CN111572192B - 液体喷射头、以及液体喷射装置 - Google Patents

液体喷射头、以及液体喷射装置 Download PDF

Info

Publication number
CN111572192B
CN111572192B CN202010088298.1A CN202010088298A CN111572192B CN 111572192 B CN111572192 B CN 111572192B CN 202010088298 A CN202010088298 A CN 202010088298A CN 111572192 B CN111572192 B CN 111572192B
Authority
CN
China
Prior art keywords
liquid
nozzle row
nozzle
chamber
head
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202010088298.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111572192A (zh
Inventor
泷野文哉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Publication of CN111572192A publication Critical patent/CN111572192A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111572192B publication Critical patent/CN111572192B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/175—Ink supply systems ; Circuit parts therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/18—Ink recirculation systems
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
    • B41J2002/14241—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm having a cover around the piezoelectric thin film element
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14362—Assembling elements of heads
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14419—Manifold
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14491—Electrical connection
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
    • B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/12—Embodiments of or processes related to ink-jet heads with ink circulating through the whole print head
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
    • B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/20—Modules

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Ink Jet (AREA)

Abstract

本发明提供一种能够减少使头单元内部的增稠的液体或气泡强制性地从喷嘴排出的维护动作的次数，并减少在该维护动作中消耗的液体的量的液体喷射头以及液体喷射装置。液体喷射头(2)在与第一方向正交的第二方向上并排设置有多个从喷嘴(8)向在第一方向上相对移动的介质喷射液体的头单元(10)，头单元具备：喷嘴列(7)，其沿着与第一方向和第二方向交叉的第三方向而并排设置有多个喷嘴；压力室，其与喷嘴连通；压力产生元件(27)，其与使压力室内部的液体产生压力变化；供给液室(40)，其与多个压力室连通，并被导入有向各压力室供给的液体；流入口(38)，其使液体向头单元内部流入；流出口(44)，其使液体向头单元外部流出。

