CN104723681A - 液体喷射头及液体喷射装置 - Google Patents

Abstract

液体喷射头（1）具有沿基准方向（K）交替排列在表面开口的吐出槽（3）和在表面开口的非吐出槽（4）的槽列（5），并且具备：在吐出槽（3）的两侧面设置有共同驱动电极（13a）、在非吐出槽（4）的两侧面设置有个别驱动电极（13b）的压电体基板（2），压电体基板（2）在非吐出槽（4）的长度方向上的两端侧的表面具备互相电隔离的个别布线（15y），一端侧的个别布线（15y）与设置在非吐出槽（4）的一个侧面的个别驱动电极（13b）电连接，另一端侧的个别布线（15y）与设置在非吐出槽（4）的另一个侧面的个别驱动电极（13b）电连接。从而，使个别布线（15y）的基准方向（K）的排列间距变粗，从而使得与其他电极之间的电连接容易。

Description

液体喷射头及液体喷射装置

技术领域

本发明涉及对被记录介质喷射液滴而记录的液体喷射头及液体喷射装置。

背景技术

近年来，使用对记录纸等吐出墨滴而记录字符、图形的，或者对元件基板的表面吐出液体材料而形成功能性薄膜的喷墨方式的液体喷射头。该方式中，经由供给管将墨、液体材料等的液体从液体罐引导至通道，对填充在通道中的液体施加压力而作为液滴从与通道连通的喷嘴吐出。在吐出液滴时，移动液体喷射头或被记录介质而形成记录字符、图形的，或者既定形状的功能性薄膜。

专利文献1中，记载了在压电体基板形成多个槽作为液体吐出用的通道，从槽的端部吐出液滴的边缘喷射型的液体喷射头100。图9是专利文献1中记载的液体喷射头的截面示意图。图9（a）是与槽的长度方向正交的方向的液体喷射头100的截面示意图，图9（b）是墨腔103的槽方向的截面示意图。液体喷射头100具备压电陶瓷板102、接合到压电陶瓷板102的上表面的盖板110、和接合到压电陶瓷板102的侧面的喷嘴板114。在压电陶瓷板102夹着隔壁106交替排列有构成墨腔103的槽119和未填充液体的槽104。盖板110经由环氧类树脂120粘接到压电陶瓷板102的上表面。在盖板110形成有集流腔121，集流腔121构成为与槽119的端部连通而能够供给液体（墨）。压电陶瓷板102使用PZT陶瓷板，并且沿极化方向105极化。

槽104贯通盖板110并切削到压电陶瓷板102而形成。隔开槽119与槽104的隔壁106的、墨腔103侧的侧面形成有金属电极108，在槽104的侧面形成有电极117。金属电极108形成在比槽119的深度的一半还上方的位置，作为金属电极109引出至压电陶瓷板102的与喷嘴板114相反侧的一端的面115侧的浅槽107。电极117形成在槽104的内侧面、底面及盖板110的平坦部116。将该电极117设定为共同电位，向金属电极109供给驱动信号而对填充在墨腔103中的液体产生压力波，从而从喷嘴112吐出液滴。

专利文献1：日本特开平7－178903号公报。

发明内容

在专利文献1记载的液体喷射头100中，在压电陶瓷板102的与喷嘴板114相反侧的一端的面115侧的上表面设置有金属电极109。各金属电极109与形成在墨腔103的侧面的各金属电极108分别电连接。即，金属电极109以与墨腔103相同数量形成。因此，若墨腔103的排列间距变窄，则金属电极109的排列间距也变窄，使得金属电极109的构图细微化。因此，该细微化的金属电极109与用于从外部供给驱动信号的布线（例如柔性电路基板的布线）之间的电连接也变得困难。另外，槽104是利用金刚石刀从盖板110侧切削而形成。在形成该槽104时使槽104的槽方向的长度短于槽119的槽方向的长度，以使金刚石刀不会达到集流腔121。因此，为了确保驱动壁的有效长度，压电陶瓷板102的槽方向的长度变长。

本发明的液体喷射头，具备压电体基板，所述压电体基板具有沿基准方向交替排列在表面开口的吐出槽和在所述表面开口的非吐出槽的槽列，并具备设置在所述吐出槽的两侧面的共同驱动电极和设置在所述非吐出槽的两侧面的个别驱动电极，所述压电体基板在所述非吐出槽的长度方向上的两端侧的所述表面具备互相电隔离的个别布线，一端侧的所述个别布线与设置在所述非吐出槽的一个侧面的所述个别驱动电极电连接，另一端侧的所述个别布线与设置在所述非吐出槽的另一个侧面的所述个别驱动电极电连接。

