JP6519404B2 - 電子デバイス、および、液体噴射ヘッド - Google Patents

Description

本発明は、第１の基板と第２の基板とが間に駆動領域を介在させた状態で接着剤により接合された電子デバイス、および、液体噴射ヘッドに関するものである。

電子デバイスは、圧電素子等の駆動素子を備えたデバイスであり、各種の液体噴射装置や圧力・振動センサー等に応用されている。例えば、液体噴射装置では、電子デバイスを利用した液体噴射ヘッドから各種の液体を噴射・吐出する。この液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。

上記の液体噴射ヘッドは、ノズルに連通する圧力室が形成された圧力室形成基板、圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる駆動素子としての圧電素子、及び、当該圧電素子に対して間隔を開けて配置された封止板（あるいは保護基板とも呼ばれる）等が積層された電子デバイスを備えている。このような基板同士が、間に圧電素子を収容する空間を空けた状態で接着剤によって接合されたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

近年では、液体噴射ヘッドおよび電子デバイスの小型化が進み、基板上には圧電素子の駆動に係る構造物、すなわち、例えば駆動素子の駆動により変位する駆動領域や電極等が一層高い密度で精密に形成されている。このため、基板同士を接着する際に接着剤が流れ出して上記の構造物に接着剤が付着して硬化すると、圧電素子の駆動に支障を来す虞がある。このような問題に対し、特許文献１に開示されている液滴吐出ヘッドでは、圧電素子が設けられた基板に接合される基板（保持基板）の接合面に凹部が形成されており、この凹部に余剰な接着剤が毛細管力により導入されることにより、接合面から接着剤が流れ出すことが抑制されている。

特開２０１３−１６３３４１号公報

しかしながら、上記構成における凹部は、重力に逆らう方向に沿って形成されているため、毛細管力が重力に負けてしまい、また、凹部の容積も限られるため、余剰な接着剤を導入可能な量が限られるという問題があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、基板同士を接合する接着剤の流れ出しによる不具合を抑制することが可能な電子デバイス、および、液体噴射ヘッドを提供することにある。

〔手段１〕
本発明の電子デバイスは、上記目的を達成するために提案されたものであり、駆動領域を有する第１の基板と、
前記駆動領域を覆い、前記第１の基板と接着剤で接合された第２の基板と、を備えた電子デバイスであって、
前記第１の基板の前記第２の基板と前記接着剤を介して重なる接着領域は、第１の方向に沿った第１の接着領域と、前記第１の方向に交差する第２の方向に沿った第２の接着領域と、前記第１の接着領域と前記第２の接着領域とが交わって形成された角部である第３の接着領域と、を有し、
前記第１の基板には、前記第１の接着領域と交差する第１の溝と、前記第２の接着領域と交差する第２の溝と、前記第１の溝および前記第２の溝に対して傾斜すると共に前記第３の接着領域と交差する第３の溝と、が、前記接着領域から当該接着領域とは反対側の面に向けて窪んだ状態に形成されたことを特徴とする。

手段１の構成によれば、第１の基板と第２の基板との接合の際、接着領域の余剰な接着剤は溝に流れ込む。これにより、余剰な接着剤が、第１の基板と第２の基板との接着領域から流れ出すことが抑制される。また、接着剤が溝に流れ込んで硬化することで所謂アンカー効果を奏し、第１の基板と第２の基板との接合強度をより向上させることができる。さらに、接着領域の角部である第３の接着領域にも溝（第３の溝）が形成されているので、当該角部においても余剰な接着剤の流れ出しを抑制する効果、および、アンカー効果が得られる。

〔手段２〕
また、手段１の構成において、前記第１の溝、前記第２の溝、および前記第３の溝は、それぞれと交差する前記接着領域と平面視で重なる交差範囲を超える範囲に形成された構成を採用することが望ましい。

手段２の構成によれば、各溝が、接着領域との交差範囲を超える範囲に形成されているので、接着剤の流れ出しをより確実に抑制することができ、また、アンカー効果も高まるので接合強度をより向上させることが可能となる。

〔手段３〕
また、上記手段１または手段２の構成に関し、前記第１の溝、前記第２の溝、および前記第３の溝は、それぞれ複数設けられた構成を採用することが望ましい。

手段３の構成によれば、第１の溝、第２の溝、および第３の溝が、それぞれ複数設けられるので、より多くの余剰接着剤を導入することができ、流れ出しが一層抑制され、接合強度も一層向上する。

