JP2003266691A - インクジェットプリンタヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
インクジェットプリンタヘッドおよびその製造方法Info
- Publication number
- JP2003266691A JP2003266691A JP2002075354A JP2002075354A JP2003266691A JP 2003266691 A JP2003266691 A JP 2003266691A JP 2002075354 A JP2002075354 A JP 2002075354A JP 2002075354 A JP2002075354 A JP 2002075354A JP 2003266691 A JP2003266691 A JP 2003266691A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- nozzle
- pressure chamber
- printer head
- protective film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 水性インク等の導電性を有するインクの使用
に際して、インク内に電流が流れることが原因となるイ
ンクの変質を防止し、かつ、ノズルからのインク滴の吐
出安定性を向上させる。 【解決手段】 各圧力室１３毎に設けられている電極７
を被覆するように有機高分子材料により形成された絶縁
性を有する保護膜１６を成膜し、導電性を有するインク
を用いる場合でも電極７からインク内に電流が流れるこ
とを防止する。さらに、インク滴が吐出するノズル９を
被覆するように有機高分子材料により形成された絶縁性
を有する保護膜１６を成膜し、ノズル９のエッジ部分等
を平滑にすることによりノズル９からのインク滴の吐出
安定性を向上させる。
に際して、インク内に電流が流れることが原因となるイ
ンクの変質を防止し、かつ、ノズルからのインク滴の吐
出安定性を向上させる。 【解決手段】 各圧力室１３毎に設けられている電極７
を被覆するように有機高分子材料により形成された絶縁
性を有する保護膜１６を成膜し、導電性を有するインク
を用いる場合でも電極７からインク内に電流が流れるこ
とを防止する。さらに、インク滴が吐出するノズル９を
被覆するように有機高分子材料により形成された絶縁性
を有する保護膜１６を成膜し、ノズル９のエッジ部分等
を平滑にすることによりノズル９からのインク滴の吐出
安定性を向上させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば水性インク
等の導電性を有するインクが使用可能なインクジェット
プリンタヘッドおよびその製造方法に関する。
等の導電性を有するインクが使用可能なインクジェット
プリンタヘッドおよびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、インクが供給される複数の圧力室
と、各圧力室毎に設けられてその圧力室と外部とを連通
させるノズルと、各圧力室を形成する壁部の少なくとも
一部に設けられて電圧が印可されることにより圧力室内
のインクの圧力を可変させる電圧印加部（例えば、圧電
部材、発熱部材等）と、電圧印加部に電圧を印加するた
めの電圧印加手段とを備え、電圧印加手段により電圧印
加部に電圧を印加することにより圧力室内のインクの圧
力を高め、そのインクの一部をインク滴としてノズルか
ら吐出させるようにしたインクジェットプリンタヘッド
が知られている。
と、各圧力室毎に設けられてその圧力室と外部とを連通
させるノズルと、各圧力室を形成する壁部の少なくとも
一部に設けられて電圧が印可されることにより圧力室内
のインクの圧力を可変させる電圧印加部（例えば、圧電
部材、発熱部材等）と、電圧印加部に電圧を印加するた
めの電圧印加手段とを備え、電圧印加手段により電圧印
加部に電圧を印加することにより圧力室内のインクの圧
力を高め、そのインクの一部をインク滴としてノズルか
ら吐出させるようにしたインクジェットプリンタヘッド
が知られている。
【０００３】このようなインクジェットプリンタヘッド
の一例として、特開平８−５２８７２号公報には、イン
クの変質を防止するために、ＣＶＤ（Chemical Vapor D
eposition＝化学蒸着）法等によって、パリレン膜等の
絶縁性有機膜を圧力室内に成膜したインクジェットプリ
ンタヘッドが開示されている。同公報に開示された発明
によれば、圧力室内の電極を絶縁性有機膜によって保護
することで、導電性を有するインクを用いる場合にも電
極からインク内に電流が流れることを防止し、インク内
に電流が流れることが原因となるインクの変質を防止す
ることが可能になる。
の一例として、特開平８−５２８７２号公報には、イン
クの変質を防止するために、ＣＶＤ（Chemical Vapor D
eposition＝化学蒸着）法等によって、パリレン膜等の
絶縁性有機膜を圧力室内に成膜したインクジェットプリ
ンタヘッドが開示されている。同公報に開示された発明
によれば、圧力室内の電極を絶縁性有機膜によって保護
することで、導電性を有するインクを用いる場合にも電
極からインク内に電流が流れることを防止し、インク内
に電流が流れることが原因となるインクの変質を防止す
ることが可能になる。
【０００４】また、インクジェットプリンタヘッドのノ
ズルを形成する方法の一例として、圧力室の端面にノズ
ルプレートを接着し、接着したノズルプレートにエキシ
マレーザから出射されたレーザ光を照射することにより
ノズルを形成する方法が、特開平１０−２９１３１８号
公報に開示されている。この方法によれば、インク滴の
