JP2016022598A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】アクチュエータプレートに発生したクラックの進行を抑制して、歩留まりの高い液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】アクチュエータプレート５２のうち、吐出領域Ｔ１に対してＸ方向の外側に位置する非吐出領域Ｔ２であって、少なくともＸ方向から見て尾部７０と重なり合う部分には、アクチュエータプレート５２におけるＸ方向の外側端部で発生したクラックの進行を阻止するストッパ部８０が形成されていることを特徴とする。【選択図】図４

Description

本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。

従来、記録紙（被記録媒体）に液滴状のインクを吐出して、記録紙に画像や文字を記録する装置として、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）を備えたインクジェットプリンタ（液体噴射装置）がある。

上述したインクジェットヘッドは、複数のノズル孔からなるノズル列を有するノズルプレートと、ノズル孔に連通する複数のチャネルを有するアクチュエータプレートと、を有している（例えば、下記特許文献１参照）。アクチュエータプレートのうち、チャネルを画成する駆動壁には、駆動電極が形成されている。駆動電極は、アクチュエータプレートのうち、チャネルの延在方向におけるチャネルよりも外側に位置する部分（尾部）に形成された電極端子に電気的に接続されている。そして、電極端子には、フレキシブルプリント基板等の外部配線が接続される。
この構成によれば、フレキシブルプリント基板及び電極端子を介して駆動電極に電圧を印加すると、駆動壁が変形することで、チャネル内の圧力が高まり、チャネル内に収容されたインクがノズル孔を通して吐出されるようになっている。

特開２０１２−５６１２１号公報

ところで、上述したアクチュエータプレートには、製造時等において、アクチュエータプレートと、その周辺部材等と、の熱膨張差に起因して発生する圧縮応力や、外部衝撃に伴いアクチュエータプレートに作用する圧縮応力等によってクラックが発生するおそれがある。そして、このクラックがアクチュエータプレートの面内を進行し、例えば電極端子まで到達すると、電極端子が断線や剥離等して、導通不良に繋がるという課題がある。なお、上述したクラックは、アクチュエータプレートのうち、各角部や、チャネルの並設方向における両端面等から特に発生し易い。

本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、アクチュエータプレートに発生したクラックの進行を抑制して、歩留まりの高い液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することである。

本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を提供する。
本発明に係る液体噴射ヘッドは、第１方向に沿って延びるチャネルが、前記第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて複数並設されてなる噴射領域を有するアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに積層されるとともに、前記チャネルに各別に連通する複数の噴射孔を有する噴射孔プレートと、前記アクチュエータプレートのうち、前記チャネルを画成する駆動壁に形成された駆動電極と、前記駆動電極に接続されるとともに、前記アクチュエータプレートのうち、前記チャネルに対して前記第１方向の外側に位置する尾部に引き出され、外部配線に接続される電極端子と、を備え、前記アクチュエータプレートのうち、前記噴射領域に対して前記第２方向の外側に位置する非噴射領域であって、少なくとも前記第２方向から見て前記尾部と重なり合う部分には、前記アクチュエータプレートにおける前記第２方向の外側端部で発生したクラックの進行を阻止するストッパ部が形成されていることを特徴としている。

この構成によれば、アクチュエータプレートの非噴射領域において、第２方向から見て尾部と重なり合う位置にストッパ部が形成されているため、アクチュエータプレートにおける第２方向の端部に発生したクラックが、仮に尾部に向かって第１方向に進行した場合に、ストッパ部によりクラックの進行を阻止することができる。これにより、クラックが噴射領域の尾部に形成された電極端子に到達するのを抑制できるので、電極端子の断線等を抑制できる。その結果、駆動電極の導通不良を抑制して、歩留まりを向上させることができる。

また、前記ストッパ部は、前記非噴射領域において前記第２方向から見て前記チャネルと重なり合う部分に形成されていてもよい。
この場合、第２方向から見てチャネルと重なり合う部分にストッパ部が形成されているため、クラックがチャネルに向かって第１方向に進行した場合に、ストッパ部によりクラックの進行を阻止することができる。これにより、クラックがチャネルに到達するのを抑制できるので、チャネル内に充填される液体が漏れるのを抑制できる。

また、前記ストッパ部は、前記第１方向に沿って延在する溝であってもよい。
この場合、ストッパ部が第１方向に沿って延在する溝であるため、第２方向から見て噴射領域と非噴射領域との間を広範囲に亘って遮ることができる。これにより、噴射領域にクラックが到達するのを確実に抑制できる。

また、前記ストッパ部は、前記第２方向に間隔をあけて複数並設され、複数の前記ストッパ部のうち、少なくとも何れかの前記ストッパ部同士は、前記第２方向から見て一部が重なり合っていてもよい。
この場合、アクチュエータプレートのうち、各ストッパ部における第１方向の長さの増大を抑えた上で、非噴射領域を第２方向に投影した際、第１方向の広範囲に亘って噴射領域及び非噴射領域間をストッパ部により遮ることができる。これにより、アクチュエータプレートの強度を確保した上で、クラックがストッパ部以外の部分を通過して噴射領域（尾部等）に到達するのを抑制できる。

また、前記アクチュエータプレートの前記非噴射領域には、前記第２方向の内側に向けて窪む凹部が形成されていてもよい。
この場合、外部衝撃等によるクラックの発生箇所を凹部以外の部分に限定することができるので、クラックの発生自体を抑制できる。この場合、アクチュエータプレートのうち、第２方向から見て凹部以外の部分と重なり合う位置にストッパ部を配置することで、凹部以外の部分で発生したクラックが噴射領域（尾部等）に到達するのを抑制できる。

また、前記チャネルは、前記第１方向における中央部で前記噴射孔に連通していてもよい。
この場合、噴射孔がチャネルの第１方向における中央部で連通する、いわゆるサイドシュートタイプの液体噴射ヘッドに本発明の構成を採用した場合であっても、クラックが噴射領域（尾部等）に到達するのを抑制し、歩留まりを向上させることができる。