〔手段４〕
また、上記手段３の構成に関し、前記第３の溝のうち、少なくとも一つは、前記第３の接着領域の前記駆動領域側の角と前記第３の接着領域の前記角の対角の角を通る構成を採用することが望ましい。

手段４の構成によれば、第３の溝のうち、少なくとも一つは、第３の接着領域の駆動領域側の角と当該角の対角の角を通るので、特に流れ出しが生じやすい角からの接着剤の流れ出しを効果的に抑制することができる。

〔手段５〕
また、本発明の液体噴射ヘッドは、手段１乃至手段４の何れか一の電子デバイスを備え、
圧電素子によって前記駆動領域を駆動することにより、前記第１の基板に形成された圧力室内の液体に圧力変動を生じさせ、当該圧力変動により前記圧力室に通じるノズルから液体を噴射させることを特徴とする。

この構成によれば、第１の基板と第２の基板と間における接着剤の流れ出しが抑制され、接合強度が高められた電子デバイスを備えるので、信頼性の高い液体噴射ヘッドを提供することができる。

プリンターの構成を説明する斜視図である。 記録ヘッドの構成を説明する断面図である。 電子デバイスの要部を拡大した断面図である。 アクチュエーター基板の要部上面図である。 他の実施形態におけるアクチュエーター基板の要部上面図である。

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明に係る電子デバイスを備えた液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）を搭載した液体噴射装置の一種であるインクジェット式プリンター（以下、プリンター）を例に挙げて説明する。

プリンター１の構成について、図１を参照して説明する。プリンター１は、記録紙等の記録媒体２の表面に対してインクを吐出して画像等の記録を行う装置である。このプリンター１は、インクを吐出する記録ヘッド３、この記録ヘッド３が取り付けられるキャリッジ４、キャリッジ４を主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構５、記録媒体２を副走査方向に移送するプラテンローラー６等を備えている。液体の一種であるインクは、液体供給源としてのインクカートリッジ７に貯留されている。このインクカートリッジ７は、記録ヘッド３に対して着脱可能に装着される。なお、インクカートリッジ７がプリンター１の本体側に配置され、当該インクカートリッジ７からインク供給チューブを通じて記録ヘッド３に供給される構成を採用することもできる。

上記のキャリッジ移動機構５はタイミングベルト８を備えている。そして、このタイミングベルト８はＤＣモーター等のパルスモーター９により駆動される。従ってパルスモーター９が作動すると、キャリッジ４は、プリンター１に架設されたガイドロッド１０に案内されて、主走査方向（記録媒体２の幅方向）に往復移動する。

図２は、記録ヘッド３（本発明の液体噴射ヘッドの一種）の内部構成を示す断面図である。また、図３は、アクチュエーター基板１２と封止板１９との接合部分周辺の拡大断面図である。さらに、図４は、アクチュエーター基板１２の上面図である。なお、便宜上、各部材の積層方向を上下方向として説明する。本実施形態における記録ヘッド３は、複数の基板、具体的には、ノズルプレート１４、連通基板１５、および、アクチュエーター基板１２（本発明における第１の基板に相当）が、この順で積層されて互いに接着剤により接合されてユニット化されている。また、アクチュエーター基板１２は、圧力室形成基板１６、振動板１７、および圧電素子１８（アクチュエーターの一種）等が積層されて構成されている。このアクチュエーター基板１２に、圧電素子１８および駆動領域（後述）を覆い、保護する封止板１９（本発明における第２の基板に相当）が積層されて、本発明の電子デバイス１３が構成されている（図３参照）。そして、この電子デバイス１３がケース２０に取り付けられて記録ヘッド３が構成されている。

ケース２０は、底面側に電子デバイス１３が固定される合成樹脂製の箱体状部材である。このケース２０の下面側には、当該下面からケース２０の高さ方向の途中まで直方体状に窪んだ空部２２が形成されており、電子デバイス１３が下面に接合されると、電子デバイス１３における圧力室形成基板１６、振動板１７、圧電素子１８、および封止板１９が、空部２２内に収容される。また、ケース２０には、インク導入路２３が形成されている。上記インクカートリッジ７側からのインクは、インク導入路２３を通じて共通液室２４に導入される。

