JP2023058856A - ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置及びヘッドチップの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】チャネルの微細化、狭ピッチ化に対応した上で、チャネルの内面に保護膜を均一に形成することができるヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置及びヘッドチップの製造方法を提供する。【解決手段】本開示の一態様に係るヘッドチップにおいて、吐出チャネルが複数配列されたアクチュエータプレートと、吐出チャネルの内面に形成された共通電極と、吐出チャネルの内面において共通電極を覆うように設けられた第１保護膜と、複数の吐出チャネル内に各別に連通する吐出用連通孔及び吐出側導入口を有し、アクチュエータプレートのうち吐出チャネルが開口するチャネル開口面に向かい合って設けられた中間プレートと、インクを吐出する複数のノズル孔を有し、吐出用連通孔がノズル孔に各別に連通し、かつ吐出側導入口を閉塞した状態で、中間プレートに対してアクチュエータプレートとは反対側に設けられたノズルプレートと、を備えている。【選択図】図６

Description

本開示は、ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置及びヘッドチップの製造方法に関する。

インクジェットプリンタに搭載されるヘッドチップは、複数のチャネルを有するアクチュエータプレートと、アクチュエータプレートに接合されたノズルプレートと、を備えている。ノズルプレートには、複数のチャネルに各別に連通する複数のノズル孔が形成されている。アクチュエータプレートにおいて、チャネルの内面には電極が形成されている。下記特許文献１に示されるように、チャネルの内面には、絶縁性を有する保護膜が形成される。この構成によれば、電極が保護膜に覆われることで、導電性インクを用いる場合であっても、チャネル内においてインクを介して電極が短絡することを抑制できると考えられる。

近年では、チャネルの微細化や狭ピッチ化に伴い、アクチュエータプレート（チャネル）とノズルプレート（ノズル孔）との位置ずれの許容代が小さくなっている。例えばアクチュエータプレートに対するノズルプレートの接合位置がチャネルの配列方向にずれると、吐出特性の低下やインクのリーク等に繋がる可能性がある。

下記特許文献２には、アクチュエータプレート及びノズルプレートの間に中間プレートを配置する構成が開示されている。中間プレートには、チャネル及びノズル孔の双方に連通する連通孔が形成されている。連通孔は、チャネルの配列方向においてチャネル及びノズル孔よりも大きく形成されている。この構成によれば、連通孔を通じてチャネルとノズル孔とを連通させることで、チャネルとノズル孔とを直接連通させる場合に比べ、チャネルとノズル孔との位置ずれの許容代を大きくできると考えられる。

特開２０１０－２１４８９５号公報 特開２０１９－４２９７９号公報

中間プレートを採用する構成において、連通孔とチャネルとの位置精度を確保するためには、中間プレートをアクチュエータプレートに接合した後に連通孔を形成することが好ましいと考えられる。
この場合、従来技術にあっては、連通孔を通じて保護膜の形成材料をチャネル内に効果的に導入することが難しかった。その結果、チャネルの内面において、保護膜の膜厚を十分に確保できない箇所が生じる可能性があった。
一方、中間プレートをアクチュエータプレートに接合する前に保護膜を形成する場合には、中間プレートをアクチュエータプレートに接合した後、連通孔として中間プレートを貫通させる際に、保護膜にダメージが及ぶ可能性があった。

本開示は、チャネルの微細化、狭ピッチ化に対応した上で、チャネルの内面に保護膜を均一に形成することができるヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置及びヘッドチップの製造方法を提供する。

上記課題を解決するために、本開示は以下の態様を採用した。
（１）本開示の一態様に係るヘッドチップは、第１方向に延びる噴射チャネルが前記第１方向に交差する第２方向に複数配列されたアクチュエータプレートと、前記噴射チャネルの内面に形成された第１電極と、前記噴射チャネルの内面において前記第１電極を覆うように設けられた第１保護膜と、複数の前記噴射チャネル内に各別に連通する第１連通孔及び第２連通孔を有し、前記アクチュエータプレートのうち前記噴射チャネルが開口するチャネル開口面に向かい合って設けられた中間プレートと、液体を噴射する複数の噴射孔を有し、前記第１連通孔が前記噴射孔に各別に連通し、かつ前記第２連通孔を閉塞した状態で、前記中間プレートに対して前記アクチュエータプレートとは反対側に設けられた噴射孔プレートと、を備えている。

本態様によれば、中間プレートが設けられた状態で噴射チャネル内に第１保護膜を成膜するにあたって、第１連通孔に加えて第２連通孔を通じて第１保護膜の形成材料を導入できる。これにより、噴射チャネル内に第１保護膜を均一に形成し易い。
この場合、第１保護膜が形成されたアクチュエータプレートに対して中間プレートを接合し、後加工として第１連通孔を形成する場合に比べ、第１連通孔の形成時に第１保護膜等にダメージが及ぶことを抑制できる。
その結果、噴射チャネルの微細化、狭ピッチ化に対応した上で、噴射チャネルの内面に第１保護膜を均一に形成することができ、第１電極を保護できる。

（２）上記（１）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記チャネル開口面は、前記アクチュエータプレートのうち前記第１方向から見て前記第２方向に交差する第３方向の第１側を向き、前記アクチュエータプレートのうち前記第３方向における前記第１側と反対側である第２側を向く面には、前記噴射チャネル内に連通する液体流路を有するカバープレートが設けられ、前記第２連通孔は、前記第１方向において前記液体流路と前記第１連通孔との間に位置する部分で前記噴射チャネル内に連通していることが好ましい。
カバープレート及び中間プレートが積層された状態で第１保護膜を成膜すると、第２連通孔が形成されていない場合には、第１連通孔及び液体流路を通じて噴射チャネル内に第１保護膜の形成材料が導入される。この際、噴射チャネル内において、第１連通孔と液体流路との中間部分には、第１保護膜が到達し難い。そのため、噴射チャネル内において、第１連通孔と液体流路との中間部分は、膜厚最小部分として、第１保護膜の膜厚が確保し難い。
そこで、本態様のように、第１方向において液体流路と第１連通孔との間に位置する部分に第２連通孔を設けることで、膜厚最小部分の膜厚を増加できる。そのため、噴射チャネルの内面に第１保護膜を均一に形成できる。

（３）上記（２）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記噴射チャネルは、前記第１方向の中央部において前記チャネル開口面に開口する貫通部と、前記貫通部に対して前記第１方向における少なくとも第１側端部に連なり、前記中央部から離れるに従い前記第３方向の深さが浅くなる切り上がり部と、を備え、前記液体流路は、前記第３方向から見て前記切り上がり部と重なり合う位置で前記噴射チャネル内に連通し、前記第２連通孔は、前記液体流路と前記第１連通孔との間の領域において前記第１方向の中心に対して前記液体流路側に位置していることが好ましい。
例えば、切り上がり部は、貫通部に比べて噴射チャネルの流路断面積が小さく、圧力損失が比較的高くなる箇所である。そのため、第１連通孔内を通じて第１保護膜の形成材料を導入する場合において、第１保護膜の形成材料が行き渡り難い。
上記に鑑み、本態様によれば、第２連通孔を中心に対して液体流路側に第２連通孔を設けることで、膜厚最小部分に対して第１保護膜をより確実に形成できる。

（４）上記（１）から（３）何れかの態様に係るヘッドチップにおいて、前記第２連通孔における前記第２方向の寸法は、前記噴射チャネルにおける前記第２方向の寸法以下に設定されていることが好ましい。
本態様によれば、中間プレートとアクチュエータプレートとの接合後に、後加工として第２連通孔を形成した場合であっても、第２連通孔の加工時にアクチュエータプレートにダメージが及ぶことを抑制できる。

（５）上記（１）から（４）何れかの態様に係るヘッドチップにおいて、前記第２連通孔は、前記第２連通孔の開口方向から見て円形状に形成されていることが好ましい。
本態様によれば、第２連通孔の内面に角部が形成されないので、第２連通孔内での気泡の滞留等を抑制できる。気泡の滞留を抑制することによって、液体の噴射時に気泡が噴射孔から排出されることを抑制できる。その結果、白抜け等の印刷不良を抑制し、高精度な印刷を行うことができる。

（６）上記（１）から（５）何れかの態様に係るヘッドチップにおいて、前記第２連通孔の内面のうち、向かい合う部分同士の間の寸法が、前記噴射チャネルに形成される前記第１保護膜の膜厚の２倍以上であることが好ましい。
本態様によれば、第１保護膜の形成時において、噴射チャネル内への第１保護膜の導入完了前に、第２連通孔の内面に付着する第１保護膜によって第２連通孔が塞がれることを抑制できる。その結果、噴射チャネル内に確実に第１保護膜を導入することができる。