另外，所述吐出槽在所述压电体基板的上表面开口，还具备：具有与所述吐出槽连通的液室并且设置在所述压电体基板的所述上表面的盖板；以及具有与所述吐出槽连通的喷嘴并设置在所述压电体基板的侧面的喷嘴板。

另外，所述吐出槽从所述压电体基板的上表面贯通到与所述上表面相反侧的下表面，所述非吐出槽在所述压电体基板的所述上表面开口，所述个别布线设置在所述压电体基板的所述上表面，还具备：具有与所述吐出槽连通的液室并且设置在所述压电体基板的所述上表面的盖板；以及具有与所述吐出槽连通的喷嘴并且设置在所述压电体基板的所述下表面的喷嘴板。

另外，所述盖板具备与所述个别布线电连接的第一贯通电极、和设置在与所述压电体基板的一侧相反的侧的表面并与所述第一贯通电极电连接的个别端子。

另外，在从所述压电体基板的所述上表面的法线方向观看的俯视图中，所述个别端子跨所述吐出槽地设置在所述盖板。

另外，在所述压电体基板的所述上表面具备与所述共同驱动电极电连接的共同布线。

另外，所述盖板具备与所述共同布线电连接的第二贯通电极、和设置在与所述压电体基板的一侧相反的侧的表面并与所述第二贯通电极电连接的共同端子。

另外，在一个所述吐出槽的两侧面设置的所述共同驱动电极和在其他一个所述吐出槽的两侧面设置的其他所述共同驱动电极经由所述共同布线电连接。

另外，在夹着所述吐出槽而邻接的所述非吐出槽的所述吐出槽一侧的侧面设置的两个所述个别驱动电极，经由所述个别端子电连接。

另外，还包括具备布线的柔性电路基板，所述布线与所述个别端子电连接而将所述柔性电路基板连接到所述盖板的表面。

另外，所述吐出槽从所述压电体基板的上表面贯通到与所述上表面相反侧的下表面，所述非吐出槽在所述压电体基板的所述下表面开口，所述个别布线设置在所述压电体基板的所述下表面，还具备：具有与所述吐出槽连通的液室并且设置在所述压电体基板的上表面的盖板；以及具有与所述吐出槽连通的喷嘴并且设置在所述压电体基板的下表面的喷嘴板。

另外，沿着所述基准方向并列有多个所述槽列。

本发明的液体喷射装置，具备：上述液体喷射头；使所述液体喷射头和被记录介质相对移动的移动机构；向所述液体喷射头供给液体的液体供给管；以及向所述液体供给管供给所述液体的液体罐。

依据本发明的液体喷射头，具备压电体基板，该压电体基板具有沿基准方向交替排列在表面开口的吐出槽和在表面开口的非吐出槽的槽列，并且具备设置在吐出槽的两侧面的共同驱动电极和设置在非吐出槽的两侧面的个别驱动电极，压电体基板在非吐出槽的长度方向上的两端侧的表面具备互相电隔离的个别布线，一端侧的个别布线与设置在非吐出槽的一个侧面的个别驱动电极电连接，另一端侧的个别布线与设置在非吐出槽的另一个侧面的个别驱动电极电连接。由此，个别布线的基准方向的排列间距变粗，其他电极之间的电连接变得容易。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头中使用的压电体基板的示意性立体图；

图2是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头的示意性分解立体图；

图3是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头的截面示意图；

图4是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头的说明图；

图5是本发明的第四实施方式所涉及的液体喷射头的说明图；

图6是本发明的第五实施方式所涉及的液体喷射头的示意性分解立体图；

图7是本发明的第五实施方式所涉及的液体喷射头的截面示意图；

图8是本发明的第六实施方式所涉及的液体喷射装置的示意性立体图；

图9是现有公知的液体喷射头的截面示意图。

[标号说明]

1 液体喷射头；2 压电体基板；3 吐出槽；4 非吐出槽；5 槽列；8 盖板；9 液室；10 喷嘴板；11 喷嘴；13a 共同驱动电极；13b 个别驱动电极；14、14a、14b 开口部；15x 共同布线；15y 个别布线；16 共同端子；17 个别端子；18 侧壁；20 第一贯通电极；21 第二贯通电极；22 第一中间电极；US 上表面；LS 下表面；K 基准方向。

具体实施方式

（第一实施方式）

图1是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头1中使用的压电体基板2的示意性立体图。此外，压电体基板2的表面包含压电体基板2的上表面US和下表面LS。