本実施形態における圧力室形成基板１６は、シリコン単結晶基板（以下、単にシリコン基板とも言う。）から作製されている。この圧力室形成基板１６には、圧力室２６を区画する圧力室空部が、ノズルプレート１４の各ノズル２７に対応して異方性エッチングによって複数形成されている。このように、シリコン基板に対して異方性エッチングによって圧力室等の流路となる空間を形成することで、より高い寸法・形状精度を確保することができる。圧力室形成基板１６における圧力室空部の一方（上面側）の開口部は、振動板１７によって封止される。また、圧力室形成基板１６における振動板１７とは反対側の面には、連通基板１５が接合され、当該連通基板１５によって圧力室空部３４の他方の開口部が封止される。これにより、圧力室２６が区画形成される。ここで、圧力室２６の上部開口が振動板１７により封止された部分は、圧電素子１８（能動部）の駆動により変位する可撓面に相当する。そして、この部分が、本発明における駆動領域に相当する。なお、圧力室形成基板１６と可撓面が一体である構成を採用することもできる。すなわち、圧力室形成基板１６の下面側からエッチング処理が施されて、上面側に板厚の薄い薄肉部分を残して圧力室空部が形成され、この薄肉部分が可撓面（駆動領域）として機能する構成を採用することもできる。

本実施形態における圧力室２６は、ノズル２７の並設方向、すなわちノズル列方向（第１の方向）に交差する方向（第２の方向）に長尺な空部である。この圧力室２６の第２の方向の一端部は、連通基板１５のノズル連通口２８を介してノズル２７と連通する。また、圧力室２６の第２の方向の他端部は、連通基板１５の個別連通口２９を介して共通液室２４と連通する。そして、圧力室２６は、ノズル２７毎に対応してノズル列方向（第１の方向）に沿って隔壁により隔てられて複数並設されている。

連通基板１５は、圧力室形成基板１６と同様にシリコン基板から作製された板材である。この連通基板１５には、圧力室形成基板１６の複数の圧力室２６に共通に設けられる共通液室２４（リザーバーあるいはマニホールドとも呼ばれる）となる空部が、異方性エッチングによって形成されている。この共通液室２４は、各圧力室２６の並設方向（即ち第１の方向）に沿って長尺な空部である。本実施形態における共通液室２４は、連通基板１５の板厚方向を貫通した第１液室２４ａと、連通基板１５の下面側から上面側に向けて当該共通液室形成部材２３の板厚方向の途中まで上面側に薄肉部を残した状態で形成された第２液室２４ｂと、から構成される。この第２液室２４ｂの第２の方向における一端部（ノズル２７から遠い側の端部）は、第１液室２４ａと連通する一方、同方向の他端部は、圧力室２６の下方に対応する位置に形成されている。この第２液室２４ｂの他端部、すなわち、第１液室２４ａ側とは反対側の縁部には、薄肉部を貫通する個別連通口２９が、圧力室形成基板１６の各圧力室２６に対応して第１の方向に沿って複数形成されている。この個別連通口２９の下端は、第２液室２４ｂと連通し、個別連通口２９の上端は、圧力室形成基板１６の圧力室２６と連通する。

上記のノズルプレート１４は、複数のノズル２７が列状に開設された板材である。本実施形態では、ドット形成密度に対応したピッチでノズル２７が複数列設されてノズル列が構成されている。本実施形態におけるノズルプレート１４は、シリコン基板から作製され、当該基板に対してドライエッチングにより円筒形状のノズル２７が形成されている。そして、本実施形態における電子デバイス１３には、上記の共通液室２４から個別連通口２９、圧力室２６、およびノズル連通口２８を通ってノズル２７に至るまでのインク流路が形成されている。

次に電子デバイス１３の詳細について説明する。本実施形態における電子デバイス１３は、上述したように、圧力室形成基板１６上に、振動板１７、圧電素子１８等が積層されたアクチュエーター基板１２を有する。このアクチュエーター基板１２には、圧電素子１８の能動部を保護する封止板１９が接着剤により接合されて構成されている。振動板１７は、連通基板１５の上面に形成された二酸化シリコン（ＳｉＯ_２）からなる弾性膜３１と、この弾性膜３１上に形成された酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_２）からなる絶縁膜３２と、から成る。