本発明に係る液体噴射装置は、上記本発明に係る液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、を備えていることを特徴としている。
この構成によれば、上記本発明に係る液体噴射ヘッドを備えているため、歩留まりを向上させることができるとともに、信頼性の高い液体噴射装置を提供できる。

本発明によれば、アクチュエータプレートに発生したクラックの進行を抑制して、歩留まりの高い液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供できる。

インクジェットプリンタの概略構成図である。 インクジェットヘッド及びインク循環手段の概略構成図である。 インクジェットヘッドの分解斜視図である。 ノズルプレートを取り外した状態におけるインクジェットヘッドの底面図である。 図４のＶ−Ｖ線に相当する断面図である。 図４のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図である。 図４に相当する底面図であって、クラック発生時の作用を説明するための説明図である。 第１実施形態の変形例における図４に相当するインクジェットヘッドの底面図である。 第１実施形態の変形例における図４に相当するインクジェットヘッドの底面図である。 第１実施形態の変形例における図４に相当するインクジェットヘッドの底面図である。 第１実施形態の変形例における図４に相当するインクジェットヘッドの底面図である。 第１実施形態の変形例における図４に相当するインクジェットヘッドの底面図である。 第１実施形態の変形例における図４に相当するインクジェットヘッドの底面図である。 第２実施形態における図４に相当するインクジェットヘッドの底面図である。 第２実施形態における図４に相当するインクジェットヘッドの底面図である。

以下、本発明に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下の実施形態では、本発明の液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置の一例として、インク（液体）を利用して記録紙に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

（第１実施形態）
［プリンタ］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ１は、紙等の記録紙（被記録媒体）Ｐを搬送する一対の搬送手段２，３と、インクが収容されたインクタンク４と、記録紙Ｐに液滴状のインクを吐出するインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間でインクを循環させるインク循環手段６と、インクジェットヘッド５を記録紙Ｐの搬送方向（以下、Ｘ方向とする）と直交する方向（記録紙Ｐの幅方向、以下、Ｙ方向とする）に走査させる走査手段（移動機構）７と、を備えている。なお、図中Ｚ方向はＸ方向及びＹ方向と直交する高さ方向を示す。

搬送手段２は、Ｙ方向に延設されたグリッドローラ１１と、グリッドローラ１１に平行に延設されたピンチローラ１２と、グリッドローラ１１を軸回転させるモータ等の駆動機構（不図示）と、を備えている。同様に、搬送手段３は、Ｙ方向に延設されたグリッドローラ１３と、グリッドローラ１３に平行に延設されたピンチローラ１４と、グリッドローラ１３を軸回転させる駆動機構（不図示）と、を備えている。

インクタンク４は、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクのインクタンク４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４ＢがＸ方向に並んで設けられている。

図２はインクジェットヘッド５及びインク循環手段６の概略構成図である。
図１、図２に示すように、インク循環手段６は、インクジェットヘッド５にインクを供給するインク供給管２１、及びインクジェットヘッド５からインクを排出するインク排出管２２を有する循環流路２３と、インク供給管２１に接続された加圧ポンプ２４と、インク排出管２２に接続された吸引ポンプ２５と、を備えている。なお、インク供給管２１及びインク排出管２２は、インクジェットヘッド５を支持する走査手段７の動作に対応可能な可撓性を有するフレキシブルホースからなる。

加圧ポンプ２４は、インク供給管２１内を加圧し、インク供給管２１を介してインクジェットヘッド５の後述する入口側共通インク室７７ａ，７８ａ（図３参照）にインクを送り出している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク供給管２１側は正圧となっている。
吸引ポンプ２５は、インク排出管２２内を減圧し、インクジェットヘッド５の後述する出口側共通インク室７７ｂ，７８ｂ（図３参照）からインクを吸引している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク排出管２２側は負圧となっている。そして、インクは、加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５の駆動により、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間を、循環流路２３を介して循環可能となっている。

図１に示すように、走査手段７は、Ｙ方向に延設された一対のガイドレール３１，３２と、一対のガイドレール３１，３２に移動可能に支持されたキャリッジ３３と、キャリッジ３３をＹ方向に移動させる駆動機構３４と、を備えている。駆動機構３４は、一対のガイドレール３１，３２の間に配設された一対のプーリ３５，３６と、一対のプーリ３５，３６間に巻回された無端ベルト３７と、一方のプーリ３５を回転駆動させる駆動モータ３８と、を備えている。

一対のプーリ３５，３６は、一対のガイドレール３１，３２の両端部間にそれぞれ配設される。無端ベルト３７は、一対のガイドレール３１，３２間に配設され、この無端ベルト３７にキャリッジ３３が連結される。キャリッジ３３には、複数のインクジェットヘッド５として、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクのインクジェットヘッド５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５ＢがＹ方向に並んで搭載される。なお、上述した搬送手段２，３及び走査手段７により、インクジェットヘッド５と記録紙Ｐとを相対的に移動させる移動機構を構成している。

＜インクジェットヘッド＞
次に、上述したインクジェットヘッド５について詳述する。なお、インクジェットヘッド５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５Ｂは、供給されるインクの色以外は何れも同一の構成からなるため、以下の説明では、まとめてインクジェットヘッド５として説明する。
図３はインクジェットヘッド５の分解斜視図、図４はノズルプレート５１を取り外した状態におけるインクジェットヘッド５の底面図である。
図３、図４に示すように、各インクジェットヘッド５は、後述するチャネル６１，６２における延在方向（Ｙ方向（第１方向））の中央部からインクを吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのうち、インクタンク４との間でインクを循環させる循環式のインクジェットヘッド５である。また、本実施形態のインクジェットヘッド５は、複数のノズル孔（噴射孔）８１，８２からなるノズル列（噴射孔列）８３，８４が二列に亘って形成された二列タイプのインクジェットヘッド５である。

