JP2018069675A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】マニホールドの形状を安定させることができると共に、気泡排出性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル面に設けられたノズルから圧力発生手段により液体を噴射するための圧力発生室と、複数の前記圧力発生室に連通する共通液室１００と、前記共通液室１００を横断する第１リブ１０１と、を備え、前記第１リブ１０１のうち、浮力が働く方向とは反対方向に液体と向かい合う面１０１ａが傾斜している。
【選択図】図６

Description

本発明は、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。

液滴を噴射する液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、ノズルと、ノズルに連通する圧力発生室と、複数の圧力発生室に連通する共通液室であるマニホールドと、を具備し、圧力発生手段によって圧力発生室内のインクに圧力変化を生じさせることで、ノズルからインク滴を吐出させるものがある。

このようなインクジェット式記録ヘッドでは、マニホールドの一部が設けられた連通板に当該マニホールドを横断するリブ状のブリッジ部を設けて、連通板を補強するようにしたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

また、マニホールド内にリブを設けて、マニホールド内のインクの流れを二分することにより、マニホールド内の気泡排出性を向上すると共に温度勾配を低減するようにしたものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。

特開２０１４−０４００８９号公報 特開２０１５−１１６７０７号公報

しかしながら、容積が大きなマニホールドを安定した形状で維持するためには、リブ等が必要なものの、リブにインクに含まれる気泡が付着し、気泡排出性が低下するという問題がある。

そして、マニホールド内に気泡が滞留すると、気泡が予期せぬタイミングで圧力発生室内等に入り込み、インク滴の吐出不良等が発生する。

なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。

本発明はこのような事情に鑑み、マニホールドの形状を安定させることができると共に、気泡排出性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、ノズル面に設けられたノズルから圧力発生手段により液体を噴射するための圧力発生室と、複数の前記圧力発生室に連通する共通液室と、前記共通液室を横断する第１リブと、を備え、前記第１リブのうち、浮力が働く方向とは反対方向に液体と向かい合う面が傾斜していることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。

かかる態様では、第１リブを設けることによって、共通液室を形成する部材の剛性を向上して、共通液室の形状を安定させることができる。また、共通液室を形成する部材の剛性を向上することによって、共通液室をできるだけ大きく形成することができると共に小型化を図ることができる。また、第１リブのうち、浮力が働く方向とは反対方向に液体と向かい合う面を傾斜させることで、液体に含まれる気泡が浮力によって移動する際に、第１リブの浮力が働く方向とは反対方向に液体と向かい合う面に気泡が付着するのを抑制することができる。

ここで、前記第１リブの傾斜した先端は、前記浮力が働く方向に直交する方向において、前記第１リブの中央にあることが好ましい。これによれば、第１リブの浮力が働く方向における高さを低くして、共通液室の容積が減少するのを抑制すると共に小型化を図ることができる。また、第１リブの浮力が働く方向の高さを低くすることで、第１のリブが液体の流れを阻害するのを抑制して、気泡が第１リブに付着するのを抑制することができる。

また、前記第１リブは複数あり、当該複数の第１リブは、互いに離間していることが好ましい。これによれば、隣り合う第１リブの間に液体を流すことができ、気泡が第１リブに付着し難く、付着したとしても液体の流れで気泡を離脱させることができる。

また、前記共通液室は、積層された第１部材及び第２部材にそれぞれ設けられ、前記第１リブは、前記第１部材の前記共通液室に形成されており、前記第２部材の前記共通液室には、当該共通液室を横断する第２リブが設けられており、前記第１リブと、前記第２リブとは、前記第１部材及び前記第２部材の積層方向及び前記積層方向に直交する方向にそれぞれ離間していることが好ましい。これによれば、第２部材に第２リブを設けることで、第２部材の剛性を向上して、第２部材のマニホールドをできるだけ大きく形成することができると共に第２部材の小型化を図ることができる。また、第１リブと第２リブとが離間しているため、第１リブと第２リブとの間に液体を流すことができ、第１リブ及び第２リブに気泡が付着し難く、付着したとしても液体の流れで気泡を離脱させることができる。

さらに、本発明の他の態様は、ノズル面に設けられたノズルから圧力発生手段により液体を噴射するための圧力発生室と、複数の前記圧力発生室に連通する共通液室と、を備え、前記共通液室は、積層された第１部材及び第２部材にそれぞれ設けられ、前記第１部材の前記共通液室には、当該共通液室を横断する第１リブが設けられ、前記第２部材の前記共通液室には、当該共通液室を横断する第２リブが設けられ、前記第１リブと前記第２リブとは、前記第１部材及び前記第２部材の積層方向及び前記積層方向に直交する方向にそれぞれ離間していることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。

かかる態様では、第１部材に第１リブを設けることによって、第１部材の剛性を向上して、共通液室の形状を安定させることができる。また、第１部材の剛性を向上することによって、共通液室をできるだけ大きく形成することができると共に第１部材の小型化を図ることができる。さらに、第２部材に第２リブを設けることで、第２部材の剛性を向上して、第２部材のマニホールドをできるだけ大きく形成することができると共に第２部材の小型化を図ることができる。また、第１リブと第２リブとが離間しているため、第１リブと第２リブとの間に液体を流すことができ、第１リブ及び第２リブに気泡が付着し難く、付着したとしても液体の流れで気泡を離脱させることができる。

ここで、前記第１リブのうち、浮力が働く方向とは反対方向に液体と向かい合う面が傾斜していることが好ましい。これによれば、液体に含まれる気泡が浮力によって移動する際に、第１リブの浮力が働く方向とは反対方向に液体と向かい合う面に気泡が付着するのを抑制することができる。

また、前記第１リブの傾斜した先端は、前記浮力が働く方向に直交する方向において前記リブの中央にあることが好ましい。これによれば、第１リブの浮力が働く方向における高さを低くして、共通液室の容積が減少するのを抑制すると共に小型化を図ることができる。また、第１リブの浮力が働く方向の高さを低くすることで、第１のリブが液体の流れを阻害するのを抑制して、気泡が第１リブに付着するのを抑制することができる。

また、前記第１部材に設けられた前記第１リブと、前記第２部材に設けられた前記第２リブとは、それぞれ異なる断面であり、前記第１リブと前記第２リブとは、前記圧力発生室に近い方の断面が小さいことが好ましい。これによれば、圧力発生室に近いリブの断面積を遠いリブよりも小さくすることで、圧力発生室に近いリブが流れを阻害するのを抑制して、圧力発生室に近いリブに気泡が付着し難く、圧力発生室に気泡が侵入するのを抑制することができる。

また、前記第１リブと前記第２リブとは、前記共通液室の浮力が働く方向の天井と離間していることが好ましい。これによれば、共通液室の天井に気泡を溜めることができると共に、第１リブ及び第２リブと天井との間に液体を流すことができ、気泡がリブに付着し難い。

