KR101187991B1 - 잉크젯 프린트 헤드 및 잉크젯 프린트 헤드 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드는 유입된 잉크의 노즐로의 토출을 위해 상기 잉크를 저장하는 압력챔버; 상기 압력챔버에 대응되는 외부면에서 상기 압력챔버 방향으로 요홈 형성되는 압전 액츄에이터 수용부; 및 상기 압전 액츄에이터 수용부에 점도가 있는 압전체 액이 충진되어 고화되고 상기 압력챔버에 상기 잉크의 토출 구동력을 제공하는 압전 액츄에이터;를 포함하고, 상기 압전 액츄에이터는 상기 압전 액츄에이터 수용부 내부에 구비할 수 있다.
Description
본 발명은 잉크젯 프린트 헤드 및 잉크젯 프린트 헤드 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 저전압 구동 성능 구현이 가능하고 구동 효율을 증가시키는 잉크젯 프린트 헤드 및 잉크젯 프린트 헤드 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로 잉크젯 헤드는 전기신호를 물리적인 힘으로 변환하여 작은 노즐을 통하여 잉크가 액적의 형태로 토출되도록 하는 구조체이다.
최근 압전 방식의 잉크젯 헤드는 산업용 잉크젯 프린터에서도 사용되고 있다. 예를 들어, 플랙시블 인쇄회로기판(PCB) 상에 금, 은 등의 금속 잉크를 분사해 회로 패턴을 직접 형성시키거나 산업 그래픽이나 액정 디스플레이(LCD), 유기 발광다이오드(OLED)의 제조 및 태양전지 등에 사용된다.
일반적으로 잉크젯 헤드는 카트리지에서 잉크를 유입 및 유출하는 유입구와 유출구, 유입되는 잉크를 저장하는 매니폴드, 그리고 상기 매니폴드 내의 잉크를 노즐로 이동시키기 위해 액츄에이터의 구동력을 전달하는 챔버 등이 형성되며, 상기 챔버의 잉크를 외부로 토출시키기 위해서 압전체로 제조되는 압전 액츄에이터가 표면에 장착된다.
종래에는 압전 액츄에이터를 잉크젯 프린트 헤드에 장착하는 방식으로 스크린 프린팅의 방식을 이용하거나, 벌크세라믹의 에폭시 접합 방식을 이용하였다.
그러나, 상기와 같은 방식으로 제조된 압전 액츄에이터는 두께가 두꺼워 구동시 높은 전압이 필요하다.
따라서, 저전압에서는 구동이 불가하고, 구동전압 대비 구동효율이 낮아진다는 문제점이 있다.
또한, 종래의 스크린 프린팅 방식 및 벌크세라믹 에폭시 접합 방식은 제조비용이 비싸고, 압전체의 폭과 높이를 일정하게 제어할 수 없으므로 균일한 형상을 가진 압전 액츄에이터를 형성하는데 문제가 있다.
본 발명의 목적은 균일한 형상을 가진 압전 액츄에이터을 용이하게 형성할 수 있으며 구동전압 대비 구동효율이 좋은 잉크젯 프린트 헤드 및 잉크젯 프린트 헤드 제조방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드는 유입된 잉크의 노즐로의 토출을 위해 상기 잉크를 저장하는 압력챔버; 상기 압력챔버에 대응되는 외부면에서 상기 압력챔버 방향으로 요홈 형성되는 압전 액츄에이터 수용부; 및 상기 압전 액츄에이터 수용부에 점도가 있는 압전체 액이 충진되어 고화되고 상기 압력챔버에 상기 잉크의 토출 구동력을 제공하는 압전 액츄에이터;를 포함하고, 상기 압전 액츄에이터는 상기 압전 액츄에이터 수용부 내부에 구비되도록 할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 상기 압전 액츄에이터 수용부의 둘레의 면 중 적어도 하나는 테이퍼를 형성하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 상기 압전 액츄에이터는 상기 압전체 액이 잉크젯 프린팅되어 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 상기 압전 액츄에이터는 구동전압을 제공하는 상부 및 하부전극을 구비하며, 상기 상부 및 하부전극 중 적어도 하나는 전극물질이 잉크젯 프린팅되어 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 상기 하부전극은 전원을 공급하는 플랙시블 인쇄회로기판과 연결되기 위해 형성되는 배선이 구비된 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 상기 하부전극의 상기 배선은 전극물질이 잉크젯 프린팅되어 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 상기 압전 액츄에이터는 상기 압전체 액이 상기 압력챔버의 외부면과 반응하는 것을 방지하기 위해 형성되는 확산방지막을 구비하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 상기 확산방지막은 E-beam Evaporator, 화학적 증착(CVD: Chemical Vapor Deposition), 물리적 증착(PVD: Physical Vapor Deposition), 도금 및 스크린 프린팅 중 어느 하나를 사용하여 증착한 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드는 유입된 잉크의 노즐로의 토출을 위해 상기 잉크를 저장하는 압력챔버가 형성되는 상부기판; 상기 압력챔버에 대응되는 상기 상부기판이 상기 압력챔버 방향으로 요홈 형성되는 압전 액츄에이터 수용부; 상기 압전 액츄에이터 수용부에 점도가 있는 압전체 액이 충진되어 고화되고 상기 압력챔버에 상기 잉크의 토출 구동력을 제공하는 압전 액츄에이터; 및 상기 압력챔버와 연통되고 상기 잉크의 토출을 위해 형성되는 노즐을 구비하는 하부기판;을 포함하고, 상기 압전 액츄에이터의 상면은 상기 상부기판의 상면과 동일 평면 또는 상기 상부기판의 상면보다 낮은 평면을 이루도록 형성될 수 있다.