（７）上記（１）から（６）何れかの態様に係るヘッドチップにおいて、前記噴射孔プレートは、前記中間プレートに対して接着剤を介して接合され、前記第２連通孔内には、前記接着剤の一部が収容されていることが好ましい。
本態様によれば、噴射孔プレートと中間プレートとを接合する際に、余剰の接着剤が第１連通孔や噴射孔まで到達することを抑制できる。その結果、液体の流れが接着剤に阻害されることを抑制し、吐出性能の低下を抑制できる。
また、保護膜形成後における第１連通孔の実容積を減少させることができるので、ヘッドチップの使用時において第２連通孔内に気泡が滞留すること等を抑制できる。気泡の滞留を抑制することによって、液体の噴射時に気泡が噴射孔から排出されることを抑制できる。その結果、白抜け等の印刷不良を抑制し、高精度な印刷を行うことができる。

（８）上記（１）から（７）何れかの態様に係るヘッドチップにおいて、前記アクチュエータプレートのうち、前記第２方向で隣り合う前記噴射チャネル同士の間に位置する部分に形成されるとともに、液体が充填されない非噴射チャネルと、前記非噴射チャネルの内面に形成された第２電極と、前記非噴射チャネルの内面において前記第２電極を覆うように設けられた第２保護膜と、を備え前記中間プレートには、前記非噴射チャネル内に連通する第３連通孔が形成されていることが好ましい。
本態様によれば、第３連通孔を通じて非噴射チャネル内に第２保護膜の形成材料を導入することができる。そのため、非噴射チャネル内に第２保護膜を均一に形成し易い。

（９）上記（８）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記非噴射チャネルは、前記アクチュエータプレートのうち前記第１方向で第１側を向く端面上で開放され、前記第３連通孔は、前記非噴射チャネルのうち前記第１方向における前記第１側と反対側である第２側の端部において前記非噴射チャネル内に連通していることが好ましい。
カバープレート及び中間プレートが積層された状態で第２保護膜を成膜すると、第３連通孔が形成されていない場合には、アクチュエータプレートのうち第１方向の第１側を向く端面に形成された端面開口部を通じて非噴射チャネル内に第２保護膜の形成材料が導入される。この際、非噴射チャネル内において、第１方向の第２側に位置する端部には、第２保護膜が到達し難い。そのため、非噴射チャネル内において、第１方向の第２側に位置する端部は、膜厚最小部分として、第２保護膜の膜厚が確保し難い。
本態様によれば、非噴射チャネルのうち第１方向の第２側に位置する端部に第３連通孔を設けることで、膜厚最小部分に対しても第２保護膜を成膜することができる。

（１０）上記（８）又は（９）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記非噴射チャネルは、前記噴射チャネルのうち前記チャネル開口面上に開口するチャネル開口部よりも前記第１方向に突出する突出部を備え、前記第３連通孔は、前記第２方向で隣り合う前記非噴射チャネルの前記突出部同士の間を横断して前記第２方向に延びるとともに、前記突出部を通じて隣り合う前記非噴射チャネル内にまとめて連通していることが好ましい。
本態様によれば、隣り合う非噴射チャネル間で第３連通孔を共用できる。そのため、隣り合う非噴射チャネル毎に第３連通孔を設ける構成に比べて製造効率を向上させることができる。

（１１）本開示の一態様に係る液体噴射ヘッドは、上記（１）から（１０）の何れかの態様に係るヘッドチップを備えている。
本態様によれば、上記態様に係るヘッドチップを備えているため、高品質で信頼性に優れた液体噴射ヘッドを提供できる。

（１２）本開示の一態様に係る液体噴射記録装置は、上記（１１）の態様に係る液体噴射ヘッドを備えている。
本態様によれば、高品質で信頼性に優れた液体噴射記録装置を提供できる。

（１３）本開示の一態様に係るヘッドチップの製造方法は、第１方向に延びる噴射チャネルが前記第１方向に交差する第２方向に複数配列されたアクチュエータプレートと、前記噴射チャネルの内面に形成された第１電極と、前記噴射チャネルの内面において前記第１電極を覆うように設けられた第１保護膜と、前記アクチュエータプレートのうち前記噴射チャネルが開口するチャネル開口面に向かい合って設けられた中間プレートと、を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記中間プレートに対して、複数の前記噴射チャネル内に各別に連通する第１連通孔及び第２連通孔を形成する連通孔形成工程と、前記中間プレートが前記アクチュエータプレートに積層された状態で、前記第１連通孔及び前記第２連通孔を通じて前記噴射チャネル内に前記第１保護膜を形成する保護膜形成工程と、液体を噴射する複数の噴射孔を有する噴射孔プレートを、前記第１連通孔が前記噴射孔に各別に連通し、かつ前記第２連通孔が前記噴射孔プレートによって閉塞されるように、前記中間プレートに積層する噴射孔プレート積層工程と、を備えている。

（１４）上記（１３）の態様に係るヘッドチップの製造方法において、前記保護膜形成工程の前に、前記中間プレートを前記アクチュエータプレートに積層する中間プレート積層工程を備え、前記連通孔形成工程は、前記中間プレート積層工程の後に、前記中間プレートに前記第１連通孔を形成する第１連通工程と、前記中間プレート積層工程の前に、前記中間プレートに前記第２連通孔を形成する第２連通工程と、を備えていることが好ましい。
本態様によれば、中間プレート積層工程の前に第２連通孔を予め形成しておくことで、中間プレートの積層後、ヘッドチップが完成するまでの加工時間を短縮できる。

（１５）上記（１３）の態様に係るヘッドチップの製造方法において、前記保護膜形成工程の前に、前記中間プレートを前記アクチュエータプレートに積層する中間プレート積層工程を備え、前記連通孔形成工程は、前記中間プレート積層工程と前記保護膜形成工程との間に行うことが好ましい。
本態様によれば、アクチュエータプレートに中間プレートが積層された状態で、第１連通孔及び第２連通孔を形成することで、噴射チャネルと第１連通孔及び第２連通孔との位置精度を向上させることができる。

（１６）上記（１３）から（１５）の何れかの態様に係るヘッドチップの製造方法において、前記噴射チャネルのうち前記チャネル開口面上に開口するチャネル開口部よりも前記第１方向に突出する突出部を有し、前記アクチュエータプレートのうち、前記第２方向で隣り合う前記噴射チャネル同士の間に位置する部分に形成されるとともに、液体が充填されない非噴射チャネルと、前記非噴射チャネルの内面に形成された第２電極と、前記非噴射チャネルの内面において前記第２電極を覆うように設けられた第２保護膜と、を備え、前記中間プレートのうち前記第２方向で隣り合う前記非噴射チャネルの前記突出部同士の間を横断して前記第２方向に延びるとともに、前記突出部を通じて隣り合う前記非噴射チャネル内にまとめて連通する第３連通孔を形成する第３連通工程と、前記保護膜形成工程の前に、前記第３連通孔が形成された前記中間プレートを前記アクチュエータプレートに積層する中間プレート積層工程を備えていることが好ましい。
本態様によれば、第３連通孔を予め形成しておくことで、中間プレートの積層後、ヘッドチップが完成するまでの加工時間を短縮できる。

本開示の一態様によれば、チャネルの微細化、狭ピッチ化に対応した上で、チャネルの内面に保護膜を均一に形成することができる。

第１実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。 第１実施形態に係るインクジェットヘッド及びインク循環機構の概略構成図である。 第１実施形態に係るノズルプレートを取り外した状態において、ヘッドチップを－Ｚ側から見た斜視図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの分解斜視図である。 第１実施形態に係るアクチュエータプレートの底面図である。 図５のＶＩ－ＶＩ線に相当する断面図である。 図５のＶＩＩ－ＶＩＩ線に相当する断面図である。 図４のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線に沿う断面図である。 図６の拡大図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するフローチャートである。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図６に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図６に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図６に対応する断面図である。 第２実施形態に係るヘッドチップにおいて、図５に対応する底面図である。

以下、本開示に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する実施形態や変形例において、対応する構成については同一の符号を付して説明を省略する場合がある。なお、以下の説明において、例えば「平行」や「直交」、「中心」、「同軸」等の相対的又は絶対的な配置を示す表現は、厳密にそのような配置を表すのみならず、公差や同じ機能が得られる程度の角度や距離をもって相対的に変位している状態も表すものとする。以下の実施形態では、インク（液体）を利用して被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

［プリンタ１］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すプリンタ（液体噴射記録装置）１は、一対の搬送機構２，３と、インクタンク４と、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、インク循環機構６と、走査機構７と、を備えている。

以下の説明では、必要に応じてＸ，Ｙ，Ｚの直交座標系を用いて説明する。この場合、Ｘ方向は被記録媒体Ｐ（例えば、紙等）の搬送方向（副走査方向）に一致している。Ｙ方向は走査機構７の走査方向（主走査方向）に一致している。Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に直交する高さ方向（重力方向）を示している。以下の説明では、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のうち、図中矢印側をプラス（＋）側とし、矢印とは反対側をマイナス（－）側として説明する。本明細書において、＋Ｚ側は重力方向の上方に相当し、－Ｚ側は重力方向の下方に相当する。