また、前記第１部材に設けられた前記第１リブと前記天井との間隔は、前記第１リブと前記第１部材及び前記第２部材の積層面との間隔よりも大きいことが好ましい。これによれば、天井付近に多くの気泡を溜めることができる。

また、前記第１リブの浮力が働く方向の寸法は、前記浮力が働く方向に直交する方向の寸法よりも大きいことが好ましい。これによれば、浮力が働く方向に液体を流し易くすることができ、気泡が第１リブに引っかかり、付着するのを抑制することができる。

また、前記共通液室の天井は、複数の前記圧力発生室が並ぶ方向において、前記共通液室へ液体を供給する導入路が設けられた側から反対側へと向けて高くなっていることが好ましい。これによれば、マニホールドの天井を導入路が設けられた側から反対側に向かって高くすることで、導入路からマニホールド内に供給された液体に含まれる気泡を、マニホールドの天井の高くなった部分に集めて収容することができる。

さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、気泡排出性を向上して小型化した液体噴射装置を実現できる。

本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。 本発明の実施形態１に係る流路形成基板及び連通板の平面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 第１リブの大きさを説明する図である。 気泡の動きを説明する断面図である。 気泡の動きを説明する断面図である。 本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの断面図である。 本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの断面図である。 本発明の他の実施形態に係る記録ヘッドの断面図である。 本発明の一実施形態に係る記録装置の概略構成を示す図である。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、流路形成基板及び連通板の平面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ′線に準じた断面図であり、図４は、図２のＢ−Ｂ′線に準じた断面図であり、図５は、図２のＣ−Ｃ′線に準じた断面図であり、図６は、図２のＤ−Ｄ′線に準じた断面図である。

図３に示すように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１（以下、単に記録ヘッド１とも言う）を構成する流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２がインクを吐出する複数のノズル２１が並設される方向に沿って並設されている。本実施形態では、圧力発生室１２の並設された方向を圧力発生室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２の列が複数設けられた方向を第２の方向Ｙと称する。さらに、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの双方に交差する方向を本実施形態では、第３の方向Ｚと称する。なお、本実施形態では、各方向（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の関係を直交とするが、各構成の配置関係が必ずしも直交するものに限定されるものではない。また、本実施形態の記録ヘッド１は、第３の方向ＺのＺ２側が鉛直方向下向きとなるように配置されて用いられる。したがって、浮力が働く方向とは第３の方向ＺにおいてＺ２側からＺ１側に向かう方向（以降、第３の方向−Ｚとも称する）のことである。

このような流路形成基板１０の第３の方向Ｚの一方面側であるＺ２側には、連通板１５と、ノズルプレート２０とが順次積層されている。

連通板１５には、圧力発生室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このように連通板１５を設けることによってノズルプレート２０のノズル２１と圧力発生室１２とを離せるため、圧力発生室１２の中にあるインクは、ノズル２１付近のインクで生じるインク中の水分の蒸発による増粘の影響を受け難くなる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル２１が開口されて、インク滴が吐出される面をノズル面２０ａと称する。

また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８とが設けられている。

第１マニホールド部１７は、連通板１５を第３の方向Ｚに貫通して設けられている。

また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を第３の方向Ｚに貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して設けられている。

また、第１マニホールド部１７には、図１、図２及び図４に示すように、第２リブ１０２が設けられている。第２リブ１０２は、第１マニホールド部１７を浮力が働く方向である第３の方向−Ｚに直交する方向に横断して設けられている。本実施形態では、第２リブ１０２は、第１マニホールド部１７を第２の方向Ｙに横断して設けられている。なお、第２リブ１０２が第１マニホールド部１７を横断する方向は、浮力が働く第３の方向−Ｚに直交する方向だけではなく、第３の方向−Ｚに交差する方向であってもよい。

第２リブ１０２は、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７を、第２の方向Ｙに横断して設けられている。すなわち、第２リブ１０２は、第１マニホールド部１７の第２の方向Ｙの両側の壁面に連続して設けられている。このような第２リブ１０２は、ケース部材４０と連通板１５との積層方向である第３の方向Ｚにおいて、ケース部材４０側であるＺ１側の面が、連通板１５のケース部材４０に接合される面と面一となるように設けられており、連通板１５とは反対側、本実施形態では、コンプライアンス基板２５側であるＺ２側の面が、コンプライアンス基板２５に接合される面に達することなく形成されている。すなわち、第２リブ１０２は、第３の方向Ｚにおいて第１マニホールド部１７の深さよりも低い高さで、連通板１５側に形成されている。もちろん、第２リブ１０２は、第１マニホールド部１７と同じ深さで形成されていてもよい。すなわち、第２リブ１０２によって、第１マニホールド部１７が第１の方向Ｘに完全に分断されていてもよい。

このように第２リブ１０２を設けることによって、連通板１５の強度を向上して連通板１５の破壊を抑制することができる。すなわち、比較的厚さの薄い連通板１５に、第１マニホールド部１７を大きな容積で形成しても、第２リブ１０２によって連通板１５の剛性が保たれるため、連通板１５の破壊を抑制することができる。したがって、連通板１５として比較的厚さの厚く面積の大きな部材を用いる必要がなく、連通板１５の小型化を図ることができる。

さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、圧力発生室１２の各々に対して独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。すなわち、供給連通路１９は、マニホールド１００に対して、第１の方向Ｘに並設されている。
ノズルプレート２０には、各圧力発生室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル２１が形成されている。ノズル２１は、同じ種類のインク（液体）を噴射するものが第１の方向Ｘに並設されてノズル列を構成している。この第１の方向Ｘに並設されたノズル２１で構成されたノズル列が、第２の方向Ｙに２列形成されている。

一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側であるＺ１側には、振動板５０が形成されている。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力発生室１２等の液体流路は、流路形成基板１０をノズルプレート２０が接合された面側から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。

また、流路形成基板１０の振動板５０上には、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とを有する圧電アクチュエーター３００が設けられている。本実施形態では、圧電アクチュエーター３００が、圧力発生室１２内のインクに圧力変化を生じさせる駆動素子となっている。ここで、本実施形態では、第１電極６０は、圧力発生室１２毎に切り分けてあり、詳しくは後述する能動部毎に独立する個別電極を構成する。この第１電極６０は、圧力発生室１２の第１の方向Ｘにおいては、圧力発生室１２の幅よりも狭い幅で形成されている。すなわち、圧力発生室１２の第１の方向Ｘにおいて、第１電極６０の端部は、圧力発生室１２に対抗する領域の内側に位置している。また、第２の方向Ｙにおいて、第１電極６０の両端部は、それぞれ圧力発生室１２の外側まで延設されている。