振動板１７における圧力室２６に対応する部分（駆動領域）には、駆動素子あるいはアクチュエーターの一種である圧電素子１８が形成されている。本実施形態における圧電素子１８は、振動板１７側から順に下電極３４、圧電体３５、および上電極３６が積層されて構成されている。また、圧電素子１８は、振動板１７上において、圧力室２６の上部開口の縁を越えて当該圧力室２６の長手方向の外側に外れた位置まで延設されている。そして、下電極３４および圧電体３５は、上電極３６の圧力室長手方向の端部よりも同方向の外側の位置（圧電素子１８が駆動した際に変位しない非駆動領域）までさらに延設されている。

本実施形態においては、下電極３４および圧電体３５が圧力室２６毎にパターニングされている。下電極３４は、圧力室２６毎および圧電素子１８毎に個別の電極である。この下電極３４は、圧力室２６の幅（圧力室並設方向における上部開口の内法）よりも細く、圧力室長手方向（第２の方向）に沿って延在している。また、上電極３６は、各圧電素子１８に共通な電極となっている。そして、圧電素子１８の構成部材の積層方向において、上電極３６、圧電体３５、および下電極３４が互いにオーバーラップする部分が、両電極３４，３６への電圧の印加により圧電歪みが生じる能動部であり、この部分が実質的な圧電素子１８である。この能動部は、上記の駆動領域、すなわち、圧力室２６の上部開口に対応する部分に配置されている。なお、駆動回路や配線の都合によってこれらを逆にする構成とすることもできる。

本実施形態における圧電体３５は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の強誘電性圧電材料からなり、個別電極である各下電極３４を覆うように振動板１７の上に形成されている。図４に示すように、この圧電体３５において隣り合う圧力室２６の間の領域（圧力室同士を区画する隔壁）に対応する部分には、開口３７が形成されている。この開口３７は、圧電体３５が部分的に除去されて形成された凹部或いは貫通穴から構成されており、圧力室２６の開口の辺（開口縁）に沿って延在している。そして、隣り合う開口３７の間の領域における圧力室２６の開口部上の位置には、圧電体３５が、圧力室長手方向に沿って梁状に設けられる。

上電極３６は、圧電素子１８の能動部を規定する上電極本体３６ａと、この上電極本体３６ａから独立した導電部３６ｂとから構成されている。導電部３６ｂは、圧力室２６の上部開口縁よりも圧力室長手方向の外側に外れた非駆動領域における圧電体３５上であって、上電極本体３６ａに対して所定の間隔を隔てた位置に圧電素子１８毎に形成されている。そして、図３に示すように、導電部３６ｂおよび圧電体３５を貫通する状態で、導電部３６ｂの上面から下電極３４に至るスルーホール（コンタクトホール）３８が、エッチング処理によって形成されている。

上電極３６の上には、図示しない密着層（例えば、ＮｉＣｒ）を介して金（Ａｕ）からなる金属層４１が形成されている。この金属層４１は、錘部４２とリード電極部４３，４４とから構成される。錘部４２は、上電極３６の上電極本体３６ａ上であって、圧力室２６の上部開口縁よりも圧力室長手方向の外側の非駆動領域にノズル列方向に沿って形成されている。図４においては、圧力室２６の長手方向の一方の錘部４２が図示されているが、圧力室２６の長手方向の他方における同様な位置にも鉛部４２がノズル列方向に沿って形成されている。この錘部４２は、圧電素子１８の長手方向端部の変位を規制して、下電極３４や振動板１７の破損等を抑制する。なお、錘部４２が無い構成を採用することもできる。本実施形態における錘部４２は、長手方向（ノズル列方向）の両端において、圧力室３０の列の両側に形成された共通リード電極部４３とそれぞれ導通されている。そして、錘部４２は、上電極３６と導通しているので、圧電素子１８の共通電極の一部としても機能する。