吐出を良好に行うことができるノズルを形成することが
できる。
ズルを形成する方法の一例として、圧力室の端面にノズ
ルプレートを接着し、接着したノズルプレートにエキシ
マレーザから出射されたレーザ光を照射することにより
ノズルを形成する方法が、特開平１０−２９１３１８号
公報に開示されている。この方法によれば、インク滴の
吐出を良好に行うことができるノズルを形成することが
できる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、パリレン膜な
どの絶縁性有機膜は、エキシマレーザから出射される紫
外領域のレーザ光により加工されるという特性がある。
そのため、圧力室内に設けられている電極を被覆してい
るパリレン膜などの絶縁性有機膜にレーザ光が照射され
ると、その絶縁性有機膜が損傷を受けて絶縁性が損なわ
れ、露出した電極からインク内に電流が流れることによ
りインクが変質する。
どの絶縁性有機膜は、エキシマレーザから出射される紫
外領域のレーザ光により加工されるという特性がある。
そのため、圧力室内に設けられている電極を被覆してい
るパリレン膜などの絶縁性有機膜にレーザ光が照射され
ると、その絶縁性有機膜が損傷を受けて絶縁性が損なわ
れ、露出した電極からインク内に電流が流れることによ
りインクが変質する。
【０００６】本発明の目的は、水性インク等の導電性を
有するインクの使用に際して、インク内に電流が流れる
ことが原因となるインクの変質を防止し、かつ、ノズル
からのインク滴の吐出安定性を向上させることができイ
ンクジェットプリンタヘッド及びその製造方法を得るこ
とである。
有するインクの使用に際して、インク内に電流が流れる
ことが原因となるインクの変質を防止し、かつ、ノズル
からのインク滴の吐出安定性を向上させることができイ
ンクジェットプリンタヘッド及びその製造方法を得るこ
とである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
プリンタヘッドは、インクが供給される複数の圧力室
と、前記圧力室を形成する壁部の少なくとも一部に設け
られて電圧が印可されることにより前記圧力室内のイン
クの圧力を可変させる電圧印加部と、前記圧力室に連通
されて前記圧力室にインクを供給するインク流路と、前
記圧力室毎に設けられて前記圧力室と外部とを連通させ
るノズルと、前記圧力室毎に設けられて前記電圧印加部
に電圧を印可するための電極と、有機高分子材料により
形成されて少なくとも前記電極と前記ノズルとを被覆す
るように成膜された絶縁性を有する保護膜と、を備え
る。
プリンタヘッドは、インクが供給される複数の圧力室
と、前記圧力室を形成する壁部の少なくとも一部に設け
られて電圧が印可されることにより前記圧力室内のイン
クの圧力を可変させる電圧印加部と、前記圧力室に連通
されて前記圧力室にインクを供給するインク流路と、前
記圧力室毎に設けられて前記圧力室と外部とを連通させ
るノズルと、前記圧力室毎に設けられて前記電圧印加部
に電圧を印可するための電極と、有機高分子材料により
形成されて少なくとも前記電極と前記ノズルとを被覆す
るように成膜された絶縁性を有する保護膜と、を備え
る。
【０００８】従って、インクとして水性インク等の導電
性を有するインクを用いる場合でも、電極からインク内
に電流が流れることが防止される。さらに、ノズルのエ
ッジ部分等が平滑になり、ノズルからのインク滴の吐出
安定性が向上する。
性を有するインクを用いる場合でも、電極からインク内
に電流が流れることが防止される。さらに、ノズルのエ
ッジ部分等が平滑になり、ノズルからのインク滴の吐出
安定性が向上する。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の第１の実施の形態を図１
ないし図４に基づいて説明する。図１はインクジェット
プリンタヘッドを示す斜視図、図２は溝の延出方向に直
交する位置で切断したインクジェットプリンタヘッドの
一部を示す断面図、図３はノズルプレートの接着工程、
ノズル形成工程及び保護膜成形工程を示す工程図、図４
は蒸着重合装置を示す概略図である。
ないし図４に基づいて説明する。図１はインクジェット
プリンタヘッドを示す斜視図、図２は溝の延出方向に直
交する位置で切断したインクジェットプリンタヘッドの
一部を示す断面図、図３はノズルプレートの接着工程、
ノズル形成工程及び保護膜成形工程を示す工程図、図４
は蒸着重合装置を示す概略図である。
【００１０】このインクジェットプリンタヘッド１は、
ＰＺＴ等の圧電材料により形成された電圧印加部である
圧電部材（図２参照）２、３を、２層積層した積層圧電
部材４を有している。積層圧電部材４における圧電部材
２、３の分極方向は、板厚方向に沿って互いに反対方向
である。
ＰＺＴ等の圧電材料により形成された電圧印加部である
圧電部材（図２参照）２、３を、２層積層した積層圧電
部材４を有している。積層圧電部材４における圧電部材
２、３の分極方向は、板厚方向に沿って互いに反対方向
である。
【００１１】積層圧電部材４には、上側および前面側が
開放された複数の溝５が、平行に形成されている。これ
らの溝５は、ダイシングソーのダイヤモンドホイール等
によって研削加工される。これにより、それぞれの溝５
は、後述する圧力室１３の壁部の一部となる支柱６によ
って仕切られる。本実施の形態の溝５は、深さ（図２中
の上下方向）が０．２〜１ｍｍ、幅（図２中の左右方
向）が２０〜２００μｍ、長さ（図２中の紙面直交方
向）が０．５〜５００ｍｍの範囲内に収まるように形成
されている。
開放された複数の溝５が、平行に形成されている。これ
らの溝５は、ダイシングソーのダイヤモンドホイール等
によって研削加工される。これにより、それぞれの溝５