圧電体層７０は、第２の方向Ｙが所定の幅となるように、第１の方向Ｘに亘って連続して設けられている。圧電体層７０の第２の方向Ｙの幅は、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの長さよりも広い。このため、圧力発生室１２の第２の方向Ｙでは、圧電体層７０は圧力発生室１２の外側まで設けられている。

圧力発生室１２の第２の方向Ｙにおいて、圧電体層７０のインク供給路側の端部は、第１電極６０の端部よりも外側に位置している。すなわち、第１電極６０の端部は圧電体層７０によって覆われている。また、圧電体層７０のノズル２１側の端部は、第１電極６０の端部よりも内側（圧力発生室１２側）に位置しており、第１電極６０のノズル２１側の端部は、圧電体層７０に覆われていない。

圧電体層７０は、第１電極６０上に形成される分極構造を有する酸化物の圧電材料からなり、例えば、一般式ＡＢＯ３で示されるペロブスカイト型酸化物からなることができ、鉛を含む鉛系圧電材料や鉛を含まない非鉛系圧電材料などを用いることができる。

このような圧電体層７０には、図２に示すように、各隔壁に対応する凹部７１が形成されている。この凹部７１の第１の方向Ｘの幅は、各隔壁の第１の方向の幅と略同一、もしくはそれよりも広くなっている。これにより、振動板５０の圧力発生室１２の第２の方向Ｙの端部に対抗する部分、いわゆる振動板５０の腕部の剛性が押さえられるため、圧電アクチュエーター３００を良好に変位させることができる。

第２電極８０は、圧電体層７０の第１電極６０とは反対面側に設けられており、複数の能動部に共通する共通電極を構成する。また、第２電極８０は、凹部７１の内面、すなわち、圧電体層７０の凹部７１の側面内に設けるようにしても良く、設けないようにしてもよい。

このような第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０で構成される圧電アクチュエーター３００は、第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加することで変位が生じる。すなわち両電極の間に電圧を印加することで、第１電極６０と第２電極８０とで挟まれている圧電体層７０に圧電歪みが生じる。そして、両電極に電圧を印加した際に、圧電体層７０に圧電歪みが生じる部分を能動部３１０と称する。これに対して、圧電体層７０に圧電歪みが生じない部分を非能動部と称する。また、圧電体層７０に圧電歪みが生じる能動部３１０において、圧力発生室１２に対向する部分を可撓部と称し、圧力発生室１２の外側の部分を非可撓部と称する。

本実施形態では、第２の方向Ｙにおいて、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０の全てが圧力発生室１２の外側まで連続的に設けられている。すなわち能動部３１０が圧力発生室１２の外側まで連続的に設けられている。このため、能動部３１０のうち圧電アクチュエーター３００の圧力発生室１２に対向する部分が可撓部となり、圧力発生室１２の外側の部分が非可撓部となっている。

また、図２に示すように、圧電アクチュエーター３００の第１電極６０からは、引き出し配線である個別配線９１が引き出されている。また、第２電極８０からは、引き出し配線である共通配線９２が引き出されている。そして、これら個別配線９１及び共通配線９２には、フレキシブルケーブル１２０が接続されている。フレキシブルケーブル１２０は、可撓性を有する配線基板であって、本実施形態では、半導体素子である駆動回路１２１が実装されている。

このような流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、図３に示すように、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。保持部３１は、第１の方向Ｘに並設された圧電アクチュエーター３００の列に対応して第２の方向Ｙに２つ並んで形成されている。また、保護基板３０には、第２の方向Ｙで並設された２つの保持部３１の間に第３の方向Ｚに貫通する貫通孔３２が設けられている。そして、圧電アクチュエーター３００の第１電極６０から引き出された個別配線９１と第２電極８０から引き出された共通配線９２の端部（図２参照）は、この貫通孔３２内に露出するように延設されており、貫通孔３２内でフレキシブルケーブル１２０と電気的に接続されている。

また、保護基板３０及び連通板１５のＺ１側には、ケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、ケース部材本体４１と、蓋部材４２と、を具備する。ケース部材本体４１は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース部材本体４１は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４３を有する。この凹部４３は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４３に流路形成基板１０及び保護基板３０等が収容された状態で凹部４３のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。

また、ケース部材本体４１は、連通板１５に設けられた貫通孔３２に連通してフレキシブルケーブル１２０が挿通される接続口４７が設けられている。

また、ケース部材本体４１には、凹部４３の第２の方向Ｙの両側に第３の方向Ｚの連通板１５側及び第２の方向Ｙの側面に開口する第３マニホールド部４４が形成されている。第３マニホールド部４４の第２の方向Ｙ側の開口は蓋部材４２によって封止されている。具体的には、ケース部材本体４１の第３マニホールド部４４の第２の方向Ｙの開口には、連通板１５側であるＺ２側の開口を塞ぐ壁部４６が設けられている。壁部４６に蓋部材４２が接合されることで、第３マニホールド部４４の第２の方向Ｙの開口は封止されている。このように壁部４６を設けることで、連通板１５とケース部材本体４１との２つを接合するだけで、マニホールド１００を封止することができ、ケース部材本体４１、蓋部材４２及び連通板１５の部品公差による接合ばらつきを抑制して、インクの漏出等を抑制することができる。ちなみに、壁部４６が設けられていない場合には、蓋部材４２とケース部材本体４１と連通板１５との３つを接合してマニホールド１００を封止しなくてはならず、各部品の公差によってはマニホールド１００を完全に封止することができずに外部にインクが漏出してしまう虞がある。

また、第３マニホールド部４４の連通板１５側であるＺ２側の開口は、第１マニホールド部１７と連通する。したがって、ケース部材４０に設けられた第３マニホールド部４４と、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８とによって本実施形態の共通液室であるマニホールド１００が構成されている。すなわち、本実施形態では、ケース部材４０が第１部材に相当し、連通板１５が第２部材に相当する。

また、ケース部材本体４１には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入路４５が設けられている。導入路４５は、第３の方向Ｚにおいてケース部材本体４１の連通板１５とは反対側であるＺ１側に開口して設けられている。また、導入路４５は、第３マニホールド部４４の第１の方向Ｘの一端部側であるＸ１側に連通する位置に設けられている。

また、図６に示すように、ケース部材４０に設けられた第３マニホールド部４４の天井４４ａは、圧力発生室１２の並設方向である第１の方向Ｘにおいて、導入路４５が設けられたＸ１側から反対側であるＸ２側に向かって高くなっている。ここで、第３マニホールド部４４の天井４４ａとは、浮力が働く方向、つまり、インクに含まれる気泡が上昇する方向である鉛直方向上側の内壁面のことであり、本実施形態では、第３の方向Ｚの連通板１５側とは反対側であるＺ１側の内壁面のことである。また、天井４４ａが高いとは、ケース部材本体４１の連通板１５に接合される面からの第３の方向Ｚの高さのことである。本実施形態では、第３マニホールド部４４の天井４４ａは、第１の方向ＸのＸ１側からＸ２側に向かって第３の方向ＺのＺ１側の高さが徐々に高くなる傾斜面となっている。