Description

液体喷射头、以及液体喷射装置
技术领域
本发明涉及一种喷墨式记录头等的液体喷射头、具备该液体喷射头的液体喷射装置，尤其是，涉及一种使液体在液体贮留部件之间进行循环的液体喷射头、以及液体喷射装置。
背景技术
液体喷射装置为，具备液体喷射头、并将各种液体作为液滴而从该液体喷射头喷射(喷出)的装置。虽然作为该液体喷射装置，例如存在有喷墨式打印机或喷墨式标绘器等的图像记录装置，但是最近也被应用于各种制造装置中从而发挥能够使极少量的液体准确地喷落在预定位置上这一特长。例如，被应用于制造液晶显示器等的彩色滤波器的显示器制造装置、形成有机EL(Electro Luminescence：电致发光)显示器或FED(面发光显示器)等的电极的电极形成装置、制造生物芯片(生物化学元件)的芯片制造装置中。而且，在图像记录装置用的记录头中，喷射包含颜色材料的液体，并在显示器制造装置用的颜色材料喷射头中，喷射包含R(Red：红色)、G(Green：绿色)、B(Blue：蓝色)等的各种颜色材料的液体。此外，在电极形成装置用的电极材喷射头中，喷射包含电极材料的液体，在芯片制造装置用的生物体有机物喷射头中，喷射包含生物体有机物的液体。
作为上述的液体喷射头，存在有如下的液体喷出头，所述液体喷出头具备并排设置有多个喷嘴的喷嘴基板、形成有多个独立地与各个喷嘴连通的压力室(或者也被称为压力产生室或空腔)的基板、形成有在导入来自液体贮留部件的液体的各个压力室中共用的供给液室(或者也被称为贮液器或歧管)的基板、使压力室内的液体产生压力振动、换言之使之产生压力变化的压电元件等的压力产生元件(或者也被称为驱动元件或致动器)。此外，在具备这样的液体喷射头的液体喷射装置中，存在有一种如下的液体喷射装置，该液体喷射装置为，在与输送方向正交的方向上并排配置有多个头主体(或者头单元)的结构，所述头主体具有喷嘴在相对于介质被输送的方向而倾斜的方向上并排配置而形成的喷嘴列(例如，参照专利文献1)。在该结构中，从对液体进行贮留的液体罐或液体盒等的液体贮留部件至液体喷射头的喷嘴为止的液体的流动的路径是单向流动的，从而被临时供给至液体喷射头的液体会停留在该液体喷射头的内部的流道中，直至从喷嘴中被排出为止。
在上述结构中，在液体喷射头的内部的流道内混入了气泡的情况下，该气泡将难以通过狭小的流道，而且，由于浮力的作用，从而在由驱动压力产生元件所实现的通常的液体喷射动作中，该气泡难以从喷嘴被排出。因此，为了将该气泡排出，从而需要实施如下的所谓清洗动作，即，在通过帽盖来密封被形成有喷嘴的面(以下，也称为喷嘴面)的状态下，在帽盖内的空间与液体喷射头的流道内部之间，通过泵等而使之产生压力差，从而使气泡与液体一起从喷嘴向帽盖内排出的动作。然后，与之相应地，存在有在该清洗动作中消耗了液体这一问题。
专利文献1：日本特开2015-136866号公报
发明内容
本发明的液体喷射头是为了实现上述目的而提出的，其为在与第一方向正交的第二方向上并排设置有多个从喷嘴向在所述第一方向上实施相对移动的介质喷射液体的头单元的液体喷射头，其中，
所述头单元具备：
第一喷嘴列，其沿着与所述第一方向和所述第二方向交叉的第三方向而并排设置有多个所述喷嘴；
压力室，其与所述喷嘴连通；
压力产生元件，其使所述压力室内的液体产生压力变化；
供给液室，其与多个所述压力室连通，并被导入有向各个压力室供给的液体；
流入口，其使液体向所述头单元内部流入；
流出口，其使液体向所述头单元外部流出。
附图说明
图1为对液体喷射装置的结构的一个方式进行说明的示意图。
图2为对液体喷射头的一个方式的结构进行说明的分解立体图。
图3为共同配线基板的俯视图。
图4为对共同配线基板和各个头单元的配线部件的配置布局进行说明的示意图。
图5为头单元的一个方式的结构的分解立体图。
图6为头单元的V方向上的剖视图。
图7为从+Z方向进行观察时的第一实施方式中的液体喷射头的俯视图。
图8为对第一实施方式中的喷嘴列间的喷嘴的位置关系进行说明的示意图。
图9为从+Z方向进行观察时的第一实施方式的第一变形例中的液体喷射头的俯视图。
图10为对第一实施方式的第一变形例中的喷嘴列间的喷嘴的位置关系进行说明的示意图。
图11为从+Z方向进行观察时的第一实施方式的第三变形例中的液体喷射头的俯视图。
图12为第一实施方式的第三变形例中的头单元的剖视图。
图13为对第一实施方式的第三变形例中的喷嘴列间的喷嘴的位置关系进行说明的示意图。
图14为从+Z方向进行观察时的第二实施方式中的液体喷射头的俯视图。
图15为从+Z方向进行观察时的第二实施方式的第一变形例中的液体喷射头的俯视图。
图16为从+Z方向进行观察时的第三实施方式中的液体喷射头的俯视图。
图17为从+Z方向进行观察时的头单元的俯视图。
图18为从+Z方向进行观察时的第四实施方式中的液体喷射头的俯视图。
图19为从+Z方向进行观察时的头单元的俯视图。
图20为从+Z方向进行观察时的第五实施方式中的液体喷射头的俯视图。
图21为从+Z方向进行观察时的头单元的俯视图。
具体实施方式
以下，参照附图来对用于实施本发明的方式进行说明。另外，虽然在下文所叙述的实施方式中，作为本发明的优选的具体例而进行了各种各样的限定，但是本发明的范围只要在以下的说明中没有特别地对本发明进行限定的记载，则并未被限定于这些方式。此外，以下的说明是，作为本发明所涉及的液体喷射装置1的一个方式而列举了搭载有作为液体喷射头的一种的喷墨式记录头(液体喷射头2)的喷墨式记录装置为示例来进行的。
图1为，对液体喷射装置1的结构的一个方式进行说明的示意图。本实施方式中的液体喷射装置1为，使作为一种液体的油墨的液滴喷射或喷落在记录纸张等的介质M上，并通过被形成于该介质上的点的排列，从而进行图像等的印刷的喷墨方式的印刷装置。在下文中，在相互正交的X方向、Y方向以及Z方向之中，将介质M的输送方向、也就是介质M和液体喷射头2的相对移动方向设为Y方向(相当于本发明中的第一方向)，将与该输送方向正交的方向设为X方向(相当于本发明中的第二方向)，将与XY平面正交的方向设为Z方向。此外，将多个后述的喷嘴8并排设置而成的喷嘴列7的方向、即与Z方向正交并且相对于X方向以及Y方向而分别倾斜的方向、且并排设置有后述的喷嘴8的方向(换而言之，为喷嘴列方向)设为W方向(相当于本发明中的第三方向)。而且，将与W方向以及Z方向正交的方向适当地设为V方向(相当于本发明中的第四方向)。此外，将表示方向的箭头标记的顶端侧设为(+)方向，将表示方向的箭头标记的基端侧设为(-)方向。另外，在以下的各附图中所示出的、W方向相对于X方向以及Y方向的倾斜的角度与实际情况并不一定相一致，是根据液体喷射装置1的规格等而被设定的。
液体喷射装置1具备：液体喷射头2，其具备多个喷嘴列7；液体贮留部件3；输送机构4，其对介质M进行输送；泵6，其使油墨在液体喷射头2与液体贮留部件3之间循环；控制单元5，其对液体喷射装置1的各部进行控制。控制单元5包括例如CPU(Central ProcessingUnit：中央处理单元)或FPGA(Field Programmable Gate Array：现场可编程门阵列)等的处理电路和半导体存储器等的存储电路，并且对液体喷射装置1中的输送机构4、泵6以及液体喷射头2等进行总括控制。输送机构4在由控制单元5实施的控制下，将介质M在Y方向上从供纸侧朝向排纸侧进行输送。即，输送机构4使液体喷射头2和介质M在Y方向上进行相对移动。液体贮留部件3为，对从液体喷射头2被喷射的油墨进行贮留的、可能采取罐状、盒状或袋状的各种形态的液体贮留部件。而且，通过作为输液机构而发挥功能的泵6的驱动，从而使油墨在液体贮留部件3与液体喷射头2之间循环。另外，也可以在液体贮留部件3与液体喷射头2之间，另行设置成为缓冲器的液体贮留部件。此外，也能够采用不使油墨在液体贮留部件3与液体喷射头2之间循环，而是独立地使油墨在后述的各个头单元10中循环的结构。
图2为，液体喷射头2的一个方式的分解立体图。本实施方式中的液体喷射头2在X方向上并排具备多个头单元10，各个头单元(换而言之，为单位头)10所分别具有的喷嘴8在X方向上以固定的间距而排列。而且，如图1所示，通过以X方向上的喷嘴8的排列的全长成为介质M的最大宽度以上的方式使液体喷射头2在X方向上并排有多个，从而构成了所谓行式头。另外，虽然在图2中，图示了具备六个头单元10的结构，但该头单元10的数量并未被限定于例示的数量，如后文所述的各个实施方式那样，能够根据液体喷射装置1的规格等而进行增减。此外，虽然在图1中，图示了具备六个液体喷射头2的结构，但该液体喷射头2的数量并未被限定于例示的数量，能够根据液体喷射装置1的规格等而进行增减。而且，也能够通过以X方向上的喷嘴8的排列的全长成为介质M的最大宽度以上的方式使单一的液体喷射头长条化而构成行式头。
本实施方式中的液体喷射头2具备多个头单元10、共同配线基板11、流道单元12和固定板13。更具体而言，各个头单元10以在X方向上并排配置的状态与固定板13接合，流道单元12以及共同配线基板11依次被层叠在各个头单元10之上。在各个头单元10上，分别设置有配线部件14，所述配线部件14的一个端部与后述的压电元件27电连接。配线基板14为，使各个头单元10的压电元件27和共同配线基板11电连接的、例如COF(Chip On Film：覆晶薄膜)等的具有可挠性的配线材料。各个配线部件14被插穿在形成于流道单元12中的配线插穿口16内，且其另一端部与共同配线基板11电接合。
图3为，共同配线基板11的俯视图。此外，图4为，对共同配线基板11和各个头单元10的配线部件14的配置布局进行说明的示意图，且为相当于图3中的A-A线剖面的图。另外，在图4中，省略了流道单元12、固定板13的开口部22的图示、以及与后述的配线部件14-3、14-4相对应的区域的图示(换而言之，为液体喷射头2的X方向上的中央部分)。此外，在图3中，将左上侧设为X方向上的一方(或者一侧)，将右下侧设为X方向上的另一方(或者另一侧)，而且，将上侧设为W方向上的一方(或者一侧)，将下侧设为W方向上的另一方(或者另一侧)。同样地，在图4中，将左侧设为V方向上的一方(或者一侧)，将右侧设为V方向上的另一方(或者另一侧)。但是，将各个部件中的各方向上的一方的端部适当设为一端，而且，将各个部件中的各方向上的另一方的端部适当设为另一端。
共同配线基板11为，设置有使未图示的印刷配线、或用于与控制单元5电连接的未图示的FFC等的配线连接的连接器15的基板。在本实施方式中，在共同配线基板11的上表面、也就是与和流道单元12对置的下表面相反的面上，以与各个头单元10相对应的方式而设置有多个基板端子部19，所述基板端子部19在W方向上并排设置有用于与各个头单元10的配线基板14电连接的多个端子。在W方向上，从基板端子部19的一端起至共同配线基板11的一端(换而言之，共同配线基板11的Y方向上的一个侧边缘)为止的距离d在各个基板端子部19中固定地对齐。也就是说，各个基板端子部19在X方向上沿着共同配线基板11的侧边缘而被并排设置。此外，在共同配线基板11的X方向的两侧边缘处，形成有凹状的切口部18。W方向上的切口部18的尺寸被设定为，稍大于配线部件14的W方向上的横向宽度。在该切口部18中，配置有与多个头单元10中的位于X方向的两端部上的头单元10相连接的配线部件14(在本实施方式中，为配线部件14-1以及配线部件14-6)。其中，相对于X方向上的一方的切口部18而在V方向上的另一方相邻地形成有基板端子部19，同样地，相对于X方向上的另一方的切口部18而在V方向上的一方相邻地形成有基板端子部19。即，相对于各个切口部18而言，在附图中，以在由点C2所示的共同配线基板11的中心侧相邻的状态下分别形成有基板端子部19。此外，在X方向上共同配线基板11的各个切口部18之间的区域中，以与基板端子部19分别对应的方式而形成有配线插入口17，在所述配线插入口17中插入有各个头单元10中的除了位于X方向上的两端部的头单元10之外的剩余的头单元10的配线部件14。关于配线插入口17和基板端子部19的位置关系，从X方向上的一端数起第偶数个基板端子部19相对于配线插入口17而位于X方向的一方，第奇数个的基板端子部19相对于配线插入口17而位于X方向的另一方。
配线部件14具有第一连接部14a、第二连接部14b和中继部14c。第一连接部14a以及第二连接部14b为，位于配线部件14的两端的部分。即，在配线部件14中，中继部14c位于第一连接部14a与第二连接部14b之间。如图4所示那样，第一连接部14a和第二连接部14b在与中继部14c之间的分界处，以相互成为相反朝向的方式而被折弯。第一连接部14a与后述的头单元10的各个压电元件27电连接。在第二连接部14b上，形成有配线端子部20，所述配线端子部20由与共同配线基板11的基板端子部19电连接的多个端子并排设置而成。此外，在中继部14c上搭载有IC芯片14d。IC芯片14d基于从共同配线基板11被供给的控制信号以及电源电压而对驱动信号的向各个压电元件27的施加进行控制。