压电体基板2具有沿基准方向K交替排列在上表面US开口的吐出槽3和在上表面US开口的非吐出槽4的槽列5，并且具备设置在吐出槽3的两侧面的共同驱动电极13a和设置在非吐出槽4的两侧面的个别驱动电极13b。压电体基板2在非吐出槽4的长度方向（在本实施方式中非吐出槽4开口的开口部14b的长度方向）上的两端侧的上表面US具备互相电隔离的个别布线15y，一端侧的个别布线15y与设置在非吐出槽4一侧的侧面的个别驱动电极13b电连接，另一端侧的个别布线15y与设置在非吐出槽4的另一个侧面的个别驱动电极13b电连接。压电体基板2还在其上表面US具备与吐出槽3的共同驱动电极13a电连接的共同布线15x。在此，吐出槽3及非吐出槽4从压电体基板2的上表面US贯通到与上表面US相反侧的下表面LS。这样，将个别布线15y分开设置在非吐出槽4的一端侧和另一端侧，因此个别布线15y的基准方向K的排列间距变粗，与第一贯通电极20（图2中记载）之间的电连接变得容易。此外，在图1中为了方便理解而对共同布线15x和个别布线15y实施了点画。

作为压电体基板2能够使用PZT陶瓷基板。压电体基板2同样沿基板面的垂直方向实施极化处理。在本实施方式中将共同驱动电极13a及个别驱动电极13b设置在比压电体基板2的厚度的大致1/2靠上表面US侧。代替该情况，在作为压电体基板2使用层叠了沿基板表面的垂直方向的上方实施极化处理的压电体和沿垂直方向的下方实施极化处理的压电体的人字纹型的层叠压电体基板的情况下，能够将共同驱动电极13a及个别驱动电极13b从槽的上端比极化边界更深地设置。

压电体基板2在上表面US还具备与吐出槽3的共同驱动电极13a电连接的共同布线15x。共同布线15x在吐出槽3在上表面US开口的开口部的端部附近，以包围槽列5的方式设置，与设置在多个吐出槽3的侧面的多个共同驱动电极13a电连接。即，设置在一个吐出槽3的共同驱动电极13a与设置在其他一个吐出槽3的其他共同驱动电极13a经由共同布线15x电连接。

此外，在本实施方式中，也可以使吐出槽3不在上表面US开口，而在下表面LS开口，使共同布线15x不设置在上表面US，而设置在下表面LS。即，不仅吐出槽3和非吐出槽4在上表面US开口，或者，吐出槽3和非吐出槽4在下表面LS开口的情况，而且吐出槽3或非吐出槽4在上表面US开口，非吐出槽4或吐出槽3在下表面LS开口的情况也包括在本发明的范围内。

（第二实施方式）

图2是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头1的示意性分解立体图。图3是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头1的截面示意图。图3（a）是沿着液体喷射头1的吐出槽3的截面示意图，图3（b）沿着液体喷射头1的非吐出槽4的截面示意图，图3（c）是表示个别驱动电极13b与第一贯通电极20之间的连接构造的变形例的截面示意图。此外，本第二实施方式所涉及的液体喷射头1使用第一实施方式中说明的压电体基板2，因此省略对压电体基板2的详细说明。对于相同的部分或具有相同的功能的部分标注相同的标号。

如图2所示，液体喷射头1具备：压电体基板2；设置在压电体基板2的上表面US的盖板8；以及设置在压电体基板2的下表面LS的喷嘴板10。喷嘴板10具有与吐出槽3连通的喷嘴11。

盖板8具有：与吐出槽3连通的液室9；与个别布线15y电连接的第一贯通电极20；及设置在与压电体基板2的一侧相反的侧的表面并且与第一贯通电极20电连接的个别端子17。个别端子17呈L字形，在L字形的底部，与在夹着吐出槽3而邻接的非吐出槽4的吐出槽3一侧的侧面设置的两个个别驱动电极13b电连接。因此，个别端子17的L字形的底部，在从压电体基板2的上表面US的法线方向观看的俯视图中，跨吐出槽3地设置在盖板8。

个别端子17设置在非吐出槽4的两端侧，非吐出槽4的一端侧的个别端子17和另一端侧的个别端子17使L字形的底部朝向外侧、上部朝向内侧地沿基准方向K排列。L字形的上部作为与外部电路电连接的电极端子起作用。例如，沿基准方向K连接柔性电路基板，将柔性电路基板的布线和个别端子17电连接而能够将由外部电路生成的驱动信号供给个别端子17。另外，取代柔性电路基板，而能够通过引线接合法来与外部电路连接。由此，与个别布线15y同样地，形成在盖板8的表面的个别端子17的排列间距也变粗，与未图示的柔性电路基板等的其他布线之间的连接也变得容易。

