JP2020090054A - ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置 - Google Patents

Abstract

【課題】信頼性の低下を抑えることが可能なヘッドチップ、このヘッドチップを用いた液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置を提供する。【解決手段】ヘッドチップは、各々、ノズル孔に連通する複数の吐出チャネルと、前記吐出チャネル各々の内壁に設けられた電極とを有するアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに接合され、かつ、前記吐出チャネルに流入した液体が接触する液体接触面を有する被接着プレートと、前記被接着プレートと前記アクチュエータプレートとの間に設けられるとともに、前記被接着プレートと前記アクチュエータプレートとを接合する接着層と、前記吐出チャネル各々の内壁から、前記吐出チャネル側に露出された前記接着層の端面を介して前記液体接触面の少なくとも一部を連続して覆う保護膜とを備える。【選択図】図７

Description

本開示は、液体を噴射するヘッドチップ、このヘッドチップを用いた液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置に関する。

被記録媒体に画像を記録する記録装置として、液体噴射ヘッドを備えた液体噴射記録装置が知られており、その液体噴射ヘッドは、液体を噴射するヘッドチップを含んでいる。この液体噴射記録装置では、ヘッドチップから被記録媒体に液体が噴射されるため、その被記録媒体に画像が記録される。

このヘッドチップは、液体を噴射させるために電気的に駆動されるアクチュエータプレートを含んでいる。アクチュエータプレートには、複数の吐出チャネルが設けられている（例えば、特許文献１参照）。この吐出チャネルに液体が供給される。吐出チャネルに供給された液体が、ノズル孔を介して噴射される。

特開２０１６−５５５４４号公報

このようなヘッドチップでは、吐出チャネルに供給された液体が、吐出チャネル近傍の部材に影響を及ぼし、信頼性を低下させるおそれがある。

そこで、信頼性の低下を抑えることが可能なヘッドチップ、このヘッドチップを用いた液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置を提供することが望ましい。

本開示の一実施形態のヘッドチップは、各々、ノズル孔に連通する複数の吐出チャネルと、吐出チャネル各々の内壁に設けられた電極とを有するアクチュエータプレートと、アクチュエータプレートに接合され、かつ、吐出チャネルに流入した液体が接触する液体接触面を有する被接着プレートと、被接着プレートとアクチュエータプレートとの間に設けられるとともに、被接着プレートとアクチュエータプレートとを接合する接着層と、吐出チャネル各々の内壁から、吐出チャネル側に露出された接着層の端面を介して液体接触面の少なくとも一部を連続して覆う保護膜とを備えたものである。

本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドは、液体を噴射するヘッドチップと、そのヘッドチップに液体を供給する供給部と備え、そのヘッドチップが上記した本開示の一実施形態のヘッドチップと同様の構成を有するものである。

本開示の一実施形態の液体噴射記録装置は、被記録媒体に液体を噴射する液体噴射ヘッドと、その液体を収容する収容部とを備え、その液体噴射ヘッドが上記した本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドと同様の構成を有するものである。

本開示の一実施形態のヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置によれば、吐出チャネルに供給された液体に起因する吐出チャネル近傍の部材への影響を軽減し、信頼性の低下を抑えることが可能となる。

本開示の第１の実施形態の液体噴射記録装置（液体噴射ヘッド）の構成を表す斜視図である。 図１に示した液体噴射ヘッドの構成を模式的に表す平面図である。 図１に示した循環機構の構成を模式的に表す図である。 図２に示したノズルプレート、アクチュエータプレートおよびカバープレートのそれぞれの構成を表す斜視図である。 図４に示したアクチュエータプレートの構成を表す平面図である。 図５に示したＡ−Ａ線に沿ったノズルプレート、アクチュエータプレートおよびカバープレートのそれぞれの構成を表す断面図である。 図６の一部を拡大して表す断面図である。 図７に示した保護膜の構成の他の例を表す断面図である。 図２等に示した液体噴射ヘッドの製造方法の一例を表す工程図である。 図９に示した液体噴射ヘッドの製造方法の他の例を表す工程図である。 比較例に係る液体噴射ヘッドの要部の構成を表す断面図である。 変形例に係る液体噴射ヘッドの要部の構成を表す断面図である。 図１２の一部を拡大して表す断面図である。 図１３に示した保護膜の構成の他の例（１）を表す断面図である。 図１３に示した保護膜の構成の他の例（２）を表す断面図である。 図１３に示した保護膜の構成の他の例（３）を表す断面図である。 図１３に示した保護膜の構成の他の例（４）を表す断面図である。 図１３に示した保護膜の構成の他の例（５）を表す断面図である。 図１２等に示した液体噴射ヘッドの製造方法の一例を表す工程図である。 図１９に示した液体噴射ヘッドの製造方法の他の例を表す工程図である。 本開示の第２の実施の形態に係る液体噴射ヘッドの要部の構成を表す分解斜視図である。 図２１に示した液体噴射ヘッドの断面図である。 図２２に示した液体噴射ヘッドの他の断面図である。 図２３に示した液体噴射ヘッドの一部を拡大して表す断面図である。

以下、本開示の一実施形態に関して、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、説明する順序は、下記の通りである。

１．第１の実施の形態（インク循環を行うサイドシュート型の液体噴射ヘッドの例）
２．変形例（アクチュエータプレートとノズルプレートとの間に中間プレートを有する例）
３．第２の実施の形態（インク循環を行うエッジシュート型の液体噴射ヘッドの例）
４．その他の変形例

＜１．液体噴射記録装置（液体噴射ヘッド）＞
本開示の一実施形態の液体噴射記録装置に関して説明する。

なお、本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドは、ここで説明する液体噴射記録装置のうちの一部であるため、その液体噴射ヘッドに関しては、以下で併せて説明する。

＜１−１．液体噴射記録装置および液体噴射ヘッドのそれぞれの構成＞
最初に、液体噴射記録装置および液体噴射ヘッドのそれぞれの構成に関して説明する。

図１は、液体噴射記録装置の一具体例であるプリンタ１の斜視構成を表している。図２は、図１に示した液体噴射ヘッドの一具体例であるインクジェットヘッド４の平面構成を模式的に表している。図３は、図１に示した循環機構５の構成を模式的に表している。ただし、図１では、筐体１０の外縁（輪郭）を破線で示すことにより、その筐体１０の内部を示している。

このプリンタ１は、主に、被記録媒体である記録紙Ｐに対して、後述する記録用の液体であるインク９を用いて画像などを記録（印刷）するインクジェット方式のプリンタであり、いわゆるインクジェットプリンタである。

特に、ここで説明するプリンタ１は、例えば、循環機構５において循環されているインク９を用いるインク循環方式のインクジェットプリンタである。

具体的には、プリンタ１は、例えば、図１〜図３に示したように、筐体１０の内部に、一対の搬送機構２ａ，２ｂと、インクタンク３と、インクジェットヘッド４と、循環機構５と、走査機構６とを備えている。

なお、図１〜図３および後述する各図面では、プリンタ１に関する一連の構成要素の大きさを認識可能な大きさとするために、各構成要素の縮尺を適宜変更している。

［搬送機構］
一対の搬送機構２ａ，２ｂは、主に、プリンタ１に投入された記録紙Ｐを搬送方向Ｄ（Ｘ軸方向）に搬送させる機構である。

搬送機構２ａ，２ｂのそれぞれは、例えば、図１に示したように、グリッドローラ２１およびピンチローラ２２を含んでいる。グリッドローラ２１およびピンチローラ２２のそれぞれは、例えば、搬送方向Ｄと交差する方向（Ｙ軸方向）に延在しており、その方向に延在する回転軸を中心として回転可能である。また、搬送機構２ａ，２ｂのそれぞれは、例えば、図示しないモータなどの駆動機構に接続されており、その駆動機構の動力を利用して回転する。

ここでは、記録紙Ｐの平面形状は、例えば、互いに対向する一対の長辺と互いに対向する一対の短辺とにより規定される矩形である。これに伴い、搬送方向Ｄは、例えば、記録紙Ｐの長手方向に沿った方向（Ｘ軸方向）であると共に、搬送方向Ｄに交差する方向は、例えば、記録紙Ｐの短手方向に沿った方向（Ｙ軸方向）である。

［インクタンク］
インクタンク３は、主に、インク９を貯蔵する液体貯蔵部である。このインクタンク３が、本開示の「収容部」の一具体例に対応する。

インクタンク３の数は、特に限定されないため、１個だけでもよいし、２個以上でもよい。ここでは、プリンタ１は、例えば、図１に示したように、互いに異なる色のインク９を収容する４個のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋ）を備えている。インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋは、例えば、搬送方向Ｄ（Ｘ軸方向）において、上流側から下流側に向かってこの順に配列されている。

インクタンク３Ｙは、例えば、イエロー（Ｙ）のインク９を貯蔵している。インクタンク３Ｍは、例えば、マゼンタ（Ｍ）のインク９を貯蔵している。インクタンク３Ｃは、例えば、シアン（Ｃ）のインク９を貯蔵している。インクタンク３Ｋは、例えば、ブラック（Ｋ）のインク９を収容している。

インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋのそれぞれは、例えば、インク９の種類（色）が互いに異なることを除いて、互いに同様の構成を有している。以下では、必要に応じて、インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋをまとめて「インクタンク３」と総称する。

［インクジェットヘッド］
インクジェットヘッド４は、主に、記録紙Ｐに画像などを記録するために、その記録紙Ｐにインク９を噴射するデバイス（ヘッド）である。このインクジェットヘッド４では、特に、記録紙Ｐに液滴状のインク９が噴射される。

ここで説明するインクジェットヘッド４は、例えば、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッド４であり、後述する複数のチャネルＣ（図４〜図６参照）それぞれの延在方向（図４〜図６のＹ方向）の略中央領域からインク９を噴射する。すなわち、サイドシュートタイプのインクジェットヘッド４では、後述するように、アクチュエータプレート４２に設けられた各チャネルＣがＹ軸方向に延在しており、ノズルプレート４１に設けられた各ノズル孔ＨからＹ軸方向と交差するＺ軸方向にインク９が噴射される。

また、インクジェットヘッド４は、例えば、いわゆる循環式のインクジェットヘッド４であり、上記した循環機構５を利用してインクタンク３とインクジェットヘッド４との間において循環されるインク９を用いる。

具体的には、インクジェットヘッド４は、図２に示したように、ヘッドチップ４００と、流路プレート４４とを含んでいる。この流路プレート４４は、例えば、プレート状の流路部材である。ヘッドチップ４００および流路プレート４４のそれぞれは、例えば、所定の方向（Ｘ軸方向）に延在している。このヘッドチップ４００は、流路プレート４４の一面に対して沿うように延在していると共に、その流路プレート４４の一面に対して固定されている。

ヘッドチップ４００は、例えば、ノズルプレート４１と、アクチュエータプレート４２と、カバープレート４３とを含んでいる。ノズルプレート４１、アクチュエータプレート４２およびカバープレート４３は、流路プレート４４よりも遠い側からこの順に積層されている。ここで、ヘッドチップ４００が本開示の「ヘッドチップ」の一具体例に対応し、流路プレート４４が本開示の「供給機構」の一具体例に対応する。

インクジェットヘッド４の数は、特に限定されないため、１個だけでもよいし、２個以上でもよい。ここでは、プリンタ１は、例えば、図１に示したように、上記した４個のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋ）に対応して、互いに異なる色のインク９を噴射する４個のインクジェットヘッド４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋ）を備えている。インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋは、例えば、搬送方向Ｄと交差する方向（Ｙ軸方向）においてこの順に配列されている。