본 발명의 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 상기 압전 액츄에이터 수용부의 둘레의 면 중 적어도 하나는 테이퍼를 형성하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 상기 압전 액츄에이터는 상기 압전체 액이 잉크젯 프린팅되어 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
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본 발명의 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 상기 압전 액츄에이터는 구동전압을 제공하는 상부 및 하부전극을 구비하며, 상기 상부 및 하부전극 중 적어도 하나는 전극물질이 잉크젯 프린팅되어 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 상기 하부전극은 전원을 공급하는 플랙시블 인쇄회로기판과 연결되기 위해 형성되는 배선이 구비된 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 상기 하부전극의 상기 배선은 전극물이 잉크젯 프린팅되어 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 상기 압전 액츄에이터는 상기 압전체 액이 상기 압력챔버의 외부면과 반응하는 것을 방지하기 위해 형성되는 확산방지막을 구비하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 상기 확산방지막은 E-beam Evaporator, 화학적 증착(CVD: Chemical Vapor Deposition), 물리적 증착(PVD: Physical Vapor Deposition), 도금 및 스크린 프린팅 중 어느 하나를 사용하여 증착한 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 제조방법은 유입된 잉크의 노즐로의 토출을 위해 상기 잉크를 저장하는 압력챔버를 기판에 형성하는 단계; 상기 압력챔버에 대응되는 기판이 상기 압력챔버 방향으로 요홈 형성되는 압전 액츄에이터 수용부를 형성하는 단계; 및 상기 압전 액츄에이터 수용부에 점도가 있는 압전체 액이 충진되어 고화되고 상기 압력챔버에 상기 잉크의 토출 구동력을 제공하는 압전 액츄에이터가 상기 기판의 상면과 동일 평면 또는 상기 기판의 상면보다 낮은 평면을 이루면서 형성되도록 위치시키는 단계;를 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 제조방법의 상기 압전 액츄에이터 수용부는 둘레의 면 중 적어도 하나는 테이퍼를 형성하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 제조방법의 상기 압전 액츄에이터는 구동전압을 제공하는 상부 및 하부전극을 구비하고, 상기 상부전극과 상기 하부전극 사이에 구동력을 제공하는 압전체로 형성된 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 제조방법은 상기 압전 액츄에이터 하부에 상기 압전체 액이 상기 압력챔버의 외부면과 반응하는 것을 방지하기 위해 형성되는 확산방지막을 구비하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 제조방법의 상기 확산방지막은 E-beam Evaporator, 화학적 증착(CVD: Chemical Vapor Deposition), 물리적 증착(PVD: Physical Vapor Deposition), 도금 및 스크린 프린팅 중 어느 하나를 사용하여 증착한 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 제조방법의 상기 상부 및 하부전극 중 적어도 하나는 전극물질이 잉크젯 프린팅되어 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 제조방법의 상기 압전체는 압전체 액을 잉크젯 프린팅하고 고화시켜 형성하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 제조방법의 상기 압전체는 상기 압전체 액을 상기 압번 액츄에이터 수용부에 한번에 채워서 소결하거나, 일부를 채워 소결하고 다시 채우는 과정을 반복하는 것 중 어느 하나를 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 제조방법의 상기 하부전극은 전원을 공급하는 플랙시블 인쇄회로기판과 연결되기 위해 형성되는 배선이 구비된 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 제조방법의 상기 하부전극의 상기 배선은 전극물질이 잉크젯 프린팅되어 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 제조방법은 상기 액츄에이터의 다이폴의 방향을 일치시키기 위해 상기 상부 및 하부전극 사이에 전압을 인가하는 폴링단계;를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 잉크젯 프린트 헤드 및 잉크젯 프린트 헤드 제조방법에 의하면, 균일한 형상을 가진 압전 액츄에이터를 제조할 수 있어, 저전압에서 구동이 가능하고 구동효율 및 노즐 밀도를 증가시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 도시한 개략 절개 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 도시한 개략 단면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 도시한 개략 평면도.