インクジェットヘッド５は、ノズルプレート（噴射孔プレート）５１、アクチュエータプレート５２、及びカバープレート５３を主に備えている。そして、インクジェットヘッド５は、これらノズルプレート５１、アクチュエータプレート５２、及びカバープレート５３がこの順で接着剤等によりＺ方向に積層された構成とされている。なお、以下の説明では、上述したＺ方向のうち、カバープレート５３側を上方、ノズルプレート５１側を下方として説明する。

＜アクチュエータプレート＞
図５は図４のＶ−Ｖ線に相当する断面図、図６は図４のＶＩ−ＶＩ線に相当する断面図である。
図５、図６に示すように、アクチュエータプレート５２は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されたプレートであり、その分極方向が厚さ方向（Ｚ方向）に沿って一方向に設定されている。このアクチュエータプレート５２には、Ｘ方向に間隔をあけて並設された複数のチャネル（第１チャネル６１及び第２チャネル６２）からなるチャネル列（第１チャネル列６３及び第２チャネル列６４）が２列配設されている。なお、以下の説明では、主に第１チャネル列６３（第１チャネル６１）について説明し、第２チャネル列６４における第１チャネル列６３と対応する箇所には同一の符号を付して説明を省略する。また、アクチュエータプレート５２のうち、Ｘ方向の中央部（チャネル列６３，６４が形成された領域）は吐出領域（噴射領域）Ｔ１を構成し、Ｘ方向の両端部（吐出領域Ｔ１に対してＸ方向の外側に位置し、チャネル列６３，６４が形成されていない領域）は非吐出領域（非噴射領域）Ｔ２を構成している。

第１チャネル列６３は、Ｙ方向に沿って延在する複数の第１チャネル６１を有し、これら第１チャネル６１がＸ方向に間隔をあけて互いに平行に並んで構成されている。すなわち、各第１チャネル６１は、圧電体（アクチュエータプレート５２）からなる駆動壁６５によってそれぞれ画成された断面視凹形状の溝である。
各第１チャネル６１は、アクチュエータプレート５２の上面側から、ダイシングブレード等による切削によって、Ｙ方向に直線状、かつＸ方向に等間隔に形成される。具体的に、各第１チャネル６１は、Ｙ方向両端部に位置して、上述したダイシングブレードの外周形状に倣った曲率半径を有する円弧部６６と、各円弧部６６間に位置する中間部６７と、を有している。なお、アクチュエータプレート５２において、中間部６７に位置する部分は、厚さ方向（Ｚ方向）に貫通している。

第１チャネル列６３は、各第１チャネル６１のうち、インクを吐出させる吐出チャネル（チャネル）７１と、インクを吐出させないダミーチャネル７２と、がＸ方向で交互に並んで構成されている。また、図３に示すように、アクチュエータプレート５２のうち、ダミーチャネル７２に対応する部分には、ダミーチャネル７２のＹ方向の外側端部に連通する浅溝部７３が形成されている。なお、アクチュエータプレート５２におけるＹ方向の両端部（具体的には、第１チャネル６１の開口縁のうち、Ｙ方向の外側に位置する部分からアクチュエータプレート５２におけるＹ方向の一端面に至る部分、及び第２チャネル６２の開口縁のうち、Ｙ方向の外側に位置する部分からアクチュエータプレート５２におけるＹ方向の他端面に至る部分）は、それぞれ尾部７０を構成している。

アクチュエータプレート５２の駆動壁６５のうち、対向する内側面には、それぞれＹ方向に亘って延びる駆動電極７４が形成されている。これら駆動電極７４は、駆動壁６５におけるＺ方向の上半部に形成されている。
具体的に、駆動電極７４は、駆動壁６５の内側面のうち、吐出チャネル７１に面する内側面に形成されたコモン電極７４ａと、ダミーチャネル７２に面する内側面に形成されたアクティブ電極７４ｂと、を有している。

同一の吐出チャネル７１内に形成された一対のコモン電極７４ａ同士は、コモン端子（図３参照）により互いに電気的に接続されている。コモン端子７４ｃは、アクチュエータプレート５２の尾部７０上のうち、吐出チャネル７１におけるＹ方向の外側に位置する部分に引き出されている。
また、同一のダミーチャネル７２内で対向するアクティブ電極７４ｂ同士は互いに電気的に分離されている。一方、吐出チャネル７１を介して対向するアクティブ電極７４ｂ同士は、アクティブ端子７４ｄ（図３参照）により互いに電気的に接続されている。アクティブ端子７４ｄは、アクチュエータプレート５２の尾部７０上のうち、コモン端子７４ｃよりもＹ方向の外側に位置する部分で、アクティブ電極７４ｂ間を架け渡している。

上述した尾部７０には、図示しない制御手段と駆動電極７４との間を接続するフレキシブルプリント基板７５が実装されている。そして、フレキシブルプリント基板７５に形成された図示しない配線パターンが、上述したコモン端子７４ｃ及びアクティブ端子７４ｄにそれぞれ電気的に接続されている。これにより、フレキシブルプリント基板７５を介して制御手段から各駆動電極７４に駆動電圧が印加される。

第２チャネル列６４は、第１チャネル列６３に対してＹ方向に間隔をあけて配設されている。具体的に、第２チャネル列６４は、上述した第１チャネル６１と同ピッチでＸ方向に間隔をあけて配設された複数の第２チャネル６２を有し、これら第２チャネル６２の配列方向が第１チャネル６１の配列方向と平行に並んでいる。
第２チャネル６２の吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２は、第１チャネル６１の吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２に対して互い違いに並んでいる。したがって、本実施形態のインクジェットヘッド５では、第１チャネル６１の吐出チャネル７１と、第２チャネル６２の吐出チャネル７１と、が千鳥状に配置されている。

＜ノズルプレート＞
ノズルプレート５１は、厚みが５０μｍ程度のポリイミド等のフィルム材からなり、アクチュエータプレート５２の下面に接着されている。ノズルプレート５１には、Ｘ方向に間隔をあけて並設された複数のノズル孔（第１ノズル孔８１及び第２ノズル孔８２）からなるノズル列（第１ノズル列８３及び第２ノズル列８４）が２列配設されている。