インクジェットヘッド４Ｙは、例えば、イエローのインク９を噴射する。インクジェットヘッド４Ｍは、例えば、マゼンタのインク９を噴射する。インクジェットヘッド４Ｃは、例えば、シアンのインク９を噴射する。インクジェットヘッド４Ｋは、例えば、ブラックのインク９を噴射する。

インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋのそれぞれは、例えば、インク９の種類（色）が互いに異なることを除いて、互いに同様の構成を有している。以下では、必要に応じて、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋをまとめて「インクジェットヘッド４」と総称する。

なお、ヘッドチップ４００（ノズルプレート４１、アクチュエータプレート４２およびカバープレート４３）の詳細な構成に関しては、後述する（図４〜図６参照）。

［循環機構］
循環機構５は、主に、インクタンク３とインクジェットヘッド４との間においてインク９を循環させる機構である。

この循環機構５は、例えば、図３に示したように、インク９の循環流路５０と、加圧ポンプ５１ａと、吸引ポンプ５１ｂとを含んでいる。

循環流路５０は、例えば、インクタンク３からインクジェットヘッド４に向かってインク９が流れる第１流路５０ａと、インクジェットヘッド４からインクタンク３に向かってインク９が流れる第２流路５０ｂとを含んでいる。

第１流路５０ａおよび第２流路５０ｂのそれぞれでは、例えば、チューブの内部にインク９が流れており、そのチューブは、例えば、可撓性を有するフレキシブルチューブなどである。

加圧ポンプ５１ａは、例えば、第１流路５０ａに設けられている。この加圧ポンプ５１ａは、第１流路５０ａの内部を加圧することにより、インクジェットヘッド４にインク９を供給する。

吸引ポンプ５１ｂは、例えば、第２流路５０ｂに設けられている。この吸引ポンプ５１Ｂは、第２流路５０ｂの内部を減圧することにより、インクジェットヘッド４からインク９を吸引する。

これにより、循環機構５では、例えば、循環方向Ｆに向かってインク９が流れる。すなわち、インクタンク３から供給されたインク９は、例えば、第１流路５０ａ、インクジェットヘッド４および第２流路５０ｂをこの順に経由することにより、そのインクタンク３に戻る。

［走査機構］
走査機構６は、主に、搬送方向Ｄと交差する方向（Ｙ軸方向）にインクジェットヘッド４を走査させる機構である。

この走査機構６は、例えば、図１に示したように、一対のガイドレール６１ａ，６１ｂと、キャリッジ６２と、駆動機構６３とを含んでいる。

ガイドレール６１ａ，６１ｂのそれぞれは、例えば、搬送方向Ｄと交差する方向（Ｙ軸方向）に延在している。キャリッジ６２は、例えば、ガイドレール６１ａ，６１ｂにより支持されており、そのガイドレール６１ａ，６１ｂに沿って搬送方向Ｄと交差する方向（Ｙ軸方向）に移動可能である。駆動機構６３は、例えば、一対のプーリ６３１ａ，６３１ｂと、無端状のベルト６３２と、駆動モータ６３３とを含んでいる。

一対のプーリ６３１ａ，６３１ｂは、例えば、ガイドレール６１ａ，６１ｂの間に配置されている。プーリ６３１ａ，６３１ｂのそれぞれは、例えば、ガイドレール６１ａ，６１ｂの両端近傍に対応する位置に、Ｙ軸方向に延在するように設けられている。ベルト６３２は、例えば、プーリ６３１ａ，６３１ｂの間において巻回されている。このベルト６３２は、例えば、キャリッジ６２に連結されており、そのキャリッジ６２の上には、例えば、インクジェットヘッド４が載置されている。

搬送機構２ａ，２ｂおよび走査機構６を移動機構として利用することにより、記録紙Ｐおよびインクジェットヘッド４のそれぞれは、相対的に移動可能である。

＜１−２．インクジェットヘッド４の具体的な構成＞
次に、インクジェットヘッド４（ノズルプレート４１、アクチュエータプレート４２、カバープレート４３および流路プレート４４）の具体的な構成に関して説明する。

図４は、図２に示したノズルプレート４１、アクチュエータプレート４２およびカバープレート４３のそれぞれの斜視構成を表している。ただし、図４では、ノズルプレート４１、アクチュエータプレート４２およびカバープレート４３が互いに離間された状態を示している。

図５は、図４に示したアクチュエータプレート４２の平面構成を表し、図６は、図５に示したＡ−Ａ線に沿ったノズルプレート４１、アクチュエータプレート４２およびカバープレート４３のそれぞれの断面構成を表している。図７は、図６に示した３つのチャネルＣに対応する部分を拡大して表している。

ただし、図５では、ノズル列４１１，４１２（複数のノズル孔Ｈ１，Ｈ２）を破線で示している。

［ノズルプレート］
ノズルプレート４１は、主に、後述するインク９の噴射口である複数のノズル孔Ｈが設けられたプレートである。

このノズルプレート４１は、アクチュエータプレート４２の一方の主面（図４〜図６のＸＹ平面）に、接着層ＡＬ１（図７）により貼り合わされている。このノズルプレート４１は、複数のチャネルＣ（後述する吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ）に対応する位置に複数のノズル孔Ｈを有している。第１の実施の形態では、このノズルプレート４１が、本開示の「被接着プレート」の一具体例に対応する。

また、ノズルプレート４１は、例えば、絶縁性材料のうちのいずれか１種類または２種類以上を含んでいる。絶縁性材料の種類は、特に限定されないが、例えば、ポリイミドなどの高分子材料である。なお、ノズルプレート４１は、例えば、絶縁性材料の代わりに導電性材料のうちのいずれか１種類または２種類以上を含んでいてもよい。導電性材料の種類は、特に限定されないが、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）などの金属材料である。ステンレス鋼の種類は、特に限定されないが、例えば、ＳＵＳ３１６ＬおよびＳＵＳ３０４などである。

具体的には、ノズルプレート４１は、例えば、図４〜図６に示したように、Ｙ軸方向において所定の間隔を隔てながら配列された複数のノズル列４１０を有している。各ノズル列４１０は、例えば、Ｘ軸方向に延在しており、複数のノズル孔Ｈを含んでいる。ノズル孔Ｈの開口形状（Ｚ軸方向から見たノズル孔Ｈの形状）は、例えば、円形である。

ここでは、ノズルプレート４１は、例えば、２列のノズル列４１０（４１１，４１２）を有している。このため、インクジェットヘッド４は、例えば、いわゆる２列タイプのインクジェットヘッドでる。

ノズル列４１１は、例えば、Ｘ軸方向において所定の間隔を隔てながら配列された複数のノズル孔Ｈ１を含んでいる。各ノズル孔Ｈ１は、ノズルプレート４１を貫通するようにＺ軸方向に延在しており、後述するアクチュエータプレート４２のうちの吐出チャネルＣ１ｅに連通されている。また、各ノズル孔Ｈ１は、Ｙ軸方向に延在する吐出チャネルＣ１ｅのうちの略中央領域に対応する位置に配置されている。Ｘ軸方向における複数のノズル孔Ｈ１のピッチ（互いに隣り合う２個のノズル孔Ｈ１の間の距離）は、例えば、Ｘ軸方向における吐出チャネルＣ１ｅのピッチ（互いに隣り合う２個の吐出チャネルＣ１ｅの間の距離）と同様である。これにより、各吐出チャネルＣ１ｅから供給されるインク９は、各ノズル孔Ｈ１から噴射される。

ノズル列４１２は、例えば、上記したノズル列４１１と同様の構成を有している。すなわち、ノズル列４１２は、例えば、Ｘ軸方向において所定の間隔を隔てながら配列された複数のノズル孔Ｈ２を含んでいる。各ノズル孔Ｈ２は、ノズルプレート４１を貫通しており、後述するアクチュエータプレート４２のうちの吐出チャネルＣ２ｅに連通されている。また、各ノズル孔Ｈ２は、Ｙ軸方向に延在する吐出チャネルＣ２ｅのうちの略中央領域に対応する位置に配置されている。Ｘ軸方向における複数のノズル孔Ｈ２のピッチ（互いに隣り合う２個のノズル孔Ｈの間の距離）は、例えば、Ｘ軸方向における複数の吐出チャネルＣ２ｅのピッチ（互いに隣り合う２個の吐出チャネルＣ２ｅの間の距離）と同様である。これにより、各吐出チャネルＣ２ｅから供給されるインク９は、各ノズル孔Ｈ２から噴射される。

即ち、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに供給されたインク９は、ノズルプレート４１のノズル孔Ｈ１，Ｈ２近傍に接触して噴射される。換言すれば、ノズルプレート４１は、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに流入したインク９が接触する面（以降、ノズルプレート４１の液体接触面と称する）を有している。例えば、インク９は、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに対向する位置のノズルプレート４１の主面、およびノズル孔Ｈ１，Ｈ２の内表面に接触する。ここでは、このノズルプレート４１のうち、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに供給されたインク９が接触する面が、本開示の「液体接触面」の一具体例に対応する。

ノズル孔Ｈ１，Ｈ２のそれぞれからインク９が噴射される方向は、上記したように、複数のチャネルＣの延在方向（Ｙ軸方向）と交差する方向（Ｚ軸方向）である。より具体的には、インク９の噴射方向は、アクチュエータプレート４２からノズルプレート４１に向かう方向（図４中の下方向）である。ノズル孔Ｈ１，Ｈ２のそれぞれの内径は、例えば、噴射方向に向かって次第に小さくなっている。すなわち、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２のそれぞれは、例えば、テーパ状の貫通口である。

［アクチュエータプレート］
アクチュエータプレート４２は、主に、複数のノズル孔Ｈからインク９を噴射させるために電気的に動作するプレートである。

このアクチュエータプレート４２は、上記したように、Ｙ軸方向に延在する複数のチャネルＣを有している。チャネルＣの開口形状（Ｚ軸方向から見たチャネルＣの形状）は、例えば、矩形である。各チャネルＣにインク９が収容されることにより、そのインク９が各ノズル孔Ｈのそれぞれから噴射される。

また、アクチュエータプレート４２は、例えば、圧電材料のうちのいずれか１種類または２種類以上を含んでいる。圧電材料の種類は、特に限定されないが、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などである。このアクチュエータプレート４２は、例えば、Ｚ軸方向における分極方向が互いに異なる方向となるように設定されている２枚の圧電基板が積層された積層体である（シェブロンタイプ）。

具体的には、アクチュエータプレート４２は、例えば、図４〜図６に示したように、Ｙ軸方向において所定の間隔を隔てながら配列された複数のチャネル列４２０を有している。各チャネル列４２０は、例えば、Ｘ軸方向に延在しており、複数のチャネルＣを含んでいる。ここでは、アクチュエータプレート４２は、例えば、２列のチャネル列４２０（４２１，４２２）を有している。

このアクチュエータプレート４２では、例えば、Ｘ軸方向における略中央領域（チャネル列４２１，４２２が形成されている領域）にインク９の噴射領域Ａ１が設けられていると共に、そのＸ軸方向における両端領域（チャネル列４２１，４２２が形成されていない領域）にインク９の非噴射領域Ａ２が設けられている。すなわち、非噴射領域Ａ２は、Ｘ軸方向において噴射領域Ａ１よりも外側に配置されている。