在上述结构中，从X方向上的一端数起被配置为第奇数个的配线部件14-1、14-3、14-5、和同样地被配置为第偶数个的配线部件14-2、14-4、14-6如图3所示那样，在从Z方向进行观察时被配置在成为点对称的方向上。即，如图4所示那样，第奇数个配线部件14-1和第偶数个配线部件14-2以点C1为中心而被配置为点对称，所述点C1为，穿过作为共同配线基板11的中心点的点C2并在X方向上延伸的假想中心线、和在两者被连接在一起的基板端子部19之间在W方向上延伸的假想中心线的交点。换而言之，在从W方向进行观察时，配线部件14-1和配线部件14-2相对于在两者被连接在一起的各个基板端子部19之间在Z方向上延伸的假想线而被配置为线对称。同样地，第奇数个配线部件14-3和第偶数个的配线部件14-4相对于点C2而被配置为点对称，且在从W方向进行观察时，相对于在Z方向上延伸的假想线而被配置为线对称。此外，第奇数个的配线部件14-5和第偶数个的配线部件14-6相对于点C3而被配置为点对称，且在从W方向进行观察时，相对于在Z方向上延伸的假想线而被配置为线对称。也就是说，相邻的第奇数个配线部件14和第偶数个配线部件14在使彼此的第二连接部14b的顶端相向的状态下被配置。另外，在与共同配线基板11连接的配线部件14的数量为奇数的情况下，位于X方向上的两端部的配线部件14只要在如下状态下被配置为点对称即可，所述状态为，使以沿着共同配线基板11的配线面(即，在本实施方式中，为上表面)的方式被弯曲的第二连接部14b的顶端彼此互相相向的状态。
由于通过采用这样的结构，而使与共同配线基板11连接的多个配线部件14中的位于X方向上的两端部的各个配线部件14中的第二连接部14b的顶端在X方向上朝向内侧(即，共同配线基板11的中心侧)，因此在共同配线基板11上，无需在位于X方向上的两端部的各个配线部件14的外侧处配置配线或端子等的空间，从而与该量相对应地，能够使共同配线基板11小型化，其结果为，有助于液体喷射头2的小型化。也就是说，如图4所示那样，在X方向上，能够将共同配线基板11的长度Lc收敛在各个头单元10的配置范围内(在图4中，为Lh所示的范围)。由此，在将多个液体喷射头2并排配置在X方向上时，能够在共同配线基板11彼此发生不干涉的条件下使液体喷射头2彼此更加接近。其结果为，能够将具备多个液体喷射头2的各个头单元10的喷嘴8配置为，作为整体而以固定的间距并排在X方向上。此外，由于能够使各个头单元10的配线基板14共同化，因此能够抑制与之相对应的量的成本。
被配置于共同配线基板11与各个头单元10之间的流道单元12为，在内部形成有流道的结构体，并将从供给口21被供给的油墨分配给各个头单元10。固定板13为对头单元10进行支承的平板状的部件，并且由例如不锈钢等的金属板形成。在该固定板13中，形成有与多个头单元10相对应的多个开口部22。该开口部22被构成为，当各个头单元10以被定位的状态被接合在固定板13上时，各个头单元10的喷嘴8露出于固定板13的下表面、即露出于在印刷动作时与介质M对置的面。另外，虽然在该图中，图示了具备六个头单元10的结构，但该头单元10的数量并未被限定于例示的数量，而是如后述的各个实施方式那样，能够根据液体喷射装置1的规格等而进行增减。
图5为，头单元10的一个方式的分解立体图。此外，图6为，头单元10的V方向上的剖视图。另外，在图5中，省略了配线部件14的图示。本实施方式中的头单元10具备被形成有各种流道的流道基板24、被形成有压力室25的压力室基板26、对压电元件27进行保护的保护基板28、和具有在各个喷嘴8中共同的液室(后述)的共同流道基板29。
本实施方式中的流道基板24例如由单晶硅基板等形成，并且具有共同导入液室39、第一独立连通通道45、喷嘴连通通道46、第二独立连通通道47、以及共同导出液室41。在该流道基板24的Z方向的上表面上，以依次层叠的状态而接合有压力室基板26以及保护基板28，进一步地，如后文所述那样，以将压力室基板26以及保护基板28收纳于配线空部31中的状态而接合有共同流道基板29。此外，在流道基板24的Z方向的下表面上，在X方向的中央部处接合有喷嘴基板35，并在将该喷嘴基板35夹在中间的两侧处接合有第一可塑性基板36以及第二可塑性基板37。
共同导入液室39为，沿着并排设置有喷嘴8的喷嘴列方向、换而言之沿着W方向而延伸并与多个压力室25连通的液室。流道基板24的上表面上的共同导入液室39的开口与共同流道基板29的导入液室32连通。此外，流道基板24的下表面上的共同导入液室39的开口通过与该下表面接合的后述的第一可塑性基板36而被封闭。第一独立连通通道45为，独立地使被形成于压力室基板26中的多个压力室25和共同导入液室39(即，供给液室40)连通的流道，并且以与各个压力室25相对应的方式而被设置有多个。换而言之，第一独立连通通道45为，从供给液室40起与各个压力室25连通的流道。该第一独立连通通道45与从液体贮留部件3起朝向压力室25的流道中的其他的部分相比流道截面面积被设定得较小，从而相对于穿过该第一独立连通通道45的油墨而施加了流道阻力。
喷嘴连通通道46为贯穿流道基板24的厚度方向的流道，并且使与流道基板24的下表面接合的喷嘴基板35的喷嘴8、和与该喷嘴8相对应的压力室25连通。第二独立连通通道47为，针对每个喷嘴8而以相对应的方式独立形成的流道。该第二独立连通通道47的一端与喷嘴连通通道46连通，而且，第二独立连通通道47的另一端与共同导出液室41(换而言之，后述的排出液室43)连通。而且，本实施方式中的第一独立连通通道45、压力室25、喷嘴连通通道46以及第二独立连通通道47为，针对每个喷嘴8而被独立设置的独立流道。
共同导出液室41为沿着W方向而延伸的液室，并且经由第二独立连通通道47而与多个喷嘴8连通。即，共同导出液室41为，在多个喷嘴8中共同的液室。该共同导出液室41的流道基板24中的上表面侧的开口与共同流道基板29的导出液室33连通。共同导出液室41的流道基板24的下表面侧的开口通过第二可塑性基板37而被封闭。
压力室基板26为在从Z方向进行的俯视观察时与流道基板29相比面积较小的板状部件，并且与流道基板29同样地由单晶硅基板等形成。被形成于该压力室基板26中的压力室25为在与W方向正交的V方向上呈长条的液室，且向压力室基板26的下表面开口。通过压力室基板26与流道基板24的上表面接合，从而使该开口被堵塞，进而构成了压力室25。压力室25的V方向上的一个端部(图6中右侧的端部)经由流道基板24的第一独立连通通道45而与共同导入液室39(换而言之，后述的供给液室40)连通。此外，压力室25的V方向上的另一端部(图6中左侧的端部)经由流道基板24的喷嘴连通通道46而与喷嘴基板35的喷嘴8连通。
在压力室基板26上，在压力室25的上表面侧设置有具有可挠性的振动板23。该振动板23为，以能够根据作为压力产生元件而发挥功能的压电元件27的驱动而进行位移的方式被形成为薄板状的部分。而且，在振动板23上的与各个压力室25相对应的部分上，分别形成有压电元件27。各个压电元件27为，以独立地与压力室25相对应的方式被设置且接受来自控制单元5的驱动信号而进行变形的驱动元件。通过振动板23随着该压电元件27的变形而变形，从而使压力室25的容积增减，并由此在压力室25内的油墨中产生压力振动(换而言之，为压力变化)。在头单元10中，利用该压力振动而从喷嘴8喷射液滴、即油墨滴。
第一可塑性基板36为，用于在从各个喷嘴8喷射油墨滴时吸收从各个压力室25侧传递至后述的供给液室40内的压力振动，从而抑制各个喷嘴8之间的喷射特性(即，油墨滴的量或喷射速度等)的偏差的基板。该第一可塑性基板36或后述的第二可塑性基板37具有拥有可挠性的薄片状的未图示的薄膜(例如，由聚苯硫醚(PPS)、芳香族聚酰胺(aramid)等形成的薄膜)。该薄膜通过根据液室内的油墨的压力振动而进行位移，从而吸收该压力振动。
喷嘴基板35被接合于流道基板24的下表面上，从而对喷嘴连通通道46以及第二独立连通通道47的开口进行封闭。本实施方式中的喷嘴基板35通过针对例如硅(Si)的单结晶基板而实施干法蚀刻或湿法蚀刻等，从而以预定的间距而并排设置了多个喷嘴8，从而构成了喷嘴列7。喷嘴8为喷射油墨的圆形形状的贯穿孔，并能够采用众所周知的各种形状。另外，虽然在图5以及图6中，在喷嘴基板35上仅图示出了一列喷嘴列7，但如后文所述，也存在采用设置有两列喷嘴列7的结构的情况(参照图12)。
在保护基板28中，以与被设置于压力室基板26的振动板23上的各个压电元件27的形成区域相对应的方式而形成有凹状的收纳空部48。该保护基板28以在收纳空部48内对压电元件27进行收纳的方式而与压力室基板26的上表面接合。此外，保护基板28具有贯穿基板厚度方向的配线用贯穿口49，用以设置与从压电元件27引出的引线电极30连接的配线基板14。
共同流道基板29在中央部分处具有贯穿高度方向(即，Z方向)的配线空部31。此外，在共同流道基板29与流道基板24接合的状态下，在共同流道基板29的配线空部31中，以层叠的方式配置有被设置于流道基板24的上表面上的压力室基板26以及保护基板28。此外，在该配线空部31中，配置有与压电元件27连接的配线部件14。
在共同流道基板29中，在配线空部31的X方向的两侧处分别形成有导入液室32以及导出液室33。导入液室32开口于共同流道基板29的下表面，且该开口被流道基板24封闭，并与被形成于该流道基板24中的共同导入液室39连通。通过该共同导入液室39和导入液室32一系列地连通，从而划分出了一个供给液室40。供给液室40为，在油墨向多个压力室25的供给中被共同使用的液室。同样地，导出液室33开口于共同流道基板29的下表面，并与流道基板24的共同导出液室41连通，从而划分出排出液室43。该排出液室43为，从供给液室40经由压力室25等的独立流道而使未被喷嘴8喷射的油墨流入的液室。
在共同流道基板29的上表面上，形成有与供给液室40连通的流入口38、和与排出液室43连通的流出口44。即，流入口38为使油墨流入至头单元10内的贯穿孔，流出口44为使油墨向头单元10外流出的贯穿孔。另外，对于流入口38以及流出口44的形成位置或数量而言，根据在下文中所说明的各个实施方式而有所不同。
接下来，主要对本发明所涉及的液体喷射装置1的实施方式中的喷嘴8以及喷嘴列7的配置和油墨的循环进行说明。
图7为从+Z方向观察第一实施方式中的液体喷射头2的俯视图，且为特别模式化地示出了油墨的循环方式的图。另外，在图7中，示出了透视固定板13的状态，另外，省略了该固定板13的开口22的图示。此外，在图7中，用虚线图示了液体喷射头10、流入口38、流出口44和供给液室40。图8为，对第一实施方式中的喷嘴列7之间的喷嘴8的位置关系进行说明的示意图。
本实施方式中的液体喷射头2在X方向上并排设置有三个头单元10a～10c，各个头单元10a～10c分别一列一列地具备喷嘴列7。各个头单元10的喷嘴列7a～7c沿着与Z方向正交且相对于X方向以及Y方向而分别倾斜的W方向而被形成，并且均喷射相同种类的油墨、即相同颜色(例如，黑色)的油墨。如图8所示那样，构成同一喷嘴列7的多个喷嘴8被配置为，在从Y方向进行观察时在X方向上以固定的间距(换而言之，与X方向相邻的喷嘴8彼此的中心距)P1而排列。在本实施方式中，P1被设定为，例如与作为介质M中的油墨的喷落点的形成密度的600dpi相对应的间隔。此外，如图8所示那样，在X方向上相邻的头单元10中的位于一方(图7中左侧)的头单元10的喷嘴列7中的W方向的一端(图7中右上)的喷嘴8、和位于另一方(图7中右侧)的头单元10的喷嘴列7中的W方向的另一端(图7中左下)的喷嘴8在X方向上以固定的间距P1而排列。即，分别被形成于各个头单元10a～10c中的喷嘴8被配置为，在从Y方向进行观察时在X方向上以固定的间距P1而连续。该情况下的“连续”的含义是指，在于X方向上相邻的喷嘴8之间不存在P1以上的间隔。以此方式，由于各个头单元10的喷嘴列7a～7c沿着相对于作为介质M的输送方向的Y方向以及与之正交的X方向而分别倾斜的W方向而被配置，因此能够在各个头单元10以及具备这些头单元10的液体喷射头2的Y方向上实现小型化的同时，使相邻的头单元10的喷嘴8在X方向上以固定的间距P1连续地连接。另外，如果作为整体而使喷嘴8在X方向上以固定的间距P1而并排，则相邻的头单元10彼此的喷嘴8也可以被配置在从Y方向观察时重叠的位置，即使在该情况下，也可以说，各个喷嘴8在X方向上被连续配置。