は、後述する圧力室１３の壁部の一部となる支柱６によ
って仕切られる。本実施の形態の溝５は、深さ（図２中
の上下方向）が０．２〜１ｍｍ、幅（図２中の左右方
向）が２０〜２００μｍ、長さ（図２中の紙面直交方
向）が０．５〜５００ｍｍの範囲内に収まるように形成
されている。
【００１２】溝５の内面および積層圧電部材４の上面部
分には、無電解ニッケルメッキ法により形成された複数
の電極７が設けられている。
分には、無電解ニッケルメッキ法により形成された複数
の電極７が設けられている。
【００１３】公知の技術であるため説明を省略するが、
電極７の形成に際して無電解ニッケルメッキ法を用いる
ことで、溝５の内面等の微細な領域にも、電極７を容易
に形成することができる。
電極７の形成に際して無電解ニッケルメッキ法を用いる
ことで、溝５の内面等の微細な領域にも、電極７を容易
に形成することができる。
【００１４】なお、本実施の形態では、電極７をニッケ
ルにより形成したがこれに限られるものではなく、例え
ば、金、銅等によって電極を形成してもよい。
ルにより形成したがこれに限られるものではなく、例え
ば、金、銅等によって電極を形成してもよい。
【００１５】溝５において積層圧電部材４の前面側に向
けて開口している前面開口部８は、複数のノズル９が形
成されたノズルプレート１０により閉塞されている。本
実施の形態のノズルプレート１０は、エキシマレーザか
らのレーザ光を照射することによりノズル９の微細加工
が可能となる部材、例えば、ポリイミドフィルムにより
形成され、その厚さ寸法は１０〜１００μｍ程度であ
る。
けて開口している前面開口部８は、複数のノズル９が形
成されたノズルプレート１０により閉塞されている。本
実施の形態のノズルプレート１０は、エキシマレーザか
らのレーザ光を照射することによりノズル９の微細加工
が可能となる部材、例えば、ポリイミドフィルムにより
形成され、その厚さ寸法は１０〜１００μｍ程度であ
る。
【００１６】また、溝５において積層圧電部材４の上側
に向けて開口している上側開口部１１は、蓋部材１２に
より閉塞されている。蓋部材１２には、図示しないイン
クタンク等に連通されて後述する複数の圧力室１３にイ
ンクを供給するインク供給管１４が連通されるインク流
路としてのインク供給路１５が形成されている。
に向けて開口している上側開口部１１は、蓋部材１２に
より閉塞されている。蓋部材１２には、図示しないイン
クタンク等に連通されて後述する複数の圧力室１３にイ
ンクを供給するインク供給管１４が連通されるインク流
路としてのインク供給路１５が形成されている。
【００１７】上述した圧力室１３は、溝５の前面開口部
８をノズルプレート１０で閉塞され、溝５の上側開口部
１１を蓋部材１２で閉塞されることにより形成されてい
る。複数の圧力室１３は、インク供給路１５を介してそ
れぞれ連通されている。
８をノズルプレート１０で閉塞され、溝５の上側開口部
１１を蓋部材１２で閉塞されることにより形成されてい
る。複数の圧力室１３は、インク供給路１５を介してそ
れぞれ連通されている。
【００１８】インクジェットプリンタヘッド１には、図
示しない制御部や電源に接続されたフレキシブルケーブ
ル（図示せず）が接続されている。印字に際しては、フ
レキシブルケーブルを介して、パルス電圧や印字信号等
がインクジェットプリンタヘッド１に入力される。
示しない制御部や電源に接続されたフレキシブルケーブ
ル（図示せず）が接続されている。印字に際しては、フ
レキシブルケーブルを介して、パルス電圧や印字信号等
がインクジェットプリンタヘッド１に入力される。
【００１９】さらに、本実施の形態のインクジェットプ
リンタヘッド１では、インクと接触する電極７の表面、
すなわち、圧力室１３の内面と、ノズル９とに、有機高
分子材料であるポリイミドによって形成された絶縁性を
有する保護膜１６が蒸着重合法によって成膜されてい
る。
リンタヘッド１では、インクと接触する電極７の表面、
すなわち、圧力室１３の内面と、ノズル９とに、有機高
分子材料であるポリイミドによって形成された絶縁性を
有する保護膜１６が蒸着重合法によって成膜されてい
る。
【００２０】ここで、ノズル９に保護膜１６が成膜され
ているという意味は、図３（ｃ）に示すように、少なく
とも、ノズル９の内周面９ａ、ノズル９の両端のエッジ
部分９ｂ、９ｃを被覆するように保護膜１６が成膜され
ていることを意味する。本実施の形態では、さらに、ノ
ズルプレート１０の表面９ｄ及び裏面９ｅをも被覆する
ように保護膜１６が成膜されている。
ているという意味は、図３（ｃ）に示すように、少なく
とも、ノズル９の内周面９ａ、ノズル９の両端のエッジ
部分９ｂ、９ｃを被覆するように保護膜１６が成膜され
ていることを意味する。本実施の形態では、さらに、ノ
ズルプレート１０の表面９ｄ及び裏面９ｅをも被覆する
ように保護膜１６が成膜されている。
【００２１】つぎに、ノズルプレート１０を溝５の圧力
室１３の端面（前面開口部８を閉塞する位置）へ接着す
る工程（接着工程）、ノズルプレート１０へノズル９を
形成する工程（ノズル形成工程）、電極７とノズル９と
を保護膜１６で被覆する工程（保護膜成膜工程）につい
て、図３を参照して説明する。
室１３の端面（前面開口部８を閉塞する位置）へ接着す
る工程（接着工程）、ノズルプレート１０へノズル９を
形成する工程（ノズル形成工程）、電極７とノズル９と
を保護膜１６で被覆する工程（保護膜成膜工程）につい
て、図３を参照して説明する。
【００２２】図３（ａ）には、溝５が形成され、さら
に、その溝５の内面及び積層圧電部材４の上面部分に電
極７が設けられた積層圧電部材４に対し、溝５の前面開
口部８を閉塞するようにノズルプレート１０（但し、ノ
ズル９が形成される以前のもの）が接着され、さらに、