チャネル列４２１は、例えば、Ｙ軸方向に延在する複数のチャネルＣ１を含んでいる。複数のチャネルＣ１は、例えば、Ｘ軸方向において所定の間隔を隔てながら配列されている。各チャネルＣ１は、例えば、圧電体を含む駆動壁Ｗｄにより画定されている。この駆動壁Ｗｄが、本開示の「内壁」の一具体例に対応する。

チャネル列４２２は、例えば、上記したチャネル列４２１と同様の構成を有している。すなわち、チャネル列４２２は、例えば、Ｙ軸方向に延在する複数のチャネルＣ２を含んでいる。複数のチャネルＣ２は、例えば、Ｘ軸方向において所定の間隔を隔てながら配列されている。各チャネルＣ２は、例えば、圧電体を含む駆動壁Ｗｄにより画定されている。

複数のチャネルＣ１は、例えば、インク９を噴射させる吐出チャネルＣ１ｅと、インク９を噴射させないダミーチャネルＣ１ｄとを含んでいる。チャネル列４２１において、吐出チャネルＣ１ｅおよびダミーチャネルＣ１ｄは、例えば、Ｘ軸方向において交互に配置されている。各吐出チャネルＣ１ｅは、ノズルプレート４１に設けられた各ノズル孔Ｈ１に連通されている。これに対して、各ダミーチャネルＣ１ｄは、各ノズル孔Ｈ１に連通されておらずに、ノズルプレート４１により遮蔽されている。

複数のチャネルＣ２は、例えば、上記した複数のチャネルＣ１と同様の構成を有している。すなわち、複数のチャネルＣ２は、例えば、インク９を噴射させる吐出チャネルＣ２ｅと、インク９を噴射させないダミーチャネルＣ２ｄとを含んでいる。チャネル列４２２において、吐出チャネルＣ２ｅおよびダミーチャネルＣ２ｄは、例えば、Ｘ軸方向において交互に配置されている。各吐出チャネルＣ２ｅは、ノズルプレート４１に設けられた各ノズル孔Ｈ２に連通されている。これに対して、各ダミーチャネルＣ２ｄは、各ノズル孔Ｈ２に連通されておらずに、ノズルプレート４１により遮蔽されている。ここでは、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅが、本開示の「吐出チャネル」の一具体例に対応し、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄが、本開示の「非吐出チャネル」の一具体例に対応する。

吐出チャネルＣ１ｅおよびダミーチャネルＣ１ｄと、吐出チャネルＣ２ｅおよびダミーチャネルＣ２ｄとは、例えば、互い違いとなるように配列されている。すなわち、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅは、例えば、千鳥配列されている。なお、アクチュエータプレート４２のうち、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄのそれぞれに対応する領域には、例えば、浅溝部Ｄｄが設けられている。この浅溝部Ｄｄは、例えば、Ｙ軸方向に延在するダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄのそれぞれのうちの外側端部に連通されている。

このアクチュエータプレート４２では、例えば、駆動壁Ｗｄに対向する内側面に、Ｙ軸方向に延在する駆動電極Ｅｄが設けられている。この駆動電極Ｅｄは、例えば、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの内側面に設けられたコモン電極Ｅｄｃと、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄのそれぞれの内側面に設けられたアクティブ電極Ｅｄａとを含んでいる。ここでは、コモン電極Ｅｄｃが本開示の「共通電極」の一具体例に対応し、アクティブ電極Ｅｄａが本開示の「個別電極」の一具体例に対応する。駆動電極Ｅｄ（コモン電極Ｅｄｃおよびアクティブ電極Ｅｄａ）は、例えば、Ｚ軸方向においてアクチュエータプレート４２（駆動壁Ｗｄ）の一端部から他端部まで延在している。このため、Ｚ軸方向における駆動電極Ｅｄの寸法は、例えば、Ｚ軸方向における駆動壁Ｗｄの厚さとほぼ等しくなっている。Ｚ軸方向における駆動電極Ｅｄの寸法は、駆動壁Ｗｄの厚さよりも小さくなっていてもよい。駆動電極Ｅｄは、図７に示したように、保護膜Ｐにより覆われている。これにより、駆動電極Ｅｄとインク９との接触が抑えられ、駆動電極Ｅｄの腐食等の発生を抑えることが可能となる。

１個の吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）の内部において互いに対向する一対のコモン電極Ｅｄｃは、例えば、コモン端子を介して互いに電気的に接続されている。１個のダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）の内部において互いに対向する一対のアクティブ電極Ｅｄａは、例えば、互いに電気的に分離されている。吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）を介して互いに対向する一対のアクティブ電極Ｅｄａは、例えば、アクティブ端子を介して互いに電気的に接続されている。

アクチュエータプレート４２のＹ軸方向の端部には、例えば、駆動電極Ｅｄとインクジェットヘッド４とを互いに電気的に接続させるフレキシブルプリント基板４５が実装されている。ただし、図４では、フレキシブルプリント基板４５の一部の外縁（輪郭）を破線で示している。このフレキシブルプリント基板４５に形成されている配線は、例えば、上記したコモン端子およびアクティブ端子のそれぞれに電気的に接続されている。これにより、フレキシブルプリント基板４５を介してインクジェットヘッド４から各駆動電極Ｅｄに駆動電圧が印加される。

［接着層］
アクチュエータプレート４２とノズルプレート４１との間には、図７に示したように、接着層ＡＬ１が設けられている。この接着層ＡＬ１は、アクチュエータプレート４２とノズルプレート４１とを接合するためのものであり、例えばエポキシ系樹脂、アクリル系樹脂またはシリコーン系樹脂等を含む樹脂材料により構成されている。この接着層ＡＬ１は、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅからノズル孔Ｈ１，Ｈ２へのインク９の移動を妨げないよう、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅおよびノズル孔Ｈ１，Ｈ２を避けて設けられている。具体的には、アクチュエータプレート４２の駆動壁Ｗｄと、ノズルプレート４１のフィルム材との間に接着層ＡＬ１が設けられている。ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄがＡＬ１で塞がれることがないよう、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄとノズルプレート４１との間も避けて、接着層ＡＬ１を配置することが好ましい。これにより、駆動壁Ｗｄが正常に駆動される。ここでは、接着層ＡＬ１が、本開示の「接着層」の一具体例に対応する。

［保護膜］
保護膜Ｐは、例えば、図７に示したように、複数の吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）および複数のダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ１ｄ）各々に設けられ、吐出チャネルＣ１ｅおよびダミーチャネルＣ１ｄ各々の内側面および底面を覆っている。保護膜Ｐは、駆動電極Ｅｄを間にして吐出チャネルＣ１ｅおよびダミーチャネルＣ１ｄの内側面を覆っている。保護膜Ｐは、例えば、パラキシリレン系樹脂材料（例えば、パリレン（登録商標））等の有機絶縁材料を含んでいる。パラキシリレン系樹脂材料を用いて保護膜Ｐを形成することにより、保護膜Ｐの下側へのインク９の浸入を抑え、駆動電極Ｅｄ等の部材を確実に保護することが可能となる。

本実施の形態では、この保護膜Ｐが、吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）の内側面（駆動壁Ｗｄ）から、吐出チャネルＣ１ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面を介してノズルプレート４１の液体接触面（ノズル孔Ｈ１，Ｈ２近傍の面）までを覆っている。保護膜Ｐは、ノズルプレート４１の液体接触面を全て覆っていなくてもよく、接着層ＡＬ１側からノズルプレート４１の液体接触面の少なくとも一部を覆うように設けられていればよい。この保護膜Ｐは、吐出チャネルＣ１ｅから接着層ＡＬ１の端面を介してノズルプレート４１の液体接触面まで連続して設けられている。ここで、保護膜Ｐが連続して設けられているとは、吐出チャネルＣ１ｅからノズルプレート４１の液体接触面までの間に、保護膜Ｐの設けられていない領域および保護膜Ｐの断面が存在しないことを意味する。保護膜Ｐの断面は、例えば、アッシング等を用いて保護膜Ｐの一部を除去することにより形成される。

ここでは、このように連続して設けられた保護膜Ｐが、吐出チャネルＣ１ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面を覆っている。詳細は後述するが、これにより、インク９が吐出チャネルＣ１ｅに供給された際に、インク９が接着層ＡＬ１に侵入しにくくなる。また、アクチュエータプレート４２、接着層ＡＬ１およびノズルプレート４１のうち、インク９が接触する部分が保護膜Ｐにより連続して覆われる。即ち、インク９が接触する部分に、保護膜Ｐの断面がないので、保護膜Ｐの断面を介した保護膜Ｐの下側へのインク９の浸入が抑えられる。保護膜Ｐは、アクチュエータプレート４２の一方の主面（アクチュエータプレート４２と接着層ＡＬ１との間）およびノズルプレート４１の表面（アクチュエータプレート４２に貼り合わされた面と反対の面）に設けられていてもよい。保護膜Ｐは、ノズルプレート４１の表面に設けられていなくてもよい。例えば、ノズルプレート４１の表面にマスク用のフィルムを貼り合わせた後、保護膜Ｐを形成することにより、ノズルプレート４１の表面には保護膜Ｐが形成されないようにしてもよい。

図８は、図７に示した保護膜Ｐの構成の他の例を表している。保護膜Ｐは、吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）およびダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）のうち、少なくとも吐出チャネルＣ１ｅに設けられていればよい。例えば、ダミーチャネルＣ１ｄの内側面および底面は、保護膜Ｐにより覆われていなくてもよい（図８）。保護膜Ｐは、アクチュエータプレート４２の一方の主面に設けられていなくてもよい（図８）。

図７に示したように、ダミーチャネルＣ１ｄにも保護膜Ｐを設けることにより、仮に、飛散等により、ダミーチャネルＣ１ｄの延在方向（図４〜図６のＹ軸方向）の端部からインク９がダミーチャネルＣ１ｄ内に侵入しても、アクティブ電極Ｅｄａとインク９との接触が抑えられる。したがって、ヘッドチップ４００の信頼性の低下を抑えることが可能となる。

［カバープレート］
カバープレート４３は、主に、アクチュエータプレート４２（複数のチャネルＣ）にインク９を導入すると共に、そのアクチュエータプレート４２からインク９を排出させるプレートである。カバープレート４３は、アクチュエータプレート４２の他方の主面に貼り合わされている。

このカバープレート４３は、例えば、アクチュエータプレート４２の形成材料と同様の材料を含んでいる。

具体的には、カバープレート４３は、例えば、図４〜図６に示したように、アクチュエータプレート４２に設けられた複数のチャネルＣ１，Ｃ２（複数のチャネル列４２１，４２２）を遮蔽するように配置されている。

このカバープレート４３は、例えば、一対の入口側共通インク室４３１ａ，４３２ａと、一対の出口側共通インク室４３１ｂ，４３２ｂとを有している。入口側共通インク室４３１ａおよび出口側共通インク室４３１ｂのそれぞれは、例えば、アクチュエータプレート４２に設けられた複数のチャネル列４２１（複数のチャネルＣ１）に対応する領域に配置されている。入口側共通インク室４３２ａおよび出口側共通インク室４３２ｂのそれぞれは、例えば、アクチュエータプレート４２に設けられた複数のチャネル列４２２（複数のチャネルＣ２）に対応する領域に配置されている。