第１ノズル列８３は、ノズルプレート５１をＺ方向に貫通する複数の第１ノズル孔８１を有し、これらノズル孔８１がＸ方向に間隔をあけて一直線上に並んで構成されている。これら第１ノズル孔８１は、上述した第１チャネル６１の吐出チャネル７１内に連通している。具体的に、第１ノズル孔８１は、第１チャネル６１の吐出チャネル７１において、Ｙ方向の中央部に位置するように形成され、吐出チャネル７１と同ピッチで形成されている。

第２ノズル列８４は、ノズルプレート５１をＺ方向に貫通する複数の第２ノズル孔８２を有し、上述した第１ノズル列８３と平行に配設されている。各第２ノズル孔８２は、上述した第２チャネル６２の吐出チャネル７１内に連通している。具体的に、第２ノズル孔８２は、第２チャネル６２の吐出チャネル７１において、Ｙ方向の中央部に位置するように形成され、吐出チャネル７１と同ピッチで形成されている。したがって、各ダミーチャネル７２は、ノズル孔８１，８２には連通しておらず、ノズルプレート５１により下方から覆われている。なお、各ノズル孔８１，８２は、下方に向かうに従い漸次縮径するテーパ状とされている。

＜カバープレート＞
図３に示すように、カバープレート５３は、各チャネル列６３，６４を閉塞するようにアクチュエータプレート５２の上面に接着された板状とされている。カバープレート５３は、上述したアクチュエータプレート５２に対してＹ方向の幅が短く形成されている。この場合、図６に示すように、アクチュエータプレート５２の尾部７０のうち、カバープレート５３に対してＹ方向の外側に位置する部分に上述したコモン端子７４ｃ及びアクティブ端子７４ｄが露出しており、これらに上述したフレキシブルプリント基板７５が接続される。

図３、図６に示すように、カバープレート５３には、入口側共通インク室（第１入口側共通インク室７７ａ、第２入口側共通インク室７８ａ）及び出口側共通インク室（第１出口側共通インク室７７ｂ、及び第２出口側共通インク室７８ｂ）が、上述したチャネル列６３，６４に対応して形成されている。なお、以下の説明では、主に第１入口側共通インク室７７ａ及び第１出口側共通インク室７７ｂについて主に説明し、第２入口側共通インク室７８ａ及び第２出口側共通インク室７８ｂにおける第１入口側共通インク室７７ａ及び第１入口側共通インク室７７ａと対応する箇所には同一の符号を付して説明を省略する。

第１入口側共通インク室７７ａは、カバープレート５３のうち、各第１チャネル６１におけるＹ方向の内側端部とＺ方向で対向する部分にＸ方向に沿って延設された凹溝状とされている。第１入口側共通インク室７７ａのうち、吐出チャネル７１に対応する位置（Ｚ方向で対向する位置）には、カバープレート５３をＺ方向に貫通する供給スリット７９ａがそれぞれ形成されている。

第１出口側共通インク室７７ｂは、カバープレート５３のうち、各第１チャネル６１におけるＹ方向の外側端部とＺ方向で対向する部分にＸ方向に沿って延設された凹溝状とされている。第１出口側共通インク室７７ｂのうち、吐出チャネル７１に対応する位置（Ｚ方向で対向する位置）には、カバープレート５３をＺ方向に貫通する排出スリット７９ｂがそれぞれ形成されている。
したがって、第１入口側共通インク室７７ａ及び第１出口側共通インク室７７ｂは、それぞれ供給スリット７９ａ及び排出スリット７９ｂを通して各吐出チャネル７１に連通する一方、ダミーチャネル７２には連通していない。すなわち、各ダミーチャネル７２は、第１入口側共通インク室７７ａ及び第１出口側共通インク室７７ｂの底部によって閉塞されている。

第２入口側共通インク室７８ａは、カバープレート５３のうち、各第２チャネル６２におけるＹ方向の内側端部とＺ方向に対向する部分にＸ方向に沿って延設された凹溝状とされている。また、第２出口側共通インク室７８ｂは、カバープレート５３のうち、各第２チャネル６２におけるＹ方向の外側端部とＺ方向に対向する部分にＸ方向に沿って延設された凹溝状とされている。

第２入口側共通インク室７８ａ及び第２出口側共通インク室７８ｂのうち、吐出チャネル７１に対応する位置（Ｚ方向で対向する位置）には、供給スリット７９ａ及び排出スリット７９ｂがそれぞれ形成されている。すなわち、第２入口側共通インク室７８ａ及び第２出口側共通インク室７８ｂの供給スリット７９ａ及び排出スリット７９ｂは、第１入口側共通インク室７７ａ及び第１出口側共通インク室７７ｂの供給スリット７９ａ及び排出スリット７９ｂに対して互い違いに並んでいる。

ここで、図４に示すように、上述したアクチュエータプレート５２のうち、上述した非吐出領域Ｔ２には、アクチュエータプレート５２におけるＸ方向の両端部で発生したクラックの進行を阻止するストッパ部８０が形成されている。

ストッパ部８０は、アクチュエータプレート５２をＺ方向に貫通し、かつＹ方向に沿って延びる溝であり、非吐出領域Ｔ２におけるＹ方向で対向する位置に一対で形成されている。そして、各ストッパ部８０のそれぞれは、Ｙ方向の外側端部がアクチュエータプレート５２のＹ方向における両端面で開放され、Ｙ方向の内側端部がチャネル列６３，６４におけるＹ方向の中央部よりも内側寄りに位置する部分まで延在している。

したがって、各ストッパ部８０は、Ｘ方向から見た側面視において、アクチュエータプレート５２の尾部７０及びチャネル列６３，６４に重なり合っている。なお、図示の例において、ストッパ部８０におけるＸ方向における溝幅は、各チャネル６１よりも広くなっている。また、非吐出領域Ｔ２をＸ方向に投影した際のストッパ部８０間に位置するブランク領域Ｂ（ストッパ部８０が形成されていない領域）のＹ方向における長さは、各ストッパ部８０の長さよりも短くなっている。なお、上述したストッパ部８０は、ダイシングやサンドブラスト等により形成することができる。特に、ダイシングにより形成することで、チャネル列６３，６４の形成工程と同じタイミングでストッパ部８０を形成することが可能になり、ストッパ部８０の追加に伴う製造工数の増加を抑制できる。