此外，在本实施方式中，在各个头单元10中仅使用了供给液室40，而并未使用排出液室43以及第二独立连通通道47。而且，在本实施方式的供给液室40中，设置有流入口38以及流出口44这两方。在图7的示例中，在供给液室40中的W方向的一个端部上设置有流入口38，在供给液室40中的W方向的另一端部上设置有流出口44。
在本实施方式中，在由液体喷射头2所实施的印刷动作中，在液体贮留部件3与各个头单元10的供给液室40之间，通过泵6的驱动而实施油墨的循环。即，从液体贮留部件3被送来的油墨从流入口38被导入至供给液室40中。供给液室40内的油墨穿过第一独立连通通道45(参照图6)而分别被供给至各个压力室25中。如在图7中用阴影线的箭头标记所表示的那样，从流入口38被导入至供给液室40中的油墨从供给液室40的一端部起朝向另一端部而沿着作为喷嘴列7的方向的W方向而流动。未从喷嘴8被喷射的油墨从设置于供给液室40的另一端部处的流出口44被送出并返回至液体贮留部件3。在泵6被驱动的期间内，在流入口38与流出口44之间油墨的循环持续进行。被送出至液体贮留部件3的油墨通过例如过滤器，从而被去除了该油墨中所包含的气泡。
以此方式，在本实施方式的结构中，由于在供给液室40中设置有流入口38和流出口44、且能够在它们之间使油墨循环，因此即使在头单元10的内部的流道中产生了气泡的情况下，也能够将该气泡向头单元10的外部排出。其结果为，能够减少使头单元10的内部的油墨强制性地从喷嘴8排出的所谓清洗动作或冲洗动作等的维护动作的次数，并且能够减少在该维护动作中所消耗的油墨的量。此外，由于在供给液室40中设置有流入口38和流出口44，因此无需排出液室43以及第二独立连通通道47，由于与之相对应地能够实现头单元10的小型化，因此能够采用以更加节省的空间而使油墨循环的结构。
另外，虽然在本实施方式中，例示了油墨在液体贮留部件3和各个头单元10的供给液室40之间进行循环的结构，但并未被限定于此，例如，也能够采用如下的结构，即，针对每个头单元10而设置连接流入口38和流出口44的循环用流道、被设置于该循环用流道中的过滤器和循环用的泵，从而不经由液体贮留部件3而使油墨循环的结构。在该情况下，独立于流入口38而设置有用于将来自液体贮留部件3的油墨导入至供给液室40中的导入口。此外，供给液室40中的流入口38以及流出口44的位置并未被限定于例示的结构，例如，流入口38以及流出口44的位置关系也可以与图7所示的情况相反。因此，在该情况下，从流入口38流入的油墨朝向流出口44而流动的方向与图7所示的方向相反。
图9为与图7相对应的图，且为从+Z方向观察第一实施方式的第一变形例中的液体喷射头2的俯视图。此外，图10为，对第一变形例中的喷嘴列7之间的喷嘴8的位置关系进行说明的示意图。本实施方式中的液体喷射头2在X方向上并排设置有合计六个头单元10a～10f，各个头单元10a～10f分别一列一列地具备喷嘴列7。具体而言，从X方向上的一端(图中左端)起朝向另一端(图中右端)而设置有喷嘴列7a～7f。
在本实施方式中，在图9中用空心圆表示喷嘴8的第奇数个喷嘴列7a、7c、7e、和在该图中用实心圆表示喷嘴8的第偶数个喷嘴列7b、7d、7f喷射互不相同的种类(即，不同的颜色)的油墨。即，本实施方式中的液体喷射头2被构成为，能够喷射两个种类的油墨。此外，如图10所示那样，相邻的第奇数个喷嘴列7中的位于一方的喷嘴列7中的W方向的一端(图中右上)的喷嘴8、和位于另一方(图中右侧)的喷嘴列7中的W方向的另一端(图中左下)的喷嘴8在X方向上以固定的间距P1而排列。同样地，相邻的第偶数个喷嘴列7中的位于一方的喷嘴列7中的W方向的一端的喷嘴8、和位于另一方的喷嘴列7中的W方向的另一端的喷嘴8在X方向上以间距P1而排列。即，各种颜色的喷嘴8分别在从Y方向进行观察时在X方向上以固定的间距P1而连续。此外，如图10所示那样，第奇数个喷嘴列7的喷嘴8和第偶数个喷嘴列7的喷嘴8被配置为，在X方向上以上述间距P1的二分之一的间距P2而并排。另外，油墨的循环的结构等的其他的结构与第一实施方式是相同的。
虽然在上述第一变形例中，例示了在图9中用空心圆表示喷嘴8的第奇数个喷嘴列7a、7c、7e、和在该图中用实心圆表示喷嘴8的第偶数个喷嘴列7b、7d、7f喷射互不相同的种类的油墨的结构，但并未被限定于该结构，作为第一实施方式的第二变形例，也能够采用喷嘴列7a～7f喷射相同种类的油墨的结构。在该情况下，如图10所示那样，在从Y方向进行观察时在各个喷嘴列7的形成区域重叠的范围内，在X方向上以上述的间距P2(例如，相当于1200dpi的间距)而并排，与以间距P1而并排的结构相比，X方向上的喷嘴密度成为2倍。因此，能够进行更高分辨率下的印刷或记录。
图11为与图7相对应的图，且为从+Z方向观察第一实施方式的第三变形例中的液体喷射头2的俯视图。此外，图12为第三变形例中的头单元10的剖视图。而且，图13为，对第三变形例中的喷嘴列7之间的喷嘴8的位置关系进行说明的示意图。本实施方式中的液体喷射头2在X方向上并排设置有合计六个头单元10a～10f，进一步地，各个头单元10a～10f分别两列两列地具备喷嘴列7。以下，将设置于同一头单元10中的两列喷嘴列7中的、位于V方向上的一方(图11中的左上)的喷嘴列7适当地称为第一喷嘴列7-1，将位于另一方(图11中的右下)的喷嘴列7适当地称为第二喷嘴列7-2。
如图12所示，在第三变形例中的各个头单元10中，以与各个喷嘴列7相对应的方式而形成有导入液室32、第一独立连通通道45、压力室25以及喷嘴连通通道46。如图11所示，同一头单元10中的第一喷嘴列7-1和第二喷嘴列7-2以相对于喷嘴基板35的中心C4而相互成为点对称的方式在V方向上被并排设置。该中心C4位于，相当于位于第一喷嘴列7-1的W方向上的一端的喷嘴8与位于第二喷嘴列7-2的W方向上的另一端的喷嘴8之间的、Y方向(即，介质M的输送方向)上的距离的一半的位置、且相当于X方向上的距离的一半的位置。另外，在本变形例中，排出液室43并未被设置，而是在导入液室32中设置有流入口38以及流出口44。此外，在图13中用阴影线示出的喷嘴8d为，在油墨的喷射中未被使用的虚设喷嘴，虽然形成有与该虚设喷嘴相对应的压力室25，但其并不与供给液室40连通，而是成为不流入油墨的结构。此外，在与喷嘴8d相对应的部分中并未形成有压电元件27。但是，也可以形成有压电体。此外，虚设喷嘴8d实际上也可以不被设置在喷嘴基板35中，也可以在压力室基板26上仅形成有虚设压力室25。
如图11所示，本变形例的记录头2中，从X方向的一端(图中左端)起朝向另一端(图中右端)而设置有喷嘴列7a-1、7a-2、7b-1、7b-2、7c-1、7c-2、7d-1、7d-2、7e-1、7e-2、7f-1、7f-2合计12列喷嘴列7，并且均喷射相同种类(即，相同颜色)的油墨。
如图13所示，各个喷嘴列7的喷嘴8在X方向上以间距P1而排列。此外，在同一头单元10中，第一喷嘴列7-1的喷嘴8、和在V方向上与该喷嘴8相邻的第二喷嘴列7-2的喷嘴8在X方向上以上述间距P1的四分之三的间距P3而排列。此外，在X方向上相邻的相邻的头单元10中的一方的头单元10的第一喷嘴列7-1的喷嘴8、和另一方的头单元10的第一喷嘴列7-1的喷嘴8在X方向上以间距P2而排列(第二喷嘴列7-2彼此也相同)。而且，在X方向上相邻的第奇数个头单元10彼此中的一方的头单元10的第一喷嘴列7-1的喷嘴8、和另一方的头单元10的第一喷嘴列7-1的喷嘴8在X方向上以间距P1而排列(第二喷嘴列7-2彼此也相同)。同样地，在X方向上相邻的偶数编号的头单元10彼此中的一方的头单元10的第一喷嘴列7-1的喷嘴8、和另一方的头单元10的第一喷嘴列7-1的喷嘴8在X方向上以间距P1而排列(第二喷嘴列7-2彼此也相同)。另外，关于油墨的循环的结构等的其他的结构，与第一实施方式是相同的。在本变形例中，如图13所示那样，在从Y方向进行观察时在各个喷嘴列7的形成区域重叠的范围内，各个喷嘴8在X方向上以上述的间距P1的四分之三的间距P4(例如，相当于2400dpi的间距)而排列，与以间距P1排列的结构相比，在X方向上的喷嘴密度成为4倍。因此，能够进行更高分辨率下的印刷或记录。
虽然在上述第三变形例中，例示了在全部的喷嘴列7中喷射相同种类(即，相同颜色)的油墨的结构，但并未被限定于此，作为第一实施方式的第四变形例，也能够采用使各个头单元10的第一喷嘴列7-1和第二喷嘴列7-2分别喷射不同的种类的油墨的结构。在该情况下，在从Y方向进行观察时，喷嘴8针对每个油墨的种类而在X方向上以间距P2排列。而且，作为第一实施方式的第五变形例，通过在第奇数个头单元10和第偶数个头单元中分别喷射与上述两个种类的油墨不同的种类的油墨，从而能够进行合计四个种类的油墨的喷射。例如，通过从第奇数个头单元10a、10c、10e的第一喷嘴列7a-1、7c-1、7e-1喷射黑色油墨，从第二喷嘴列7a-2、7c-2、7e-2喷射蓝绿色油墨，而且，从第偶数个头单元10b、10d、10f的第一喷嘴列7b-1、7d-1、7f-1喷射品红色油墨，从另一方的喷嘴列7b-2、7d-2、7f-2喷射黄色油墨，从而能够进行由四种颜色的油墨实施的印刷。即，针对每一个种类(即，一种颜色)而使用3列喷嘴列7来进行印刷动作。
图14为与图7相对应的图，且为从+Z方向观察第二实施方式中的液体喷射头2的俯视图，且为特别模式化地示出了油墨的循环的方式的图。与第一实施方式同样地，本实施方式中的液体喷射头2在X方向上并排设置有三个头单元10a～10c，且各个头单元10a～10c分别一列一列地具备喷嘴列7。各个头单元10的喷嘴列7a～7c均喷射相同种类的油墨、即相同颜色的油墨。各个喷嘴列7的喷嘴8的位置关系与图8所示的第一实施方式相同。此外，如图6所示那样，各个头单元10具有供给液室40和排出液室43，并且在供给液室40中设置有流入口38，在排出液室43中设置有流出口44。在图14的示例中，在供给液室40中的W方向的中央部处设置有流入口38，在排出液室43中的W方向的中央部处设置有流出口44。供给液室40中的流入口38以及流出口44的位置并未被限定于例示的结构，例如，能够采用在供给液室40中的W方向的一个端部上设置有流入口38，并且在排出液室43中的W方向的另一端部上设置有流出口44的结构。由此，由于油墨从供给液室40以及排出液室43的一个端部朝向另一端部流动，因此抑制了油墨的滞留，其结果为，提高了气泡排出性。
在本实施方式中，在通过泵6的驱动而实施油墨的循环时，当油墨从流入口38被导入至供给液室40中时，该供给液室40内的油墨如阴影线的箭头标记所示那样沿着W方向而流动，并穿过第一独立连通通道45而分别被供给至各个压力室25。此外，未从喷嘴8被喷射的油墨，则如实心箭头标记所示那样穿过第二独立连通通道47而流动至排出液室43。也就是说，油墨从供给液室40经由压力室25而流入至排出液室43中。而且，流入至排出液室43中的油墨从流出口44被送出从而返回至液体贮留部件3。在泵6被驱动的期间内，在流入口38与流出口44之间油墨的循环被持续进行。另外，关于其他的结构，与图8所例示的第一实施方式的结构是相同的。
由于即使在本实施方式的结构中也能够使油墨循环，因此即使在头单元10的内部产生了气泡的情况下，也能够将该气泡向头单元10的外部排出。其结果为，能够减少使头单元10的内部的油墨强制性地从喷嘴8排出的所谓清洗动作或冲洗动作等的维护动作的次数，并且能够减少在该维护动作中所消耗的油墨的量。此外，由于经由压力室25等的针对每个喷嘴8而设置的流道即独立流道从而实施油墨的循环，因此，能够抑制喷嘴8附近的油墨的增稠或油墨中的含有成分的沉降。由此，能够更加削减维护动作的次数。此外，由于经由压力室25等的独立流道而实施油墨的循环，因此能够抑制喷嘴8附近的油墨的增稠或油墨中的含有成分的沉降。由此，能够更加削减维护动作的次数。
图15为与图7相对应的图，且为从+Z方向观察第二实施方式的第一变形例中的液体喷射头2的俯视图。本实施方式中的液体喷射头2在X方向上并排设置有合计六个头单元10a～10f，且各个头单元10a～10f分别一列一列地具备喷嘴列7。具体而言，从X方向的一端(图中左端)起朝向另一端(图中右端)而设置有喷嘴列7a～7f。其中，在图15中，用空心圆表示喷嘴8的第奇数个喷嘴列7a、7c、7e、和在该图中用实心圆表示喷嘴8的第偶数个喷嘴列7b、7d、7f喷射互不相同的种类的油墨。即，本实施方式中的液体喷射头2被构成为，喷射两个种类的油墨。另外，各个喷嘴列7的喷嘴8的位置关系与图9以及图10所示的第一实施方式的第一变形例相同。此外，关于油墨的循环的结构等的其他的结构，与第二实施方式是相同的。