搬送機構２，３は、被記録媒体Ｐを＋Ｘ側に搬送する。搬送機構２，３は、例えばＹ方向に延びる一対のローラ１１，１２をそれぞれ含んでいる。
インクタンク４には、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクが各別に収容されている。各インクジェットヘッド５は、接続されたインクタンク４に応じてイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクをそれぞれ吐出可能に構成されている。

図２は、インクジェットヘッド５及びインク循環機構６の概略構成図である。
図１、図２に示すように、インク循環機構６は、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間でインクを循環させる。具体的に、インク循環機構６は、インク供給管２１及びインク排出管２２を有する循環流路２３と、インク供給管２１に接続された加圧ポンプ２４と、インク排出管２２に接続された吸引ポンプ２５と、を備えている。

加圧ポンプ２４は、インク供給管２１内を加圧し、インク供給管２１を通してインクジェットヘッド５にインクを送り出している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク供給管２１側は正圧となっている。
吸引ポンプ２５は、インク排出管２２内を減圧し、インク排出管２２内を通してインクジェットヘッド５からインクを吸引している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク排出管２２側は負圧となっている。インクは、加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５の駆動により、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間を、循環流路２３を通して循環可能となっている。

図１に示すように、走査機構７は、インクジェットヘッド５をＹ方向に往復走査させる。走査機構７は、Ｙ方向に延びるガイドレール２８と、ガイドレール２８に移動可能に支持されたキャリッジ２９と、を備えている。

＜インクジェットヘッド５＞
インクジェットヘッド５は、キャリッジ２９に搭載されている。図示の例では、複数のインクジェットヘッド５が、一つのキャリッジ２９にＹ方向に並んで搭載されている。インクジェットヘッド５は、ヘッドチップ５０（図３参照）と、インク循環機構６及びヘッドチップ５０間を接続するインク供給部（不図示）と、ヘッドチップ５０に駆動電圧を印加する制御部（不図示）と、を備えている。

＜ヘッドチップ５０＞
図３は、ノズルプレート５１を取り外した状態において、ヘッドチップ５０を－Ｚ側から見た斜視図である。図４は、ヘッドチップ５０の分解斜視図である。
図３、図４に示すヘッドチップ５０は、インクタンク４との間でインクを循環させるとともに、後述する吐出チャネル７５における延在方向（Ｙ方向）の中央部からインクを吐出する、いわゆる循環式サイドシュートタイプのヘッドチップ５０である。ヘッドチップ５０は、ノズルプレート５１（図４参照）と、中間プレート５２と、アクチュエータプレート５３と、カバープレート５４と、を備えている。ヘッドチップ５０は、ノズルプレート５１、中間プレート５２、アクチュエータプレート５３及びカバープレート５４が、この順番にＺ方向に積層された構成である。以下の説明では、Ｚ方向（第３方向）のうち、ノズルプレート５１からカバープレート５４に向かう方向（＋Ｚ側）を上側（第３方向の第２側）とし、カバープレート５４からノズルプレート５１に向かう方向（－Ｚ側）を下側（第３方向の第１側）として説明する場合がある。

アクチュエータプレート５３は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されている。アクチュエータプレート５３は、例えば分極方向がＺ方向で異なる２枚の圧電板を積層してなる、いわゆるシェブロン基板である。但し、アクチュエータプレート５３は、分極方向がＺ方向の全域で一方向な、いわゆるモノポール基板であってもよい。

図５は、アクチュエータプレート５３の底面図である。
図４、図５に示すように、アクチュエータプレート５３には、複数（例えば、２列）のチャネル列６１，６２が形成されている。本実施形態において、チャネル列６１，６２は、第１チャネル列６１及び第２チャネル列６２である。各チャネル列６１，６２は、Ｘ方向に延びるとともに、Ｙ方向に間隔をあけて配列されている。

以下では、チャネル列６１，６２の構成について、第１チャネル列６１を例にして説明する。
第１チャネル列６１は、インクが充填される吐出チャネル（噴射チャネル）７５と、インクが充填されない非吐出チャネル（非噴射チャネル）７６と、を有している。各チャネル７５，７６は、Ｚ方向から見た平面視において、それぞれＹ方向（第１方向）に直線状に延びるとともに、Ｘ方向（第２方向）に間隔をあけて交互に並んでいる。アクチュエータプレート５３のうち、吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６間に位置する部分は、吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６間をＸ方向で仕切る駆動壁７０（図４参照）を構成している。なお、本実施形態では、チャネル延在方向がＹ方向に一致する構成について説明するが、チャネル延在方向がＹ方向に交差していてもよい。

図６は、図５のＶＩ－ＶＩ線に相当する断面図である。
図６に示すように、吐出チャネル７５は、Ｘ方向から見た側面視において、下方に向けて凸の円弧状に形成されている。吐出チャネル７５は、例えば円板状のダイサーをアクチュエータプレート５３の上方（＋Ｚ側）から進入させることで形成される。具体的に、吐出チャネル７５は、＋Ｙ側端部に位置する第１切り上がり部７５ａと、－Ｙ側端部に位置する第２切り上がり部７５ｂと、各切り上がり部７５ａ，７５ｂ間に位置する吐出側貫通部７５ｃと、を有している。

各切り上がり部７５ａ，７５ｂは、Ｘ方向から見て曲率半径が一様な円弧状である。各切り上がり部７５ａ，７５ｂは、Ｙ方向において吐出側貫通部７５ｃから離れるに従いＺ方向の深さが漸次浅くなっている。
吐出側貫通部７５ｃは、吐出チャネル７５におけるＹ方向の中央部で、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通している。したがって、吐出チャネル７５は、アクチュエータプレート５３の上面上において吐出チャネル７５の全体（切り上がり部７５ａ，７５ｂ及び吐出側貫通部７５ｃ）が開口する上側開口部と、アクチュエータプレート５３の下面（チャネル開口面）上において吐出側貫通部７５ｃのみが開口する下側開口部（チャネル開口部）と、を有している。

図７は、図５のＶＩＩ－ＶＩＩ線に相当する断面図である。
図７に示すように、非吐出チャネル７６は、駆動壁７０を間に挟んで吐出チャネル７５とＸ方向で隣り合っている。非吐出チャネル７６は、例えば円板状のダイサーをアクチュエータプレート５３の上方から進入させることで形成される。非吐出チャネル７６は、非吐出側貫通部７６ａと、切り上がり部７６ｂと、を備えている。
非吐出側貫通部７６ａは、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通している。すなわち、非吐出側貫通部７６ａは、Ｚ方向における溝深さが一様に形成されている。非吐出側貫通部７６ａは、非吐出チャネル７６のうち＋Ｙ側端部以外の部分を構成している。非吐出側貫通部７６ａは、アクチュエータプレート５３のうち－Ｙ側を向く端面上に形成された端面開口部を通じてヘッドチップ５０の外部に開放されている。
切り上がり部７６ｂは、非吐出チャネル７６のうち＋Ｙ側端部を構成している。切り上がり部７６ｂは、Ｘ方向から見て曲率半径が一様な円弧状である。切り上がり部７６ｂは、Ｙ方向において非吐出側貫通部７６ａから離れるに従いＺ方向の深さが漸次浅くなっている。

図６、図７に示すように、非吐出チャネル７６（非吐出側貫通部７６ａ）のＹ方向の寸法は、吐出チャネル７５よりも大きくなっている。具体的に、非吐出側貫通部７６ａの＋Ｙ側端部は吐出チャネル７５（吐出側貫通部７５ｃ）よりも＋Ｙ側に位置する第１突出部７７を構成している。非吐出側貫通部７６ａの－Ｙ側端部は吐出チャネル７５（吐出側貫通部７５ｃ）よりも－Ｙ側に位置する第２突出部７８を構成している。

図５に示すように、第２チャネル列６２は、第１チャネル列６１と同様に吐出チャネル（噴射チャネル）７５及び非吐出チャネル（非噴射チャネル）７６がＸ方向に交互に並んだ構成である。具体的に、第２チャネル列６２の吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６は、第１チャネル列６１の吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６の配列ピッチに対して半ピッチずれて配列されている。したがって、本実施形態のインクジェットヘッド５では、第１チャネル列６１及び第２チャネル列６２の吐出チャネル７５同士、並びに第１チャネル列６１及び第２チャネル列６２の非吐出チャネル７６同士が千鳥状（互い違い）に配置されている。すなわち、隣り合うチャネル列６１，６２間において、吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６同士がＹ方向で向かい合っている。但し、各チャネル列６１，６２間において、吐出チャネル７５同士及び非吐出チャネル７６同士の配列ピッチは、適宜変更が可能である。例えば、各チャネル列６１，６２間において、吐出チャネル７５同士及び非吐出チャネル７６同士がＹ方向で向かい合って配置されていてもよい。