［プリンタの動作方法］
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、記録紙Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク４にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４内のインクがインク循環手段６を介してインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。

このような初期状態のもと、プリンタ１を作動させると、搬送手段２，３のグリッドローラ１１，１３が回転することで、これらグリッドローラ１１，１３及びピンチローラ１２，１４間に記録紙Ｐを搬送方向（Ｘ方向）に向けて搬送する。また、これと同時に駆動モータ３８がプーリ３５，３６を回転させて無端ベルト３７を動かす。これにより、キャリッジ３３がガイドレール３１，３２にガイドされながらＹ方向に往復移動する。
そしてこの間に、各インクジェットヘッド５より４色のインクを記録紙Ｐに適宜吐出させることで、文字や画像等の記録を行うことができる。

ここで、各インクジェットヘッド５の動きについて、以下に詳細に説明する。
本実施形態のようなサイドシュートタイプのうち、循環式のインクジェットヘッド５では、まず図２に示す加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５を作動させることで、循環流路２３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管２１を流通するインクは、各入口側共通インク室７７ａ，７８ａを通り、供給スリット７９ａを介して各チャネル列６３，６４の吐出チャネル７１内に供給される。また、各吐出チャネル７１内のインクは、排出スリット７９ｂを介して各出口側共通インク室７７ｂ，７８ｂ内に流入し、その後インク排出管２２に排出される。インク排出管２２に排出されたインクは、インクタンク４に戻された後、再びインク供給管２１に供給される。これにより、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクを循環させる。

そして、キャリッジ３３（図１参照）によって往復移動が開始されると、制御手段はフレキシブルプリント基板７５を介して駆動電極７４（コモン電極７４ａ及びアクティブ電極７４ｂ）に駆動電圧を印加する。具体的には、駆動電極７４のうち、インクを吐出する吐出チャネル７１を画成する２つの駆動壁６５に形成された駆動電極７４に駆動電圧を印加し、これら２つの駆動壁６５を、吐出チャネル７１に隣接しているダミーチャネル７２側へ突出するように変形させる。すなわち、本実施形態のアクチュエータプレート５２は分極方向が一方向であり、駆動電極７４が駆動壁６５の側面のＺ方向における中間位置までしか形成されていないため、駆動電圧を印加することで、駆動壁６５のＺ方向中間位置を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル７１があたかも膨らむように変形する。

このように、２つの駆動壁６５の圧電厚み滑り効果による変形によって、吐出チャネル７１の容積が増大する。そして、吐出チャネル７１の容積が増大したことにより、入口側共通インク室７７ａ，７８ａ内に貯留されたインクが吐出チャネル７１内に誘導される。そして、吐出チャネル７１の内部に誘導されたインクは、圧力波となって吐出チャネル７１の内部に伝播し、この圧力波がノズル孔８１，８２に到達したタイミングで、駆動電極７４に印加した駆動電圧をゼロにする。これにより、駆動壁６５が復元し、一旦増大した吐出チャネル７１の容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出チャネル７１の内部の圧力が増加し、インクが加圧される。その結果、液滴状のインクがノズル孔８１，８２を通って外部に吐出されることで、上述したように記録紙Ｐに文字や画像等を記録することができる。
特に、本実施形態のノズル孔８１，８２は、テーパ状とされているので、インクを速い速度で真っ直ぐに直進性良く吐出することができる。よって、高画質に記録を行うことができる。

ところで、図７に示すように、アクチュエータプレート５２には、製造時等において、アクチュエータプレート５２と、その周辺部材（例えば、カバープレート５３）等との熱膨張差に起因して発生する圧縮応力や、外部衝撃に伴いアクチュエータプレート５２に作用する圧縮応力によってクラックＣが発生するおそれがある。
これに対して、本実施形態では、アクチュエータプレート５２の非吐出領域Ｔ２において、Ｘ方向から見て少なくとも尾部７０と重なり合う位置にストッパ部８０が形成されている構成とした。この構成によれば、アクチュエータプレート５２におけるＸ方向の端部に発生したクラックＣが、仮に尾部７０に向かってＹ方向に進行した場合に、ストッパ部８０によりクラックＣの進行を阻止することができる。これにより、クラックＣが尾部７０に形成された駆動電極７４に接続された各端子７４ｃ，７４ｄに到達するのを抑制できるので、各端子７４ｃ，７４ｄの断線等を抑制できる。その結果、駆動電極７４の導通不良を抑制して、歩留まりを向上させることができる。

しかも、本実施形態では、Ｘ方向から見た側面視において、ストッパ部８０がチャネル列６３，６４と重なり合う位置まで延在しているため、クラックＣがチャネル列６３，６４に向かってＹ方向に進行した場合に、ストッパ部８０によりクラックＣの進行を阻止することができる。これにより、クラックＣがチャネル列６３，６４に到達するのを抑制できるので、吐出チャネル７１内に充填されたインクが漏れるのを抑制できる。

また、本実施形態では、ストッパ部８０がＹ方向に沿って延在する溝であるため、Ｘ方向から見た側面視で吐出領域Ｔ１と非吐出領域Ｔ２との間を広範囲に亘って遮ることができる。これにより、吐出領域Ｔ１にクラックＣが到達するのを確実に抑制できる。
さらに、ノズル孔８１，８２が吐出チャネル７１におけるＹ方向の中央で連通するサイドシュートタイプのインクジェットヘッド５に本実施形態の構成を採用した場合であっても、クラックＣが吐出領域Ｔ１に達するのを抑制し、歩留まりを向上させることができる。

そして、本実施形態のプリンタ１では、上述したインクジェットヘッド５を備えているため、歩留まりを向上させることができるとともに、信頼性の高いプリンタ１を提供できる。