虽然在上述第一变形例中，例示了第奇数个喷嘴列7a、7c、7e、和在该图中用实心圆表示喷嘴8的第偶数个喷嘴列7b、7d、7f喷射互不相同的种类的油墨的结构，但并未被限定于此，作为第二实施方式的第二变形例，也能够采用使喷嘴列7a～7f喷射同一种类的油墨的结构。在该情况下，在从Y方向进行观察时在各个喷嘴列7的形成区域重叠的范围内，在X方向上以上述的间距P2(例如，相当于1200dpi的间距)排列，从而与以间距P1而排列的结构相比，在X方向上的喷嘴密度成为2倍。因此，能够进行更加高分辨率下的印刷或记录。
图16为与图7相对应的图，且为从+Z方向观察第三实施方式中的液体喷射头2的俯视图，且为特别模式化地示出了油墨的循环的方式的图。此外，图17为从+Z方向观察头单元10a的俯视图。另外，虽然在图17中，仅代表性地图示了头单元10a，但其他的头单元10也被设为相同的结构。此外，在图17中，省略了图12所记载的第一可塑性基板36以及第二可塑性基板37的记载。
与第一实施方式同样地，本实施方式中的液体喷射头2在X方向上并排设置有三个头单元10a～10c，且各个头单元10a～10c分别具备两列喷嘴列7。该头单元10a具备被配置在V方向的一方(-V方向侧)的第一喷嘴列7a-1、和被配置在V方向的另一方(+V方向侧)的第二喷嘴列7a-2。同样地，头单元10b具备第一喷嘴列7b-1和第二喷嘴列7b-2，头单元10c具备第一喷嘴列7c-1和第二喷嘴列7c-2。相对于从位于头单元10的W方向上的一端的喷嘴8(在图16的示例中，为位于第二喷嘴列7-2的一端的喷嘴8)起至位于另一端的喷嘴8(在图16的示例中，为位于第一喷嘴列7-1的另一端的喷嘴8)为止的W方向的距离D，而将第一喷嘴列7-1和第二喷嘴列7-2的长度L被设定为D/2＜L＜D。此外，如图17所示那样，各个头单元10中的第一喷嘴列7-1和第二喷嘴列7-2以相对于喷嘴基板35的中心C4而相互成为点对称的方式在V方向上被并排设置。
如图17所示，当将头单元10a作为各个头单元10a～10c的代表而进行说明时，第一喷嘴列7a-1和第二喷嘴列7a-2以一部分喷嘴8的形成区域重叠的方式被配置。也就是说，在从V方向进行观察的情况下的W方向上，在从位于第一喷嘴列7a-1的W方向的一端的喷嘴8起至位于第二喷嘴列7a-2的W方向的另一端的喷嘴8为止的范围Dp内，各个喷嘴列7a-1和7a-2的喷嘴8的形成区域重叠。在该区域Dp中，第一喷嘴列7a-1的一部分的喷嘴8和第二喷嘴列7a-2的一部分的喷嘴8的X方向的位置在Y方向上观察时重叠。也就是说，在该结构的头单元10中，第一喷嘴列7a-1的各个喷嘴8和第二喷嘴列7a-2的各个喷嘴8在从Y方向进行观察时在X方向上以间距P1而连续配置。因此，作为液体喷射头2的整体，能够使喷嘴8在X方向上以固定的间距P1而连续。由此，能够使用各个头单元10的第一喷嘴列7-1以及第二喷嘴列7-2，从而针对介质M而在X方向上以固定的间距P1连续地形成点。另外，在上述的范围Dp内，在从V方向进行观察时，第一喷嘴列7a-1的喷嘴8和第二喷嘴列7a-2的喷嘴8的W方向的位置也可以不一定相一致。此外，也可以在油墨的喷射中使用X方向的位置重叠的喷嘴8中的一方的喷嘴8，并在油墨的喷射中不使用另一方的喷嘴8。
在本实施方式中，在各个头单元10中，以与第一喷嘴列7-1和第二喷嘴列7-2相对应的方式而分别设置有两个供给液室40。即，如图17所示那样，在头单元10a中，设置有与对应于第一喷嘴列7a-1的各个压力室25连通的第一供给液室40a、和与对应于第二喷嘴列7a-2的各个压力室25连通的第二供给液室40b。这些供给液室40a、40b的W方向上的全长被设定为上述D以上。也就是说，各个供给液室40a、40b成为长于所对应的喷嘴列7的W方向的长度L的流道。第一供给液室40a具有与第一喷嘴列7a-1并行地在W方向上延伸的第一部分40a1、和与该第一部分40a1连续并且超过第一喷嘴列7a-1的一端(图17中，为右上的端部)而朝向第二喷嘴列7a-2的一端并在W方向上延伸的第二部分40a2。同样地，第二供给液室40b具有与第二喷嘴列7a-2并行地在W方向上延伸的第三部分40b3、和与该第三部分40b3连续并且超过第二喷嘴列7a-2的另一端(在图17中，为左下的端部)而朝向第一喷嘴列7a-1的另一端并在W方向上延伸的第四部分40b4。而且，在第一供给液室40a以及第二供给液室40b中，分别设置有流入口38以及流出口44。在本实施方式中，在第一供给液室40a中的W方向的另一个端部处设置有流入口38，在一个端部处设置有流出口44。同样地，在第二供给液室40b中的W方向的一个端部处设置有流入口38，在另一个端部处设置有流出口44。即，这些第一供给液室40a和第二供给液室40b与第一喷嘴列7a-1和第二喷嘴列7a-2同样地，以相对于喷嘴基板35的中心C4而相互成为点对称的方式在V方向上被并排设置。另外，各个供给液室40中的流入口38以及流出口44的位置并未被限定于所例示的结构，例如，流入口38以及流出口44的位置关系也可以分别与图17所示的情况相反。
在本实施方式中的油墨循环时，当从液体贮留部件3送来的油墨从流入口38被导入至供给液室40a、40b中时，如在图16以及图17中用阴影线的箭头标记所示出的那样，分别在W方向上流动于第一部分40a1以及第三部分40b3中，并穿过第一独立连通通道45而被分别供给至各个压力室25。未从喷嘴8被喷射的油墨(换而言之，经由第一独立连通通道45而未被供给至压力室25的油墨)流动于第二部分40a2以及第四部分40b4中，并从被设置于端部处的流出口44被送出而返回至液体贮留部件3。通过这样的方式，从而在泵6被驱动的期间内，在流入口38与流出口44之间，在各个供给液室40中油墨的循环被持续进行。即使在本实施方式的结构中，也能够在头单元10的内部产生了气泡的情况下，将该气泡向头单元10的外部排出。其结果为，能够减少在维护动作中所消耗的油墨的量。此外，在本实施方式中，与后述的第四实施方式的结构(但是，第一喷嘴列以及第二喷嘴列的长度在本实施方式和第四实施方式中被设为相同的长度时)相比，如图17所示那样，在作为介质M的输送方向的Y方向上，能够缩短配置有第一喷嘴列和第二喷嘴列的范围(即，从位于第二喷嘴列的W方向上的一端的喷嘴8起至位于第一喷嘴列7a-1的W方向上的另一端的喷嘴8为止的Y方向的距离)Ln。因此，能够抑制在印刷动作时相对于介质M的Y方向上的油墨的喷落位置偏移。另外，即使是在本实施方式中，与第一实施方式的第一变形例同样地，通过增加所使用的头单元10的数量，从而也能够提高喷嘴8的形成密度，或者与两个种类的油墨的喷射相对应，又或者在喷射一个种类的油墨的结构中提高喷嘴8的形成密度。
图18为与图7相对应的图，且为从+Z方向观察第四实施方式中的液体喷射头2的俯视图，且为特别模式化地示出了油墨的循环的方式的图。此外，图19为与图17相对应的图，且为从+Z方向观察头单元10a的俯视图。另外，虽然在图19中，仅代表性地图示了头单元10a，但其他的头单元10也被设为相同的结构。
本实施方式中的液体喷射头2在X方向上并排设置有三个头单元10a～10c，且各个头单元10a～10c分别具备第一喷嘴列7-1以及第二喷嘴列7-2。具体而言，如图19所示那样，头单元10a具备被配置于V方向的一方(-V方向侧)的第一喷嘴列7a-1、和被配置于V方向的另一方(+V方向侧)的第二喷嘴列7a-2。同样地，头单元10b具备第一喷嘴列7b-1和第二喷嘴列7b-2，头单元10c具备第一喷嘴列7c-1和第二喷嘴列7c-2。
如图18所示，相对于从位于头单元10的W方向上的一端的喷嘴8(即，位于第一喷嘴列7-1中的一端的喷嘴8)起至位于另一端的喷嘴8(即，位于第二喷嘴列7-2中的另一端的喷嘴8)为止的W方向的距离D，而将第一喷嘴列7-1以及第二喷嘴列7-2的长度L均被设定为L＜D/2。此外，各个头单元10中的第一喷嘴列7-1和第二喷嘴列7-2以相对于喷嘴基板35的中心C4而相互成为对称的方式在V方向上被并排设置。
如图19所示那样，当将头单元10a作为各个头单元10a～10c的代表而进行说明时，第一喷嘴列7a-1和第二喷嘴列7a-2以从V方向进行观察时喷嘴8的形成区域相互不重叠的方式被配置。即，在位于第一喷嘴列7a-1的W方向上的另一端的喷嘴8、和位于第二喷嘴列7a-2的W方向上的一端的喷嘴8之间，形成有在W方向上并未形成有喷嘴8的区域Gp(但是，Gp的W方向的长度长于喷嘴列7中的喷嘴8的W方向的间距)。并且，从位于第一喷嘴列7-1的另一端的喷嘴8起至位于第二喷嘴列7-2的一端的喷嘴8为止的X方向上的间隔成为间距P1。在该结构中，第一喷嘴列7a-1的各个喷嘴8和第二喷嘴列7a-2的各个喷嘴8在从Y方向进行观察时在X方向上以间距P1而被连续配置。因此，作为液体喷射头2的整体而能够使喷嘴8在X方向上以固定的间距P1而连续。另外，在区域Gp中，在使第一喷嘴列7a-1以及第二喷嘴列7a-2在W方向上分别虚拟地延长时，也可以与以间距P1而形成喷嘴8的位置相对应地形成没有油墨流入的压力室25(即，虚设压力室)。在与该虚设压力室相对应的部分上，既可以形成有压电元件27，也可以不形成压电元件27。
在本实施方式中，在各个头单元10中以与第一喷嘴列7-1和第二喷嘴列7-2相对应的方式而分别设置有两个供给液室40。即，如图19所示那样，在头单元10a中，设置有与对应于第一喷嘴列7a-1的各个压力室25连通的第一供给液室40a、和与对应于第二喷嘴列7a-2的各个压力室25连通的第二供给液室40b。这些供给液室40a、40b的W方向上的全长与各个喷嘴列7的W方向上的长度L相比而较长。第一供给液室40a具有与第一喷嘴列7a-1并行地在W方向上延伸的第一部分40a1、和与该第一部分40a1连续并且超过第一喷嘴列7a-1的另一端(在图19中，为左下的端部)而朝向第二喷嘴列7a-2的另一端并在W方向上延伸的第二部分40a2。同样地，第二供给液室40b具有与第二喷嘴列7a-2并行地在W方向上延伸的第三部分40b3、和与该第三部分40b3连续并且超过第二喷嘴列7a-2的一端(在图19中，为右上的端部)而朝向第一喷嘴列7a-1的一端并在W方向上延伸的第四部分40b4。而且，在第一供给液室40a以及第二供给液室40b中，分别设置有流入口38以及流出口44。在本实施方式中，在第一供给液室40a中的W方向的一个端部处设置有流入口38，在另一个端部处设置有流出口44。同样地，在第二供给液室40b中的W方向的另一端部处设置有流入口38，在一个端部处设置有流出口44。即，这些第一供给液室40a和第二供给液室40b与第一喷嘴列7a-1和第二喷嘴列7a-2同样地，以相对于喷嘴基板35的中心C4而相互成为点对称的方式在V方向上被并排设置。另外，各个供给液室40中的流入口38以及流出口44的位置并未被限定于所例示的结构，例如，流入口38以及流出口44的位置关系也可以分别与图19所示的情况相反。
在本实施方式中的油墨循环时，当从液体贮留部件3送来的油墨从流入口38被导入至供给液室40a、40b中时，如图18以及图19中用阴影线的箭头标记所示出的那样，分别在W方向上流动于第一部分40a1以及第三部分40b3中，并穿过第一独立连通通道45而被分别供给至各个压力室25。未从喷嘴8被喷射的油墨(换而言之，经由第一独立连通通道45而未被供给至压力室25的油墨)流动于第二部分40a2以及第四部分40b4中，并从被设置于端部的流出口44被送出从而返回至液体贮留部件3。通过这样的方式，从而在泵6被驱动的期间内，在流入口38与流出口44之间，在各个供给液室40中使油墨的循环被持续进行。即使在本实施方式的结构中，也能够在头单元10的内部的流道中产生了气泡的情况下，将该气泡向头单元10的外部排出。其结果为，能够减少在维护动作中所消耗的油墨的量。另外，与第一实施方式的第一变形例同样地，通过增加所使用的头单元10的数量，从而能够提高喷嘴8的形成密度，或者与两个种类的油墨的喷射相对应，又或者在喷射一个种类的油墨的结构中提高喷嘴8的形成密度。
图20为与图7相对应的图，且为从+Z方向观察第五实施方式中的液体喷射头2的俯视图，且为特别模式化地示出了油墨的循环的方式的图。此外，图21为与图17相对应的图，且为从+Z方向观察头单元10a的俯视图。另外，虽然在图21中，仅代表性地图示了头单元10a，但其他的头单元10也被设为相同的结构。本实施方式中的液体喷射头2在X方向上并排设置有三个头单元10a～10c，且各个头单元10a～10c分别具备两列的喷嘴列7。具体而言，如图21所示那样，头单元10a具备被配置于V方向的一方(-V方向侧)的第一喷嘴列7a-1、和被配置于V方向的另一方(+V方向侧)的第二喷嘴列7a-2。同样地，头单元10b具备第一喷嘴列7b-1和第二喷嘴列7b-2，头单元10c具备第一喷嘴列7c-1和第二喷嘴列7c-2。另外，喷嘴列7的配置以及长度等的结构与上述第四实施方式相同。即，如图21所示那样，第一喷嘴列7a-1和第二喷嘴列7a-2以从V方向观察时喷嘴8的形成区域不重叠的方式被配置，并且在第一喷嘴列7a-1与第二喷嘴列7a-2之间形成有在W方向上未形成有喷嘴8的区域Gp。在该结构中，第一喷嘴列7a-1的各个喷嘴8和第二喷嘴列7a-2的各个喷嘴8在从Y方向进行观察时在X方向上以间距P1而被连续配置。因此，作为液体喷射头2的整体，喷嘴8在X方向上以固定的间距P1而连续。
