第１の方向Ｘに亘って連続して設けられている。

圧電体層７０は、第１電極６０上に形成される分極構造を有する酸化物の圧電材料からなり、例えば、一般式ＡＢＯ_３で示されるペロブスカイト型酸化物からなることができ、鉛を含む鉛系圧電材料や鉛を含まない非鉛系圧電材料などを用いることができる。

このような圧電体層７０には、各隔壁に対応する凹部７１が形成されている。この凹部７１の第１の方向Ｘの幅は、各隔壁の第１の方向の幅と略同一、もしくはそれよりも広くなっている。これにより、振動板５０の圧力発生室１２の第２の方向Ｙの端部に対向する部分、いわゆる振動板５０の腕部の剛性が押さえられるため、圧電アクチュエーター３００を良好に変位させることができる。

第２電極８０は、圧電体層７０の第１電極６０とは反対面側に設けられており、複数の能動部に共通する共通電極を構成する。また、第２電極８０は、凹部７１の内面、すなわち、圧電体層７０の凹部７１の側面内に設けるようにしても良く、設けないようにしてもよい。

このような第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０で構成される圧電アクチュエーター３００は、第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加することで変位が生じる。すなわち両電極６０，８０の間に電圧を印加することで、第１電極６０と第２電極８０とで挟まれている圧電体層７０に圧電歪みが生じる。そして、両電極６０，８０に電圧を印加した際に、圧電体層７０に圧電歪みが生じる部分を活性部と称する。これに対して、圧電体層７０に圧電歪みが生じない部分を非活性部と称する。

また、圧電アクチュエーター３００の第１電極６０からは、引き出し配線である個別配線９１が引き出されている。また、第２電極８０からは、引き出し配線である共通配線９２が引き出されている。そして、これら個別配線９１及び共通配線９２には、フレキシブルケーブル１２０が接続されている。フレキシブルケーブル１２０は、可撓性を有する配線基板であって、本実施形態では、半導体素子である駆動回路１２１が実装されている。

このような流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。また、保護基板３０には、第２の方向Ｙで並設された２つの保持部３１の間に第３の方向Ｚに貫通する貫通孔３２が設けられている。そして、圧電アクチュエーター３００の第１電極６０から引き出された個別配線９１と第２電極８０から引き出された共通配線９２の端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設されており、貫通孔３２内でフレキシブルケーブル１２０と電気的に接続されている。

一方、流路形成基板１０の第３の方向Ｚの一方面側には、連通板１５とノズルプレート２５とが順次積層されている。

ノズルプレート２５には、インク滴が吐出されるノズル２６が設けられている。このノズルプレート２５のノズル２６は、連通板１５に設けられたノズル連通路１６を介して圧力発生室１２と連通されている。

連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２５は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このように連通板１５を設けることによってノズルプレート２５のノズル２６と圧力発生室１２とを離せるため、圧力発生室１２の中にあるインクは、ノズル２６付近のインクで生じるインク中の水分の蒸発による増粘の影響を受け難くなる。また、ノズルプレート２５は圧力発生室１２とノズル２６とを連通するノズル連通路１６の開口を覆うだけで良いので、ノズルプレート２５の面積を比較的小さくすることができ、コストの削減を図ることができる。

なお、本実施形態では、ノズルプレート２５のノズル２６が開口されて、インク滴が吐出される面を液体噴射面２５ａと称する。

また、連通板１５は、本実施形態では、第１の連通板１５１と第２の連通板１５２とを有する。第１の連通板１５１と第２の連通板１５２とは、流路形成基板１０側であるＺ１側が第１の連通板１５１、ノズルプレート２５側であるＺ２側が第２の連通板１５２となるように互いに第３の方向Ｚに積層されている。本実施形態では、第１の連通板１５１が特許請求の範囲に記載の第１の流路部材に相当し、第２の連通板１５２が特許請求の範囲に記載の第２の流路部材に相当する。

このような第１の連通板１５１及び第２の連通板１５２としては、ステンレス鋼やニッケル（Ｎｉ）などの金属、またはジルコニウム（Ｚｒ）などのセラミックス等を用いることができる。第１の連通板１５１と第２の連通板１５２とは、同じ材料、すなわち、線膨張係数が同等の材料を用いるのが好ましい。第１の連通板１５１と第２の連通板１５２とに、互いに線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで第１の連通板１５１と第２の連通板１５２との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。第１の連通板１５１と第２の連通板１５２とに同じ材料を用いることで、第１の連通板１５１と第２の連通板１５２との線膨張係数の違いによる反りによる剥離はクラック等の破壊を抑制することができる。

また、連通板１５のうち、少なくとも流路形成基板１０と接合される第１の連通板１５１は、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料を用いるのが好ましい。これにより、第１の連通板１５１と流路形成基板１０との線膨張係数の違いによる反りを抑制することができる。本実施形態では、第１の連通板１５１と第２の連通板１５２との両方を流路形成基板１０と同じシリコン単結晶基板を用いることで、流路形成基板１０と第１の連通板１５１と第２の連通板１５２とが接合された接合体において、熱による反りに基づくクラックや剥離等の発生を抑制することができる。また、第１の連通板１５１及び第２の連通板１５２にシリコン単結晶基板を用いて、シリコン単結晶基板を異方性エッチングすることによって各流路を形成することで、各流路を高精度且つ高密度に形成することが可能である。

連通板１５には、複数の圧力発生室１２に連通する第１のマニホールド部１７１と第２のマニホールド部１７２と第３のマニホールド部１７３とが設けられている。

すなわち、第１のマニホールド部１７１と第２のマニホールド部１７２と第３のマニホールド部１７３とが複数の圧力発生室１２に共通して連通する第１の共通流路であるマニホールド１００の一部を構成している。

第１のマニホールド部１７１は、第１の流路部材である第１の連通板１５１を第３の方向Ｚに貫通して設けられている。本実施形態では、第１のマニホールド部１７１は、第３の方向Ｚに亘って略同じ開口面積となるように設けられている。この第１のマニホールド部１７１が、特許請求の範囲に記載の第１の流路に相当する。

第２のマニホールド部１７２は、第２の流路部材である第２の連通板１５２を第３の方向Ｚに貫通して設けられている。本実施形態では、第２のマニホールド部１７２は、第３の方向Ｚに亘って略同じ開口面積となるように設けられている。この第２のマニホールド部１７２が、特許請求の範囲に記載の第２の流路に相当する。

第３のマニホールド部１７３は、第２の連通板１５２を第３の方向Ｚに貫通することなく、第２の連通板１５２のノズルプレート２５側に開口して設けられている。第３のマニホールド部１７３は、第２のマニホールド部１７２の第２の方向Ｙにおいてノズル２６側に連通して設けられている。

また、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１８が、圧力発生室１２の各々に対して独立して設けられている。この供給連通路１８は、第３のマニホールド部１７３と圧力発生室１２とを連通する。すなわち、供給連通路１８は、第３のマニホールド部１７３に対して、第１の方向Ｘに並設されている。なお、ノズル２６に連通する個別流路は、本実施形態では、供給連通路１８と圧力発生室１２とノズル連通路１６とを有する。

ここで、連通板１５についてさらに図４〜図６を参照して説明する。なお、図４は、流路を示す平面図であり、図５は、図４のＢ−Ｂ′線断面図であり、図６は、図４のＣ−Ｃ′線断面図である。

図３〜図６に示すように、第１の連通板１５１と第２の連通板１５２との積層方向である第３の方向Ｚからの平面視において、第１のマニホールド部１７１の第２のマニホールド部１７２側の開口である第１の開口１７１ａと、第２のマニホールド部１７２の第１のマニホールド部１７１側の開口である第２の開口１７２ａとは、互いに重なる部分と互いに重ならない部分とを有する。

本実施形態では、図４及び図５に示すように、第１の開口１７１ａの第２の方向Ｙの幅は、第２の開口１７２ａよりも広く、第１の開口１７１ａの第２の方向Ｙの両端部は、第２の連通板１５２で塞がれている。この第１の開口１７１ａを第２の連通板１５２で塞いだ部分を第１の段差１３０と称する。すなわち、第１の段差１３０は、第１の開口１７１ａの第２の方向Ｙにおける両側に、第１の方向Ｘに亘って設けられている。

また、図４及び図６に示すように、第２の開口１７２ａの第１の方向Ｘの幅は、第１の開口１７１ａよりも広く、第２の開口１７２ａの第１の方向Ｘの両端部は、第１の連通板１５１で塞がれている。この第２の開口１７２ａを第１の連通板１５１で塞いだ部分を第２の段差１３１と称する。すなわち、第２の段差１３１は、第２の開口１７２ａの第１の方向Ｘにおける両側に、第１の方向Ｘに亘って設けられている。