入口側共通インク室４３１ａは、Ｙ軸方向に延在する各チャネルＣ１のうちの一端部（内側端部）に対応する位置に設けられている。入口側共通インク室４３１ａのうち、各吐出チャネルＣ１ｅに対応する領域には、例えば、供給スリットＳａが形成されている。また、入口側共通インク室４３２ａは、Ｙ軸方向に延在する各チャネルＣ２のうちの一端部（内側端部）に対応する位置に設けられている。入口側共通インク室４３２ａのうち、各吐出チャネルＣ２ｅに対応する領域には、例えば、上記した入口共通インク室４３１ａと同様に、供給スリットＳａが形成されている。

出口側共通インク室４３１ｂは、入口側共通インク室４３１ａとは別に設けられており、Ｙ軸方向に延在する各チャネルＣ１のうちの他端部（外側端部）に対応する位置に配置されている。出口側共通インク室４３１ｂのうち、各吐出チャネルＣ１ｅに対応する領域には、例えば、排出スリットＳｂが形成されている。また、出口側共通インク室４３２ｂは、入口側共通インク室４３２ａとは別に設けられており、Ｙ軸方向に延在する各チャネルＣ２のうちの他端部（外側端部）に対応する位置に配置されている。出口側共通インク室４３２ｂのうち、各吐出チャネルＣ２ｅに対応する領域には、例えば、上記した出口側共通インク室４３１ｂと同様に、排出スリットＳｂが形成されている。

入口側共通インク室４３１ａおよび出口側共通インク室４３１ｂのそれぞれは、供給スリットＳａおよび排出スリットＳｂを介して各吐出チャネルＣ１ｅに連通されているのに対して、各ダミーチャネルＣ１ｄに連通されていない。すなわち、各ダミーチャネルＣ１ｄは、入口側共通インク室４３１ａおよび出口側共通インク室４３１ｂにより遮蔽されている。

入口側共通インク室４３２ａおよび出口側共通インク室４３２ｂのそれぞれは、供給スリットＳａおよび排出スリットＳｂを介して各吐出チャネルＣ２ｅに連通されているのに対して、各ダミーチャネルＣ２ｄに連通されていない。すなわち、各ダミーチャネルＣ２ｄは、入口側共通インク室４３２ａおよび出口側共通インク室４３２ｂにより遮蔽されている。

ここで、入口側共通インク室４３１ａ，４３２ａおよび供給スリットＳａが、本開示の「液体導入流路」の一具体例に対応し、出口側共通インク室４３１ｂ，４３２ｂおよび排出スリットＳｂが、本開示の「液体排出流路」の一具体例に対応する。

［流路プレート］
流路プレート４４は、図２に示したように、カバープレート４３の上面に配置されており、インク９が流れる所定の流路（不図示）を有している。また、このような流路プレート４４内の流路には、前述した循環機構５における流路が接続されており、この流路に対するインク９の流入と、この流路からのインク９の流出とが、それぞれなされるようになっている。なお、上述したように、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄはカバープレート４３の底部によって閉塞されるようになっているので、インク９は、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのみに供給され、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄには流入しない。

＜１−４．インクジェットヘッドの製造方法＞
次に、図９を用いてインクジェットヘッド４の製造方法について説明する。図９は、インクジェットヘッド４の製造方法の一例を工程順に表したものである。

まず、チャネル形成工程（ステップＳ１）および電極形成工程（ステップＳ２）により、アクチュエータウェハを形成する。このアクチュエータウェハを分割する（ステップＳ５）ことにより、複数のアクチュエータプレート４２が形成される。具体的には、例えば、以下のようにしてアクチュエータウェハを形成する。

まず、ＰＺＴ等の圧電材料からなる圧電基板を準備する。圧電基板は、例えば、厚み方向における分極方向が互いに逆方向の２枚の圧電基板の積層体により形成する。次いで、この圧電基板の表面に、例えば、フォトリソグラフィ法を用いてレジスト膜のパターンを形成する。続いて、このレジスト膜のパターンを形成した圧電基板の表面から研削加工を行い、複数の溝を形成する。これにより、チャネルＣ１，Ｃ２が形成される（ステップＳ１）。

次に、例えば、斜方蒸着法を用いて、チャネルＣ１，Ｃ２内の内側面に金属材料を成膜する。これにより、駆動電極Ｅｄが形成される（ステップＳ２）。この後、レジスト膜を除去することにより、吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）内に形成されたアクティブ電極Ｅｄａと、ダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）内に形成されたコモン電極Ｅｄｃとが電気的に分離される（リフトオフ法）。

このようにしてアクチュエータウェハを形成した後、このアクチュエータウェハの表面に、接着剤を用いてカバーウェハを貼り合わせる（ステップＳ３）。続いて、カバーウェハの表面に、接着剤を用いて流路ウェハを貼り合わせる（ステップＳ４）。カバーウェハを分割する（ステップＳ５）ことにより、複数のカバープレート４３が形成され、流路ウェハを分割する（ステップＳ５）ことにより、複数の流路プレート４４が形成される。

アクチュエータウェハに、カバーウェハおよび流路ウェハをこの順に貼り合わせた後、これらの積層体を、例えばダイサー等を用いてチップ状に分割する（ステップＳ５）。これにより、互いに接合されたアクチュエータプレート４２、カバープレート４３および流路プレート４４が形成される。

次に、アクチュエータプレート４２の一方の主面（カバープレート４３が貼り合わされた主面と反対側の主面）およびチャネルＣ１，Ｃ２内に保護膜Ｐを形成する（ステップＳ６）。保護膜Ｐは、例えば、化学蒸着法等を用いてパラキシリレン系樹脂材料を成膜することにより形成する。保護膜Ｐは、アクチュエータプレート４２の一方の主面から、チャネルＣ１，Ｃ２の開口を介してチャネルＣ１，Ｃ２の内側面および底面に連続して成膜される。保護膜Ｐを形成した後、アクチュエータプレート４２の一方の主面にプラズマ照射等の表面処理を施す。これにより、ノズルプレート４１をアクチュエータプレート４２に貼り合わせる際（ステップＳ７）に、保護膜Ｐに起因した接着力の低下を抑えることができる。

続いて、アクチュエータプレート４２の一方の主面に、接着層ＡＬ１を介してノズルプレート４１を貼り合わせる（ステップＳ７）。この後、ノズルプレート４１の表面から、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２を介して吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内まで連続して保護膜Ｐを形成する（ステップＳ８）。これにより、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２近傍から、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面を介して吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内まで連続して保護膜Ｐが形成される。このようにして、図２〜図７等に示したインクジェットヘッド４を製造することができる。

図１０は、インクジェットヘッド４の製造工程の他の例を表している。このように、保護膜Ｐの形成工程を一回にするようにしてもよい。この製造方法では、ノズルプレート４１の貼合せ工程（ステップＳ７）の前の保護膜Ｐの形成工程（図９のステップＳ６）を行わず、ステップＳ７の工程後に保護膜Ｐを形成している（ステップＳ８）。この製造方法では、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの内側面および底面には、保護膜Ｐが形成されない（図８参照）。

ここでは、インクジェットヘッド４（ヘッドチップ４００）がサイドシュートタイプであり、アクチュエータプレート４２の一方の主面に設けられた吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの開口に、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２が連通される。このようなサイドシュートタイプのインクジェットヘッド４は、エッジシュートタイプのインクジェットヘッド（例えば、後述の図２０のインクジェットヘッド４Ｂ）に比べて、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２に連通される吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの開口が広くなっている。したがって、アクチュエータプレート４２とノズルプレート４１とを、接着層ＡＬ１を介して接合した後に、保護膜Ｐを形成しても（ステップＳ８）、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅからノズル孔Ｈ１，Ｈ２への連通部分で保護膜Ｐを形成するための樹脂材料が流動しやすい。これにより、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面を覆う保護膜Ｐを厚く形成し易くなる。

また、インクジェットヘッド４（ヘッドチップ４００）は、インクタンク３からのインク９の導入流路と、インクタンク３へのインク９の排出流路とを有している。即ち、インクジェットヘッド４は、循環型のインクジェットヘッドであり、非循環型のインクジェットヘッドに比べて、流体が移動しやすくなっている。したがって、アクチュエータプレート４２とノズルプレート４１とを接着層ＡＬ１を介して接合した後に、保護膜Ｐを形成しても（ステップＳ８）、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅからノズル孔Ｈ１，Ｈ２への連通部分で保護膜Ｐを形成するための樹脂材料が流動しやすい。この点においても、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面を覆う保護膜Ｐを厚く形成し易い。

＜１−４．動作＞
次に、プリンタ１の動作に関して説明する。

［プリンタの動作］
まず、プリンタ１全体の動作を説明する。このプリンタ１では、以下の手順により、記録紙Ｐに画像などが記録される。

初期状態では、４個のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋ）に、互いに異なる４色（イエロー、マゼンタ、シアンおよびブラック）のインク９が収容されている。このインク９は、循環機構５において循環されることにより、インクジェットヘッド４に供給されている。

プリンタ１が稼働すると、搬送機構２ａ，２ｂのそれぞれのグリッドローラ２１が回転するため、グリッドローラ２１およびピンチローラ２２により記録紙Ｐが搬送方向Ｄに搬送される。この場合には、駆動機構６３（駆動モータ６３３）が駆動するため、プーリ６３１ａ，６３１ｂのそれぞれが回転することにより、ベルト６３２が作動する。また、キャリッジ６２がガイドレール６１ａ，６１ｂを利用してＹ軸方向に往復移動する。これにより、４個のインクジェットヘッド４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋ）から記録紙Ｐに４色のインク９が噴射されるため、その記録紙Ｐに画像などが記録される。

［インクジェットヘッドの動作］
次に、プリンタ１の稼働時におけるインクジェットヘッド４の動作に関して説明する。このインクジェットヘッド４では、以下の手順により、せん断（シェア）モードを用いて記録紙Ｐにインク９が噴射される。

最初に、キャリッジ６２が往復移動すると、フレキシブルプリント基板４５を介して、インクジェットヘッド４のうちの駆動電極Ｅｄ（コモン電極Ｅｄｃおよびアクティブ電極Ｅｄａ）に駆動電圧が印加される。具体的には、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれを画定する一対の駆動壁Ｗｄに設けられた各駆動電極Ｅｄに駆動電圧が印加される。これにより、一対の駆動壁Ｗｄのそれぞれは、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれに隣接されたダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄに向かって突出するように変形する。

ここで、上記したように、アクチュエータプレート４２では、Ｚ軸方向における分極方向が互いに異なる方向となるように設定された２枚の圧電基板が積層されていると共に、そのＺ軸方向において駆動電極Ｅｄが駆動壁Ｗｄの一端部から他端部まで延在している。この場合には、駆動電極Ｅｄに駆動電圧が印加されることにより、圧電厚み滑り効果によって、Ｚ軸方向における駆動壁Ｗｄの略中間位置を起点として、その駆動壁Ｗｄが屈曲変形する。これにより、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれは、上記した駆動壁Ｗｄの屈曲変形を利用して、あたかも膨らむように変形する。

上記した圧電厚み滑り効果に基づく一対の駆動壁Ｗｄの屈曲変形を利用して、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの容積が増大する。これにより、入口側共通インク室４３１ａ，４３２ａのそれぞれに貯留されたインク９は、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの内部に誘導される。

続いて、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの内部に誘導されたインク９は、圧力波として吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの内部に伝播する。この場合には、ノズルプレート４１に設けられたノズル孔Ｈ１，Ｈ２に圧力波が到達したタイミングにおいて、駆動電極Ｅｄに印加される駆動電圧がゼロ（０Ｖ）になる。これにより、屈曲変形した駆動壁Ｗｄが元の状態に戻るため、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの容積が元に戻る。