用图3（a）及（b）来具体说明。吐出槽3从压电体基板2的上表面US朝着下表面LS具有凸形状，从上表面US贯通到下表面LS。非吐出槽4从下表面LS朝着上表面US具有凸形状，从下表面LS贯通到上表面US。因此，吐出槽3在上表面US开口的开口部14a的槽方向的长度长于在非吐出槽4的上表面US开口的开口部14b的槽方向的长度。吐出槽3在比压电体基板2的厚度的大致1/2靠上表面US侧的两侧面具备共同驱动电极13a，非吐出槽4在比压电体基板2的厚度的大致1/2靠上表面US侧的两侧面具备个别驱动电极13b。

盖板8具备两个液室9、第一贯通电极20、和与第一贯通电极20电连接的个别端子17。盖板8还具备未图示的第二贯通电极和与第二贯通电极电连接的未图示的共同端子。一个液室9与多个吐出槽3的一侧的端部连通，另一个液室9与多个吐出槽3的另一侧的端部连通。非吐出槽4不在设置有液室9的区域的上表面US开口，因此，不与液室9连通。第二贯通电极沿盖板8的板厚方向贯通，与共同布线15x电连接。第二贯通电极设置在盖板8的基准方向K的端部，与设置在与压电体基板2的一侧相反的侧的表面的未图示的共同端子电连接。第一及第二贯通电极、个别端子及共同端子，能够通过镀敷法等而形成为低电阻。另外，作为盖板8能够使用具有与压电体基板2相同程度的热膨胀系数的材料。例如，能够使用PZT陶瓷或可加工陶瓷。

此外，本发明中个别端子17为L字形并不是必要条件，可为T字形，也可为其他形状。另外，本第二实施方式中，在夹住吐出槽3的两个非吐出槽4的吐出槽3侧的侧面设置的两个个别驱动电极13b经由个别端子17电连接，但是代替该情况，两个个别驱动电极13b不在个别端子17中电连接，而经由其他布线或外部电路而电连接也可。另外，若吐出槽3的基准方向K的排列间距变得细微，则个别端子17的基准方向K的排列间距也变得细微。在该情况下，削除个别端子17的L字形的上部，使一侧的个别端子17与另一侧的个别端子17分开即可。

液体喷射头1如下驱动。首先，向一个液室9供给液体。液体流入各吐出槽3，进而，流出到另一个液室9并排出。而且，向未图示的共同端子供给GND电位，向个别端子17供给驱动信号。GND电位从共同端子经由未图示的第二贯通电极传递到共同布线15x，并供给到各吐出槽3的共同驱动电极13a。驱动信号从个别端子17经由第一贯通电极20和个别布线15y而供给到非吐出槽4的个别驱动电极13b。这样，吐出槽3与非吐出槽4之间的侧壁18进行厚度滑移变形，吐出槽3的容积扩大，接着缩小而使吐出槽3感应到压力波。该压力波传递到喷嘴11而从喷嘴11吐出液滴。向各个别端子17独立供给驱动信号，能够独立驱动各吐出槽3。液体填充到吐出槽3但不填充非吐出槽4。液体不与个别布线15y、第一贯通电极20及个别端子17接触。因此，即便使用导电性的液体也不会出现经由液体而驱动信号泄漏的情况。另外，由于在盖板8设置输入驱动信号的个别端子17、共同端子，能够使压电体基板2的槽方向的宽度为与盖板8相同的宽度，能够较小地构成液体喷射头1。此外，液体也可以从一个液室9和另一个液室9两者供给到吐出槽3。

此外，上述的实施方式中，记载了对共同端子施加GND电位，对个别端子17施加驱动信号的技术，但是本申请发明并不限于该方式。例如，也可以对吐出槽3的驱动电极13施加驱动信号而不是GND电位，向非吐出槽4施加GND电位。

图3（c）表示第二实施方式的变形例。盖板8在压电体基板2的一侧的背面具备第一中间电极22。第一中间电极22与第一贯通电极20电连接，并且与个别布线15y电连接。即，个别布线15y经由第一中间电极22和第一贯通电极20而与个别端子17电连接。同样如此，盖板8具备：未图示的第二贯通电极；在与压电体基板2的一侧相反的侧的表面设置，并且与第二贯通电极电连接的未图示的共同端子；以及在压电体基板2的一侧的背面设置，并且与第二贯通电极电连接的未图示的第二中间电极。第二中间电极与共同布线15x电连接。即，共同布线15x经由第二中间电极和第二贯通电极而与共同端子电连接。个别布线15y与第一中间电极22之间，或者，在共同布线15x与第二中间电极之间既可以直接接触而电连接，也可以经由各向异性导电片电连接。通过设置第一中间电极22、第二中间电极，能够降低压电体基板2侧与盖板8侧之间的电接触电阻。另外，无需将第一贯通电极20设置在个别布线15y的上部，或者无需将第二贯通电极设置在共同布线15x的上部，扩大了设计自由度。