도 4는 본 발명의 다른 일실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 도시한 개략 단면도.
도 5 내지 9은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 제조방법을 도시한 개략 단면 흐름도.
도 10은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 폴링공정을 도시한 개략 단면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 도시한 개략 단면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 도시한 개략 평면도.
도 4는 본 발명의 다른 일실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 도시한 개략 단면도.
도 5 내지 9은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 제조방법을 도시한 개략 단면 흐름도.
도 10은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 폴링공정을 도시한 개략 단면도.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시 형태를 상세하게 설명한다. 다만, 본 발명의 사상은 제시되는 실시 형태에 제한되지 아니하고, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서 다른 구성요소를 츄가, 변경, 삭제 등을 통하여, 퇴보적인 다른 발명이나 본 발명 사상의 범위 내에 포함되는 다른 실시 형태를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본원 발명 사상 범위 내에 포함된다고 할 것이다.
또한, 각 실시 형태의 도면에 나타나는 동일한 사상의 범위 내의 기능이 동일한 구성요소는 동일한 참조부호를 사용하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 도시한 개략 절개 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 도시한 개략 단면도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 도시한 개략 평면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드(100)는 상부기판(10), 압전 액츄에이터 수용부(20), 중간기판(30), 하부기판(40) 및 압전 액츄에이터(200)를 포함할 수 있다.
상부기판(10)는 복수개의 압력챔버(50)가 규칙적으로 형성되며, 잉크가 유입되기 위한 잉크유입구(15)가 마련된다. 이때, 상기 잉크유입구(15)는 매니폴드(60)와 직접적으로 연결되도록 제공되며, 상기 매니폴드(60)는 리스트릭터(70)를 통해서 압력챔버(50)로 잉크를 공급하는 역할을 한다.
이때, 상기 매니폴드(60)는 하나의 큰 공간으로 형성되어 복수개의 상기 압력챔버(50)에 각각 연결될 수 있으나 이에 한정하지 않으며 각 상기 압력챔버(50)에 대응되도록 복수개가 형성될 수 있다.
또한, 상기 매니폴드(60)는 상기 중간기판(30) 및 하부기판(40)에 내부 공간을 가지는 홈이 형성되어 마련될 수 있다.
상기 잉크유입구(15)도 마찬가지로 하나의 상기 매니폴드(60)에 대응해서 하나만 형성될 수 있으나, 복수개의 상기 매니폴드(60)가 형성되는 경우에 각 상기 매니폴드(60)에 대응하도록 복수개가 형성되는 것도 가능하다.
그리고, 압력챔버(50)는 후술할 압전 액츄에이터(200)가 장착되는 위치의 하부에 마련된다. 즉, 상기 상부기판(10) 내부에 형성되고, 유입된 잉크의 노즐(45)로의 토출을 위해 상기 잉크를 저장한다.
이때, 상기 상부기판(10) 중에서 상기 압력챔버(50)의 천장을 이루는 부분은 맴브레인(80) 역할을 한다.
여기서, 상기 압력챔버(50)에 대응되는 외부면, 즉 상기 맴브레인(80) 상에 상기 압력챔버(50) 방향으로 요홈 형성되는 상기 압전 액츄에이터 수용부(20)가 구비될 수 있으며, 상기 압전 액츄에이터 수용부(20)에 후술할 압전 액츄에이터(200)가 수용될 수 있다.
상기 압전 액츄에이터 수용부(20)의 깊이는 후술할 압전 액츄에이터(200)의 높이와 거의 동일하게 형성하여 전체적으로 상기 잉크젯 프린트 헤드(100)의 부피를 감소시키는 것이 바람직하다.
