JP2017105026A - 液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置および液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】製造コストを抑制できると共に、撥水膜の膜厚が不均一になって撥水性能が低下してしまうことを防止できる液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置および液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】複数のノズル孔３３ａ，３４ａからなるノズル列３３，３４を有するノズルプレート３５と、インクが充填されるアクチュエータプレート４１，５１と、ノズルプレート３５を覆うように設けられ、ノズルプレート３５を保護するためのノズルガード１０１と、を備え、ノズルガード１０１は、ノズルプレート３５の周囲を取り囲むように形成された枠体１０２と、枠体１０２の開口部を閉塞すると共にノズル列３３，３４を露出させるスリット１０７が形成されている蓋体１０３と、を備え、枠体１０２と蓋体１０３はそれぞれ別体で構成されており、枠体１０２および蓋体１０３は、それぞれ互いに接合される接合部を有している。【選択図】図５

Description

この発明は、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置および液体噴射ヘッドの製造方法に関するものである。

各種印刷を行う液体噴射記録装置（インクジェットプリンタ）は、被記録媒体を搬送する搬送装置と、液体噴射ヘッド（インクジェットヘッド）と、を備えている。液体噴射ヘッドは、液体収容体（インクタンク）から液体供給管（インク供給管）を介して液体噴射ヘッドにインクを供給し、液体噴射ヘッドに設けられたヘッドチップのノズル孔からインクを被記録媒体に吐出する。これにより、被記録媒体に文字や画像が記録される。

上記ヘッドチップは、複数のノズル孔からなるノズル列を有するノズルプレートと、インクが充填されると共に、ノズル孔に連通する複数のチャネルを有するアクチュエータプレートと、アクチュエータプレートの表面に接合され、各チャネルにそれぞれ連通する共通インク室を有するカバープレートと、を備えている。
また、液体噴射ヘッドは、ノズルプレートを保護するために、このノズルプレートを覆うように形成されたノズルガードを備えたものがある。ノズルガードは、例えばステンレス等の薄板にプレス加工を施して形成されるものである。ノズルガードのノズル列に対応する箇所には、このノズル列を露出させるスリット（開口部）が形成されている。

ここで、ヘッドチップへのインクの初期充填の際やヘッドチップからインクを吐出させる際、このインクが周囲に飛散し、ノズルプレートやノズルガードに付着する場合がある。このため、ノズルプレートやノズルガードには、インクの付着を抑制するために撥水膜処理が施されている。
ノズルガードに撥水膜処理を施す場合、ノズルガードの加工痕やノズルガード形成時の残留応力によって撥水膜が剥離してしまう可能性がある。このため、ノズルガードを形成した後に撥水膜処理を施す。

特開２００５−６７１３０号公報

しかしながら、ノズルガードを形成した後に撥水膜処理を施そうとすると、部品１つ１つ、別々に撥水膜処理を施すことになる。また、ノズルガードと他部品との接合部を１つ１つマスキングし、意図しない箇所に撥水膜が形成されないようにする必要がある。このため、製造コストが増大するという課題がある。
また、ノズルガードを形成した後に撥水膜処理を施そうとすると、ノズルガードの曲げ加工や絞り加工を施された箇所の近傍に歪が生じ、この歪みが生じた箇所の撥水膜の膜厚が不均一になり易い。このため、ノズルガードの撥水性能が低下してしまうという課題がある。

そこで、この発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、製造コストを抑制できると共に、撥水膜の膜厚が不均一になって撥水性能が低下してしまうことを防止できる液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置および液体噴射ヘッドの製造方法を提供するものである。

上記の課題を解決するために、本発明に係る液体噴射ヘッドは、複数のノズル孔からなるノズル列を有するノズルプレートと、液体が充填されると共に前記ノズル孔に連通する複数のチャネルを有するアクチュエータプレートと、前記ノズルプレートを覆うように設けられ、前記ノズルプレートを保護するためのノズルガードと、を備え、前記ノズルガードは、前記ノズルプレートの周囲を取り囲むように形成された枠体と、前記枠体の開口部を閉塞すると共に前記ノズル列を露出させるスリットが形成されている蓋体と、を備え、前記枠体と前記蓋体はそれぞれ別体で構成されており、前記枠体および前記蓋体は、それぞれ互いに接合される接合部を有していることを特徴とする。

このように構成することで、撥水膜処理を施す蓋体にプレス加工を施す必要がなくなる。このため、例えば、母材プレートから複数の蓋体を切り離す前に、複数の蓋体に纏めて撥水膜処理を施すことができる。このため、製造コストを抑えることができる。
また、蓋体にプレス加工を施す必要がなく、平坦な面にだけ撥水膜処理を施すことができるので、形成される撥水膜の膜厚を均一にすることができる。このため、ノズルガードの撥水性能を向上できる。

上記液体噴射ヘッドにおいて、前記枠体、および前記蓋体の少なくとも何れか一方は、前記枠体に対する前記蓋体の平面方向の位置決めを行う面方向位置決め部を備えていることを特徴とする。

このように構成することで、蓋体に形成されるスリットと、ノズルプレートに形成されるノズル孔やノズル列の位置合わせを容易に行うことができる。

上記液体噴射ヘッドにおいて、前記枠体および前記蓋体は、長方形状に形成されており、前記枠体および前記蓋体の対向する一対の側面に、それぞれ前記面方向位置決め部が設けられていることを特徴とする。

このように構成することで、面方向位置決め部が設けられている一対の側面の対向方向において、枠体に対する蓋体の位置決めを、精度よく行うことができる。

上記液体噴射ヘッドにおいて、前記枠体および前記蓋体の長手方向両側面に、それぞれ前記面方向位置決め部が設けられていることを特徴とする。

ここで、蓋体に形成されているスリットは、ノズル孔やノズル列に対し、長手方向には多少の余裕を持って形成されているのに対し、短手方向には殆ど余裕がないことが多い。これは、アクチュエータプレートを複数並べて配置する際、各ノズル列の間を極力狭くする方が被記録媒体に対する文字や画像を高密度にすることができるからである。
このため、枠体および蓋体の長手方向両側面に、それぞれ面方向位置決め部を設けることにより、枠体に対する蓋体の短手方向の位置決めを精度よく行うことができる。この結果、アクチュエータプレートを複数並べて配置する際に、各ノズル列の間を極力狭くすることができる。よって、液体噴射ヘッドの品質を向上させることができる。