このように、第３マニホールド部４４の天井４４ａ、すなわち、マニホールド１００の天井４４ａを導入路４５が設けられたＸ１側から反対側のＸ２側に向かって高くすることで、導入路４５からマニホールド１００内に供給されたインクに含まれる気泡を、マニホールド１００の天井４４ａの高くなった部分、すなわち、Ｘ２側に集めて収容することができる。インクに含まれる気泡が、圧力発生室１２側に供給されるのを抑制してインク滴の吐出不良を抑制することができる。すなわち、マニホールド１００のＺ２側から圧力発生室１２にはインクが供給されるため、圧力発生室１２にインクが供給されるＺ２側とは反対側であるＺ１側に気泡を収容することで、収容した気泡が圧力発生室１２側に供給されるのを抑制することができる。なお、Ｘ２側及びＺ１側に収容した気泡は、例えば、Ｘ２側及びＺ１側に連通する図示しない排出路を設けて、排出路から排出するようにしてもよく、排出したインクを循環させて導入路４５からマニホールド１００内に再度供給するようにしてもよい。

また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、コンプライアンス基板２５が設けられている。このコンプライアンス基板２５が、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８のノズル面２０ａ側の開口を封止している。このようなコンプライアンス基板２５は、本実施形態では、可撓性を有する薄膜からなる封止膜２６と、金属等の硬質の材料からなる固定基板２７と、を具備する。固定基板２７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部２８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜２６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部２９となっている。

ここで、ケース部材４０の第３マニホールド部４４には、図１、図５及び図６に示すように、マニホールド１００を横断する第１リブ１０１が設けられている。第１リブ１０１は、本実施形態では、マニホールド１００を浮力が働く方向である第３の方向−Ｚに直交する方向に横断して設けられている。具体的には、第１リブ１０１は、本実施形態では、マニホールド１００を第２の方向Ｙに横断して設けられており、一端が第２の方向Ｙにおいて圧電アクチュエーター３００側の側面に連続して形成されており、他端が壁部４６に連続して形成されている。なお、第２リブ１０２がマニホールド１００を横断する方向は、浮力が働く第３の方向−Ｚに直交する方向だけではなく、第３の方向−Ｚに交差する方向であってもよい。

このように第１リブ１０１を設けることによって、壁部４６が第１リブ１０１によって支持されて、壁部４６の剛性が向上する。このため、蓋部材４２を壁部４６に接合する際の圧力によって壁部４６が変形するのを抑制することができ、マニホールド１００の形状が不安定になるのを抑制してインクの漏出を抑制することができる。また、第１リブ１０１によってケース部材本体４１の剛性を向上することができるため、第３マニホールド部４４をできるだけ大きく形成することができる。また、ケース部材本体４１の剛性を向上するためにケース部材本体４１を大型化するのを抑制することができる。したがって、第１リブ１０１を設けることで、ケース部材本体４１の剛性を向上して、第３マニホールド部４４をできるだけ大きく設けることができると共にケース部材本体４１の小型化を図ることができる。

なお、ケース部材本体４１としては、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。特に、ケース部材本体４１として、樹脂材料を成形することにより低コストで量産することができる。また、ケース部材本体４１として樹脂材料を成形する際に、第１リブ１０１を設けることによって、溶融した樹脂を壁部４６となるスペースに確実に充填して、壁部４６に成形不良が生じるのを抑制することができる。ちなみに、第１リブ１０１を設けずに、壁部４６を成形する場合、壁部４６は第１の方向Ｘの両側から連続して設けられるだけなので、壁部４６の断面積が小さいと、溶融した樹脂の充填不良が発生し易い。このため、樹脂の充填不良を抑制するために壁部４６の断面積を大きくすると、ケース部材本体４１の大型化や、壁部４６が占有するスペースが大きくなることで第３マニホールド部４４のスペースが確保できなくなるなどの不具合が生じる虞がある。本実施形態では、第１リブ１０１を設けることで、壁部４６の成形不良を抑制することができるため、壁部４６の断面積を小さくすることができ、ケース部材本体４１の小型化及び第３マニホールド部４４のスペースを確保することができる。

このような第１リブ１０１は、第１の方向Ｘに沿って所定の間隔で複数、本実施形態では、３つ並設されている。すなわち、第１リブ１０１は、複数設けられており、複数の第１リブ１０１は、第１の方向Ｘに互いに離間して配置されている。なお、第１の方向Ｘにおいて複数の第１リブ１０１が互いに離間して配置されているとは、第２の方向Ｙから平面視した際において、複数の第１リブ１０１が互いに重ならない位置に配置されており、且つ第１の方向Ｘにおいて複数の第１リブ１０１の間に隙間が形成されていることを言う。

また、図６に示すように、第１リブ１０１は、第２リブ１０２に対してケース部材本体４１と連通板１５との積層方向である第３の方向Ｚにおいて離間した位置に配置されている。なお、第１リブ１０１と第２リブ１０２とが第３の方向Ｚにおいて離間しているとは、第３の方向Ｚに直交する方向である第２の方向Ｙから平面視した際に、第１リブ１０１と第２リブ１０２とが互いに重ならない位置に配置されており、且つ第３の方向Ｚにおいて第１リブ１０１と第２リブ１０２との間に隙間が存在する配置であることを言う。本実施形態では、第１リブ１０１の連通板１５側であるＺ２側の先端を、ケース部材本体４１の連通板１５に接合される面よりも連通板１５とは反対側であるＺ１側に離れた位置に設けることで、第１リブ１０１と第２リブ１０２とを第３の方向Ｚで離間させるようにした。もちろん、これに限定されず、第２リブ１０２を連通板１５のケース部材本体４１に接合される面よりもＺ２側に設けることで、第１リブ１０１と第２リブ１０２とを第３の方向Ｚに離間させてもよく、第１リブ１０１と第２リブ１０２との両方をケース部材本体４１と連通板１５との積層面から離れた位置に配置することで互いに離間させてもよい。

このように第１リブ１０１と第２リブ１０２とを第３の方向Ｚにおいて離間して設けることによって、導入路４５からマニホールド１００内に導入されたインクは、第３の方向Ｚにおける第１リブ１０１と第２リブ１０２との間を第１の方向Ｘに向かって通過することができる。したがって、第１リブ１０１と第２リブ１０２とに気泡が付着するのを抑制することができると共に、第１リブ１０１及び第２リブ１０２に付着した気泡をインクの流れで離脱させることができる。すなわち、第１リブ１０１と第２リブ１０２とが第３の方向Ｚにおいて離間して設けられていないと、第１リブ１０１と第２リブ１０２との間をインクが通り難くなり、第１リブ１０１や第２リブ１０２に付着した気泡が、インクの流れによって離脱し難く、気泡が付着したままになってしまう。そして、第１リブ１０１や第２リブ１０２に付着した気泡が予期せぬタイミングで圧力発生室１２等に供給されて、インクの吐出不良が発生する虞がある。本実施形態では、第１リブ１０１や第２リブ１０２に気泡を付着し難くすることで、予期せぬタイミングで気泡が圧力発生室１２等に供給されるのを抑制してインクの吐出不良を抑制することができる。