따라서, 잉크의 토출을 위해서 상기 압전 액츄에이터(200)에 구동 신호를 인가하면, 상기 압전 액츄에이터 수용부(20)에 수용된 상기 압전 액츄에이터(200)와 함께 그 아래의 맴브레인(80)이 변형되면서 상기 압력챔버(50)의 부피가 감소하게 된다.
이에 따른 상기 압력챔버(50)내의 압력 증가에 의해 상기 압력챔버(50)내의 잉크는 댐퍼(35)와 노즐(45)을 통해 외부로 토출된다.
상기 상부기판(10)은 상기 압력챔버(50)의 정확한 높이 설정을 위해, 식각 정지 층의 역할을 하는 중간 산화막이 형성되는 SOI(silicon on insulator) 기판을 사용할 수 있다.
상기 중간기판(30)는 길이방향으로 길게 형성되는 상기 매니폴드(60) 및 상기 노즐(45)과 상기 압력챔버(50)를 연결하는 댐퍼(35)를 포함할 수 있다.
상기 매니폴드(60)는 상기 잉크유입구(15)로부터 잉크를 공급받아 상기 압력챔버(50)로 잉크를 공급하는 데, 상기 매니폴드(60) 및 상기 압력챔버(50)는 리스트릭터(70)에 의해 서로 연결된다.
그리고, 댐퍼(35)는 상기 압력챔버(50)로부터 상기 압전 액츄에이터(200)에 의해서 토출되는 잉크를 전달받아 상기 노즐(45)을 통해서 외부로 토출시킨다.
또한, 댐퍼(35)는 다단 형상으로 형성될 수 있으며, 이러한 구조에 의해서 상기 압력챔버(50)로부터 받아들이는 잉크 양과 상기 노즐(45)로 진행되는 잉크 양을 조절할 수 있게 된다.
이때, 상기 댐퍼(35)는 선택사항으로 이를 삭제할 수 있으며, 이러한 경우는 상기 상부기판(10)와 후술할 하부기판(40)만으로도 잉크젯 프린트 헤드(100)를 구성할 수 있다.
하부기판(40)은 각 압력챔버(50)와 대응되도록 형성하며, 상기 댐퍼(35)를 지나는 잉크가 외부로 토출되도록 상기 노즐(45)을 형성한다. 그리고, 상기 하부기판(40)는 상기 중간기판(30) 하부에 접착된다.
상기 노즐(45)은 상기 잉크젯 프린트 헤드(100)내에 형성된 유로를 통해 이동하는 잉크를 액적으로 분사하게 된다.
이때, 상기 상부기판(10), 중간기판(30) 및 하부기판(40)는 반도체 집적 회로에 널리 사용되는 실리콘 기판이 사용될 수 있다. 그러나 상기 상부기판(10), 상기 중간기판(30) 및 상기 하부기판(40)의 재질은 실리콘 기판에 한정되지 않으며, 다양한 재료들이 적용될 수 있다.
상기 압전 액츄에이터(200)는 상기 압전 액츄에이터 수용부(20)에 수용되며, 점도가 있는 압전체 액이 충진되어 고화되고 상기 압력챔버(50)에 상기 잉크의 토출 구동력을 제공할 수 있다.
여기서, 상기 압전 액츄에이터(200)는 상기 압전 액츄에이터 수용부(20)에 수용됨으로써 상기 상부기판(10)과 동일 평면을 이루게 할 수 있으며, 이는 상기 맴브레인(80)의 두께를 낮춤으로써 구동효율이 증가될 수 있다.
또한, 상기 압전 액츄에이터 수용부(20)에 의해 상기 압전 액츄에이터(200)의 폭 및 높이를 일정하게 유지할 수 있으므로 균일한 형상을 가진 상기 압전 액츄에이터(200)를 형성할 수 있으며, 이는 상기 잉크젯 프린트 헤드(100)의 노즐 밀도를 높일 수 있는 효과가 있다.
상기 압전 액츄에이터(200)는 하부전극(220), 압전체(230) 및 상부전극(240)을 포함할 수 있으며, 상기 하부전극(220)은 상기 압력챔버(50)에 구동력을 제공하기 위한 구동전압을 제공하고, 상기 상부기판(10)상에 전극물질을 잉크젯 프린팅하여 형성될 수 있다.
상기 하부전극(220)은 Pt, Au, Ag, Ni, Ti 및 Cu 등의 물질중 어느 하나일 수 있다.
상기 하부전극(220)은 전원을 공급하는 플랙시블 인쇄회로기판(미도시)과 연결되기 위해 형성되는 배선(235)을 구비할 수 있으며, 상기 배선(235)은 전극물질이 잉크젯 프린팅되어 형성될 수 있다.