各チャネル列６１，６２において、吐出チャネル７５は、ＸＺ平面に対して面対称に形成されている。各チャネル列６１，６２において、非吐出チャネル７６は、ＸＺ平面に対して面対称に形成されている。各チャネル７５，７６において、それぞれの切り上がり部７６ｂ同士は、Ｘ方向から見て少なくとも一部が互いに重なり合っている。但し、各チャネル７５，７６の切り上がり部７６ｂ同士は、Ｘ方向から見て重なり合わなくてもよい。

アクチュエータプレート５３のうち、第１チャネル列６１の吐出チャネル７５（吐出側貫通部７５ｃ）に対して－Ｙ側（第２チャネル列６２とは反対側）に位置する部分は、第１尾部８１を構成している。
アクチュエータプレート５３のうち、第２チャネル列６２の吐出チャネル７５に対して＋Ｙ側（第１チャネル列６１とは反対側）に位置する部分は、第２尾部８６を構成している。

図８は、図４のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線に沿う断面図である。
図８に示すように、アクチュエータプレート５３の駆動壁７０のうち、各吐出チャネル７５に面する内側面（吐出チャネル７５の内面のうち、Ｘ方向で向かい合う面）には、共通電極９５がそれぞれ形成されている。共通電極９５は、Ｙ方向における長さが吐出側貫通部７５ｃと同等（アクチュエータプレート５３の下面における吐出チャネル７５の開口長と同等）とされている。共通電極９５は、吐出側貫通部７５ｃの内側面においてＺ方向の全域に亘って形成されている。

図５に示すように、アクチュエータプレート５３の下面には、複数の共通端子９６が形成されている。共通端子９６は、Ｙ方向に沿って互いに平行に延在する帯状とされている。各共通端子９６は、対応する吐出チャネル７５の開口縁において一対の共通電極９５にそれぞれ接続されている。各共通端子９６は、対応する尾部８１，８６の下面上でそれぞれ終端している。

図８に示すように、アクチュエータプレート５３の駆動壁７０のうち、各非吐出チャネル７６に面する内側面（非吐出チャネル７６のうち、Ｘ方向で向かい合う面）には、個別電極９７が形成されている。個別電極９７は、Ｙ方向の長さが非吐出側貫通部７６ａと同等とされている。個別電極９７は、非吐出側貫通部７６ａの内側面において、Ｚ方向の全域に亘って形成されている。

図５に示すように、尾部８１，８６の下面において、共通端子９６よりも外側に位置する部分には、個別端子９８が形成されている。個別端子９８は、Ｘ方向に延びる帯状とされている。個別端子９８は、吐出チャネル７５を間に挟んでＸ方向で向かい合う非吐出チャネル７６の開口縁において、吐出チャネル７５を間に挟んでＸ方向で向かい合う個別電極９７同士を接続している。なお、尾部８１，８６において、共通端子９６と個別端子９８との間に位置する部分には、区画溝９９が形成されている。区画溝９９は、尾部８１，８６において、Ｘ方向に延びている。区画溝９９は、共通端子９６と個別端子９８とを分離している。

図８に示すように、吐出チャネル７５の内面には、第１保護膜１１０が形成されている。第１保護膜１１０は、吐出チャネル７５の内面全体に亘って形成されている。第１保護膜１１０は、共通電極９５を覆っている。第１保護膜１１０は、例えば共通電極９５とインクとの接触を抑制する。なお、第１保護膜１１０は、吐出チャネル７５の内側面において、少なくとも共通電極９５を覆っていればよい。

非吐出チャネル７６の内面には、第２保護膜１１１が形成されている。第２保護膜１１１は、非吐出チャネル７６の内面全体に亘って形成されている。第２保護膜１１１は、個別電極９７を覆っている。第２保護膜１１１は、例えば個別電極９７とインクとの接触等を抑制する。なお、第２保護膜１１１は、非吐出チャネル７６の内側面において、少なくとも個別電極９７を覆っていればよい。

保護膜１１０，１１１は、絶縁性を有する材料として、例えばパラキシリレン系樹脂材料（例えば、パリレン（登録商標））等の有機絶縁材料を含んでいる。保護膜１１０，１１１は、酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）、窒化シリコン（ＳｉＮ）、炭化シリコン（ＳｉＣ）、酸化シリコン（ＳｉＯ２）又はダイヤモンドライクカーボン（Ｄｉａｍｏｎｄ－ｌｉｋｅ ｃａｒｂｏｎ）等により構成されていてもよく、これらの少なくともいずれか一つを含んでいてもよい。

図６に示すように、第１尾部８１の下面には、第１フレキシブルプリント基板１００が圧着されている。第１フレキシブルプリント基板１００は、第１尾部８１の下面において、第１チャネル列６１に対応する共通端子９６と個別端子９８に接続されている。第１フレキシブルプリント基板１００は、アクチュエータプレート５３の外側を通って上方に引き出されている。

第２尾部８６の下面には、第２フレキシブルプリント基板１０１が圧着されている。第２フレキシブルプリント基板１０１は、第２尾部８６の下面において、第２チャネル列６２に対応する共通端子９６と個別端子９８に接続されている。第２フレキシブルプリント基板１０１は、アクチュエータプレート５３の外側を通じて上方に引き出されている。

＜カバープレート５４＞
図３、図４に示すように、カバープレート５４は、各チャネル列６１，６２を閉塞するようにアクチュエータプレート５３の上面に接合されている。カバープレート５４において、各チャネル列６１，６２と対応する位置には、入口共通インク室１２０及び出口共通インク室１２１がそれぞれ形成されている。
入口共通インク室１２０は、例えば第１チャネル列６１の＋Ｙ側端部と平面視で重なる位置に形成されている。入口共通インク室１２０は、例えば第１チャネル列６１を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート５４の上面上で開口している。
出口共通インク室１２１は、例えば第１チャネル列６１の－Ｙ側端部と平面視で重なる位置に形成されている。出口共通インク室１２１は、第１チャネル列６１を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート５４の上面上で開口している。

入口共通インク室１２０において、第１チャネル列６１の吐出チャネル７５（第１切り上がり部７５ａ）と平面視で重なる位置には、入口スリット（液体流路）１２５が形成されている。入口スリット１２５は、各吐出チャネル７５と、入口共通インク室１２０内と、の間を各別に連通している。
出口共通インク室１２１において、第１チャネル列６１の吐出チャネル７５（第２切り上がり部７５ｂ）と平面視で重なる位置には、出口スリット（液体流路）１２６が形成されている。出口スリット１２６は、各吐出チャネル７５と、出口共通インク室１２１内と、の間を各別に連通している。したがって、入口スリット１２５及び出口スリット１２６は、それぞれ各吐出チャネル７５に連通する一方、非吐出チャネル７６には連通していない。

＜中間プレート５２＞
中間プレート５２は、各チャネル列６１，６２を閉塞するようにアクチュエータプレート５３の下面に接着されている。中間プレート５２は、アクチュエータプレート５３と同様にＰＺＴ等の圧電材料により形成されている。中間プレート５２は、Ｚ方向での厚さがアクチュエータプレート５３よりも薄い。中間プレート５２は、Ｙ方向の寸法がアクチュエータプレート５３よりも小さくなっている。したがって、中間プレート５２に対してＹ方向の両側には、アクチュエータプレート５３におけるＹ方向の両端部（尾部８１，８６）が露出する。アクチュエータプレート５３におけるＹ方向の両端部において、中間プレート５２から露出した部分は、第１フレキシブルプリント基板１００の圧着領域として機能する。なお、中間プレート５２は、圧電材料以外の材料（例えば、ポリイミドやアルミナ等の非導電材）で形成されていてもよい。

＜ノズルプレート５１＞
図４に示すように、ノズルプレート５１は、中間プレート５２の下面に接着等によって固定されている。ノズルプレート５１は、Ｙ方向における幅が中間プレート５２と同等になっている。本実施形態において、ノズルプレート５１は、ポリイミド等の樹脂材料により厚さが５０μｍ程度に形成されている。但し、ノズルプレート５１は、樹脂材料の他、金属材料（ＳＵＳやＮｉ－Ｐｄ等）、ガラス、シリコン等による単層構造、又は積層構造であってもよい。

ノズルプレート５１には、Ｘ方向に延びるノズル列（第１ノズル列１４１及び第２ノズル列１４２）がＹ方向に間隔をあけて２列形成されている。
各ノズル列１４１，１４２は、ノズルプレート５１をＺ方向に貫通する複数のノズル孔（第１ノズル孔１４５及び第２ノズル孔１４６）を有している。各ノズル孔１４５，１４６は、それぞれＸ方向に間隔をあけて配置されている。各ノズル孔１４５，１４６は、例えば下方から上方に向かうに従い内径が漸次縮小するテーパ状に形成されている。図示の例において、各ノズル孔１４５，１４６の最大内径（上側開口部の内径）は、吐出チャネル７５におけるＸ方向の寸法以上に設定されている。