（変形例）
次に、第１実施形態の変形例について説明する。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
上述した第１実施形態では、Ｙ方向の両端部にストッパ部を１本ずつ形成した場合について説明したが、これに限られない。例えば、図８に示すように、Ｘ方向に間隔をあけて複数のストッパ部９０ａ〜９０ｃを形成しても構わない。具体的に、図８に示すストッパ部９０ａ〜９０ｃは、Ｙ方向における長さの異なるストッパ部９０ａ〜９０ｃがＸ方向に間隔をあけて複数形成されている。各ストッパ部９０ａ〜９０ｃは、Ｘ方向の内側に位置するものほどＹ方向における長さが長くなっている。

また、各ストッパ部９０ａ〜９０ｃのうち、Ｙ方向で対向するストッパ部９０ａ〜９０ｃ同士は、それぞれＹ方向の長さが同等になっている。図示の例において、各ストッパ部９０ａ〜９０ｃのうち、Ｘ方向の最外に位置するストッパ部９０ａは、Ｘ方向から見た側面視で少なくとも尾部７０全域と重なり合うように形成されている。また、各ストッパ部９０ａ〜９０ｃのうち、Ｘ方向の最内に位置するストッパ部９０ｃは、Ｘ方向から見た側面視で尾部７０及びチャネル列６３，６４全域と重なり合うように形成されている。

この構成によれば、各ストッパ部９０ａ〜９０ｃが、Ｘ方向の内側に位置するものほどＹ方向における長さが長くなっているため、クラックＣ（図７参照）が仮にＸ方向の外側に位置するストッパ部９０ａを避けて進行した場合であっても、Ｘ方向の内側に位置するストッパ部（例えば、ストッパ部９０ｂ，９０ｃ）によりクラックＣの進行を阻止することができる。これにより、クラックＣが吐出領域Ｔ１まで進行するのを確実に抑制して、歩留まりの確実な向上を図ることができる。

なお、上述した変形例では、Ｘ方向の内側に位置するストッパ部９０ａ〜９０ｃほど、Ｙ方向における長さが長くなっている構成について説明したが、これに限られない。例えば、図９に示すように、Ｘ方向の外側に位置するストッパ部９１ａ〜９１ｃほど、Ｙ方向における長さが長くなっていても構わない。さらに、Ｘ方向に間隔をあけて配設された複数のストッパ部同士が、それぞれ同等の長さに形成されていても構わない。また、各ストッパ部９１ａ〜９１ｃのＸ方向における間隔は、適宜設計変更が可能である。

また、図１０に示すように、Ｙ方向で対向するストッパ部９２ａ〜９２ｃ，９３ａ〜９３ｃ同士のＹ方向における長さをそれぞれ異ならせても構わない。具体的に、図１０に示すストッパ部９２ａ〜９２ｃ，９３ａ〜９３ｃのうち、Ｙ方向の一端側に位置するストッパ部９２ａ〜９２ｃは、Ｘ方向の内側に位置するストッパ部９２ａ〜９２ｃほど、Ｙ方向における長さが長くなっている。一方、Ｙ方向の他端側に位置するストッパ部９３ａ〜９３ｃは、Ｘ方向の外側に位置するストッパ部９３ａ〜９３ｃほど、Ｙ方向における長さが長くなっている。

この場合、各ストッパ部９２ａ〜９２ｃ，９３ａ〜９３ｃのうち、Ｙ方向の一端側であってＸ方向の最外に位置するストッパ部９２ａと、Ｙ方向の他端側であってＸ方向の最内に位置するストッパ部９３ｃと、はＹ方向における長さが同等になっている。一方、各ストッパ部９２ａ〜９２ｃ，９３ａ〜９３ｃのうち、Ｙ方向の一端側であってＸ方向の最内に位置するストッパ部９２ｃと、Ｙ方向の他端側であってＸ方向の最外に位置するストッパ部９３ａと、はＹ方向における長さが同等になっている。また、各ストッパ部９２ａ〜９２ｃ，９３ａ〜９３ｃのうち、Ｘ方向の中間に位置するストッパ部９２ｂ，９３ｂ同士は、Ｙ方向における長さが同等になっている。

この構成によれば、Ｙ方向で対向するストッパ部９２ａ〜９２ｃ，９３ａ〜９３ｃ同士の長さを異ならせることで、Ｙ方向で対向するストッパ部９２ａ〜９２ｃ，９３ａ〜９３ｃ同士の間に位置する部分におけるＹ方向の長さを確保した上で、非吐出領域Ｔ２をＸ方向に投影した際におけるブランク領域ＢのＹ方向の長さを縮小することができる。これにより、アクチュエータプレート５２の強度を確保した上で、クラックＣがブランク領域Ｂを通過して吐出領域Ｔ１に到達するのを確実に抑制できる。

さらに、図１１に示すストッパ部９５ａ，９５ｂは、Ｙ方向で対向する一対の第１ストッパ部９５ａと、第１ストッパ部９５ａに対してＸ方向の外側に位置する第２ストッパ部９５ｂと、を有している。
第１ストッパ部９５ａは、上述した第１実施形態のストッパ部８０と同様に、Ｙ方向の外側端部がアクチュエータプレート５２のＹ方向における両端面で開放され、Ｙ方向の内側端部がチャネル列６３，６４におけるＹ方向の中央部よりも内側寄りに位置する部分まで延在している。

第２ストッパ部９５ｂは、アクチュエータプレート５２をＺ方向に貫通するとともに、Ｙ方向に沿って延びる溝である。そして、第２ストッパ部９５ｂのＹ方向における一端部は、第１ストッパ部９５ａのうち、Ｙ方向の一端側に位置する第１ストッパ部９５ａのＹ方向の内側端部にＸ方向から見た側面視で重なり合う位置まで延在している。一方、第２ストッパ部９５ｂのＹ方向における他端部は、第１ストッパ部９５ａのうち、Ｙ方向の他端側に位置する第１ストッパ部９５ａのＹ方向の内側端部にＸ方向から見た側面視で重なり合う位置まで延在している。