상기 압전체(230)는 상기 하부전극(220) 및 후술할 상부전극(240) 사이에서 점도가 있는 압전체 액이 잉크젯 프린팅 방식으로 고화되어 형성될 수 있다.
상기 압전체(230)는 전기적 에너지를 기계적 에너지로 또는 반대로 변환할 수 있는 요소이며, 그 재료로서 티탄산지르콘산납(Pb(Zr,Ti)O3 :PZT) 세라믹 재료로 이루어질 수 있다.
상기 압전체(230)에 전압이 인가되면, 상기 맴브레인(80)의 상하 변형으로 구동력이 수직 방향으로 전달된다. 이때의 구동력으로 상기 압력챔버(50) 내의 잉크가 상기 노즐(45)을 통해 외부로 토출될 수 있다.
상기 노즐(45)은 폭 방향으로 상기 하부기판(40)의 측면을 향하도록 형성되므로, 상기 잉크는 상기 압력챔버(50) 내의 구동력 전달 방향과 수직방향으로 토출될 수 있다.
상기 상부전극(240)은 상기 하부전극(220)과 마찬가지로 상기 압력챔버(50)에 구동력을 제공하기 위한 구동 전압을 제공하고, Pt, Au, Ag, Ni, Ti 및 Cu 등의 물질중 어느 하나의 물질일 수 있다.
또한, 상기 상부전극(240)은 상기 압전체(230)의 상부면에 잉크젯 프린팅, E-beam Evaporator, 화학적 증착(CVD: Chemical Vapor Deposition), 스퍼터링(Sputtering), 스크린프린팅 및 도금 등의 공정을 사용하여 형성할 수 있다.
상기 압전 액츄에이터(200)는 상기 압전체 액이 상기 압력챔버(50)의 외부면과 반응하는 것을 방지하기 위해 상기 압전 액츄에이터(200)와 상기 맴브레인(80) 사이에 확산방지막(210)을 구비할 수 있다.
여기서, 상기 확산방지막(210)은 E-beam Evaporator, 화학적 증착(CVD: Chemical Vapor Deposition), 물리적 증착(PVD: Physical Vapor Deposition), 도금 및 스크린 프린팅 중 어느 하나를 사용하여 증착할 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 도시한 개략 단면도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드(100)는 상기 압전 액츄에이터 수용부(20)의 둘레의 면 중 적어도 하나를 테이퍼지게 형성할 수 있으며, 그 외의 구성은 상기 일 실시예와 동일하므로 생략하기로 한다.
본 발명의 다른 일 실시예와 같이 상기 압전 액츄에이터 수용부(20)의 둘레의 면 중 적어도 하나를 테이퍼지게 형성함으로써 잉크젯 프린팅을 통한 상기 압전 액츄에이터(200)를 구성하는 과정에서 기공도를 줄일 수 있는 효과가 있다.
도 5 내지 도 10은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 제조방법을 도시한 개략 단면 흐름도이다.
도 5를 참조하면, 유입된 잉크의 노즐(45)로의 토출을 위해 상기 잉크를 저장하는 압력챔버(50)를 구비하고, 상기 압력챔버(50)의 대응되는 외부면에서 상기 압력챔버(50) 방향으로 요홈을 형성할 수 있다.
다시 말하면, 상기 압력챔버(50)에 대응되는 상기 상부기판(10)의 상기 맴브레인(80) 상에 상기 압력챔버(50) 방향으로 요홈을 형성할 수 있는 것이다.
상기 요홈은 상기 압전 액츄에이터(200)를 수용하는 압전 액츄에이터 수용부(20)일 수 있으며, 도 5b와 같이 상기 압전 액츄에이터 수용부(20)의 둘레의 면 중 적어도 하나를 테이퍼지게 형성할 수 있다.
도 6을 참조하면, 상기 압전 액츄에이터 수용부(20)의 상부면에 상기 압전체(230)의 소결시 상기 상부기판(10)과 반응하는 것을 방지하기 위해 확산방지막(210)을 형성할 수 있다.
상기 확산방지막(210)은 E-beam Evaporator, 화학적 증착(CVD: Chemical Vapor Deposition), 물리적 증착(PVD: Physical Vapor Deposition), 도금 및 스크린 프린팅 중 어느 하나를 사용하여 증착할 수 있다.