図３では図示されていないが、溝５の上側開口部１１を
閉塞するように蓋部材１２（図１、図２参照）が接着さ
れた状態が示されている。
に、その溝５の内面及び積層圧電部材４の上面部分に電
極７が設けられた積層圧電部材４に対し、溝５の前面開
口部８を閉塞するようにノズルプレート１０（但し、ノ
ズル９が形成される以前のもの）が接着され、さらに、
図３では図示されていないが、溝５の上側開口部１１を
閉塞するように蓋部材１２（図１、図２参照）が接着さ
れた状態が示されている。
【００２３】図３（ｂ）には、ノズルプレート１０にエ
キシマレーザ等から出射されたレーザ光が照射され、ノ
ズルプレート１０にノズル９が形成された状態が示され
ている。ノズル９の穴径は、インクの吐出側で小さく、
溝５側（圧力室１３側）で大きく形成されている。
キシマレーザ等から出射されたレーザ光が照射され、ノ
ズルプレート１０にノズル９が形成された状態が示され
ている。ノズル９の穴径は、インクの吐出側で小さく、
溝５側（圧力室１３側）で大きく形成されている。
【００２４】図３（ｃ）では、図４に示す蒸着重合装置
１７を用いて電極７とノズル９とに保護膜１６が成膜さ
れた状態が示されている。
１７を用いて電極７とノズル９とに保護膜１６が成膜さ
れた状態が示されている。
【００２５】ここで、蒸着重合法とは、熱エネルギーに
よって蒸発させ、活性化させた複数種類のモノマーを、
保護膜の成膜を目的とするサンプルの表面に付着させ、
そのサンプル表面で重合反応を生じさせることにより、
サンプル表面に有機高分子膜を形成する重合方法であ
る。本実施の形態ではポリイミドによって形成される保
護膜１６を成膜したが、これに限られるものではなく、
ポリイミド以外にも、例えばポリ尿素、ポリイミドアミ
ド、ポリアミド、ポリアゾメチン等によって形成される
有機高分子膜を成膜することができる。
よって蒸発させ、活性化させた複数種類のモノマーを、
保護膜の成膜を目的とするサンプルの表面に付着させ、
そのサンプル表面で重合反応を生じさせることにより、
サンプル表面に有機高分子膜を形成する重合方法であ
る。本実施の形態ではポリイミドによって形成される保
護膜１６を成膜したが、これに限られるものではなく、
ポリイミド以外にも、例えばポリ尿素、ポリイミドアミ
ド、ポリアミド、ポリアゾメチン等によって形成される
有機高分子膜を成膜することができる。
【００２６】蒸着重合装置１７の概略構造、及び、蒸着
重合の作業手順について図４を参照して説明する。蒸着
重合装置１７は、蒸着重合法による成膜を目的とするサ
ンプル（本実施の形態では、溝５および電極７が形成さ
れた積層圧電部材４にノズルプレート１０と蓋部材１２
とが接着され、ノズルプレート１０にノズル９が形成さ
れたもの）Ａを保持するステージ１８が内部に設けられ
たチャンバー１９を備えている。ステージ１８には、サ
ンプルＡの温度調節を行うための温度調節機構（図示せ
ず）が設けられている。
重合の作業手順について図４を参照して説明する。蒸着
重合装置１７は、蒸着重合法による成膜を目的とするサ
ンプル（本実施の形態では、溝５および電極７が形成さ
れた積層圧電部材４にノズルプレート１０と蓋部材１２
とが接着され、ノズルプレート１０にノズル９が形成さ
れたもの）Ａを保持するステージ１８が内部に設けられ
たチャンバー１９を備えている。ステージ１８には、サ
ンプルＡの温度調節を行うための温度調節機構（図示せ
ず）が設けられている。
【００２７】チャンバー１９内には、チャンバー１９内
の温度を制御する室内温度制御機構（図示せず）が設け
られている。本実施の形態では、ポリイミドによる保護
膜１６を成膜するため、室内温度制御機構によって、チ
ャンバー１９内の温度は２００℃程度に保持されてい
る。
の温度を制御する室内温度制御機構（図示せず）が設け
られている。本実施の形態では、ポリイミドによる保護
膜１６を成膜するため、室内温度制御機構によって、チ
ャンバー１９内の温度は２００℃程度に保持されてい
る。
【００２８】また、特に図示しないが、チャンバー１９
には、チャンバー１９内を減圧させるための減圧機構が
設けられている。この減圧機構は、例えば、ファン等に
よってチャンバー１９内の空気を強制的にチャンバー１
９外へ排気するような機構であってもよい。
には、チャンバー１９内を減圧させるための減圧機構が
設けられている。この減圧機構は、例えば、ファン等に
よってチャンバー１９内の空気を強制的にチャンバー１
９外へ排気するような機構であってもよい。
【００２９】チャンバー１９の上側には混合漕２０が設
けられている。チャンバー１９と混合漕２０とは、複数
の孔が形成されたシャワープレート２１を介して連通さ
れている。
けられている。チャンバー１９と混合漕２０とは、複数
の孔が形成されたシャワープレート２１を介して連通さ
れている。
【００３０】また、蒸着重合装置１７は、サンプルＡに
付着させる原料モノマーを保持する複数の蒸発漕２２を
備えている。本実施の形態では、ポリイミドによる保護
膜１６を成膜するための原料モノマーとして、４，４ジ
アミノフェニルメタン（ＭＤＡ）と、４，４ジフェニル
メタンイソシアナートとが、それぞれの蒸発漕２２に保
持されている。
付着させる原料モノマーを保持する複数の蒸発漕２２を
備えている。本実施の形態では、ポリイミドによる保護
膜１６を成膜するための原料モノマーとして、４，４ジ
アミノフェニルメタン（ＭＤＡ）と、４，４ジフェニル
メタンイソシアナートとが、それぞれの蒸発漕２２に保
持されている。
【００３１】特に図示しないが、各蒸発漕２２には、原
料モノマーを加熱する加熱機構が設けられている。ま
た、各蒸発漕２２には、各蒸発漕２２と混合漕２０とを
それぞれ連通させるモノマー導入管２３が設けられてい