個別リード電極部４４は、個別電極である下電極３４に対応してパターニングされており、少なくとも一部が導電部３６ｂの上部に重なるように形成されている。この個別リード電極部４４の一端部は、上記のスルーホール３８を通じて下電極３４に導通されており、同じく他端部は、封止板１９の収容空部４６（後述）内から、当該封止板１９の外側まで圧力室長手方向（第２の方向）に延設されている。共通リード電極部４３は、錘部４２に交差するように圧力室長手方向に延設されており、個別リード電極部４４と同様に、その端部は封止板１９の外側に位置する。そして、個別リード電極部４４および共通リード電極部４３を介して各圧電素子１８に選択的に駆動電圧（駆動パルス）が印加される。

アクチュエーター基板１２の上面には、圧電素子１８を収容可能な収容空部４６を有する封止板１９が接合される。この封止板１９は、アクチュエーター基板１２側の下面に収容空部４６が開口した中空箱体状の部材である。換言すると、封止板１９は、ベース基板４７と、このベース基板４７の縁から圧力室形成基板１６側に延出した四方の側壁４８とを有している。これらのベース基板４７と側壁４８とにより収容空部４６が画成されている。この封止板１９における側壁４８の先端面（ベース基板４７側とは反対側の端面）は、アクチュエーター基板１２の上面における駆動領域から外れた位置で接着剤４９（図３参照）により接合されている。図４においてハッチングで示される部分が、封止板１９の側壁４８の先端面と、アクチュエーター基板１２との接着領域Ｂ（基板垂直方向に側壁４８を投影した部分）である。この接着領域Ｂは、アクチュエーター基板１２の上面（圧電素子１８が形成された側の面）において、封止板１９の側壁４８の先端面と接着剤４９を介して重なる部分である。この接着剤４９は、例えば、エポキシ系の接着剤からなり、封止板１９の側壁４８の先端面に転写により予め塗布される。

図４に示すように、アクチュエーター基板１２の上面（圧電素子１８が形成された面）において、封止板１９の側壁４８との接着領域Ｂには、当該接着領域Ｂに平面視で交差する形で、余剰な接着剤を導入するための溝５０が形成されている。本実施形態においては、アクチュエーター基板１２の上面において露出した（電極等が形成されていない部分の）圧電体３５にエッチングによって溝５０が形成されている。すなわち、この溝５０は、上記のスルーホール３８や開口３７と同一の工程で形成される。この溝５０は、アクチュエーター基板１２の上面側の接着領域Ｂから下面側（接着領域Ｂとは反対側の面であり、連通基板１５との接合面側）に窪んだ状態に形成されている。また、この溝５０は、アクチュエーター基板１２の非駆動領域においてノズル列方向（第１の方向）に沿って並設された複数の第１の溝５０ａからなる第１の溝群と、ノズル列に交差する圧力室長手方向（第２の方向）に沿って並設された複数の第２の溝５０ｂからなる第２の溝群と、第１の溝群と第２の溝群とが交差する位置（第１の溝群と第２の溝群をそれぞれ溝並設方向に仮想的に延長した場合に交差する位置）に形成された複数の第３の溝５０ｃからなる第３の溝群と、からなる。各溝５０は、個別リード電極部４４同士の間の間隙、あるいは個別リード電極部４４と共通リード電極部４３との間隙よりも狭い幅で、かつ、それぞれと交差する接着領域Ｂと平面視で重なる交差範囲の寸法（溝の延在方向における寸法）よりも長い溝であり、接着領域Ｂとの交差範囲を超える範囲に形成されている。すなわち、各溝５０の一端は、各々が交差する接着領域Ｂよりも一側（収容空部４６内）に外れた位置に配置され、同じく他端は、各々が交差する接着領域Ｂよりも他側（収容空部４６の外側）に外れた位置に配置されている。さらに、本実施形態における各溝５０の深さは、圧電体３５の厚さに揃えられている。

第１の溝５０ａは、圧力室長手方向に沿って形成された溝であり、第１の接着領域Ｂ１に対して交差する。第１の接着領域Ｂ１は、リード電極部４３，４４に交差するようにノズル列方向（第１の方向）に延在している。また、図４において示される第１の接着領域Ｂ１とは圧力室長手方向において駆動領域を挟んで反対側（非駆動領域）にも同様に、ノズル列方向に沿った第１の接着領域Ｂ１が設けられており、この第１の接着領域Ｂ１に交差するように第１の溝５０ａがノズル列方向に並設されている。本実施形態における第１の溝５０ａは、隣り合うリード電極部の間で露出している圧電体３５に、これらのリード電極部４３，４４と平行に形成されている。