在本实施方式中，在各个头单元10中，在第一喷嘴列7-1以及第二喷嘴列7-2中分别设置有供给液室40和排出液室43。即，如图21所示那样，在头单元10a中，以在V方向上将第一喷嘴列7a-1夹在中间的形式而设置有被配置于该第一喷嘴列7a-1的一方(图21中的左上)的第一供给液室40a、和被配置于该第一喷嘴列7a-1的另一方(图21中的右下)的第一排出液室43a。此外，以在V方向上将第二喷嘴列7a-2夹在中间的形式而设置有被配置于该第二喷嘴列7a-2的一方的第二排出液室43b、和被配置于该第二喷嘴列7a-2的另一方的第二供给液室40b。在W方向上相邻的第一喷嘴列7a-1的第一供给液室40a和第二喷嘴列7a-2的第二排出液室43b通过隔壁50而被隔开，且未连通。同样地，在W方向上相邻的第一喷嘴列7a-1的第一排出液室43a和第二喷嘴列7a-2的第二供给液室40b通过隔壁50而被隔开，且未连通。另外，相对于各个喷嘴列7的供给液室40和排出液室43的位置关系并未被限定于所例示的情况，能够任意地进行设定，例如，也能够设为与所例示的位置关系相反。
而且，在第一供给液室40a以及第二供给液室40b中分别设置有流入口38，而且，在第一排出液室43a以及第二排出液室43b中设置有流出口44。在本实施方式中，在第一供给液室40a以及第二供给液室40b的W方向上的中央部处设置有流入口38，在第一排出液室43a以及第二排出液室43b的W方向上的中央部处设置有流出口44。即，第一供给液室40a和第二供给液室40b与第一喷嘴列7a-1和第二喷嘴列7a-2同样地，以相对于喷嘴基板35的中心C4而相互成为点对称的方式而被配置。同样地，第一排出液室43a和第二排出液室43b以相对于喷嘴基板35的中心C4而相互成为点对称的方式被配置。另外，各个供给液室40中的流入口38的位置、以及各个排出液室43中的流出口44的位置并未被限定于所例示的结构，能够设定在任意的位置上。
在本实施方式中的油墨循环时，当油墨从流入口38被导入至供给液室40中，如阴影线的箭头标记所示出的那样，该供给液室40内的油墨沿着W方向流动，而且，穿过第一独立连通通道45而分别被供给至各个压力室25。如实心的箭头标记所示出的那样，未从喷嘴8被喷射的油墨穿过第二独立连通通道47而流向排出液室43。也就是说，油墨从供给液室40经由压力室25而流入至排出液室43中。而且，流入至排出液室43中的油墨从流出口44被送出，从而返回至液体贮留部件3。在泵6被驱动的期间内，在流入口38与流出口44之间，油墨的循环被持续进行。另外，关于其他的结构，与图8所例示的第一实施方式的结构是相同的。即使在本实施方式的结构中，也能够在头单元10的内部产生了气泡的情况下，将该气泡向头单元10的外部排出。其结果为，能够减少在维护动作中所消耗的油墨的量。此外，由于经由压力室25等的独立流道而实施油墨的循环，因此能够抑制喷嘴8附近的油墨的增稠或油墨中的含有成分的沉降。由此，能够更加削减维护动作的次数。另外，在本实施方式中，也与第一实施方式的第一变形例同样地，能够通过增加所使用的头单元10的数量，从而提高喷嘴8的形成密度，或者与两个种类的油墨的喷射相对应。
如上所述，在本发明所涉及的液体喷射头2以及具备液体喷射头2的液体喷射装置1中，由于各个头单元10具备流入口38以及流出口44并能够在二者之间使液体进行循环，因此，能够减少使头单元10的内部的增稠的油墨或气泡强制性地从喷嘴排出的所谓清洗动作或冲洗动作等的维护动作的次数，并能够减少在该维护动作中消耗的液体的量。其结果为，能够在减少油墨的消耗的同时良好地维持各个喷嘴8的喷射特性(即，被喷射的油墨滴的量或该油墨滴的飞翔速度等的特性)。
虽然在上述的各个实施方式中，例示了在于喷嘴基板35上具有喷嘴列7-1以及喷嘴列7-2的结构中，喷嘴列7-1和喷嘴列7-2以相对于喷嘴基板35的中心C4而相互成为点对称的方式被配置的结构，但并未被限定于此。总之，只要在从+Z方向进行观察时，相对于将这些喷嘴列7-1以及喷嘴列7-2中的被配置于最靠+W方向侧的端部的喷嘴8、和被配置于最靠-W方向侧的端部的喷嘴8连接而成的假想直线的中点而使喷嘴列7-1和喷嘴列7-2被配置于相互成为点对称的位置即可，上述中点和喷嘴基板35的中心C4也可以不一致。而且，在第五实施方式中，也能够采用相对于上述中点而将供给液室40a和供给液室40b配置于相互成为点对称的位置、且将排出液室43a和排出液室43b配置于相互成为点对称的位置的结构。
此外，对于本发明而言，在具备多个在液晶显示器等的彩色滤波滤器的制造中所使用的颜色材料喷射头、在有机EL(Electro Luminescence：电致发光)显示器、FED(面发光显示器)等的电极形成中所使用的电极材料喷射头、在生物芯片(生物化学元件)的制造中所使用的生物体有机物喷射头等的液体喷射头、以及具备该液体喷射头的液体喷射装置中，也能够应用本发明。
以下，对根据上述的实施方式以及变更例而掌握的技术思想及其作用效果进行记载。
本发明的液体喷射头，其特征在于，其为在与第一方向正交的第二方向上并排设置有多个从喷嘴向在所述第一方向上实施相对移动的介质喷射液体的头单元的液体喷射头，其中，
所述头单元具备：
第一喷嘴列，其沿着与所述第一方向和所述第二方向交叉的第三方向而并排设置有多个所述喷嘴；
压力室，其与所述喷嘴连通；
压力产生元件，其与所述压力室相对应；
第一供给液室，其与对应于所述第一喷嘴列的多个所述压力室连通，并被导入有向各个压力室供给的液体；
第一流入口，其使液体向所述头单元内部流入；
第一流出口，其使液体向所述头单元外部流出(第一结构)。
根据该结构，由于设置有流入口和流出口，并能够使液体在其间循环，因此即使在头单元的内部的流道中产生了气泡的情况下，也能够实施该气泡的排出。其结果为，能够减少使头单元的内部的液体强制性地从喷嘴排出的所谓清洗动作或冲洗动作等的维护动作的次数，并能够减少在该维护动作中所消耗的液体的量。
此外，在上述第一结构中，能够采用如下结构，即，所述流入口以及所述流出口被设置于所述供给液室中(第二结构)。
根据该结构，由于在供给液室中设置有流入口以及流出口，因此能够采用通过更加节省的空间而使液体循环的结构。
此外，在上述第一结构中，也能够采用如下结构，即，所述头单元具备排出液体室，所述排出液体室与多个所述压力室连通，并从所述供给液室流入有经由所述压力室的液体，
所述流入口被设置于所述供给液室中，
所述流出口被设置于所述排出液室中(第三结构)。
根据该结构，由于经由压力室等的针对每个喷嘴而被独立设置的流道从而实施液体的循环，因此能够抑制喷嘴附近的液体的增稠或液体中的含有成分的沉降。由此，能够更加削减维护动作的次数。
在上述第二结构中，能够采用如下的结构，即，所述喷嘴列具有在与所述第三方向正交的第四方向上排列并且在所述第三方向上以相互偏向相反侧的方式而被配置的第一喷嘴列和第二喷嘴列，
所述供给液室包括与对应于所述第一喷嘴列的多个所述压力室连通的第一供给液室、和与对应于所述第二喷嘴列的多个所述压力室连通的第二供给液室，
所述第一供给液室包括在所述第三方向上与所述第一喷嘴列并行地延伸的第一部分、和与该第一部分连续并且超过所述第一喷嘴列的端部而延伸的第二部分，
所述第二供给液室包括在所述第三方向上与所述第二喷嘴列并行地延伸的第三部分、和与该第三部分连续并且超过所述第二喷嘴列的端部而延伸的第四部分，
在所述第一供给液室以及所述第二供给液室中，分别设置有所述流入口以及所述流出口，
所述第一喷嘴列和所述第二喷嘴列被配置为点对称，且在所述第四方向上观察时被形成有所述喷嘴的区域的一部分重叠(第四结构)。
根据该结构，由于以与第一喷嘴列和第二喷嘴列相对应的方式而设置有第一供给液室以及第二供给液室，且在各个供给液室中设置有流入口和流出口，并在各个供给液室中使液体循环，因此即使在头单元的内部的流道中产生了气泡的情况下，也能够实施该气泡的排出。其结果为，能够减少使头单元的内部的液体强制性地从喷嘴排出的所谓清洗动作或冲洗动作等的维护动作的次数，并能够减少在该维护动作中所消耗的液体的量。此外，由于第一喷嘴列和第二喷嘴列被配置为点对称、且在第四方向上观察时被形成有喷嘴的区域的一部分重叠，因此能够缩短第一方向上的配置有第一喷嘴列和第二喷嘴列的范围。
在上述第三结构中，能够采用如下的结构，即，所述喷嘴列具有在与所述第三方向正交的第四方向上排列配置的第一喷嘴列和第二喷嘴列，
所述供给液室包括与对应于所述第一喷嘴列的多个所述压力室连通的第一供给液室、和与对应于所述第二喷嘴列的多个所述压力室连通的第二供给液室，
所述排出液室包括与对应于所述第一喷嘴列的多个所述压力室连通并从所述第一供给液室经由所述压力室而流入有液体的第一排出液室、和与对应于所述第二喷嘴列的多个所述压力室连通并从所述第二供给液室经由所述压力室而流入有液体的第二排出液室，
所述流入口分别被设置于所述第一供给液室和所述第二供给液室中，
所述流出口分别被设置于所述第一排出液室和所述第二排出液室中，
所述第一喷嘴列和所述第二喷嘴列被配置为点对称，且在所述第三方向上具有间隔(第五结构)。
根据该结构，由于以与第一喷嘴列和第二喷嘴列相对应的方式而设置有第一供给液室以及第二供给液室，且在各个供给液室中设置有流入口和流出口，并在各个供给液室中使液体循环，因此即使在头单元的内部的流道中产生了气泡的情况下，也能够实施该气泡的排出。其结果为，能够减少使头单元的内部的液体强制性地从喷嘴排出的所谓清洗动作或冲洗动作等的维护动作的次数，并能够减少在该维护动作中所消耗的液体的量。此外，由于经由压力室等的针对每个喷嘴而被独立设置的流道而实施液体的循环，因此能够抑制喷嘴附近的液体的增稠或液体中的含有成分的沉降。由此，能够更加削减维护动作的次数。
在上述第四结构或上述第五结构中，优选为，采用如下的结构，即，被设置于同一所述头单元中的所述第一喷嘴列的多个所述喷嘴和所述第二喷嘴列的多个所述喷嘴，在从所述第一方向进行观察时在所述第二方向上以固定的间隔而连续(第六结构)。
根据该结构，能够利用各个头单元的第一喷嘴列以及第二喷嘴列针对介质而在第二方向上以固定的间距而连续地形成由喷落液滴所形成的点。
在上述第四结构至第六结构中的任一结构中，优选为，采用如下的结构，即，所述头单元具备与所述压电元件电连接的配线部件，
所述液体喷射头具备与多个所述配线部件连接的共同配线基板，
从所述第二方向的一端数起被配置为第奇数个的所述头单元的所述配线部件、和从所述第二方向的一端数起被配置为第偶数个的所述头单元的所述配线部件被配置在相对于所述第三方向而成为点对称的方向上。
根据该结构，在共同配线基板中，无需在位于第二方向上的两端部处的各个配线部件的外侧配置配线的空间，从而能够使共同配线基板以与该空间相应的量而小型化，其结果为，有助于液体喷射头的小型化。由此，在于第二方向上并排配置多个液体喷射头时，能够使液体喷射头彼此更加接近，从而各个液体喷射头所具备的头单元的喷嘴能够以在第二方向上按照固定的间距并排的方式而配置。
而且，本发明的液体喷射装置，其特征在于，具备：
上述第一结构至第七结构中的任一结构的液体喷射头；
输送机构，其将介质向所述第一方向进行输送。
根据本发明，能够在减少液体的消耗的同时，还良好地维持各个喷嘴的喷射特性。
符号说明
1…液体喷射装置；2…液体喷射头；3…液体贮留部件；4…输送机构；5…控制单元；6…泵；7…喷嘴列；8…喷嘴；10…头单元；11…共同配线基板；12…流道单元；13…固定板；14…配线部件；15…连接器；16…配线插穿口；17…配线插入口；18…切口部；19…基板端子部；20…配线端子部；21…供给口；22…开口部；23…振动板；24…流道基板；25…压力室；26…压力室基板；27…压电元件；28…保护基板；29…共同流道基板；30…引线电极、31…配线空部；32…导入液室；33…导出液室；35…喷嘴基板；36…第一可塑性基板；37…第二可塑性基板；38…流入口；39…共同导入液室；40…供给液室；41…共同导出液室；43…排出液室；44…流出口；45…第一独立连通通道；46…喷嘴连通通道；47…第二独立连通通道；48…收纳空部；49…配线用贯穿口；50…隔壁。

