JP2012091381A - インクジェットヘッド及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】インク圧力室を形成する圧電部材と、前記圧電部材の側面に配置された電極と、前記圧電部材に接着されるとともに前記インク圧力室に連通するノズル穴を有するノズルプレートと、前記ノズルプレートの表面、前記圧電部材と前記ノズルプレートとの接着部、及び、前記電極を覆う保護膜と、を備え、前記ノズルプレートの上面における前記ノズル穴の周囲においては、前記保護膜の少なくとも一部が欠落していることを特徴とするインクジェットヘッド。
【選択図】 図2
Description
インク圧力室を形成する圧電部材と、前記圧電部材の側面に配置された電極と、前記圧電部材に接着されるとともに前記インク圧力室に連通するノズル穴を有するノズルプレートと、前記圧電部材と前記ノズルプレートとを接着する接着剤と、前記ノズルプレートの表面、前記圧電部材と前記ノズルプレートとの接着部、及び、前記電極を覆う保護膜と、を備え、前記ノズルプレートの上面における前記ノズル穴の周囲においては、前記保護膜の少なくとも一部が欠落していることを特徴とするインクジェットヘッドが提供される。
インク圧力室を形成する圧電部材、及び、前記圧電部材の側面に配置された電極を形成し、前記圧電部材とノズルプレートとを接着し、前記ノズルプレートの表面、前記圧電部材と前記ノズルプレートとの接着部、及び、前記電極を覆う保護膜を形成し、少なくとも前記ノズル穴の周囲においては、レーザー光を照射することにより、前記ノズルプレートの上面を覆う前記保護膜の少なくとも一部を除去する、ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法が提供される。
10…主要部
11…絶縁基板 11T…上面
13…圧電部材 13T…上面 13S…側面
14…インク圧力室
16…電極
20…ノズルプレート 20T…上面 20B…下面
21…ノズル穴 21I…内壁 21A…逆テーパ部 21B…順テーパ部
60…保護膜 61…突起
AP…接着部
100…蒸着重合装置
Claims (12)
- インク圧力室を形成する圧電部材と、
前記圧電部材の側面に配置された電極と、
前記圧電部材に接着されるとともに前記インク圧力室に連通するノズル穴を有するノズルプレートと、
前記ノズルプレートの表面、前記圧電部材と前記ノズルプレートとの接着部、及び、前記電極を覆う保護膜と、を備え、
前記ノズルプレートの上面における前記ノズル穴の周囲においては、前記保護膜の少なくとも一部が欠落していることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記ノズルプレートの上面を覆う前記保護膜には、前記ノズル穴の周囲において窪みが形成されたことを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。
- 前記ノズルプレートの上面のうち、少なくとも前記ノズル穴の周囲は、前記保護膜から露出していることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。
- さらに、前記保護膜から露出した前記ノズルプレートには、窪みが形成されたことを特徴とする請求項3に記載のインクジェットヘッド。
- 前記窪みの深さは、前記ノズルプレートの厚さの10%以内であることを特徴とする請求項4に記載のインクジェットヘッド。
- 前記ノズル穴は、前記ノズルプレートの上面と下面との間で最小径となるつづみ型の断面形状を有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド。
- 前記ノズル穴において、前記ノズルプレートの上面から最小径となる位置までの距離は、前記ノズルプレートの厚さの10%であることを特徴とする請求項6に記載のインクジェットヘッド。
- 前記ノズルプレートは、樹脂製であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド。
- 前記ノズルプレートは、金属製であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド。
- インク圧力室を形成する圧電部材、及び、前記圧電部材の側面に配置された電極を形成し、
前記圧電部材とノズルプレートとを接着し、
前記ノズルプレートの表面、前記圧電部材と前記ノズルプレートとの接着部、及び、前記電極を覆う保護膜を形成し、
少なくとも前記ノズル穴の周囲においては、レーザー光を照射することにより、前記ノズルプレートの上面を覆う前記保護膜の少なくとも一部を除去する、
ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記ノズルプレートは樹脂製であり、
前記保護膜の少なくとも一部を除去するための前記レーザー光の照射量は、前記ノズルプレートの上面から下面まで貫通しないように設定されることを特徴とする請求項10に記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記ノズルプレートは金属製であり、
前記圧電部材と接着される前の前記ノズルプレートには、予めノズル穴が形成されていることを特徴とする請求項10に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
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