JP7247635B2 - 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、インクジェット式記録ヘッドなどの液体噴射ヘッド、これを備えた液体噴射装置に関し、特に、液体貯留部材との間で液体を循環させる液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置に関する。

液体噴射装置は液体噴射ヘッドを備え、この液体噴射ヘッドから各種の液体を液滴として噴射（吐出）する装置である。この液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは色材を含む液体を噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）などの各色材を含む液体を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは電極材料を含む液体を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物を含む液体を噴射する。

上記の液体噴射ヘッドとしては、ノズルが複数並設されたノズル基板、各ノズルに個別に連通する圧力室（若しくは圧力発生室又はキャビティとも呼ばれる）が複数形成された基板、液体貯留部材からの液体が導入される各圧力室に共通な供給液室（若しくはリザーバー又はマニホールドとも呼ばれる）が形成された基板、圧力室内の液体に圧力振動、換言すると圧力変化を生じさせる圧電素子等の圧力発生素子（若しくは駆動素子又はアクチュエーターとも呼ばれる）を備えたものがある。また、このような液体噴射ヘッドを備える液体噴射装置には、媒体が搬送される方向に対してノズルが傾斜する方向に並べて配置されてなるノズル列を有するヘッド本体（或は、ヘッドユニット）が、搬送方向と直交する方向に複数並んで配置された構成のものがある（例えば、特許文献１参照）。この構成では、液体を貯留した液体タンクや液体カートリッジ等の液体貯留部材から液体噴射ヘッドのノズルに至るまでの液体の流れる経路は一方通行であり、液体噴射ヘッドに一旦供給された液体は、ノズルから排出されるまで当該液体噴射ヘッドの内部の流路に留まることになる。

特開２０１５－１３６８６６号公報

上記の構成において、液体噴射ヘッドの内部の流路内に気泡が混入した場合、当該気泡は狭小な流路を通過しにくく、また、浮力が作用するため、圧力発生素子を駆動することによる通常の液体噴射動作ではノズルから排出されにくい。このため、当該気泡を排出させるべく、ノズルが形成された面（以下、ノズル面とも言う）をキャップにより封止した状態でキャップ内の空間と液体噴射ヘッドの流路内部との間にポンプ等により圧力差を生じさせることで、ノズルから液体と共に気泡をキャップ内に排出させる所謂クリーニング動作を行う必要があった。しかしながら、その分、当該クリーニング動作で液体が消費されてしまうという問題があった。

本発明の液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、第１方向に相対的に移動される媒体にノズルから液体を噴射するヘッドユニットが前記第１方向と直交する第２方向に複数並設された液体噴射ヘッドであって、
前記ヘッドユニットは、
前記第１方向と前記第２方向とに交差する第３方向に沿って複数の前記ノズルが並設されたノズル列と、
前記ノズルと連通する圧力室と、
前記圧力室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生素子と、
複数の前記圧力室と連通し、各圧力室へ供給する液体が導入される供給液室と、
前記ヘッドユニット内へ液体を流入させる流入口と、
前記ヘッドユニット外へ液体を流出させる流出口と、
を備える。

液体噴射装置の構成の一形態について説明する模式図である。 液体噴射ヘッドの一形態の構成を説明する分解斜視図である。 共通配線基板の平面図である。 共通配線基板と各ヘッドユニットの配線部材との配置レイアウトについて説明する模式図である。 ヘッドユニットの一形態の構成の分解斜視図である。 ヘッドユニットのＶ方向における断面図である。 ＋Ｚ方向から見た第１の実施形態における液体噴射ヘッドの平面図である。 第１の実施形態におけるノズル列間のノズルの位置関係について説明する模式図である。 ＋Ｚ方向から見た第１の実施形態の第１の変形例における液体噴射ヘッドの平面図である。 第１の実施形態の第１の変形例におけるノズル列間のノズルの位置関係について説明する模式図である。 ＋Ｚ方向から見た第１の実施形態の第３の変形例における液体噴射ヘッドの平面図である。 第１の実施形態の第３の変形例におけるヘッドユニットの断面図である。 第１の実施形態の第３の変形例におけるノズル列間のノズルの位置関係について説明する模式図である。 ＋Ｚ方向から見た第２の実施形態における液体噴射ヘッドの平面図である。 ＋Ｚ方向から見た第２の実施形態の第１の変形例における液体噴射ヘッドの平面図である。 ＋Ｚ方向から見た第３の実施形態における液体噴射ヘッドの平面図である。 ＋Ｚ方向から見たヘッドユニットの平面図である。 ＋Ｚ方向から見た第４の実施形態における液体噴射ヘッドの平面図である。 ＋Ｚ方向から見たヘッドユニットの平面図である。 ＋Ｚ方向から見た第５の実施形態における液体噴射ヘッドの平面図である。 ＋Ｚ方向から見たヘッドユニットの平面図である。

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明に係る液体噴射装置１の一形態として、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド２）を搭載したインクジェット式記録装置を例に挙げて行う。

図１は、液体噴射装置１の構成の一形態について説明する模式図である。本実施形態における液体噴射装置１は、液体の一種であるインクの液滴を記録用紙等の媒体Ｍに噴射・着弾させて当該媒体に形成されるドットの配列により画像等の印刷を行うインクジェット方式の印刷装置である。以下においては、互いに直交するＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向のうち、媒体Ｍの搬送方向、即ち、媒体Ｍと液体噴射ヘッド２との相対移動方向をＹ方向（本発明における第１方向に相当）とし、当該搬送方向に直交する方向をＸ方向（本発明における第２方向に相当）とし、ＸＹ平面に直交する方向をＺ方向とする。また、後述するノズル８が複数並設されてなるノズル列７の方向であって、Ｚ方向に直交すると共にＸ方向及びＹ方向に対してそれぞれ傾斜した方向であり、後述するノズル８が並設された方向（換言すると、ノズル列方向）をＷ方向（本発明における第３方向に相当）とする。さらに、Ｗ方向及びＺ方向に直交する方向を、適宜、Ｖ方向（本発明における第４方向に相当）とする。また、方向を示す矢印の先端側を（＋）方向とし、方向を示す矢印の基端側を（－）方向とする。なお、以下の各図において示されるＸ方向及びＹ方向に対するＷ方向の傾斜の角度は、実際のものとは必ずしも一致するものではなく、液体噴射装置１の仕様等に応じて設定されるものである。

液体噴射装置１は、複数のノズル列７を備えた液体噴射ヘッド２と、液体貯留部材３と、媒体Ｍを搬送する搬送機構４と、液体噴射ヘッド２と液体貯留部材３との間でインクを循環させるポンプ６と、液体噴射装置１の各部を制御する制御ユニット５と、を備える。制御ユニット５は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリ等の記憶回路とを含み、液体噴射装置１における搬送機構４、ポンプ６、及び液体噴射ヘッド２等を統括制御する。搬送機構４は、制御ユニット５による制御の下で、媒体Ｍを給紙側から排紙側に向けてＹ方向に搬送する。即ち、搬送機構４は、液体噴射ヘッド２と媒体ＭとをＹ方向に相対移動させる。液体貯留部材３は、液体噴射ヘッド２から噴射されるインクを貯留する、タンク状、カートリッジ状、又はパック状の各種形態を取り得る液体貯留部材である。そして、送液機構として機能するポンプ６の駆動により液体貯留部材３と液体噴射ヘッド２との間でインクが循環される。なお、液体貯留部材３と液体噴射ヘッド２との間に、バッファーとなる液体貯留部材が別途設けられてもよい。また、液体貯留部材３と液体噴射ヘッド２との間でインクが循環されずに、後述する各ヘッドユニット１０で個別にインクが循環される構成を採用することもできる。

図２は、液体噴射ヘッド２の一形態の分解斜視図である。本実施形態における液体噴射ヘッド２は、複数のヘッドユニット１０をＸ方向に並べて備え、各ヘッドユニット（換言すると、単位ヘッド）１０がそれぞれ有するノズル８がＸ方向に一定のピッチで配列されている。そして、図１のように、Ｘ方向におけるノズル８の配列の全長が媒体Ｍの最大幅以上となるように、液体噴射ヘッド２をＸ方向に複数並べることで所謂ライン型ヘッドを構成することができる。なお、図２においては、６つのヘッドユニット１０を備えた構成が図示されているが、当該ヘッドユニット１０の数は例示したものには限られず、後述する各実施形態のように、液体噴射装置１の仕様等によって増減することができる。また、図１においては、６つの液体噴射ヘッド２を備える構成が図示されているが、当該液体噴射ヘッド２の数は例示したものには限られず、液体噴射装置１の仕様等によって増減することができる。さらに、Ｘ方向におけるノズル８の配列の全長が媒体Ｍの最大幅以上となるように、単一の液体噴射ヘッドを長尺化することでライン型ヘッドを構成することもできる。

本実施形態における液体噴射ヘッド２は、複数のヘッドユニット１０と、共通配線基板１１と、流路ユニット１２と、固定板１３と、を備えている。より具体的には、各ヘッドユニット１０がＸ方向に並べて配置された状態で固定板１３に接合され、各ヘッドユニット１０の上に流路ユニット１２及び共通配線基板１１が順に積層されている。各ヘッドユニット１０には、後述する圧電素子２７に一端部が電気的に接続された配線部材１４がそれぞれ設けられている。配線基板１４は、各ヘッドユニット１０の圧電素子２７と共通配線基板１１とを電気的に接続する、例えばＣＯＦ（Chip On Film）等の可撓性を有する配線材である。各配線部材１４は、流路ユニット１２に形成された配線挿通口１６に挿通され、その他端部が共通配線基板１１に電気的に接合される。

図３は、共通配線基板１１の平面図である。また、図４は、共通配線基板１１と各ヘッドユニット１０の配線部材１４との配置レイアウトについて説明する模式図であり、図３におけるＡ－Ａ線断面に相当する図である。なお、図４では、流路ユニット１２、固定板１３の開口部２２の図示、および後述する配線部材１４－３，１４－４に対応する領域の図示（換言すれば、液体噴射ヘッド２のＸ方向における中央部分）の図示は省略されている。また、図３において、左上側をＸ方向における一方（若しくは一側）とし、右下側をＸ方向における他方（若しくは他側）とし、また、上側をＷ方向における一方（若しくは一側）とし、下側をＷ方向における他方（若しくは他側）とする。同様に、図４において左側をＶ方向における一方（若しくは一側）とし、右側をＶ方向における他方（若しくは他側）とする。但し、各部材における各方向における一方の端を、適宜、一端とし、また、各部材における各方向における他方の端を、適宜、他端とする。

共通配線基板１１は、図示しないプリント配線や、制御ユニット５と電気的に接続するための図示しないＦＦＣ等の配線が接続されるコネクター１５が設けられた基板である。本実施形態において、共通配線基板１１の上面、即ち、流路ユニット１２に対向する下面とは反対の面に、各ヘッドユニット１０の配線基板１４と電気的に接続するための複数の端子がＷ方向に並設された基板端子部１９が、各ヘッドユニット１０に対応させて複数設けられている。Ｗ方向において、基板端子部１９の一端から共通配線基板１１の一端（換言すると、共通配線基板１１のＹ方向における一方の側縁）までの距離ｄは、各基板端子部１９で一定に揃えられている。つまり、各基板端子部１９は、共通配線基板１１の側縁に沿ってＸ方向に並設されている。また、共通配線基板１１のＸ方向における両側縁には凹状の切欠部１８が形成されている。Ｗ方向における切欠部１８の寸法は、配線部材１４のＷ方向における横幅よりも少し大きく設定されている。この切欠部１８には、複数のヘッドユニット１０のうちＸ方向の両端部に位置するヘッドユニット１０に接続された配線部材１４（本実施形態においては配線部材１４－１及び配線部材１４－６）が配置される。このうち、Ｘ方向における一方の切欠部１８に対してＶ方向における他方に基板端子部１９が隣り合わせで形成されており、同様に、Ｘ方向における他方の切欠部１８に対してＶ方向における一方に基板端子部１９が隣り合わせで形成されている。即ち、各切欠部１８に対して図中、点Ｃ２で示す共通配線基板１１の中心側に隣り合わせる状態でそれぞれ基板端子部１９が形成されている。また、Ｘ方向において共通配線基板１１の各切欠部１８の間の領域には、各ヘッドユニット１０のうちＸ方向における両端部に位置するものを除く残りのヘッドユニット１０の配線部材１４が挿入される配線挿入口１７が、基板端子部１９とそれぞれ対応させて形成されている。配線挿入口１７と基板端子部１９との位置関係に関し、Ｘ方向における一端から数えて偶数番目の基板端子部１９は、配線挿入口１７に対してＸ方向の一方に位置し、奇数番目の基板端子部１９は、配線挿入口１７に対してＸ方向の他方に位置する。

配線部材１４は、第１接続部１４ａと第２接続部１４ｂと中継部１４ｃとを有する。第１接続部１４ａ及び第２接続部１４ｂは、配線部材１４の両端に位置する部分である。すなわち、配線部材１４のうち、第１接続部１４ａと第２接続部１４ｂとの間に中継部１４ｃが位置する。図４に示されるように、第１接続部１４ａと第２接続部１４ｂとは、中継部１４ｃとの境界において互いに反対向きとなるように折り曲げられている。第１接続部１４ａは、後述するヘッドユニット１０の各圧電素子２７に電気的に接続される。第２接続部１４ｂには、共通配線基板１１の基板端子部１９に電気的に接続される複数の端子が並設されてなる配線端子部２０が形成されている。また、中継部１４ｃにはＩＣチップ１４ｄが搭載される。ＩＣチップ１４ｄは、共通配線基板１１から供給される制御信号および電源電圧に基づき各圧電素子２７への駆動信号の印加を制御する。

上記の構成において、Ｘ方向における一端から数えて奇数番目に配置されている配線部材１４－１，１４－３，１４－５と、同じく偶数番目に配置されている配線部材１４－２，１４－４，１４－６と、は、図３に示されるように、Ｚ方向から見たときに点対称となる向きで配置されている。即ち、図４に示されるように、奇数番目の配線部材１４－１と偶数番目の配線部材１４－２とは、共通配線基板１１の中心点である点Ｃ２を通りＸ方向に延びる仮想中心線と、両者が接続されている基板端子部１９の間においてＷ方向に延びる仮想中心線と、の交点である点Ｃ１を中心として点対称に配置されている。換言すると、Ｗ方向から見たときに、配線部材１４－１と配線部材１４－２とは、両者が接続されている各基板端子部１９の間においてＺ方向に延びる仮想線に対して線対称に配置されている。同様に、奇数番目の配線部材１４－３と偶数番目の配線部材１４－４とは点Ｃ２に対して点対称に配置されており、Ｗ方向から見てＺ方向に延びる仮想線に対して線対称に配置されている。また、奇数番目の配線部材１４－５と偶数番目の配線部材１４－６とは点Ｃ３に対して点対称に配置されており、Ｗ方向から見てＺ方向に延びる仮想線に対して線対称に配置されている。つまり、隣り合う奇数番目の配線部材１４と偶数番目の配線部材１４とは、互いの第２接続部１４ｂの先端を向き合わせる状態で配置されている。なお、共通配線基板１１に接続される配線部材１４の数が奇数である場合には、Ｘ方向における両端部に位置する配線部材１４が、共通配線基板１１の配線面（即ち、本実施形態においては上面）に沿うように屈曲された第２接続部１４ｂの先端同士を互いに向き合わせる状態で点対称に配置されていればよい。

このような構成を採用することにより、共通配線基板１１に接続された複数の配線部材１４のうちＸ方向における両端部に位置する各配線部材１４における第２接続部１４ｂの先端がＸ方向において内側（即ち、共通配線基板１１の中心側）を向くので、共通配線基板１１において、Ｘ方向における両端部に位置する各配線部材１４の外側に配線や端子等を配置するスペースが不要となり、その分、共通配線基板１１を小型化することが可能となり、その結果、液体噴射ヘッド２の小型化に寄与する。つまり、図４に示されるように、Ｘ方向において、共通配線基板１１の長さＬｃを、各ヘッドユニット１０の配置範囲内（図４においてＬｈで示す範囲）に納めることができる。これにより、液体噴射ヘッド２をＸ方向に複数並べて配置する際に、共通配線基板１１同士が干渉することなく液体噴射ヘッド２同士をより近づけることが可能となる。その結果、複数の液体噴射ヘッド２が備える各ヘッドユニット１０のノズル８を全体としてＸ方向に一定のピッチで並ぶように配置することが可能となる。また、各ヘッドユニット１０の配線基板１４を共通化することができるので、その分、コストを抑えることが可能となる。

共通配線基板１１と各ヘッドユニット１０との間に配置される流路ユニット１２は、内部に流路が形成された構造体であり、供給口２１から供給されたインクを各ヘッドユニット１０に分配する。固定板１３は、ヘッドユニット１０を支持する平板状の部材であり、例えばステンレス鋼等の金属板で形成される。この固定板１３には、複数のヘッドユニット１０に対応する複数の開口部２２が形成されている。この開口部２２は、固定板１３に各ヘッドユニット１０が位置決めされた状態で接合されたときに、各ヘッドユニット１０のノズル８が固定板１３の下面、即ち、印刷動作時に媒体Ｍと対向する面に露出するように構成されている。なお、同図においては、６つのヘッドユニット１０を備えた構成が図示されているが、当該ヘッドユニット１０の数は例示したものには限られず、後述する各実施形態のように、液体噴射装置１の仕様等によって増減することができる。

図５は、ヘッドユニット１０の一形態の分解斜視図である。また、図６は、ヘッドユニット１０のＶ方向における断面図である。なお、図５においては、配線部材１４の図示は省略されている。本実施形態におけるヘッドユニット１０は、各種の流路が形成された流路基板２４と、圧力室２５が形成された圧力室基板２６と、圧電素子２７を保護する保護基板２８と、各ノズル８に共通な液室（後述）を有する共通流路基板２９と、を備えている。

本実施形態における流路基板２４は、例えば、シリコン単結晶基板等から形成されており、共通導入液室３９、第１個別連通路４５、ノズル連通路４６、第２個別連通路４７、及び、共通導出液室４１を有している。この流路基板２４のＺ方向における上面には、圧力室基板２６及び保護基板２８がこの順に積層された状態で接合され、さらに、後述するように、圧力室基板２６及び保護基板２８を配線空部３１に収容した状態で共通流路基板２９が接合されている。また、流路基板２４のＺ方向における下面において、Ｘ方向の中央部にはノズル基板３５が接合されており、このノズル基板３５を間に挟んだ両側には第１コンプライアンス基板３６及び第２コンプライアンス基板３７が接合されている。

共通導入液室３９は、ノズル８が並設されたノズル列方向、換言するとＷ方向に沿って延在し、複数の圧力室２５に連通する液室である。流路基板２４の上面における共通導入液室３９の開口は、共通流路基板２９の導入液室３２と連通する。また、流路基板２４の下面における共通導入液室３９の開口は、当該下面に接合された後述する第１コンプライアンス基板３６により閉鎖されている。第１個別連通路４５は、圧力室基板２６に形成された複数の圧力室２５と共通導入液室３９（即ち、供給液室４０）とを個別に連通させる流路であり、各圧力室２５に対応させて複数設けられている。換言すると、第１個別連通路４５は、供給液室４０から各圧力室２５に連通する流路である。この第１個別連通路４５は、液体貯留部材３から圧力室２５に向かう流路における他の部分と比較して流路断面積が小さく設定されており、当該第１個別連通路４５を通過するインクに対して流路抵抗を付与する。

ノズル連通路４６は、流路基板２４の厚さ方向を貫通した流路であり、流路基板２４の下面に接合されたノズル基板３５のノズル８と、当該ノズル８に対応する圧力室２５とを連通させる。第２個別連通路４７は、ノズル８毎に対応させて個別に形成された流路である。この第２個別連通路４７の一端は、ノズル連通路４６に連通し、また、第２個別連通路４７の他端は、共通導出液室４１（換言すると、後述する排出液室４３）に連通している。そして、本実施形態における第１個別連通路４５、圧力室２５、ノズル連通路４６、及び、第２個別連通路４７は、ノズル８毎に個別に設けられた個別流路である。

共通導出液室４１は、Ｗ方向に沿って延在する液室であり、第２個別連通路４７を介して複数のノズル８に連通している。即ち、共通導出液室４１は、複数のノズル８に共通な液室である。この共通導出液室４１の流路基板２４における上面側の開口は、共通流路基板２９の導出液室３３と連通している。共通導出液室４１の流路基板２４の下面側の開口は、第２コンプライアンス基板３７によって閉鎖されている。

圧力室基板２６は、Ｚ方向からの平面視において流路基板２９よりも小さい面積の板状部材であり、流路基板２９と同様にシリコン単結晶基板等から形成されている。この圧力室基板２６に形成されている圧力室２５は、Ｗ方向に直交するＶ方向に長尺な液室であり、圧力室基板２６の下面に開口している。圧力室基板２６が流路基板２４の上面に接合されることで当該開口が塞がれて圧力室２５が画成される。圧力室２５のＶ方向における一端部（図６中右側の端部）は、流路基板２４の第１個別連通路４５を介して共通導入液室３９（換言すると、後述する供給液室４０）と連通している。また、圧力室２５のＶ方向における他端部（図６中左側の端部）は、流路基板２４のノズル連通路４６を介してノズル基板３５のノズル８と連通している。

圧力室基板２６において、圧力室２５の上面側には、可撓性を有する振動板２３が設けられている。この振動板２３は、圧力発生素子として機能する圧電素子２７の駆動に応じて変位可能に薄板状に形成された部分である。そして、振動板２３上の各圧力室２５に対応する部分には、圧電素子２７がそれぞれ形成されている。各圧電素子２７は、圧力室２５に個別に対応して設けられており、制御ユニット５からの駆動信号を受けて変形する駆動素子である。この圧電素子２７の変形に伴って振動板２３が変形することにより圧力室２５の容積が増減し、これにより圧力室２５内のインクに圧力振動（換言すると、圧力変化）が生じる。ヘッドユニット１０では、この圧力振動を利用してノズル８から液滴、即ち、インク滴を噴射させる。

第１コンプライアンス基板３６は、各ノズル８からインク滴を噴射させる際に各圧力室２５側から後述する供給液室４０内に伝播する圧力振動を吸収して、各ノズル８間の噴射特性（即ち、インク滴の量や噴射速度等）のばらつきを抑えるための基板である。この第１コンプライアンス基板３６や後述する第２コンプライアンス基板３７は、可撓性を有するフィルム状の図示しない薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、芳香族ポリアミド（アラミド）等により形成された薄膜）を有している。この薄膜が、液室内のインクの圧力振動に応じて変位することにより、当該圧力振動を吸収する。

ノズル基板３５は、流路基板２４の下面に接合されてノズル連通路４６、及び、第２個別連通路４７の開口を閉塞する。本実施形態におけるノズル基板３５は、例えばシリコン（Ｓｉ）の単結晶基板に対しドライエッチングやウェットエッチング等が施されることにより、複数のノズル８が所定のピッチで並設されてノズル列７が構成されている。ノズル８は、インクを噴射する円形状の貫通孔であり、周知の種々の形状を採用することができる。なお、図５及び図６においては、ノズル基板３５にノズル列７が１列のみ図示されているが、後述するように、ノズル列７が２列設けられる構成が採用される場合もある（図１２参照）。

保護基板２８は、圧力室基板２６の振動板２３上に設けられた各圧電素子２７の形成領域に対応させて凹状の収容空部４８が形成されている。当該保護基板２８は、収容空部４８内に圧電素子２７を収容するようにして圧力室基板２６の上面に接合されている。また、保護基板２８は、圧電素子２７から引き出されたリード電極３０と接続される配線基板１４の設置用に、基板厚さ方向を貫通した配線用貫通口４９を有している。

共通流路基板２９は、中央部分に高さ方向（即ち、Ｚ方向）を貫通した配線空部３１を有している。また、共通流路基板２９が流路基板２４に接合された状態において、共通流路基板２９の配線空部３１には、流路基板２４の上面に設けられた圧力室基板２６及び保護基板２８が積層されて配置される。また、この配線空部３１には、圧電素子２７に接続された配線部材１４が配置される。

共通流路基板２９において、配線空部３１のＸ方向における両側には、それぞれ導入液室３２及び導出液室３３が形成されている。導入液室３２は、共通流路基板２９の下面における開口し、当該開口が流路基板２４で閉鎖されて、当該流路基板２４に形成された共通導入液室３９と連通する。この共通導入液室３９と導入液室３２とが一連に連通することで１つの供給液室４０が区画されている。供給液室４０は、複数の圧力室２５へのインクの供給に共用される液室である。同様に、導出液室３３は、共通流路基板２９の下面に開口し、流路基板２４の共通導出液室４１と連通して排出液室４３を区画している。この排出液室４３は、供給液室４０から圧力室２５等の個別流路を介してノズル８から噴射されなかったインクが流入する液室である。

共通流路基板２９の上面には、供給液室４０に連通する流入口３８と、排出液室４３に連通する流出口４４とが形成されている。即ち、流入口３８は、ヘッドユニット１０内にインクを流入させる貫通孔であり、流出口４４は、ヘッドユニット１０外へインクを流出させる貫通孔である。なお、流入口３８及び流出口４４の形成位置や数については、以下において説明する各実施形態に応じて異なる。

次に、本発明に係る液体噴射装置１の実施形態におけるノズル８及びノズル列７の配置とインクの循環とについて主に説明する。

図７は、第１の実施形態における液体噴射ヘッド２を＋Ｚ方向から見た平面図であり、特にインクの循環の仕方について模式的に示した図である。なお、図７では、固定板１３を透視した状態が示され、また当該固定板１３の開口２２の図示は省略されている。また、図７において、液体噴射ヘッド１０と、流入口３８と、流出口４４と、供給液室４０とは破線で図示されている。図８は、第１の実施形態におけるノズル列７間のノズル８の位置関係について説明する模式図である。

本実施形態における液体噴射ヘッド２は、３つのヘッドユニット１０ａ～１０ｃがＸ方向に並設されており、各ヘッドユニット１０ａ～１０ｃは、ノズル列７をそれぞれ一列ずつ備えている。各ヘッドユニット１０のノズル列７ａ～７ｃは、Ｚ方向に直交すると共にＸ方向及びＹ方向に対してそれぞれ傾斜したＷ方向に沿って形成されており、何れも同じ種類のインク、即ち、同じ色（例えば、ブラック）のインクを噴射する。図８に示されるように、同一のノズル列７を構成する複数のノズル８は、Ｙ方向から見たときにＸ方向に一定のピッチ（換言すると、Ｘ方向に隣り合うノズル８同士の中心間距離）Ｐ１で並ぶように配置されている。本実施形態において、Ｐ１は、例えば、媒体Ｍにおけるインクの着弾ドットの形成密度である６００ｄｐｉに対応する間隔に設定されている。また、Ｘ方向において隣り合うヘッドユニット１０における一方（図７中左側）のヘッドユニット１０のノズル列７におけるＷ方向の一端（図７中右上）に位置するノズル８と、他方（図７中右側）のヘッドユニット１０のノズル列７におけるＷ方向の他端（図７中左下）に位置するノズル８とは、図８に示されるように、Ｘ方向において一定のピッチＰ１で並んでいる。即ち、各ヘッドユニット１０ａ～１０ｃにそれぞれ形成されたノズル８は、Ｙ方向から見たときにＸ方向に一定のピッチＰ１で連続するように配置されている。この場合の「連続する」とは、Ｘ方向において隣り合うノズル８の間にＰ１以上の間隔が無いことを意味する。このように、各ヘッドユニット１０のノズル列７ａ～７ｃは、媒体Ｍの搬送方向であるＹ方向及びこれに直交するＸ方向に対してそれぞれ傾斜したＷ方向に沿って配置されているため、各ヘッドユニット１０及びこれらを備える液体噴射ヘッド２のＹ方向に小型化しつつ、隣り合うヘッドユニット１０のノズル８をＸ方向において一定のピッチＰ１で連続的に繋げることができる。なお、全体としてノズル８がＸ方向に一定のピッチＰ１で並んでいれば、隣り合うヘッドユニット１０同士のノズル８がＹ方向から見て重なる位置に配置されていても良く、この場合においても各ノズル８はＸ方向に連続して配置されていると言える。

また、本実施形態では、各ヘッドユニット１０において供給液室４０のみが使用され、排出液室４３及び第２個別連通路４７については使用されない。そして、本実施形態における供給液室４０には、流入口３８及び流出口４４の両方が設けられている。図７の例では、供給液室４０におけるＷ方向の一端部に流入口３８が設けられ、供給液室４０におけるＷ方向の他端部に流出口４４が設けられている。

本実施形態では、液体噴射ヘッド２による印刷動作中において、液体貯留部材３と各ヘッドユニット１０の供給液室４０との間でポンプ６の駆動によりインクの循環が行われる。即ち、液体貯留部材３から送られてくるインクは、流入口３８から供給液室４０に導入される。供給液室４０内のインクは、第１個別連通路４５（図６参照）を通じて各圧力室２５にそれぞれ供給される。流入口３８から供給液室４０に導入されたインクは、図７においてハッチングの矢印で示されるように、供給液室４０の一端部から他端部に向かって、ノズル列７の方向であるＷ方向に沿って流れる。ノズル８から噴射されなかったインクは、供給液室４０の他端部に設けられた流出口４４から送り出されて液体貯留部材３に戻される。ポンプ６が駆動されている間は、流入口３８と流出口４４との間でインクの循環が継続される。液体貯留部材３に送り出されたインクは、例えばフィルターを通過させることで、当該インクに含まれる気泡が除去される。

このように、本実施形態の構成では、供給液室４０に流入口３８と流出口４４とが設けられ、この間でインクを循環させることができるため、ヘッドユニット１０の内部の流路に気泡が生じた場合においても当該気泡をヘッドユニット１０の外部へ排出することができる。その結果、ヘッドユニット１０の内部のインクを強制的にノズル８から排出させる所謂クリーニング動作やフラッシング動作等のメンテナンス動作の回数を減らすことができ、当該メンテナンス動作で消費するインクの量を低減することが可能となる。また、供給液室４０に流入口３８と流出口４４とが設けられるので、排出液室４３及び第２個別連通路４７が不要となり、その分、ヘッドユニット１０の小型化が可能となるので、より省スペースでインクを循環させる構成を採ることが可能となる。

なお、本実施形態においては、液体貯留部材３と各ヘッドユニット１０の供給液室４０との間でインクが循環する構成を例示したが、これには限られず、例えば、流入口３８と流出口４４とを繋ぐ循環用流路と、当該循環用流路に設けられたフィルターと、循環用のポンプとがヘッドユニット１０毎に設けられ、液体貯留部材３を介さずにインクを循環させる構成を採用することもできる。この場合、流入口３８とは別に、液体貯留部材３からのインクを供給液室４０に導入するための導入口が設けられる。また、供給液室４０における流入口３８及び流出口４４の位置は、例示した構成に限られず、例えば、流入口３８及び流出口４４の位置関係が図７に示した場合とは逆であってもよい。したがって、この場合、流入口３８から流入したインクが流出口４４に向かって流れる方向は、図７に示した方向とは逆になる。

図９は、図７に対応する図であり、第１の実施形態の第１の変形例における液体噴射ヘッド２を＋Ｚ方向から見た平面図である。また、図１０は、第１の変形例におけるノズル列７間のノズル８の位置関係について説明する模式図である。本実施形態における液体噴射ヘッド２は、合計６つのヘッドユニット１０ａ～１０ｆがＸ方向に並設されており、各ヘッドユニット１０ａ～１０ｆは、ノズル列７をそれぞれ一列ずつ備えている。具体的には、Ｘ方向における一端（図中左端）から他端（図中右端）に向かってノズル列７ａ～７ｆが設けられている。

本実施形態では、図９においてノズル８が白抜き円で示された奇数番目のノズル列７ａ，７ｃ，７ｅと、同図においてノズル８が黒塗り円で示された偶数番目のノズル列７ｂ，７ｄ，７ｆとは、互いに異なる種類（即ち、異なる色）のインクを噴射する。即ち、本実施形態における液体噴射ヘッド２は、２種類のインクの噴射が可能に構成されている。また、隣り合う奇数番目のノズル列７のうち一方のノズル列７におけるＷ方向の一端（図中右上）に位置するノズル８と、他方（図中右側）のノズル列７におけるＷ方向の他端（図中左下）に位置するノズル８とは、図１０に示されるように、Ｘ方向において一定のピッチＰ１で並んでいる。同様に、隣り合う偶数番目のノズル列７のうち一方のノズル列７におけるＷ方向の一端に位置するノズル８と、他方のノズル列７におけるＷ方向の他端に位置するノズル８とは、Ｘ方向においてピッチＰ１で並んでいる。即ち、各色のノズル８は、それぞれＹ方向から見たときにＸ方向に一定のピッチＰ１で連続している。また、奇数番目のノズル列７のノズル８と、偶数番目のノズル列７のノズル８とは、図１０に示されるように、Ｘ方向において上記ピッチＰ１の１／２のピッチＰ２で並ぶように配置されている。なお、インクの循環の構成等のその他の構成については第１の実施形態と同様である。

上記第１の変形例では、図９においてノズル８が白抜き円で示された奇数番目のノズル列７ａ，７ｃ，７ｅと、同図においてノズル８が黒塗り円で示された偶数番目のノズル列７ｂ，７ｄ，７ｆとが、互いに異なる種類のインクを噴射する構成を例示したが、この構成には限られず、第１の実施形態の第２の変形例として、ノズル列７ａ～７ｆが同一種類のインクを噴射する構成を採用することもできる。この場合、図１０に示されるように、Ｙ方向から見たときに各ノズル列７の形成領域が重複する範囲では、Ｘ方向に上記のピッチＰ２（例えば、１２００ｄｐｉに相当するピッチ）で並び、ピッチＰ１で並ぶ構成と比較してＸ方向におけるノズル密度が２倍となる。このため、より高解像度での印刷・記録が可能となる。

図１１は、図７に対応する図であり、第１の実施形態の第３の変形例における液体噴射ヘッド２を＋Ｚ方向から見た平面図である。また、図１２は、第３の変形例におけるヘッドユニット１０の断面図である。さらに、図１３は、第３の変形例におけるノズル列７間のノズル８の位置関係について説明する模式図である。本実施形態における液体噴射ヘッド２は、合計６つのヘッドユニット１０ａ～１０ｆがＸ方向に並設されており、さらに、各ヘッドユニット１０ａ～１０ｆは、ノズル列７をそれぞれ２列ずつ備えている。以下、同一ヘッドユニット１０に設けられた２列のノズル列７のうち、Ｖ方向における一方（図１１における左上）に位置するノズル列７を第１ノズル列７－１、他方（図１１における右下）に位置するノズル列７を第２ノズル列７－２と適宜称する。

図１２に示されるように、第３の変形例における各ヘッドユニット１０には、導入液室３２、第１個別連通路４５、圧力室２５、及びノズル連通路４６が、各ノズル列７に対応して形成されている。図１１に示されるように、同一ヘッドユニット１０における第１ノズル列７－１と第２ノズル列７－２とは、ノズル基板３５の中心Ｃ４に対して互いに点対称となるようにＶ方向に並設されている。この中心Ｃ４は、第１ノズル列７－１のＷ方向における一端に位置するノズル８と第２ノズル列７－２のＷ方向における他端に位置するノズル８との、Ｙ方向（即ち、媒体Ｍの搬送方向）における距離の半分に相当する位置、かつＸ方向における距離の半分に相当する位置にある。なお、本変形例では、排出液室４３は設けられておらず、導入液室３２に流入口３８及び流出口４４が設けられている。また、図１３においてハッチングで示されるノズル８ｄは、インクの噴射に使用されないダミーノズルであり、このダミーノズルに対応する圧力室２５は形成されているが、供給液室４０とは連通されておらず、インクが流入しない構成となっている。また、ノズル８ｄに対応する部分には圧電素子２７が形成されていない。但し、圧電体が形成されていてもよい。また、ダミーノズル８ｄは実際にはノズル基板３５に設けられてなくてもよく、ダミー圧力室２５のみが圧力室基板２６に形成されていてもよい。

図１１に示されるように、本変形例の記録ヘッド２には、Ｘ方向における一端（図中左端）から他端（図中右端）に向かってノズル列７ａ－１，７ａ－２，７ｂ－１，７ｂ－２，７ｃ－１，７ｃ－２，７ｄ－１，７ｄ－２，７ｅ－１，７ｅ－２，７ｆ－１，７ｆ－２の合計１２列のノズル列７が設けられており、何れも同じ種類（即ち、同色）のインクを噴射する。

図１３に示されるように、各ノズル列７のノズル８は、Ｘ方向においてピッチＰ１で並ぶ。また、同一ヘッドユニット１０において、第１ノズル列７－１のノズル８と、当該ノズル８に対しＶ方向に隣り合う第２ノズル列７－２のノズル８とは、Ｘ方向において上記ピッチＰ１の３／４のピッチＰ３で並ぶ。また、Ｘ方向において隣り合うヘッドユニット１０における一方のヘッドユニット１０の第１ノズル列７－１のノズル８と、他方のヘッドユニット１０の第１ノズル列７－１のノズル８とは、Ｘ方向においてピッチＰ２で並ぶ（第２ノズル列７－２同士も同様）。さらに、Ｘ方向において隣り合う奇数番目のヘッドユニット１０同士における一方のヘッドユニット１０の第１ノズル列７－１のノズル８と、他方のヘッドユニット１０の第１ノズル列７－１のノズル８とは、Ｘ方向においてピッチＰ１で並ぶ（第２ノズル列７－２同士も同様）。同様に、Ｘ方向において隣り合う偶数番号のヘッドユニット１０同士における一方のヘッドユニット１０の第１ノズル列７－１のノズル８と、他方のヘッドユニット１０の第１ノズル列７－１のノズル８とは、Ｘ方向においてピッチＰ１で並ぶ（第２ノズル列７－２同士も同様）。なお、インクの循環の構成等のその他の構成については第１の実施形態と同様である。本変形例では、図１３に示されるように、Ｙ方向から見たときに各ノズル列７の形成領域が重複する範囲ではＸ方向に上記のピッチＰ１の３／４のピッチＰ４（例えば、２４００ｄｐｉに相当するピッチ）で各ノズル８が並び、ピッチＰ１で並ぶ構成と比較してＸ方向におけるノズル密度が４倍となる。このため、さらに高解像度での印刷・記録が可能となる。

上記第３の変形例では、全てのノズル列７に同じ種類（即ち、同色）のインクを噴射させる構成を例示したが、これには限られず、第１の実施形態の第４の変形例として、各ヘッドユニット１０の第１ノズル列７－１と第２ノズル列７－２とにそれぞれ異なる種類のインクを噴射させる構成を採用することもできる。この場合、Ｙ方向から見たときにインクの種類毎にノズル８がＸ方向にピッチＰ２で並ぶことになる。さらに、第１の実施形態の第５の変形例として、奇数番目のヘッドユニット１０と偶数番目のヘッドユニットとで、それぞれに上記２種類のインクとは異なる種類のインクを噴射させることにより、合計４種類のインクの噴射させることが可能となる。例えば、奇数番目のヘッドユニット１０ａ，１０ｃ，１０ｅの第１のノズル列７ａ－１，７ｃ－１，７ｅ－１からブラックインクを、第２のノズル列７ａ－２，７ｃ－２，７ｅ－２からシアンインクを噴射させ、また、偶数番目のヘッドユニット１０ｂ，１０ｄ，１０ｆの第１のノズル列７ｂ－１，７ｄ－１，７ｆ－１からマゼンタインクを、他方のノズル列７ｂ－２，７ｄ－２，７ｆ－２からイエローインクを噴射させることで、４色のインクによる印刷が可能となる。即ち、一種類（即ち、一色）あたり３列のノズル列７を使用して印刷動作を行うことになる。

図１４は、図７に対応する図であり、第２の実施形態における液体噴射ヘッド２を＋Ｚ方向から見た平面図であり、特にインクの循環の仕方について模式的に示した図である。本実施形態における液体噴射ヘッド２は、第１の実施形態と同様に、３つのヘッドユニット１０ａ～１０ｃがＸ方向に並設されており、各ヘッドユニット１０ａ～１０ｃは、ノズル列７をそれぞれ一列ずつ備えている。各ヘッドユニット１０のノズル列７ａ～７ｃは、何れも同じ種類のインク、即ち、同じ色のインクを噴射する。各ノズル列７のノズル８の位置関係は、図８に示される第１の実施形態と同様となっている。また、各ヘッドユニット１０は、図６に示されるように、供給液室４０と排出液室４３とを有し、供給液室４０に流入口３８が設けられ、排出液室４３に流出口４４が設けられている。図１４の例では、供給液室４０におけるＷ方向の中央部に流入口３８が設けられ、排出液室４３におけるＷ方向の中央部に流出口４４が設けられている。供給液室４０における流入口３８及び流出口４４の位置は、例示した構成に限られず、例えば、供給液室４０におけるＷ方向の一端部に流入口３８が設けられる一方、排出液室４３におけるＷ方向の他端部に流出口４４が設けられる構成を採用することができる。これにより、供給液室４０及び排出液室４３の一端部から他端部に向けてインクが流れるので、インクの滞留が抑制され、その結果、気泡排出性が向上する。

本実施形態では、ポンプ６の駆動によりインクの循環が行われる際、流入口３８から供給液室４０にインクが導入されると、当該供給液室４０内のインクは、ハッチングの矢印で示されるようにＷ方向に沿って流れ、第１個別連通路４５を通じて各圧力室２５にそれぞれ供給される。また、ノズル８から噴射されなかったインクは、黒塗りの矢印で示されるように、第２個別連通路４７を通じて排出液室４３に流れる。つまり、排出液室４３には、供給液室４０から圧力室２５を介してインクが流入する。そして、排出液室４３に流入したインクは、流出口４４から送り出されて液体貯留部材３に戻される。ポンプ６が駆動されている間は、流入口３８と流出口４４との間でインクの循環が継続される。なお、他の構成については図８に例示した第１の実施形態の構成と同様である。

本実施形態の構成においてもインクを循環させることができるため、ヘッドユニット１０の内部に気泡が生じた場合においても当該気泡をヘッドユニット１０の外部へ排出することができる。その結果、ヘッドユニット１０の内部のインクを強制的にノズル８から排出させる所謂クリーニング動作やフラッシング動作等のメンテナンス動作の回数を減らすことができ、当該メンテナンス動作で消費するインクの量を低減することが可能となる。また、圧力室２５等のノズル８毎に設けられた流路である個別流路を経由してインクの循環が行われるので、ノズル８近傍のインクの増粘やインク中の含有成分の沈降を抑制することが可能となる。これにより、メンテナンス動作の回数をより削減することが可能となる。また、圧力室２５等の個別流路を経由してインクの循環が行われるので、ノズル８近傍のインクの増粘やインク中の含有成分の沈降を抑制することが可能となる。これにより、メンテナンス動作の回数をより削減することが可能となる。

図１５は、図７に対応する図であり、第２の実施形態の第１の変形例における液体噴射ヘッド２を＋Ｚ方向から見た平面図である。本実施形態における液体噴射ヘッド２は、合計６つのヘッドユニット１０ａ～１０ｆがＸ方向に並設されており、各ヘッドユニット１０ａ～１０ｆは、ノズル列７をそれぞれ一つずつ備えている。具体的には、Ｘ方向における一端（図中左端）から他端（図中右端）に向かってノズル列７ａ～７ｆが設けられている。このうち、図１５においてノズル８が白抜き円で示された奇数番目のノズル列７ａ，７ｃ，７ｅと、同図においてノズル８が黒塗り円で示された偶数番目のノズル列７ｂ，７ｄ，７ｆとは、互いに異なる種類のインクを噴射する。即ち、本実施形態における液体噴射ヘッド２は、２種類のインクを噴射するように構成されている。なお、各ノズル列７のノズル８の位置関係は、図９及び図１０に示される第１の実施形態の第１の変形例と同様となっている。また、インクの循環の構成等のその他の構成については第２の実施形態と同様である。

上記第１の変形例では、奇数番目のノズル列７ａ，７ｃ，７ｅと、同図においてノズル８が黒塗り円で示された偶数番目のノズル列７ｂ，７ｄ，７ｆとが、互いに異なる種類のインクを噴射する構成を例示したが、これには限られず、第２の実施形態の第２の変形例として、ノズル列７ａ～７ｆに同一種類のインクを噴射させる構成を採用することもできる。この場合、Ｙ方向から見たときに各ノズル列７の形成領域が重複する範囲では、Ｘ方向に上記のピッチＰ２（例えば、１２００ｄｐｉに相当するピッチ）で並び、ピッチＰ１で並ぶ構成と比較してＸ方向におけるノズル密度が２倍となる。このため、より高解像度での印刷・記録が可能となる。

図１６は、図７に対応する図であり、第３の実施形態における液体噴射ヘッド２を＋Ｚ方向から見た平面図であり、特にインクの循環の仕方について模式的に示した図である。また、図１７は、ヘッドユニット１０ａを＋Ｚ方向から見た平面図である。なお、図１７においては、ヘッドユニット１０ａのみが代表として図示されているが、他のヘッドユニット１０も同様の構成とされている。また、図１７では、図１２に記載の第１コンプライアンス基板３６及び第２コンプライアンス基板３７の記載が省略されている。

本実施形態における液体噴射ヘッド２は、第１の実施形態と同様に、３つのヘッドユニット１０ａ～１０ｃがＸ方向に並設されており、各ヘッドユニット１０ａ～１０ｃは、それぞれ２列のノズル列７を備えている。当該ヘッドユニット１０ａは、Ｖ方向の一方（－Ｖ方向側）に配置される第１ノズル列７ａ－１と、Ｖ方向の他方（＋Ｖ方向側）に配置される第２ノズル列７ａ－２とを備えている。同様に、ヘッドユニット１０ｂは、第１ノズル列７ｂ－１と第２ノズル列７ｂ－２とを備えており、ヘッドユニット１０ｃは、第１ノズル列７ｃ－１と第２ノズル列７ｃ－２とを備えている。ヘッドユニット１０のＷ方向における一端に位置するノズル８（図１６の例では、第２ノズル列７－２における一端に位置するノズル８）から他端に位置するノズル８（図１６の例では、第１ノズル列７－１における他端に位置するノズル８）までのＷ方向の距離Ｄに対し、第１ノズル列７－１と第２ノズル列７－２の長さＬは、Ｄ／２＜Ｌ＜Ｄに設定されている。また、図１７に示されるように、各ヘッドユニット１０における第１ノズル列７－１と第２ノズル列７－２とは、ノズル基板３５の中心Ｃ４に対して互いに点対称となるようにＶ方向に並設されている。

図１７に示されるように、ヘッドユニット１０ａを各ヘッドユニット１０ａ～１０ｃの代表として説明すると、第１ノズル列７ａ－１と第２ノズル列７ａ－２とは、一部のノズル８の形成領域が重なるように配置されている。つまり、Ｖ方向から見た場合のＷ方向において、第１ノズル列７ａ－１のＷ方向の一端に位置するノズル８から第２ノズル列７ａ－２のＷ方向の他端に位置するノズル８までの範囲Ｄｐで、各ノズル列７ａ－１と７ａ－２とのノズル８の形成領域が重なっている。当該領域Ｄｐにおいて、第１ノズル列７ａ－１の一部のノズル８と第２ノズル列７ａ－２の一部のノズル８とのＸ方向の位置がＹ方向で見たときに重なる。つまり、当該構成のヘッドユニット１０では、第１ノズル列７ａ－１の各ノズル８と第２ノズル列７ａ－２の各ノズル８とが、Ｙ方向から見たときにＸ方向においてピッチＰ１で連続的に配置されている。このため、液体噴射ヘッド２の全体としてノズル８をＸ方向に一定のピッチＰ１で連続させることができる。これにより、各ヘッドユニット１０の第１ノズル列７－１及び第２ノズル列７－２を用いて媒体Ｍに対しＸ方向に一定のピッチＰ１で連続的にドットを形成することが可能となる。なお、上記の範囲Ｄｐでは、Ｖ方向から見たときに、第１ノズル列７ａ－１のノズル８と第２ノズル列７ａ－２のノズル８とのＷ方向の位置が必ずしも一致していなくてもよい。また、Ｘ方向の位置が重なるノズル８のうち、一方のノズル８をインクの噴射に使用し、他方のノズル８はインクの噴射に使用しなくてもよい。

本実施形態において、各ヘッドユニット１０には、第１ノズル列７－１と第２ノズル列７－２とに対応して２つの供給液室４０がそれぞれ設けられている。即ち、図１７に示されるように、ヘッドユニット１０ａには、第１ノズル列７ａ－１に対応する各圧力室２５に連通する第１供給液室４０ａと、第２ノズル列７ａ－２に対応する各圧力室２５に連通する第２供給液室４０ｂと、が設けられている。これらの供給液室４０ａ，４０ｂのＷ方向における全長は、上記Ｄ以上に設定されている。つまり、各供給液室４０ａ，４０ｂは、対応するノズル列７のＷ方向の長さＬよりも長い流路となっている。第１供給液室４０ａは、第１ノズル列７ａ－１と並行にＷ方向に延びる第１部分４０ａ１と、当該第１部分４０ａ１と連続すると共に第１ノズル列７ａ－１の一端（図１７において右上の端）を越えて第２ノズル列７ａ－２の一端に向けてＷ方向に延びる第２部分４０ａ２と、を有している。同様に、第２供給液室４０ｂは、第２ノズル列７ａ－２と並行にＷ方向に延びる第３部分４０ｂ３と、当該第３部分４０ｂ３と連続すると共に第２ノズル列７ａ－２の他端（図１７において左下の端）を越えて第１ノズル列７ａ－１の他端に向けてＷ方向に延びる第４部分４０ｂ４と、を有している。そして、第１供給液室４０ａ及び第２供給液室４０ｂには、流入口３８及び流出口４４がそれぞれ設けられている。本実施形態では、第１供給液室４０ａにおけるＷ方向の他端部に流入口３８が設けられ、一端部に流出口４４が設けられている。同様に、第２供給液室４０ｂにおけるＷ方向の一端部に流入口３８が設けられ、他端部に流出口４４が設けられている。即ち、これらの第１供給液室４０ａと第２供給液室４０ｂとは、第１ノズル列７ａ－１と第２ノズル列７ａ－２と同様に、ノズル基板３５の中心Ｃ４に対して互いに点対称となるようにＶ方向に並設されている。なお、各供給液室４０における流入口３８及び流出口４４の位置は、例示した構成に限られず、例えば、流入口３８及び流出口４４の位置関係が図１７に示した場合とはそれぞれ逆であってもよい。

本実施形態におけるインクの循環の際、液体貯留部材３から送られてくるインクは、流入口３８から供給液室４０ａ，４０ｂに導入されると、図１６及び図１７においてハッチングの矢印で示されるように、それぞれ第１部分４０ａ１及び第３部分４０ｂ３をＷ方向に流れ、第１個別連通路４５を通じて各圧力室２５にそれぞれ供給される。ノズル８から噴射されなかったインク（換言すれば、第１個別連通路４５を介して圧力室２５に供給されなかったインク）は、第２部分４０ａ２及び第４部分４０ｂ４を流れ、端部に設けられた流出口４４から送り出されて液体貯留部材３に戻される。このようにして、ポンプ６が駆動されている間は、流入口３８と流出口４４との間で各供給液室４０においてインクの循環が継続される。本実施形態の構成においても、ヘッドユニット１０の内部に気泡が生じた場合に当該気泡をヘッドユニット１０の外部へ排出することができる。その結果、メンテナンス動作で消費するインクの量を低減することが可能となる。また、本実施形態においては、後述する第４の実施形態の構成（但し、第１ノズル列及び第２ノズル列の長さが本実施形態と第４の実施形態とで同じ長さとしたとき）と比較して、図１７に示されるように、媒体Ｍの搬送方向であるＹ方向において、第１ノズル列と第２ノズル列とが配置される範囲（即ち、第２ノズル列のＷ方向における一端に位置するノズル８から第１ノズル列７ａ－１のＷ方向における他端に位置するノズル８までのＹ方向の距離）Ｌｎを短くすることができる。このため、印刷動作の際に媒体Ｍに対するＹ方向におけるインクの着弾位置ずれを抑制することができる。なお、本実施形態においても、第１の実施形態の第１の変形例と同様に、使用するヘッドユニット１０の数を増やすことで、ノズル８の形成密度を高めたり、２種類のインクの噴射に対応させたり、１種類のインクを噴射させる構成ではノズル８の形成密度を高めたりすることが可能である。

図１８は、図７に対応する図であり、第４の実施形態における液体噴射ヘッド２を＋Ｚ方向から見た平面図であり、特にインクの循環の仕方について模式的に示した図である。また、図１９は、図１７に対応する図であり、ヘッドユニット１０ａを＋Ｚ方向から見た平面図である。なお、図１９においては、ヘッドユニット１０ａのみが代表として図示されているが、他のヘッドユニット１０も同様の構成とされている。

本実施形態における液体噴射ヘッド２は、３つのヘッドユニット１０ａ～１０ｃがＸ方向に並設されており、各ヘッドユニット１０ａ～１０ｃは、第１ノズル列７－１及び第２ノズル列７－２をそれぞれ備えている。具体的には、図１９に示されるように、ヘッドユニット１０ａは、Ｖ方向の一方（－Ｖ方向側）に配置される第１ノズル列７ａ－１と、Ｖ方向の他方（＋Ｖ方向側）に配置される第２ノズル列７ａ－２とを備えている。同様に、ヘッドユニット１０ｂは、第１ノズル列７ｂ－１と第２ノズル列７ｂ－２とを備えており、ヘッドユニット１０ｃは、第１ノズル列７ｃ－１と第２ノズル列７ｃ－２とを備えている。

図１８に示されるように、ヘッドユニット１０のＷ方向における一端に位置するノズル８（即ち、第１ノズル列７－１における一端に位置するノズル８）から他端に位置するノズル８（即ち、第２ノズル列７－２における他端に位置するノズル８）までのＷ方向の距離Ｄに対し、第１ノズル列７－１及び第２ノズル列７－２の長さＬは、何れもＬ＜Ｄ／２に設定されている。また、各ヘッドユニット１０における第１ノズル列７－１と第２ノズル列７－２とは、ノズル基板３５の中心Ｃ４に対して互いに点対称となるようにＶ方向に並設されている。

図１９に示されるように、ヘッドユニット１０ａを各ヘッドユニット１０ａ～１０ｃの代表として説明すると、第１ノズル列７ａ－１と第２ノズル列７ａ－２とは、Ｖ方向から見てノズル８の形成領域が互いに重ならないように配置されている。即ち、第１ノズル列７ａ－１のＷ方向における他端に位置するノズル８と、第２ノズル列７ａ－２のＷ方向における一端に位置するノズル８との間には、Ｗ方向にノズル８が形成されていない領域Ｇｐ（但し、ＧｐのＷ方向の長さはノズル列７におけるノズル８のＷ方向におけるピッチよりも長い）が形成されている。尚且つ、第１ノズル列７－１の他端に位置するノズル８から第２ノズル列７－２の一端に位置するノズル８までのＸ方向における間隔がピッチＰ１となっている。当該構成において、第１ノズル列７ａ－１の各ノズル８と第２ノズル列７ａ－２の各ノズル８とが、Ｙ方向から見たときにＸ方向においてピッチＰ１で連続的に配置される。このため、液体噴射ヘッド２の全体としてノズル８をＸ方向に一定のピッチＰ１で連続させることができる。なお、領域Ｇｐにおいて、第１ノズル列７ａ－１及び第２ノズル列７ａ－２をＷ方向にそれぞれ仮想的に延長したときにピッチＰ１でノズル８が形成される位置に対応してインクが流入しない圧力室２５（即ち、ダミー圧力室）が形成されていてもよい。当該ダミー圧力室に対応する部分には圧電素子２７が形成されていてもよいし、形成されていなくてもよい。

本実施形態において、各ヘッドユニット１０には、第１ノズル列７－１と第２ノズル列７－２とに対応して２つの供給液室４０がそれぞれ設けられている。即ち、図１９に示されるように、ヘッドユニット１０ａには、第１ノズル列７ａ－１に対応する各圧力室２５に連通する第１供給液室４０ａと、第２ノズル列７ａ－２に対応する各圧力室２５に連通する第２供給液室４０ｂと、が設けられている。これらの供給液室４０ａ，４０ｂのＷ方向における全長は、各ノズル列７のＷ方向における長さＬよりも長くなっている。第１供給液室４０ａは、第１ノズル列７ａ－１と並行にＷ方向に延びる第１部分４０ａ１と、当該第１部分４０ａ１と連続すると共に第１ノズル列７ａ－１の他端（図１９において左下の端）を越えて第２ノズル列７ａ－２の他端に向けてＷ方向に延びる第２部分４０ａ２と、を有している。同様に、第２供給液室４０ｂは、第２ノズル列７ａ－２と並行にＷ方向に延びる第３部分４０ｂ３と、当該第３部分４０ｂ３と連続すると共に第２ノズル列７ａ－２の一端（図１９において右上の端）を越えて第１ノズル列７ａ－１の一端に向けてＷ方向に延びる第４部分４０ｂ４と、を有している。そして、第１供給液室４０ａ及び第２供給液室４０ｂには、流入口３８及び流出口４４がそれぞれ設けられている。本実施形態では、第１供給液室４０ａにおけるＷ方向の一端部に流入口３８が設けられ、他端部に流出口４４が設けられている。同様に、第２供給液室４０ｂにおけるＷ方向の他端部に流入口３８が設けられ、一端部に流出口４４が設けられている。即ち、これらの第１供給液室４０ａと第２供給液室４０ｂとは、第１ノズル列７ａ－１と第２ノズル列７ａ－２と同様に、ノズル基板３５の中心Ｃ４に対して互いに点対称となるようにＶ方向に並設されている。なお、各供給液室４０における流入口３８及び流出口４４の位置は、例示した構成に限られず、例えば、流入口３８及び流出口４４の位置関係が図１９に示した場合とはそれぞれ逆であってもよい。

本実施形態におけるインクの循環の際、液体貯留部材３から送られてくるインクは、流入口３８から供給液室４０ａ，４０ｂに導入されると、図１８及び図１９においてハッチングの矢印で示されるように、それぞれ第１部分４０ａ１及び第３部分４０ｂ３をＷ方向に流れ、第１個別連通路４５を通じて各圧力室２５にそれぞれ供給される。ノズル８から噴射されなかったインク（換言すれば、第１個別連通路４５を介して圧力室２５に供給されなかったインク）は、第２部分４０ａ２及び第４部分４０ｂ４を流れ、端部に設けられた流出口４４から送り出されて液体貯留部材３に戻される。このようにして、ポンプ６が駆動されている間は、流入口３８と流出口４４との間で各供給液室４０においてインクの循環が継続される。本実施形態の構成においても、ヘッドユニット１０の内部の流路に気泡が生じた場合に当該気泡をヘッドユニット１０の外部へ排出することができる。その結果、メンテナンス動作で消費するインクの量を低減することが可能となる。なお、第１の実施形態の第１の変形例と同様に、使用するヘッドユニット１０の数を増やすことで、ノズル８の形成密度を高めたり、２種類のインクの噴射に対応させたり、１種類のインクを噴射させる構成ではノズル８の形成密度を高めたりすることが可能である。

図２０は、図７に対応する図であり、第５の実施形態における液体噴射ヘッド２を＋Ｚ方向から見た平面図であり、特にインクの循環の仕方について模式的に示した図である。また、図２１は、図１７に対応する図であり、ヘッドユニット１０ａを＋Ｚ方向から見た平面図である。なお、図２１においては、ヘッドユニット１０ａのみが代表として図示されているが、他のヘッドユニット１０も同様の構成とされている。本実施形態における液体噴射ヘッド２は、３つのヘッドユニット１０ａ～１０ｃがＸ方向に並設されており、各ヘッドユニット１０ａ～１０ｃは、それぞれ２列のノズル列７を備えている。具体的には、図２１に示されるように、ヘッドユニット１０ａは、Ｖ方向の一方（－Ｖ方向側）に配置される第１ノズル列７ａ－１と、Ｖ方向の他方（＋Ｖ方向側）に配置される第２ノズル列７ａ－２とを備えている。同様に、ヘッドユニット１０ｂは、第１ノズル列７ｂ－１と第２ノズル列７ｂ－２とを備えており、ヘッドユニット１０ｃは、第１ノズル列７ｃ－１と第２ノズル列７ｃ－２とを備えている。なお、ノズル列７の配置及び長さ等の構成は、上記第４の実施形態と同様となっている。即ち、図２１に示されるように、第１ノズル列７ａ－１と第２ノズル列７ａ－２とは、Ｖ方向から見てノズル８の形成領域が重ならないように配置されており、第１ノズル列７ａ－１と第２ノズル列７ａ－２との間には、Ｗ方向にノズル８が形成されていない領域Ｇｐが形成されている。当該構成において、第１ノズル列７ａ－１の各ノズル８と第２ノズル列７ａ－２の各ノズル８とが、Ｙ方向から見たときにＸ方向においてピッチＰ１で連続的に配置される。このため、液体噴射ヘッド２の全体としてノズル８がＸ方向に一定のピッチＰ１で連続している。

本実施形態において、各ヘッドユニット１０には、第１ノズル列７－１及び第２ノズル列７－２のそれぞれに供給液室４０と排出液室４３とが設けられている。即ち、図２１に示されるように、ヘッドユニット１０ａには、Ｖ方向において第１ノズル列７ａ－１を間に挟む形で、当該第１ノズル列７ａ－１の一方（図２１における左上）に配置された第１供給液室４０ａと、当該第１ノズル列７ａ－１の他方（図２１における右下）に配置された第１排出液室４３ａとが設けられている。また、Ｖ方向において第２ノズル列７ａ－２を間に挟む形で、当該第２ノズル列７ａ－２の一方に配置された第２排出液室４３ｂと、当該第２ノズル列７ａ－２の他方に配置された第２供給液室４０ｂとが設けられている。Ｗ方向において隣り合う第１ノズル列７ａ－１の第１供給液室４０ａと第２ノズル列７ａ－２の第２排出液室４３ｂとは、隔壁５０によって隔てられており、連通していない。同様に、Ｗ方向において隣り合う第１ノズル列７ａ－１の第１排出液室４３ａと第２ノズル列７ａ－２の第２供給液室４０ｂとは、隔壁５０によって隔てられており、連通していない。なお、各ノズル列７に対する供給液室４０と排出液室４３との位置関係は、例示したものには限られず、任意に設定することができ、例えば、例示した位置関係と逆にすることもできる。

そして、第１供給液室４０ａ及び第２供給液室４０ｂには、流入口３８がそれぞれ設けられており、また、第１排出液室４３ａ及び第２排出液室４３ｂには、流出口４４が設けられている。本実施形態では、第１供給液室４０ａ及び第２供給液室４０ｂのＷ方向における中央部に流入口３８が設けられ、第１排出液室４３ａ及び第２排出液室４３ｂのＷ方向における中央部に流出口４４が設けられている。即ち、第１供給液室４０ａと第２供給液室４０ｂとは、第１ノズル列７ａ－１と第２ノズル列７ａ－２と同様に、ノズル基板３５の中心Ｃ４に対して互いに点対称となるように配置されている。同様に、第１排出液室４３ａと第２排出液室４３ｂとは、ノズル基板３５の中心Ｃ４に対して互いに点対称となるように配置されている。なお、各供給液室４０における流入口３８の位置、及び、各排出液室４３における流出口４４の位置は、例示した構成に限られず、任意の位置に設定することができる。

本実施形態におけるインクの循環の際、流入口３８から供給液室４０にインクが導入されると、当該供給液室４０内のインクは、ハッチングの矢印で示されるようにＷ方向に沿って流れ、また、第１個別連通路４５を通じて各圧力室２５にそれぞれ供給される。ノズル８から噴射されなかったインクは、黒塗りの矢印で示されるように、第２個別連通路４７を通じて排出液室４３に流れる。つまり、排出液室４３には、供給液室４０から圧力室２５を介してインクが流入する。そして、排出液室４３に流入したインクは、流出口４４から送り出されて液体貯留部材３に戻される。ポンプ６が駆動されている間は、流入口３８と流出口４４との間でインクの循環が継続される。なお、他の構成については図８に例示した第１の実施形態の構成と同様である。本実施形態の構成においても、ヘッドユニット１０の内部に気泡が生じた場合に当該気泡をヘッドユニット１０の外部へ排出することができる。その結果、メンテナンス動作で消費するインクの量を低減することが可能となる。また、圧力室２５等の個別流路を経由してインクの循環が行われるので、ノズル８近傍のインクの増粘やインク中の含有成分の沈降を抑制することが可能となる。これにより、メンテナンス動作の回数をより削減することが可能となる。なお、本実施形態においても、第１の実施形態の第１の変形例と同様に、使用するヘッドユニット１０の数を増やすことで、ノズル８の形成密度を高めたり、２種類のインクの噴射に対応させたりすることが可能である。

以上のように、本発明に係る液体噴射ヘッド２及びこれを備える液体噴射装置１では、各ヘッドユニット１０が流入口３８及び流出口４４を備え、この間で液体を循環させることができるので、ヘッドユニット１０の内部の増粘したインクや気泡を強制的にノズルから排出させる所謂クリーニング動作やフラッシング動作等のメンテナンス動作の回数を減らすことができ、当該メンテナンス動作で消費する液体の量を低減することが可能となる。その結果、インクの消費を低減しつつも、各ノズル８の噴射特性（即ち、噴射されるインク滴の量や当該インク滴の飛翔速度等の特性）を良好に維持することが可能となる。

上記の各実施形態では、ノズル基板３５にノズル列７－１及びノズル列７－２を有する構成において、ノズル列７－１とノズル列７－２とがノズル基板３５の中心Ｃ４に対して互いに点対称となるように配置された構成を例示したが、これには限定されない。要するに、＋Ｚ方向から見て、これらのノズル列７－１及びノズル列７－２のうち、最も＋Ｗ方向側の端部に配置されたノズル８と、最も－Ｗ方向側の端部に配置されたノズル８とを結ぶ仮想直線の中点に対して、ノズル列７－１とノズル列７－２とが互いに点対称となる位置に配置されていればよく、上記中点とノズル基板３５の中心Ｃ４とが必ずしも一致していなくてもよい。さらに、第５の実施形態においては、上記中点に対して、供給液室４０ａと供給液室４０ｂとが互いに点対称となる位置に配置され、排出液室４３ａと排出液室４３ｂとが互いに点対称となる位置に配置される構成を採用することもできる。

この他、本発明は、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を複数備える液体噴射ヘッド、及び、これを備える液体噴射装置にも本発明を適用することができる。

以下に、上述した実施形態及び変更例から把握される技術的思想及びその作用効果を記載する。

本発明の液体噴射ヘッドは、第１方向に相対的に移動される媒体にノズルから液体を噴射するヘッドユニットが前記第１方向と直交する第２方向に複数並設された液体噴射ヘッドであって、
前記ヘッドユニットは、
前記第１方向と前記第２方向とに交差する第３方向に沿って複数の前記ノズルが並設されたノズル列と、
前記ノズルと連通する圧力室と、
前記圧力室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生素子と、
複数の前記圧力室と連通し、各圧力室へ供給する液体が導入される供給液室と、
前記ヘッドユニット内へ液体を流入させる流入口と、
前記ヘッドユニット外へ液体を流出させる流出口と、
を備えることを特徴とする（第１の構成）。

この構成によれば、流入口と流出口とが設けられ、この間で液体を循環させることができるため、ヘッドユニットの内部の流路に気泡が生じた場合においても当該気泡の排出を行うことができる。その結果、ヘッドユニットの内部の液体を強制的にノズルから排出させる所謂クリーニング動作やフラッシング動作等のメンテナンス動作の回数を減らすことができ、当該メンテナンス動作で消費する液体の量を低減することが可能となる。

また、上記第１の構成において、前記流入口及び前記流出口は、前記供給液室に設けられる構成を採用することができる（第２の構成）。

この構成によれば、供給液室に流入口及び流出口が設けられるので、より省スペースで液体を循環させる構成を採ることが可能となる。

また、上記第１の構成において、前記ヘッドユニットは、複数の前記圧力室と連通し、前記供給液室から前記圧力室を経由した液体が流入する排出液室を備え、
前記流入口は、前記供給液室に設けられ、
前記流出口は、前記排出液室に設けられた構成を採用することもできる（第３の構成）。

この構成によれば、圧力室等のノズル毎に個別に設けられた流路を経由して液体の循環が行われるので、ノズル近傍の液体の増粘や液体中の含有成分の沈降を抑制することが可能となる。これにより、メンテナンス動作の回数をより削減することが可能となる。

上記第２の構成において、前記ノズル列は、前記第３方向に直交する第４方向に並ぶと共に前記第３方向において互いに反対側に偏らせて配置された第１ノズル列と第２ノズル列とを有し、
前記供給液室は、前記第１ノズル列に対応する複数の前記圧力室と連通する第１供給液室と、前記第２ノズル列に対応する複数の前記圧力室と連通する第２供給液室と、を含み、
前記第１供給液室は、前記第３方向において、前記第１ノズル列と並行に延びる第１部分と、当該第１部分と連続すると共に前記第１ノズル列の端を越えて延びる第２部分と、を含み、
前記第２供給液室は、前記第３方向において、前記第２ノズル列と並行に延びる第３部分と、当該第３部分と連続すると共に前記第２ノズル列の端を越えて延びる第４部分と、を含み、
前記第１供給液室及び前記第２供給液室には、前記流入口及び前記流出口がそれぞれ設けられ、
前記第１ノズル列と前記第２ノズル列とは、点対称に配置され、且つ、前記第４方向で見て前記ノズルが形成された領域の一部が重なる構成を採用することができる（第４の構成）。

この構成によれば、第１ノズル列と第２ノズル列に対応して第１供給液室及び第２供給液室が設けられ、それぞれの供給液室に流入口と流出口とが設けられ、各供給液室において液体を循環させることができるため、ヘッドユニットの内部の流路に気泡が生じた場合においても当該気泡の排出を行うことができる。その結果、ヘッドユニットの内部の液体を強制的にノズルから排出させる所謂クリーニング動作やフラッシング動作等のメンテナンス動作の回数を減らすことができ、当該メンテナンス動作で消費する液体の量を低減することが可能となる。また、第１ノズル列と第２ノズル列とは、点対称に配置され、且つ、第４方向で見てノズルが形成された領域の一部が重なるので、第１方向における第１ノズル列と第２ノズル列とが配置される範囲を短くすることができる。

上記第３の構成において、前記ノズル列は、前記第３方向に直交する第４方向に並べて配置された第１ノズル列と第２ノズル列とを有し、
前記供給液室は、前記第１ノズル列に対応する複数の前記圧力室と連通する第１供給液室と、前記第２ノズル列に対応する複数の前記圧力室と連通する第２供給液室と、を含み、
前記排出液室は、前記第１ノズル列に対応する複数の前記圧力室と連通し、前記第１供給液室から前記圧力室を介して液体が流入する第１排出液室と、前記第２ノズル列に対応する複数の前記圧力室と連通し、前記第２供給液室から前記圧力室を介して液体が流入する第２排出液室と、を含み、
前記流入口は、前記第１供給液室と、前記第２供給液室と、にそれぞれ設けられ、
前記流出口は、前記第１排出液室と、前記第２排出液室と、にそれぞれ設けられ、
前記第１ノズル列と前記第２ノズル列とは、点対称に配置され、かつ、且つ、前記第３方向において間隔を有する構成を採用することができる（第５の構成）。

この構成によれば、第１ノズル列と第２ノズル列に対応して第１供給液室及び第２供給液室が設けられ、それぞれの供給液室に流入口と流出口とが設けられ、各供給液室において液体を循環させることができるため、ヘッドユニットの内部の流路に気泡が生じた場合においても当該気泡の排出を行うことができる。その結果、ヘッドユニットの内部の液体を強制的にノズルから排出させる所謂クリーニング動作やフラッシング動作等のメンテナンス動作の回数を減らすことができ、当該メンテナンス動作で消費する液体の量を低減することが可能となる。また、圧力室等のノズル毎に個別に設けられた流路を経由して液体の循環が行われるので、ノズル近傍の液体の増粘や液体中の含有成分の沈降を抑制することが可能となる。これにより、メンテナンス動作の回数をより削減することが可能となる。

上記第４の構成又は上記第５の構成において、同一の前記ヘッドユニットに設けられた前記第１ノズル列の複数の前記ノズルと前記第２ノズル列の複数の前記ノズルと、は、前記第１方向から見て前記第２方向に一定の間隔で連続している構成を採用することが望ましい（第６の構成）。

この構成によれば、各ヘッドユニットの第１ノズル列及び第２ノズル列を用いて媒体に対し着弾液滴によるドットを第２方向に一定のピッチで連続的に形成することが可能となる。

上記第４から第６の何れか一の構成において、前記ヘッドユニットは、前記圧電素子と電気的に接続された配線部材を備え、
前記液体噴射ヘッドは、複数の前記配線部材と電気的に接続される共通配線基板を備え、
前記第２方向の一端から数えて奇数番目に配置されている前記ヘッドユニットの前記配線部材と、前記第２方向の一端から数えて偶数番目に配置されている前記ヘッドユニットの前記配線部材と、は、前記第３方向に対して点対称となる向きで配置されている構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、共通配線基板において、第２方向における両端部に位置する各配線部材の外側に配線を配置するスペースが不要となり、その分、共通配線基板を小型化することが可能となり、その結果、液体噴射ヘッドの小型化に寄与する。これにより、液体噴射ヘッドを第２方向に複数並べて配置する際に、液体噴射ヘッド同士をより近づけることが可能となり、各液体噴射ヘッドが備えるヘッドユニットのノズルが第２方向に一定のピッチで並ぶように配置することが可能となる。

そして、本発明の液体噴射装置は、上記第１から第７の何れか一の構成の液体噴射ヘッドと、
媒体を前記第１方向へ搬送する搬送機構と、
を備えることを特徴とする。

本発明によれば、液体の消費を低減しつつも、各ノズルの噴射特性を良好に維持することが可能となる。

１…液体噴射装置，２…液体噴射ヘッド，３…液体貯留部材，４…搬送機構，５…制御ユニット，６…ポンプ，７…ノズル列，８…ノズル，１０…ヘッドユニット，１１…共通配線基板，１２…流路ユニット，１３…固定板，１４…配線部材，１５…コネクター，１６…配線挿通口，１７…配線挿入口，１８…切欠部，１９…基板端子部，２０…配線端子部，２１…供給口，２２…開口部，２３…振動板，２４…流路基板，２５…圧力室，２６…圧力室基板，２７…圧電素子，２８…保護基板，２９…共通流路基板，３０…リード電極、３１…配線空部，３２…導入液室，３３…導出液室，３５…ノズル基板，３６…第１コンプライアンス基板，３７…第２コンプライアンス基板，３８…流入口，３９…共通導入液室，４０…供給液室，４１…共通導出液室，４３…排出液室，４４…流出口，４５…第１個別連通路，４６…ノズル連通路，４７…第２個別連通路，４８…収容空部，４９…配線用貫通口，５０…隔壁

Claims (8)

1. 第１方向に相対的に移動される媒体にノズルから液体を噴射するヘッドユニットが前記
   第１方向と直交する第２方向に複数並設された液体噴射ヘッドであって、
   前記ヘッドユニットは、
   前記第１方向と前記第２方向とに交差する第３方向に沿って複数の前記ノズルが並設さ
   れたノズル列と、
   前記ノズルと連通する圧力室と、
   前記圧力室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生素子と、
   複数の前記圧力室と連通し、各圧力室へ供給する液体が導入される供給液室と、
   前記ヘッドユニット内へ液体を流入させる流入口と、
   前記ヘッドユニット外へ液体を流出させる流出口と、
   を備え、
   前記ノズル列は、前記第３方向に直交する第４方向に並ぶと共に前記第３方向において
   互いに反対側に偏らせて配置された第１ノズル列と第２ノズル列とを有し、
   前記供給液室は、前記第１ノズル列に対応する複数の前記圧力室と連通する第１供給液
   室と、前記第２ノズル列に対応する複数の前記圧力室と連通する第２供給液室と、を含み
   、
   前記第１供給液室は、前記第３方向において、前記第１ノズル列と並行に延びる第１部
   分と、当該第１部分と連続すると共に前記第１ノズル列の端を越えて延びる第２部分と、
   を含み、
   前記第２供給液室は、前記第３方向において、前記第２ノズル列と並行に延びる第３部
   分と、当該第３部分と連続すると共に前記第２ノズル列の端を越えて延びる第４部分と、
   を含み、
   前記第１供給液室及び前記第２供給液室には、前記流入口及び前記流出口がそれぞれ設
   けられ、
   前記第１ノズル列と前記第２ノズル列とは、点対称に配置され、且つ、前記第４方向で
   見て前記ノズルが形成された領域の一部が重なる
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 第１方向に相対的に移動される媒体にノズルから液体を噴射するヘッドユニットが前記
   第１方向と直交する第２方向に複数並設された液体噴射ヘッドであって、
   前記ヘッドユニットは、
   前記第１方向と前記第２方向とに交差する第３方向に沿って複数の前記ノズルが並設さ
   れたノズル列と、
   前記ノズルと連通する圧力室と、
   前記圧力室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生素子と、
   複数の前記圧力室と連通し、各圧力室へ供給する液体が導入される供給液室と、
   前記ヘッドユニット内へ液体を流入させる流入口と、
   前記ヘッドユニット外へ液体を流出させる流出口と、
   複数の前記圧力室と連通し、前記供給液室から前記圧力室を経由した液体が流入する排
   出液室と、
   を備え、
   前記ノズル列は、前記第３方向に直交する第４方向に並べて配置された第１ノズル列と
   第２ノズル列とを有し、
   前記供給液室は、前記第１ノズル列に対応する複数の前記圧力室と連通する第１供給液
   室と、前記第２ノズル列に対応する複数の前記圧力室と連通する第２供給液室と、を含み
   、
   前記排出液室は、前記第１ノズル列に対応する複数の前記圧力室と連通し、前記第１供
   給液室から前記圧力室を介して液体が流入する第１排出液室と、前記第２ノズル列に対応
   する複数の前記圧力室と連通し、前記第２供給液室から前記圧力室を介して液体が流入す
   る第２排出液室と、を含み、
   前記流入口は、前記第１供給液室と、前記第２供給液室と、にそれぞれ設けられ、
   前記流出口は、前記第１排出液室と、前記第２排出液室と、にそれぞれ設けられ、
   前記第１ノズル列と前記第２ノズル列とは、点対称に配置され、且つ、前記第３方向に
   おいて間隔を有し、
   前記圧力室を介して前記第１供給液室から前記第１排出液室へ向かう液体の流れと、前
   記圧力室を介して前記第２供給液室から前記第２排出液室へ向かう液体の流れとは、逆向
   きである
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
3. 同一の前記ヘッドユニットに設けられた前記第１ノズル列の複数の前記ノズルと前記第
   ２ノズル列の複数の前記ノズルと、は、前記第１方向から見て前記第２方向に一定の間隔
   で連続している
   ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記第１供給液室と前記第２排出液室とは、前記第３方向において隣り合い、
   前記第２供給液室と前記第１排出液室とは、前記第３方向において隣り合う
   ことを特徴とする請求項２又は請求項２を引用する請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記ヘッドユニットは、前記第１供給液室と前記第２排出液室とを前記第３方向に隔て
   、且つ、前記第２供給液室と前記第１排出液室とを前記第３方向に隔てる隔壁を有する
   ことを特徴とする請求項４に記載の液体噴射ヘッド。
6. 第１方向に相対的に移動される媒体にノズルから液体を噴射するヘッドユニットが前記
   第１方向と直交する第２方向に複数並設された液体噴射ヘッドであって、
   前記ヘッドユニットは、
   前記第１方向と前記第２方向とに交差する第３方向に沿って複数の前記ノズルが並設さ
   れたノズル列と、
   前記ノズルと連通する圧力室と、
   前記圧力室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生素子と、
   複数の前記圧力室と連通し、各圧力室へ供給する液体が導入される供給液室と、
   前記ヘッドユニット内へ液体を流入させる流入口と、
   前記ヘッドユニット外へ液体を流出させる流出口と、
   複数の前記圧力室と連通し、前記供給液室から前記圧力室を経由した液体が流入する排
   出液室と、
   を備え、
   前記ノズル列は、前記第３方向に直交する第４方向に並べて配置された第１ノズル列と
   第２ノズル列とを有し、
   前記供給液室は、前記第１ノズル列に対応する複数の前記圧力室と連通する第１供給液
   室と、前記第２ノズル列に対応する複数の前記圧力室と連通する第２供給液室と、を含み
   、
   前記排出液室は、前記第１ノズル列に対応する複数の前記圧力室と連通し、前記第１供
   給液室から前記圧力室を介して液体が流入する第１排出液室と、前記第２ノズル列に対応
   する複数の前記圧力室と連通し、前記第２供給液室から前記圧力室を介して液体が流入す
   る第２排出液室と、を含み、
   前記流入口は、前記第１供給液室と、前記第２供給液室と、にそれぞれ設けられ、
   前記流出口は、前記第１排出液室と、前記第２排出液室と、にそれぞれ設けられ、
   前記第１ノズル列と前記第２ノズル列とは、点対称に配置され、かつ、且つ、前記第３
   方向において間隔を有し、
   同一の前記ヘッドユニットに設けられた前記第１ノズル列の複数の前記ノズルと前記第
   ２ノズル列の複数の前記ノズルと、は、前記第１方向から見て前記第２方向に一定の間隔
   で連続している
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
7. 前記ヘッドユニットは、前記圧力発生素子と電気的に接続された配線部材を備え、
   前記液体噴射ヘッドは、複数の前記配線部材と電気的に接続される共通配線基板を備え
   、
   前記第２方向の一端から数えて奇数番目に配置されている前記ヘッドユニットの前記配
   線部材と、前記第２方向の一端から数えて偶数番目に配置されている前記ヘッドユニット
   の前記配線部材と、は、前記第１方向及び前記第２方向の双方に直交する第５方向から見
   て点対称となる向きで配置されている
   ことを特徴とする請求項１から請求項６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
8. 請求項１から請求項７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドと、
   媒体を前記第１方向へ搬送する搬送機構と、
   を備えることを特徴とする液体噴射装置。

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