上記液体噴射ヘッドにおいて、前記枠体、および前記蓋体の少なくとも何れか一方は、前記枠体に対する前記蓋体の厚さ方向の位置決めを行う厚さ方向位置決め部を備えていることを特徴とする。

ここで、蓋体とノズルプレートは、互いに密接させることが望ましい。蓋体とノズルプレートとの間隔があいていると、ノズル孔から吐出された液体（インク）が蓋体に阻害されて被記録媒体に記録される文字や画像の品質が低下する可能性があるからである。
このため、枠体、および蓋体の少なくとも何れか一方に厚さ方向位置決め部を設けることにより、枠体に対する蓋体の厚さ方向の位置決めを確実に行うことができる。この結果、蓋体とノズルプレートとを確実に密接させることができ、被記録媒体に記録される文字や画像の品質が低下してしまうことを防止できる。

上記液体噴射ヘッドにおいて、前記厚さ方向位置決め部は、前記蓋体の外周部に設けられた外フランジ部であることを特徴とする。
また、前記厚さ方向位置決め部は、前記枠体の開口部の内周部に設けられた内フランジ部であってもよい。

このように構成することで、簡素な構造で枠体に対する蓋体の厚さ方向の位置決めを行うことができる。

本発明に係る液体噴射記録装置は、上記に記載の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドを走査させる走査手段と、前記液体を収容する液体収容体と、前記液体噴射ヘッドと前記液体収容体との間に敷設され、液体を流通させる液体供給管と、を備えたことを特徴とする。

このように構成することで、製造コストを抑制できると共に、撥水膜の膜厚が不均一になって撥水性能が低下してしまうことを防止可能な液体噴射記録装置を提供できる。

本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法は、複数のノズル孔からなるノズル列を有するノズルプレートと、インクが充填されると共に前記ノズル孔に連通する複数のチャネルを有するアクチュエータプレートと、前記ノズルプレートを覆うように設けられ、前記ノズルプレートを保護するためのノズルガードと、を備えた液体噴射ヘッドの製造方法において、前記ノズルガードは、前記ノズルプレートの周囲を取り囲むように形成された枠体と、前記枠体とは別体で構成され、前記枠体の開口部を閉塞すると共に前記ノズル列を露出させるスリットが形成されている蓋体と、を接合して形成されたものであり、前記枠体に前記蓋体を接合する前に、前記蓋体の前記枠体との接合面とは反対側の面に、撥水膜処理を施すことを特徴とする。

このような方法とすることで、蓋体に、膜厚が均一になる撥水膜処理を、容易かつ確実に行うことができる。また、例えば、母材プレートから複数の蓋体を切り離す前に、複数の蓋体に纏めて撥水膜処理を施すことができる。このため、製造コストを抑えることができる。

上記液体噴射ヘッドの製造方法において、前記蓋体に前記撥水膜処理を施した後、前記蓋体の前記接合面に対応する箇所にエッチング処理を施し、前記枠体に接合させる外フランジを形成することを特徴とする。

このような方法とすることで、例えば、母材プレートから複数の蓋体を切り離す前に、複数の蓋体に纏めて接合用の外フランジを形成することができる。このため、製造コストを抑えることができる。

上記液体噴射ヘッドの製造方法において、前記蓋体は、１つの母材プレートから複数個切り離すことにより形成されるものであり、前記母材プレートに、予め前記撥水膜処理、および前記エッチング処理を施した後、前記母材プレートから前記蓋体が切り離されることを特徴とする。

このような方法とすることで、容易に複数の蓋体に纏めて撥水膜処理やエッチング処理を施すことができるので、製造コストを抑えることができる。

本発明によれば、撥水膜処理を施す蓋体にプレス加工を施す必要がなくなる。このため、例えば、母材プレートから複数の蓋体を切り離す前に、複数の蓋体に纏めて撥水膜処理を施すことができる。このため、製造コストを抑えることができる。
また、蓋体にプレス加工を施す必要がなく、平坦な面にだけ撥水膜処理を施すことができるので、形成される撥水膜の膜厚を均一にすることができる。このため、ノズルガードの撥水性能を向上できる。

本発明の実施形態における液体噴射記録装置の斜視図である。 本発明の実施形態における液体噴射ヘッドの斜視図である。 本発明の第１実施形態における吐出部の斜視図である。 本発明の第１実施形態における吐出部の分解斜視図である。 本発明の第１実施形態におけるノズルガードの分解斜視図である。 図４のＡ−Ａ線に沿う断面図である。 本発明の第１実施形態における蓋体を枠体側からみた平面図である。 本発明の第１実施形態における蓋体の製造工程を示す説明図である。 本発明の第１実施形態における蓋体の製造工程を示す説明図である。 本発明の第１実施形態における蓋体の製造工程を示す説明図である。 本発明の第１実施形態における蓋体の製造工程を示す説明図である。 本発明の第２実施形態におけるノズルガードの要部拡大断面図である。 本発明の第３実施形態におけるノズルガードの要部拡大断面図である。

次に、この発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

（第１実施形態）
（液体噴射記録装置）
図１は、液体噴射記録装置１の斜視図である。
液体噴射記録装置１は、いわゆるインクジェットプリンタであって、紙等の被記録媒体Ｓを搬送する一対の搬送機構２，３と、被記録媒体Ｓにインク滴を噴射する液体噴射ヘッド４と、液体噴射ヘッド４にインクを供給する液体供給手段５と、液体噴射ヘッド４を被記録媒体Ｓの搬送方向（主走査方向）と略直交する方向（副走査方向）に走査させる走査手段６と、を備えている。

なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
また、以下の説明において、副走査方向をＸ方向、主走査方向をＹ方向、そしてＸ方向、およびＹ方向に共に直交する方向をＺ方向として説明する。ここで、液体噴射記録装置１は、Ｘ方向、Ｙ方向が水平方向となるように、且つＺ方向が重力方向上下方向となるように載置して使用されるようになっている。

すなわち、液体噴射記録装置１を載置した状態では、被記録媒体Ｓ上を液体噴射ヘッド４が水平方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に沿って走査するように構成されている。また、この液体噴射ヘッド４から重力方向下方（Ｚ方向下方）に向かってインク滴が噴射され、このインク滴が被記録媒体Ｓに着弾するように構成されている。

一対の搬送機構２，３は、それぞれＸ方向に延びて設けられたグリッドローラ２０，２１と、グリッドローラ２０，２１のそれぞれに平行に延びるピンチローラ２２，２３と、詳細は図示しないがグリッドローラ２０，２１を軸回りに回転動作させるモータ等の駆動機構と、を備えている。