る。各モノマー導入管２３には、それぞれのモノマー導
入管２３を開放制御するバルブ２４が設けられている。
モノマー導入管２３は、蒸着重合を行う時以外は、バル
ブ２４によって閉塞されている。
料モノマーを加熱する加熱機構が設けられている。ま
た、各蒸発漕２２には、各蒸発漕２２と混合漕２０とを
それぞれ連通させるモノマー導入管２３が設けられてい
る。各モノマー導入管２３には、それぞれのモノマー導
入管２３を開放制御するバルブ２４が設けられている。
モノマー導入管２３は、蒸着重合を行う時以外は、バル
ブ２４によって閉塞されている。
【００３２】保護膜１６の成膜に際しては、まず、蒸着
重合法による成膜を目的とするサンプル（本実施の形態
では、溝５および電極７が形成された積層圧電部材４に
ノズルプレート１０と蓋部材１２が接着され、そのノズ
ルプレート１０にノズル９が形成されたもの）Ａを、ス
テージ１８に取り付ける。なお、このサンプルＡにおけ
る保護膜１６の成膜が不要な部分には、予めマスキング
をしておく。
重合法による成膜を目的とするサンプル（本実施の形態
では、溝５および電極７が形成された積層圧電部材４に
ノズルプレート１０と蓋部材１２が接着され、そのノズ
ルプレート１０にノズル９が形成されたもの）Ａを、ス
テージ１８に取り付ける。なお、このサンプルＡにおけ
る保護膜１６の成膜が不要な部分には、予めマスキング
をしておく。
【００３３】つぎに、加熱機構によって蒸発漕２２内を
加熱する。加熱された原料モノマーは、気体となって蒸
発する。原料モノマーが十分に気化したところで、バル
ブ２４を開放してモノマー導入管２３を開放する。これ
により、気化した原料モノマーは、モノマー導入管２３
を通って混合漕２０に導入される。混合漕２０では、各
種モノマーが均一に混ざった混合モノマーが生成され
る。
加熱する。加熱された原料モノマーは、気体となって蒸
発する。原料モノマーが十分に気化したところで、バル
ブ２４を開放してモノマー導入管２３を開放する。これ
により、気化した原料モノマーは、モノマー導入管２３
を通って混合漕２０に導入される。混合漕２０では、各
種モノマーが均一に混ざった混合モノマーが生成され
る。
【００３４】加えて、減圧機構によってチャンバー１９
内を減圧する。混合モノマーは、混合漕２０とチャンバ
ー１９内との圧力差によって、シャワープレート２１を
介してチャンバー１９内に導入される。
内を減圧する。混合モノマーは、混合漕２０とチャンバ
ー１９内との圧力差によって、シャワープレート２１を
介してチャンバー１９内に導入される。
【００３５】チャンバー１９内に導入された混合モノマ
ーは、サンプルＡ上の保護膜１６を成膜したい部分に付
着する。サンプルＡとチャンバー１９内の温度とを制御
することにより、サンプルＡに付着した原料モノマーが
重合を開始する。これによって、サンプルＡ上の保護膜
１６を成膜したい部分（ノズル９及び圧力室１３内の電
極７）には、目的とするポリイミドの保護膜１６が成膜
される。
ーは、サンプルＡ上の保護膜１６を成膜したい部分に付
着する。サンプルＡとチャンバー１９内の温度とを制御
することにより、サンプルＡに付着した原料モノマーが
重合を開始する。これによって、サンプルＡ上の保護膜
１６を成膜したい部分（ノズル９及び圧力室１３内の電
極７）には、目的とするポリイミドの保護膜１６が成膜
される。
【００３６】蒸着重合法は、成膜したい物質をモノマー
単位でサンプルＡに付着させてサンプルＡ上で重合させ
るため、複雑な形状をしたサンプルＡに対してもモノマ
ー分子が良好に回り込むので、サンプルＡの形状に左右
されずに細かな部分にも均一に成膜を施すことができ
る。
単位でサンプルＡに付着させてサンプルＡ上で重合させ
るため、複雑な形状をしたサンプルＡに対してもモノマ
ー分子が良好に回り込むので、サンプルＡの形状に左右
されずに細かな部分にも均一に成膜を施すことができ
る。
【００３７】また、蒸着重合法は良好な密着性と優れた
付き回り性とを有するので、このような蒸着重合法を用
いて保護膜１６を成膜することにより、サンプルＡに対
する下地処理等を行うことを不要とすることができる。
付き回り性とを有するので、このような蒸着重合法を用
いて保護膜１６を成膜することにより、サンプルＡに対
する下地処理等を行うことを不要とすることができる。
【００３８】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド１を有するインクジェットプリンタ
での印字に際しては、圧力室１３内にインクを供給した
状態で、インクを吐出させる圧力室１３の両側に位置す
る電極７へ制御部からの制御により電圧が印可される。
これにより、電圧が印加された電極７に対応する一対の
支柱６は、分極方向が相反する圧電部材２、３のシェア
モード変形により圧力室１３の容積を大きくする方向へ
湾曲する。ついで、この電極７に印加する電圧の極性が
逆転されることにより、支柱６が急激に初期位置に復帰
する。支柱６が初期位置に復帰した際に圧力室１３内の
インクが加圧され、圧力室１３内のインクの一部がイン
ク滴となってノズル９から吐出し、吐出したインク滴が
搬送ローラ等の記録媒体搬送手段により搬送される記録
媒体上に付着して画像が形成される。
ットプリンタヘッド１を有するインクジェットプリンタ
での印字に際しては、圧力室１３内にインクを供給した
状態で、インクを吐出させる圧力室１３の両側に位置す
る電極７へ制御部からの制御により電圧が印可される。
これにより、電圧が印加された電極７に対応する一対の
支柱６は、分極方向が相反する圧電部材２、３のシェア
モード変形により圧力室１３の容積を大きくする方向へ
湾曲する。ついで、この電極７に印加する電圧の極性が
逆転されることにより、支柱６が急激に初期位置に復帰
