JP6968669B2 - ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置 - Google Patents

Description

本開示は、ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置に関する。

液体噴射記録装置の１つとして、記録紙等の被記録媒体にインク（液体）を吐出（噴射）して画像や文字等の記録を行う、インクジェット方式の記録装置が提供されている（例えば特許文献１参照）。この方式の液体噴射記録装置では、インクタンクからインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）へインクを供給し、このインクジェットヘッドのノズル孔から被記録媒体に対してインクを吐出することで、画像や文字等の記録が行われるようになっている。また、このようなインクジェットヘッドには、インクを吐出するヘッドチップが設けられている。

特開２０１７−１０９３８６号公報

このようなヘッドチップ等では一般に、信頼性を向上させることが求められている。信頼性を向上させることが可能なヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置を提供することが望ましい。

本開示の一実施の形態に係るヘッドチップは、液体を噴射するヘッドチップであって、第１の方向に沿って交互に並設され、かつ第１の方向に交差する第２の方向に延在する複数の吐出溝および複数の非吐出溝を有するアクチュエータプレートと、複数の吐出溝に個別に連通する複数のノズル孔を有し、アクチュエータプレートに接合されるノズルプレートとを備えたものである。非吐出溝は、アクチュエータプレートのノズルプレートとの接合面において部分的に開口していると共に、第２の方向におけるアクチュエータプレートの所定の端面において閉じた構造とされており、アクチュエータプレートは、複数の非吐出溝のそれぞれの内面に形成された複数の個別電極と、複数の個別電極のそれぞれを、複数の非吐出溝のそれぞれにおける一方の側面側と他方の側面側とに電気的に分離するように、複数の非吐出溝のそれぞれの底面に形成された、第２の方向に沿って延びる電極分割溝とをさらに有し、電極分割溝は、第２の方向においてアクチュエータプレートの所定の端面まで延在していると共に、所定の端面において部分的に開口している。

本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドは、上記本開示の一実施の形態に係るヘッドチップを備えたものである。

本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置は、上記本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドと、液体を収容する収容部とを備えたものである。

本開示の一実施の形態に係るヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置によれば、信頼性を向上させることが可能となる。

本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置の概略構成例を表す模式斜視図である。 図１に示した液体噴射ヘッドの要部構成例を表す模式底面図である。 図２に示したヘッドチップにおけるＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面構成例を表す模式図である。 図２に示したＩＶ−ＩＶ線に沿ったヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。 図２に示したＶ−Ｖ線に沿ったヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。 図２に示したヘッドチップにおけるアクチュエータプレートの要部構成例を表す上面図である。 図２に示したヘッドチップにおけるカバープレートの要部構成例を表す底面図である。 図２に示したヘッドチップにおけるカバープレートの要部構成例を表す上面図である。 比較例に係るヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。 変形例１に係るヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。 変形例２に係るヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。 変形例３に係るヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。 変形例４に係るヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。

以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
１．実施の形態（アクチュエータプレートにおいて、非吐出溝がノズルプレートとの接合面において部分的に開口し、かつ端面において閉じた構造とされている例）
２．変形例
変形例１（アクチュエータプレートにおいて、電極分割溝が端面まで延在している例）
変形例２（アクチュエータプレートにおいて、非吐出溝が端面において開口し、電極分割溝が端面まで延在している例１）
変形例３（アクチュエータプレートにおいて、電極分割溝が第１の端面から第２の端面に亘って露出している例）
変形例４（アクチュエータプレートにおいて、非吐出溝が端面において開口し、電極分割溝が端面まで延在している例２）
３．その他の変形例

＜１．実施の形態＞
［プリンタ１の全体構成］
図１は、本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置としてのプリンタ１の概略構成例を、模式的に斜視図にて表したものである。このプリンタ１は、後述するインク９を利用して、被記録媒体としての記録紙Ｐに対して、画像や文字等の記録（印刷）を行うインクジェットプリンタである。

プリンタ１は、図１に示したように、一対の搬送機構２ａ，２ｂと、インクタンク３と、インクジェットヘッド４と、循環機構５と、走査機構６とを備えている。これらの各部材は、所定形状を有する筺体１０内に収容されている。なお、本明細書の説明に用いられる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

ここで、プリンタ１は、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例に対応し、インクジェットヘッド４（後述するインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）は、本開示における「液体噴射ヘッド」の一具体例に対応している。また、インク９は、本開示における「液体」の一具体例に対応している。

搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、図１に示したように、記録紙Ｐを搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送する機構である。これらの搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、グリッドローラ２１、ピンチローラ２２および駆動機構（不図示）を有している。グリッドローラ２１およびピンチローラ２２はそれぞれ、Ｙ軸方向（記録紙Ｐの幅方向）に沿って延設されている。駆動機構は、グリッドローラ２１を軸周りに回転させる（Ｚ−Ｘ面内で回転させる）機構であり、例えばモータ等によって構成されている。

（インクタンク３）
インクタンク３は、インク９を内部に収容するタンクである。このインクタンク３としては、この例では図１に示したように、イエロー（Ｙ），マゼンダ（Ｍ），シアン（Ｃ），ブラック（Ｂ）の４色のインク９を個別に収容する、４種類のタンクが設けられている。すなわち、イエローのインク９を収容するインクタンク３Ｙと、マゼンダのインク９を収容するインクタンク３Ｍと、シアンのインク９を収容するインクタンク３Ｃと、ブラックのインク９を収容するインクタンク３Ｂとが設けられている。これらのインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂは、筺体１０内において、Ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。

なお、インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂはそれぞれ、収容するインク９の色以外については同一の構成であるため、以下ではインクタンク３と総称して説明する。また、このインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）は、本開示における「収容部」の一具体例に対応している。

（インクジェットヘッド４）
インクジェットヘッド４は、後述する複数のノズル（ノズル孔Ｈ１，Ｈ２）から記録紙Ｐに対して液滴状のインク９を噴射（吐出）して、画像や文字等の記録を行うヘッドである。このインクジェットヘッド４としても、この例では図１に示したように、上記したインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂにそれぞれ収容されている４色のインク９を個別に噴射する、４種類のヘッドが設けられている。すなわち、イエローのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｙと、マゼンダのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｍと、シアンのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｃと、ブラックのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｂとが設けられている。これらのインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂは、筺体１０内において、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。

なお、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂはそれぞれ、利用するインク９の色以外については同一の構成であるため、以下ではインクジェットヘッド４と総称して説明する。また、このインクジェットヘッド４の詳細構成については、後述する（図２〜図８）。

（循環機構５）
循環機構５は、インクタンク３内とインクジェットヘッド４内との間でインク９を循環させるための機構である。この循環機構５は、例えば、インク９を循環させるための流路である循環流路５０と、一対の送液ポンプ５２ａ，５２ｂとを含んで構成されている。

循環流路５０は、図１に示したように、インクタンク３から送液ポンプ５２ａを介してインクジェットヘッド４へと至る部分である流路５０ａと、インクジェットヘッド４から送液ポンプ５２ｂを介してインクタンク３へと至る部分である流路５０ｂとを有している。言い換えると、流路５０ａは、インクタンク３からインクジェットヘッド４へと向かって、インク９が流れる流路である。また、流路５０ｂは、インクジェットヘッド４からインクタンク３へと向かって、インク９が流れる流路である。なお、これらの流路５０ａ，５０ｂ（インク９の供給チューブ）はそれぞれ、可撓性を有するフレキシブルホースにより構成されている。

（走査機構６）
走査機構６は、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って、インクジェットヘッド４を走査させる機構である。この走査機構６は、図１に示したように、Ｙ軸方向に沿って延設された一対のガイドレール６１ａ，６１ｂと、これらのガイドレール６１ａ，６１ｂに移動可能に支持されたキャリッジ６２と、このキャリッジ６２をＹ軸方向に沿って移動させる駆動機構６３と、を有している。また、駆動機構６３は、ガイドレール６１ａ，６１ｂの間に配置された一対のプーリ６３１ａ，６３１ｂと、これらのプーリ６３１ａ，６３１ｂ間に巻回された無端ベルト６３２と、プーリ６３１ａを回転駆動させる駆動モータ６３３と、を有している。