液体供給手段５は、インクが収容された液体収容体２５と、液体収容体２５と液体噴射ヘッド４とを接続する液体供給管２６と、を備えている。液体収容体２５は、複数設けられており、例えば、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類のインクが収容されたインクタンク２５Ｙ，２５Ｍ，２５Ｃ，２５Ｋが並べて設けられている。インクタンク２５Ｙ，２５Ｍ，２５Ｃ，２５ＫのそれぞれにはポンプモータＭが設けられており、インクを、液体供給管２６を通じて液体噴射ヘッド４へ押圧移動できる。液体供給管２６は、液体噴射ヘッド４を支持するキャリッジユニット６２の動作に対応可能な可撓性を有するフレキシブルホースから成る。

なお、液体収容体２５は、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類のインクが収容されたインクタンク２５Ｙ，２５Ｍ，２５Ｃ，２５Ｋに限られるものではなく、さらに多色のインクを収容したインクタンクを備えていてもよい。

走査手段６は、Ｘ方向に延びて設けられた一対のガイドレール６０，６１と、一対のガイドレール６０，６１に沿って摺動可能なキャリッジユニット６２と、キャリッジユニット６２をＸ方向に移動させる駆動機構６３と、を備えている。駆動機構６３は、一対のガイドレール６０，６１の間に配設された一対のプーリ６４，６５と、一対のプーリ６４，６５間に巻回された無端ベルト６６と、一方のプーリ６４を回転駆動させる駆動モータ６７と、を備えている。

一対のプーリ６４，６５は、一対のガイドレール６０，６１の両端部間にそれぞれ配設されており、Ｘ方向に間隔をあけて配置されている。無端ベルト６６は、一対のガイドレール６０，６１間に配設されており、この無端ベルト６６に、キャリッジユニット６２が連結されている。キャリッジユニット６２の基端部６２ａには、複数の液体噴射ヘッド４が搭載されている。具体的には、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類のインクに個別に対応する液体噴射ヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４ＫがＸ方向に並んで搭載されている。

（液体噴射ヘッド）
図２は、液体噴射ヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋの斜視図である。なお、液体噴射ヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋは、供給されるインクの色以外は何れも同一の構成からなるため、以下の説明では、まとめて液体噴射ヘッド４として説明する。
同図に示すように、液体噴射ヘッド４は、下部ベース７２上に固定され、被記録媒体Ｓ（図１参照）に対してインク滴を噴射する吐出部７０と、吐出部７０に電気的に接続され、この吐出部７０の駆動を制御する駆動制御部８０と、駆動制御部８０を固定する縦ベース７３と、液体供給管２６に接続部１３を介して接続された液体流通部１２と、液体流通部１２に接続部１４を介して接続された流路部材７１と、を備えている。

駆動制御部８０は、回路基板８１と、回路基板８１と吐出部７０とを電気的に接続するための接続基板８２と、を備えている。
回路基板８１は、いわゆるガラスエポキシ基板であって、Ｚ方向に長くなるようにＸ方向からみて略長方形状に形成されている。回路基板８１に、吐出部７０を駆動するための集積回路等の制御回路（駆動回路）が実装されている。

流路部材７１は、吐出部７０に接続されている。そして、液体供給管２６から流入されるインクが、液体流通部１２、流路部材７１を通って吐出部７０に供給される。液体流通部１２は、圧力緩衝器として機能しており、液体供給管２６を介してインクが供給されると、インクを内部の貯留室内に一旦貯留した後、所定量のインクを吐出部７０に供給する。なお、下部ベース７２と縦ベース７３は、一体成形としてもよい。

（吐出部）
図３は、吐出部７０の斜視図、図４は、吐出部７０の分解斜視図である。
図３、図４に示すように、吐出部７０は、電圧が印加されることによりインクを液滴として被記録媒体Ｓへと噴射させる第１ヘッドチップ３１および第２ヘッドチップ３２と、これら第１ヘッドチップ３１および第２ヘッドチップ３２のＺ方向の下端面（最下面）に設けられたノズルプレート３５と、ノズルプレート３５を保護するノズルガード１０１と、これら各ヘッドチップ３１，３２、ノズルプレート３５、およびノズルガード１０１を支持するノズルキャップ３６と、を備えている。

第１ヘッドチップ３１は、後述する吐出チャネル４３ａの長手方向（Ｚ方向）端部に連通する第１ノズル孔３３ａからインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプとされている。そして、第１アクチュエータプレート４１および第１カバープレート４２が、Ｘ方向に積層されて構成されている。

第１アクチュエータプレート４１は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されたプレートであり、その分極方向が厚さ方向（Ｘ方向）に沿って設定されている。この第１アクチュエータプレート４１のＸ方向における一方の主面４１ａ（第１カバープレート４２側に位置する面）には、Ｙ方向に間隔をあけて複数のチャネル４３が並設されている。
これら複数のチャネル４３は、一方の主面４１ａ側に開口した状態でＺ方向に沿って直線状に延びる溝部であり、Ｚ方向の一端部が第１アクチュエータプレート４１の下端面で開口している。これら複数のチャネル４３の間には、断面矩形状でＺ方向に延びる駆動壁４４が形成され、この駆動壁４４によって各チャネル４３がそれぞれ区分けされている。

また、複数のチャネル４３は、インクが充填される吐出チャネル４３ａと、インクが充填されないダミーチャネル４３ｂと、に大別される。そして、これら吐出チャネル４３ａとダミーチャネル４３ｂは、Ｙ方向に交互に並んで配置されている。
吐出チャネル４３ａ内面には、蒸着等により不図示の駆動電極がチャネル４３のＺ方向全体にわたって形成されている。一方、ダミーチャネル４３ｂの内面には、蒸着等により不図示のダミー電極がチャネル４３のＺ方向全体にわたって形成されている。

また、第１アクチュエータプレート４１のＸ方向における一方の主面４１ａは、Ｚ方向の上部が第１電極引出部４５とされている。この第１電極引出部４５に、接続基板８２を構成する第１フレキシブル基板９３（図２参照）が接続されている。
そして、駆動電極およびダミー電極（何れも不図示）は、第１フレキシブル基板９３を介して電圧が印加されることにより、圧電滑り効果により駆動壁４４を変形させ、吐出チャネル４３ａ内の容積を変化させる。