次に、中間プレート５２の詳細について説明する。以下では、中間プレート５２に形成される吐出用連通孔１５０、吐出側導入口１５１，１５２及び非吐出側導入口１５５について、第１チャネル列６１を例にして説明する。
図４～図８に示すように、中間プレート５２のうち、平面視で第１ノズル孔１４５と重なり合う位置には、吐出用連通孔１５０が形成されている。吐出用連通孔１５０は、中間プレート５２をＺ方向に貫通している。吐出用連通孔１５０は、複数の吐出チャネル７５及び複数の第１ノズル孔１４５のうち、対応する吐出チャネル７５及び第１ノズル孔１４５同士を各別に連通させている。すなわち、吐出用連通孔１５０は、吐出チャネル７５（吐出側貫通部７５ｃ）の下側開口部を通じて吐出チャネル７５内に連通している。一方、吐出用連通孔１５０は、第１ノズル孔１４５の上側開口部を通じて第１ノズル孔１４５内に連通している。したがって、各非吐出チャネル７６は、第１ノズル孔１４５には連通しておらず、中間プレート５２により下方から覆われている。

吐出用連通孔１５０は、Ｚ方向の全域に亘ってＹ方向の寸法及びＸ方向の寸法が一様に形成されている。但し、吐出用連通孔１５０は、例えば下方に向かうにＸ方向の寸法が拡大するテーパ形状又は段付き形状に形成されていてもよい。
吐出用連通孔１５０におけるＹ方向の寸法は、吐出側貫通部７５ｃにおけるＹ方向の寸法よりも小さく、ノズル孔１４５，１４６におけるＹ方向の寸法よりも大きく設定されている。但し、吐出用連通孔１５０におけるＹ方向の寸法は、吐出側貫通部７５ｃにおけるＹ方向の寸法より大きくてもよい。
吐出用連通孔１５０におけるＸ方向の寸法は、ノズル孔１４５，１４６の最大内径部（上側開口部）より大きいことが好ましい。但し、吐出用連通孔１５０におけるＸ方向の寸法は、吐出チャネル７５におけるＸ方向の寸法以下に設定されていてもよい。

中間プレート５２のうち、平面視で吐出側貫通部７５ｃと重なり合う位置であって、第１ノズル孔１４５と重なり合わない位置には、吐出側導入口（第１吐出側導入口１５１及び第２吐出側導入口１５２）が形成されている。第１吐出側導入口１５１は吐出用連通孔１５０に対して＋Ｙ側に位置し、第２吐出側導入口１５２は吐出用連通孔１５０に対して－Ｙ側に位置している。

第１吐出側導入口１５１は、第１保護膜１１０の形成材料を吐出チャネル７５内に導入する導入口としての機能を有するとともに、中間プレート５２にノズルプレート５１を接合する際における接着剤の収容部としての機能を有している。第１吐出側導入口１５１は、平面視外形が円形状で、中間プレート５２をＺ方向に貫通する丸孔である。第１吐出側導入口１５１の上側開口部は、吐出側貫通部７５ｃを通じて吐出チャネル７５内に連通している。第１吐出側導入口１５１の下側開口部は、ノズルプレート５１により下方から閉塞されている。第１吐出側導入口１５１の内径は、吐出チャネル７５に形成される第１保護膜１１０の膜厚の２倍以上であって、吐出側貫通部７５ｃにおけるＸ方向の寸法よりも小さくなっている。但し、第１吐出側導入口１５１の内径は、適宜変更が可能である。

図９は、図６の拡大図である。
図９に示すように、第１吐出側導入口１５１は、入口スリット１２６と吐出用連通孔１５０との間の領域Ｌのうち、Ｙ方向の中心Ｏに対して第１切り上がり部７５ａ（入口スリット１２６）寄りに位置する部分に設けられている。但し、第１吐出側導入口１５１におけるＹ方向の位置は、第１吐出側導入口１５１を設けない場合における吐出チャネル７５内での第１保護膜１１０の膜厚分布に応じて適宜変更が可能である。例えば第１吐出側導入口１５１は、入口スリット１２６と吐出用連通孔１５０との間の領域Ｌのうち、Ｙ方向の中心Ｏを含む部分に設けられていてもよい。

第２吐出側導入口１５２は、第１ノズル孔１４５を間に挟んでＹ方向で対称となる位置に、第１吐出側導入口１５１と同等の外形で形成されている。但し、第２吐出側導入口１５２の位置や形状は、第１吐出側導入口１５１の位置や形状に関わらず適宜変更が可能である。例えば、吐出チャネル７５内において、第１切り上がり部７５ａ及び第２切り上がり部７５ｂ間で圧力損失が異なる場合には、圧力損失が大きい方に配置される吐出側導入口１５１，１５２を第１ノズル孔１４５からＹ方向に離れた位置に配置する等してもよい。また、吐出側導入口１５１，１５２は、少なくとも一つ設けられていればよい。

図７に示すように、非吐出側導入口１５５は、中間プレート５２のうち、平面視において、中間プレート５２のうち非吐出側貫通部７６ａに重なり合い、かつ吐出側貫通部７５ｃと重なり合わない位置で、中間プレート５２をＺ方向に貫通している。具体的に、非吐出側導入口１５５は、中間プレート５２のうち、第１吐出側導入口１５１に対して＋Ｙ側に位置する部分において、第１突出部７７と平面視で重なり合う位置に設けられている。したがって、非吐出側導入口１５５は、上側開口部を通じて非吐出チャネル７６（第１突出部７７）内に連通している。非吐出側導入口１５５の下側開口部は、ノズルプレート５１によって閉塞されている。なお、非吐出側導入口１５５は、ノズルプレート５１によって閉塞されていなくてもよい。

なお、非吐出側導入口１５５におけるＹ方向の位置は、非吐出側導入口１５５を設けない場合における非吐出チャネル７６内での第２保護膜１１１の膜厚分布に応じて適宜変更が可能である。例えば、非吐出チャネル７６は、非吐出側貫通部７６ａの－Ｙ側端部において、アクチュエータプレート５３の－Ｙ側端面上で開放される一方、非吐出側貫通部７６ａの＋Ｙ側端部において切り上がり部７６ｂに連なっている。したがって、非吐出チャネル７６における＋Ｙ側端部は、－Ｙ側端部よりも流路断面積が小さく、圧力損失が比較的高くなる箇所である。そのため、非吐出チャネル７６における＋Ｙ側端部は、第２保護膜１１１の形成材料が行き渡り難い。したがって、非吐出側導入口１５５は、中間プレート５２のうち、第１吐出側導入口１５１に対して＋Ｙ側に位置する部分に設けられている。

非吐出側導入口１５５は、第１チャネル列６１を跨る長さでＸ方向に直線状に延びている。したがって、非吐出側導入口１５５は、第１チャネル列６１の各非吐出チャネル７６にそれぞれ連通している。なお、非吐出側導入口１５５は、各非吐出チャネル７６毎に設けられていてもよい。この場合、非吐出側導入口１５５の位置や大きさは、吐出チャネル７５（吐出側貫通部７５ｃ）の位置に関わらず、適宜変更が可能である。

［プリンタ１の動作方法］
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク４にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４内のインクがインク循環機構６を介してインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。

このような初期状態のもと、プリンタ１を作動させると、被記録媒体Ｐが搬送機構２，３のローラ１１，１２に挟み込まれながら＋Ｘ側に搬送される。また、これと同時にキャリッジ２９がＹ方向に移動することで、キャリッジ２９に搭載されたインクジェットヘッド５がＹ方向に往復移動する。
インクジェットヘッド５が往復移動する間に、各インクジェットヘッド５よりインクを被記録媒体Ｐに適宜吐出させる。これにより、被記録媒体Ｐに対して文字や画像等の記録を行うことができる。

ここで、各インクジェットヘッド５の動きについて、以下に詳細に説明する。
本実施形態のような循環式サイドシュートタイプのインクジェットヘッド５では、まず図２に示す加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５を作動させることで、循環流路２３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管２１を流通するインクは、入口共通インク室１２０及び入口スリット１２５を通して各吐出チャネル７５内に供給される。各吐出チャネル７５内に供給されたインクは、各吐出チャネル７５をＹ方向に流通する。その後、インクは、出口スリット１２６を通じて出口共通インク室１２１に排出された後、インク排出管２２を通してインクタンク４に戻される。これにより、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクを循環させることができる。