また、図４に示すように、本実施形態では、第１の開口１７１ａは、第１の方向Ｘの長さが、第１の方向Ｘに並設された複数の供給連通路１８に亘る大きさで設けられている。これに対して、第２の開口１７２ａは、第１の方向Ｘの長さが、複数の供給連通路１８よりも外側に達するまで延設されている。すなわち、第２の開口１７２ａの第１の連通板１５１によって塞がれた第２の段差１３１は、ノズル２６の並設方向である第１の方向Ｘにおいて、ノズル２６の列の端部、すなわち、複数の供給連通路１８の外側に設けられている。

このような第１のマニホールド部１７１と第２のマニホールド部１７２とは、第３の方向Ｚから平面視した際に、第１の段差１３０及び第２の段差１３１が設けられていない部分が、第１の開口１７１ａと第２の開口１７２ａとが互いに重なり合う部分となっている。

また、第１の開口１７１ａの第２の連通板１５２によって塞がれた部分が、第１の開口１７１ａが第２の開口１７２ａに重ならない部分となっている。また、第２の開口１７２ａの第１の連通板１５１によって塞がれた部分が、第２の開口１７２ａが第１の開口１７１ａに重ならない部分となっている。そして、第１の開口１７１ａが第２の開口１７２ａに重ならない部分と、第２の開口１７２ａが第１の開口１７１ａに重ならない部分とを合わせて、第１の開口１７１ａと第２の開口１７２ａとが互いに重ならない部分と称する。すなわち、第１の段差１３０部と第２の段差１３１とが設けられた部分が、第１の開口１７１ａ及び第２の開口１７２ａが互いに重ならない部分となっている。つまり、第１の開口１７１ａと第２の開口１７２ａとが互いに重ならない部分が存在するとは、第１の開口１７１ａが第２の開口１７２ａに重ならない部分と、第２の開口１７２ａが第１の開口１７１ａに重ならない部分との両方が存在することを言う。ちなみに、第１の開口１７１ａが第２の開口１７２ａに重ならない部分と、第２の開口１７２ａが第１の開口１７１ａに重ならない部分との何れか一方のみが設けられている場合には、第１の開口１７１ａと第２の開口１７２ａとが互いに重ならない部分が存在するとは言わない。

このように第１のマニホールド部１７１と第２のマニホールド部１７２とにおいて、第１の開口１７１ａと第２の開口１７２ａとが互いに重なる部分と、互いに重ならない部分とを設けることで、詳しくは後述するが、第１の開口１７１ａと第２の開口１７２ａとが重なる部分において第１のマニホールド部１７１から第２のマニホールド部１７２にインクを良好に供給することができる。また、第１の開口１７１ａと第２の開口１７２ａとが重ならない部分において、第１のマニホールド部１７１から第２のマニホールド部１７２に流れるインクに含まれる気泡を捕捉する第１の段差１３０を形成することができる。また、第１の開口１７１ａと第２の開口１７２ａとが重ならない部分において、第１の段差１３０によって捕捉した気泡を第１のマニホールド部１７１から第２のマニホールド部１７２に移動させる第２の段差１３１を形成することができる。

なお、連通板１５に設けられた第１のマニホールド部１７１、第２のマニホールド部１７２及び第３のマニホールド部１７３と、詳しくは後述する第１の連通板１５１に接合されたケース部材４０に設けられた第４のマニホールド部４２とによって本実施形態の第１の共通流路であるマニホールド１００が構成されている。

さらに、図３に示すように、連通板１５には、循環用連通路１９と第１の循環用マニホールド部２０１と第２の循環用マニホールド部２０２と第３の循環用マニホールド部２０３とが設けられている。

循環用連通路１９は、第２の連通板１５２を第３の方向Ｚに貫通することなく、第２の連通板１５２のノズルプレート２５側に開口して設けられている。この循環用連通路１９は、一端がノズル連通路１６の各々に連通するように、ノズル連通路１６に対応して複数設けられている。

第１の循環用マニホールド部２０１は、第２の連通板１５２を第３の方向Ｚに貫通して設けられている。第１の循環用マニホールド部２０１は、複数の循環用連通路１９が共通して連通するものであり、循環用連通路１９の並設された第１の方向Ｘに亘って連続して設けられている。この第１の循環用マニホールド部２０１の第２の方向Ｙのノズル２６側に循環用連通路１９の他端が連通している。

第２の循環用マニホールド部２０２は、第１の連通板１５１を第３の方向Ｚに貫通することなく、第２の連通板１５２側に開口して設けられている。すなわち、第２の循環用マニホールド部２０２は、第１の連通板１５１と第２の連通板１５２との接合面に設けられている。

第３の循環用マニホールド部２０３は、第１の連通板１５１を第３の方向Ｚに貫通して設けられている。

連通板１５に設けられた第１の循環用マニホールド部２０１、第２の循環用マニホールド部２０２及び第３の循環用マニホールド部２０３と、詳しくは後述する第１の連通板１５１に接合されたケース部材４０に設けられた第４の循環用マニホールド部４３とによって本実施形態の第２の共通流路である循環用マニホールド１１０が構成されている。すなわち、循環用マニホールド１１０は、複数の個別流路に共通して連通する第２の共通流路となっている。

このような記録ヘッド１では、マニホールド１００から個別流路である供給連通路１８、圧力発生室１２及びノズル連通路１６にインクが供給され、ノズル連通路１６に供給されたインクは、循環用連通路１９を介して循環用マニホールド１１０に供給される。すなわち、第１の共通流路であるマニホールド１００、個別流路、第２の共通流路である循環用マニホールド１１０の順にインクが流れる。

さらに連通板１５には、図３及び図４に示すように、バイパス流路２１が設けられている。バイパス流路２１は、一端が第２のマニホールド部１７２に連通し、他端が第１の循環用マニホールド部２０１に連通して設けられている。具体的には、バイパス流路２１は、第１の方向Ｘにおいて、ノズル連通路１６と供給連通路１８と第３のマニホールド部１７３との外側にそれぞれ設けられている。すなわち、バイパス流路２１は、ノズル連通路１６と供給連通路１８と第３のマニホールド部１７３との第１の方向Ｘの両側のそれぞれに合計２つ設けられている。そして、バイパス流路２１の一端は、第２のマニホールド部１７２の第１の方向Ｘの端部に連通している。すなわち、バイパス流路２１は、第２のマニホールド部１７２の第２の段差１３１によって塞がれた側に連通している。また、バイパス流路２１の他端は、第１の循環用マニホールド部２０１の第１の方向Ｘの端部に連通している。すなわち、バイパス流路２１は、個別流路を介さずにマニホールド１００と循環用マニホールド１１０とを連通している。

また、バイパス流路２１は、第２の連通板１５２を第３の方向Ｚに貫通することなく、ノズルプレート２５側に開口して設けられている。本実施形態のバイパス流路２１は、第３のマニホールド部１７３と同じ深さで設けられている。これにより、第２の連通板１５２にバイパス流路２１と第３のマニホールド部１７３とを同時に形成することができ、バイパス流路２１を形成する工程を増やすことなく、第３のマニホールド部１７３を低コストで容易に且つ高精度に形成することができる。また、バイパス流路２１を第３のマニホールド部１７３と同じ深さで形成することで、２つのバイパス流路２１と第２のマニホールド部１７２と第１の循環用マニホールド部２０１とで囲まれた領域と、その外側の部分とが完全に分離することがない。したがって、第１の連通板１５１と第２の連通板１５２との接合を容易に行うことができる。

そして、図５に示すように、ケース部材４０の導入口４４から第１のマニホールド部１７１に供給されたインクに含まれる気泡５００は、第１の段差１３０に沿って第１の方向Ｘに移動し、図６に示すように、第２の段差１３１が設けられた部分、すなわち、第１の方向Ｘの両端部において第２のマニホールド部１７２内に移動する。このとき、第２のマニホールド部１７２の第１のマニホールド部１７１に重ならない部分、すなわち、第２の段差１３１部によって塞がれた部分に連通するバイパス流路２１を設けることで、第２のマニホールド部１７２内に移動した気泡５００をバイパス流路２１を介して循環用マニホールド１１０に排出することができる。すなわち、第１の段差１３０部によって気泡５００が第２のマニホールド部１７２の個別流路に連通する部分に移動するのを規制し、第２の段差１３１部によって第２のマニホールド部１７２のバイパス流路２１が連通する部分に移動させて、バイパス流路２１によって気泡５００をマニホールド１００から排除することができる。したがって、個別流路に気泡５００が入り込むのを抑制して、インクの吐出不良が発生するのを抑制することができる。