最後に、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの容積が元に戻ると、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの内部において圧力が増加するため、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの内部に誘導されたインク９が加圧される。これにより、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２から外部（記録紙Ｐ）に液滴状のインク９が噴射される。

この場合には、例えば、上記したように、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２のそれぞれの内径が噴射方向に向かって次第に小さくなっているため、インク９の噴射速度が増加すると共に、そのインク９の直進性が向上する。これにより、記録紙Ｐに記録される画像などの品質が向上する。

＜１−５．作用および効果＞
次に、インクジェットヘッド４（ヘッドチップ４００）を備えたプリンタ１の作用および効果に関して説明する。

本実施の形態にかかるヘッドチップ４００、インクジェットヘッド４およびプリンタ１では、保護膜Ｐが、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内から、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面を介してノズルプレート４１の液体接触面までを覆っている。即ち、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面全面が保護膜Ｐに覆われている。これにより、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内のインク９が接着層ＡＬ１に侵入しにくくなる。以下、この作用効果について、比較例を用いて説明する。

図１１は、比較例に係るヘッドチップ１４０の要部の断面構成を模式的に表したものであり、図７に対応する部分を表している。この比較例に係るヘッドチップ１４０では、保護膜Ｐが吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面を覆っていない。この保護膜Ｐは、例えば、接着層ＡＬ１を介してアクチュエータプレート４２にノズルプレート４１を貼り合わせる前に形成されたものであり、アクチュエータプレート４２の表面（ノズルプレート４１に貼り合わされた面）から吐出チャネルＣ１ｅ，ダミーチャネルＣ１ｄの内側面および底面を覆っている。

このようなヘッドチップ１４０では、吐出チャネルＣ１ｅに誘導されたインク９が接着層ＡＬ１に直接触れるため、端面を介してインク９が接着層ＡＬ１に浸入しやすい。接着層ＡＬ１に侵入したインク９は、接着層ＡＬ１内を移動する。これにより、インク９の成分が接着層ＡＬ１を介して吐出チャネルＣ１ｅからダミーチャネルＣ１ｄに浸みだすおそれがある。インク９の成分が吐出チャネルＣ１ｅからダミーチャネルＣ１ｄに浸みだすと、吐出チャネルＣ１ｅに設けられたコモン電極Ｅｄｃと、ダミーチャネルＣ１ｄに設けられたアクティブ電極Ｅｄａとの短絡が発生するおそれがある。また、接着層ＡＬ１に侵入したインク９が、接着層ＡＬ１の接着力を低下させ、ノズルプレート４１がアクチュエータプレート４２から剥がれるおそれがある。これにより、ヘッドチップ１４０では信頼性が低下する。

これに対し、ヘッドチップ４００では、ノズルプレート４１をアクチュエータプレート４２に貼り合わせた後に、保護膜Ｐを形成しており（図９，図１０のステップＳ８）、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面が保護膜Ｐにより覆われている。これにより、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内のインク９は、接着層ＡＬ１の端面に直接触れず、接着層ＡＬ１へのインク９の浸入が抑えられる。したがって、接着層ＡＬ１に侵入したインク９に起因するコモン電極Ｅｄｃとアクティブ電極Ｅｄａとの間の短絡の発生、および接着層ＡＬ１の接着力の低下を抑えることができる。よって、ヘッドチップ４００では、ヘッドチップ１４０に比べて信頼性の低下を抑えることが可能となる。

また、ここでは、ノズルプレート４１を貼り合わせる（図９，図１０のステップＳ７）前に、アクチュエータプレート４２の表面にプラズマ照射等の表面処理を施している。これにより、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅからノズルプレート４１の液体接触面まで連続した保護膜Ｐを形成することができる。

例えば、保護膜Ｐを形成した後（図９のステップＳ６）、アクチュエータプレート４２の表面にアッシングを施し、アクチュエータプレート４２の表面に成膜された保護膜Ｐを除去することも考え得る。アクチュエータプレート４２の表面の保護膜Ｐを除去しておくことにより、アクチュエータプレート４２とノズルプレート４１との接着性を高めることができる。しかし、このようなアッシングを保護膜Ｐに施すと、保護膜Ｐに断面が形成され、この断面から保護膜Ｐの下側にインク９が浸入しやすくなる。即ち、保護膜Ｐの保護機能が十分に維持できなくなる。これにより、インク９の成分に起因した駆動電極Ｅｄ等の不具合が発生するおそれがある。駆動電極Ｅｄの不具合とは、例えば、インク９の成分に起因した駆動電極Ｅｄの腐食および駆動電極Ｅｄの短絡等である。

ここでは、上記のように、アクチュエータプレート４２に保護膜Ｐを形成した後、アクチュエータプレート４２の表面に、アッシングに代えて、プラズマ照射等の表面処理を施している。このため、保護膜Ｐの保護機能を損なうことなく、アクチュエータプレート４２をノズルプレート４１に十分な強度で接着することができる。よって、保護膜Ｐの保護機能の低下に起因した駆動電極Ｅｄの不具合の発生を抑え、ヘッドチップ４００の信頼性の低下を抑えることができる。

以上のように本実施の形態のヘッドチップ４００、インクジェットヘッド４およびプリンタ１では、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面が、保護膜Ｐにより覆われているので、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内のインク９が、接着層ＡＬ１に侵入しにくくなる。これにより、接着層ＡＬ１にインク９が浸入することに起因したヘッドチップ４００、インクジェットヘッド４およびプリンタ１の信頼性の低下を抑えることが可能となる。即ち、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに供給されたインク９に起因する吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ近傍の部材への影響を軽減し、信頼性の低下を抑えることが可能となる。

また、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内から、接着層ＡＬ１の端面を介してノズルプレート４１の液体接触面まで連続して保護膜Ｐが形成されているので、保護膜Ｐの保護機能の低下が抑えられる。この点においてもヘッドチップ４００、インクジェットヘッド４およびプリンタ１の信頼性の低下を抑えることが可能となる。

特に、循環型のサイドシュートタイプであるヘッドチップ４００では、ヘッドチップ４００内の流路を流体が移動し易くなっている。したがって、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面に、十分に厚い保護膜Ｐを容易に形成することができる。

続いて、上記第１の実施の形態の変形例および他の実施の形態について説明する。なお、以下では、上記第１の実施の形態における構成要素と実質的に同一のものには同一の符号を付し、適宜説明を省略する。

＜２．変形例＞
図１２および図１３は、上記第１の実施の形態の変形例に係るインクジェットヘッド４Ａの要部の断面構成を表している。図１２は、上記第１の実施の形態のインクジェットヘッド４を表す図６に対応している。図１３は、図１２に示した３つのチャネルＣに対応する部分を拡大して表したものであり、上記第１の実施の形態のインクジェットヘッド４を表す図７に対応している。変形例に係るインクジェットヘッド４Ａは、ノズルプレート４１とアクチュエータプレート４２との間に中間プレート４６を有している。インクジェットヘッド４Ａは、この点を除き、インクジェットヘッド４と実質的に同じ構成を有しており、上記第１の実施の形態のインクジェットヘッド４と同様の効果が得られる。

中間プレート４６は、例えば、ノズルプレート４１とアクチュエータプレート４２との間に介在することにより、これらノズルプレート４１とアクチュエータプレート４２とを互いに位置合わせするためなどに用いられるプレートである。中間プレート４６は、ノズルプレート４１とアクチュエータプレート４２との間に設けられていればよく、例えば、他の役割を担っていてもよい。中間プレート４６とアクチュエータプレート４２との間には接着層ＡＬ１が設けられており、接着層ＡＬ１により、中間プレート４６がアクチュエータプレート４２に接合されている。本変形例では、中間プレート４６が、本開示の「被接着プレート」の一具体例に対応し、接着層ＡＬ１が、本開示の「接着層」の一具体例に対応する。

中間プレート４６とノズルプレート４１との間には接着層ＡＬ２が設けられており、接着層ＡＬ２により、ノズルプレート４１が中間プレート４６に接合されている。接着層ＡＬ２は、例えばエポキシ系、アクリル系樹脂またはシリコーン系樹脂等を含む樹脂材料により構成されている。

ノズルプレート４１とアクチュエータプレート４２との間に中間プレート４６を介在させることにより、中間プレート４６とアクチュエータプレート４２との間の接着層ＡＬ１に加えて、中間プレート４６とノズルプレート４１との間の接着層ＡＬ２が形成される。即ち、プレート間の接合面積が増え、プレート間の剥がれが生じにくくなる。よって、インクジェットヘッド４Ａでは、プレート間の剥がれを抑え、信頼性を向上させることが可能となる。

この中間プレート４６は、例えば、絶縁性材料のうちのいずれか１種類または２種類以上を含んでいるため、絶縁性を有している。絶縁性材料の種類は、特に限定されないが、例えば、ポリイミドおよびポリパラキシリレンなどの高分子材料である。

ノズルプレート４１およびアクチュエータプレート４２は、中間プレート４６を介して互いに張り合わされている。これにより、導電性のノズルプレート４１と導電性のアクチュエータプレート４２とは、例えば、絶縁性の中間プレート４６を介して電気的に分離（絶縁）される。したがって、ノズルプレート４１の形成材料として導電性材料を使用しても、インク９を介したノズルプレート４１とアクチュエータプレート４３との間の短絡の発生を抑えることができる。

中間プレート４６は、例えば、複数の吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）および複数のノズル孔Ｈ１（またはノズル孔Ｈ２）それぞれに対応する位置に連通孔４６Ｍを有している。連通孔４６Ｍは、中間プレート４６を厚み方向（図１２，図１３のＺ方向）に貫通しており、吐出チャネルＣ１ｅおよびノズル孔Ｈ１に連通している。ここでは、連通孔４６Ｍが、本開示の「連通孔」の一具体例に対応する。吐出チャネルＣ１ｅに供給されたインク９は、中間プレート４６の連通孔４６Ｍを通り、ノズル孔Ｈ１から噴射されるようになっている。換言すれば、中間プレート４６は、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに流入したインク９が接触する面（以降、中間プレート４６の液体接触面と称する）を有している。例えば、インク９は、連通孔４６Ｍの内表面に接触する。ここでは、この中間プレート４６のうち、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに供給されたインク９が接触する面が、本開示の「液体接触面」の一具体例に対応する。接着層ＡＬ２は、連通孔４６Ｍからノズル孔Ｈ１，Ｈ２へのインク９の移動を妨げないよう、連通孔４６Ｍおよびノズル孔Ｈ１，Ｈ２を避けて設けられている。

連通孔４６Ｍは、例えば、吐出チャネルＣ１ｅに対応する位置にスリット状に設けられている。このスリット状の連通孔４６Ｍは、例えば、吐出チャネルＣ１ｅの延在方向と略平行（図１２のＹ軸方向）に延びている。例えば、中間プレート４６が、上記のように、ノズルプレート４１とアクチュエータプレート４２との間の位置合わせの役割を担っているとき、連通孔４６Ｍの幅（図１２のＸ軸方向の大きさ）の大きさが、例えば、吐出チャネルＣ１ｅの幅の大きさよりも大きくなっていることが好ましい。吐出チャネルＣ１ｅの幅が十分に大きいとき、連通孔４６Ｍの幅が、吐出チャネルＣ１ｅの幅の大きさと同じであってもよく、あるいは、吐出チャネルＣ１ｅの幅の大きさよりも小さくなっていてもよい。連通孔４６Ｍは、例えば、略円状の平面形状を有していてもよく、この略円状の連通孔４６Ｍがノズル孔Ｈ１に対応する位置に設けられていてもよい。アクチュエータプレート４２の一方の主面に設けられたダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）の開口は、中間プレート４６により塞がれている。