此外，本第二实施方式中，为用向圆盘状刀的外周埋入切削材料的切割刀形成吐出槽3及非吐出槽4，槽端部成为向上切或向下切的倾斜面。然而，将槽端部做成倾斜面并不是本发明的必要条件，也可为从上表面US笔直贯通到下表面LS的槽。在该情况下，以使非吐出槽4不与接合到上表面US的盖板8的液室9连通的方式，将非吐出槽4的槽方向的长度形成得比吐出槽3的槽方向的长度短。

另外，本第二实施方式中，设置在压电体基板2的上表面US的共同布线15x和个别布线15y经由贯通电极引出到盖板8的外表面，但是本发明并不限定于该结构。例如，将压电体基板2的槽方向的宽度形成得比盖板8的槽方向的宽度宽，并且以使共同布线15x和个别布线15y露出的方式将盖板8设置在上表面US。对该露出的共同布线15x和个别布线15y连接柔性电路基板，能够向个别驱动电极13b传递由外部电路生成的驱动信号。在该情况下，个别布线15y也分开在非吐出槽4的一端侧和另一端侧，因此个别布线15y的基准方向K的排列间距变粗，与柔性电路基板的布线之间的电连接变得容易。

（第三实施方式）

图4是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头1的说明图。图4（a）是压电体基板2的俯视示意图，图4（b）是盖板8的俯视示意图。在本实施方式中，具体示出共同端子16的形状，第二贯通电极21对应于各吐出槽3而设置多个，个别端子17呈T字形。其他的构成与第二实施方式同样。以下，主要对与第二实施方式不同的结构进行说明，对相同的结构省略说明。对于相同的部分或具有相同的功能的部分标注相同的标号。

如图4（a）所示，在吐出槽3的两端附近，邻接的吐出槽3之间的压电体基板2的上表面US设置有共同布线15x，共同布线15x与设置在邻接的吐出槽3的侧面的共同驱动电极13a电连接。设置在吐出槽3的两侧面的两个共同驱动电极13a在吐出槽3的两端部的向上切的倾斜面的底部电连接。因此，设置在吐出槽3的共同驱动电极13a经由共同布线15x全部电连接。换句话说，设置在一个吐出槽3的共同驱动电极13a与设置在其他一个吐出槽3的其他共同驱动电极13a经由设置在压电体基板2的上表面US的共同布线15x电连接。进而，与第二实施方式同样地，在非吐出槽4的长度方向上的两端侧的上表面US设置有互相电隔离的个别布线15y，一端侧的个别布线15y与设置在非吐出槽4的一侧的侧面的个别驱动电极13b电连接，另一端侧的个别布线15y与设置在非吐出槽4的另一个侧面的个别驱动电极13b电连接。

盖板8对应于设置在邻接的吐出槽3之间的共同布线15x而具备第二贯通电极21。在本实施方式中，在吐出槽3的两端附近设置有共同布线15x，对应于各共同布线15x而设置有第二贯通电极21。因此，盖板8具备2倍于吐出槽3的数量的第二贯通电极21。盖板8进而在与压电体基板2的一侧相反的侧的表面具备与各第二贯通电极21电连接的共同端子16。因此，设置在吐出槽3的两侧面的两个共同驱动电极13a经由两个第二贯通电极21而与共同端子16电连接。换句话说，设置在一个吐出槽3的共同驱动电极13a与设置在其他一个吐出槽3的其他共同驱动电极13a会经由设置在盖板8的表面的共同端子16电连接。进而，与第一实施方式同样地，盖板8具备：与个别布线15y电连接的第一贯通电极20；以及设置在与压电体基板2的一侧相反的侧的表面并且与第一贯通电极20电连接的个别端子17。

这样，通过在各吐出槽3的两端附近设置第二贯通电极21，共同端子16与共同驱动电极13a之间的电阻下降，基于布线电阻的液滴的吐出异常降低。此外，虽然将第二贯通电极21设置在各吐出槽3的两端附近，但也可以仅在吐出槽3的一侧设置第二贯通电极21，也可以每隔2个吐出槽3设置第二贯通电极21，进而也可以零散地设置第二贯通电极21。总之，以不发生吐出异常的程度的密度设置第二贯通电极21即可。另外，个别端子17呈T字形，T字形的上部与两个第一贯通电极20电连接，T字形的下部覆盖吐出槽3，作为与外部电路电连接的端子起作用。

（第四实施方式）

图5是本发明的第四实施方式所涉及的液体喷射头1的说明图。图5（a）是液体喷射头1的压电体基板2的俯视示意图，图5（b）是沿着液体喷射头1的吐出槽3的槽方向的截面示意图。对于相同的部分或具有相同的功能的部分标注相同的标号。