また、圧力発生室１２を含む個別流路とは別にバイパス流路２１を設けることで、個別流路とは異なる形状のバイパス流路２１を形成することができる。したがって、バイパス流路２１の流路抵抗を個別流路よりも低くして、バイパス流路２１内に気泡５００が流れ込み易くすることができ、気泡５００の排出性を向上することができる。もちろん、バイパス流路２１の流路抵抗は、個別流路の流路抵抗以下としてもよい。バイパス流路２１の流路抵抗が個別流路の流路抵抗以下の場合であっても、バイパス流路２１の第２のマニホールド部１７２側の開口形状を個別流路の開口形状よりも広くすることにより、バイパス流路２１内に気泡５００が流れ込み易くすることができる。

なお、本実施形態では、バイパス流路２１を第３のマニホールド部１７３と同じ深さで設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、バイパス流路２１を第２のマニホールド部１７２と同じ深さ、すなわち、第２の連通板１５２を第３の方向Ｚに貫通して設けるようにしてもよい。このようにバイパス流路２１を、第２の連通板１５２を第３の方向Ｚに貫通して設けることにより、バイパス流路２１の流路抵抗を低くして、バイパス流路２１内に気泡５００が流れ込み易くすることができると共に、バイパス流路２１内に流れ込んだ気泡５００を容易に移動させることができる。ただし、バイパス流路２１を、第２の連通板１５２を貫通して設けた場合、本実施形態では、バイパス流路２１が連通する第２のマニホールド部１７２と第１の循環用マニホールド部２０１とが第２の連通板１５２を貫通して設けられているため、２つのバイパス流路２１と第２のマニホールド部１７２と第１の循環用マニホールド部２０１とに囲まれた部分は、その外側と完全に分離してしまう。このため、第１の連通板１５１と２つに分離した第２の連通板１５２とを接合しなくてはならず、両者の接合が煩雑になってしまう。また、２つのバイパス流路２１と第２のマニホールド部１７２と第１の循環用マニホールド部２０１とに囲まれた部分と、その外側とを分離しないように梁等で繋ぐ構成も考えられるが、梁等を形成する必要があり、製造が煩雑になってしまう。本実施形態では、バイパス流路２１を、第２の連通板１５２を第３の方向Ｚに貫通しない深さで設けることで、２つのバイパス流路２１と第２のマニホールド部１７２と第１の循環用マニホールド部２０１とに囲まれた部分は、その外側とバイパス流路２１の底面側で連結され、分離することがない。したがって、第１の連通板１５１と一体的に設けられた第２の連通板１５２とを接合すればよく、分離した第２の連通板１５２同士を位置決めする必要がなく、容易に接合することができると共に、別途、連結するための梁等を形成する必要がなく、製造工程を簡略化することができる。また、本実施形態では、バイパス流路２１を、第２のマニホールド部１７２と同じ深さで形成したため、バイパス流路２１を第２のマニホールド部１７２と同時に形成することができ、バイパス流路２１を形成するための工程が不要となってコストを低減することができる。ちなみに、バイパス流路２１を、第２の連通板１５２を第３の方向Ｚに貫通して設けた場合、バイパス流路２１の第１の連通板１５１側の開口も塞ぐ必要がある。本実施形態では、バイパス流路２１の第１の連通板１５１側の開口は、第１の連通板１５１によって塞ぐことができるので部品点数が増大することはない。

また、バイパス流路２１は、第１の連通板１５１及び第２の連通板１５２を第３の方向Ｚに貫通する深さで設けるようにしてもよい。このように連通板１５を第３の方向Ｚに貫通するバイパス流路２１を設けた場合についても、上述したバイパス流路２１を第２のマニホールド部１７２と同じ深さで設けた場合と同様に、第１の連通板１５１及び第２の連通板１５２のそれぞれにおいて、２つのバイパス流路２１と第２のマニホールド部１７２と第１の循環用マニホールド部２０１とに囲まれた部分は、その外側と完全に分離してしまう。また、バイパス流路を、連通板１５を貫通して設けた場合、連通板１５の流路形成基板１０側に開口するバイパス流路を封止する部材が必要になり、部品点数が増大してしまう。本実施形態では、バイパス流路２１を、第２の連通板１５２を第３の方向Ｚに貫通しない深さで設けることで、２つのバイパス流路２１と第２のマニホールド部１７２と第１の循環用マニホールド部２０１とに囲まれた部分は、その外側とバイパス流路２１の底面側で連結され、分離することがない。したがって、第１の連通板１５１と一体的に設けられた第２の連通板１５２とを接合すればよく、分離した第２の連通板１５２同士を位置決めする必要がなく、容易に接合することができると共に、別途、連結するための梁等を形成する必要がなく、製造工程を簡略化することができる。また、本実施形態では、バイパス流路２１が流路形成基板１０側に開口することがないため、バイパス流路２１を封止する部材が不要となって部品点数を減らしてコストを低減することができる。

もちろん、バイパス流路２１は、第１のマニホールド部１７１の深さ、第２のマニホールド部１７２の深さ及び第３のマニホールド部１７３の深さとは異なる深さで形成するようにしてもよいが、上述したように、バイパス流路２１は、第２の連通板１５２を第３の方向Ｚに貫通しない深さで設けるのが好ましい。

また、保護基板３０及び連通板１５のＺ１側には、ケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０と連通板１５との両方に接合されている。具体的には、ケース部材４０は、流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２５側の開口面が連通板１５によって封止されている。

また、ケース部材４０には、第２の方向Ｙの両側のそれぞれに第３の方向Ｚの連通板１５側に開口する第４のマニホールド部４２と第４の循環用マニホールド部４３とが設けられている。

そして、連通板１５に設けられた第１のマニホールド部１７１、第２のマニホールド部１７２及び第３マニホールド部１７３と、ケース部材４０に設けられた第４のマニホールド部４２とによって本実施形態の第１の共通流路であるマニホールド１００が構成されている。

また、連通板１５に設けられた第１の循環用マニホールド部２０１、第２の循環用マニホールド部２０２及び第３の循環用マニホールド部２０３と、ケース部材４０に設けられた第４の循環用マニホールド部４３とによって本実施形態の第２の共通流路である循環用マニホールド１１０が構成されている。

また、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通してマニホールド１００にインクを供給するための導入口４４と、循環用マニホールド１１０に連通して循環用マニホールド１１０からインクを排出するための排出口４５とが設けられている。

また、連通板１５の第２のマニホールド部１７２及び第３のマニホールド部１７３が開口するＺ２側の面には、コンプライアンス基板４９が設けられている。このコンプライアンス基板４９が、第２のマニホールド部１７２と第３のマニホールド部１７３の液体噴射面２５ａ側の開口を封止している。このようなコンプライアンス基板４９は、本実施形態では、可撓性を有する薄膜からなる封止膜４９１と、金属等の硬質の材料からなる固定基板４９２と、を具備する。固定基板４９２のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４９３となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４９１のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９４となっている。コンプライアンス基板４９は、コンプライアンス部４９４が撓むことにより、マニホールド１００等における圧力変動を吸収する。なお、コンプライアンス基板４９は、バイパス流路２１が開口する領域にも設けられており、バイパス流路２１のノズル２６側の面は、コンプライアンス基板４９によって封止されている。すなわち、バイパス流路２１は、第２の連通板１５２の第１の連通板１５１とは反対側の面に開口して設けられた凹部と、凹部の開口を塞ぐ蓋部材であるコンプライアンス基板４９とで形成されている。具体的には、コンプライアンス基板４９のうち、バイパス流路２１を形成する部分についても、封止膜４９１と固定基板４９２とが積層されており、封止膜４９１によりバイパス流路２１のノズル２６側の面が封止されている。これにより、例えばバイパス流路２１のノズル２６側の面を封止膜４９１以外の部材により封止する構成と比較すると、マニホールド１００とバイパス流路２１とを封止膜４９１により形成することにより、マニホールド１００とバイパス流路２１との境界で気泡５００が引っかかることを低減することができる。なお、コンプライアンス基板４９のうち、バイパス流路２１を形成する部分については、固定基板４９２がなく封止膜４９１のみであってもよい。これにより、バイパス流路２１における圧力変動をコンプライアンス部４９４により吸収することができる。また、コンプライアンス基板４９を、固定基板４９２のみにより形成し、固定基板４９２を薄くする等によりマニホールド１００等における圧力変動を吸収するコンプライアンス部４９４をコンプライアンス基板４９に設けてもよい。この場合であっても、マニホールド１００とバイパス流路２１との境界で気泡５００が引っかかることを低減することができる。

さらにケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通してフレキシブルケーブル１２０が挿通される接続口４６が設けられている。

そして、図示しないインクタンクやインクカートリッジなどの液体貯留部から導入口４４を介してマニホールド１００内に供給されたインクは、個別流路とバイパス流路２１とを介して循環用マニホールド１１０に供給される。また、循環用マニホールド１１０に供給されたインクは、排出口４５から液体貯留部等に排出される。これにより液体貯留部と記録ヘッド１との間でインクの循環が行われる。

ここで、導入口４４からマニホールド１００内に供給されたインクは、第１のマニホールド部１７１から第２のマニホールド部１７２と第３のマニホールド部１７３とを順番に経由して各個別流路である供給連通路１８に供給される。このとき、図４及び図５に示すように、第１のマニホールド部１７１から第２のマニホールド部１７２にインクが供給される際に、インクに含まれる気泡５００は、インクの流れる方向である第２の方向に沿って第１の段差１３０を乗り越えることなく、第１の段差１３０に捕捉される。このため、第１のマニホールド部１７１から第２の方向Ｙに沿ってインクが供給される供給連通路１８に気泡５００が流れ込み難い。そして、マニホールド１００内には、導入口４４を中心として、各供給連通路１８に向かって放射状にインクの流れが生じるため、第１の段差１３０によって捕捉された気泡５００は、第１の段差１３０上を第１の方向Ｘの両側に向かって移動する。このように第１の段差１３０に捕捉されて第１の段差１３０に沿って第１の方向Ｘの両端部に向かって移動した気泡５００は、第１の段差１３０がなくなり、第２の段差１３１が形成された部分において、図６に示すように、インクの流れに沿って第１のマニホールド部１７１から第２のマニホールド部１７２内に流れ込む。そして、第２の段差１３１を介して第２のマニホールド部１７２内に流れ込んだ気泡５００は、バイパス流路２１を介して循環用マニホールド１１０内に排出される。したがって、マニホールド１００内のインクに含まれる気泡５００は、個別流路である供給連通路１８内に流れ込むのを抑制して、バイパス流路２１を介してマニホールド１００の外部に排出することができる。このため、個別流路内に気泡５００が入り込むことによるインクの吐出不良等の不具合が発生するのを抑制することができる。特に本実施形態のように、マニホールド１００から個別流路を介して循環用マニホールド１１０にインクを循環させる場合、個別流路内に流れ込んで流路内で引っかかった気泡５００は、インクを循環させても、また、ノズル２６からインクを吸引しても、気泡５００の入っていない流路抵抗の低い個別流路内をインクが積極的に流れてしまうため、排除するのが困難である。このため、例えば、循環用マニホールド１１０側から加圧するなどして気泡５００を排除しなくてはならず、加圧するための手段が必要になってしまう。本実施形態のように、個別流路内に気泡５００が流れ込み難くすることで、個別流路から気泡５００を排除する必要がなく、循環用マニホールド１１０を加圧する手段等が不要となり、また、インクの無駄な消費を抑制することができる。

なお、第２の段差１３１を設けずに、第１の段差１３０のみを設ける構成も考えられるものの、第１のマニホールド部１７１と第２のマニホールド部１７２とを第１の方向Ｘの寸法公差が生じないように形成するのは困難であり、また、第１の方向Ｘの両端部において、第１のマニホールド部１７１の壁面と第２のマニホールド部１７２の壁面とが面一となるように位置決めするのは困難である。このため、第２の段差１３１が形成されずに壁面同士が面一となるように製造しても、第１の段差１３０と同じように第１の開口１７１ａを第２の連通板１５２が塞ぐ段差が形成されてしまう虞がある。そうなると、気泡５００の移動を管理することができなくなってしまう。このため、本実施形態では、確実に第２の段差１３１が形成されるように、第１の方向Ｘにおいて第２のマニホールド部１７２の開口幅を、第１のマニホールド部１７１の開口幅よりも広く形成する。すなわち、第１のマニホールド部１７１及び第２のマニホールド部１７２の寸法公差や位置ずれが生じても第２の段差１３１が確実に形成されるようにすることで、第１の方向Ｘの両端部において第１の開口１７１ａを第２の連通板１５２が塞ぐ段差が形成されるのを抑制することができる。したがって、第２の段差１３１を形成することで、気泡５００が段差に引っかかることがなく、第２の段差１３１が設けられた部分で第１のマニホールド部１７１から第２のマニホールド部１７２に気泡５００を移動させることができ、気泡５００の移動を管理することができる。

以上説明したように、本実施形態の記録ヘッド１は、第１の流路である第１のマニホールド部１７１を有する第１の流路部材である第１の連通板１５１と、第１のマニホールド部１７１に接続されて当該第１のマニホールド部１７１から液体であるインクが供給される第２の流路である第２のマニホールド部１７２を有する第２の流路部材である第２の連通板１５２と、第２のマニホールド部１７２に連通してインクを噴射するノズル２６と、を有し、第１の連通板１１と第２の連通板１５２との積層方向である第３の方向Ｚからの平面視において、第１のマニホールド部１７１の第２のマニホールド部１７２側の開口である第１の開口１７１ａと、第２のマニホールド部１７２の第１のマニホールド部１７１側の開口である第２の開口１７２ａとは、互いに重なる部分と互いに重ならない部分とを有する。

このように第１のマニホールド部１７１の第１の開口１７１ａと第２のマニホールド部１７２の第２の開口１７２ａとを、互いに重なる部分と互いに重ならない部分とを設けることで、互いに重なる部分からインクを供給すると共に、互いに重ならない部分のうち第１の開口１７１ａの第２の開口１７２ａに重ならない部分によって形成された第１の段差１３０によって気泡５００を捕捉することができる。また、第１の段差１３０によって捕捉した気泡５００を第１の開口１７１ａと第２の開口１７２ａとが互いに重ならない部分のうち第２の開口１７２ａの第１の開口１７１ａに重ならない部分から第２のマニホールド部１７２内に移動させることができる。すなわち、第１のマニホールド部１７１と第２のマニホールド部１７２との中で流速差を設けることができ、気泡５００の移動を容易に管理することができる。

なお、本実施形態では、連通板１５を第１の連通板１５１と第２の連通板１５２とで構成し、第１の連通板１５１が特許請求の範囲に記載の第１の流路部材に相当し、第２の連通板１５２が特許請求の範囲に記載の第２の流路部材に相当するものとしたが、特にこれに限定されるものではない。例えば、第１の流路を第４のマニホールド部４２として第１の流路部材をケース部材４０とし、第２の流路を第１のマニホールド部１７１として第２の流路部材を第１の連通板１５１としてもよい。この場合には、連通板１５は、第１の連通板１５１と第２の連通板１５２との２枚で形成する必要はなく、１枚で形成してもよい。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、第１の流路部材である第１の連通板１５１と、第２の流路部材である第２の連通板１５２とは、同じ材料で形成されていることが好ましい。これによれば、第１の連通板１５１と第２の連通板１５２との線膨張係数の違いによる反りによる剥離やクラック等の破壊を抑制することができる。もちろん、第１の連通板１５１と第２の連通板１５２とは異なる材料で形成してもよい。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、第１の開口１７１ａと第２の開口１７２ａとが互いに重ならない部分には、第１の流路部材である第１の連通板１５１が第２の開口１７２ａを塞いだ第２の段差１３１が設けられており、第２の段差１３１は、前記ノズルの並設方向において当該ノズルの列の端部側に設けられていることが好ましい。このように気泡５００を第１のマニホールド部１７１から第２のマニホールド部１７２に移動させる第２の段差１３１を、ノズル２６の列の端部側に配置することで、気泡５００がノズル２６の列の中央部側に流れ難い。したがって、気泡５００を排出するバイパス流路２１や、気泡５００を溜めて排出する排出路等をノズル２６の列の中央部に配置する必要がなく、ノズル２６の列がバイパス流路２１や排出路によって不連続となるのを抑制して、画質の向上を図ることができる。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、ノズル２６に連通する圧力発生室１２であって、圧力発生手段である圧電アクチュエーター３００によって内部の液体であるインクに圧力変化が生じる圧力発生室１２を有する個別流路を具備し、第２の流路である第２のマニホールド部１７２は、複数の個別流路に共通して連通する第１の共通流路であるマニホールド１００を構成し、第１の流路部材である第１の連通板１５１または第２の流路部材である第２の連通板１５２には、個別流路の少なくとも一部が設けられていることが好ましい。このように第１の連通板１５１または第２の連通板１５２には、個別流路と第１の共通流路であるマニホールド１００との両方が設けられているため、両者の位置精度を向上することができる。また、圧力発生室１２付近のマニホールド１００内で気泡５００を捕捉したり移動させたりすることができるため、個別流路のような狭い流路に引っかからないように気泡５００の移動を管理することができる。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、ノズル２６に連通する圧力発生室１２であって、圧力発生手段である圧電アクチュエーター３００によって内部の液体であるインクに圧力変化が生じる圧力発生室１２を有する個別流路を具備し、第２の流路である第２のマニホールド部１７２は、複数の個別流路に共通して連通する第１の共通流路であるマニホールド１００を構成し、複数の個別流路に連通する第２の共通流路である循環用マニホールド１１０をさらに具備し、マニホールド１００、複数の個別流路、マニホールド１００の順にインクが流れることが好ましい。