また、第２の溝５０ｂは、ノズル列方向に沿って形成された溝であり、圧力室長手方向に沿った第２の接着領域Ｂ２に対して交差する。図４において示される第２の接着領域Ｂ２とは、ノズル列方向において圧電素子１８が形成された領域を挟んで反対側の非駆動領域にも同様に、圧力室長手方向に沿った第２の接着領域Ｂ２が設けられており、この第２の接着領域Ｂ２に交差するように第２の溝５０ｂが圧力室長手方向に並設されている。本実施形態における第２の溝５０ｂは、アクチュエーター基板１２の圧電体３５であって、共通リード電極部４３よりも外側（圧電素子１８の能動部群が形成されている側とは反対側）に所定の間隔を空けて圧力室長手方向に沿って複数並設されている。

第３の溝５０ｃは、第１の溝５０ａおよび第２の溝５０ｂのそれぞれに対して傾斜した溝であり、第１の接着領域Ｂ１と第２の接着領域Ｂ２とが交わって形成された角部である第３の接着領域Ｂ３に形成されている。第３の接着領域Ｂ３は、第１の接着領域Ｂ１と第２の接着領域Ｂ２とが交わる角を含み、第１の接着領域Ｂ１側と第２の接着領域Ｂ２側にそれぞれある程度の幅を持った略Ｌ状の領域である。なお、図４に示される第３の接着領域Ｂ３に対して対角に位置する第３の接着領域Ｂ３においても同様に複数の第３の溝５０ｃからなる第３の溝群が形成されている。第３の溝群のうち、第３の接着領域Ｂ３の角（駆動領域側の角（内側の角）とこれとは対角に位置する角（外側の角））を通る第３の溝５０ｃは、第１の溝５０ａおよび第２の溝５０ｂのそれぞれに対して略４５°に傾斜している。また、第３の溝群において、第３の接着領域Ｂ３の角を通る第３の溝５０ｃよりも第１の溝５０ａに近い第３の溝５０ｃほど、第１の溝５０ａに対する傾斜角が小さくなっている。同様に、第３の接着領域Ｂ３の角を通る第３の溝５０ｃよりも第２の溝５０ａに近い第３の溝５０ｃほど、第２の溝５０ｂに対する傾斜角が小さい。なお、本実施形態において、第３の接着領域Ｂ３に３つの第３の溝５０ｃからなる第３の溝群が形成された構成を例示したが、これには限られず、１つ若しくは２つ、又は４つ以上の第３の溝５０ｃが形成される構成を採用することもできる。

上記構成の電子デバイス１３では、封止板１９とアクチュエーター基板１２との接合の際、側壁４８の先端面とアクチュエーター基板１２における接着領域Ｂとの間の余剰な接着剤が各溝５０（５０ａ，５０ｂ，５０ｃ）に流れ込む。これにより、余剰な接着剤が、封止板１９とアクチュエーター基板１２との接着領域から流れ出すことが抑制される。このため、アクチュエーター基板１２の駆動領域の駆動に係る部分（特に、圧電素子１８の能動部）に接着剤が付着して、当該接着剤により駆動領域の駆動が妨げられることが抑制される。また、接着剤の流れだしが抑制されるので、その分、基板を小型化することが可能となり、電子デバイス１３および記録ヘッド３の小型化に寄与する。さらに、接着剤が溝５０に流れ込んで硬化することで所謂アンカー効果を奏し、封止板１９とアクチュエーター基板１２との接合強度をより向上させることができる。本実施形態においては、第１の溝５０ａ、第２の溝５０ｂ、および第３の溝５０ｃが、それぞれ複数設けられるので、より多くの余剰接着剤を導入することができ、流れ出しが一層抑制され、接合強度も一層向上する。
さらに、接着領域の角部にも溝５０（５０ｃ）が形成されているので、当該角部においても余剰な接着剤の流れ出しを抑制する効果、および、アンカー効果が得られる。本実施形態においては、第３の溝群のうち、少なくとも一つは、第３の第３の接着領域Ｂ３の角を通るので、特に流れ出しが生じやすい角からの接着剤の流れ出しを効果的に抑制することができる。