さらに、本実施形態では、第１リブ１０１と第２リブ１０２とは、ケース部材本体４１と連通板１５との積層方向である第３の方向Ｚに直交する第１の方向Ｘにおいて、互いに離間して配置されている。なお、第１リブ１０１と第２リブ１０２とが第１の方向Ｘにおいて互いに離間しているとは、第２の方向Ｙから平面視した際に第１リブ１０１と第２リブ１０２とが重ならない位置に配置されており、且つ第１の方向Ｘにおいて第１リブ１０１と第２リブ１０２との間に隙間が存在する配置であることを言う。

このように、第１リブ１０１と第２リブ１０２とを第１の方向Ｘに離間して配置することで、導入路４５からマニホールド１００内に導入されたインクは、第１の方向Ｘにおける第１リブ１０１と第２リブ１０２との間を第３の方向Ｚに向かって通過することができる。したがって、第１リブ１０１及び第２リブ１０２に付着した気泡をインクの流れで離脱させることができる。すなわち、第１リブ１０１と第２リブ１０２とが第１の方向Ｘにおいて離間して設けられていないと、第１リブ１０１と第２リブ１０２との間をインクが通り難くなり、第１リブ１０１や第２リブ１０２に付着した気泡が、インクの流れによって離脱し難く、気泡が付着したままになってしまう。特に、本実施形態では、第１リブ１０１と第２リブ１０２とを第１の方向Ｘ及び第３の方向Ｚのそれぞれに離間して配置することで、導入路４５からマニホールド１００内に供給されたインクは、第１の方向Ｘ及び第３の方向Ｚのそれぞれにおいて、第１リブ１０１と第２リブ１０２との間を通過することができる。したがって、第１リブ１０１と第２リブ１０２とに気泡が付着し難く、付着したとしてもインクの流れで気泡をさらに効果的に離脱させることができる。

このような第１リブ１０１の浮力が働く方向とは反対方向のインクと向かい合う面は、傾斜した傾斜面１０１ａとなっている。ここで、本実施形態の記録ヘッド１は、上述のように、第３の方向ＺのＺ２側が鉛直方向下向きとなるように配置されて用いられる。したがって、マニホールド１００内で浮力が働く方向とは、第３の方向ＺにおいてＺ２側からＺ１側に向かう第３の方向−Ｚのことである。このため、第１リブ１０１の浮力が働く方向とは反対方向のインクと向かい合う面とは、第１リブ１０１のＺ２側の面のことである。本実施形態では、この第１リブ１０１のＺ２側の全ての面が傾斜した傾斜面１０１ａとなっている。なお、第１リブ１０１のＺ２側の面が傾斜しているとは、浮力が働く第３の方向−Ｚに直交する第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む水平方向に対して傾斜していることを言う。本実施形態では、第１リブ１０１のＺ２側の端面において、第１の方向Ｘの両側を互いに反対方向に傾斜させた傾斜面１０１ａとした。すなわち、本実施形態では、傾斜面１０１ａの先端は、浮力が働く第３の方向−Ｚに対して直交する方向である第１の方向Ｘにおいて、第１リブ１０１の中央にある。つまり、第１リブ１０１のＺ２側の端部は、当該Ｚ２側に向かって第１の方向Ｘの幅が中央に向かって漸小するように設けられている。なお、本実施形態では、傾斜面１０１ａの先端が、浮力が働く第３の方向−Ｚ及び第１リブ１０１がマニホールド１００を横断する第２の方向Ｙの双方に直交する第１の方向Ｘにおいて、第１リブ１０１の中央にあるようにしたが、特にこれに限定されず、傾斜面１０１ａの先端が、浮力が働く第３の方向−Ｚに直交する第２の方向Ｙにおいて、第１リブ１０１の中央にあってもよい。すなわち、第１リブ１０１がマニホールド１００を横断する第２の方向Ｙの中央に傾斜面１０１ａの先端があってもよい。

このように、傾斜面１０１ａの先端を、第１の方向Ｘの中央に設けることで、第１リブ１０１の第３の方向Ｚの高さを低くすることができる。すなわち、図７に示すように、傾斜面１０１ａの先端を第１の方向Ｘの中央に設けた場合の第１リブ１０１の高さｈ１は、傾斜面１０１ａの先端を第１の方向ＸのＸ２側の端部に設けた場合の第１リブ１０１の高さｈ２よりも低い。したがって、傾斜面１０１ａの先端を第１の方向Ｘの中央に設けることで、第３の方向Ｚの高さｈ１を低くすることができる。そして、第１リブ１０１の第３の方向Ｚの高さｈ１を低くすることで、インクの第１の方向Ｘに向かう流れを第１リブ１０１が阻害する領域を減少させて、インクの流れを阻害することによってインクに含まれる気泡が第１リブ１０１に付着するのを抑制することができる。また、第１リブ１０１の第３の方向Ｚの高さｈ１を低くすることで、マニホールド１００の容積が減少するのを抑制すると共に小型化を図ることができる。

そして、第１リブ１０１の浮力が働く方向とは反対側のインクと向かい合う面を傾斜した傾斜面１０１ａとすることで、傾斜面１０１ａにインクに含まれる気泡が付着して滞留するのを抑制することができる。すなわち、ノズル２１からインクと共に気泡を吸引するクリーニング動作等によってマニホールド１００内にインクの流れが生じた状態では、図８に示すように、例えば、第２リブ１０２に気泡２００が付着する。そして、マニホールド１００内のインクの流れが停止した直後は、図９に示すように、気泡２００は浮力によって第３の方向ＺのＺ１側に移動する。このとき、本実施形態では、第１リブ１０１のＺ２側の面が傾斜面１０１ａとなっているため、気泡２００が傾斜面１０１ａの表面に沿ってＺ１側に移動し、気泡２００が第１リブ１０１のＺ２側の面に付着するのを抑制することができる。ちなみに、第１リブ１０１のＺ２側の面を傾斜面１０１ａとすることなく、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む水平面とした場合、気泡２００が浮力によってＺ１側に移動する際に、第１リブ１０１のＺ２側の水平面となる端面に付着して滞留してしまう虞がある。ただし、本実施形態では、第１リブ１０１と第２リブ１０２とを第３の方向Ｚ及び第１の方向Ｘに離間して配置しているため、たとえ第１リブ１０１のＺ２側の端面に気泡２００が付着したとしても、マニホールド１００内にクリーニング動作等によってインクの流れを発生させることで、第１リブ１０１に付着した気泡２００を離脱させて気泡２００をマニホールド１００のＺ２側の天井４４ａに集めることができる。