この構成によれば、非吐出領域Ｔ２をＸ方向に投影した際、アクチュエータプレート５２のＹ方向における全域にストッパ部９５ａ，９５ｂが配置されることになるので、非吐出領域Ｔ２と吐出領域Ｔ１との間が各ストッパ部９５ａ，９５ｂにより遮られることになる。これにより、クラックＣが吐出領域Ｔ１まで到達するのを確実に抑制できる。

また、図１２に示すストッパ部９６ａ〜９６ｃは、Ｙ方向で対向する一対の第１ストッパ部９６ａと、第１ストッパ部９６ａに対してＸ方向の外側に位置する一対の第２ストッパ部９６ｂと、第２ストッパ部９６ｂに対してＸ方向の外側に位置する第３ストッパ部９６ｃと、を有している。

第１ストッパ部９６ａは、Ｘ方向から見た側面視で少なくとも尾部７０全域と重なり合うように形成されている。
第２ストッパ部９６ｂは、Ｘ方向から見た側面視で、各チャネル列６３，６４全域とそれぞれ重なり合うように形成されている。また、各第２ストッパ部９６ｂにおけるＹ方向の外側端部は、Ｘ方向から見た側面視で各第１ストッパ部９６ａにおけるＹ方向の内側端部と重なり合う位置まで延在している。

さらに、第３ストッパ部９６ｃにおける一端部は、第２ストッパ部９６ｂのうち、Ｙ方向の一端側に位置する第２ストッパ部９６ｂのＹ方向の内側端部にＸ方向から見た側面視で重なり合う位置まで延在している。一方、第３ストッパ部９６ｃのＹ方向における他端部は、第２ストッパ部９６ｂのうち、Ｙ方向の他端側に位置する第２ストッパ部９６ｂのＹ方向の内側端部にＸ方向から見た側面視で重なり合う位置まで延在している。

この構成によれば、Ｘ方向における各位置でのストッパ部９６ａ〜９６ｃのＹ方向における長さを縮小した上で、非吐出領域Ｔ２をＸ方向に投影した際、アクチュエータプレート５２のＹ方向における全域にストッパ部９６ａ〜９６ｃを配置することができる。これにより、アクチュエータプレート５２の強度を確保した上で、クラックＣが吐出領域Ｔ１に到達するのを確実に抑制できる。なお、上述した変形例では、第１ストッパ部９６ａがＸ方向の最内に位置し、第３ストッパ部９６ｃがＸ方向の最外に位置する構成について説明したが、これに限らず、各ストッパ部９６ａ〜９６ｃの位置は適宜設計変更が可能である。

さらに、図１３に示すように、Ｙ方向の両端部に位置するストッパ部９７ａ，９７ｂ同士をＸ方向に交互に形成しても構わない。具体的に、各ストッパ部９７ａ，９７ｂのそれぞれは、Ｙ方向の外側端部がアクチュエータプレート５２のＹ方向における両端面で開放され、Ｙ方向の内側端部がチャネル列６３，６４よりもＹ方向の内側まで延在している。そして、Ｙ方向の両端部に位置する各ストッパ部９７ａ，９７ｂ同士は、そのＹ方向における内側端部同士がＸ方向から見た側面視で重なり合っている。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については、同一の符号を付して、説明を省略する。
図１４に示すように、本実施形態のアクチュエータプレート１５２（非吐出領域Ｔ２）には、Ｘ方向の両端部であって、Ｙ方向の中央部に凹部１５３が形成されている。各凹部１５３は、アクチュエータプレート１５２をＺ方向に貫通するとともに、Ｘ方向の内側に向けて窪んでいる。また、凹部１５３におけるＹ方向の両端縁は、各チャネル列６３，６４におけるＹ方向の中央部と同等の位置に配置されている。したがって、アクチュエータプレート１５２において、凹部１５３以外の部分（Ｙ方向の両端部）は、Ｘ方向の外側に向けて突出する突出部１５４となっている。

そして、本実施形態において、ストッパ部１００は、非吐出領域Ｔ２のうち、凹部１５３よりもＸ方向の内側に位置する部分に、Ｙ方向で対向するように一対で形成されている。具体的に、各ストッパ部１００は、Ｙ方向の外側端部がアクチュエータプレート１５２のＹ方向における両端面で開放され、Ｙ方向の内側端部がチャネル列６３，６４におけるＹ方向の内側端部と同等の位置まで延在している。したがって、各ストッパ部１００は、Ｘ方向から見た側面視で上述した突出部１５４の全域と重なり合うとともに、凹部１５３におけるＹ方向の両端部と重なり合っている。

この構成によれば、アクチュエータプレート１５２のＸ方向における両端部に凹部１５３を形成することで、外部衝撃等によるクラックＣの発生箇所を凹部１５３以外の部分（突出部１５４）に限定することができる。これにより、クラックＣの発生自体を抑制できる。
しかも、本実施形態では、Ｘ方向から見た側面視において、突出部１５４と重なり合う位置にストッパ部１００を配置することで、突出部１５４で発生したクラックＣが吐出領域Ｔ１に到達するのを抑制できる。

（変形例）
次に、第２実施形態の変形例について説明する。なお、以下の説明では、上述した各実施形態と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
図１５に示すように、アクチュエータプレート１５２には、Ｘ方向の両端部であって、Ｙ方向の両端部に一対の凹部１５５が形成されている。各凹部１５５は、アクチュエータプレート１５２をＺ方向に貫通するとともに、Ｘ方向の内側に向けて窪んでいる。また、各凹部１５５は、Ｙ方向の外側端部がアクチュエータプレート１５２におけるＹ方向の両端面で開放され、Ｙ方向の内側端部が各チャネル列６３，６４におけるＹ方向の中央部よりも内側に位置している。したがって、アクチュエータプレート１５２において、凹部１５５以外の部分（Ｙ方向の中央部）は、Ｘ方向の外側に向けて突出する突出部１５６となっている。