保護膜Ｐは、例えば、吐出チャネルＣ１ｅ内から、吐出チャネルＣ１ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面、中間プレート４６の液体接触面および連通孔４６Ｍ側に露出された接着層ＡＬ２の端面を介してノズルプレート４１の液体接触面まで連続して設けられている（図１３）。保護膜Ｐは、アクチュエータプレート４２の一方の主面、中間プレート４６の表面（アクチュエータプレート４２に貼り合わされた面と反対の面）およびノズルプレート４１の表面に設けられていてもよい。

図１４〜図１８は、図１３に示した保護膜Ｐの構成の他の例を表している。保護膜Ｐは、図１４および図１５に示したように、少なくとも、吐出チャネルＣ１ｅ内から、吐出チャネルＣ１ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面を介して中間プレート４６の液体接触面まで連続して設けられていればよい。これにより、吐出チャネルＣ１ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面が保護膜Ｐに覆われるので、接着層ＡＬ１へのインク９の浸入に起因したインクジェットヘッド４Ａの信頼性の低下を抑えることが可能となる。保護膜Ｐは、ノズルプレート４１の表面に設けられていなくてもよく（図１４）、中間プレート４６の表面に設けられていなくてもよい（図１５）。

上記第１の実施の形態で説明したのと同様に、ダミーチャネルＣ１ｄ内にも保護膜Ｐが設けられていることが好ましいが、図１６、図１７および図１８に示したように、ダミーチャネルＣ１ｄ内側面および底面には保護膜Ｐが設けられていなくてもよい。保護膜Ｐは、アクチュエータプレート４２の一方の主面に設けられていなくてもよく（図１６）、あるいは、アクチュエータプレート４２の一方の主面およびノズルプレート４１の表面に設けられていなくてもよい（図１７）。アクチュエータプレート４２の一方の主面および中間プレート４６の表面に保護膜Ｐが設けられていなくてもよい（図１８）。

次に、図１９を用いてインクジェットヘッド４Ａの製造方法について説明する。図１９は、インクジェットヘッド４Ａの製造方法の一例を工程順に表したものである。

まず、上記第１の実施の形態で説明したのと同様に、チャネル形成工程（ステップＳ１）、電極形成工程（ステップＳ２）、カバーウェハ貼合せ工程（ステップＳ３）、流路ウェハ貼合せ工程（ステップＳ４）および分割工程（ステップＳ５）をこの順に行う。これにより、互いに接合されたアクチュエータプレート４２、カバープレート４３および流路プレート４４が形成される。

次に、アクチュエータプレート４２の一方の主面（カバープレート４３が貼り合わされた主面と反対側の主面）およびチャネルＣ１，Ｃ２内に保護膜Ｐを形成する（ステップＳ６）。保護膜Ｐは、アクチュエータプレート４２の一方の主面から、チャネルＣ１，Ｃ２の開口を介してチャネルＣ１，Ｃ２の内側面および底面に連続して成膜される。保護膜Ｐを形成した後、アクチュエータプレート４２の一方の主面にプラズマ照射等の表面処理を施す。これにより、中間プレート４６をアクチュエータプレート４２に貼り合わせる際（ステップＳ９）に、保護膜Ｐに起因した接着力の低下を抑えることができる。

続いて、アクチュエータプレート４２の一方の主面に、接着層ＡＬ１を介して中間プレート４６を貼り合わせる（ステップＳ９）。この後、中間プレート４６の表面から、連通孔４６Ｍを介して吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内まで連続して保護膜Ｐを形成する（ステップＳ１０）。これにより、連通孔４６Ｍ近傍から、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面を介して吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内まで連続して保護膜Ｐが形成される。

本変形例では、このように、ノズルプレート４１を中間プレート４６に貼り合わせる前に、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面を覆う保護膜Ｐを形成することが可能となる。したがって、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面がノズルプレート４１の陰とならない状態で、保護膜Ｐを形成することができる。したがって、保護膜Ｐを形成するための樹脂材料が接着層ＡＬ１の端面に流れやすくなり、接着層ＡＬ１の端面を十分に厚い保護膜Ｐで容易に覆うことができる。

中間プレート４６の表面から保護膜Ｐを形成した後、中間プレート４６の表面にプラズマ照射等の表面処理を施す。これにより、ノズルプレート４１を中間プレート４６に貼り合わせる際（ステップＳ７）に、保護膜Ｐに起因した接着力の低下を抑えることができる。

中間プレート４６の表面にプラズマ照射等の表面処理を施した後、中間プレート４６の表面に、接着層ＡＬ２を介してノズルプレート４１を貼り合わせる（ステップＳ７）。この後、ノズルプレート４１の表面から、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２および連通孔４６Ｍを介して吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内まで連続して保護膜Ｐを形成する（ステップＳ８）。これにより、ノズルプレート４１の液体接触面から、連通孔４６Ｍ側に露出された接着層ＡＬ２の端面、連通孔４６Ｍおよび吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面を介して吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内まで連続して保護膜Ｐが形成される。

このようにして、図１３に示したインクジェットヘッド４Ａを製造することができる。ノズルプレート４１を中間プレート４６に貼り合わせた後の保護膜Ｐの形成工程（ステップＳ８）は省略するようにしてもよい。ステップＳ８の保護膜Ｐの形成工程を省略することにより、図１４に示したインクジェットヘッド４Ａを製造することができる。あるいは、中間プレート４６をアクチュエータプレート４２に貼り合わせた後の保護膜Ｐの形成工程（ステップＳ１０）を省略するようにしてもよい。これにより、図１５に示したインクジェットヘッド４Ａを製造することができる。

図２０は、インクジェットヘッド４Ａの製造工程の他の例を表している。この製造工程では、中間プレート４６の貼合せ工程（ステップＳ９）の前の保護膜Ｐの形成工程（図１８のステップＳ６）を行わず、ステップＳ９の工程後およびステップＳ７の工程後に保護膜Ｐを形成している（ステップＳ８，Ｓ１０）。この製造方法では、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの内側面および底面には、保護膜Ｐが形成されず、図１６に示したインクジェットヘッド４Ａを製造することができる。上記図１９で説明したのと同様に、ノズルプレート４１を中間プレート４６に貼り合わせた後の保護膜Ｐの形成工程（ステップＳ８）は省略するようにしてもよい。ステップＳ８の保護膜Ｐの形成工程を省略することにより、図１７に示したインクジェットヘッド４Ａを製造することができる。あるいは、上記図１９で説明したのと同様に、中間プレート４６をアクチュエータプレート４２に貼り合わせた後の保護膜Ｐの形成工程（ステップＳ１０）を省略するようにしてもよい。ステップＳ１０の保護膜Ｐの形成工程を省略することにより、図１８に示したインクジェットヘッド４Ａを製造することができる。

インクジェットヘッド４Ａでは、中間プレート４６を介して、ノズルプレート４１とアクチュエータプレート４２とを貼り合わせているので、アクチュエータプレート４２の一方の主面に設けられた吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの開口が中間プレート４６の連通孔４６Ｍを介してノズル孔Ｈ１，Ｈ２に連通される。したがって、上記第１の実施の形態のインクジェットヘッド４に比べて、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの開口からノズル孔Ｈ１，Ｈ２への連通部分の体積が大きくなる。これにより、保護膜Ｐを形成する樹脂材料がより流動しやすくなる。したがって、図１６および図１８に示したように、ノズルプレート４１を中間プレート４６に貼り合わせた後に、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面を覆う保護膜Ｐを形成する場合にも、十分に厚い保護膜Ｐを形成することができる。

＜３．第２の実施の形態＞
図２１,図２２および図２３は、本開示の第２の実施の形態に係るインクジェットヘッド４Ｂの構成を模式的に表したものである。図２１は、インクジェットヘッド４Ｂの要部の構成例を斜視図で表したものである。図２２は、インクジェットヘッド４Ｂにおける、ヘッドチップ４０Ａの吐出チャネルＣ３ｅとヘッドチップ４０ＢのダミーチャネルＣ４ｄとを含むＹＺ断面の構成例を表す断面図である。図２３は、インクジェットヘッド４Ｂにおける、ヘッドチップ４０ＡのダミーチャネルＣ３ｄとヘッドチップ４０Ｂの吐出チャネルＣ４ｅとを含むＹＺ断面の構成例を表す断面図である。このインクジェットヘッド４Ｂは、吐出チャネルＣ３ｅ，Ｃ４ｅの延在方向（Ｚ軸方向）の先端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのうち、インクジェットヘッド４Ｂとインクタンク３との間でインクを循環させる循環式（エッジシュート循環式）のものである。図２１では、帰還プレート４７（後出）およびノズルプレート４１の図示を省略しているが、アクチュエータプレート４２の下端面４２Ｅに、帰還プレート４７（後出）およびノズルプレート４１が接合されている。このようなエッジシュートタイプのインクジェットヘッド４Ｂにも、本開示の構成は適用可能である。

図２１〜図２３に示したように、インクジェットヘッド４Ｂは、一対のヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂと、帰還プレート４７と、ノズルプレート４１と、流路プレート４４と、入口マニホールド４８と、出口マニホールド（不図示）と、フレキシブルプリント基板４５とを備える。

一対のヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂは実質的に同一の構成を有しており、Ｙ軸方向において流路プレート４４を挟んで実質的に対称の姿勢をなすように実質的に対称の位置に設けられている。ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂは各々、流路プレート４４に近い位置から順にカバープレート４３と、アクチュエータプレート４２と、保護プレート４９とを備える。ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂに共通して、帰還プレート４７およびノズルプレート４１が設けられている。なお、ここでは、ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂに加えて、帰還プレート４７およびノズルプレート４１を含む構成が、本開示の「ヘッドチップ」の一具体例に対応している。

アクチュエータプレート４２は、Ｘ軸方向を長手方向、Ｚ軸方向を短手方向とし、ＸＺ面に沿って広がっている。アクチュエータプレート４２の一方の主面は、保護プレート４９に貼り合わされ、他方の主面はカバープレート４３に貼り合わされている。アクチュエータプレート４２の下端面４２Ｅは、ＸＹ平面に設けられている。

このアクチュエータプレート４２には、複数の吐出チャネルＣ３ｅおよび複数のダミーチャネルＣ３ｄが設けられている。この複数の吐出チャネルＣ３ｅおよび複数のダミーチャネルＣ３ｄは、それぞれＺ軸方向へ直線状に延在している。吐出チャネルＣ３ｅとダミーチャネルＣ３ｄとは、Ｘ軸方向において互いに離間して交互に配置されている。吐出チャネルＣ３ｅの下端部は、図２１に示したようにアクチュエータプレート４２の下端面４２Ｅに至るまで延在し、下端面４２Ｅに開口を形成している。この開口が、インク９を吐出するための吐出端となる。吐出チャネルＣ３ｅの上端部はアクチュエータプレート４２の上端面（下端面４２Ｅと反対の面）に至らずにアクチュエータプレート４２内で終端している。ダミーチャネルＣ３ｄの上端部は、上端面で開口しており、ダミーチャネルＣ３ｄの下端部は、下端面４２Ｅで開口している。上記第１の実施の形態で説明したのと同様に、吐出チャネルＣ３ｅの内側面にはコモン電極Ｅｄｃが設けられ、ダミーチャネルＣ３ｄの内側面にはアクティブ電極Ｅｄａが設けられている。