なお、本実施形態の第１リブ１０１は、第３の方向Ｚにおいて、第３マニホールド部４４を形成する天井４４ａ、すなわち、Ｚ１側の内壁面から離間して設けられている。これにより、第３マニホールド部４４の天井４４ａに気泡を溜めることができると共に、第１リブ１０１と天井４４ａとの間に第１の方向Ｘに向かってインクを流すことができ、インクに含まれる気泡が第１リブ１０１に付着し難い。もちろん、第１リブ１０１を第３の方向Ｚにおいて第３マニホールド部４４を形成する天井４４ａに接するように設けるようにしてもよい。

また、本実施形態では、ケース部材本体４１に設けられた第１リブ１０１と第３マニホールド部４４の天井４４ａ、すなわち、Ｚ１側の内壁面との間隔は、第１リブ１０１とケース部材本体４１及び連通板１５の積層面との間隔よりも大きい。このため、天井４４ａ付近に多くの気泡を溜めることができる。また、第１リブ１０１とケース部材本体４１及び連通板１５の積層面との間隔は狭いものの、第１リブ１０１の連通板１５側の面は傾斜面１０１ａとなっているため、第１リブ１０１に気泡が引っかかり難い。もちろん、第１リブ１０１と第３マニホールド部４４の天井４４ａとの間隔を、第１リブ１０１とケース部材本体４１及び連通板１５の積層面との間隔よりも小さくしてもよい。これにより、第１リブ１０１の連通板１５側にインクが流れ易く、第１リブ１０１の連通板１５側に気泡が付着し難い。

さらに、本実施形態の第１リブ１０１は、浮力の働く方向である第３の方向−Ｚの寸法は、第３の方向Ｚに直交する第１の方向Ｘの寸法よりも大きい。このように、第１リブ１０１を、導入路４５からマニホールド１００内に供給されたインクが圧力発生室１２に向かう第３の方向Ｚに長くすることで、気泡２００が第１リブ１０１に引っかかり、付着するのを抑制することができる。もちろん、第１リブ１０１は、第３の方向Ｚの寸法が、第１の方向Ｘの寸法よりも小さくてもよい。これにより、第３の方向Ｚにおいて、第１リブ１０１の両側で第１の方向Ｘに向かうインクを流れ易くして、気泡２００が第１リブ１０１に引っかかり、付着するのを抑制することができる。

また、本実施形態の第１リブ１０１は、第１の方向Ｘ及び第３の方向Ｚを含む断面積が、第２リブ１０２よりも大きい。言い換えると、第２リブ１０２の断面積は、第１リブ１０１よりも小さい。このように、圧力発生室１２に近いリブである第２リブ１０２の断面積を第１リブ１０１よりも小さくすることで、インクの流れを阻害する第２リブ１０２をできるだけ小さくして、第２リブ１０２に気泡が付着し難くすることができる。したがって、圧力発生室１２により近い第２リブ１０２に気泡を付着し難くして、気泡が圧力発生室１２等に供給されるのを抑制することができる。もちろん、第２リブ１０２の断面積を第１リブ１０１の断面積よりも大きくしてもよい。

以上説明したように、本実施形態では、共通液室であるマニホールド１００を横断する第１リブ１０１を設け、第１リブ１０１のうち浮力が働く方向とは反対方向にインクと向かい合う面が傾斜した傾斜面１０１ａとなっている。

このように、第１リブ１０１を設けることによって、マニホールド１００を形成する部材、本実施形態では、ケース部材本体４１の剛性、特に壁部４６の剛性を向上することができる。したがって、ケース部材本体４１や蓋部材４２等の剛性を向上して、マニホールド１００の変形やインクの漏出を抑制することができる。また、ケース部材本体４１や蓋部材４２の剛性を確保するためにマニホールド１００の容積を縮小する必要がない。また、剛性を確保するためにケース部材本体４１や蓋部材４２等を大型化する必要がない。したがって、マニホールド１００の容積をできるだけ確保することができると共に記録ヘッド１の小型化を図ることができる。

また、第１リブ１０１に傾斜面１０１ａを設けることによって、インクに含まれる気泡が浮力により移動する際に、第１リブ１０１の傾斜面１０１ａに付着して、気泡がマニホールド１００内に滞留するのを抑制することができる。

また、本実施形態では、傾斜面１０１ａの先端は、浮力の働く第３の方向−Ｚに直交する第１の方向Ｘにおいて、第１リブ１０１の中央にある。このように、傾斜面１０１ａの先端を第１の方向Ｘにおいて第１リブ１０１の中央とすることで、第１リブ１０１の第３の方向Ｚの高さを低くして、マニホールド１００の容積が減少するのを抑制すると共に小型化を図ることができる。また、第１リブ１０１の第３の方向Ｚの高さを低くすることで、第１リブ１０１がインクの第１の方向Ｘに向かう流れを阻害することによってインクに含まれる気泡が第１リブ１０１に付着するのを抑制することができる。

なお、本実施形態では、傾斜面１０１ａの先端を第１の方向Ｘにおいて第１リブ１０１の中央に配置するようにしたが、もちろんこれに限定されず、傾斜面１０１ａの先端を第１の方向ＸにおいてＸ１側又はＸ２側に配置するようにしてもよい。いずれにしても、傾斜面１０１ａを設けることによって、第１リブ１０１への気泡の付着を抑制することができる。

また、本実施形態では、第１リブ１０１は複数あり、複数の第１リブ１０１は、互いに離間して配置されている。このように複数の第１リブ１０１を設けることによって、マニホールド１００を形成する部材、本実施形態では、ケース部材本体４１の剛性、特に壁部４６の剛性をさらに向上することができる。また、複数の第１リブ１０１を互いに離間して配置することで、複数の第１リブ１０１の間をインクが流れ易くして、インクに含まれる気泡が第１リブ１０１に引っかかり、付着し難い。また、第１リブ１０１に気泡が付着したとしても、インクの流れによって気泡を離脱させ易い。

また、本実施形態では、積層された第１部材であるケース部材４０と第２部材である連通板１５とにマニホールド１００が形成されており、ケース部材４０に設けられた第１リブ１０１と、連通板１５に設けられた第２リブ１０２とは、ケース部材４０と連通板１５との積層方向である第３の方向Ｚ及びこれに直交する第１の方向Ｘにそれぞれ離間して配置されている。このように、第２部材である連通板１５に第２リブ１０２を設けることで、連通板１５の剛性を向上して、第１マニホールド部１７をできるだけ大きく形成することができると共に連通板１５の小型化を図ることができる。