プーリ６３１ａ，６３１ｂはそれぞれ、Ｙ軸方向に沿って、各ガイドレール６１ａ，６１ｂにおける両端付近に対応する領域に配置されている。無端ベルト６３２には、キャリッジ６２が連結されている。このキャリッジ６２上には、前述した４種類のインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂが、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。

なお、このような走査機構６と前述した搬送機構２ａ，２ｂとにより、インクジェットヘッド４と記録紙Ｐとを相対的に移動させる、移動機構が構成されるようになっている。

［インクジェットヘッド４の詳細構成］
次に、図１に加えて図２〜図８を参照して、インクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）の詳細構成例について説明する。

図２は、ノズルプレート４１１（後出）を取り外した状態におけるインクジェットヘッド４の要部構成例を、模式的に底面図（Ｘ−Ｙ底面図）で表したものである。図３は、図２に示したＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿ったインクジェットヘッド４の断面構成例（Ｚ−Ｘ断面構成例）を、模式的に表したものである。同様に、図４は、図２に示したＩＶ−ＩＶ線に沿ったインクジェットヘッド４の断面構成例を模式的に表したものであり、後述するヘッドチップ４１における吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ（吐出溝）付近の断面構成例に対応している。また、図５は、図２に示したＶ−Ｖ線に沿ったインクジェットヘッド４の断面構成例を模式的に表したものであり、後述するヘッドチップ４１におけるダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ（非吐出溝）付近の断面構成例に対応している。図６は、後述するヘッドチップ４１におけるアクチュエータプレート４１２の要部構成例を、模式的に上面図で表したものである。図７は、後述するヘッドチップ４１におけるカバープレート４１３の要部構成例を、模式的に底面図で表したものである。図８は、後述するヘッドチップ４１におけるカバープレート４１３の要部構成例を、模式的に上面図で表したものである。

本実施の形態のインクジェットヘッド４は、後述するヘッドチップ４１における複数のチャネル（複数のチャネルＣ１および複数のチャネルＣ２）のうち、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの延在方向（後述する斜め方向）の中央部からインク９を吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドである。また、このインクジェットヘッド４は、前述した循環機構５（循環流路５０）を用いることで、インクタンク３との間でインク９を循環させて利用する、循環式のインクジェットヘッドである。

図３に示したように、インクジェットヘッド４は、ヘッドチップ４１および流路プレート４０を備えている。また、このインクジェットヘッド４には、制御機構（ヘッドチップ４１の動作を制御する機構）として、回路基板（不図示）と、フレキシブルプリント基板（Flexible Printed Circuits：ＦＰＣ）４４１，４４２（図４，図５参照）とが設けられている。なお、制御機構（例えばドライバＩＣ）がＦＰＣに搭載されている構造（ＣＯＦ（Chip on FPC））であってもよい。

回路基板は、ヘッドチップ４１を駆動するための駆動回路（電気回路）を搭載する基板である。フレキシブルプリント基板４４１，４４２はそれぞれ、回路基板上の駆動回路と、ヘッドチップ４１における後述する駆動電極Ｅｄとの間を、電気的に接続するための基板である。なお、このようなフレキシブルプリント基板４４１，４４２にはそれぞれ、後述する複数の引き出し電極がプリント配線されるようになっている。

ヘッドチップ４１は、図３に示したように、インク９をＺ軸方向に沿って噴射する部材であり、各種のプレートを用いて構成されている。具体的には図３に示したように、ヘッドチップ４１は、ノズルプレート（噴射孔プレート）４１１、アクチュエータプレート４１２およびカバープレート４１３を、主に備えている。これらのノズルプレート４１１、アクチュエータプレート４１２およびカバープレート４１３と、上記した流路プレート４０とはそれぞれ、例えば接着剤等を用いて互いに貼り合わされており、Ｚ軸方向に沿ってこの順に積層されている。なお、以下では、Ｚ軸方向に沿って流路プレート４０側（カバープレート４１３側）を上方と称すると共に、ノズルプレート４１１側を下方と称して説明する。

（ノズルプレート４１１）
ノズルプレート４１１は、ステンレス鋼等の金属フィルム材から形成され、例えば５０μｍ程度の厚みを有する。ただし、ノズルプレート４１１は、ポリイミド等のフィルム材で形成されていてもよい。また、ノズルプレート４１１の材料は、ガラスやシリコンであってもよい。ノズルプレート４１１は、図３〜図４に示したように、アクチュエータプレート４１２の下面（接合面４７１）に接着されている。また、図２に示したように、このノズルプレート４１１には、Ｘ軸方向に沿ってそれぞれ延在する、２列のノズル列（ノズル列Ａｎ１，Ａｎ２）が設けられている。これらのノズル列Ａｎ１，Ａｎ２同士は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔をおいて配置されている。このように、本実施の形態のインクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）は、２列タイプのインクジェットヘッド（ヘッドチップ）となっている。

ノズル列Ａｎ１は、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて一直線上に並んで形成された、複数のノズル孔Ｈ１を有している。これらのノズル孔Ｈ１はそれぞれ、ノズルプレート４１１をその厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って貫通しており、例えば図３および図４に示したように、後述するアクチュエータプレート４１２における吐出チャネルＣ１ｅ内に個別に連通している。具体的には図２に示したように、各ノズル孔Ｈ１は、吐出チャネルＣ１ｅの延在方向（後述する斜め方向）に沿った中央部に位置するように形成されている。また、ノズル孔Ｈ１におけるＸ軸方向に沿った形成ピッチは、吐出チャネルＣ１ｅにおけるＸ軸方向に沿った形成ピッチと同一（同一ピッチ）となっている。このようなノズル列Ａｎ１内のノズル孔Ｈ１からは、詳細は後述するが、吐出チャネルＣ１ｅ内から供給されるインク９が吐出（噴射）されるようになっている。

ノズル列Ａｎ２も同様に、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて一直線上に並んで形成された、複数のノズル孔Ｈ２を有している。これらのノズル孔Ｈ２もそれぞれ、ノズルプレート４１１をその厚み方向に沿って貫通しており、後述するアクチュエータプレート４１２における吐出チャネルＣ２ｅ内に個別に連通している。具体的には図２に示したように、各ノズル孔Ｈ２は、吐出チャネルＣ２ｅの延在方向（後述する斜め方向）に沿った中央部に位置するように形成されている。また、ノズル孔Ｈ２におけるＸ軸方向に沿った形成ピッチは、吐出チャネルＣ２ｅにおけるＸ軸方向に沿った形成ピッチと同一となっている。このようなノズル列Ａｎ２内のノズル孔Ｈ２からも、詳細は後述するが、吐出チャネルＣ２ｅ内から供給されるインク９が吐出されるようになっている。

また、図２に示したように、ノズル列Ａｎ１における各ノズル孔Ｈ１と、ノズル列Ａｎ２における各ノズル孔Ｈ２とは、Ｘ軸方向に沿って互い違いとなるように配置されている。したがって、本実施の形態のインクジェットヘッド４では、ノズル列Ａｎ１におけるノズル孔Ｈ１と、ノズル列Ａｎ２におけるノズル孔Ｈ２とが、千鳥状に配置されている。なお、このようなノズル孔Ｈ１，Ｈ２はそれぞれ、下方に向かうに従って漸次縮径するテーパ状の貫通孔となっている。

（アクチュエータプレート４１２）
アクチュエータプレート４１２は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料により構成されたプレートである。このアクチュエータプレート４１２は、図３に示したように、分極方向が互いに異なる２つの圧電基板を、厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って積層して構成されている（いわゆる、シェブロンタイプ）。ただし、アクチュエータプレート４１２の構成としては、このシェブロンタイプには限られない。すなわち、例えば、分極方向が厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って一方向に設定されている１つ（単一）の圧電基板によって、アクチュエータプレート４１２を構成するようにしてもよい（いわゆる、カンチレバータイプ）。

また、図２に示したように、アクチュエータプレート４１２には、Ｘ軸方向に沿ってそれぞれ延在する、２列のチャネル列（チャネル列４２１，４２２）が設けられている。これらのチャネル列４２１，４２２同士は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔をおいて配置されている。

このようなアクチュエータプレート４１２では、図２に示したように、Ｘ軸方向に沿った中央部（チャネル列４２１，４２２の形成領域）に、インク９の吐出領域（噴射領域）が設けられている。一方、アクチュエータプレート４１２において、Ｘ軸方向に沿った両端部（チャネル列４２１，４２２の非形成領域）には、インク９の非吐出領域（非噴射領域）が設けられている。この非吐出領域は、上記した吐出領域に対して、Ｘ軸方向に沿った外側に位置している。なお、アクチュエータプレート４１２におけるＹ軸方向に沿った両端部はそれぞれ、図２に示したように、尾部４２０を構成している。

上記したチャネル列４２１は、図２および図３に示したように、複数のチャネルＣ１を有している。これらのチャネルＣ１は、図２に示したように、アクチュエータプレート４１２内においてＹ軸方向から所定の角度（鋭角）を成す、斜め方向に沿って延在している。また、これらのチャネルＣ１は、図２に示したように、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。各チャネルＣ１は、圧電体（アクチュエータプレート４１２）からなる駆動壁Ｗｄによってそれぞれ画成されており、断面視にて凹状の溝部となっている（図３参照）。

チャネル列４２２も同様に、図２に示したように、上記した斜め方向に沿って延在する複数のチャネルＣ２を有している。これらのチャネルＣ２は、図２に示したように、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。各チャネルＣ２もまた、上記した駆動壁Ｗｄによってそれぞれ画成されており、断面視にて凹状の溝部となっている。

ここで、図２〜図６に示したように、チャネルＣ１には、インク９を吐出させるための吐出チャネルＣ１ｅ（吐出溝）と、インク９を吐出させないダミーチャネルＣ１ｄ（非吐出溝）とが存在している。図２および図３に示したように、チャネル列４２１において、これらの吐出チャネルＣ１ｅとダミーチャネルＣ１ｄとは、Ｘ軸方向に沿って交互に配置されている。各吐出チャネルＣ１ｅは、ノズルプレート４１１におけるノズル孔Ｈ１と連通している一方、各ダミーチャネルＣ１ｄはノズル孔Ｈ１には連通しておらず、ノズルプレート４１１の上面によって下方から覆われている（図３〜図５参照）。

同様に、図２，図４，図５に示したように、チャネルＣ２には、インク９を吐出させるための吐出チャネルＣ２ｅ（吐出溝）と、インク９を吐出させないダミーチャネルＣ２ｄ（非吐出溝）とが存在している。図２に示したように、チャネル列４２２において、これらの吐出チャネルＣ２ｅとダミーチャネルＣ２ｄとは、Ｘ軸方向に沿って交互に配置されている。各吐出チャネルＣ２ｅは、ノズルプレート４１１におけるノズル孔Ｈ２と連通している一方、各ダミーチャネルＣ２ｄはノズル孔Ｈ２には連通しておらず、ノズルプレート４１１の上面によって下方から覆われている（図４，図５参照）。

なお、このような吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅはそれぞれ、本開示における「吐出溝」の一具体例に対応している。また、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄはそれぞれ、本開示における「非吐出溝」の一具体例に対応している。

また、図２中のＩＶ−ＩＶ線で示したように、チャネル列４２１における吐出チャネルＣ１ｅと、チャネル列４２２における吐出チャネルＣ２ｅとは、これら吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの延在方向（前述した斜め方向）に沿って、一直線上に配置されている（図４参照）。同様に、図２中のＶ−Ｖ線で示したように、チャネル列４２１におけるダミーチャネルＣ１ｄと、チャネル列４２２におけるダミーチャネルＣ２ｄとは、これらダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの延在方向（上記斜め方向）に沿って、一直線上に配置されている（図５参照）。

ここで、図３に示したように、上記した駆動壁Ｗｄにおける対向する内側面にはそれぞれ、上記した斜め方向に沿って延在する、駆動電極Ｅｄが設けられている。この駆動電極Ｅｄには、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに面する内側面に設けられた共通電極（コモン電極）Ｅｄｃと、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄに面する内側面に設けられた個別電極（アクティブ電極）Ｅｄａとが存在している。なお、このような駆動電極Ｅｄ（共通電極Ｅｄｃおよび個別電極Ｅｄａ）は、図３に示したように、駆動壁Ｗｄの内側面上において、深さ方向（Ｚ軸方向）の全体に亘って形成されている。

同一の吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）内で対向する一対の共通電極Ｅｄｃ同士は、互いに電気的に接続されている（図６参照）。また、同一のダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）内で対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士は、後述するように電極分割溝４６０（図５参照）によって、互いに電気的に分離されている。一方、吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）を介して対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士は、後述するカバープレート４１３に形成された個別端子（個別配線Ｗｄａ）において互いに電気的に接続されている（図７参照）。

ここで、前述した尾部４２０においては、駆動電極Ｅｄと前述した回路基板との間を電気的に接続するための、前述したフレキシブルプリント基板４４１，４４２（図４，図５参照）が実装されている。これらのフレキシブルプリント基板４４１，４４２に形成された配線パターン（不図示）は、後述するカバープレート４１３に形成された共通配線Ｗｄｃおよび個別配線Ｗｄａ（図７参照）に対して電気的に接続されている。これにより、これらのフレキシブルプリント基板４４１，４４２を介して、上記した回路基板上の駆動回路から各駆動電極Ｅｄに対して、駆動電圧が印加されるようになっている。

アクチュエータプレート４１２は、Ｘ軸方向に延在する溝部Ｓ０を有している（図６参照）。溝部Ｓ０は、吐出チャネルＣ１ｅと吐出チャネルＣ２ｅとの間と、ダミーチャネルＣ１ｄとダミーチャネルＣ２ｄとの間とに形成されている（図４〜図６参照）。

ヘッドチップ４１では、複数の吐出チャネルＣ１ｅ内の共通電極Ｅｄｃ同士が溝部Ｓ０付近（カバープレート４１３の底面上）や入口側共通インク室Ｒin１の側面において、互いに電気的に接続され、共通電極Ｅｄｃ２として引き出されている。この共通電極Ｅｄｃ２は、溝部Ｓ０付近から、入口側共通インク室Ｒin１内に引き出されている。

同様に、このヘッドチップ４１では、複数の吐出チャネルＣ２ｅ内の共通電極Ｅｄｃ同士が、上記した溝部Ｓ０付近（カバープレート４１３の底面上）や入口側共通インク室Ｒin２の側面において、互いに電気的に接続され、共通電極Ｅｄｃ２として引き出されている。この共通電極Ｅｄｃ２は、溝部Ｓ０付近から、入口側共通インク室Ｒin２内に引き出されている。

アクチュエータプレート４１２は、ノズルプレート４１１との接合面４７１と、カバープレート４１３との接合面４７２とを有している（図４，図５参照）。

ここで、Ｘ軸方向は、本開示における「第１の方向」の一具体例に対応している。また、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅとダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄとが延在する方向（前述した斜め方向）は、本開示における「第２の方向（第１の方向と交差する方向）」の一具体例に対応している。

吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅは、アクチュエータプレート４１２のノズルプレート４１１との接合面４７１において、部分的に開口し、開口４８１が形成されている（図４参照）。吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内において、開口４８１は、第２の方向の略中央に形成されている。アクチュエータプレート４１２のノズルプレート４１１との接合面４７１では、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの延在方向（第２の方向）において、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの一部が、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの底部によって遮蔽されているとともに、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの他の部分が、部分的に開口している。

ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄは、アクチュエータプレート４１２のノズルプレート４１１との接合面４７１において、部分的に開口し、開口４８２が形成されている（図５参照）。ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ内において、開口４８２は、第２の方向の略中央に形成されている。アクチュエータプレート４１２のノズルプレート４１１との接合面４７１では、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの延在方向（第２の方向）において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの一部が、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの底部によって遮蔽されているとともに、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの他の部分が、部分的に開口している。

なお、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅはそれぞれ、図４に示したように、カバープレート４１３側（上方）からノズルプレート４１１側（下方）へ向けて吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの断面積が徐々に小さくなる、円弧状の側面を有している。このような吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅにおける円弧状の側面はそれぞれ、例えば、ダイサーによる切削加工によって形成されるようになっている。