マニホールド１００から個別流路を介して循環用マニホールド１１０にインクを循環させる場合、個別流路内に進入して引っかかった気泡５００は、インクを循環させても、また、ノズル２６からインクを吸引しても、気泡５００の入っていない流路抵抗の低い個別流路をインクが積極的に流れるため、排除するのが困難である。このため、例えば、循環用マニホールド１１０側から加圧するなどして気泡５００を排除しなくてはならず、加圧するための手段が必要になってしまう。本実施形態のように、個別流路内に気泡５００が入り込まないようにすることで、個別流路から気泡５００を排除する必要がなく、循環用マニホールド１１０を加圧する手段等が不要となり、また、インクの無駄な消費を抑制することができる。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、ノズル２６に連通する圧力発生室１２であって、圧力発生手段である圧電アクチュエーター３００によって内部の液体であるインクに圧力変化が生じる圧力発生室１２を有する個別流路を具備し、第２の流路である第２のマニホールド部１７２は、複数の個別流路に共通して連通する第１の共通流路であるマニホールド１００を構成し、第２のマニホールド部１７２には、個別流路を経由せずに第２のマニホールド部１７２から外部にインクを排出するバイパス流路２１が接続されていることが好ましい。

これによれば、圧力発生室１２を介さずにバイパス流路２１を介して、気泡５００を外部に排出することができるため、個別流路内に気泡５００が進入して滞留するのを抑制することができる。また、気泡５００を排出するバイパス流路２１を個別流路とは別に形成するため、吐出特性を考慮することなくバイパス流路２１の流路抵抗を個別流路よりも低くすることができ、バイパス流路２１に気泡５００を入り込み易く、また、入り込んだ気泡５００がバイパス流路２１内を流れ易くすることができる。

なお、本実施形態では、バイパス流路２１は、第２の共通流路である循環用マニホールド１１０に連通するようにしたが、特にこれに限定されず、バイパス流路２１を記録ヘッド１の外部に開口させて、定期的にバイパス流路２１から記録ヘッド１内の気泡５００をインクと共に吸引するなどして、外部に排出するようにしてもよい。ただし、本実施形態のように、バイパス流路２１を循環用マニホールド１１０に連通することで、バイパス流路２１を流れたインクを循環用マニホールド１１０から液体貯留部に戻すことができインクの無駄な消費を抑制することができる。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、第１の流路である第１のマニホールド部１７１を有する第１の流路部材である第１の連通板１５１と、第１のマニホールド部１７１に接続されて当該第１のマニホールド部１７１から液体であるインクが供給される第２の流路である第２のマニホールド部１７２を有する第２の流路部材である第２の連通板１５２と、第２のマニホールド部１７２に連通して液体を噴射するノズル２６が設けられたノズルプレート２５であって、第２の連通板１５２に対して、第１の連通板１５１とは反対側に配置されたノズルプレート２５と、第２の連通板１５２に対して、第１の連通板１５１とは反対側に配置されたコンプライアンス基板４９であって、第２のマニホールド部１７２の圧力変動を吸収するコンプライアンス基板４９と、ノズル２６に連通する圧力発生室１２であって、圧力発生手段である圧電アクチュエーター３００によって内部の液体であるインクに圧力変化が生じる圧力発生室１２を有する個別流路と、を有し、第２のマニホールド部１７２は、複数の個別流路に共通して連通する第１の共通流路であるマニホールド１００を構成し、第２のマニホールド部１７２には、個別流路を経由せずに第２のマニホールド部１７２から外部に液体を排出するバイパス流路２１が接続されており、コンプライアンス基板４９は、マニホールド１００とバイパス流路２１とを形成する。

このように、コンプライアンス基板４９が、マニホールド１００とバイパス流路２１とを形成することにより、マニホールド１００とバイパス流路２１との境界で気泡５００が引っかかることを低減することができる。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、バイパス流路２１は、第２の流路部材である第２の連通板１５２を積層方向である第３の方向Ｚに貫通することなく、第２の連通板１５２の第１の流路部材である第１の連通板１５１とは反対側の面に開口する凹部によって形成されていることが好ましい。これによれば、バイパス流路２１が第２の連通板１５２の第１の連通板１５１側に開口しないため、第２の連通板１５２の第１の連通板１５１側を封止する必要がない。また、バイパス流路２１によって第２の連通板１５２が分離されることがないため、第２の連通板１５２が分離されないように接続する梁が不要となり、第２の連通板１５２を容易に製造することができると共に第１の連通板１５１と第２の連通板１５２との接合を容易に行うことができる。

なお、バイパス流路２１は、第２の連通板１５２の第１の連通板１５１とは反対側に開口する凹部に限定されず、例えば、第２の連通板１５２の第１の連通板１５１側に開口する凹部であってもよい。これにより、第１のマニホールド部１７１から第２の段差１３１を越えて第２のマニホールド部１７２内に移動した気泡５００は、第２のマニホールド部１７２と第３のマニホールド部１７３との深さの違いによって形成された壁部を越えることなく、バイパス流路２１内に移動することができるため、気泡５００がバイパス流路２１内に入り込みやすい。これに対して、第２の段差１３１を越えて第２のマニホールド部１７２内に移動した気泡５００が供給連通路１８に移動するには、第２のマニホールド部１７２と第３のマニホールド部１７３との深さの違いによって形成された壁部を越える必要があるため、第２のマニホールド部１７２内の気泡５００は、供給連通路１８側に移動し難く、個別流路内に入り込み難い。

もちろん、バイパス流路２１は、第２のマニホールド部１７２に開口するものに限定されず、例えば、第３のマニホールド部１７３に開口するものであってもよい。

なお、バイパス流路２１は、第２の流路部材である第２の連通板１５２を積層方向である第３の方向Ｚに貫通して設けられていてもよい。このように、バイパス流路２１を、第２の連通板１５２を第３の方向Ｚに貫通して設けることで、バイパス流路２１の流路抵抗を低減して、バイパス流路２１に気泡５００を入り込み易くすることができると共に、バイパス流路２１に入り込んだ気泡５００を移動させ易くすることができる。

（実施形態２）
図７は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの流路を説明する平面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

本実施形態では、上述した実施形態１のバイパス流路２１が設けられておらず、複数の個別流路のうちの一部がマニホールド１００から気泡５００を排出するためのバイパス流路として機能する。

具体的には、図７に示すように、第１のマニホールド部１７１の第２のマニホールド部１７２側の開口である第１の開口１７１ａと、第２のマニホールド部１７２の第１のマニホールド部１７１側の開口である第２の開口１７２ａとは、第３の方向Ｚからの平面視において、互いに重なる部分と互いに重ならない部分とを有する。これら第１の開口１７１ａと第２の開口１７２ａとが互いに重ならない部分には、上述した実施形態１と同様に第１の段差１３０と第２の段差１３１とが設けられている。すなわち、第２の開口１７２ａの第１の連通板１５１によって塞がれた第２の段差１３１は、ノズル２６の並設方向である第１の方向Ｘにおいて、ノズル２６の列の端部に設けられている。