Claims (5)

1.一种液体喷射头，其特征在于，其为在与第一方向正交的第二方向上并排设置有多个从喷嘴向在所述第一方向上实施相对移动的介质喷射液体的头单元的液体喷射头，在所述液体喷射头中，
所述头单元具备：
第一喷嘴列，其沿着与所述第一方向和所述第二方向交叉的第三方向而并排设置有多个所述喷嘴；
压力室，其与所述喷嘴连通；
压力产生元件，其与所述压力室相对应；
第一供给液室，其与对应于所述第一喷嘴列的多个所述压力室连通，并被导入有向各个压力室供给的液体；
第一流入口，其使液体向所述头单元内部流入；
第一流出口，其使液体向所述头单元外部流出，
所述第一流入口以及所述第一流出口与所述第一供给液室连通，
所述头单元具备：
第二喷嘴列，其沿着所述第三方向而并排设置有多个所述喷嘴；
第二供给液室，其与对应于所述第二喷嘴列的多个所述压力室连通，并被导入有向各个压力室供给的液体，
所述第一喷嘴列和所述第二喷嘴列在与所述第三方向正交的第四方向上排列，并且在所述第三方向上以彼此偏向相反侧的方式被配置，
所述第一供给液室包括在所述第三方向上与所述第一喷嘴列并行地延伸的第一部分、和与该第一部分连续并且超过所述第一喷嘴列的端部而延伸的第二部分，
所述第二供给液室包括在所述第三方向上与所述第二喷嘴列并行地延伸的第三部分、和与该第三部分连续并且超过所述第二喷嘴列的端部而延伸的第四部分，
所述第二供给液室与使液体向所述头单元内部流入的第二流入口以及使液体向所述头单元外部流出的第二流出口连通，
所述第一喷嘴列和所述第二喷嘴列被配置为点对称，且在所述第四方向上观察时形成有所述喷嘴的区域的一部分重叠
所述头单元具备多个与所述压力产生元件连接的配线部件，
所述液体喷射头具备与多个所述配线部件连接的共同配线基板，
从所述第二方向的一端数起被配置为第奇数个的所述头单元的所述配线部件、和从所述第二方向的一端数起被配置为第偶数个的所述头单元的所述配线部件被配置在相对于所述第三方向而成为点对称的方向上。
2.如权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，
被设置于同一所述头单元中的所述第一喷嘴列的多个所述喷嘴和所述第二喷嘴列的多个所述喷嘴，在从所述第一方向进行观察时在所述第二方向上以固定的间隔而连续排列。
3.一种液体喷射头，其特征在于，其为在与第一方向正交的第二方向上并排设置有多个从喷嘴向在所述第一方向上实施相对移动的介质喷射液体的头单元的液体喷射头，在所述液体喷射头中，
所述头单元具备：
第一喷嘴列，其沿着与所述第一方向和所述第二方向交叉的第三方向而并排设置有多个所述喷嘴；
压力室，其与所述喷嘴连通；
压力产生元件，其与所述压力室相对应；
第一供给液室，其与对应于所述第一喷嘴列的多个所述压力室连通，并被导入有向各个压力室供给的液体；
第一流入口，其使液体向所述头单元内部流入；
第一流出口，其使液体向所述头单元外部流出，
所述第一流入口以及所述第一流出口与所述第一供给液室连通，
所述头单元具备：
第二喷嘴列，其沿着所述第三方向而并排设置有多个所述喷嘴；
第二供给液室，其与对应于所述第二喷嘴列的多个所述压力室连通，并被导入有向各个压力室供给的液体；
第二排出液室，其与对应于所述第二喷嘴列的多个所述压力室连通，并从所述第二供给液室经由所述压力室而流入有液体，
所述第一喷嘴列和所述第二喷嘴列在与所述第三方向正交的第四方向上排列配置，
所述第二供给液室与使液体向所述头单元内部流入的第二流入口连通，
所述第二排出液室与使液体向所述头单元外部流出的第二流出口连通，
所述第一喷嘴列和所述第二喷嘴列被配置为点对称，且在所述第三方向上以彼此隔开间隔的方式被配置，
所述头单元具备多个与所述压力产生元件连接的配线部件，
所述液体喷射头具备与多个所述配线部件连接的共同配线基板，
从所述第二方向的一端数起被配置为第奇数个的所述头单元的所述配线部件、和从所述第二方向的一端数起被配置为第偶数个的所述头单元的所述配线部件被配置在相对于所述第三方向而成为点对称的方向上。
4.如权利要求3所述的液体喷射头，其特征在于，
被设置于同一所述头单元中的所述第一喷嘴列的多个所述喷嘴和所述第二喷嘴列的多个所述喷嘴，在从所述第一方向进行观察时在所述第二方向上以固定的间隔而连续排列。
5.一种液体喷射装置，其特征在于，具备：
权利要求1至权利要求4中的任一项所述的液体喷射头；
输送机构，其将介质向所述第一方向进行输送。
CN202010088298.1A 2019-02-15 2020-02-12 液体喷射头、以及液体喷射装置 Active CN111572192B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019025243A JP7247635B2 (ja) 2019-02-15 2019-02-15 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置
JP2019-025243 2019-02-15