다만, 상기 확산방지막(210)은 상기 상부기판(10)과 반응하는 것을 방지하기 위해 형성하는 것이므로, 상기 확산방지막(210)을 구비하는 것이 바람직하나 반드시 필수적으로 요구되는 공정은 아니다.
도 7 내지 9를 참조하면, 상기 확산방지막(210)의 상부면 또는 상기 상부기판(10)의 맴브레인(80) 상부면에 상기 압전 액츄에이터(200)를 위치시킬 수 있다.
상기 압전 액츄에이터(200)는 도 7과 같이 하부전극(220)을 위치시키고, 도 8과 같이 압전체(230)를 고정하고, 도 9와 같이 상기 압전체(230) 상부면에 상부전극(240)을 결합할 수 있다.
상기 하부전극(220)은 전극물질이 잉크젯 프린팅되어 형성될 수 있고, 전원을 공급하는 플랙시블 인쇄회로기판(미도시)과 연결되기 위해 형성되는 배선(235)을 구비할 수 있으며, 상기 배선(235)은 전극물질이 잉크젯 프린팅되어 형성될 수 있다.
상기 압전체(230)는 상기 압전체 액을 잉크젯 프린팅하고 고화시켜 형성할 수 있으며, 상기 압전체 액을 상기 압전 액츄에이터 수용부(20)에 한번에 채워서 소결하거나, 일부를 채워 소결하고 다시 채우는 과정을 반복하여 형성할 수 있다.
이 경우 채우고 소결하는 과정을 반복하는 것이 기공도를 줄일 수 있으므로 한번에 채워서 소결하는 것보다 바람직하다.
상기 상부전극(240)은 상기 압전체(230) 상부면에 형성될 수 있으며, 잉크젯 프린팅, E-beam Evaporator, 화학적 증착(CVD: Chemical Vapor Deposition), 스퍼터링(Sputtering), 스크린프린팅 및 도금 등의 공정을 사용하여 형성할 수 있다.
도 10은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 폴링공정을 도시한 개략 단면도이다.
도 10을 참조하면, 상기 상부전극(240) 및 하부전극(220) 사이에 전압을 인가하는 폴링공정을 통해 상기 압전 액츄에이터(200)의 다이폴의 방향을 일치시킬 수 있다.
폴링이란 상기 상부전극(240)과 상기 하부전극(220) 사이에 전압을 인가하여 전기장을 발생시키고, 이 전기장에 의해 인접한 다이폴의 방향이 점차 일치하게 되는 과정으로 상기 폴링공정을 통해 상기 압전체(230)는 치밀해지고 전기적인 특성을 갖게 할 수 있다.
따라서, 상기 폴링공정을 통해 상기 압전체(230)는 상기 압전 액츄에이터(200)의 기능을 수행할 수 있다.
이상의 실시예를 통해, 요홈으로 형성된 상기 압전 액츄에이터 수용부(20)를 이용하여 상기 맴브레인(80)의 두께를 낮춤으로써 저전압 구동 성능 구현이 가능하고 구동 효율을 증가시킬 수 있다.
또한, 요홈으로 형성된 상기 압전 액츄에이터 수용부(20)에 의해 압전체(230)의 크기 및 부피를 일정하게 유지할 수 있으므로 균일한 형상을 가진 압전 액츄에이터(200)을 용이하게 형성할 수 있으며, 상기 잉크젯 프린트 헤드(100)의 노즐 밀도를 높일 수 있다.
100: 잉크젯 헤드 10: 상부기판
20: 압전 액츄에이터 수용부 30: 중간기판
35: 댐퍼 40: 하부기판
50: 압력챔버 80: 맴브레인
200: 압전 액츄에이터 210: 확산방지막
220: 하부전극 230: 압전체
240: 상부전극
20: 압전 액츄에이터 수용부 30: 중간기판
35: 댐퍼 40: 하부기판
50: 압력챔버 80: 맴브레인
200: 압전 액츄에이터 210: 확산방지막
220: 하부전극 230: 압전체
240: 상부전극
Claims (28)
- 유입된 잉크의 노즐로의 토출을 위해 상기 잉크를 저장하는 압력챔버;
상기 압력챔버에 대응되는 외부면에서 상기 압력챔버 방향으로 요홈 형성되는 압전 액츄에이터 수용부; 및
상기 압전 액츄에이터 수용부에 점도가 있는 압전체 액이 충진되어 고화되고 상기 압력챔버에 상기 잉크의 토출 구동력을 제공하는 압전 액츄에이터;를 포함하고,
상기 압전 액츄에이터는 상기 압전 액츄에이터 수용부 내부에 구비되는 잉크젯 프린트 헤드.