同様に、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄはそれぞれ、図５に示したように、カバープレート４１３側（上方）からノズルプレート４１１側（下方）へ向けてダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの断面積が徐々に小さくなる、円弧状の側面を有している。これにより、第２の方向において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ内の溝深さｈｄは、中央では深く、側面方向に行くに従い浅くなっている。このようなダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄにおける円弧状の側面はそれぞれ、例えば、ダイサーによる切削加工によって形成されるようになっている。

アクチュエータプレート４１２は、前述の第２の方向において、所定の端面として、第１の端面４５１と、第１の端面４５１とは逆側を向く（第１の端面４５１に対向する）第２の端面４５２とを有している。ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄは、前述の第２の方向におけるアクチュエータプレート４１２の所定の端面において閉じた構造とされている（図５参照）。電極分割溝４６０は、前述の第２の方向においてアクチュエータプレート４１２の所定の端面よりも内側に形成されている（図５参照）。

なお、アクチュエータプレート４１２において、駆動電極Ｅｄ（共通電極Ｅｄｃおよび個別電極Ｅｄａ）を形成する方法としては、例えばめっきによって形成する方法と蒸着によって形成する方法とスパッタリングによって形成する方法とがある。本実施の形態のインクジェットヘッド４では、前述したように、駆動電極Ｅｄが、図３に示したように、駆動壁Ｗｄの内側面上において、深さ方向（Ｚ軸方向）の全体に亘って形成されている。この場合、駆動電極Ｅｄは例えばめっきによって形成される。この場合、同一のダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）内で対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士が、チャネル内の底面側にまで延在し、一対の個別電極Ｅｄａ同士が、電気的に接続されるおそれがある。このため、同一のダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）内で対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士を、電極分割溝４６０（図５参照）等の加工により、チャネル内の底面側において、互いに電気的に分離する必要があり得る。電極分割溝４６０は、第２の方向に沿って延在している。電極分割溝４６０は、一対の個別電極Ｅｄａのそれぞれを、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄのそれぞれにおける一方の側面側と他方の側面側とに電気的に分離するように、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄのそれぞれの底面に形成されている。

一方、本実施の形態のインクジェットヘッド４に対する一変形例として、駆動壁Ｗｄの内側面上において、駆動電極Ｅｄを、深さ方向の中間位置までしか形成しない構成であってもよい。この場合、駆動電極Ｅｄは例えば斜め蒸着によって形成される。この場合、アクチュエータプレート４１２は、単一の圧電基板によって構成されたカンチレバータイプであってもよい。この場合、構造によっては、同一のダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）内で対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士が電気的に接続されずに済むことがあるため、追加工による電極分割は不要となる場合がある。このため、必ずしも、電極分割溝４６０は形成しなくてもよい。

（カバープレート４１３）
カバープレート４１３は、図２〜図５に示したように、アクチュエータプレート４１２における各チャネルＣ１，Ｃ２（各チャネル列４２１，４２２）を閉塞するように配置されている。具体的には、このカバープレート４１３は、アクチュエータプレート４１２の上面（接合面４７２）に接着されており、板状構造となっている。

カバープレート４１３には、図５に示したように、一対の入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２と、一対の出口側共通インク室Ｒout１，Ｒout２とが、それぞれ形成されている。これらの入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２および出口側共通インク室Ｒout１，Ｒout２はそれぞれ、Ｘ軸方向に沿って延在していると共に、所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。また、入口側共通インク室Ｒin１および出口側共通インク室Ｒout１はそれぞれ、アクチュエータプレート４１２におけるチャネル列４２１（複数のチャネルＣ１）に対応する領域に形成されている。一方、入口側共通インク室Ｒin２および出口側共通インク室Ｒout２はそれぞれ、アクチュエータプレート４１２におけるチャネル列４２２（複数のチャネルＣ２）に対応する領域に形成されている。

入口側共通インク室Ｒin１は、各チャネルＣ１におけるＹ軸方向に沿った内側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図５参照）。この入口側共通インク室Ｒin１において、各吐出チャネルＣ１ｅに対応する領域には、カバープレート４１３をその厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って貫通する、供給スリットＳin１が形成されている（図４参照）。同様に、入口側共通インク室Ｒin２は、各チャネルＣ２におけるＹ軸方向に沿った内側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図５参照）。この入口側共通インク室Ｒin２において、各吐出チャネルＣ２ｅに対応する領域にも、カバープレート４１３をその厚み方向に沿って貫通する、供給スリットＳin２が形成されている（図４参照）。

出口側共通インク室Ｒout１は、各チャネルＣ１におけるＹ軸方向に沿った外側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図５参照）。この出口側共通インク室Ｒout１において、各吐出チャネルＣ１ｅに対応する領域には、カバープレート４１３をその厚み方向に沿って貫通する、排出スリットＳout１が形成されている（図４参照）。同様に、出口側共通インク室Ｒout２は、各チャネルＣ２におけるＹ軸方向に沿った外側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図５参照）。この出口側共通インク室Ｒout２において、各吐出チャネルＣ２ｅに対応する領域にも、カバープレート４１３をその厚み方向に沿って貫通する、排出スリットＳout２が形成されている（図４参照）。

このようにして、入口側共通インク室Ｒin１および出口側共通インク室Ｒout１はそれぞれ、供給スリットＳin１および排出スリットＳout１を介して各吐出チャネルＣ１ｅに連通する一方、各ダミーチャネルＣ１ｄには連通していない（図４，図５参照）。すなわち、各ダミーチャネルＣ１ｄは、これら入口側共通インク室Ｒin１および出口側共通インク室Ｒout１における底部によって、閉塞されるようになっている（図５参照）。

同様に、入口側共通インク室Ｒin２および出口側共通インク室Ｒout２はそれぞれ、供給スリットＳin２および排出スリットＳout２を介して各吐出チャネルＣ２ｅに連通する一方、各ダミーチャネルＣ２ｄには連通していない（図４，図５参照）。すなわち、各ダミーチャネルＣ２ｄは、これら入口側共通インク室Ｒin２および出口側共通インク室Ｒout２における底部によって、閉塞されるようになっている（図５参照）。

（流路プレート４０）
流路プレート４０は、図３に示したように、カバープレート４１３の上面に配置されており、インク９が流れる所定の流路（不図示）を有している。また、このような流路プレート４０内の流路には、前述した循環機構５における流路５０ａ，５０ｂが接続されており、この流路に対するインク９の流入と、この流路からのインク９の流出とが、それぞれなされるようになっている。なお、上述したように、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄはカバープレート４１３の底部によって閉塞されるようになっているので、インク９は、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのみに供給され、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄには流入しない。

［吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ付近の流路構造］
次に、前述した図４（吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ付近の断面構成例）を参照して、前述した供給スリットＳin１，Ｓin２および排出スリットＳout１，Ｓout２と吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅとを連通する部分のインク９の流路構造について、詳細に説明する。

この図４に示したように、本実施の形態のヘッドチップ４１では、カバープレート４１３に、供給スリットＳin１，Ｓin２および排出スリットＳout１，Ｓout２と、壁部Ｗ１，Ｗ２とが設けられている。具体的には、供給スリットＳin１および排出スリットＳout１はそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅとの間でインク９が流れる貫通孔であり、供給スリットＳin２および排出スリットＳout２はそれぞれ、吐出チャネルＣ２ｅとの間でインク９が流れる貫通孔である。詳細には図４中の破線の矢印で示したように、供給スリットＳin１，Ｓin２はそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内にインク９を流入させるための貫通孔であり、排出スリットＳout１，Ｓout２はそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内からインク９を流出させるための貫通孔である。

また、上記した壁部Ｗ１は、吐出チャネルＣ１ｅの上方を覆うようにして、入口側共通インク室Ｒin１および出口側共通インク室Ｒout１の間に配置されている。同様に、上記した壁部Ｗ２は、吐出チャネルＣ２ｅの上方を覆うようにして、入口側共通インク室Ｒin２および出口側共通インク室Ｒout２の間に配置されている。