そして、キャリッジ２９（図１参照）の移動によってインクジェットヘッド５の往復移動が開始されると、フレキシブルプリント基板１００，１０１を介して電極９５，９７に駆動電圧が印加される。この際、個別電極９７を駆動電位Ｖｄｄとし、共通電極９５を基準電位ＧＮＤとして各電極９５，９７間に駆動電圧を印加する。すると、吐出チャネル７５を画成する２つ駆動壁７０に厚み滑り変形が生じ、２つの駆動壁７０が非吐出チャネル７６側へ突出するように変形する。すなわち、各電極９５，９７間に電圧を印加することで、駆動壁７０がＺ方向の中間部分を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル７５の容積が増大する。そして、吐出チャネル７５の容積が増大したことにより、入口共通インク室１２０内に貯留されたインクが入口スリット１２５を通じて吐出チャネル７５内に誘導される。吐出チャネル７５の内部に誘導されたインクは、圧力波となって吐出チャネル７５の内部に伝播する。圧力波がノズル孔１４５，１４６に到達したタイミングで、電極９５，９７間に印加した電圧をゼロにする。これにより、駆動壁７０が復元し、一旦増大した吐出チャネル７５の容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出チャネル７５の内部の圧力が増加し、インクが加圧される。その結果、液滴状のインクが吐出用連通孔１５０及びノズル孔１４５，１４６を通って外部に吐出されることで、上述したように被記録媒体Ｐに文字や画像等を記録することができる。

＜ヘッドチップ５０の製造方法＞
次に、上述したヘッドチップ５０の製造方法について説明する。図１０は、ヘッドチップ５０の製造方法を説明するためのフローチャートである。図１１～図１３は、ヘッドチップ５０の製造方法を説明するための工程図であって、図６に対応する断面図である。以下の説明では、便宜上、ヘッドチップ５０をチップレベルで製造する場合を例にして説明する。
図１０に示すように、ヘッドチップ５０の製造方法は、接合前貫通工程（第２連通工程、第３連通工程）と、中間プレート接合工程（中間プレート積層工程）と、接合後貫通工程（第１連通工程）と、保護膜形成工程と、ノズルプレート接合工程と、を備えている。なお、各プレート５１～５４には、中間プレート接合工程以前に必要な加工は既に施しているものとする。

接合前貫通工程では、中間プレート５２に対して非吐出側導入口１５５を形成する。具体的に、非吐出側導入口１５５は、中間プレート５２のうち、非吐出側導入口１５５の形成領域に対してレーザ加工を施すことで、中間プレート５２を貫通させる。なお、非吐出側導入口１５５は、エッチング等によって加工してもよい。接合前貫通工程において、非吐出側導入口１５５を形成する工程は、例えば本開示に係る第３連通工程に相当する。

図１１に示すように、中間プレート接合工程では、アクチュエータプレート５３とカバープレート５４とが積層された積層体２００に対して、予め非吐出側導入口１５５が形成された中間プレート５２を接合する。具体的に、中間プレート５２は、非吐出側導入口１５５と非吐出チャネル７６（非吐出側貫通部７６ａ）とが重ね合わされるように、アクチュエータプレート５３の下面に対して接着剤等を介して接合する。なお、中間プレート接合工程時において、吐出用連通孔１５０及び吐出側導入口１５１，１５２は未だ形成されていない。

図１２に示すように、接合後貫通工程では、中間プレート５２に対して吐出用連通孔１５０及び吐出側導入口１５１，１５２を形成する。具体的に、接合後貫通工程は、中間プレート５２の下面のうち、平面視で吐出チャネル７５（吐出側貫通部７５ｃ）と重なり合う部分に対してレーザ加工を施すことで、中間プレート５２を貫通させる。本実施形態のように、アクチュエータプレート５３に中間プレート５２が積層された状態で、吐出用連通孔１５０及び吐出側導入口１５１を形成することで、吐出チャネル７５と吐出用連通孔１５０との位置精度を向上させることができる。

図１３に示すように、保護膜形成工程では、吐出チャネル７５に第１保護膜１１０を形成するとともに、非吐出チャネル７６の内面に第２保護膜１１１を形成する。保護膜１１０，１１１は、例えば化学蒸着法（ＣＶＤ）等を用いてパラキシリレン系樹脂材料を成膜することにより行う。具体的には、積層体をチャンバ（不図示）にセットした状態で、保護膜１１０，１１１の形成材料となる原料ガスを導入する。この際、吐出チャネル７５には、スリット１２５，１２６や吐出用連通孔１５０、吐出側導入口１５１を通じて原料ガスが導入される（図１３中矢印参照）。吐出チャネル７５内に導入された原料ガスが吐出チャネル７５の内面に付着することで、吐出チャネル７５の内面上に第１保護膜１１０として堆積する。
非吐出チャネル７６には、非吐出側貫通部７６ａや非吐出側導入口１５５を通じて原料ガスが導入される（図１３中矢印参照）。非吐出チャネル７６内に導入された原料ガスが非吐出チャネル７６の内面に付着することで、第２保護膜１１１として堆積される。なお、吐出側導入口１５１，１５２及び非吐出側導入口１５５の内面には、吐出側導入口１５１，１５２及び非吐出側導入口１５５を通過しきれなかった保護膜の形成材料の一部が堆積してもよい。

ノズルプレート接合工程では、ノズル孔１４５，１４６が吐出用連通孔１５０を通じて吐出チャネル７５内に連通し、かつ吐出側導入口１５１及び非吐出側導入口１５５が閉塞されるように、ノズルプレート５１と中間プレート５２とを貼り合わせる。なお、吐出側導入口１５１，１５２及び非吐出側導入口１５５内には、ノズルプレート５１を接着剤により接合する際に、ノズルプレート５１と中間プレート５２とで押し流された余剰の接着剤が収容される。
以上により、ヘッドチップ５０が製造される。

なお、ヘッドチップ５０は、ウエハレベルで製造してもよい。ウエハレベルで製造する場合には、まず複数のアクチュエータプレート５３が連なるアクチュエータウエハと、複数のカバープレート５４が連なるカバーウエハと、複数の中間プレート５２が連なる中間ウエハと、を接合してウエハ接合体を形成する。その後、ウエハ接合体に対して保護膜１１０，１１１を形成した後、ウエハ接合体を切断することにより複数のヘッドチップ５０が形成される。

このように、本実施形態では、複数の吐出チャネル７５内に各別に連通する吐出用連通孔１５０及び吐出側導入口１５１，１５２が形成された中間プレート５２と、吐出用連通孔１５０がノズル孔１４５，１４６に各別に連通し、かつ吐出側導入口１５１，１５２が閉塞された状態で中間プレート５２に接合されたノズルプレート５１と、を備える構成とした。
この構成によれば、中間プレート５２が設けられた状態で吐出チャネル７５内に第１保護膜１１０を成膜するにあたって、吐出用連通孔１５０に加えて吐出側導入口１５１，１５２を通じて第１保護膜１１０の形成材料を導入できる。これにより、吐出チャネル７５内に第１保護膜１１０を均一に形成し易い。この場合、第１保護膜１１０が形成されたアクチュエータプレート５３に対して中間プレート５２を接合し、後加工として吐出用連通孔１５０を形成する場合に比べ、吐出用連通孔１５０の形成時に第１保護膜１１０等にダメージが及ぶことを抑制できる。
その結果、吐出チャネル７５の微細化、狭ピッチ化に対応した上で、吐出チャネル７５の内面に第１保護膜１１０を均一に形成することができ、共通電極９５を保護できる。

ところで、カバープレート５４及び中間プレート５２が積層された状態で第１保護膜１１０を成膜すると、吐出側導入口１５１，１５２が形成されていない場合には、吐出用連通孔１５０及びスリット１２５，１２６を通じて吐出チャネル７５内に第１保護膜１１０の形成材料が導入される。この際、吐出チャネル７５内において、吐出用連通孔１５０とスリット１２６との中間部分には、第１保護膜１１０が到達し難い。そのため、吐出チャネル７５内において、吐出用連通孔１５０とスリット１２５，１２６との中間部分は、膜厚最小部分として、第１保護膜１１０の膜厚が確保し難い。
そこで、本実施形態では、第１吐出側導入口１５１（第２吐出側導入口１５２）は、Ｙ方向において入口スリット１２５（出口スリット１２６）と、吐出用連通孔１５０と、の間に位置する部分で吐出チャネル７５内に連通している構成とした。
この構成によれば、Ｙ方向においてスリット１２５，１２６と吐出用連通孔１５０との間に位置する部分に吐出側導入口１５１，１５２を設けることで、膜厚最小部分の膜厚を増加できる。そのため、吐出チャネル７５の内面に第１保護膜１１０を均一に形成できる。

本実施形態において、第１吐出側導入口１５１は、入口スリット１２６と吐出用連通孔１５０との間において、Ｙ方向の中心に対して第１切り上がり部７５ａ寄りに位置する部分に設けられている構成とした。
例えば、吐出チャネル７５内において、第１切り上がり部７５ａ（入口スリット１２５）寄りに位置する部分は流路断面積が小さく、圧力損失が比較的高くなる箇所である。そのため、吐出用連通孔１５０内を通じて第１保護膜１１０の形成材料を導入する場合において、第１保護膜１１０の形成材料が行き渡り難い。上記に鑑み、入口スリット１２６と吐出用連通孔１５０との間の領域Ｌのうち、Ｙ方向の中心Ｏに対して切り上がり部７５ａ，７５ｂ（入口スリット１２５又は出口スリット１２６）寄りに位置する部分に吐出側導入口１５１，１５２を設けることで、膜厚最小部分に対して第１保護膜１１０をより確実に形成できる。