また、第１の開口１７１ａの第１の方向Ｘの長さは、第１の方向Ｘに並設された複数の供給連通路１８のうち、両端部の供給連通路１８に達しない大きさで設けられている。

また、第２の開口１７２ａは、第１の方向Ｘの長さは、第１の方向Ｘに並設された複数の供給連通路１８のうち、両端部の供給連通路１８に達する大きさで設けられている。

そして、第１のマニホールド部１７１が達しない両端部の供給連通路１８を有する個別流路が、本実施形態のバイパス流路として機能する。

すなわち、本実施形態では、上述した実施形態１のバイパス流路２１が設けられることなく、複数の並設された供給連通路１８のうち両端部の供給連通路１８と、これに連通する圧力発生室１２及びノズル連通路１６とが、マニホールド１００内のインクに含まれる気泡５００をマニホールド１００から排出するためのバイパス流路として機能する。

具体的には、導入口４４からマニホールド１００内に供給されたインクは、第１のマニホールド部１７１から第２のマニホールド部１７２と第３のマニホールド部１７３とを順番に経由して各個別流路である供給連通路１８に供給される。このとき、上述した実施形態１の図５と同様に、第１のマニホールド部１７１から第２のマニホールド部１７２にインクが供給される際に、インクに含まれる気泡５００はインクの流れる方向である第２の方向に沿って第１の段差１３０を乗り越えることなく第１の段差１３０に捕捉される。このため、第１のマニホールド部１７１から第２の方向Ｙに沿ってインクが供給される供給連通路１８に気泡５００が流れ込み難い。そして、マニホールド１００内には、導入口４４を中心として、各供給連通路１８に向かって放射状にインクの流れが生じるため、第１の段差１３０によって捕捉された気泡５００は、第１の段差１３０上を第１の方向Ｘの両側に向かって移動する。このように第１の段差１３０に捕捉されて第１の段差１３０に沿って第１の方向Ｘの両端部に向かって移動した気泡５００は、第１の段差１３０がなくなり、第２の段差１３１が形成された部分において、上述した実施形態１の図６と同様に、インクの流れに沿って第１のマニホールド部１７１から第２のマニホールド部１７２内に流れ込む。そして、第２の段差１３１を介して第２のマニホールド部１７２内に流れ込んだ気泡５００は、第２の段差１３１の近くに設けられた供給連通路１８に流れ込み、ノズル２６からの吸引や、循環用連通路１９を介してマニホールド１００の外部に排出される。

このため、第１の方向Ｘの両端部に設けられた供給連通路１８を有する個別流路は、インク滴を被印刷媒体に着弾させる、所謂、印刷には使用せずに、気泡５００の排出に用いられるバイパス流路として機能する。したがって、気泡５００を循環用連通路１９から排出する場合には、第１の方向Ｘの両端部に設けられた個別流路には、ノズル２６が設けられていなくてもよい。また、第１の方向Ｘの両端部に設けられた個別流路内の気泡５００をノズル２６から排出する場合には、例えば、気泡を排出５００するノズル２６以外のノズル２６を封止した状態で、気泡５００を排出するノズル２６からインクを吸引すれば、インクの無駄な消費量を低減して、確実に気泡５００をノズル２６から排出させることができる。

また、第１の方向Ｘの両端部に設けられた個別流路は、印刷に用いられないため、吐出特性に基づく構造上の制限がない。したがって、第１の方向Ｘの両端部に設けられた個別流路は、印刷に用いるノズル２６に連通する個別流路に比べて、流路抵抗が小さくなるように形成することが可能である。このように気泡５００の排出に用いる個別流路を、印刷に用いる個別流路に比べて流路抵抗を小さくすることで、気泡５００の排出に用いる個別流路に気泡５００を流れ込み易く、また、流れ込んだ気泡５００を移動し易くすることができる。

このように、マニホールド１００内のインクに含まれる気泡５００は、第１の方向Ｘに並設された供給連通路１８を有する個別流路のうち、両端部の個別流路から外部に排出することができるため、マニホールド１００内の気泡５００が印刷に用いる中央部の個別流路に入り込むのを低減することができる。したがって、中央部の個別流路内に気泡５００が入り込むことによるインクの吐出不良等の不具合が発生するのを抑制して、印刷不良を低減することができる。

もちろん、第１の方向Ｘに並設された個別流路のうち、第１の方向Ｘの各端部において、それぞれ２以上の複数の個別流路を気泡５００を排出するバイパス流路として機能させてもよい。

また、第１の方向Ｘに並設された個別流路のうち、第１の方向Ｘの両端部以外の個別流路をバイパス流路としてもよい。すなわち、第２の段差１３１を第２のマニホールド部１７２の第１の方向Ｘにおける中央部に設けるようにしてもよい。ただし、このように中央部の個別流路をバイパス流路とすると、印刷に使用するノズル２６の列が気泡５００を排出するノズル２６によって途切れてしまうため、印刷解像度が低下し、高品質な印刷を行うことが困難になってしまう。本実施形態では、第２の段差１３１をノズル２６の並設方向である第１の方向Ｘの端部に設けることで、気泡５００を排出する個別流路やノズル２６が、印刷に使用するノズル２６の列を途中で途切れさせることがなく、ノズル２６の列の解像度の低下を抑制することができ、印刷品質を向上することができる。

また、本実施形態では、上述した実施形態１のようにバイパス流路２１を設けるスペースが不要であるため、連通板１５の第１の方向Ｘの小型化、すなわち、記録ヘッド１の第１の方向Ｘの小型化を図ることができる。

以上説明したように、本実施形態の記録ヘッド１は、第１の流路である第１のマニホールド部１７１を有する第１の流路部材である第１の連通板１５１と、第１のマニホールド部１７１に接続されて当該第１のマニホールド部１７１から液体であるインクが供給される第２の流路である第２のマニホールド部１７２を有する第２の流路部材である第２の連通板１５２と、第２のマニホールド部１７２に連通してインクを噴射するノズル２６と、を有し、第１の連通板１５１と第２の連通板１５２との積層方向である第３の方向Ｚからの平面視において、第１のマニホールド部１７１の第２のマニホールド部１７２側の開口である第１の開口１７１ａと、第２のマニホールド部１７２の第１のマニホールド部１７１側の開口である第２の開口１７２ａとは、互いに重なる部分と互いに重ならない部分とを有する。

このように第１のマニホールド部１７１の第１の開口１７１ａと第２のマニホールド部１７２の第２の開口１７２ａとを、互いに重なる部分と互いに重ならない部分とを設けることで、互いに重なる部分からインクを供給すると共に、互いに重ならない部分のうち第１の開口１７１ａの第２の開口１７２ａに重ならない部分によって形成された第１の段差１３０によって気泡５００を捕捉することができる。また、第１の段差１３０によって捕捉した気泡５００を第１の開口１７１ａと第２の開口１７２ａとが互いに重ならない部分のうち第２の開口１７２ａの第１の開口１７１ａに重ならない部分から第２のマニホールド部１７２内に移動させることができる。すなわち、第１のマニホールド部１７１と第２のマニホールド部１７２との中で流速差を設けることができ、気泡５００の移動を容易に管理することができる。

なお、本実施形態では、印刷に使用する供給連通路１８と、気泡５００の排出に使用する供給連通路１８とを同じ形状としたが、特にこれに限定されず、例えば、気泡５００の排出に使用する供給連通路１８の第３のマニホールド部１７３における開口を、印刷に使用する供給連通路１８の開口よりも大きな面積としてもよい。このような本実施形態の変形例を図８に示す。なお、図８は、本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。

図８に示すように、第３のマニホールド部１７３の気泡５００を排出する供給連通路１８の開口部には、凹部１７３ａが設けられている。この凹部１７３ａによって気泡５００を排出する供給連通路１８の開口は、印刷に使用する供給連通路１８の開口よりも大きな開口面積で形成されている。これにより、印刷に使用する供給連通路１８の開口形状を変更することがなく、インクの吐出特性が変化するのを抑制することができる。また、気泡５００の排出に使用する供給連通路１８の開口面積を大きくすることで、供給連通路１８内に気泡５００が入り易くなり、印刷に使用する供給連通路１８内に気泡５００が入り込み難くすることができる。

（実施形態３）
図９は、本発明の実施形態３に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの要部断面図であり、図１０は、図９の要部を拡大した図であり、図１１は、ノズル連通路及び循環用連通路を説明する平面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図示するように、連通板１５は、第１の連通板１５１と第２の連通板１５２とを有する。
第１の連通板１５１及び第２の連通板１５２には、上述した実施形態１と同様に、第１のマニホールド部１７１、第２のマニホールド部１７２及び第３のマニホールド部１７３が設けられている。なお、本実施形態の第１のマニホールド部１７１と第２のマニホールド部１７２とは、略同じ大きさの開口を有し、第１のマニホールド部１７１と第２のマニホールド部１７２とに間には第１の段差１３０Ａ及び第２の段差１３１Ａが設けられていない。