第１カバープレート４２は、一方の主面４２ａが第１アクチュエータプレート４１の一方の主面４１ａ上のうち、第１電極引出部４５を避けた位置に接合されている。第１カバープレート４２は、他方の主面４２ｂ（第１アクチュエータプレート４１とは反対側に位置する面）に形成された凹状の共通インク室４６と、共通インク室４６および吐出チャネル４３ａをそれぞれ連通させる複数のスリット４７と、を有している。

共通インク室４６は、第１カバープレート４２のうち、チャネル４３のＺ方向における他端部に位置する部分に形成されたＹ方向に沿って長い長方形の開口である。共通インク室４６には、上記の流路部材７１内に連通しており、流路部材７１内のインクが流通するように構成されている。
スリット４７は、共通インク室４６のうち、吐出チャネル４３ａに対応する位置に形成され、共通インク室４６内と吐出チャネル４３ａ内とを連通しており、共通インク室４６に貯留されたインクが各吐出チャネル４３ａに流通するように構成されている。

一方、第２ヘッドチップ３２は、第２アクチュエータプレート５１および第２カバープレート５２がＸ方向に積層されて構成されている。なお、第２ヘッドチップ３２のうち、上記の第１ヘッドチップ３１と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。

第２アクチュエータプレート５１の一方の主面５１ａには、上記の第１アクチュエータプレート４１のチャネル４３と同ピッチでＹ方向に間隔をあけて複数のチャネル４３が配設されている。第２アクチュエータプレート５１の吐出チャネル４３ａおよびダミーチャネル４３ｂは、第１アクチュエータプレート４１の吐出チャネル４３ａおよびダミーチャネル４３ｂに対して互い違いに並んでいる。
したがって、本実施形態の吐出部７０では、第１アクチュエータプレート４１の吐出チャネル４３ａと、第２アクチュエータプレート５１の吐出チャネル４３ａと、が千鳥状に配置されている。

また、第１アクチュエータプレート４１および第２アクチュエータプレート５１は、他方の主面４１ｂ，５１ｂ同士が接合されている。さらに、第２アクチュエータプレート５１の一方の主面５１ａのうち、第１アクチュエータプレート４１の第１電極引出部４５と対向する位置は、第２電極引出部５５とされている。この第２電極引出部５５に、接続基板８２を構成する第２フレキシブル基板９４（図２参照）が接続されている。
そして、第２アクチュエータプレート５１の駆動電極およびダミー電極（何れも不図示）は、第２フレキシブル基板９４を介して電圧が印加されることにより、圧電滑り効果により駆動壁４４を変形させる。これにより、吐出チャネル４３ａ内の容積を変化させる。

ノズルキャップ３６は、Ｚ方向から見た平面視外形が長方形状に形成されており、その上面が下部ベース７２（図２参照）の下面に突き当たった状態で固定される。
また、ノズルキャップ３６には、Ｚ方向に貫通する嵌合孔３６ａが形成されており、第１ヘッドチップ３１および第２ヘッドチップ３２が嵌合孔３６ａ内にまとめて嵌合されている。

また、ノズルキャップ３６は、その外形状が厚さ方向下端に向かうに従って段差により小さくなるように段付き板状に形成されている。すなわち、ノズルキャップ３６は、厚さ方向（Ｚ方向）上端側に位置するベース部３７と、ベース部３７の下端面に配置され、このベース部３７よりも外形状が小さくなるように形成された第１段差部３８と、第１段差部３８の下端面に配置され、この第１段差部３８よりも外形状が小さくなるように形成された第２段差部３９とが一体成形されたものである。そして、ノズルキャップ３６は、第２段差部３９の端面３９ａが第１ヘッドチップ３１および第２ヘッドチップ３２の下端面と面一となるように組み合わされている。

ノズルプレート３５は、厚みが約５０μｍ程度のポリイミド等のフィルム材からなるシート状とされ、ノズルキャップ３６の第２段差部３９の端面３９ａに接着剤または熱溶着によって接合されている。ノズルプレート３５は、その外形状が第２段差部３９の外形状に対応する大きさに形成されている。なお、ノズルプレート３５における被記録媒体Ｓに対向する対向面（下端面）には、インクの付着等を防止するための撥水膜が形成されている。

また、ノズルプレート３５には、Ｙ方向に間隔をあけて並設された複数のノズル孔（第１ノズル孔３３ａおよび第２ノズル孔３４ａ）からなるノズル列（第１ノズル列３３および第２ノズル列３４）が２列配設されている。
第１ノズル列３３は、ノズルプレート３５をＺ方向に貫通する複数の第１ノズル孔３３ａを有し、これら第１ノズル孔３３ａがＹ方向に間隔をあけて一直線上に並んで構成されている。第１ノズル孔３３ａは、ノズルプレート３５におけるＺ方向の下側の面に向かって徐々に先細りとなるように円錐台状に形成されている。また、第１ノズル孔３３ａは、上記の第１アクチュエータプレート４１の吐出チャネル４３ａに対応する位置に形成されている。

一方、第２ノズル列３４は、ノズルプレート３５をＺ方向に貫通する複数の第２ノズル孔３４ａを有し、上記の第１ノズル列３３と平行に配設されている。また、第２ノズル孔３４ａも、ノズルプレート３５におけるＺ方向の下側の面に向かって徐々に先細りとなるように円錐台状に形成されている。さらに、各第２ノズル孔３４ａは、上記の第２アクチュエータプレート５１の吐出チャネル４３ａに対応する位置に形成されている。

（ノズルガード）
図５は、ノズルガード１０１の分解斜視図、図６は、図４のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
図３〜図６に示すように、ノズルガード１０１は、例えば厚さが約０．３ｍｍ程度のステンレス板により形成されている。ノズルガード１０１は、額縁状に形成された枠体１０２と、枠体１０２とは別体で構成されこの枠体１０２のＺ方向下側の開口部（以下、下開口部という）１０２ａを閉塞する蓋体１０３と、が一体化されたものである。

枠体１０２は、金属板（例えば、ステンレス板）にプレス加工を施して形成されたものである。枠体１０２の周壁１０４は、ノズルキャップ３６を構成する第１段差部３８の外周面３８ａに嵌合可能なように、Ｙ方向に長い長方形状に形成されている。周壁１０４の下開口部１０２ａ側の内周縁には、内フランジ部１０４ａがノズルプレート３５の各ノズル列３３，３４とＺ方向で重ならないように形成されている。換言すれば、各ノズル列３３，３４を、内フランジ部１０４ａによって塞がないように、この内フランジ部１０４ａが延出形成されている。