本実施形態において、吐出側導入口１５１，１５２の内径は、吐出側貫通部７５ｃにおけるＸ方向の寸法以下に設定されている構成とした。
この構成によれば、中間プレート５２とアクチュエータプレート５３との接合後に、後加工として吐出側導入口１５１，１５２を形成した場合であっても、吐出側導入口１５１，１５２の加工時にアクチュエータプレート５３にダメージが及ぶことを抑制できる。

本実施形態において、吐出側導入口１５１，１５２は、開口方向（Ｚ方向）から見て円形状に形成されている構成とした。
この構成によれば、吐出側導入口１５１，１５２の内面に角部が形成されないので、吐出側導入口１５１，１５２内での気泡の滞留等を抑制できる。気泡の滞留を抑制することによって、インクの吐出時に気泡がノズル孔１４５、１４６から排出されることを抑制できる。その結果、白抜け等の印刷不良を抑制し、高精度な印刷を行うことができる。

本実施形態では、吐出側導入口１５１，１５２の内径（Ｘ方向で向かい合う部分同士の間の寸法）が、第１保護膜１１０の膜厚の２倍以上である構成とした。
この構成によれば、第１保護膜１１０の形成時において、吐出チャネル７５内への第１保護膜１１０の導入完了前に、吐出側導入口１５１，１５２の内面に付着する第１保護膜１１０によって吐出側導入口１５１，１５２が塞がれることを抑制できる。その結果、吐出チャネル７５内に確実に第１保護膜１１０の形成材料を導入することができる。

本実施形態において、吐出側導入口１５１，１５２内には、接着剤の一部が収容される構成とした。
この構成によれば、ノズルプレート５１と中間プレート５２とを接合する際に、余剰の接着剤が吐出用連通孔１５０やノズル孔１４５，１４６まで到達することを抑制できる。その結果、インクの流れが接着剤に阻害されることを抑制し、吐出性能の低下を抑制できる。
また、保護膜形成後における吐出側導入口１５１，１５２の実容積を減少させることができるので、ヘッドチップ５０の使用時において吐出側導入口１５１，１５２内に気泡が滞留すること等を抑制できる。気泡の滞留を抑制することによって、インクの吐出時に気泡がノズル孔１４５，１４６から排出されることを抑制できる。その結果、白抜け等の印刷不良を抑制し、高精度な印刷を行うことができる。

本実施形態において、中間プレート５２には、非吐出チャネル７６内に連通する非吐出側導入口１５５が形成されている構成とした。
この構成によれば、非吐出側導入口１５５を通じて非吐出チャネル７６内に第２保護膜１１１の形成材料を導入することができる。そのため、非吐出チャネル７６内に第２保護膜１１１を均一に形成し易い。

ところで、カバープレート５４及び中間プレート５２が積層された状態で第２保護膜１１１を成膜すると、非吐出側導入口１５５が形成されていない場合には、アクチュエータプレート５３のうちＹ方向を向く端面開口部を通じて非吐出チャネル７６内に第２保護膜１１１の形成材料が導入される。この際、非吐出チャネル７６内において、端面開口部とは反対側の端部には第２保護膜１１１が到達し難い。そのため、非吐出チャネル７６内において、端面開口部側とは反対側の端部は、膜厚最小部分として、第２保護膜１１１の膜厚が確保し難い。
そこで、本実施形態では、非吐出チャネル７６のうち端面開口部側とは反対側の端部に非吐出側導入口１５５を設けることで、膜厚最小部分に対しても第２保護膜１１１を成膜できる。

本実施形態において、非吐出側導入口１５５は、Ｘ方向で隣り合う非吐出チャネル７６の第１突出部７７同士の間を横断してＸ方向に延びるとともに、第１突出部７７を通じて隣り合う非吐出チャネル７６内にまとめて連通している構成とした。
この構成によれば、隣り合う非吐出チャネル７６間で非吐出側導入口１５５を共用できる。そのため、隣り合う非吐出チャネル７６毎に非吐出側導入口１５５を設ける構成に比べて製造効率を向上させることができる。

本実施形態に係るインクジェットヘッド５及びプリンタ１は、上述したヘッドチップ５０を備えているので、高品質で信頼性に優れた液体噴射ヘッドを提供できる。

本実施形態において、接合後貫通工程として、中間プレート接合工程と保護膜形成工程との間に吐出用連通孔１５０及び吐出側導入口１５１，１５２を形成する構成とした。
この構成によれば、アクチュエータプレート５３に中間プレート５２が積層された状態で、吐出用連通孔１５０及び吐出側導入口１５１，１５２を形成することで、吐出チャネル７５と吐出用連通孔１５０及び吐出側導入口１５１，１５２との位置精度を向上させることができる。

なお、上述した第１実施形態では、接合後貫通工程として、中間プレート接合工程の後に吐出用連通孔１５０及び吐出側導入口１５１，１５２を形成する方法について説明したが、この構成に限られない。接合前貫通工程において、予め吐出側導入口１５１，１５２を形成し、接合後貫通工程において、少なくとも吐出用連通孔１５０を形成する構成であってもよい。この構成によれば、吐出側導入口１５１，１５２を予め形成しておくことで、中間プレート５２の積層後、ヘッドチップ５０が完成するまでの加工時間を短縮できる。接合前貫通工程において、吐出側導入口１５１，１５２を形成する工程は、例えば本開示に係る第２連通工程に相当する。
上述した第１実施形態では、非吐出側導入口１５５を接合前貫通工程で形成する構成について説明したが、この構成に限られない。例えば非吐出側導入口１５５を非吐出チャネル７６毎に形成する場合には、非吐出側導入口１５５を接合後貫通工程で形成してもよい。

本実施形態において、接合前貫通工程として非吐出側導入口１５５を形成し、保護膜形成工程の段に、非吐出側導入口１５５が形成された中間プレート５２をアクチュエータプレート５３に積層する中間プレート積層工程を備えている構成とした。
この構成によれば、非吐出側導入口１５５を予め形成しておくことで、中間プレート５２の積層後、ヘッドチップ５０が完成するまでの加工時間を短縮できる。

（第２実施形態）
上述した実施形態では、非吐出側導入口１５５が各チャネル列６１，６２毎に設けられている構成について説明したが、この構成に限られない。
具体的には、図１４に示すヘッドチップ５０のように、非吐出側導入口１５５が第１チャネル列６１及び第２チャネル列６２間に跨って設けられていてもよい。具体的に、非吐出側導入口１５５は、中間プレート５２のうち、第１チャネル列６１のうち第１突出部７７に平面視で重なり合う部分と、第２チャネル列６２のうち第１突出部７７に平面視で重なり合う部分と、を含む領域がＺ方向に貫通している。

この構成によれば、各チャネル列６１，６２毎に非吐出側導入口１５５を形成する場合に比べ、非吐出側導入口１５５を大きく確保することができるので、中間プレート接合工程において、非吐出チャネル７６と非吐出側導入口１５５との位置合わせが容易になる。

（その他の変形例）
なお、本開示の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述した実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であってもよい。
上述した実施形態では、印刷時にインクジェットヘッドが被記録媒体に対して移動する構成（いわゆる、シャトル機）を例にして説明をしたが、この構成に限られない。本開示に係る構成は、インクジェットヘッドを固定した状態で、インクジェットヘッドに対して被記録媒体を移動させる構成（いわゆる、固定ヘッド機）に採用してもよい。
上述した実施形態では、被記録媒体Ｐが紙の場合について説明したが、この構成に限られない。被記録媒体Ｐは、紙に限らず、金属材料や樹脂材料であってもよく、食品等であってもよい。
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドが液体噴射記録装置に搭載された構成について説明したが、この構成に限られない。すなわち、液体噴射ヘッドから噴射される液体は、被記録媒体に着弾させるものに限らず、例えば調剤中に配合する薬液や、食品に添加する調味料や香料等の食品添加物、空気中に噴射する芳香剤等であってもよい。

上述した実施形態では、Ｚ方向が重力方向に一致する構成について説明したが、この構成のみに限らず、Ｚ方向を水平方向に沿わせてもよい。
上述した実施形態では、吐出チャネル７５と非吐出チャネル７６とが交互に配列された構成について説明したが、これに限らない。例えば、全チャネルから順次インクを噴射する、いわゆる３サイクル方式のヘッドチップ５０に本開示を適用しても構わない。
上述した実施形態では、循環式サイドシュートタイプのヘッドチップ５０を例にして説明したが、この構成に限られない。ヘッドチップは、吐出チャネルにおける延在方向（Ｙ方向）の端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプであってもよい。