液体喷射头1具备：压电体基板2；设置在压电体基板2的上表面US的盖板8；以及设置在压电体基板2的侧面SS的喷嘴板10。压电体基板2具有沿基准方向K交替排列在上表面US开口的吐出槽3和在上表面US开口的非吐出槽4的槽列5，并且具备设置在吐出槽3的两侧面的共同驱动电极13a和设置在非吐出槽4的两侧面的个别驱动电极13b。压电体基板2在非吐出槽4的长度方向（在本实施方式中非吐出槽4开口的开口部14的长度方向）上的两端侧的上表面具备互相电隔离的个别布线15y，一端侧的个别布线15y与设置在非吐出槽4的一个侧面的个别驱动电极13b电连接，另一端侧的个别布线15y与设置在非吐出槽4的另一个侧面的个别驱动电极13b电连接。压电体基板2进而在其上表面US具备与吐出槽3的共同驱动电极13a电连接的共同布线15x。

盖板8具备：与吐出槽3连通的液室9；与个别布线15y电连接的第一贯通电极20；与共同布线15x电连接的第二贯通电极21；与第一贯通电极20电连接的个别端子17；以及与第二贯通电极21电连接的共同端子16。个别端子17和共同端子16设置在与盖板8的压电体基板2相反的侧的表面。个别端子17设置在非吐出槽4的两端侧，各个别端子17电连接设置在夹着吐出槽3而邻接的非吐出槽4的吐出槽3的一侧的侧面的两个个别驱动电极13b。因此，各个别端子17在从压电体基板2的上表面US的法线方向观看的俯视图中，跨吐出槽3地设置在盖板8。喷嘴板10具有与吐出槽3连通的喷嘴11。

这样，将个别布线15y分开设置在非吐出槽4的一端侧和另一端侧，因此个别布线15y的基准方向K的排列间距变粗，与第一贯通电极20之间的电连接变得容易。同样如此，形成在盖板8的表面的个别端子17的排列间距也变粗，与未图示的柔性电路基板的布线之间的连接也变得容易。

对压电体基板2进行具体说明。吐出槽3从一个侧面SS形成到另一个侧面SS的跟前，非吐出槽4从一个侧面SS的跟前形成到另一个侧面SS的跟前。吐出槽3在上表面US开口而不在下表面LS开口。非吐出槽4用切割刀从下表面LS的一侧磨削而形成，使之贯通到上表面US。非吐出槽4的两端部被转印有切割刀的外形形状，从下表面LS朝着上表面US呈凸形状。形成在盖板8的液室9在吐出槽3和另一侧的端部中连通。非吐出槽4不在盖板8的液室9开口的压电体基板2的上表面US开口，因此无需在液室9设置用于阻止使液室9与非吐出槽4连通的狭缝。

（第五实施方式）

图6是本发明的第五实施方式所涉及的液体喷射头1的示意性分解立体图。图7是本发明的第五实施方式所涉及的液体喷射头1的截面示意图。图7（a）是沿着液体喷射头1的吐出槽3的截面示意图，图7（b）是沿着液体喷射头1的非吐出槽4的截面示意图。此外，在图8及图7中上下颠倒。与第一实施方式的不同点是在设置有压电体基板2的喷嘴板10的下表面LS设置有共同布线15x、个别布线15y这一点。对于相同的部分或具有相同的功能的部分标注相同的标号。

如图6所示，液体喷射头1具备：压电体基板2；设置在压电体基板2的上表面US的盖板8；以及设置在压电体基板2的下表面LS的喷嘴板10。压电体基板2具有沿基准方向K交替排列在下表面LS开口的吐出槽3和在下表面LS开口的非吐出槽4的槽列5，并且具备设置在吐出槽3的两侧面的共同驱动电极13a和设置在非吐出槽4的两侧面的个别驱动电极13b。压电体基板2在非吐出槽4的长度方向（在本实施方式中非吐出槽4开口的开口部14的长度方向）上的两端侧的下表面LS具备互相电隔离的个别布线15y，一端侧的个别布线15y与设置在非吐出槽4的一侧的侧面的个别驱动电极13b电连接，另一端侧的个别布线15y与设置在非吐出槽4的另一个侧面的个别驱动电极13b电连接。压电体基板2进而在下表面LS具备与吐出槽3的共同驱动电极13a电连接的共同布线15x。在此，吐出槽3及非吐出槽4从压电体基板2的下表面LS贯通到上表面US，但本发明并不限定于此，非吐出槽4也可以不贯通到上表面US侧。