ヘッドチップ４０Ｂの吐出チャネルＣ３ｅおよびダミーチャネルＣ３ｄは、ヘッドチップ４０Ａの吐出チャネルＣ３ｅおよびダミーチャネルＣ３ｄの配列ピッチに対してＸ軸方向に半ピッチずれて配列されている。すなわち、ヘッドチップ４０Ａの吐出チャネルＣ３ｅおよびダミーチャネルＣ３ｄと、ヘッドチップ４０Ｂの吐出チャネルＣ３ｅおよびダミーチャネルＣ３ｄとが千鳥状に配列されている。

このため、図２２に示したように、ヘッドチップ４０Ａの吐出チャネルＣ３ｅと、ヘッドチップ４０ＢのダミーチャネルＣ３ｄとがＹ軸方向で対向している。同様に、図２３に示したように、ヘッドチップ４０ＡのダミーチャネルＣ３ｄと、ヘッドチップ４０Ｂの吐出チャネルＣ３ｅとがＹ軸方向で対向している。なお、ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂにおける各々の吐出チャネルＣ３ｅおよびダミーチャネルＣ３ｄのピッチは適宜変更可能である。

カバープレート４３は、Ｘ軸方向を長手方向、Ｚ軸方向を短手方向とし、ＸＺ面に沿って広がっている。カバープレート４３には、流路プレート４４側に開口する共通インク室４３１ｃと、共通インク室４３１ｃとそれぞれ連通すると共にアクチュエータプレート４３側に開口する複数のスリットＳｃとが設けられている。複数のスリットＳｃは、複数の吐出チャネルＣ３ｅと対応する位置に設けられている。共通インク室４３１ｃは、複数のスリットＳｃに対し共通に設けられており、複数のスリットＳｃを通じて各吐出チャネルＣ３ｅと連通している。共通インク室４３１ｃは、ダミーチャネルＣ３ｄには連通していない。

共通インク室４３１ｃは、Ｘ軸方向に延在する窪みである。共通インク室４３１ｃには、流路プレート４４を通じてインク９が流入するようになっている。複数のスリットＳｃは、Ｙ軸方向において共通インク室４３１ｃの一部とそれぞれ重なり合う位置に配置されている。複数のスリットＳｃは、共通インク室４３１ｃと複数の吐出チャネルＣ３ｅとに連通している。各スリットＳｃのＸ軸方向の幅は、各吐出チャネルＣ３ｅのＸ軸方向の幅と実質的に同じであることが望ましい。

保護プレート４９は、カバープレート４３と同様、Ｘ軸方向を長手方向、Ｚ軸方向を短手方向とし、ＸＺ面に沿って広がっている。この保護プレート４９は、アクチュエータプレート４２のＸＺ面の平面形状と略同じ平面形状を有している。アクチュエータプレート４２の一方の主面に設けられた複数の吐出チャネルＣ３ｅおよび複数のダミーチャネルＣ３ｄの開口は、この保護プレート４９により閉塞されるようになっている。

流路プレート４４は、Ｙ軸方向においてヘッドチップ４０Ａとヘッドチップ４０Ｂとの間に挟持されている。流路プレート４４は、同一の部材により一体に形成されているとよい。流路プレート４４は、Ｘ軸方向を長手方向、Ｚ軸方向を短手方向とし、ＸＺ面に沿って広がっている。Ｙ軸方向から見て、流路プレート４４の外形は、カバープレート４３の外形と実質的に同じである。

流路プレート４４の一方の主面にはヘッドチップ４０Ａが設けられ、他方の主面には、ヘッドチップ４０Ｂが設けられている。図２２および図２３に示したように、流路プレート４４の一方の主面および他方の主面には、共通インク室４３１ｃに各別に連通する入口流路４４１と、帰還プレート４７の循環路４７１ｃ，４７１ｄに各別に連通する出口流路４４２とが形成されている。

入口流路４４１は、流路プレート４４の一方の主面、他方の主面各々からＹ軸方向の内側に向けて窪んでいる。各入口流路４４１の下端部が、共通インク室４３１ｃに連通されており、各入口流路４４１の上端部が、流路プレート４４の上端面で開口している。各出口流路４４２は、流路プレート４４の下端部に設けられ、流路プレート４４の下端面から上方に向けて窪んでいる。出口流路４４２は、流路プレート４４をＹ軸方向に貫通している。出口流路４４２は、入口流路４４１よりもＸ軸方向の外側で、出口マニホールドに接続されている。

入口マニホールド４８は、ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂおよび流路プレート４４の上端面に接合されている。入口マニホールド４８には、各入口流路４４１に連通する供給路４８０が形成されている。供給路４８０は、入口マニホールド４８の下端面から上方に向けて窪んでいる。

帰還プレート４７は、Ｘ軸方向を長手方向、Ｙ軸方向を短手方向とし、ＸＹ平面に沿って広がっている。帰還プレート４７は、ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂの下端面および流路プレート４４の下端面に接着層（後述の図２４の接着層ＡＬ１）を介して貼り合わされている。すなわち、帰還プレート４７は、ヘッドチップ４０Ａおよびヘッドチップ４０Ｂにおける吐出端側に、共通して配設されている。帰還プレート４７は、ヘッドチップ４０Ａとヘッドチップ４０Ｂとにおける吐出端と、ノズルプレート４１の上面との間に介在するスペーサプレートである。第２の実施の形態では、帰還プレート４７が、本開示の「被接着プレート」の一具体例に対応する。

帰還プレート４７には、ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂの吐出チャネルＣ３ｅと出口流路４４２との間を接続する複数の循環路４７１ｃ，４７１ｄが形成されている。複数の循環路４７１ｃ，４７１ｄは、帰還プレート４７をＺ軸方向に貫通している。循環路４７１ｃは、ヘッドチップ４０Ａの吐出チャネルＣ３ｅに対応する位置に設けられ、循環路４７１ｄは、ヘッドチップ４０Ｂの吐出チャネルＣ３ｅに対応する位置に設けられている。循環路４７１ｃのＹ軸方向の内側端部は、出口流路４４２に連通し、循環路４７１ｃのＹ軸方向の外側端部は、ヘッドチップ４０Ａの吐出チャネルＣ３ｅに連通している（図２２）。循環路４７１ｄのＹ軸方向の内側端部は、出口流路４４２に連通し、循環路４７１ｄのＹ軸方向の外側端部は、ヘッドチップ４０Ｂの吐出チャネルＣ３ｅに連通している（図２３）。ここでは、循環路４７１ｃ，４７１ｄが、本開示の「連通孔」の一具体例に対応する。

ノズルプレート４１は、Ｘ軸方向を長手方向、Ｙ軸方向を短手方向とし、ＸＹ平面に沿って広がっている。このノズルプレート４１は、帰還プレート４７の一方の主面に接着層（後述の図２４の接着層ＡＬ２）を介して貼り合わされている。ノズルプレート４１には、ノズルプレート４１をＺ軸方向に貫通する複数のノズル孔Ｈ３，Ｈ４が配列されている。

図２２に示したように、ノズル孔Ｈ３は、ノズルプレート４１のうち、帰還プレート４７の各循環路４７１ｃとＺ軸方向で対向する部分にそれぞれ形成されている。すなわち、ノズル孔Ｈ３は、循環路４７１ｃと同ピッチで、Ｘ軸方向に間隔をあけて一直線上に配列されている。ノズル孔Ｈ３は、例えば、Ｙ軸方向の中央部で循環路４７１ｃに連通している。これにより、各ノズル孔Ｈ３は、循環路４７１ｃを介してヘッドチップ４０Ａの対応する吐出チャネルＣ３ｅにそれぞれ連通している。

図２３に示したように、ノズル孔Ｈ４は、ノズルプレート４１のうち、帰還プレート４７の各循環路４７１ｄとＺ軸方向で対向する部分にそれぞれ形成されている。すなわち、ノズル孔Ｈ４は、循環路４７１ｄと同ピッチで、Ｘ軸方向に間隔をあけて一直線上に配列されている。ノズル孔Ｈ４は、例えば、循環路４７１ｄにおけるＹ軸方向の中央部で循環路４７１ｄに連通している。これにより、各ノズル孔Ｈ４は、循環路４７１ｄを介してヘッドチップ４０Ｂの対応する吐出チャネルＣ３ｅにそれぞれ連通している。ダミーチャネルＣ３ｄは、ノズル孔Ｈ３，Ｈ４には連通しておらず、帰還プレート４７により下方から覆われている。

このように、各吐出チャネルＣ３ｅに供給されたインク９は、帰還プレート４７の循環路４７１ｃ，４７１ｄ近傍に接触して噴射される。換言すれば、帰還プレート４７は、各吐出チャネルＣ３ｅに流入したインク９が接触する面（以降、帰還プレート４７の液体接触面と称する）を有している。例えば、インク９は、循環路４７１ｃ，４７１ｄの内表面に接触する。第２の実施の形態では、この帰還プレート４７のうち、各吐出チャネルＣ３ｅに流入したインク９が接触する面が、本開示の「液体接触面」の一具体例に対応する。

図２４は、アクチュエータプレート４２を含む位置でのヘッドチップ４０Ａ、帰還プレート４７およびノズルプレート４１のＸＺ断面の構成の一例を表している。アクチュエータプレート４２（ヘッドチップ４０Ａ）の下端面４２Ｅは、接着層ＡＬ１により帰還プレート４７に貼り合わされ、帰還プレート４７の一方の主面は、接着層ＡＬ２によりノズルプレート４１に貼り合わされている。ヘッドチップ４０Ｂ側については図示を省略するが、ヘッドチップ４０Ｂ側もヘッドチップ４０Ａと同様の構成を有している。ここでは、接着層ＡＬ１が、本開示の「接着層」の一具体例に対応する。

保護膜Ｐは、例えば、コモン電極Ｅｄｃを間にして吐出チャネルＣ３ｅの内側面および底面を覆っている。この保護膜Ｐは、吐出チャネルＣ３ｅ内から、吐出チャネルＣ３ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面を介して帰還プレート４７の液体接触面まで連続して設けられている。保護膜Ｐは、帰還プレート４７の一方の主面に設けられていてもよい。あるいは、図示は省略するが、保護膜Ｐは、例えば、吐出チャネルＣ３ｅ内から、吐出チャネルＣ３ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面、帰還プレート４７の液体接触面および循環路４７１ｃ側に露出された接着層ＡＬ２の端面を介してノズルプレート４１の液体接触面まで連続して設けられていてもよい。ダミーチャネルＣ３ｄの内側面および底面は、保護膜Ｐに覆われていなくてもよい。

本実施の形態のインクジェットヘッド４Ｂにおいても、上記第１の実施の形態で説明したのと同様に、吐出チャネルＣ３ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面が、保護膜Ｐにより覆われているので、吐出チャネルＣ３ｅ内のインク９が、接着層ＡＬ１に侵入しにくくなる。これにより、接着層ＡＬ１にインク９が浸入することに起因したインクジェットヘッド４Ｂの信頼性の低下を抑えることが可能となる。

また、エッジシュートタイプのインクジェットヘッド４Ｂは、サイドシュートタイプのインクジェットヘッド４に比べて、吐出チャネルＣ３ｅの吐出端が小さくなるが、インクジェットヘッド４Ｂでは、以下のような理由により、十分に厚い保護膜Ｐを形成することが可能となる。