また、第１リブ１０１と第２リブ１０２とを第１の方向Ｘ及び第３の方向Ｚのそれぞれに離間して配置することで、マニホールド１００内に供給されたインクは、第１の方向Ｘ及び第３の方向Ｚのそれぞれにおいて、第１リブ１０１と第２リブ１０２との間を通過することができる。したがって、第１リブ１０１と第２リブ１０２とに気泡が付着し難く、付着したとしてもインクの流れで気泡を効果的に離脱させることができる。

（実施形態２）
図１０は、本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの要部断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図１０に示すように、ケース部材本体４１の第３マニホールド部４４には、複数の第１リブ１０１が設けられており、連通板１５の第１マニホールド部１７には第２リブ１０２が設けられている。

第１リブ１０１の浮力が働く方向とは反対側のインクに向かい合う面、すなわち、Ｚ２側の面は、傾斜した傾斜面１０１ａとなっている。

このような第１リブ１０１は、本実施形態では、第１リブ１０１と第２リブ１０２とは、ケース部材本体４１と連通板１５との積層方向である第３の方向Ｚ及び第３の方向Ｚに直交する第１の方向Ｘのそれぞれにおいて離間して設けられていない。すなわち、第１リブ１０１の連通板１５側の端部、すなわち、傾斜面１０１ａの先端は、第３の方向Ｚにおいて、ケース部材本体４１の連通板１５に接合される面と同じ高さに設けられている。また、第１リブ１０１と第２リブ１０２とは、第１の方向Ｘにおいて同じ位置、すなわち、第３の方向Ｚから平面視した際に、少なくとも一部が重なる位置に配置されている。

このように、本実施形態では、第１リブ１０１を設けることによって、マニホールド１００を形成する部材、本実施形態では、ケース部材本体４１の剛性、特に壁部４６の剛性を向上することができる。したがって、ケース部材本体４１や蓋部材４２等の剛性を向上して、マニホールド１００の変形やインクの漏出を抑制することができる。また、ケース部材本体４１や蓋部材４２の剛性を確保するためにマニホールド１００の容積を縮小する必要がない。また、剛性を確保するためにケース部材本体４１や蓋部材４２等を大型化する必要がない。したがって、マニホールド１００の容積をできるだけ確保することができると共に記録ヘッド１の小型化を図ることができる。

また、第１リブ１０１に傾斜面１０１ａを設けることによって、インクに含まれる気泡が浮力により移動する際に、第１リブ１０１の傾斜面１０１ａに付着して、気泡がマニホールド１００内に滞留するのを抑制することができる。

さらに、第２リブ１０２を設けることで、連通板１５の剛性を向上して、第１マニホールド部１７をできるだけ大きく形成することができると共に連通板１５の小型化を図ることができる。

また、本実施形態では、第１リブ１０１は複数あり、複数の第１リブ１０１は、互いに離間して配置されている。このように複数の第１リブ１０１を設けることによって、マニホールド１００を形成する部材、本実施形態では、ケース部材本体４１の剛性、特に壁部４６の剛性をさらに向上することができる。また、複数の第１リブ１０１を互いに離間して配置することで、複数の第１リブ１０１の間をインクが流れ易くして、インクに含まれる気泡が第１リブ１０１に引っかかり、付着し難い。また、第１リブ１０１に気泡が付着したとしても、インクの流れによって気泡を離脱させ易い。

なお、本実施形態では、第１リブ１０１と第２リブ１０２とを第３の方向Ｚ及び第１の方向Ｘに離間しないように配置したが、特にこれに限定されず、第１リブ１０１と第２リブ１０２とは、第３の方向Ｚ及び第１の方向Ｘの何れか一方が離間して配置されていてもよい。第１リブ１０１と第２リブ１０２とを、第３の方向Ｚ及び第１の方向Ｘの何れか一方に離間して配置することによって、第１リブ１０１と第２リブ１０２との間にインクを流すことができるため、第１リブ１０１や第２リブ１０２に気泡が付着し難く、気泡が付着したとしてもインクの流れによって気泡を剥離させることができる。

（実施形態３）
図１１は、本発明の実施形態３に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの要部断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図１１に示すように、ケース部材本体４１の第３マニホールド部４４には、複数の第１リブ１０１が設けられており、連通板１５の第１マニホールド部１７には第２リブ１０２が設けられている。

第１リブ１０１の浮力が働く方向とは反対側のインクに向かい合う面、すなわち、Ｚ２側の面は、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む水平面１０１ｂとなっている。すなわち、本実施形態の第１リブ１０１には、上述した実施形態１及び２の傾斜面１０１ａが設けられていない。

また、本実施形態では、第１部材であるケース部材４０に設けられた第１リブ１０１と第２部材である連通板１５に設けられた第２リブ１０２とは、ケース部材４０と連通板１５との積層方向である第３の方向Ｚと、この第３の方向Ｚに直交する第１の方向Ｘとのそれぞれにおいて互いに離間して配置されている。

このように、本実施形態では、第１リブ１０１を設けることによって、マニホールド１００を形成する部材、本実施形態では、ケース部材本体４１の剛性、特に壁部４６の剛性を向上することができる。したがって、ケース部材本体４１や蓋部材４２等の剛性を向上して、マニホールド１００の変形やインクの漏出を抑制することができる。また、ケース部材本体４１や蓋部材４２の剛性を確保するためにマニホールド１００の容積を縮小する必要がない。また、剛性を確保するためにケース部材本体４１や蓋部材４２等を大型化する必要がない。したがって、マニホールド１００の容積をできるだけ確保することができると共に記録ヘッド１の小型化を図ることができる。

また、第２リブ１０２を設けることで、連通板１５の剛性を向上して、第１マニホールド部１７をできるだけ大きく形成することができると共に連通板１５の小型化を図ることができる。

そして、第１リブ１０１と第２リブ１０２とを第３の方向Ｚ及び第１の方向Ｘのそれぞれで互いに離間して配置することで、マニホールド１００内に供給されたインクは、第１の方向Ｘ及び第３の方向Ｚのそれぞれにおいて、第１リブ１０１と第２リブ１０２との間を通過することができる。したがって、第１リブ１０１と第２リブ１０２とに気泡が付着し難く、付着したとしてもインクの流れで気泡をさらに効果的に離脱させることができる。

（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。

例えば、上述した各実施形態では、第３マニホールド部４４の天井４４ａが、第１の方向Ｘにおいて、Ｘ１側からＸ２側に向かって徐々に高くなるようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、Ｘ１側の天井４４ａが低く、Ｘ２側の天井４４ａが高い段差形状となっていてもよい。また、図１２に示すように、導入路４５が第３マニホールド部４４の第１の方向Ｘの中央部に連通している場合には、第３マニホールド部４４の天井４４ａは、導入路４５に連通する位置から第１の方向ＸのＸ１側及びＸ２側に向かって第３の方向Ｚの高さが高くなっていればよい。