- 제1항에 있어서,
상기 압전 액츄에이터 수용부의 둘레의 면 중 적어도 하나는 테이퍼를 형성하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드.
- 제1항에 있어서,
상기 압전 액츄에이터는 상기 압전체 액이 잉크젯 프린팅되어 형성되는 압전체를 구비하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드.
- 제1항에 있어서,
상기 압전 액츄에이터는 구동전압을 제공하는 상부 및 하부전극을 구비하며, 상기 상부 및 하부전극 중 적어도 하나는 전극물질이 잉크젯 프린팅되어 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드.
- 제4항에 있어서,
상기 하부전극은 전원을 공급하는 플랙시블 인쇄회로기판과 연결되기 위해 형성되는 배선이 구비된 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드.
- 제5항에 있어서,
상기 배선은 전극물질이 잉크젯 프린팅되어 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드.
- 제1항에 있어서,
상기 압전 액츄에이터는 상기 압전체 액이 상기 압력챔버의 외부면과 반응하는 것을 방지하기 위해 형성되는 확산방지막을 구비하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드.
- 제7항에 있어서,
상기 확산방지막은 E-beam Evaporator, 화학적 증착(CVD: Chemical Vapor Deposition), 물리적 증착(PVD: Physical Vapor Deposition), 도금 및 스크린 프린팅 중 어느 하나를 사용하여 증착한 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드.
- 유입된 잉크의 노즐로의 토출을 위해 상기 잉크를 저장하는 압력챔버가 형성되는 상부기판;
상기 압력챔버에 대응되는 상기 상부기판이 상기 압력챔버 방향으로 요홈 형성되는 압전 액츄에이터 수용부;
상기 압전 액츄에이터 수용부에 점도가 있는 압전체 액이 충진되어 고화되고 상기 압력챔버에 상기 잉크의 토출 구동력을 제공하는 압전 액츄에이터; 및
상기 압력챔버와 연통되고 상기 잉크의 토출을 위해 형성되는 노즐을 구비하는 하부기판;을 포함하고,
상기 압전 액츄에이터의 상면은 상기 상부기판의 상면과 동일 평면 또는 상기 상부기판의 상면보다 낮은 평면을 이루도록 형성되는 잉크젯 프린트 헤드.
- 제9항에 있어서,
상기 압전 액츄에이터 수용부의 둘레의 면 중 적어도 하나는 테이퍼를 형성하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드.
- 제9항에 있어서,
상기 압전 액츄에이터는 상기 압전체 액이 잉크젯 프린팅되어 형성되는 압전체를 구비하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드.
- 삭제
- 제9항에 있어서,
상기 압전 액츄에이터는 구동전압을 제공하는 상부 및 하부전극을 구비하며, 상기 상부 및 하부전극 중 적어도 하나는 전극물질이 잉크젯 프린팅되어 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드.
- 제13항에 있어서,
상기 하부전극은 전원을 공급하는 플랙시블 인쇄회로기판과 연결되기 위해 형성되는 배선이 구비된 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드.
- 제14항에 있어서,
상기 배선은 전극물질이 잉크젯 프린팅되어 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드.
- 제9항에 있어서,
상기 압전 액츄에이터는 상기 압전체 액이 상기 압력챔버의 외부면과 반응하는 것을 방지하기 위해 형성되는 확산방지막을 구비하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드.
- 제16항에 있어서,
상기 확산방지막은 E-beam Evaporator, 화학적 증착(CVD: Chemical Vapor Deposition), 물리적 증착(PVD: Physical Vapor Deposition), 도금 및 스크린 프린팅 중 어느 하나를 사용하여 증착한 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드.
- 유입된 잉크의 노즐로의 토출을 위해 상기 잉크를 저장하는 압력챔버를 기판에 형성하는 단계;
상기 압력챔버에 대응되는 기판이 상기 압력챔버 방향으로 요홈 형성되는 압전 액츄에이터 수용부를 형성하는 단계; 및
상기 압전 액츄에이터 수용부에 점도가 있는 압전체 액이 충진되어 고화되고 상기 압력챔버에 상기 잉크의 토출 구동력을 제공하는 압전 액츄에이터가 상기 기판의 상면과 동일 평면 또는 상기 기판의 상면보다 낮은 평면을 이루면서 형성되도록 위치시키는 단계;를 포함하는 잉크젯 프린트 헤드 제조방법.