インクジェットヘッド４Ｂでは、アクチュエータプレート４２の下端面４２Ｅに設けられた吐出チャネルＣ３ｅの開口が帰還プレート４７の循環路４７１ｃ（または循環路４７１ｄ）を介してノズル孔Ｈ３（またはノズル孔Ｈ４）に連通されている。したがって、アクチュエータプレート４２の下端面４２Ｅに直接ノズルプレート４１を接合する場合に比べて、吐出チャネルＣ３ｅの開口からノズル孔Ｈ３への連通部分の体積が大きくなる。これにより、保護膜Ｐを形成する樹脂材料が流動しやすくなる。更に、インクジェットヘッド４Ｂは、循環路４７１ｃ，４７１ｄを有する循環型のインクジェットヘッドであり、インクジェットヘッド４Ｂ内の流路は、非循環型のインクジェットヘッドに比べて、流体が移動し易くなっている。これにより、保護膜Ｐを形成する樹脂材料がより流動しやすくなる。したがって、吐出チャネルＣ３ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面も、十分に厚い保護膜Ｐで覆うことが可能となる。

また、インクジェットヘッド４Ｂでは、上記変形例で説明したのと同様に、ノズルプレート４１を帰還プレート４７に貼り合わせる前に、吐出チャネルＣ３ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面を覆う保護膜Ｐを形成することが可能となる。したがって、吐出チャネルＣ３ｅ側に露出された接着層ＡＬ１の端面がノズルプレート４１の陰とならない状態で、保護膜Ｐを形成することができる。したがって、保護膜Ｐを形成するための樹脂材料が接着層ＡＬ１の端面に流れやすくなり、接着層ＡＬ１の端面を保護膜Ｐで容易に覆うことができる。

＜４．その他の変形例＞
以上、実施の形態を挙げて本開示を説明したが、本開示はこの実施の形態に限定されず、種々の変形が可能である。

例えば、上記実施の形態等では、プリンタ１およびインクジェットヘッド４，４Ａ，４Ｂにおける各部材の構成例（形状、配置、個数等）を具体的に挙げて説明したが、上記実施の形態で説明したものには限られず、他の形状や配置、個数等であってもよい。また、上記実施の形態で説明した各種パラメータの値や範囲、大小関係等についても、上記実施の形態で説明したものには限られず、他の値や範囲、大小関係等であってもよい。

具体的には、例えば、上記第１実施の形態では、２列タイプの（２列のノズル列４１１，４１２を有する）インクジェットヘッド４を挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば、１列タイプ（１列のノズル列を有する）のインクジェットヘッドや、３列以上の複数例タイプ（３列以上のノズル列を有する）インクジェットヘッドであってもよい。

また、例えば、上記第１実施の形態では、ノズル列４１１，４１２がそれぞれＸ軸方向に沿って直線状に延在している場合について説明したが、この例には限らず、例えば、ノズル列４１１，４１２がそれぞれ、斜め方向に延在するようにしてもよい。更に、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３，Ｈ４の形状についても、上記実施の形態で説明したような円形状には限られず、例えば、三角形状等の多角形状や、楕円形状や星型形状などであってもよい。

また、例えば、上記実施の形態等では、インクジェットヘッド４，４Ａ，４Ｂが循環式となっている場合について説明したが、この例には限らず、例えば、インクジェットヘッド４が循環しない他の方式となっていてもよい。

また、アクチュエータプレート４２は、分極方向が厚み方向に沿って一方向に設定されている１つの圧電基板から形成された、いわゆるカンチレバータイプ（モノポールタイプ）のアクチュエータであってもよい。

また、上記実施の形態等では、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例として、プリンタ１（インクジェットプリンタ）を挙げて説明したが、この例には限られず、インクジェットプリンタ以外の他の装置にも、本開示を適用することが可能である。換言すると、本開示の「液体噴射ヘッド」（インクジェットヘッド４）や「ヘッドチップ」（ヘッドチップ４ｃ）を、インクジェットプリンタ以外の他の装置に適用するようにしてもよい。具体的には、例えば、ファクシミリやオンデマンド印刷機などの装置に、本開示の「液体噴射ヘッド」や「ヘッドチップ」を適用するようにしてもよい。

また、上記実施の形態およびその変形例では、プリンタ１の記録対象物は記録紙Ｐであったが、本開示の「液体噴射記録装置」の記録対象物はこれに限られない。例えば、ボール紙、布、プラスチック、金属など、様々な材料にインクを噴射することによって、文字や模様を形成することができる。また、記録対象物は平面形状である必要もなく、食品、タイル等の建材、家具、自動車など様々な立体物の塗装や装飾を行うこともできる。さらに、本開示の「液体噴射記録装置」によって、繊維を捺染することができ、あるいは噴射後にインクを固化させることによって立体造形を行うこともできる（いわゆる３Ｄプリンタ）。

更に、これまでに説明した各種の例を、任意の組み合わせで適用させるようにしてもよい。

なお、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。

また、本開示は、以下のような構成を取ることも可能である。
（１）
各々、ノズル孔に連通する複数の吐出チャネルと、前記吐出チャネル各々の内壁に設けられた電極とを有するアクチュエータプレートと、
前記アクチュエータプレートに接合され、かつ、前記吐出チャネルに流入した液体が接触する液体接触面を有する被接着プレートと、
前記被接着プレートと前記アクチュエータプレートとの間に設けられるとともに、前記被接着プレートと前記アクチュエータプレートとを接合する接着層と、
前記吐出チャネル各々の内壁から、前記吐出チャネル側に露出された前記接着層の端面を介して前記液体接触面の少なくとも一部を連続して覆う保護膜と
を備えたヘッドチップ。
（２）
前記吐出チャネルの内壁に設けられた前記電極は共通電極であり、
前記アクチュエータプレートは、更に、隣り合う前記吐出チャネルの間に設けられた非吐出チャネルと、前記非吐出チャネルの内壁に設けられた個別電極とを有し、
前記保護膜は、前記非吐出チャネルの内壁も覆っている
前記（１）に記載のヘッドチップ。
（３）
前記被接着プレートは、前記ノズル孔を有するノズルプレートである
前記（１）または前記（２）に記載のヘッドチップ。
（４）
更に、前記ノズル孔を有するノズルプレートを有し、
前記被接着プレートは、前記ノズルプレートと前記アクチュエータプレートとの間に設けられている
前記（１）または前記（２）に記載のヘッドチップ。
（５）
前記被接着プレートは、前記吐出チャネルと前記ノズル孔とを連通させる連通孔を有し、
前記アクチュエータプレートは、更に、隣り合う前記吐出チャネルの間に設けられるとともに前記被接着プレートにより塞がれた非吐出チャネルを有する
前記（４）に記載のヘッドチップ。
（６）
前記被接着プレートは絶縁性を有する
前記（４）または前記（５）に記載のヘッドチップ。
（７）
前記吐出チャネルは、当該吐出チャネルの延在方向の中央部で前記ノズル孔に連通されている
前記（１）ないし前記（６）のうちいずれか１つに記載のヘッドチップ。
（８）
更に、前記吐出チャネルに連通する液体導入流路と、
前記吐出チャネルに連通するとともに前記液体導入流路とは別に設けられた液体排出流路とを有する
前記（７）に記載のヘッドチップ。
（９）
前記保護膜は、前記電極を覆っている
前記（１）ないし前記（８）のうちいずれか１つに記載のヘッドチップ。
（１０）
前記保護膜は、パラキシリレン系樹脂材料を含む
前記（１）ないし前記（９）のうちいずれか１つに記載のヘッドチップ。
（１１）
前記（１）ないし前記（１０）のいずれか１つに記載のヘッドチップと、
前記ヘッドチップに前記液体を供給する供給機構と
を備えた液体噴射ヘッド。
（１２）
前記（１１）に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体を収容する収容部と
を備えた液体噴射記録装置。

１…プリンタ、３…インクタンク、４，４Ａ，４Ｂ…インクジェットヘッド、９…インク、４１…ノズルプレート、４２…アクチュエータプレート、４３…カバープレート、４４…流路プレート、４５…フレキシブルプリント基板、４６…中間プレート、４６Ｍ…連通孔、４７…帰還プレート、４８…入口マニホールド、４１１，４１２…ノズル列、ＡＬ１，ＡＬ２…接着層、Ｐ…保護膜、Ｅｄ…駆動電極、Ｃ…チャネル、Ｈ…ノズル孔、Ｐ…記録紙。

Claims (12)

1. 各々、ノズル孔に連通する複数の吐出チャネルと、前記吐出チャネル各々の内壁に設けられた電極とを有するアクチュエータプレートと、
   前記アクチュエータプレートに接合され、かつ、前記吐出チャネルに流入した液体が接触する液体接触面を有する被接着プレートと、
   前記被接着プレートと前記アクチュエータプレートとの間に設けられるとともに、前記被接着プレートと前記アクチュエータプレートとを接合する接着層と、
   前記吐出チャネル各々の内壁から、前記吐出チャネル側に露出された前記接着層の端面を介して前記液体接触面の少なくとも一部を連続して覆う保護膜と
   を備えたヘッドチップ。
2. 前記吐出チャネルの内壁に設けられた前記電極は共通電極であり、
   前記アクチュエータプレートは、更に、隣り合う前記吐出チャネルの間に設けられた非吐出チャネルと、前記非吐出チャネルの内壁に設けられた個別電極とを有し、
   前記保護膜は、前記非吐出チャネルの内壁も覆っている
   請求項１に記載のヘッドチップ。
3. 前記被接着プレートは、前記ノズル孔を有するノズルプレートである
   請求項１または請求項２に記載のヘッドチップ。
4. 更に、前記ノズル孔を有するノズルプレートを有し、
   前記被接着プレートは、前記ノズルプレートと前記アクチュエータプレートとの間に設けられている
   請求項１または請求項２に記載のヘッドチップ。
5. 前記被接着プレートは、前記吐出チャネルと前記ノズル孔とを連通させる連通孔を有し、
   前記アクチュエータプレートは、更に、隣り合う前記吐出チャネルの間に設けられるとともに前記被接着プレートにより塞がれた非吐出チャネルを有する
   請求項４に記載のヘッドチップ。
6. 前記被接着プレートは絶縁性を有する
   請求項４または請求項５に記載のヘッドチップ。
7. 前記吐出チャネルは、当該吐出チャネルの延在方向の中央部で前記ノズル孔に連通されている
   請求項１ないし請求項６のうちいずれか１項に記載のヘッドチップ。
8. 更に、前記吐出チャネルに連通する液体導入流路と、
   前記吐出チャネルに連通するとともに前記液体導入流路とは別に設けられた液体排出流路とを有する
   請求項７に記載のヘッドチップ。
9. 前記保護膜は、前記電極を覆っている
   請求項１ないし請求項８のうちいずれか１項に記載のヘッドチップ。
10. 前記保護膜は、パラキシリレン系樹脂材料を含む
    請求項１ないし請求項９のうちいずれか１項に記載のヘッドチップ。
11. 請求項１ないし請求項１０のうちいずれか１項に記載のヘッドチップと、
    前記ヘッドチップに前記液体を供給する供給機構と
    を備えた液体噴射ヘッド。
12. 請求項１１に記載の液体噴射ヘッドと、
    前記液体を収容する収容部と
    を備えた液体噴射記録装置。

Images