また、連通板１５には、ノズル連通路１６Ａが設けられている。ノズル連通路１６Ａは、第１の連通板１５１に設けられた第１のノズル連通路１６１と、第２の連通板１５２に設けられた第２のノズル連通路１６２とを有する。

本実施形態では、第１のノズル連通路１６１の第２のノズル連通路１６２側の開口である第１の開口１６１ａが、特許請求の範囲に記載の第１の開口に相当し、第２のノズル連通路１６２の第１のノズル連通路１６１側の開口である第２の開口１６２ａが、特許請求の範囲に記載の第２の開口に相当する。

そして、第３の方向Ｚから平面視した際に、第１のノズル連通路１６１の第１の開口１６１ａと、第２のノズル連通路１６２の第２の開口１６２ａとは、互いに重なる部分と互いに重ならない部分とを有する。本実施形態では、第１の開口１６１ａと第２の開口１６２ａとは略同じ大きさで設けられており、第１の開口１６１ａと第２の開口１６２ａとは互いに第２の方向Ｙにずれた位置に配置されている。具体的には、第２の方向Ｙにおいて、第２の開口１６２ａは、第１の開口１６１ａよりも第１のマニホールド部１７１側にずれた位置に配置されている。これにより、第１の開口１６１ａは、第２の方向Ｙの第１のマニホールド部１７１側に第２の開口１６２ａと重ならない部分を有する。この第１の開口１６１ａの第２の開口１６２ａと重ならない部分が、第１の開口１６１ａが第２の連通板１５２によって塞がれた第１の段差１３０Ａとなっている。

また、第２の開口１６２ａは、第２の方向Ｙの循環用マニホールド１１０側に、第１の開口１６１ａと重ならない部分を有する。この第２の開口１６２ａが第１の開口１６１ａに重ならない部分が、第２の開口１６２ａが第１の連通板１５１によって塞がれた第２の段差１３１Ａとなっている。

また、第１の連通板１５１と第２の連通板１５２との間には、循環用連通路１９が設けられている。循環用連通路１９は、第２の連通板１５２に形成された凹部を第１の連通板１５１によって蓋をすることで形成されている。この循環用連通路１９は、一端がノズル連通路１６Ａに連通し、他端が第１の循環用マニホールド部２０１に連通して設けられている。すなわち、循環用連通路１９の一端は、第２のノズル連通路１６２の第２の開口１６２ａが第１の連通板１５１によって塞がれた部分に連通して設けられている。つまり、第２の流路である第２のノズル連通路１６２は、下流で分岐されており、分岐された流路の一つは、ノズル２６に向かい、分岐された流路の一つである循環用連通路１９はノズル２６に向かわないようになっている。そして、第２の段差１３１Ａは、分岐されてノズル２６に向かわない流路である循環用連通路１９側に設けられている。

このような記録ヘッド１では、第１のノズル連通路１６１内のインクに含まれる気泡５００は、第１の段差１３０Ａによって捕捉される。そして、第１の段差１３０Ａに捕捉された気泡５００は、第１の段差１３０Ａから第２の段差１３１Ａに向かって移動して、第２の段差１３１Ａによって第２のノズル連通路１６２内に移動する。また、第２の段差１３１Ａで第２のノズル連通路１６２内に移動した気泡５００は、循環用連通路１９を介して第１の循環用マニホールド部２０１に移動する。したがって、ノズル連通路１６Ａ内のインクに含まれる気泡５００が、ノズル２６側に移動するのを抑制して、気泡５００によるノズル２６の目詰まり等を抑制することができる。

以上説明したように、本実施形態の記録ヘッド１は、第１の流路である第１のノズル連通路１６１を有する第１の流路部材である第１の連通板１５１と、第１のノズル連通路１６１に接続されて当該第１のノズル連通路１６１から液体であるインクが供給される第２の流路である第２のノズル連通路１６２を有する第２の流路部材である第２の連通板１５２と、第２のノズル連通路１６２に連通してインクを噴射するノズル２６と、を有し、第１の連通板１５１と第２の連通板１５２との積層方向である第３の方向Ｚからの平面視において、第１のノズル連通路１６１の第２のノズル連通路１６２側の開口である第１の開口１６１ａと、第２のノズル連通路１６２の第１のノズル連通路１６１側の開口である第２の開口１６２ａとは、互いに重なる部分と互いに重ならない部分とを有する。

このように第１のノズル連通路１６１の第１の開口１６１ａと第２のノズル連通路１６２の第２の開口１６２ａとを、互いに重なる部分と互いに重ならない部分とを設けることで、互いに重なる部分からノズル２６に向かってインクを供給すると共に、互いに重ならない部分のうち第１の開口１６１ａの第２の開口１６２ａに重ならない部分によって形成された第１の段差１３０Ａによって気泡５００を捕捉することができる。また、第１の段差１３０Ａによって捕捉した気泡５００を第１の開口１６１ａと第２の開口１６２ａとが互いに重ならない部分のうち第２の開口１６２ａの第１の開口１６１ａに重ならない部分から第２のノズル連通路１６２内に移動させることができる。すなわち、第１のノズル連通路１６１と第２のノズル連通路１６２との中で流速差を設けることができ、気泡５００の移動を容易に管理することができる。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、第２の流路である第２のノズル連通路１６２は、下流で分岐して設けられており、分岐された流路の１つは、ノズル２６に向かい、分岐された流路の一つである循環用連通路１９は、ノズル２６に向かわないことが好ましい。これにより、ノズル２６に向かわない分岐された流路によって気泡５００を排出することができ、気泡５００がノズル２６に向かうのを抑制することができる。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、第１の開口１７１ａと第２の開口１７２ａとが互いに重ならない部分には、第１の流路部材である第１の連通板１５１が第２の開口１７２ａを塞いだ第２の段差１３１Ａが設けられており、第２の段差１３１Ａは、ノズル２６に向かわない分岐された流路である循環用連通路１９側に設けられていることが好ましい。これによれば、第１の段差１３０Ａによって捕捉された気泡５００を第２の段差１３１Ａによって下流側に移動させた際に、下流側に移動した気泡５００が循環用連通路１９を移動して、気泡５００がノズル２６に向かうのを抑制することができる。

（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。

例えば、上述した実施形態１及び２では、第１の段差１３０は、第１の方向Ｘに同じ幅で設けるようにしたが、特にこれに限定されない。ここで、第１の段差１３０の変形例を図１２に示す。なお、図１２は、第１の段差の変形例を示す平面図である。

図１２に示すように、第１の段差１３０Ｂは、導入口４４から離れるにしたがって小さくなるように形成されている。すなわち、導入口４４から最も離れた位置に第２の段差１３１が設けられており、第１の段差１３０Ｂ、すなわち、第２の開口１７２ａを第１の連通板１５１で塞ぐ幅は、第２の段差１３１に向かって徐々に小さくなるように形成されている。

つまり、図１２に示す記録ヘッド１では、第１の流路である第１のマニホールド部１７１は、当該第１のマニホールド部１７１に液体であるインクが供給される導入口４４と連通し、第１の開口１７１ａと第２の開口１７２ａとが互いに重ならない部分には、第２の流路部材である第２の連通板１５２によって第１の開口１７１ａの一部を塞いだ第１の段差１３０Ｂが設けられており、第１の段差１３０Ｂは、導入口４４から離れるにしたがって小さくなるように設けられている。このように、第１の段差１３０Ｂを導入口４４から離れるにしたがって小さくすることで、複数のノズル２６から吐出されるインク滴の吐出特性のばらつきを抑制することができる。すなわち、導入口４４に近い位置の供給連通路１８に供給されるインクの供給特性と、導入口４４から遠い位置の供給連通路１８に供給されるインクの供給特性とのばらつきを抑制することができ、供給特性のばらつきによるインク吐出特性のばらつきを抑制することができる。

また、上述した実施形態１及び２では、第１の方向Ｘの両側に第２の段差１３１を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、第１の方向Ｘの一端部のみに第２の段差１３１を設けるようにしてもよい。このような例を図１３に示す。なお、図１３は、第１の段差及び第２の段差の変形例を示す図である。