喷嘴板10具备与吐出槽3连通的喷嘴11，并且设置在压电体基板2的下表面LS。喷嘴板10在槽方向的宽度比压电体基板2的槽方向的宽度窄，在设置压电体基板2的喷嘴板10时，露出形成在非吐出槽4的两端侧的下表面LS的个别布线15y和形成在一侧的共同布线15x。将该露出的共同布线15x及个别布线15y和未图示的柔性电路基板的布线电连接，从而能够从外部供给驱动信号。在盖板8形成有两个液室9，一个液室9与吐出槽3的一个端部连通，另一个液室9与吐出槽3的另一个端部连通。这样，将个别布线15y分开设置在非吐出槽4的一端侧和另一端侧，因此个别布线15y的基准方向K的排列间距变粗，与其他电极的连接变得容易。另外，非吐出槽4不在设置有液室9的区域的上表面US开口，无需在液室9设置用于截断与非吐出槽4的连通的狭缝。

利用图7（a）及（b）进行具体说明。吐出槽3从上表面US朝着下表面LS呈凸形状。非吐出槽4从下表面LS朝着上表面US呈凸形状，槽方向的两端侧从下表面LS起具有恒定的深度。该深度比压电体基板2的厚度的大致1/2更深。吐出槽3在比压电体基板2的厚度的大致1/2靠下表面LS侧的两侧面具备共同驱动电极13a。非吐出槽4在比压电体基板2的厚度的大致1/2靠下表面LS侧的两侧面具备个别驱动电极13b，两侧面的个别驱动电极13b互相电隔离。共同布线15x比在下表面LS开口的吐出槽3的开口部更靠另一侧设置，与设置在吐出槽3的两侧面的共同驱动电极13a电连接。非吐出槽4的一端侧的个别布线15y与设置在非吐出槽4的一侧的侧面的个别驱动电极13b电连接，另一端侧的个别布线15y与设置在非吐出槽4的另一侧的侧面的个别驱动电极13b电连接。进而，在夹着吐出槽3而邻接的两个非吐出槽4的吐出槽3侧的侧面设置的两个个别驱动电极13b经由个别布线15y电连接。因此，设置在非吐出槽4的一端侧的个别布线15y每隔一个沿基准方向K排列的吐出槽3而设置。设置在非吐出槽4的另一端侧的个别布线15y也同样。其结果是，个别布线15y的基准方向K的排列间距变粗，即便吐出槽3的排列间距变得细微的情况下，与其他布线的电连接也变得容易。压电体基板2的材料、液体喷射头1的动作与第一实施方式相同，因此省略说明。

此外，在本实施方式中，对共同布线15x及个别布线15y电连接柔性电路基板的布线，但是代替该情况，能够将喷嘴板10沿槽方向延长，使喷嘴板10具有柔性电路基板的功能。在该情况下，在喷嘴板10的压电体基板2的一侧的表面设置与个别布线15y电连接的布线，进而，在喷嘴板10设置与共同布线15x电连接的贯通电极，在与压电体基板2的一侧相反的侧的表面设置与该贯通电极电连接的布线。其结果是，不仅减少部件件数，而且能够同时进行喷嘴板10的喷嘴11与压电体基板2的吐出槽3之间的对位和喷嘴板10的布线及贯通电极与压电体基板2的共同布线15x及个别布线15y之间的对位，连制造工时数也减少。

以上，在第一～第五实施方式中对具有1列的槽列5的液体喷射头1进行了说明，但本发明并不限定于这些，也能适用于2列以上的槽列5沿基准方向K并列的情况。

（第六实施方式）

图8是本发明的第六实施方式所涉及的液体喷射装置30的示意性立体图。液体喷射装置30具备：使液体喷射头1、1’往复移动的移动机构40；向液体喷射头1、1’供给液体并从液体喷射头1、1’排出液体的流路部35、35’；与流路部35、35’连通的液体泵33、33’及液体罐34、34’。各液体喷射头1、1’使用已说明的第一～第五实施方式中的任一个。

液体喷射装置30具备：将纸等被记录介质44向主扫描方向输送的一对输送单元41、42；向被记录介质44吐出液体的液体喷射头1、1’；承载液体喷射头1、1’的滑架单元43；按压积存在液体罐34、34’的液体而向流路部35、35’供给的液体泵33、33’；以及使液体喷射头1、1’沿与主扫描方向正交的副扫描方向扫描的移动机构40。未图示的控制部控制驱动液体喷射头1、1’、移动机构40、输送单元41、42。

一对输送单元41、42具备沿副扫描方向延伸的、使辊面接触的同时旋转的栅格辊和压紧辊。利用未图示的电动机使栅格辊和压紧辊绕轴移转，从而将夹入辊间的被记录介质44沿主扫描方向输送。移动机构40具备：沿副扫描方向延伸的一对导轨36、37；能够沿着一对导轨36、37滑动的滑架单元43；连结滑架单元43并向副扫描方向移动的无接头带38；以及使该无接头带38围绕未图示的带轮而旋转的电动机39。