する。支柱６が初期位置に復帰した際に圧力室１３内の
インクが加圧され、圧力室１３内のインクの一部がイン
ク滴となってノズル９から吐出し、吐出したインク滴が
搬送ローラ等の記録媒体搬送手段により搬送される記録
媒体上に付着して画像が形成される。
【００３９】本実施の形態のインクジェットプリンタヘ
ッド１では、電極７に保護膜１６が成膜されており、し
かも、この保護膜１６は、溝５の前面開口部８を閉塞す
る位置に接着されたノズルプレート１０に対してレーザ
光の照射によりノズル９を形成した後に成膜されるた
め、レーザ光が保護膜１６に照射されることによりその
保護膜１６が損傷を受けて電極７が露出するということ
が発生しない。このため、インクとして水性インク等の
高い導電性を有するインクを使用した場合でも、電極７
からインク内に電流が流れるということを防止でき、イ
ンク内を電流が流れることが原因となるインクの変質を
防止できる。
ッド１では、電極７に保護膜１６が成膜されており、し
かも、この保護膜１６は、溝５の前面開口部８を閉塞す
る位置に接着されたノズルプレート１０に対してレーザ
光の照射によりノズル９を形成した後に成膜されるた
め、レーザ光が保護膜１６に照射されることによりその
保護膜１６が損傷を受けて電極７が露出するということ
が発生しない。このため、インクとして水性インク等の
高い導電性を有するインクを使用した場合でも、電極７
からインク内に電流が流れるということを防止でき、イ
ンク内を電流が流れることが原因となるインクの変質を
防止できる。
【００４０】さらに、ノズル９に保護膜１６が成膜され
ているため、ノズル９の内周面９ａやエッジ部分９ｂ、
９ｃを平滑に仕上げることができる。これにより、ノズ
ル９から吐出されるインク滴の吐出安定性が向上し、記
録媒体上に形成される画像の品質が高くなる。
ているため、ノズル９の内周面９ａやエッジ部分９ｂ、
９ｃを平滑に仕上げることができる。これにより、ノズ
ル９から吐出されるインク滴の吐出安定性が向上し、記
録媒体上に形成される画像の品質が高くなる。
【００４１】また、電極７の表面を含む圧力室１３の内
周面とノズル９とに同一材料の保護膜１６が成膜される
ため、圧力室１３及びノズル９の各部においてインクに
対する塗れ性の差が発生せず、インク滴の吐出状態が安
定し、良好な画像形成を行える。
周面とノズル９とに同一材料の保護膜１６が成膜される
ため、圧力室１３及びノズル９の各部においてインクに
対する塗れ性の差が発生せず、インク滴の吐出状態が安
定し、良好な画像形成を行える。
【００４２】また、本実施の形態のインクジェットプリ
ンタヘッド１では、電極７から電圧が印可される電圧印
加部として圧電部材２、３を用いているため、圧電部材
２、３を用いるインクジェットプリンタヘッド１におい
て、インクとして水性インク等の導電性を有するインク
を用いる場合でも、電極７からインク内に電流が流れる
ことを防止でき、さらに、ノズル９のエッジ部分９ｂ、
９ｃ等が平滑になり、ノズル９からのインク滴の吐出安
定性が向上する。
ンタヘッド１では、電極７から電圧が印可される電圧印
加部として圧電部材２、３を用いているため、圧電部材
２、３を用いるインクジェットプリンタヘッド１におい
て、インクとして水性インク等の導電性を有するインク
を用いる場合でも、電極７からインク内に電流が流れる
ことを防止でき、さらに、ノズル９のエッジ部分９ｂ、
９ｃ等が平滑になり、ノズル９からのインク滴の吐出安
定性が向上する。
【００４３】また、本実施の形態のインクジェットプリ
ンタヘッド１では、保護膜１６の成膜を蒸着重合法で行
っているため、この蒸着重合法によれば、成膜したい物
質をモノマー単位でサンプルＡに付着させてサンプルＡ
上で重合させることができ、複雑な形状をしたサンプル
Ａに対してもモノマー分子が良好に回り込むので、サン
プルＡの形状に左右されずに細かな部分にも均一に成膜
を施すことができる。さらに、良好な密着性と優れた付
き回り性とを有する蒸着重合法を用いて保護膜１６を成
膜することにより、サンプルＡに対して下地処理等を行
うことを不要とすることができる。
ンタヘッド１では、保護膜１６の成膜を蒸着重合法で行
っているため、この蒸着重合法によれば、成膜したい物
質をモノマー単位でサンプルＡに付着させてサンプルＡ
上で重合させることができ、複雑な形状をしたサンプル
Ａに対してもモノマー分子が良好に回り込むので、サン
プルＡの形状に左右されずに細かな部分にも均一に成膜
を施すことができる。さらに、良好な密着性と優れた付
き回り性とを有する蒸着重合法を用いて保護膜１６を成
膜することにより、サンプルＡに対して下地処理等を行
うことを不要とすることができる。
【００４４】また、本実施の形態のインクジェットプリ
ンタヘッド１では、保護膜１６がポリイミドにより形成
されているため、このポリイミドは蒸着重合法として従
来より広く使用されている材料であって蒸着重合法で使
用する際の実績が有るために使いやすく、保護膜として
の十分な機能を発揮させることができる。しかも、安価
な材料であるのでインクジェットプリンタヘッド１のコ
スト低減を図ることができる。
ンタヘッド１では、保護膜１６がポリイミドにより形成
されているため、このポリイミドは蒸着重合法として従
来より広く使用されている材料であって蒸着重合法で使
用する際の実績が有るために使いやすく、保護膜として
の十分な機能を発揮させることができる。しかも、安価
な材料であるのでインクジェットプリンタヘッド１のコ
スト低減を図ることができる。
【００４５】また、本実施の形態のインクジェットプリ
ンタヘッド１の製造方法では、有機高分子材料により形
成されて絶縁性を有する保護膜１６を少なくとも電極７
とノズル９とを被覆するように蒸着重合法により成膜す