上述した実施形態では、アクチュエータプレート５３、中間プレート５２及びノズルプレート５１が順次接合されている構成について説明したが、この構成に限られない。アクチュエータプレート５３及び中間プレート５２の間や、中間プレート５２及びノズルプレート５１の間に別の部材が設けられていてもよい。この場合、本開示に係る中間プレート積層工程についても、積層対象物が被積層対象物（例えば、積層対象物が中間プレートの場合、被積層対象物はアクチュエータプレート）に対して直接接合する場合に限らず、少なくとも被積層対象物に対して積層対象物が積層される構成であれば、被積層対象物上に別の部材が接合された状態で、別の部材上に積層対象物を接合してもよい。また、被積層対象物に対して積層対象物が直接積層される場合であっても、積層対象物と被積層対象物とが接合以外の方法で積層されていてもよい。

その他、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせてもよい。

１：プリンタ（液体噴射記録装置）
５：インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
５０：ヘッドチップ
５１：ノズルプレート（噴射孔プレート）
５２：中間プレート
５３：アクチュエータプレート
５４：カバープレート
７５：吐出チャネル（噴射チャネル）
７５ａ：第１切り上がり部（切り上がり部）
７６：非吐出チャネル（非噴射チャネル）
７７：第１突出部（突出部）
９５：共通電極（第１電極）
９７：個別電極（第２電極）
１１０：第１保護膜
１１１：第２保護膜
１５０：吐出用連通孔（第１連通孔）
１５１：第１吐出側導入口（第２連通孔）
１５２：第２吐出側導入口（第２連通孔）
１５５：非吐出側導入口（第３連通孔）

Claims (16)

1. 第１方向に延びる噴射チャネルが前記第１方向に交差する第２方向に複数配列されたアクチュエータプレートと、
   前記噴射チャネルの内面に形成された第１電極と、
   前記噴射チャネルの内面において前記第１電極を覆うように設けられた第１保護膜と、
   複数の前記噴射チャネル内に各別に連通する第１連通孔及び第２連通孔を有し、前記アクチュエータプレートのうち前記噴射チャネルが開口するチャネル開口面に向かい合って設けられた中間プレートと、
   液体を噴射する複数の噴射孔を有し、前記第１連通孔が前記噴射孔に各別に連通し、かつ前記第２連通孔を閉塞した状態で、前記中間プレートに対して前記アクチュエータプレートとは反対側に設けられた噴射孔プレートと、を備えているヘッドチップ。
2. 前記チャネル開口面は、前記アクチュエータプレートのうち前記第１方向から見て前記第２方向に交差する第３方向の第１側を向き、
   前記アクチュエータプレートのうち前記第３方向における前記第１側と反対側である第２側を向く面には、前記噴射チャネル内に連通する液体流路を有するカバープレートが設けられ、
   前記第２連通孔は、前記第１方向において前記液体流路と前記第１連通孔との間に位置する部分で前記噴射チャネル内に連通している請求項１に記載のヘッドチップ。
3. 前記噴射チャネルは、
   前記第１方向の中央部において前記チャネル開口面に開口する貫通部と、
   前記貫通部に対して前記第１方向における少なくとも第１側端部に連なり、前記中央部から離れるに従い前記第３方向の深さが浅くなる切り上がり部と、を備え、
   前記液体流路は、前記第３方向から見て前記切り上がり部と重なり合う位置で前記噴射チャネル内に連通し、
   前記第２連通孔は、前記液体流路と前記第１連通孔との間の領域において前記第１方向の中心に対して前記液体流路側に位置している請求項２に記載のヘッドチップ。
4. 前記第２連通孔における前記第２方向の寸法は、前記噴射チャネルにおける前記第２方向の寸法以下に設定されている請求項１から請求項３の何れか１項に記載のヘッドチップ。
5. 前記第２連通孔は、前記第２連通孔の開口方向から見て円形状に形成されている請求項１から請求項４の何れか１項に記載のヘッドチップ。
6. 前記第２連通孔の内面のうち、向かい合う部分同士の間の寸法が、前記噴射チャネルに形成される前記第１保護膜の膜厚の２倍以上である請求項１から請求項５の何れか１項に記載のヘッドチップ。
7. 前記噴射孔プレートは、前記中間プレートに対して接着剤を介して接合され、
   前記第２連通孔内には、前記接着剤の一部が収容されている請求項１から請求項６の何れか１項に記載のヘッドチップ。
8. 前記アクチュエータプレートのうち、前記第２方向で隣り合う前記噴射チャネル同士の間に位置する部分に形成されるとともに、液体が充填されない非噴射チャネルと、
   前記非噴射チャネルの内面に形成された第２電極と、
   前記非噴射チャネルの内面において前記第２電極を覆うように設けられた第２保護膜と、を備え
   前記中間プレートには、前記非噴射チャネル内に連通する第３連通孔が形成されている請求項１から請求項７の何れか１項に記載のヘッドチップ。
9. 前記非噴射チャネルは、前記アクチュエータプレートのうち前記第１方向で第１側を向く端面上で開放され、
   前記第３連通孔は、前記非噴射チャネルのうち前記第１方向における前記第１側と反対側である第２側の端部において前記非噴射チャネル内に連通している請求項８に記載のヘッドチップ。
10. 前記非噴射チャネルは、前記噴射チャネルのうち前記チャネル開口面上に開口するチャネル開口部よりも前記第１方向に突出する突出部を備え、
    前記第３連通孔は、前記第２方向で隣り合う前記非噴射チャネルの前記突出部同士の間を横断して前記第２方向に延びるとともに、前記突出部を通じて隣り合う前記非噴射チャネル内にまとめて連通している請求項８又は請求項９に記載のヘッドチップ。
11. 請求項１から請求項１０の何れか１項に記載のヘッドチップを備えている液体噴射ヘッド。
12. 請求項１１に記載の液体噴射ヘッドを備えている液体噴射記録装置。
13. 第１方向に延びる噴射チャネルが前記第１方向に交差する第２方向に複数配列されたアクチュエータプレートと、
    前記噴射チャネルの内面に形成された第１電極と、
    前記噴射チャネルの内面において前記第１電極を覆うように設けられた第１保護膜と、
    前記アクチュエータプレートのうち前記噴射チャネルが開口するチャネル開口面に向かい合って設けられた中間プレートと、を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
    前記中間プレートに対して、複数の前記噴射チャネル内に各別に連通する第１連通孔及び第２連通孔を形成する連通孔形成工程と、
    前記中間プレートが前記アクチュエータプレートに積層された状態で、前記第１連通孔及び前記第２連通孔を通じて前記噴射チャネル内に前記第１保護膜を形成する保護膜形成工程と、
    液体を噴射する複数の噴射孔を有する噴射孔プレートを、前記第１連通孔が前記噴射孔に各別に連通し、かつ前記第２連通孔が前記噴射孔プレートによって閉塞されるように、前記中間プレートに積層する噴射孔プレート積層工程と、を備えているヘッドチップの製造方法。
14. 前記保護膜形成工程の前に、前記中間プレートを前記アクチュエータプレートに積層する中間プレート積層工程を備え、
    前記連通孔形成工程は、
    前記中間プレート積層工程の後に、前記中間プレートに前記第１連通孔を形成する第１連通工程と、
    前記中間プレート積層工程の前に、前記中間プレートに前記第２連通孔を形成する第２連通工程と、を備えている請求項１３に記載のヘッドチップの製造方法。
15. 前記保護膜形成工程の前に、前記中間プレートを前記アクチュエータプレートに積層する中間プレート積層工程を備え、
    前記連通孔形成工程は、前記中間プレート積層工程と前記保護膜形成工程との間に行う請求項１３に記載のヘッドチップの製造方法。
16. 前記噴射チャネルのうち前記チャネル開口面上に開口するチャネル開口部よりも前記第１方向に突出する突出部を有し、前記アクチュエータプレートのうち、前記第２方向で隣り合う前記噴射チャネル同士の間に位置する部分に形成されるとともに、液体が充填されない非噴射チャネルと、
    前記非噴射チャネルの内面に形成された第２電極と、
    前記非噴射チャネルの内面において前記第２電極を覆うように設けられた第２保護膜と、を備え、
    前記中間プレートのうち前記第２方向で隣り合う前記非噴射チャネルの前記突出部同士の間を横断して前記第２方向に延びるとともに、前記突出部を通じて隣り合う前記非噴射チャネル内にまとめて連通する第３連通孔を形成する第３連通工程と、
    前記保護膜形成工程の前に、前記第３連通孔が形成された前記中間プレートを前記アクチュエータプレートに積層する中間プレート積層工程を備えている請求項１３から請求項１５の何れか１項に記載のヘッドチップの製造方法。

Images