また、本実施形態においては、溝５０がそれぞれ接着領域Ｂとの交差範囲を超える範囲に形成されているので、すなわち、各溝５０の一端は、各々が交差する接着領域Ｂよりも一側に外れた位置に配置され、同じく他端は、各々が交差する接着領域Ｂよりも他側に外れた位置に配置されたので、溝５０内の空気を接着領域Ｂから外れた端部から追い出しつつ当該溝５０に接着剤が入り込む。これにより、接着剤をより円滑に溝５０内に導入させることができる。その結果、接着剤の流れ出しをより確実に抑制することができ、アンカー効果も高まるので接合強度をより向上させることが可能となる。
そして、封止板１９とアクチュエーター基板１２と間における接着剤の流れ出しが抑制され、接合強度が高められた電子デバイス１３を備えるので、信頼性の高い記録ヘッド３を提供することができる。

なお、上記実施形態においては、本発明に係る電子デバイス１３として、駆動素子としての圧電素子３２の駆動によりノズルから液体の一種であるインクを噴射させる構成を例示したが、これには限られず、第１の基板と第２の基板が感光性樹脂としての接合樹脂により接合された電子デバイスであれば、本発明を適用することが可能である。例えば、駆動素子により振動、あるいは変位等を検出するセンサーに用いられる電子デバイス等にも本発明を適用することができる。

また、上記実施形態においては、第３の接着領域Ｂ３が角を有する形状である構成を例示したが、これには限られず、例えば、図５に示す他の実施形態のように、第３の接着領域Ｂ３が曲率を有する形状（角が無い形状）である構成を採用することも可能である。この場合、第３の溝５０ｃは、当該領域における曲率半径に沿って形成されていればよい。

さらに、以上では、液体噴射ヘッドとして、インクジェットプリンターに搭載されるインクジェット式記録ヘッドを例示したが、インク以外の液体を噴射するものにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。

１…プリンター，３…記録ヘッド，１２…アクチュエーター基板，１３…電子デバイス，１６…圧力室形成基板，１７…振動板，１８…圧電素子，１９…封止板，２６…圧力室，２７…ノズル，３１…弾性膜，３２…絶縁膜，４１…金属層，４３…共通リード電極部，４４…個別リード電極部，４６…収容空部，４７…ベース基板，４８…側壁，４９…接着剤，５０…溝，５０ａ…第１の溝，５０ｂ…第２の溝，５０ｃ…第３の溝

Claims (5)

1. 駆動領域を有する第１の基板と、
   前記駆動領域を覆い、前記第１の基板と接着剤で接合された第２の基板と、を備えた電子デバイスであって、
   前記第１の基板の前記第２の基板と前記接着剤を介して重なる接着領域は、第１の方向に沿った第１の接着領域と、前記第１の方向に交差する第２の方向に沿った第２の接着領域と、前記第１の接着領域と前記第２の接着領域とが交わって形成された角部である第３の接着領域と、を有し、
   前記第１の基板には、前記第１の接着領域と交差する第１の溝と、前記第２の接着領域と交差する第２の溝と、前記第１の溝および前記第２の溝に対して傾斜すると共に前記第３の接着領域と交差する第３の溝と、が、前記接着領域から当該接着領域とは反対側の面に向けて窪んだ状態に形成されたことを特徴とする電子デバイス。
2. 前記第１の溝、前記第２の溝、および前記第３の溝は、それぞれと交差する前記接着領域と平面視で重なる交差範囲を超える範囲に形成されたことを特徴とする請求項１に記載の電子デバイス。
3. 前記第１の溝、前記第２の溝、および前記第３の溝は、それぞれ複数設けられたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の電子デバイス。
4. 前記複数の第３の溝のうち、少なくとも一つは、前記第３の接着領域の前記駆動領域側の角と前記第３の接着領域の前記角の対角の角を通ることを特徴とする請求項３に記載の電子デバイス。
5. 請求項１乃至請求項４の何れか一項に記載の電子デバイスを備え、
   圧電素子によって前記駆動領域を駆動することにより、前記第１の基板に形成された圧力室内の液体に圧力変動を生じさせ、当該圧力変動により前記圧力室に通じるノズルから液体を噴射させることを特徴とする液体噴射ヘッド。

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