る保護膜成膜工程を有するため、この保護膜成膜工程に
よれば成膜したい物質をモノマー単位でサンプルＡに付
着させてサンプルＡ上で重合させるため、複雑な形状を
したサンプルＡに対してもモノマー分子が良好に回り込
むので、サンプルＡの形状に左右されずに細かな部分に
も均一に成膜を施すことができる。さらに、ノズル９に
保護膜１６が成膜されているため、ノズル９の内周面９
ａやエッジ部分９ｂ、９ｃ等を平滑に仕上げることがで
き、ノズル９から吐出されるインク滴の吐出安定性を向
上させ、記録媒体上に形成される画像の品質を高くする
ことができる。
ンタヘッド１の製造方法では、有機高分子材料により形
成されて絶縁性を有する保護膜１６を少なくとも電極７
とノズル９とを被覆するように蒸着重合法により成膜す
る保護膜成膜工程を有するため、この保護膜成膜工程に
よれば成膜したい物質をモノマー単位でサンプルＡに付
着させてサンプルＡ上で重合させるため、複雑な形状を
したサンプルＡに対してもモノマー分子が良好に回り込
むので、サンプルＡの形状に左右されずに細かな部分に
も均一に成膜を施すことができる。さらに、ノズル９に
保護膜１６が成膜されているため、ノズル９の内周面９
ａやエッジ部分９ｂ、９ｃ等を平滑に仕上げることがで
き、ノズル９から吐出されるインク滴の吐出安定性を向
上させ、記録媒体上に形成される画像の品質を高くする
ことができる。
【００４６】また、本実施の形態のインクジェットプリ
ンタヘッド１の製造方法では、ノズル９が形成される以
前のノズルプレート１０を圧力室１３の端面に接着する
接着工程と、圧力室１３の端面に接着されたノズルプレ
ート１０にレーザ光を照射してノズル９を形成するノズ
ル形成工程と、有機高分子材料により形成されて絶縁性
を有する保護膜１６を少なくとも電極７とノズル９とを
被覆するように蒸着重合法により成膜する保護膜成膜工
程と、を有するため、蒸着重合法は成膜したい物質をモ
ノマー単位でサンプルＡに付着させてサンプルＡ上で重
合させることができるので、モノマー分子をノズル９か
ら圧力室１３内にスムーズに入り込ませることができ、
積層圧電部材４にノズルプレート１０と蓋部材１２とを
接着して圧力室１３を形成した後であっても、圧力室１
３内の電極７上への保護膜１６の成膜を良好に行うこと
ができる。しかも、レーザ光を照射してノズル９を形成
した後に保護膜１６を成膜するため、ノズル９を形成す
るレーザ光が保護膜１６に照射されて保護膜１６が損傷
を受けて電極７が露出するということを防止でき、その
電極７の露出部分からインク内に電流が流れるというこ
とを防止できる。
ンタヘッド１の製造方法では、ノズル９が形成される以
前のノズルプレート１０を圧力室１３の端面に接着する
接着工程と、圧力室１３の端面に接着されたノズルプレ
ート１０にレーザ光を照射してノズル９を形成するノズ
ル形成工程と、有機高分子材料により形成されて絶縁性
を有する保護膜１６を少なくとも電極７とノズル９とを
被覆するように蒸着重合法により成膜する保護膜成膜工
程と、を有するため、蒸着重合法は成膜したい物質をモ
ノマー単位でサンプルＡに付着させてサンプルＡ上で重
合させることができるので、モノマー分子をノズル９か
ら圧力室１３内にスムーズに入り込ませることができ、
積層圧電部材４にノズルプレート１０と蓋部材１２とを
接着して圧力室１３を形成した後であっても、圧力室１
３内の電極７上への保護膜１６の成膜を良好に行うこと
ができる。しかも、レーザ光を照射してノズル９を形成
した後に保護膜１６を成膜するため、ノズル９を形成す
るレーザ光が保護膜１６に照射されて保護膜１６が損傷
を受けて電極７が露出するということを防止でき、その
電極７の露出部分からインク内に電流が流れるというこ
とを防止できる。
【００４７】また、本実施の形態のインクジェットプリ
ンタヘッド１の製造方法では、電極７から電圧が印可さ
れる電圧印加部として圧電部材２、３を用いているた
め、圧電部材２、３を用いるインクジェットプリンタヘ
ッド１を製造した場合でも、電極７からインク内に電流
が流れることを防止でき、さらに、ノズル９からのイン
ク滴の吐出安定性を向上させることができる。
ンタヘッド１の製造方法では、電極７から電圧が印可さ
れる電圧印加部として圧電部材２、３を用いているた
め、圧電部材２、３を用いるインクジェットプリンタヘ
ッド１を製造した場合でも、電極７からインク内に電流
が流れることを防止でき、さらに、ノズル９からのイン
ク滴の吐出安定性を向上させることができる。
【００４８】また、本実施の形態のインクジェットプリ
ンタヘッド１の製造方法では、保護膜１６がポリイミド
により形成されているので、このポリイミドは蒸着重合
法として従来より広く使用されている材料であって蒸着
重合法で使用する際の実績が有るために使いやすく、保
護膜としての十分な機能を発揮させることができる。し
かも、安価な材料であるのでインクジェットプリンタヘ
ッド１のコスト低減を図ることができる。
ンタヘッド１の製造方法では、保護膜１６がポリイミド
により形成されているので、このポリイミドは蒸着重合
法として従来より広く使用されている材料であって蒸着
重合法で使用する際の実績が有るために使いやすく、保
護膜としての十分な機能を発揮させることができる。し
かも、安価な材料であるのでインクジェットプリンタヘ
ッド１のコスト低減を図ることができる。
【００４９】つぎに、本発明の第２の実施の形態を説明
する。なお、本実施の形態の外観上の構成及び基本的な
構成は第１の実施の形態と同じであり、図１ないし図４
を援用して説明する。
する。なお、本実施の形態の外観上の構成及び基本的な
構成は第１の実施の形態と同じであり、図１ないし図４
を援用して説明する。
【００５０】本実施の形態のインクジェットプリンタヘ