［個別配線Ｗｄａ、共通配線Ｗｄｃ、共通電極Ｅｄｃ２の構成］
次に、図４〜図８を参照して、カバープレート４１３側の配線（個別配線Ｗｄａ、共通配線Ｗｄｃ、共通電極Ｅｄｃ２）について説明する。

図４および図７に示したように、カバープレート４１３の底面における、アクチュエータプレート４１２の溝部Ｓ０の周囲に対応する領域には、アクチュエータプレート４１２側の、同一のチャネル列４２１（またはチャネル列４２２）にある複数の共通電極Ｅｄｃ同士を電気的に接続するための共通電極Ｅｄｃ２が、Ｘ軸方向に延在して形成されている。これにより、カバープレート４１３側において、複数の共通電極Ｅｄｃ同士がＸ軸方向で電気的に接続され、共通化される。

共通電極Ｅｄｃ２は、図４および図７に示したように、供給スリットＳin１，Ｓin２内にも形成されている。また、共通電極Ｅｄｃ２は、図５および図８に示したように、出口側共通インク室Ｒout１，Ｒout２内と、入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２内ととにも形成されている。

また、図７に示したように、カバープレート４１３の底面のＸ方向の両端部には、共通配線Ｗｄｃが形成されている。また、図７に示したように、カバープレート４１３の底面のＹ方向の両端部には、個別配線Ｗｄａが形成されている。なお、図７では、共通配線Ｗｄｃとして、Ｘ方向の１つの端部側の共通配線Ｗｄｃのみを図示している。共通配線Ｗｄｃは、２つのチャネル列４２１，４２２（図６参照）に対応するそれぞれの領域に形成されている。チャネル列４２１に対応する領域にある共通配線Ｗｄｃは、共通電極Ｅｄｃ２を介して、チャネル列４２１にある複数の共通電極Ｅｄｃとチャネル列４２１側のＦＰＣ４４１とを電気的に接続する。同様に、チャネル列４２２に対応する領域にある共通配線Ｗｄｃは、共通電極Ｅｄｃ２を介して、チャネル列４２２にある複数の共通電極Ｅｄｃとチャネル列４２２側のＦＰＣ４４２とを電気的に接続する。個別配線Ｗｄａは、吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）を介して対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士を、ＦＰＣ４４１（またはＦＰＣ４４２）に電気的に接続する。

［動作および作用・効果］
（Ａ．プリンタ１の基本動作）
このプリンタ１では、以下のようにして、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作（印刷動作）が行われる。なお、初期状態として、図１に示した４種類のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）にはそれぞれ、対応する色（４色）のインク９が十分に封入されているものとする。また、インクタンク３内のインク９は、循環機構５を介してインクジェットヘッド４内に充填された状態となっている。

このような初期状態において、プリンタ１を作動させると、搬送機構２ａ，２ｂにおけるグリッドローラ２１がそれぞれ回転することで、グリッドローラ２１とピンチローラ２２と間に、記録紙Ｐが搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送される。また、このような搬送動作と同時に、駆動機構６３における駆動モータ６３３が、プーリ６３１ａ，６３１ｂをそれぞれ回転させることで、無端ベルト６３２を動作させる。これにより、キャリッジ６２がガイドレール６１ａ，６１ｂにガイドされながら、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って往復移動する。そしてこの際に、各インクジェットヘッド４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）によって、４色のインク９を記録紙Ｐに適宜吐出させることで、この記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作がなされる。

（Ｂ．インクジェットヘッド４における詳細動作）
次いで、図１〜図５を参照して、インクジェットヘッド４における詳細動作（インク９の噴射動作）について説明する。すなわち、本実施の形態のインクジェットヘッド４（サイドシュートタイプ）では、以下のようにして、せん断（シェア）モードを用いたインク９の噴射動作が行われる。

まず、上記したキャリッジ６２（図１参照）の往復移動が開始されると、前述した回路基板上の駆動回路は、前述したフレキシブルプリント基板を介して、インクジェットヘッド４内の駆動電極Ｅｄ（共通電極Ｅｄｃおよび個別電極Ｅｄａ）に対し、駆動電圧を印加する。具体的には、この駆動回路は、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅを画成する一対の駆動壁Ｗｄに配置された各個別電極Ｅｄａに対し、駆動電圧を印加する。これにより、これら一対の駆動壁Ｗｄがそれぞれ、その吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに隣接するダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ側へ、突出するように変形する（図３参照）。

ここで、前述したように、アクチュエータプレート４１２では、分極方向が厚み方向に沿って異なっている（前述した２つの圧電基板が積層されている）と共に、駆動電極Ｅｄが、駆動壁Ｗｄにおける内側面上の深さ方向の全体に亘って形成されている。このため、上記した駆動回路によって駆動電圧を印加することで、駆動壁Ｗｄにおける深さ方向の中間位置を中心として、駆動壁ＷｄがＶ字状に屈曲変形することになる。そして、このような駆動壁Ｗｄの屈曲変形により、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅがあたかも膨らむように変形する。ちなみに、アクチュエータプレート４１２の構成が、このようなシェブロンタイプではなく、前述したカンチレバータイプである場合には、以下のようにして、駆動壁ＷｄがＶ字状に屈曲変形する。すなわち、このカンチレバータイプの場合、駆動電極Ｅｄが深さ方向の上半分まで斜め蒸着によって取り付けられることになるため、この駆動電極Ｅｄが形成されている部分のみに駆動力が及ぶことによって、駆動壁Ｗｄが（駆動電極Ｅｄの深さ方向端部において）屈曲変形する。その結果、この場合においても、駆動壁ＷｄがＶ字状に屈曲変形するため、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅがあたかも膨らむように変形することになる。

このように、一対の駆動壁Ｗｄでの圧電厚み滑り効果による屈曲変形によって、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が増大する。そして、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が増大することにより、入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２内に貯留されたインク９が、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へ誘導されることになる（図４参照）。

次いで、このようにして吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へ誘導されたインク９は、圧力波となって吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの内部に伝播する。そして、ノズルプレート４１１のノズル孔Ｈ１，Ｈ２にこの圧力波が到達したタイミングで、駆動電極Ｅｄに印加される駆動電圧が、０（ゼロ）Ｖとなる。これにより、上記した屈曲変形の状態から駆動壁Ｗｄが復元する結果、一旦増大した吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が、再び元に戻ることになる（図３参照）。

このようにして、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が元に戻ると、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内部の圧力が増加し、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内のインク９が加圧される。その結果、液滴状のインク９が、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２を通って外部へと（記録紙Ｐへ向けて）吐出される（図３，図４参照）。このようにしてインクジェットヘッド４におけるインク９の噴射動作（吐出動作）がなされ、その結果、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作が行われることになる。

特に、本実施の形態のノズル孔Ｈ１，Ｈ２はそれぞれ、前述したように、出口に向かうに従って漸次縮径するテーパ状の断面となっているため（図３，図４参照）、インク９を高速度で真っ直ぐに（直進性良く）吐出することができる。よって、高画質な記録を行うことが可能となる。

（Ｃ．インク９の循環動作）
続いて、図１，図４を参照して、循環機構５によるインク９の循環動作について、詳細に説明する。

図１に示したように、このプリンタ１では、送液ポンプ５２ａによって、インクタンク３内から流路５０ａ内へと、インク９が送液される。また、送液ポンプ５２ｂによって、流路５０ｂ内を流れるインク９が、インクタンク３内へと送液される。

この際に、インクジェットヘッド４内では、インクタンク３内から流路５０ａを介して流れるインク９が、入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２へと流入する。これらの入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２へと供給されたインク９は、図４に示したように、供給スリットＳin１，Ｓin２を介して、アクチュエータプレート４１２における各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へと供給される。

また、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内のインク９は、図４に示したように、排出スリットＳout１，Ｓout２を介して、各出口側共通インク室Ｒout１，Ｒout２内へと流入する。これらの出口側共通インク室Ｒout１，Ｒout２へ供給されたインク９は、流路５０ｂへと排出されることで、インクジェットヘッド４内から流出される。そして、流路５０ｂへと排出されたインク９は、インクタンク３内へと戻されることになる。このようにして、循環機構５によるインク９の循環動作がなされる。