内フランジ部１０４ａは、蓋体１０３が載置されこの蓋体１０３と枠体１０２とを接合するための接合面１０５としての役割を有する。また内フランジ部１０４ａには、長手方向（Ｙ方向）両側で、且つ短手方向（Ｘ方向）の略中央に、それぞれ位置決め凹部１０６が１つずつ形成されている。位置決め凹部１０６は、枠体１０２と蓋体１０３との相対位置を決める役割を有している（詳細は後述する）。

図７は、蓋体１０３を枠体１０２側からみた平面図である。
図５〜図７に示すように、蓋体１０３は、Ｙ方向に長い長方形状の板材であり、内フランジ部１０４ａの内周縁の形状よりも若干小さくなる程度に形成された蓋本体１１５を有している。蓋本体１１５は、ノズルキャップ３６にノズルガード１０１を取り付けた状態で、ノズルプレート３５とＺ方向で対向する。蓋本体１１５には、ノズルプレート３５の各ノズル列３３，３４に対応する位置に、これらノズル列３３，３４を露出させる２つのスリット１０７が形成されている。したがって、２つのスリット１０７のＹ方向の長さは、各ノズル列３３，３４を構成する各ノズル孔３３ａ，３４ａの最外側同士の間隔よりも長く設定されている。

また、蓋本体１１５の外周部には、枠体１０２の内フランジ部１０４ａに当接する外フランジ部１０８が一体成形されている。外フランジ部１０８の外周形状の大きさは、枠体１０２の周壁１０４における外周面側の形状の大きさとほぼ同じになるように形成されている。さらに、外フランジ部１０８は、蓋本体１１５よりも薄肉に形成されている。このため、外フランジ部１０８の枠体１０２側の面は、蓋本体１１５との間に段差を介して延出した形になっている。この外フランジ部１０８の枠体１０２側の面は、枠体１０２と蓋体１０３とを接合するための接合面１０９として構成されている。

このような構成のもと、枠体１０２の内フランジ部１０４ａ（接合面１０５）に、外フランジ部１０８の段差が形成されている側の面（蓋本体１１５の裏面１１５ａ側の面）を、Ｚ方向下方（図５、図６における上方）から重ね合わせる。そして、これら内フランジ部１０４ａと外フランジ部１０８とを接着剤等により固定することで、ノズルガード１０１が形成される。

ここで、枠体１０２の内フランジ部１０４ａと、蓋体１０３の外フランジ部１０８とが重ね合わさることにより、枠体１０２に対する蓋体１０３の厚さ方向の位置決めが行われる。つまり、内フランジ部１０４ａ、および外フランジ部１０８は、互いを固定する接合面１０５，１０９としての役割を有しているだけではなく、枠体１０２に対する蓋体１０３の厚さ方向の位置決めを行う厚さ方向位置決め部としての役割も有している。

また、枠体１０２の内フランジ部１０４ａと、蓋体１０３の外フランジ部１０８とが重ね合わさった状態では、内フランジ部１０４ａの内周部側に、蓋本体１１５の外周部が嵌合された形になる。そして、蓋本体１１５の枠体１０２側の裏面１１５ａは、枠体１０２の内フランジ部１０４ａと面一か、または若干内フランジ部１０４ａから突出した位置になる。このため、ノズルキャップ３６にノズルガード１０１を取り付けた状態では、ノズルプレート３５に蓋本体１１５の裏面１１５ａが密接される。

さらに、蓋本体１１５は、内フランジ部１０４ａの内周縁の形状よりも若干小さくなる程度に形成されているので、枠体１０２に蓋体１０３を取り付けた状態では、蓋本体１１５と内フランジ部１０４ａとの間に若干のガタが生じる。ガタを持たせることで、枠体１０２と蓋体１０３との製造誤差を吸収できる。
ここで、蓋体１０３の接合面１０９には、枠体１０２の内フランジ部１０４ａに形成された位置決め凹部１０６に対応する位置に、この位置決め凹部１０６に挿入可能な位置決め凸部１１０が一体成形されている。位置決め凸部１１０は、位置決め凹部１０６に対し、Ｘ方向でガタつくことなく、且つＹ方向に対して多少のガタつきを持たせて挿入されるように形成されている。

位置決め凹部１０６に位置決め凸部１１０が挿入されることにより、枠体１０２に対する蓋体１０３の面方向の位置決めが行われる。とりわけ、位置決め凹部１０６および位置決め凸部１１０は、それぞれ枠体および蓋体１０３の長手方向（Ｙ方向）両側に設けられているので、枠体１０２に対する蓋体１０３の短手方向（Ｘ方向）の位置決めが高精度に行われる。
また、蓋体１０３の接合面１０９とは反対側の表面（インク吐出側の面）１０３ａは、平坦に形成されている。この表面１０３ａには、インクの付着等を防止するための撥水膜１１１が形成されている。

（液体噴射記録装置の動作）
次に、上記のように構成された液体噴射記録装置１により、被記録媒体Ｓに情報を記録する場合の動作について説明する。

この場合には、図１に示すように、例えば、一対の搬送機構２，３により被記録媒体Ｓを搬送方向Ｙに搬送させながら、走査手段６によりキャリッジユニット６２を介して各液体噴射ヘッド４を走査方向Ｘに往復移動させる。この間に、各液体噴射ヘッド４において、駆動制御部８０が駆動電極およびダミー電極（何れも不図示）に各フレキシブル基板９３，９４を介して電圧を印加する。これにより、駆動壁４４に圧電滑り変形を生じさせ、各液体噴射ヘッド４の吐出チャネル４３ａ内に充填されたインクに圧力波を発生させる。

この圧力波により、吐出チャネル４３ａの内圧が高まるので、インクをノズルプレート３５の各ノズル孔３３ａ，３４ａから吐出させることができる。この際、インクはノズルプレート３５の各ノズル孔３３ａ，３４ａ、およびノズルガード１０１の各スリット１０７を通過する際に、液滴状のインク滴となって吐出される。この結果、被記録媒体Ｓに、４色のインクを利用して、文字や画像等の各種情報が記録される。

（ノズルガードの蓋体の製造方法）
次に、図８〜図１１に基づいて、ノズルガード１０１の蓋体１０３の製造方法について説明する。
図８〜図１１は、蓋体１０３の製造工程を示す説明図である。
ここで、蓋体１０３は、例えばステンレス板等の金属板からなる母材プレート１２０から複数個取りされる。