また、上述した各実施形態では、連通板１５に第２リブ１０２を１つだけ設けるようにしたが、特にこれに限定されず、２つ以上の複数設けるようにしてもよい。また、上述した実施形態１及び２において、第２リブ１０２を設けないようにしてもよい。

さらに、第１リブ１０１の数は、１つであってもよく、また、２以上の複数であってもよい。また、第１リブ１０１は、第２の方向Ｙに沿って並設されていてもよく、その配置は、上述した実施形態に限定されるものではない。

また、上述した各実施形態では、連通板１５に設けられた第２リブ１０２は、Ｚ１側及びＺ２側の面が、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む水平面としたが、特にこれに限定されず、第２リブ１０２のＺ２側の面を水平方向に対して傾斜させることで、第２リブ１０２のＺ２側の面に気泡が付着するのを抑制することができる。また、第２リブ１０２のＺ１側の面が水平方向に対して傾斜させてもよい。これにより、第１リブ１０１と第２リブ１０２との間にインクが流れ易くすることができる。

また、上述した各実施形態では、第１リブ１０１のＺ２側の全ての面を傾斜面１０１ａとしたが、Ｚ２側の一部の面を傾斜面１０１ａとし一部の面を水平面としてもよい。これにより、第１リブ１０１のうち、傾斜面１０１ａが設けられた部分に気泡が付着するのを抑制することができる。

また、上述した実施形態では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーターを用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。

また、これら各実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図１３は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。なお、本実施形態では、インクジェット式記録装置の各方向について、記録ヘッド１がインクジェット式記録装置に搭載された際の方向、すなわち、第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚに基づいて説明する。もちろん、記録ヘッド１のインクジェット式記録装置内の配置は以下に示すものに限定されるものではない。

図１３に示すインクジェット式記録装置Ｉにおいて、複数のインクジェット式記録ヘッド１を有するインクジェット式記録ヘッドユニット２（以下、ヘッドユニット２とも言う）は、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａが着脱可能に設けられ、このヘッドユニット２を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。なお、キャリッジ軸５は第２の方向Ｙに沿って配置されている。

そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、ヘッドユニット２を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って、すなわち、第２の方向Ｙに沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により第１の方向Ｘに搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラーに限られずベルトやドラム等であってもよい。

また、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、インクジェット式記録ヘッド１（ヘッドユニット２）がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。

なお、上記実施の形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。

Ｉ…インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、１…インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、２…インクジェット式記録ヘッドユニット（液体噴射ヘッドユニット）、２Ａ…カートリッジ、３…キャリッジ、４…装置本体、５…キャリッジ軸、６…駆動モーター、７…タイミングベルト、８…搬送ローラー、１０…流路形成基板、１２…圧力発生室、１５…連通板、１６…ノズル連通路、１７…第１マニホールド部、１８…第２マニホールド部、１９…供給連通路、２０…ノズルプレート、２０ａ…ノズル面、２１…ノズル、２５…コンプライアンス基板、２６…封止膜、２７…固定基板、２８…開口部、２９…コンプライアンス部、３０…保護基板、３１…保持部、３２…貫通孔、４０…ケース部材、４１…ケース部材本体、４２…蓋部材、４３…凹部、４４…第３マニホールド部、４４ａ…天井、４５…導入路、４６…壁部、４７…接続口、５０…振動板、５１…弾性膜、５２…絶縁体膜、６０…第１電極、７０…圧電体層、７１…凹部、８０…第２電極、９１…個別配線、９２…共通配線、１００…マニホールド（共通液室）、１０１…第１リブ、１０１ａ…傾斜面、１０１ｂ…水平面、１０２…第２リブ、１２０…フレキシブルケーブル、１２１…駆動回路、２００…気泡、３００…圧電アクチュエーター、３１０…能動部、Ｓ…記録シート、Ｘ…第１の方向、Ｙ…第２の方向、Ｚ…第３の方向

Claims (13)

1. ノズル面に設けられたノズルから圧力発生手段により液体を噴射するための圧力発生室と、
   複数の前記圧力発生室に連通する共通液室と、
   前記共通液室を横断する第１リブと、
   を備え、
   前記第１リブのうち、浮力が働く方向とは反対方向に液体と向かい合う面が傾斜していることを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記第１リブの傾斜した先端は、前記浮力が働く方向に直交する方向において、前記第１リブの中央にあることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記第１リブは複数あり、当該複数の第１リブは、互いに離間していることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記共通液室は、積層された第１部材及び第２部材にそれぞれ設けられ、
   前記第１リブは、前記第１部材の前記共通液室に形成されており、
   前記第２部材の前記共通液室には、当該共通液室を横断する第２リブが設けられており、
   前記第１リブと、前記第２リブとは、前記第１部材及び前記第２部材の積層方向及び前記積層方向に直交する方向にそれぞれ離間していることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
5. ノズル面に設けられたノズルから圧力発生手段により液体を噴射するための圧力発生室と、
   複数の前記圧力発生室に連通する共通液室と、
   を備え、
   前記共通液室は、積層された第１部材及び第２部材にそれぞれ設けられ、
   前記第１部材の前記共通液室には、当該共通液室を横断する第１リブが設けられ、
   前記第２部材の前記共通液室には、当該共通液室を横断する第２リブが設けられ、
   前記第１リブと前記第２リブとは、前記第１部材及び前記第２部材の積層方向及び前記積層方向に直交する方向にそれぞれ離間していることを特徴とする液体噴射ヘッド。
6. 前記第１リブのうち、浮力が働く方向とは反対方向に液体と向かい合う面が傾斜していることを特徴とする請求項５記載の液体噴射ヘッド。
7. 前記第１リブの傾斜した先端は、前記浮力が働く方向に直交する方向において前記リブの中央にあることを特徴とする請求項６記載の液体噴射ヘッド。
8. 前記第１部材に設けられた前記第１リブと、前記第２部材に設けられた前記第２リブとは、それぞれ異なる断面であり、
   前記第１リブと前記第２リブとは、前記圧力発生室に近い方の断面が小さいことを特徴とする請求項４〜７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
9. 前記第１リブと前記第２リブとは、前記共通液室の浮力が働く方向の天井と離間していることを特徴とする請求項４〜８の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
10. 前記第１部材に設けられた前記第１リブと前記天井との間隔は、前記第１リブと前記第１部材及び前記第２部材の積層面との間隔よりも大きいことを特徴とする請求項９記載の液体噴射ヘッド。
11. 前記第１リブの浮力が働く方向の寸法は、前記浮力が働く方向に直交する方向の寸法よりも大きいことを特徴とする請求項１〜１０の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
12. 前記共通液室の天井は、複数の前記圧力発生室が並ぶ方向において、前記共通液室へ液体を供給する導入路が設けられた側から反対側へと向けて高くなっていることを特徴とする請求項１〜１１の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
13. 請求項１〜１２の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。

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