ここで、循環式ではないインクジェットヘッドでは、乾燥性の高いインクを使用した場合、ノズル孔の近傍でのインクの乾燥に起因して、インクの局所的な高粘度化や固化が生じる結果、インク不吐出の不良が発生するおそれがある。これに対して、本実施の形態のインクジェットヘッド４（循環式のインクジェットヘッド）では、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の近傍に常に新鮮なインク９が供給されることから、上記したようなインク不吐出の不良が回避されることになる。

（Ｄ．作用・効果）
次に、本実施の形態のヘッドチップ４１、インクジェットヘッド４およびプリンタ１における作用および効果について、比較例と比較しつつ詳細に説明する。

（比較例）
図９は、比較例に係るヘッドチップ（ヘッドチップ１０４）の断面構成例を模式的に表したものであり、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ付近の断面構成例に対応している。この比較例のヘッドチップ１０４は、図５に示した本実施の形態のヘッドチップ４１におけるアクチュエータプレート４１２に代えて、アクチュエータプレート１０２を備えている。本実施の形態のヘッドチップ４１におけるアクチュエータプレート４１２では、図５に示したように、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄは、アクチュエータプレート４１２のノズルプレート４１１との接合面４７１において、部分的に開口し、開口４８２が形成されている。これに対して、比較例のヘッドチップ１０４におけるアクチュエータプレート１０２では、図９に示したように、ノズルプレート４１１との接合面４７１において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄが全体的に開口している。これにより、前述の第２の方向において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ内の溝深さｈｄは略一定となっている。また、ダミーチャネルＣ１ｄにおける開口は、前述の第２の方向において、第１の端面４５１にまで形成されている。また、ダミーチャネルＣ２ｄにおける開口は、前述の第２の方向において、第２の端面４５２にまで形成されている。これにより、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄは、第２の方向において、第１の端面４５１と第２の端面４５２との間で全体的に開口し、ノズルプレート４１１との接合面４７１において露出している。

このような比較例のヘッドチップ１０４では、ノズルプレート４１１との接合面４７１において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの露出が多くなっているためアクチュエータプレート１０２の強度が弱く、軽い衝撃に対しても、駆動壁Ｗｄ等が欠けたり折れたりしやすく、不良となってしまうおそれがある。これにより、製造上の歩留まりも悪くなる場合がある。また、比較例のヘッドチップ１０４では、アクチュエータプレート１０２において、フレキシブルプリント基板４４１，４４２を接続後に尾部４２０（図２参照）を封止する段階で接着剤がダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄに流れ込み、硬化収縮により駆動壁Ｗｄ等にクラックが入ったり、吐出時の駆動壁Ｗｄの動きに影響を与え、吐出特性が悪化してしまうおそれがある。つまり、この比較例のヘッドチップ１０４では、吐出安定性が損なわれるおそれがある。これらのことから、この比較例のヘッドチップ１０４では、信頼性が損なわれてしまう場合がある。

（本実施の形態）
これに対して本実施の形態のヘッドチップ４１では、図５に示したように、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄは、アクチュエータプレート４１２のノズルプレート４１１との接合面４７１において、全体的に開口しているわけではなく、部分的な開口４８２が形成された構造とされている。

このように、本実施の形態のヘッドチップ４１では、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの開口４８２を部分的な開口とすることにより、比較例のヘッドチップ１０４のようにダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄが全体的に開口する場合に比べて、ノズルプレート４１１面側へのダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの露出を減らすことができる。これにより、アクチュエータプレート４１２の強度を高くすることができ、製造上の歩留まり向上が可能となる。また、ノズルプレート４１１が金属である場合、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの個別電極Ｅｄａとノズルプレート４１１とのショートが起きる可能性があるが、そのようなショートを起き難くすることができる。よって、本実施の形態では上記比較例と比べ、ヘッドチップ４１、インクジェットヘッド４およびプリンタ１における吐出安定性を向上させることが可能となる。また、アクチュエータプレート４１２の強度を高くすることができるので、信頼性を向上させることが可能となる。

なお、このような効果は、駆動電極Ｅｄが蒸着等によって、駆動壁Ｗｄの内側面上において深さ方向の中間位置までしか形成されておらず、また、電極分割溝４６０が形成されていない構造である場合であっても同様である。

加えて、本実施の形態のヘッドチップ４１では、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄが、前述の第２の方向におけるアクチュエータプレート４１２の所定の端面（第１の端面４５１、第２の端面４５２）において閉じた構造とされている。また、電極分割溝４６０が、前述の第２の方向においてアクチュエータプレート４１２の所定の端面よりも内側に形成されている。

これにより、本実施の形態のヘッドチップ４１では、アクチュエータプレート４１２の所定の端面における支持強度を高くすることができる。加えて、アクチュエータプレート４１２の所定の端面付近において、駆動電極Ｅｄを封止するため、または他の部材を接着するための接着剤を塗布する工程において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ内への接着剤の流れ込みを防ぐことができる。これにより、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅとダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄとを画成する駆動壁Ｗｄの動きが接着剤によって阻害されることを防ぐことができる。よって、本実施の形態では上記比較例と比べ、ヘッドチップ４１、インクジェットヘッド４およびプリンタ１における吐出安定性をより向上させることが可能となる。また、アクチュエータプレート４１２の強度をより高くすることができ、信頼性をより向上させることが可能となる。

＜２．変形例＞
続いて、上記実施の形態の変形例（変形例１〜４）について説明する。なお、実施の形態における構成要素と同一のものには同一の符号を付し、適宜説明を省略する。

［変形例１］
図１０は、変形例１に係るヘッドチップ（ヘッドチップ４１Ａ）の断面構成例を模式的に表したものであり、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ付近の断面構成例に対応している。この変形例１のヘッドチップ４１Ａ（アクチュエータプレート４１２Ａ）は、図５に示した実施の形態のヘッドチップ４１（アクチュエータプレート４１２）において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ付近の構造を変更したものに対応しており、他の構成は基本的に同様となっている。

具体的には、実施の形態のヘッドチップ４１（図５）では、電極分割溝４６０が、前述の第２の方向においてアクチュエータプレート４１２の所定の端面（第１の端面４５１、第２の端面４５２）よりも内側に形成されている。これに対し、変形例１のヘッドチップ４１Ａ（図１０）では、電極分割溝４６０が、第２の方向においてアクチュエータプレート４１２Ａの所定の端面（第１の端面４５１、第２の端面４５２）まで延在し、露出している。

このような構成の変形例１のヘッドチップ４１Ａにおいても、基本的には実施の形態のヘッドチップ４１と同様の作用により、略同様の効果を得ることが可能である。

さらに、変形例１のヘッドチップ４１Ａでは、電極分割溝４６０がアクチュエータプレート４１２Ａの所定の端面まで延在し、所定の端面において露出していることで、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄにおける不純物（ゴミ）の詰まりを抑制することができる。不純物が導電性である場合、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ内において対向する個別電極Ｅｄａがショートするおそれがあるが、変形例１のヘッドチップ４１Ａでは、そのようなショートを抑制することができる。

［変形例２］
図１１は、変形例２に係るヘッドチップ（ヘッドチップ４１Ｂ）の断面構成例を模式的に表したものであり、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ付近の断面構成例に対応している。

この変形例２のヘッドチップ４１Ｂ（アクチュエータプレート４１２Ｂ）は、図５に示した実施の形態のヘッドチップ４１（アクチュエータプレート４１２）において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ付近の構造を変更したものに対応しており、他の構成は基本的に同様となっている。

具体的には、実施の形態のヘッドチップ４１（図５）では、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄが、前述の第２の方向におけるアクチュエータプレート４１２の所定の端面（第１の端面４５１、第２の端面４５２）において閉じた構造とされている。また、実施の形態のヘッドチップ４１（図５）では、電極分割溝４６０が、前述の第２の方向においてアクチュエータプレート４１２の所定の端面よりも内側に形成されている。これに対し、変形例２のヘッドチップ４１Ｂ（図１１）では、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄは、第２の方向におけるアクチュエータプレート４１２Ｂの所定の端面において部分的に開口している。また、変形例１のヘッドチップ４１Ａ（図１０）と同様に、電極分割溝４６０が、第２の方向においてアクチュエータプレート４１２Ａの所定の端面まで延在し、露出している。また、変形例２のヘッドチップ４１Ｂでは、アクチュエータプレート４１２Ｂのノズルプレート４１１との接合面４７１において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄにおけるそれぞれの開口４８２が、溝部Ｓ０にまで延在している。これにより、ダミーチャネルＣ１ｄとダミーチャネルＣ２ｄとの間（溝部Ｓ０付近）の領域が、全体的に連通し、全体的に遮蔽されていない構造となっている。