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111572192A CN111572192A (zh) 2020-08-25
CN111572192B true CN111572192B (zh) 2022-07-08

Family

ID=72040939

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010088298.1A Active CN111572192B (zh) 2019-02-15 2020-02-12 液体喷射头、以及液体喷射装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10994538B2 (zh)
JP (1) JP7247635B2 (zh)
CN (1) CN111572192B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7517030B2 (ja) * 2020-09-29 2024-07-17 セイコーエプソン株式会社 液体吐出装置、及びヘッドユニット

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104786657A (zh) * 2014-01-22 2015-07-22 精工爱普生株式会社 液体喷射头单元以及液体喷射装置
JP2016034739A (ja) * 2014-08-04 2016-03-17 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置
CN109203682A (zh) * 2017-07-04 2019-01-15 佳能株式会社 液体喷射装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8157352B2 (en) * 2009-02-26 2012-04-17 Fujifilm Corporation Fluid ejecting with centrally formed inlets and outlets
JP6314711B2 (ja) * 2014-07-11 2018-04-25 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法
US9840076B2 (en) * 2014-08-04 2017-12-12 Seiko Epson Corporation Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
JP2016159514A (ja) * 2015-03-02 2016-09-05 富士フイルム株式会社 液体吐出装置、及び液体吐出ヘッドの異物排出方法
IT201700034134A1 (it) * 2017-03-28 2018-09-28 St Microelectronics Srl Dispositivo di eiezione di fluido con elemento di riduzione del crosstalk, testina di stampa includente il dispositivo di eiezione, stampante includente la testina di stampa e procedimento di fabbricazione del dispositivo di eiezione
JP6508494B2 (ja) * 2018-01-18 2019-05-08 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104786657A (zh) * 2014-01-22 2015-07-22 精工爱普生株式会社 液体喷射头单元以及液体喷射装置
JP2016034739A (ja) * 2014-08-04 2016-03-17 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置
CN109203682A (zh) * 2017-07-04 2019-01-15 佳能株式会社 液体喷射装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2020131487A (ja) 2020-08-31
US20200262198A1 (en) 2020-08-20
JP7247635B2 (ja) 2023-03-29
CN111572192A (zh) 2020-08-25
US10994538B2 (en) 2021-05-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4245034B2 (ja) 液体噴射装置
US11376851B2 (en) Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
JP5845122B2 (ja) ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置
EP3670193B1 (en) Liquid ejecting head and liquid ejecting system
CN112297624B (zh) 液体喷出头以及液体喷出装置
US20160059546A1 (en) Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
JP6780274B2 (ja) 流路部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
CN111572192B (zh) 液体喷射头、以及液体喷射装置
CN112172344B (zh) 液体喷射头以及液体喷射系统
JP6288335B2 (ja) 液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置
JP6295058B2 (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP6569776B2 (ja) 液体吐出装置
JP6992595B2 (ja) 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置
US9498963B2 (en) Flow path member, liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus and liquid stirring method
JP2020147016A (ja) 液体吐出ヘッド、ヘッドモジュール、ヘッドユニット、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置
JP6985646B2 (ja) 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置
JP7102777B2 (ja) 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置
US11760093B2 (en) Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
US11845280B2 (en) Liquid ejecting head and liquid ejecting device
JP7467944B2 (ja) 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置
JP6741055B2 (ja) 液体噴射ヘッド
US20240025172A1 (en) Liquid ejection head
JP2024139560A (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP2022068625A (ja) 液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置
JP2024008580A (ja) 液体吐出ヘッド

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant