JP2013116566A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】圧力室3で励起された圧力波が液体供給室5側に伝搬し、液滴を吐出させるエネルギー効率が低下することと、隣接する圧力室3の吐出条件に影響を与えるクロストークが発生する。
【解決手段】液体に圧力を印加する圧力室3と、圧力室3に連通し、液体を吐出するノズル2と、圧力室3に液体を供給する液体供給室5と、液体供給室5と圧力室3の間に設置され、ノズル2の開口径よりも小さい開口径を有する孔4とを備え、液体供給室5から圧力室3に孔4を介して液体が供給される。これにより、液体供給室5と圧力室3はノズル2の開口径よりも小さい開口径を有する孔4により連通するので、圧力室3で励起された圧力波が液体供給室5に伝搬し難くなり、エネルギー効率が改善し、クロストークが低減する。
【選択図】図1
【解決手段】液体に圧力を印加する圧力室3と、圧力室3に連通し、液体を吐出するノズル2と、圧力室3に液体を供給する液体供給室5と、液体供給室5と圧力室3の間に設置され、ノズル2の開口径よりも小さい開口径を有する孔4とを備え、液体供給室5から圧力室3に孔4を介して液体が供給される。これにより、液体供給室5と圧力室3はノズル2の開口径よりも小さい開口径を有する孔4により連通するので、圧力室3で励起された圧力波が液体供給室5に伝搬し難くなり、エネルギー効率が改善し、クロストークが低減する。
【選択図】図1
Description
本発明は、ノズルから液体を吐出して被記録媒体に画像や文字、あるいは機能性薄膜を形成する液体噴射ヘッド、及びこれを用いた液体噴射装置に関する。
近年、記録紙等にインク滴を吐出して文字、図形を記録する、或いは素子基板の表面に液体材料を吐出して機能性薄膜を形成するインクジェット方式の液体噴射ヘッドが利用されている。この方式は、液体タンクからインクや液体材料(以下、総称して液体という。)を供給管を介して液体噴射ヘッドに供給し、液体噴射ヘッドのチャンネルに充填に充填された液体をこのチャンネルに連通するノズルから吐出させる。液体の吐出の際には、液体噴射ヘッドや噴射した液体を記録する被記録媒体を移動させて、文字や図形を記録する、或いは所定形状の機能性薄膜を形成する。
図8は、特許文献1に記載される液体噴射ヘッドチップ100の部分断面構造を表す(特許文献1の図3を参照)。液体噴射ヘッドチップ100は、PZT等の圧電素子からなるアクチュエータ基板103と、その上に接合され、共通インク室117が形成されるカバープレート基板105と、カバープレート基板105に設置され、共通インク室117に連通しカバープレート基板105の開口面117Aに接合される流路部材109と、を備える。
アクチュエータ基板103は、表面に並列する複数の溝を備え、交互に配列する吐出チャンネル123Aとダミーチャンネル123Bを構成する。各チャンネルは側壁115により分離される。側壁115は分極処理が施された圧電体からなり、側面には電極102が形成されて、せん断型圧電素子が構成される。アクチュエータ基板103の紙面垂直上方には図示しないノズルプレートが接合され、ノズルプレートには吐出チャンネル123Aに連通するノズル孔108が形成される。
カバープレート基板105は、凹部から成る共通インク室117を備え、共通インク室117の底面には吐出チャンネル123Aに連通するスリット119が形成される。カバープレート基板105の凹部の内側面は段差部125を備え、段差部125にはフィルター150が設置されている。
液体噴射ヘッドチップ100は次のように動作する。図示されないインクタンクからインクが流路部材109に流入し、共通インク室117からフィルター150及びスリット119を介して吐出チャンネル123Aに充填される。側壁115に形成される電極102に電圧が印加されると、側壁115は“くの字”型にせん断変形し、吐出チャンネル123Aの容積が変化してノズル孔108からインクが吐出される。ここで、フィルター150は、流路部材109から共通インク室117に供給されるインクに塵埃や気泡が含まれた場合にこの塵埃や気泡が吐出チャンネル123Aへ進入し、ノズル孔108を閉塞させてドット抜けが発生しないようにするために設けてある。
吐出チャンネル123Aは、カバープレート基板105の共通インク室117とスリット119を介して連通する。吐出チャンネル123Aは、通常溝の深さが約0.36mm、溝の幅が50μm〜100μm、溝の長さが数mm〜10mm、ノズル孔の直径が20μm〜40μmである。これに伴い、カバープレート基板105のスリット119は、上記溝の幅と同程度の幅を有し、長さが2mm〜数mmである。従って、スリット119の開口部113Aの大きさは(50μm〜100μm)×(2mm〜数mm)程度となる。
ノズル孔108からインクを吐出させる際には電極102に電圧を印加して側壁115を変形させ、吐出チャンネル123Aの容積を拡大、縮小させてインクに圧力波を励起する。この圧力波によりインクはノズル孔108からインク滴として吐出される。しかし、吐出チャンネル123Aは開口部113Aとスリット119を介して共通インク室117に連通する。そのため、インクの圧力波はスリット119を抜けて共通インク室117に伝搬する。このように、圧力波が共通インク室117側にも伝搬するのでノズル孔108から液滴として吐出させるためのエネルギー効率が低下し、これを補うために駆動電圧を高くする必要がある。
また、共通インク室117は吐出チャンネル123Aの他に吐出チャンネル123Xや吐出チャンネル123Yにも連通する。そのため、いずれかの吐出チャンネルで吐出させるとそのインクの圧力波が他の吐出チャンネルにも伝搬して液滴の吐出に影響を与えるクロストークが発生する。さらに、このクロストークは吐出パターンや吐出周波数などに大きく影響され、記録品質が低下する原因となっている。
本発明は、液滴吐出のためのエネルギー効率を高め、クロストークを低減した液体噴射ヘッドを提供することを目的としてなされた。
本発明の液体噴射ヘッドは、液体に圧力を印加する圧力室と、前記圧力室に連通し、液体を吐出するノズルと、前記圧力室に液体を供給する液体供給室と、前記液体供給室と前記圧力室の間に設置され、前記ノズルの開口径よりも小さい開口径を有する孔と、を備え、前記液体供給室から前記圧力室に前記孔を介して液体が供給されることとした。
また、表面に複数の溝が並列して形成されるアクチュエータ基板と、前記ノズルを有し、前記アクチュエータ基板に接合されるノズルプレートと、前記孔を複数有し、前記溝を覆うように前記アクチュエータ基板に接合される仕切板と、前記液体供給室が形成され、前記仕切板に接合されるカバープレートと、を備え、前記圧力室は前記仕切板により覆われた前記溝により構成されることとした。
また、前記仕切板は、ポリイミドフィルムから成ることとした。
また、前記溝は液体吐出用の吐出溝と液体を吐出しないダミー溝を有し、前記吐出溝と前記液体供給室は複数の前記孔を介して連通し、前記ダミー溝と前記液体供給室とは前記仕切板により遮断されることとした。
また、前記孔は前記液体供給室から前記圧力室に向けて縮径することとした。
本発明の液体噴射装置は、上記いずれかの液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドを往復移動させる移動機構と、前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備えることとした。
本発明の液体噴射ヘッドは、液体に圧力を印加する圧力室と、圧力室に連通し、液体を吐出するノズルと、圧力室に液体を供給する液体供給室と、液体供給室と圧力室の間に設置され、ノズルの開口径よりも小さい開口径を有する孔と、を備え、液体供給室から圧力室に孔を介して液体が供給される。これにより、圧力室で励起された液体の圧力波が液体供給室へ伝搬し難くなり、ノズルから液滴を吐出させるためのエネルギー効率が改善して駆動電圧が低下し、同時にクロストークが低減して記録品質が向上する。
(基本構成)
図1は、本発明の液体噴射ヘッド1の基本的な構成を表す概念図である。液体噴射ヘッド1は、液体に圧力を印加するための圧力室3と、この圧力室3に連通し液体を吐出するノズル2と、圧力室3に液体を供給する液体供給室5と、液体供給室5と圧力室3の間に設置され、ノズル2の開口径d1よりも小さい開口径d2を有する孔4とを備える。液体は液体供給室5から圧力室3に孔4を介して供給される。圧力室3は紙面垂直方向に複数形成され、液体供給室5は複数の圧力室3とそれぞれの圧力室3に対応して設置される孔4を介して連通する。
図1は、本発明の液体噴射ヘッド1の基本的な構成を表す概念図である。液体噴射ヘッド1は、液体に圧力を印加するための圧力室3と、この圧力室3に連通し液体を吐出するノズル2と、圧力室3に液体を供給する液体供給室5と、液体供給室5と圧力室3の間に設置され、ノズル2の開口径d1よりも小さい開口径d2を有する孔4とを備える。液体は液体供給室5から圧力室3に孔4を介して供給される。圧力室3は紙面垂直方向に複数形成され、液体供給室5は複数の圧力室3とそれぞれの圧力室3に対応して設置される孔4を介して連通する。
液体噴射ヘッド1は次のように駆動される。図示しない液体貯留部からインクなどの液体が液体供給室5に供給され、孔4を介して圧力室3に充填される(一点鎖線)。駆動素子14により圧力室3に充填される液体に圧力波を励起すると、圧力室3に連通するノズル2から液体が吐出される。圧力室3と液体供給室5とはノズル2の開口径d1よりも小さい開口径d2の複数の孔4を介して連通する。これにより、圧力室3で励起された圧力波は液体供給室5に伝搬し難くなり、ノズル2から液滴を吐出させるためのエネルギー効率が改善して駆動電圧が低下し、同時にクロストークが低減して記録品質が向上する。
更に、孔4は、その開口径d2がノズル2の開口径d1よりも小さいので、液体に混入する塵埃や気泡に対し、フィルターとしても機能する。つまり、孔4の開口径d2よりも大きい塵埃や気泡は圧力室3に進入することが阻止されるので、これらの異物によりノズル2が詰まり、ドット抜けとなる不具合の発生を防止することができる。なお、孔4は開口部が円形に限定されず、楕円形や多角形等であってもよい。この場合、孔4は、ノズル2の開口面積よりも小さい開口面積を有する。以下、本発明について実施形態に基づいて詳細に説明する。
(第一実施形態)
図2は、本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッド1の模式的な分解斜視図であり、図3は、液体噴射ヘッド1の圧力室3方向の縦断面模式図である。液体噴射ヘッド1は、表面に複数の溝7が並列して形成されるアクチュエータ基板6と、ノズル2を有し、アクチュエータ基板6の端面に接合されるノズルプレート8と、複数の孔4を有し、上記アクチュエータ基板6に溝7を覆うように接合される仕切板9と、液体供給室5が形成され、仕切板9のアクチュエータ基板6とは反対側に接合されるカバープレート10とを備える。
図2は、本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッド1の模式的な分解斜視図であり、図3は、液体噴射ヘッド1の圧力室3方向の縦断面模式図である。液体噴射ヘッド1は、表面に複数の溝7が並列して形成されるアクチュエータ基板6と、ノズル2を有し、アクチュエータ基板6の端面に接合されるノズルプレート8と、複数の孔4を有し、上記アクチュエータ基板6に溝7を覆うように接合される仕切板9と、液体供給室5が形成され、仕切板9のアクチュエータ基板6とは反対側に接合されるカバープレート10とを備える。
ノズルプレート8は、ノズル2が溝7に連通するようにアクチュエータ基板6の端面に接着剤により接合される。アクチュエータ基板6は、基板面に垂直方向(z方向)に分極処理の施された圧電体から成る。圧電体としてはPZTセラミックスを使用する。各溝7は、溝7と溝7の間に壁11を残し、アクチュエータ基板6の一方の端部から他方の端部の手前までダイシングブレード等を用いた切削加工により形成することができる。壁11は、略1/2の深さよりも上方(z方向)の側面に壁11を駆動するための駆動電極12が形成され、駆動素子を構成する。アクチュエータ基板6の他方の端部の表面には電極端子13が形成され、駆動電極12と電気的に接続される。圧力室3は、仕切板9とノズルプレート8に囲まれる溝7の領域により構成される。
仕切板9は、アクチュエータ基板6の表面に接着剤により接合され、圧力室3のノズル2とは反対側の領域に連通する複数の孔4を備える。孔4は、液体供給室5と圧力室3を連通可能に貫通し、孔4の開口径d2はノズル2の開口径d1よりも小さい。カバープレート10は仕切板9の複数の孔4に対応する位置に液体供給室5を備え、仕切板9に接着剤により接合される。ノズルプレート8及び仕切板9はポリイミドフィルムを使用する。カバープレート10はアクチュエータ基板6と同じ熱膨張係数を有するセラミックス材料を使用する。
なお、溝7の幅(x方向)は70μm〜80μm、ノズル2の開口径d1が略30μmである。また、仕切板9は、厚さが略25μm、孔4の開口径d2が略10μm、孔4の数が10個〜20個、孔4が形成される溝7の長手方向(y方向)の長さが略2.5mmである。
液体供給室5に液体が供給されると、液体は仕切板9の孔4を介して圧力室3に充填される。電極端子13に駆動信号が印加されると壁11の駆動電極12に伝達され、壁11は立設方向(z方向)にせん断変形して屈曲する。これにより、圧力室3の容積が変化して充填される液体に圧力波が励起され、この圧力波によってノズル2から液滴が吐出される。この場合に、孔4の開口径はノズル2の開口径よりも小さく、圧力室3で励起された圧力波は孔4を形成した仕切板9から液体供給室5へ伝搬し難くなり、ノズル2から液滴を吐出させるためのエネルギー効率が改善して駆動電圧が低下する。同時に、圧力波が他の圧力室に伝搬して吐出条件に影響を与えるクロストークが低減し、記録品質が向上する。
また、仕切板9の孔4の開口径d2はノズル2の開口径d1よりも小さいので、孔4の開口径よりも大きな塵埃や気泡は圧力室3に進入することが阻止される。そのため、これらの異物がノズル2を詰まらせ、記録する際にドット抜けとなる不具合の発生を防止することができる。本実施形態では仕切板9の孔4がフィルター機能を有するので、液体噴射ヘッド1に液体を供給する図示しない液体供給管と仕切板9との間の液体の流路にフィルターを設置しない構成とすることができる。
なお、溝7はアクチュエータ基板6の一方の端部から他方の端部の手前まで形成したが、他方の端部までストレートに形成し、他方の端部側の溝7を接着剤等により閉塞してもよい。また、アクチュエータ基板6として上下方向に分極した2枚の圧電体基板を貼り合わせた積層基板を用い、壁11の側面の上端面から底面にかけて駆動電極12を形成して、駆動素子を構成してもよい。
また、上記実施形態では、カバープレート10とアクチュエータ基板6の間に孔4を形成した仕切板9を挟むように設置したが、これに代えて、液体供給室5の底部にのみ孔4を形成した仕切板を設置してもよい。また、カバープレート10の液体供給室5となる領域に凹部を形成し、この凹部の底面の各圧力室3に対応する位置に、ノズル2の開口径d1よりも小さい開口径d2を有する孔4を形成してもよい。
(第二実施形態)
図4は、本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド1の、カバープレート10を取り除いた上面模式図である。アクチュエータ基板6は、表面に液体吐出用の吐出溝7aと液体を吐出しないダミー溝7bを有し、吐出溝7aとダミー溝7bは交互に並列に配列する。アクチュエータ基板6の一方の端部にノズルプレート8が接合され、ノズル2は吐出溝7aに連通し、ダミー溝7bにはノズル2が対応して形成されない。仕切板9は、複数の孔4が吐出溝7aに対応し、ダミー溝7bが閉塞されるようにアクチュエータ基板6に接合される。従って、吐出溝7aと液体供給室5は複数の孔4を介して連通し、ダミー溝7bと液体供給室5は仕切板9により遮断される。アクチュエータ基板6の他方の端部の表面には駆動電極12が形成される。
図4は、本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド1の、カバープレート10を取り除いた上面模式図である。アクチュエータ基板6は、表面に液体吐出用の吐出溝7aと液体を吐出しないダミー溝7bを有し、吐出溝7aとダミー溝7bは交互に並列に配列する。アクチュエータ基板6の一方の端部にノズルプレート8が接合され、ノズル2は吐出溝7aに連通し、ダミー溝7bにはノズル2が対応して形成されない。仕切板9は、複数の孔4が吐出溝7aに対応し、ダミー溝7bが閉塞されるようにアクチュエータ基板6に接合される。従って、吐出溝7aと液体供給室5は複数の孔4を介して連通し、ダミー溝7bと液体供給室5は仕切板9により遮断される。アクチュエータ基板6の他方の端部の表面には駆動電極12が形成される。
仕切板9に形成した孔4は開口径が10μm〜20μmであり、ノズル2の開口径よりも小さい。吐出溝7aに対応する孔4が16個配置され、孔4が形成される溝7方向の長さが2mm〜3mmである。その他の構成は、第一実施形態と同様なので、説明を省略する。
この構成により、各吐出溝7aは隣接する吐出溝7aに対して独立して駆動することができるので、全ての吐出溝7aから液滴を同時に吐出できる1サイクル駆動が可能となる。圧力室3を構成する吐出溝7aと液体供給室5は仕切板9により仕切られるので、圧力室3で励起された圧力波が液体供給室5に伝搬し難くなり、ノズル2から液滴を吐出させるためのエネルギー効率が改善して駆動電圧が低下し、同時にクロストークが低減して記録品質が向上する。
(第3実施形態)
図5は、本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッド1の、カバープレート10を取り除いた上面模式図である。アクチュエータ基板6は、表面に液体吐出用の吐出溝7aが並列に配列する。アクチュエータ基板6の一方の端部にノズルプレート8が接合され、各吐出溝7aに対応してノズル2が設置される。仕切板9は、液体供給室5に対応する領域の全面に複数の孔4が形成される。従って、吐出溝7aと液体供給室5は複数の孔4を介して連通する。この場合は、仕切板9の孔4の位置と吐出溝7aとの間の位置合わせが不要となるので組立が容易となる。
図5は、本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッド1の、カバープレート10を取り除いた上面模式図である。アクチュエータ基板6は、表面に液体吐出用の吐出溝7aが並列に配列する。アクチュエータ基板6の一方の端部にノズルプレート8が接合され、各吐出溝7aに対応してノズル2が設置される。仕切板9は、液体供給室5に対応する領域の全面に複数の孔4が形成される。従って、吐出溝7aと液体供給室5は複数の孔4を介して連通する。この場合は、仕切板9の孔4の位置と吐出溝7aとの間の位置合わせが不要となるので組立が容易となる。
仕切板9に形成した孔4は開口径が10μm〜20μmであり、ノズル2の開口径よりも小さい。吐出溝7aに対応する孔4が10個〜20個配置され、孔4が形成される溝7方向の長さが2mm〜3mmである。壁11の溝7方向に直交する方向の厚さは溝7の幅と同程度なので、壁11の幅より孔4の開口径が小さく、壁11の上面の孔4を介して隣接する吐出溝7a間が連通することはない。その他の構成は、第一実施形態と同様なので、説明を省略する。
この構成では、液滴を吐出する際に隣接する吐出溝7aから同時に吐出できず、3つの吐出溝7aを順次駆動する3サイクル駆動により液滴を吐出する。この場合も、圧力室3を構成する吐出溝7aと液体供給室5には仕切板9により仕切られるので、圧力室3で励起された圧力波が液体供給室5に伝搬し難く、ノズル2から液滴を吐出させるためのエネルギー効率が改善する。更に、クロストークが低減し記録品質を向上させることができる。
(第四実施形態)
図6は、本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッド1の仕切板9の孔形状を表す部分断面図である。
図6は、本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッド1の仕切板9の孔形状を表す部分断面図である。
図6に示すように、仕切板9の孔4は液体供給室5から圧力室3に向けて漸次縮径する。これにより、圧力室3で励起された圧力波が液体供給室5側に伝搬し難くなり、ノズル2から液滴を吐出させるためのエネルギー効率が改善し、駆動電圧を低下させることができる。更に、クロストークが低減し記録品質を向上させることができる。なお、この漸次縮径する孔4はレーザ加工等により容易に形成することができる。
(第五実施形態)
図7は本発明の第五実施形態に係る液体噴射装置30の模式的な斜視図である。液体噴射装置30は、液体噴射ヘッド1、1’を往復移動させる移動機構40と、液体噴射ヘッド1、1’に液体を供給する流路部35、35’と、流路部35、35’に液体を供給する液体ポンプ33、33’及び液体タンク34、34’を備えている。各液体噴射ヘッド1、1’は複数の吐出溝を備え、各吐出溝に連通するノズルから液滴を吐出する。各液体噴射ヘッド1、1’は第一〜第四実施形態において説明したものを使用する。
図7は本発明の第五実施形態に係る液体噴射装置30の模式的な斜視図である。液体噴射装置30は、液体噴射ヘッド1、1’を往復移動させる移動機構40と、液体噴射ヘッド1、1’に液体を供給する流路部35、35’と、流路部35、35’に液体を供給する液体ポンプ33、33’及び液体タンク34、34’を備えている。各液体噴射ヘッド1、1’は複数の吐出溝を備え、各吐出溝に連通するノズルから液滴を吐出する。各液体噴射ヘッド1、1’は第一〜第四実施形態において説明したものを使用する。
液体噴射装置30は、紙等の被記録媒体44を主走査方向に搬送する一対の搬送手段41、42と、被記録媒体44に液体を吐出する液体噴射ヘッド1、1’と、液体噴射ヘッド1、1’を載置するキャリッジユニット43と、液体タンク34、34’に貯留した液体を流路部35、35’に押圧して供給する液体ポンプ33、33’と、液体噴射ヘッド1、1’を主走査方向と直交する副走査方向に走査する移動機構40を備えている。図示しない制御部は液体噴射ヘッド1、1’、移動機構40、搬送手段41、42を制御して駆動する。
一対の搬送手段41、42は副走査方向に延び、ローラ面を接触しながら回転するグリッドローラとピンチローラを備えている。図示しないモータによりグリッドローラとピンチローラを軸周りに移転させてローラ間に挟み込んだ被記録媒体44を主走査方向に搬送する。移動機構40は、副走査方向に延びた一対のガイドレール36、37と、一対のガイドレール36、37に沿って摺動可能なキャリッジユニット43と、キャリッジユニット43を連結し副走査方向に移動させる無端ベルト38と、この無端ベルト38を図示しないプーリを介して周回させるモータ39を備えている。
キャリッジユニット43は、複数の液体噴射ヘッド1、1’を載置し、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの4種類の液滴を吐出する。液体タンク34、34’は対応する色の液体を貯留し、液体ポンプ33、33’、流路部35、35’を介して液体噴射ヘッド1、1’に供給する。各液体噴射ヘッド1、1’は駆動信号に応じて各色の液滴を吐出する。液体噴射ヘッド1、1’から液体を吐出させるタイミング、キャリッジユニット43を駆動するモータ39の回転及び被記録媒体44の搬送速度を制御することにより、被記録媒体44上に任意のパターンを記録することできる。
本発明の液体噴射装置30によれば、液体噴射ヘッド1のエネルギー効率が改善し、クロストークが低減するので、記録品質が向上する。なお、液体供給室5と圧力室3の間に設置した仕切板9は、ノズル2の開口径よりも小さい開口径の孔4を有し、フィルターとしても機能する。そのため、液体タンク34、34’と仕切板9との間の流路にフィルターを設置しない構成とすることができる。
1 液体噴射ヘッド
2 ノズル
3 圧力室
4 孔
5 液体供給室
6 アクチュエータ基板
7 溝
8 ノズルプレート
9 仕切板
10 カバープレート
11 壁
12 駆動電極
13 電極端子
2 ノズル
3 圧力室
4 孔
5 液体供給室
6 アクチュエータ基板
7 溝
8 ノズルプレート
9 仕切板
10 カバープレート
11 壁
12 駆動電極
13 電極端子
Claims (6)
- 液体に圧力を印加する圧力室と、
前記圧力室に連通し、液体を吐出するノズルと、
前記圧力室に液体を供給する液体供給室と、
前記液体供給室と前記圧力室の間に設置され、前記ノズルの開口径よりも小さい開口径を有する孔と、を備え、
前記液体供給室から前記圧力室に前記孔を介して液体が供給される液体噴射ヘッド。 - 表面に複数の溝が並列して形成されるアクチュエータ基板と、
前記ノズルを有し、前記アクチュエータ基板に接合されるノズルプレートと、
前記孔を複数有し、前記溝を覆うように前記アクチュエータ基板に接合される仕切板と、
前記液体供給室が形成され、前記仕切板に接合されるカバープレートと、を備え、
前記圧力室は前記仕切板により覆われた前記溝により構成される請求項1に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記仕切板は、ポリイミドフィルムから成る請求項2に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記溝は液体吐出用の吐出溝と液体を吐出しないダミー溝を有し、
前記吐出溝と前記液体供給室は複数の前記孔を介して連通し、前記ダミー溝と前記液体供給室とは前記仕切板により遮断される請求項2又は3に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記孔は前記液体供給室から前記圧力室に向けて縮径する請求項1〜4のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドを往復移動させる移動機構と、
前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、
前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備える液体噴射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011263936A JP2013116566A (ja) | 2011-12-01 | 2011-12-01 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011263936A JP2013116566A (ja) | 2011-12-01 | 2011-12-01 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
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Family Applications (1)
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JP (1) | JP2013116566A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016112888A (ja) * | 2014-12-12 | 2016-06-23 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置 |
-
2011
- 2011-12-01 JP JP2011263936A patent/JP2013116566A/ja active Pending
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JP2016112888A (ja) * | 2014-12-12 | 2016-06-23 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置 |
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