滑架单元43承载多个液体喷射头1、1’，吐出例如黄色、品红色、青色、黑色这4种液滴。液体罐34、34’积存对应颜色的液体，经由液体泵33、33’、流路部35、35’而向液体喷射头1、1’供给。各液体喷射头1、1’响应驱动信号吐出各色的液滴。通过控制从液体喷射头1、1’吐出液体的定时、驱动滑架单元43的电动机39的旋转及被记录介质44的输送速度，能够在被记录介质44上记录任意的图案。

此外，本实施方式是移动机构40使滑架单元43和被记录介质44移动而记录的液体喷射装置30，但是代替此情况，也可以是固定滑架单元，移动机构使被记录介质二维移动而记录的液体喷射装置。即，移动机构只要使液体喷射头和被记录介质相对移动即可。

Claims (13)

1. 一种液体喷射头，其中具备压电体基板，所述压电体基板具有沿基准方向交替排列在表面开口的吐出槽和在所述表面开口的非吐出槽的槽列，并具备设置在所述吐出槽的两侧面的共同驱动电极和设置在所述非吐出槽的两侧面的个别驱动电极，

所述压电体基板在所述非吐出槽的长度方向上的两端侧的所述表面具备互相电隔离的个别布线，一端侧的所述个别布线与设置在所述非吐出槽的一个侧面的所述个别驱动电极电连接，另一端侧的所述个别布线与设置在所述非吐出槽的另一个侧面的所述个别驱动电极电连接。

2. 如权利要求1所述的液体喷射头，其中，

所述吐出槽在所述压电体基板的上表面开口，

还具备：具有与所述吐出槽连通的液室并且设置在所述压电体基板的所述上表面的盖板；以及

具有与所述吐出槽连通的喷嘴并设置在所述压电体基板的侧面的喷嘴板。

3. 如权利要求1所述的液体喷射头，其中，

所述吐出槽从所述压电体基板的上表面贯通到与所述上表面相反的侧的下表面，所述非吐出槽在所述压电体基板的所述上表面开口，所述个别布线设置在所述压电体基板的所述上表面，

还具备：具有与所述吐出槽连通的液室并且设置在所述压电体基板的所述上表面的盖板；以及具有与所述吐出槽连通的喷嘴并且设置在所述压电体基板的所述下表面的喷嘴板。

4. 如权利要求2所述的液体喷射头，其中，

所述盖板具备与所述个别布线电连接的第一贯通电极、和设置在与所述压电体基板的一侧相反的侧的表面并与所述第一贯通电极电连接的个别端子。

5. 如权利要求4所述的液体喷射头，其中，

在从所述压电体基板的所述上表面的法线方向观看的俯视图中，所述个别端子跨所述吐出槽地设置在所述盖板。

6. 如权利要求2所述的液体喷射头，其中，

在所述压电体基板的所述上表面具备与所述共同驱动电极电连接的共同布线。

7. 如权利要求6所述的液体喷射头，其中，

所述盖板具备与所述共同布线电连接的第二贯通电极、和设置在与所述压电体基板的一侧相反的侧的表面并与所述第二贯通电极电连接的共同端子。

8. 如权利要求6所述的液体喷射头，其中，

在一个所述吐出槽的两侧面设置的所述共同驱动电极和在其他一个所述吐出槽的两侧面设置的其他所述共同驱动电极经由所述共同布线电连接。

9. 如权利要求4所述的液体喷射头，其中，

在夹着所述吐出槽而邻接的所述非吐出槽的所述吐出槽一侧的侧面设置的两个所述个别驱动电极，经由所述个别端子电连接。

10. 如权利要求4所述的液体喷射头，其中，

还包括具备布线的柔性电路基板，所述布线与所述个别端子电连接而将所述柔性电路基板连接到所述盖板的表面。

11. 如权利要求1所述的液体喷射头，其中，

所述吐出槽从所述压电体基板的上表面贯通到与所述上表面相反的侧的下表面，所述非吐出槽在所述压电体基板的所述下表面开口，所述个别布线设置在所述压电体基板的所述下表面，

还具备：具有与所述吐出槽连通的液室并且设置在所述压电体基板的上表面的盖板；以及具有与所述吐出槽连通的喷嘴并且设置在所述压电体基板的下表面的喷嘴板。

12. 如权利要求1所述的液体喷射头，其中，

沿着所述基准方向并列有多个所述槽列。

13. 一种液体喷射装置，其中具备：

权利要求1所述的液体喷射头；

使所述液体喷射头和被记录介质相对移动的移动机构；

向所述液体喷射头供给液体的液体供给管；以及

向所述液体供给管供给所述液体的液体罐。