まず、図８（ａ）に示すように、母材プレート１２０の、後に蓋体１０３の表面１０３ａとなる表面１２０ａに撥水膜処理を施し、撥水膜１１１を形成する。このとき、図８（ｂ）に示すように、母材プレート１２０の裏面１２０ｂ側の外周部（図８（ｂ）に示す斜線部）にも、多少撥水膜１１１が回り込んでもよい。詳細には後述するが、母材プレート１２０の外周部は、廃材となる箇所だからである。このため、裏面１２０ｂに撥水膜１１１が回り込んでもよい外周部の範囲は、後に廃材となる範囲によって規定される。

続いて、図９に示すように、母材プレート１２０の撥水膜１１１が形成されている側の面（表面１２０ａ）に保護フィルム１１３を貼り付けると共に、母材プレート１２０の裏面１２０ｂにレジスト１１２を貼り付ける。レジスト１１２は、所定のパターンに形成されている。具体的には、レジスト１１２は、母材プレート１２０の裏面１２０ｂのうち、後に蓋本体１１５および位置決め凸部１１０となる箇所以外が露出するようなパターンに形成されている（図１０参照）。

続いて、図１０に示すように、母材プレート１２０にエッチング処理を行う。このエッチング処理を行う箇所（レジスト１１２が貼り付けられていない箇所（図１０における斜線部参照））は、後に蓋体１０３の外フランジ部１０８となる箇所である。このため、エッチング処理は、このエッチング処理が施される箇所の母材プレート１２０の肉厚が、外フランジ部１０８と同一の厚さに加工される時点まで行う。そして、その時点でエッチング処理を終了させる。

エッチング処理が終了した後、母材プレート１２０から保護フィルム１１３およびレジスト１１２を剥がす。そして、図１１に示すように、母材プレート１２０に蓋体１０３の外周形状（図１１における２点鎖線参照）に沿ってレーザ加工を施し、複数の蓋体１０３を切り離す。このとき、同時にレーザ加工によってスリット１０７も形成する。これにより、蓋体１０３の製造が完了する。
なお、蓋体１０３が切り離された母材プレート１２０は、廃材となる。したがって、この廃材の外周部分が、母材プレート１２０に撥水膜処理を施す際、裏面１２０ｂに撥水膜１１１が回り込んでもよい箇所となる（図８（ｂ）に示す斜線部参照）。

そして、このように製造された蓋体１０３の接合面１０９と、予めプレス加工等により製造した枠体１０２の接合面１０５とを接着剤等により固定することにより、ノズルガード１０１が完成する（例えば、図４参照）。

このように、本第１実施形態では、ノズルガード１０１を枠体１０２と、枠体１０２とは別体で構成された蓋体１０３と、により構成されている。そして、枠体１０２に接合面１０５を設けると共に、蓋体１０３に接合面１０９を設け、これら接合面１０５，１０９同士を接着剤等により固定することで、枠体１０２と蓋体１０３とを一体化させている。このため、ノズルガード１０１の撥水膜１１１を形成する箇所のみ、つまり、蓋体１０３のみに、枠体１０２とは別工程で撥水膜処理を施すことができる。蓋体１０３は、プレス加工等による曲げ加工が必要ないので、撥水膜１１１の膜厚を均一にすることができる。このため、ノズルガード１０１の撥水性能を向上できる。

また、蓋体１０３のみに撥水膜処理を施すので、母材プレート１２０から蓋体１０３を切り離す前に撥水膜処理を施すことにより、複数の蓋体１０３に纏めて撥水膜１１１を形成することができる。このため、ノズルガード１０１ごとに別々に撥水膜１１１を形成する場合と比較して、ノズルガード１０１の製造コストを抑えることができる。

さらに、枠体１０２の内フランジ部１０４ａ（接合面１０５）に位置決め凹部１０６が形成されていると共に、蓋体１０３の外フランジ部１０８（接合面１０９）に位置決め凸部１１０が形成されている。このため、位置決め凹部１０６に位置決め凸部１１０を挿入するだけで、枠体１０２に対する蓋体１０３の面方向の位置決めを行うことができる。とりわけ、位置決め凹部１０６および位置決め凸部１１０は、それぞれ枠体および蓋体１０３の長手方向（Ｙ方向）両側に設けられているので、枠体１０２に対する蓋体１０３の短手方向（Ｘ方向）の位置決めを高精度に行うことができる。この結果、ノズルガード１０１（蓋体１０３）に形成されるスリット１０７と、ノズルプレート３５に形成される各ノズル列３３，３４（各ノズル孔３３ａ，３４ａ）の位置合わせを容易に行うことができる。

ここで、ノズルガード１０１に形成されているスリット１０７のスリット１０７のＹ方向の長さは、各ノズル列３３，３４を構成する各ノズル孔３３ａ，３４ａの最外側同士の間隔よりも長く設定されている。これに対し、各ノズル列３３，３４の間隔は、被記録媒体Ｓに記録される文字や画像等の密度（品質）を高めるためにできる限り短く設定される。このため、スリット１０７の短手方向の幅は、各ノズル列３３，３４の幅（各ノズル孔３３ａ，３４ａの直径）に対し、殆ど余裕がない。
このため、位置決め凹部１０６および位置決め凸部１１０により、枠体１０２に対する蓋体１０３の短手方向（Ｘ方向）の位置決めを高精度に行うことで、各ヘッドチップ３１，３２から吐出されるインク滴が、ノズルガード１０１に阻害されることを防止できる。この結果、被記録媒体Ｓに記録させる文字や画像等の品質を向上させることができる。

また、ノズルガード１０１は、枠体１０２に内フランジ部１０４ａを設けると共に、蓋体１０３に外フランジ部１０８を設け、これら内フランジ部１０４ａおよび外フランジ部１０８を、枠体１０２に対する蓋体１０３の厚さ方向の位置決めを行う厚さ方向位置決め部として機能させている。このため、枠体１０２に蓋体１０３を取り付けた際、蓋本体１１５の裏面１１５ａを、枠体１０２の内フランジ部１０４ａと面一とするか、または若干内フランジ部１０４ａから突出した位置とするか、簡素な構造ながら高精度に決定することができる。この結果、ノズルキャップ３６にノズルガード１０１を取り付けた状態で、ノズルプレート３５に蓋本体１１５の裏面１１５ａを密接させることができる。このように密接させることにより、各ノズル孔３３ａ，３４ａから吐出されたインク滴が蓋体１０３に阻害されてしまうことを防止できる。よって、液体噴射ヘッド４の吐出性能を向上させることができる。