なお、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄが、第２の方向におけるアクチュエータプレート４１２Ｂの所定の端面において「部分的に開口している」とは、所定の端面において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄが、図５のように閉じた構造（遮蔽された構造）とはなっておらず、Ｚ方向において部分的に遮蔽されていない状態となっていることをいう。

このような構成の変形例２のヘッドチップ４１Ｂにおいても、基本的には実施の形態のヘッドチップ４１と同様の作用により、同様の効果を得ることが可能である。

さらに、変形例２のヘッドチップ４１Ｂでは、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄがアクチュエータプレート４１２Ｂの所定の端面において部分的に開口し、また、電極分割溝４６０が所定の端面において露出していることで、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄにおける不純物（ゴミ）の詰まりをより抑制することができる。不純物が導電性である場合、個別電極Ｅｄａがショートするおそれがあるが、変形例２のヘッドチップ４１Ｂでは、そのようなショートを抑制することができる。また、ダミーチャネルＣ１ｄとダミーチャネルＣ２ｄとの間（溝部Ｓ０付近）の領域が、全体的に遮蔽されていない構造となっているため、ダミーチャネルＣ１ｄとダミーチャネルＣ２ｄとの間におけるゴミの詰まりを抑制し、その間において個別電極Ｅｄａがショートすることを抑制することができる。

［変形例３］
図１２は、変形例３に係るヘッドチップ（ヘッドチップ４１Ｃ）の断面構成例を模式的に表したものであり、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ付近の断面構成例に対応している。

この変形例３のヘッドチップ４１Ｃ（アクチュエータプレート４１２Ｃ）は、図５に示した実施の形態のヘッドチップ４１（アクチュエータプレート４１２）において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ付近の構造を変更したものに対応しており、他の構成は基本的に同様となっている。

具体的には、実施の形態のヘッドチップ４１（図５）では、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄが、前述の第２の方向におけるアクチュエータプレート４１２の所定の端面（第１の端面４５１、第２の端面４５２）において閉じた構造とされている。また、実施の形態のヘッドチップ４１（図５）では、電極分割溝４６０が、前述の第２の方向においてアクチュエータプレート４１２の所定の端面よりも内側に形成されている。これに対し、変形例３のヘッドチップ４１Ｃ（図１２）では、変形例２のヘッドチップ４１Ｂ（図１１）と同様に、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄは、第２の方向におけるアクチュエータプレート４１２Ｂの所定の端面において部分的に開口している。また、変形例３のヘッドチップ４１Ｃでは、電極分割溝４６０が、アクチュエータプレート４１２Ｃのノズルプレート４１１との接合面４７１において、第１の端面４５１から第２の端面４５２に亘って全体的に露出するように形成されている。また、変形例３のヘッドチップ４１Ｃでは、アクチュエータプレート４１２Ｃのノズルプレート４１１との接合面４７１において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄにおけるそれぞれの開口４８２が、溝部Ｓ０にまで延在している。

このような構成の変形例３のヘッドチップ４１Ｃにおいても、基本的には実施の形態のヘッドチップ４１と同様の作用により、同様の効果を得ることが可能である。

さらに、変形例３のヘッドチップ４１Ｃでは、電極分割溝４６０がアクチュエータプレート４１２Ｃの第１の端面４５１から第２の端面４５２に亘ってノズルプレート４１１面側に全体的に露出するように形成されていることで、変形例２のヘッドチップ４１Ｂに比べてさらに、不純物によるショートの発生を抑制することができる。また、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ内の構造物が最低限しかないので、変形例２のヘッドチップ４１Ｂに比べてさらに、吐出動作時における駆動壁Ｗｄの動きへの悪影響を抑制し、吐出特性を安定化することができる。

［変形例４］
図１３は、変形例４に係るヘッドチップ（ヘッドチップ４１Ｄ）の断面構成例を模式的に表したものであり、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ付近の断面構成例に対応している。この変形例４のヘッドチップ４１Ｄ（アクチュエータプレート４１２Ｄ）は、図５に示した実施の形態のヘッドチップ４１（アクチュエータプレート４１２）において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ付近の構造を変更したものに対応しており、他の構成は基本的に同様となっている。

具体的には、実施の形態のヘッドチップ４１（図５）では、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄが、前述の第２の方向におけるアクチュエータプレート４１２の所定の端面（第１の端面４５１、第２の端面４５２）において閉じた構造とされている。また、実施の形態のヘッドチップ４１（図５）では、電極分割溝４６０が、前述の第２の方向においてアクチュエータプレート４１２の所定の端面よりも内側に形成されている。これに対し、変形例４のヘッドチップ４１Ｄ（図１３）では、変形例２のヘッドチップ４１Ｂ（図１１）と同様に、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄは、第２の方向におけるアクチュエータプレート４１２Ｂの所定の端面において部分的に開口している。変形例４のヘッドチップ４１Ｄでは、変形例２のヘッドチップ４１Ｂと同様に、電極分割溝４６０が、第２の方向においてアクチュエータプレート４１２Ａの所定の端面まで延在し、露出している。また、ダミーチャネルＣ１ｄとダミーチャネルＣ２ｄとの間（溝部Ｓ０付近）の領域が、部分的に連通し、部分的に遮蔽されていない構造となっている。

このような構成の変形例４のヘッドチップ４１Ｄにおいても、基本的には実施の形態のヘッドチップ４１と同様の作用により、同様の効果を得ることが可能である。

さらに、変形例４のヘッドチップ４１Ｄでは、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄがアクチュエータプレート４１２Ｂの所定の端面において部分的に開口し、また、電極分割溝４６０が所定の端面において露出していることで、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄにおける不純物（ゴミ）の詰まりをより抑制することができる。不純物が導電性である場合、個別電極Ｅｄａがショートするおそれがあるが、変形例４のヘッドチップ４１Ｄでは、そのようなショートを抑制することができる。また、ダミーチャネルＣ１ｄとダミーチャネルＣ２ｄとの間（溝部Ｓ０付近）の領域が、部分的に遮蔽されていない構造となっているため、ダミーチャネルＣ１ｄとダミーチャネルＣ２ｄとの間におけるゴミの詰まりを抑制し、その間において個別電極Ｅｄａがショートすることを抑制することができる。

＜３．その他の変形例＞
以上、実施の形態および変形例をいくつか挙げて本開示を説明したが、本開示はこれらの実施の形態等に限定されず、種々の変形が可能である。

例えば、上記実施の形態等では、プリンタ、インクジェットヘッドおよびヘッドチップにおける各部材の構成例（形状、配置、個数等）を具体的に挙げて説明したが、上記実施の形態等で説明したものには限られず、他の形状や配置、個数等であってもよい。また、上記実施の形態等で説明した各種パラメータの値や範囲、大小関係等についても、上記実施の形態等で説明したものには限られず、他の値や範囲、大小関係等であってもよい。

具体的には、例えば、上記実施の形態等では、２列タイプの（２列のノズル列Ａｎ１，Ａｎ２を有する）インクジェットヘッド４を挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば、１列タイプ（１列のノズル列を有する）のインクジェットヘッドや、３列以上（例えば３列や４列など）の複数例タイプ（３列以上のノズル列を有する）インクジェットヘッドであってもよい。

また、例えば、上記実施の形態等では、各吐出チャネル（吐出溝）および各ダミーチャネル（非吐出溝）がそれぞれ、アクチュエータプレート４１２内で斜め方向に沿って延在している場合について説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば、各吐出チャネルおよび各ダミーチャネルがそれぞれ、アクチュエータプレート４１２内でＹ軸方向に沿って延在するようにしてもよい。

さらに、例えば、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の断面形状については、上記実施の形態等で説明したような円形状には限られず、例えば、楕円形状や、三角形状等の多角形状、星型形状などであってもよい。