図１３に示すように、第１の開口１７１ａは、第２の方向Ｙの両端部側と第１の方向Ｘの一端側とが第２の連通板１５２によって塞がれることで、第１の段差１３０Ｃが形成されている。また、第２の開口１７２ａは、第１の方向Ｘの他端側に設けられている。このような構成であっても、第１の段差１３０Ｃによって気泡５００を捕捉して、補足した気泡５００を第１の段差１３０Ｃから第２の段差１３１側に移動させて、第２の段差１３１が設けられた部分で気泡５００を第１のマニホールド部１７１から第２のマニホールド部１７２に移動することができる。

また、上述した各実施形態では、第２のマニホールド部１７２内のインクに含まれる気泡５００を、バイパス流路２１又は個別流路によってマニホールド１００の外部に排出するようにしたが、特にこれに限定されず、第２の段差１３１、１３１Ａが設けられた部分に気泡５００を溜めるようにしてもよい。第２の段差１３１、１３１Ａが設けられた部分に溜めた気泡５００は、一定期間毎に外部に排出するように排出路を設けておいてもよい。

また、上述した各実施形態では、記録ヘッド１に循環用連通路１９と循環用マニホールド１１０とを設け、液体貯留部と記録ヘッド１との間でインクを循環させるようにしたが、特にこれに限定されず、インクが循環しないもの、すなわち、記録ヘッド１に循環用連通路１９と循環用マニホールド１１０とが設けられていなくてもよい。

上述した各実施形態では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーターを用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。

また、これら各実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図１４は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。

図１４に示すインクジェット式記録装置Ｉにおいて、複数の記録ヘッド１は、インク供給手段を構成するインクカートリッジ２が着脱可能に設けられ、この記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。

そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラー８に限られずベルトやドラム等であってもよい。

また、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、記録ヘッド１がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。

また、上述した例では、インクジェット式記録装置Ｉは、液体貯留手段であるインクカートリッジ２がキャリッジ３に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等の液体貯留手段を装置本体４に固定して、貯留手段とインクジェット式記録ヘッド１とをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。また、液体貯留手段がインクジェット式記録装置に搭載されていなくてもよい。

さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。

また、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置Ｉを挙げて説明したが、上述した他の液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置にも用いることが可能である。

Ｉ…インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、１…インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、２…インクカートリッジ、３…キャリッジ、４…装置本体、５…キャリッジ軸、６…駆動モーター、７…タイミングベルト、８…搬送ローラー、１０…流路形成基板、１１…第１の連通板、１２…圧力発生室、１５…連通板、１５１…第１の連通板（第１の流路部材）、１５２…第２の連通板（第２の流路部材）、１６、１６Ａ…ノズル連通路、１８…供給連通路、１９…循環用連通路、２１…バイパス流路、２５…ノズルプレート、２５ａ…液体噴射面、２６…ノズル、３０…保護基板、３１…保持部、３２…貫通孔、４０…ケース部材、４１…凹部、４２…第４のマニホールド部、４３…第４の循環用マニホールド部、４４…導入口、４５…排出口、４６…接続口、４９…コンプライアンス基板、４９１…封止膜、４９２…固定基板、４９３…開口部、４９４…コンプライアンス部、５０…振動板、５１…弾性膜、５２…絶縁体膜、６０…第１電極、７０…圧電体層、７１…凹部、８０…第２電極、９１…個別配線、９２…共通配線、１００…マニホールド、１１０…循環用マニホールド、１２０…フレキシブルケーブル、１２１…駆動回路、１３０、１３０Ａ〜１３０Ｃ…第１の段差、１３１、１３１Ａ…第２の段差、１６１…第１のノズル連通路（第１の流路）、１６１ａ、１７１ａ…第１の開口、１６２…第２のノズル連通路（第２の流路）、１６２ａ、１７２ａ…第２の開口、１７１…第１のマニホールド部（第１の流路）、１７２…第２のマニホールド部（第２の流路）、１７３…第３のマニホールド部、１７３ａ…凹部、２０１…第１の循環用マニホールド部、２０２…第２の循環用マニホールド部、２０３…第３の循環用マニホールド部、３００…圧電アクチュエーター、５００…気泡、Ｓ…記録シート、Ｘ…第１の方向、Ｙ…第２の方向、Ｚ…第３の方向

Claims (13)

1. 第１の流路を有する第１の流路部材と、
   前記第１の流路に接続されて当該第１の流路から液体が供給される第２の流路を有する第２の流路部材と、
   前記第２の流路に連通して液体を噴射するノズルと、を有し、
   前記第１の流路部材と前記第２の流路部材との積層方向の平面視において、前記第１の流路の前記第２の流路側の開口である第１の開口と、前記第２の流路の前記第１の流路側の開口である第２の開口とは、互いに重なる部分と互いに重ならない部分とを有することを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記第１の流路部材と、前記第２の流路部材とは、同じ材料で形成されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記第１の流路は、当該第１の流路に液体が供給される導入口と連通し、
   前記第１の開口と前記第２の開口とが互いに重ならない部分には、前記第２の流路部材によって前記第１の開口の一部を塞いだ第１の段差が設けられており、
   前記第１の段差は、前記導入口から離れるにしたがって小さくなることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記第１の開口と前記第２の開口とが互いに重ならない部分には、前記第１の流路部材が前記第２の開口を塞いだ第２の段差が設けられており、第２の段差は、前記ノズルの並設方向において当該ノズルの列の端部側に設けられていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記第２の流路は、下流で分岐して設けられており、分岐された流路の１つは、前記ノズルに向かい、分岐された流路の一つは、前記ノズルに向かわないことを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
6. 前記第１の開口と前記第２の開口とが互いに重ならない部分には、前記第１の流路部材が前記第２の開口を塞いだ第２の段差が設けられており、第２の段差は、前記ノズルに向かわない分岐された流路側に設けられていることを特徴とする請求項５に記載の液体噴射ヘッド。
7. 前記ノズルに連通する圧力発生室であって、圧力発生手段によって内部の液体に圧力変化が生じる前記圧力発生室を有する個別流路を具備し、
   前記第２の流路は、複数の前記個別流路に共通して連通する第１の共通流路を構成し、
   前記第１の流路部材または前記第２の流路部材には、前記個別流路の少なくとも一部が設けられていることを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
8. 前記ノズルに連通する圧力発生室であって、圧力発生手段によって内部の液体に圧力変化が生じる前記圧力発生室を有する個別流路を具備し、
   前記第２の流路は、複数の個別流路に共通して連通する第１の共通流路を構成し、
   複数の前記個別流路に連通する第２の共通流路をさらに具備し、
   前記第１の共通流路、複数の前記個別流路、前記第２の共通流路の順に液体が流れることを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
9. 前記ノズルに連通する圧力発生室であって、圧力発生手段によって内部の液体に圧力変化が生じる前記圧力発生室を有する個別流路を具備し、
   前記第２の流路は、複数の個別流路に共通して連通する第１の共通流路を構成し、
   前記第２の流路には、前記個別流路を経由せずに前記第２の流路から外部に液体を排出するバイパス流路が接続されていることを特徴とする請求項１〜８の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
10. 第１の流路を有する第１の流路部材と、
    前記第１の流路に接続されて当該第１の流路から液体が供給される第２の流路を有する第２の流路部材と、
    前記第２の流路に連通して液体を噴射するノズルが設けられたノズルプレートであって、前記第２の流路部材に対して、前記第１の流路部材とは反対側に配置された前記ノズルプレートと、
    前記第２の流路部材に対して、前記第１の流路部材とは反対側に配置されたコンプライアンス基板であって、前記第２の流路の圧力変動を吸収する前記コンプライアンス基板と、
    前記ノズルに連通する圧力発生室であって、圧力発生手段によって内部の液体に圧力変化が生じる前記圧力発生室を有する個別流路と、を有し、
    前記第２の流路は、複数の前記個別流路に共通して連通する第１の共通流路を構成し、
    前記第２の流路には、前記個別流路を経由せずに前記第２の流路から外部に液体を排出するバイパス流路が接続されており、
    前記コンプライアンス基板は、前記第１の共通流路と前記バイパス流路とを形成することを特徴とする液体噴射ヘッド。
11. 前記バイパス流路は、前記第２の流路部材を前記積層方向に貫通することなく、前記第２の流路部材の前記第１の流路部材とは反対側の面に開口する凹部によって形成されていることを特徴とする請求項９又は１０記載の液体噴射ヘッド。
12. 前記バイパス流路は、前記第２の流路部材を前記積層方向に貫通して設けられていることを特徴とする請求項９又は１０記載の液体噴射ヘッド。
13. 請求項１〜１２の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。

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