また、ノズルガード１０１の蓋体１０３を製造するにあたり、母材プレート１２０の表面１２０ａに撥水膜処理を施した後、母材プレート１２０から蓋体１０３を切り離す前にエッチング処理を施している。このため、複数の蓋体１０３に纏めてエッチング処理を施して外フランジ部１０８を形成することができる。よって、ノズルガード１０１の製造コストを、さらに押えることができる。

なお、上記第１実施形態では、蓋体１０３を製造するにあたって、エッチング処理が終了した後、母材プレート１２０から保護フィルム１１３およびレジスト１１２を剥がし、その後、母材プレート１２０にレーザ加工を施してこの母材プレート１２０から複数の蓋体１０３を切り離す場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、母材プレート１２０から複数の蓋体１０３を切り離した後、保護フィルム１１３およびレジスト１１２を剥がしてもよい。
また、レーザ加工に代えてダイシングブレード等により、母材プレート１２０から複数の蓋体１０３を切り離してもよい。

さらに、上記第１実施形態では、枠体１０２の内フランジ部１０４ａにおける長手方向（Ｙ方向）両側に位置決め凹部１０６を設け、蓋体１０３の外フランジ部１０８における長手方向（Ｙ方向）両側に位置決め凸部１１０を設けた場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、枠体１０２側に位置決め凸部１１０を設け、蓋体１０３側に位置決め凹部１０６を設けてもよい。また、枠体１０２の短手方向両側に位置決め凹部１０６または位置決め凸部１１０の何れか一方を設け、他方を、蓋体１０３の短手方向両側に設けてもよい。

さらに、枠体１０２または蓋体１０３の何れか一方にのみ、他方の蓋体１０３の面方向の位置決めを行う面方向位置決め部を設けてもよい。例えば、枠体１０２または蓋体１０３の何れか一方に凸部を設け、この凸部を枠体１０２または蓋体１０３の何れか他方に当接させることにより、枠体１０２に対する蓋体１０３の面方向の位置決めを行うように構成してもよい。

また、上記第１実施形態では、枠体１０２に内フランジ部１０４ａを設け、この内フランジ部１０４ａを接合面１０５とすると共に、蓋体１０３に外フランジ部１０８を設け、この外フランジ部１０８を接合面１０９とする場合について説明した。そして、内フランジ部１０４ａに外フランジ部１０８の段差が形成されている側の面（蓋本体１１５の裏面１１５ａ側の面）を重ね合わせる場合について説明した。
しかしながら、枠体１０２と蓋体１０３とを固定する構成は、上記の構成に限られるものではない。例えば、以下のような構成が挙げられる。以下、図を参照してノズルガード１０１の他の実施形態について、具体的に説明する。

（第２実施形態）
図１２は、第２実施形態におけるノズルガード２０１の要部拡大断面図であって、上記図６に対応している。
なお、ノズルガード２０１は、例えば厚さが約０．３ｍｍ程度のステンレス板により形成されている点、額縁状に形成された枠体２０２と、枠体２０２とは別体で構成されこの下開口部２０２ａを閉塞する蓋体２０３と、が一体化されたものである点等の基本的構成が、上記第１実施形態のノズルガード１０１と同様である（以下の実施形態についても同様）。

ここで、第２実施形態におけるノズルガード２０１の枠体２０２に形成されている内フランジ部２０４ａには、内周側のノズルプレート３５（図１２では不図示）側の面（Ｚ方向上面）に、額縁状の接合フランジ部２２２が内周側に張り出すように一体成形されている。この接合フランジ部２２２の開口部２２２ａの大きさは、ノズルプレート３５の外周の形状よりも若干大きくなる程度に設定されている。

一方、第２実施形態における蓋体２０３は、蓋本体２１５のみで構成されており、外フランジ部１０８（図６参照）を備えていない。蓋本体２１５は、外周部を接合フランジ部２２２上に載置した状態で枠体２０２の内フランジ部２０４ａの内周部に嵌合されている。すなわち、接合フランジ部２２２と蓋本体２１５の外周部は、枠体２０２と蓋体２０３とを固定する接合面としての役割を有している。
なお、接合フランジ部２２２上に載置された蓋本体２１５は、ノズルプレート３５とは反対側の表面２１５ａが内フランジ部２０４ａとほぼ面一になっている。

このような構成のもと、ノズルキャップ３６（図３、図４参照）にノズルガード２０１を取り付けると、接合フランジ部２２２の開口部２２２ａ内にノズルプレート３５が臨まされ、このノズルプレート３５と蓋体２０３（蓋本体２１５）とが密接される。
したがって、上記第２実施形態では、前述の第１実施形態と同様の効果を奏する。

なお、上記第２実施形態では、接合フランジ部２２２上に載置された蓋本体２１５は、ノズルプレート３５とは反対側の表面２１５ａが内フランジ部２０４ａとほぼ面一になっている場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、内フランジ部２０４ａから蓋本体２１５がＺ方向下方に向かって若干突出するように構成してもよい。

ここで、液体噴射記録装置１は、ノズルプレート３５やノズルガード２０１（ノズルガード１０１も含む）に付着したインクを払拭させるワイパ（不図示）を備えている場合が多い。このワイパを払拭動作させることにより、ノズルプレート３５やノズルガード２０１に付着したインクを払拭する。このため、内フランジ部２０４ａから蓋本体２１５がＺ方向下方に向かって僅かに突出することにより、ワイパによるノズルガード２０１（蓋本体２１５）の払拭作業を行い易くすることができる。

（第３実施形態）
図１３は、第３実施形態におけるノズルガード３０１の要部拡大断面図であって、上記図６に対応している。なお、第３実施形態では、上記第１実施形態と同一態様には同一符号を付して説明を省略する。
ここで、第３実施形態では、枠体１０２の内フランジ部１０４ａに、外フランジ部１０８の段差が形成されている側の面（蓋本体１１５の裏面１１５ａ側の面）を、Ｚ方向上方（図１３における下方）から重ね合わせている。この点、上記第１実施形態と異なる点である。この場合、蓋本体１１５の裏面１１５ａは、上記第１実施形態と異なり、Ｚ方向下方（図１３における上方）を向くことになる。