- 제18항에 있어서,
상기 압전 액츄에이터 수용부는 둘레의 면 중 적어도 하나는 테이퍼를 형성하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드 제조방법.
- 제18항에 있어서,
상기 압전 액츄에이터는 구동전압을 제공하는 상부 및 하부전극을 구비하고, 상기 상부전극과 상기 하부전극 사이에 구동력을 제공하는 압전체로 형성된 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드 제조방법.
- 제18항에 있어서,
상기 압전 액츄에이터 하부에 상기 압전체 액이 상기 압력챔버의 외부면과 반응하는 것을 방지하기 위해 형성되는 확산방지막을 구비하는 단계;를 더 포함하는 잉크젯 프린트 헤드 제조방법.
- 제21항에 있어서,
상기 확산방지막은 E-beam Evaporator, 화학적 증착(CVD: Chemical Vapor Deposition), 물리적 증착(PVD: Physical Vapor Deposition), 도금 및 스크린 프린팅 중 어느 하나를 사용하여 증착한 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드 제조방법.
- 제20항에 있어서,
상기 상부 및 하부전극 중 적어도 하나는 전극물질이 잉크젯 프린팅되어 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드 제조방법.
- 제20항에 있어서,
상기 압전체는 압전체 액을 잉크젯 프린팅하고 고화시켜 형성하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드 제조방법.
- 제24항에 있어서,
상기 압전체는 상기 압전체 액을 상기 압전 액츄에이터 수용부에 한번에 채워서 소결하거나, 일부를 채워 소결하고 다시 채우는 과정을 반복하는 것 중 어느 하나를 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드 제조방법.
- 제20항에 있어서,
상기 하부전극은 전원을 공급하는 플랙시블 인쇄회로기판과 연결되기 위해 형성되는 배선이 구비된 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드 제조방법.
- 제26항에 있어서,
상기 배선은 전극물질이 잉크젯 프린팅되어 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드 제조방법.
- 제20항에 있어서,
상기 압전 액츄에이터의 다이폴의 방향을 일치시키기 위해 상기 상부 및 하부전극 사이에 전압을 인가하는 폴링단계;를 더 포함하는 잉크젯 프린트 헤드 제조방법.
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| JP6767666B2 (ja) * | 2016-01-29 | 2020-10-14 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに液体噴射装置の製造方法 |
| CN109341843B (zh) * | 2018-11-08 | 2020-03-06 | 吉林大学 | 一种微振动传感器及其制备方法 |
| CN111216452B (zh) * | 2018-11-27 | 2021-08-17 | 西安增材制造国家研究院有限公司 | 一种压电式mems喷墨打印头及制作方法 |
| CN111038105B (zh) * | 2019-12-19 | 2021-09-07 | 西安增材制造国家研究院有限公司 | 一种压电式喷墨打印头 |
| CN111016432A (zh) * | 2019-12-19 | 2020-04-17 | 西安增材制造国家研究院有限公司 | 一种压电式打印头及其制作方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100438836B1 (ko) * | 2001-12-18 | 2004-07-05 | 삼성전자주식회사 | 압전 방식의 잉크젯 프린트 헤드 및 그 제조방법 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3171958B2 (ja) * | 1992-10-23 | 2001-06-04 | 富士通株式会社 | インクジェットヘッド |
| JP2004006645A (ja) * | 2002-04-19 | 2004-01-08 | Seiko Epson Corp | 圧電体素子の製造方法、圧電体素子並びに液滴吐出式記録ヘッド |
| KR100580654B1 (ko) * | 2004-10-29 | 2006-05-16 | 삼성전자주식회사 | 노즐 플레이트와 이를 구비한 잉크젯 프린트헤드 및 노즐플레이트의 제조 방법 |
| JP5088916B2 (ja) * | 2005-10-28 | 2012-12-05 | 富士フイルム株式会社 | 無機膜基板の製造方法 |
| JP2007181971A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-07-19 | Konica Minolta Holdings Inc | 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
| JP2008177192A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Seiko Epson Corp | 圧電素子、圧電素子の製造方法及び電子機器 |
| KR100997985B1 (ko) * | 2008-07-28 | 2010-12-03 | 삼성전기주식회사 | 잉크젯 헤드 구동부 및 그 제작방법 |
-
2010
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Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100438836B1 (ko) * | 2001-12-18 | 2004-07-05 | 삼성전자주식회사 | 압전 방식의 잉크젯 프린트 헤드 및 그 제조방법 |
Also Published As
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