また、上記実施の形態等では、主に、インクタンクとインクジェットヘッドとの間でインク９を循環させて利用する、循環式のインクジェットヘッドを例に挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、インク９を循環させずに利用する、非循環式のインクジェットヘッドにおいて、本開示を適用するようにしてもよい。

さらに、上記実施の形態等で説明した一連の処理は、ハードウェア（回路）で行われるようにしてもよいし、ソフトウェア（プログラム）で行われるようにしてもよい。ソフトウェアで行われるようにした場合、そのソフトウェアは、各機能をコンピュータにより実行させるためのプログラム群で構成される。各プログラムは、例えば、上記コンピュータに予め組み込まれて用いられてもよいし、ネットワークや記録媒体から上記コンピュータにインストールして用いられてもよい。

加えて、上記実施の形態等では、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例として、プリンタ１（インクジェットプリンタ）を挙げて説明したが、この例には限られず、インクジェットプリンタ以外の他の装置にも、本開示を適用することが可能である。換言すると、本開示の「ヘッドチップ」および「液体噴射ヘッド」（インクジェットヘッド）を、インクジェットプリンタ以外の他の装置に適用するようにしてもよい。具体的には、例えば、ファクシミリやオンデマンド印刷機などの装置に、本開示の「ヘッドチップ」および「液体噴射ヘッド」を適用するようにしてもよい。

加えて、これまでに説明した各種の例を、任意の組み合わせで適用させるようにしてもよい。

なお、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。

また、本開示は、以下のような構成を取ることも可能である。
（１）
液体を噴射するヘッドチップであって、
第１の方向に沿って交互に並設され、かつ前記第１の方向に交差する第２の方向に延在する複数の吐出溝および複数の非吐出溝を有するアクチュエータプレートと、
前記複数の吐出溝に個別に連通する複数のノズル孔を有し、前記アクチュエータプレートに接合されるノズルプレートと
を備え、
前記非吐出溝は、前記アクチュエータプレートの前記ノズルプレートとの接合面において、部分的に開口している
ヘッドチップ。
（２）
前記非吐出溝は、前記第２の方向における前記アクチュエータプレートの所定の端面において閉じた構造とされている
上記（１）に記載のヘッドチップ。
（３）
前記アクチュエータプレートは、
前記複数の非吐出溝のそれぞれの内面に形成された複数の個別電極と、
前記複数の個別電極のそれぞれを、前記複数の非吐出溝のそれぞれにおける一方の側面側と他方の側面側とに電気的に分離するように、前記複数の非吐出溝のそれぞれの底面に形成された、前記第２の方向に沿って延びる電極分割溝と
をさらに有し、
前記電極分割溝は、前記第２の方向において前記アクチュエータプレートの所定の端面よりも内側に形成されている
上記（１）または（２）に記載のヘッドチップ。
（４）
前記アクチュエータプレートは、
前記複数の非吐出溝のそれぞれの内面に形成された複数の個別電極と、
前記複数の個別電極のそれぞれを、前記複数の非吐出溝のそれぞれにおける一方の側面側と他方の側面側とに電気的に分離するように、前記複数の非吐出溝のそれぞれの底面に形成された、前記第２の方向に沿って延びる電極分割溝と
をさらに有し、
前記電極分割溝は、前記第２の方向において前記アクチュエータプレートの所定の端面まで延在している
上記（１）または（２）に記載のヘッドチップ。
（５）
前記アクチュエータプレートは、前記第２の方向において、前記所定の端面として、第１の端面と、前記第１の端面とは逆側を向く第２の端面とを有し、
前記電極分割溝は、前記アクチュエータプレートの前記ノズルプレートとの接合面において、前記第１の端面から前記第２の端面に亘って露出するように形成されている
上記（４）に記載のヘッドチップ。
（６）
前記非吐出溝は、前記第２の方向における前記アクチュエータプレートの所定の端面において部分的に開口している
上記（１）、（４）および（５）のいずれか１つに記載のヘッドチップ。
（７）
上記（１）ないし（６）のいずれか１つに記載のヘッドチップを備えた
液体噴射ヘッド。
（８）
請求項（７）に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体を収容する収容部と
を備えた液体噴射記録装置。

１…プリンタ、１０…筺体、２ａ，２ｂ…搬送機構、２１…グリッドローラ、２２…ピンチローラ、３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）…インクタンク、４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）…インクジェットヘッド、４０…流路プレート、４１…ヘッドチップ、４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃ，４１Ｄ…ヘッドチップ、１０２…アクチュエータプレート、１０４…ヘッドチップ、４１１…ノズルプレート、４１２…アクチュエータプレート、４１２Ａ，４１２Ｂ，４１２Ｃ，４１２Ｄ…アクチュエータプレート、４１３…カバープレート、４２０…尾部、４２１，４２２…チャネル列、４４１，４４２…フレキシブルプリント基板、４５１…第１の端面、４５２…第２の端面、４６０…電極分割溝、４７１…接合面、４７２…接合面、４８１…開口、４８２…開口、５…循環機構、５０…循環流路、５０ａ，５０ｂ…流路（供給チューブ）、５２ａ，５２ｂ…送液ポンプ、６…走査機構、６１ａ，６１ｂ…ガイドレール、６２…キャリッジ、６３…駆動機構、６３１ａ，６３１ｂ…プーリ、６３２…無端ベルト、６３３…駆動モータ、９…インク、Ｐ…記録紙、ｄ…搬送方向、Ｈ１，Ｈ２…ノズル孔、Ａｎ１，Ａｎ２…ノズル列、Ｃ１，Ｃ２…チャネル、Ｃ１ｅ，Ｃ２ｅ…吐出チャネル（吐出溝）、Ｃ１ｄ，Ｃ２ｄ…ダミーチャネル（非吐出溝）、Ｗｄ…駆動壁、Ｅｄ…駆動電極、Ｅｄｃ…共通電極（コモン電極）、Ｅｄｃ２…共通電極（コモン電極）、Ｅｄａ…個別電極（アクティブ電極）、Ｗｄａ…個別配線、Ｗｄｃ…共通配線、Ｒin１，Ｒin２…入口側共通インク室、Ｒout１，Ｒout２…出口側共通インク室、Ｓin１，Ｓin２…供給スリット、Ｓout１，Ｓout２…排出スリット、Ｗ１，Ｗ２…壁部、ｈｄ…溝深さ、Ｓ０…溝部。

Claims (4)

1. 液体を噴射するヘッドチップであって、
   第１の方向に沿って交互に並設され、かつ前記第１の方向に交差する第２の方向に延在する複数の吐出溝および複数の非吐出溝を有するアクチュエータプレートと、
   前記複数の吐出溝に個別に連通する複数のノズル孔を有し、前記アクチュエータプレートに接合されるノズルプレートと
   を備え、
   前記非吐出溝は、前記アクチュエータプレートの前記ノズルプレートとの接合面において部分的に開口していると共に、前記第２の方向における前記アクチュエータプレートの所定の端面において閉じた構造とされており、
   前記アクチュエータプレートは、
   前記複数の非吐出溝のそれぞれの内面に形成された複数の個別電極と、
   前記複数の個別電極のそれぞれを、前記複数の非吐出溝のそれぞれにおける一方の側面側と他方の側面側とに電気的に分離するように、前記複数の非吐出溝のそれぞれの底面に形成された、前記第２の方向に沿って延びる電極分割溝と
   をさらに有し、
   前記電極分割溝は、前記第２の方向において前記アクチュエータプレートの前記所定の端面まで延在していると共に、前記所定の端面において部分的に開口している
   ヘッドチップ。
2. 前記アクチュエータプレートは、前記第２の方向において、前記所定の端面として、第１の端面と、前記第１の端面とは逆側を向く第２の端面とを有し、
   前記電極分割溝は、前記アクチュエータプレートの前記ノズルプレートとの接合面において、前記第１の端面から前記第２の端面に亘って露出するように形成されている
   請求項１に記載のヘッドチップ。
3. 請求項１または請求項２に記載のヘッドチップを備えた
   液体噴射ヘッド。
4. 請求項３に記載の液体噴射ヘッドと、
   前記液体を収容する収容部と
   を備えた液体噴射記録装置。

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