このように構成した場合であっても、蓋体１０３とノズルプレート３５（図１３では不図示）とを密接させることができる。
なお、蓋本体１１５の裏面１１５ａは、枠体１０２の内フランジ部１０４ａと面一になるように構成してもよいし、内フランジ部１０４ａから若干突出するように構成してもよい。内フランジ部１０４ａから蓋本体１１５を若干突出させる場合、ワイパによるノズルガード３０１（蓋本体１１５）の払拭作業を行い易くすることができる。

本発明は上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上記実施形態に種々の変更を加えたものを含む。
例えば、上記第１実施形態から第３実施形態を適宜組み合わせて構成してもよい。
また、上記実施形態では、ノズルガード１０１，２０１，３０１は、例えばステンレス板により形成されている場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、さまざまな金属板でノズルガード１０１，２０１，３０１を形成することが可能である。

さらに、上記実施形態では、吐出部７０は、ノズルプレート３５に、複数のノズル孔（第１ノズル孔３３ａおよび第２ノズル孔３４ａ）からなるノズル列（第１ノズル列３３および第２ノズル列３４）が２列にわたって形成されるように、２つのヘッドチップ３１，３２（第１ヘッドチップ３１および第２ヘッドチップ３２）が積層されている場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、２つのヘッドチップ３１，３２を積層せずに、１つのヘッドチップで吐出部を構成してもよい。また、２つ以上の複数のヘッドチップを積層し、吐出部を構成してもよい。この場合、２つのヘッドチップ３１，３２を積層してなる吐出部７０を、複数段重ねる構成としてもよい。

また、上記実施形態では、液体噴射記録装置１の一例として、いわゆるインクジェットプリンタを挙げて説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であってもよい。
さらに、上記実施形態では、液体噴射ヘッド４が複数搭載された複数色用の液体噴射記録装置１について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、例えば、液体噴射ヘッド４が一つの単色用としてもよい。

また、上記実施形態では、エッジシュートタイプのヘッドチップ３１，３２を例に挙げて説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、チャネル４３の長手方向中央に臨むノズル孔からインクを吐出する、いわゆるサイドシュートタイプとしてもよい。

１…液体噴射記録装置、４…液体噴射ヘッド、６…走査手段、２５…液体収容体、２６…液体供給管、３３…第１ノズル列（ノズル列）、３３ａ…第１ノズル孔（ノズル孔）、３４…第２ノズル列、３４ａ…第２ノズル孔（ノズル孔）、３５…ノズルプレート、４１…第１アクチュエータプレート（アクチュエータプレート）、４３…チャネル、４３ａ…吐出チャネル、５１…第２アクチュエータプレート（アクチュエータプレート）、１０１，２０１，３０１…ノズルガード、１０２，２０２…枠体、１０２ａ…下開口部（開口部）、１０３，２０３…蓋体、１０４ａ…内フランジ部（厚さ方向位置決め部）、１０５，１０９…接合面（接合部）、１０６…位置決め凹部（面方向位置決め部）、１０７…スリット、１０８…外フランジ部（厚さ方向位置決め部）、１１０…位置決め凸部（面方向位置決め部）、１１１…撥水膜、１１５…蓋本体（蓋体）、１２０…母材プレート、２２２…接合フランジ部（接合部）

Claims (11)

1. 複数のノズル孔からなるノズル列を有するノズルプレートと、
   液体が充填されると共に前記ノズル孔に連通する複数のチャネルを有するアクチュエータプレートと、
   前記ノズルプレートを覆うように設けられ、前記ノズルプレートを保護するためのノズルガードと、
   を備え、
   前記ノズルガードは、
   前記ノズルプレートの周囲を取り囲むように形成された枠体と、
   前記枠体の開口部を閉塞すると共に前記ノズル列を露出させるスリットが形成されている蓋体と、
   を備え、
   前記枠体と前記蓋体はそれぞれ別体で構成されており、
   前記枠体および前記蓋体は、それぞれ互いに接合される接合部を有していることを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記枠体、および前記蓋体の少なくとも何れか一方は、前記枠体に対する前記蓋体の平面方向の位置決めを行う面方向位置決め部を備えていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記枠体および前記蓋体は、長方形状に形成されており、
   前記枠体および前記蓋体の対向する一対の側面に、それぞれ前記面方向位置決め部が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記枠体および前記蓋体の長手方向両側面に、それぞれ前記面方向位置決め部が設けられていることを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記枠体、および前記蓋体の少なくとも何れか一方は、前記枠体に対する前記蓋体の厚さ方向の位置決めを行う厚さ方向位置決め部を備えていることを特徴とする請求項１〜請求項４の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
6. 前記厚さ方向位置決め部は、前記蓋体の外周部に設けられた外フランジ部であることを特徴とする請求項５に記載の液体噴射ヘッド。
7. 前記厚さ方向位置決め部は、前記枠体の開口部の内周部に設けられた内フランジ部であることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の液体噴射ヘッド。
8. 請求項１〜請求項７の何れか１項に記載の液体噴射ヘッドと、
   前記液体噴射ヘッドを走査させる走査手段と、
   前記液体を収容する液体収容体と、
   前記液体噴射ヘッドと前記液体収容体との間に敷設され、液体を流通させる液体供給管と、
   を備えたことを特徴とする液体噴射記録装置。
9. 複数のノズル孔からなるノズル列を有するノズルプレートと、
   インクが充填されると共に前記ノズル孔に連通する複数のチャネルを有するアクチュエータプレートと、
   前記ノズルプレートを覆うように設けられ、前記ノズルプレートを保護するためのノズルガードと、
   を備えた液体噴射ヘッドの製造方法において、
   前記ノズルガードは、
   前記ノズルプレートの周囲を取り囲むように形成された枠体と、
   前記枠体とは別体で構成され、前記枠体の開口部を閉塞すると共に前記ノズル列を露出させるスリットが形成されている蓋体と、
   を接合して形成されたものであり、
   前記枠体に前記蓋体を接合する前に、前記蓋体の前記枠体との接合面とは反対側の面に、撥水膜処理を施すことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
10. 前記蓋体に前記撥水膜処理を施した後、前記蓋体の前記接合面に対応する箇所にエッチング処理を施し、前記枠体に接合させる外フランジを形成することを特徴とする請求項９に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
11. 前記蓋体は、１つの母材プレートから複数個切り離すことにより形成されるものであり、
    前記母材プレートに、予め前記撥水膜処理、および前記エッチング処理を施した後、前記母材プレートから前記蓋体が切り離されることを特徴とする請求項１０に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。

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