そして、本実施形態において、ストッパ部１０１ａ，１０１ｂは、Ｙ方向で対向する一対の第１ストッパ部１０１ａと、第１ストッパ部１０１ａに対してＸ方向の内側に位置する第２ストッパ部１０１ｂと、を有している。

第１ストッパ部１０１ａは、Ｙ方向の外側端部がアクチュエータプレート１５２におけるＹ方向の両端面で開放され、Ｙ方向の内側端部が各チャネル列６３，６４のＹ方向の外側端部と同等の位置までそれぞれ延在している。したがって、第１ストッパ部１０１ａは、Ｘ方向から見た側面視で、凹部１５５におけるＹ方向の外側端部と重なり合うとともに、尾部７０全域と重なり合うように形成されている。

第２ストッパ部１０１ｂは、Ｙ方向の両端部が各チャネル列６３，６４におけるＹ方向の中央部よりも外側寄りに位置する部分までそれぞれ延在している。したがって、第２ストッパ部１０１ｂは、Ｘ方向から見た側面視で、突出部１５６全域と重なり合うとともに、凹部１５５におけるＹ方向の内側端部と重なり合うように形成されている。

この構成によっても、上述した第２実施形態と同様の作用効果を奏することができる。

なお、本発明の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

例えば、上述した実施形態では、液体噴射装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。

また、上述した実施形態では、ノズル列８３，８４がそれぞれＸ方向に沿って直線状に延在している場合について説明したが、これに限らず、例えばノズル列８３，８４が斜めに延在していてもよい。
また、ノズル孔８１，８２の形状に関しても、円形に限定されるものではない。例えば、三角等の多角形状や、楕円形状や星型形状でも構わない。

さらに、上述した実施形態では、ノズル列８３，８４が二列並んだ二列タイプのインクジェットヘッド５について説明したが、これに限らず、一列や三列以上の複数列のノズル列を有するインクジェットヘッド５としてもよい。

また、上述した実施形態では、サイドシュートタイプのうち、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクが循環する循環式について説明したが、これに限られない。

また、ストッパ部は、Ｘ方向から見た側面視で少なくとも尾部７０と重なり合うように形成されていれば、そのレイアウト等は適宜設計変更が可能である。
さらに、上述した実施形態では、ストッパ部がアクチュエータプレートをＺ方向に貫通する構成について説明したが、これに限られない。
また、上述した実施形態では、ストッパ部がＹ方向に沿って延在する構成について説明したがこれに限られない。例えば、ストッパ部は、Ｚ方向から見た平面視で円形状や矩形状の凹部や貫通孔であっても構わない。

また、上述した実施形態では、ストッパ部として、アクチュエータプレートとは異なる材料を非吐出領域Ｔ２に配置する構成としても構わない。例えば、アクチュエータプレートの構成材料に比べて延性の高い材料を、非吐出領域Ｔ２に配置しても構わない。

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせても構わない。

１…プリンタ（液体噴射装置）
２，３…搬送手段（移動機構）
５…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
７…走査手段（移動機構）
５１…ノズルプレート（噴射孔プレート）
５２，１５２…アクチュエータプレート
６３…第１チャネル列（チャネル列）
６４…第２チャネル列（チャネル列）
６５…駆動壁
７１…吐出チャネル（チャネル）
７４…駆動電極
７４ａ…コモン電極（駆動電極）
７４ｂ…アクティブ電極（駆動電極）
７４ｃ…コモン端子（電極端子）
７４ｄ…アクティブ端子（電極端子）
７５…フレキシブルプリント基板（外部配線）
８０…ストッパ部
８１，８２…ノズル孔（噴射孔）
８３，８４…ノズル列（噴射孔列）
９０ａ〜９０ｃ，９１ａ〜９１ｃ，９２ａ〜９２ｃ，９３ａ〜９３ｃ，９６ａ〜９６ｃ，９７ａ，９７ｂ，１００…ストッパ部
９５ａ…第１ストッパ部
９５ｂ…第２ストッパ部
９６ａ…第１ストッパ部
９６ｂ…第２ストッパ部
９６ｃ…第３ストッパ部
１０１ａ…第１ストッパ部
１０１ｂ…第２ストッパ部
１５３，１５５…凹部
Ｐ…記録紙（被記録媒体）
Ｔ１…吐出領域（噴射領域）
Ｔ２…非吐出領域（非噴射領域）

Claims (7)

1. 第１方向に沿って延びるチャネルが、前記第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて複数並設されてなる噴射領域を有するアクチュエータプレートと、
   前記アクチュエータプレートに積層されるとともに、前記チャネルに各別に連通する複数の噴射孔を有する噴射孔プレートと、
   前記アクチュエータプレートのうち、前記チャネルを画成する駆動壁に形成された駆動電極と、
   前記駆動電極に接続されるとともに、前記アクチュエータプレートのうち、前記チャネルに対して前記第１方向の外側に位置する尾部に引き出され、外部配線に接続される電極端子と、を備え、
   前記アクチュエータプレートのうち、前記噴射領域に対して前記第２方向の外側に位置する非噴射領域であって、少なくとも前記第２方向から見て前記尾部と重なり合う部分には、前記アクチュエータプレートにおける前記第２方向の外側端部で発生したクラックの進行を阻止するストッパ部が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記ストッパ部は、前記非噴射領域において前記第２方向から見て前記チャネルと重なり合う部分に形成されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記ストッパ部は、前記第１方向に沿って延在する溝であることを特徴とする請求項１または請求項２記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記ストッパ部は、前記第２方向に間隔をあけて複数並設され、
   複数の前記ストッパ部のうち、少なくとも何れかの前記ストッパ部同士は、前記第２方向から見て一部が重なり合っていることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記アクチュエータプレートの前記非噴射領域には、前記第２方向の内側に向けて窪む凹部が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
6. 前記チャネルは、前記第１方向における中央部で前記噴射孔に連通していることを特徴とする請求項１から請求項５の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
7. 請求項１から請求項６の何れか１項に記載の液体噴射ヘッドと、
   前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、を備えていることを特徴とする液体噴射装置。

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