ッド１及びその製造方法が、第１の実施の形態のインク
ジェットプリンタヘッド１及びその製造方法と異なる点
は、本実施の形態のインクジェットプリンタヘッド１及
びその製造方法では、電極７とノズル９とを被覆するよ
うに成膜された保護膜１６がポリ尿素により形成されて
いる点である。他の部分は第１の実施の形態のインクジ
ェットプリンタヘッド１及びその製造方法と同じであ
る。
ッド１及びその製造方法が、第１の実施の形態のインク
ジェットプリンタヘッド１及びその製造方法と異なる点
は、本実施の形態のインクジェットプリンタヘッド１及
びその製造方法では、電極７とノズル９とを被覆するよ
うに成膜された保護膜１６がポリ尿素により形成されて
いる点である。他の部分は第１の実施の形態のインクジ
ェットプリンタヘッド１及びその製造方法と同じであ
る。
【００５１】このような構成において、保護膜１６がポ
リ尿素により形成されており、このポリ尿素は１００℃
以下の低音で蒸着重合させることができる。
リ尿素により形成されており、このポリ尿素は１００℃
以下の低音で蒸着重合させることができる。
【００５２】ここで、本実施の形態のインクジェットプ
リンタヘッド１では、圧電部材２、３の分極方向と、圧
電部材２、３に電圧を印加することにより発生する電界
の方向とが直交している。このように、圧電部材２、３
のシェアモード変形を利用するインクジェットプリンタ
ヘッド１では、圧電部材２、３の分極が劣化すると再度
分極することが困難である。
リンタヘッド１では、圧電部材２、３の分極方向と、圧
電部材２、３に電圧を印加することにより発生する電界
の方向とが直交している。このように、圧電部材２、３
のシェアモード変形を利用するインクジェットプリンタ
ヘッド１では、圧電部材２、３の分極が劣化すると再度
分極することが困難である。
【００５３】圧電部材２、３の分極性能は、例えば、圧
電部材２、３が過剰に加熱されることにより劣化する
が、本実施の形態では、低温で重合を開始するポリ尿素
を保護膜１６の材料として使用することにより、圧電部
材２、３の分極性能の劣化が発生しない程度の十分な低
温で、電極７上に保護膜１６を成膜することができる。
これによって、シェアモード変形を利用したインクジェ
ットプリンタヘッド１に対して、圧電部材２、３を劣化
させずに、インクジェットプリンタヘッド１を長期に亘
り安定して使用することができる。
電部材２、３が過剰に加熱されることにより劣化する
が、本実施の形態では、低温で重合を開始するポリ尿素
を保護膜１６の材料として使用することにより、圧電部
材２、３の分極性能の劣化が発生しない程度の十分な低
温で、電極７上に保護膜１６を成膜することができる。
これによって、シェアモード変形を利用したインクジェ
ットプリンタヘッド１に対して、圧電部材２、３を劣化
させずに、インクジェットプリンタヘッド１を長期に亘
り安定して使用することができる。
【００５４】つぎに、本発明の第３の実施の形態を説明
する。なお、本実施の形態の外観上の構成及び基本的な
構成は第１又は第２の実施の形態と同じであり、図１な
いし図４を援用して説明する。
する。なお、本実施の形態の外観上の構成及び基本的な
構成は第１又は第２の実施の形態と同じであり、図１な
いし図４を援用して説明する。
【００５５】本実施の形態のインクジェットプリンタヘ
ッド１の製造方法が、第１の実施の形態のインクジェッ
トプリンタヘッド１の製造方法と異なる点は、本実施の
形態のインクジェットプリンタヘッド１及びその製造方
法では、ノズルプレート１０に対して予めノズル９を形
成し、既にノズル９が形成されているノズルプレート１
０を溝５の前面開口部８を閉塞する位置に接着工程で接
着するようにしたものである。
ッド１の製造方法が、第１の実施の形態のインクジェッ
トプリンタヘッド１の製造方法と異なる点は、本実施の
形態のインクジェットプリンタヘッド１及びその製造方
法では、ノズルプレート１０に対して予めノズル９を形
成し、既にノズル９が形成されているノズルプレート１
０を溝５の前面開口部８を閉塞する位置に接着工程で接
着するようにしたものである。
【００５６】このような構成において、本実施の形態の
インクジェットプリンタヘッド１の製造方法によれば、
溝５の前面開口部８を閉塞する位置に接着されるノズル
プレート１０には予めノズル９が形成されているため、
ノズル９の形成の自由度を高めることができる。さら
に、保護膜１６の成膜を蒸着重合法で行っているため、
第１の実施の形態と同じように、積層圧電部材４にノズ
ルプレート１０と蓋部材１２とを接着して圧力室１３を
形成した後であっても、圧力室１３内の電極７上への保
護膜１６の成膜を良好に行うことができる。さらに、ノ
ズル９に保護膜１６が成膜されているため、ノズル９の
内周面９ａやエッジ部分９ｂ、９ｃ等を平滑に仕上げる
ことができ、ノズル９から吐出されるインク滴の吐出安
定性を向上させ、記録媒体上に形成される画像の品質を
高くすることができる。
インクジェットプリンタヘッド１の製造方法によれば、
溝５の前面開口部８を閉塞する位置に接着されるノズル
プレート１０には予めノズル９が形成されているため、
ノズル９の形成の自由度を高めることができる。さら
に、保護膜１６の成膜を蒸着重合法で行っているため、
第１の実施の形態と同じように、積層圧電部材４にノズ
ルプレート１０と蓋部材１２とを接着して圧力室１３を
形成した後であっても、圧力室１３内の電極７上への保
護膜１６の成膜を良好に行うことができる。さらに、ノ
ズル９に保護膜１６が成膜されているため、ノズル９の
内周面９ａやエッジ部分９ｂ、９ｃ等を平滑に仕上げる
ことができ、ノズル９から吐出されるインク滴の吐出安
定性を向上させ、記録媒体上に形成される画像の品質を
高くすることができる。
【００５７】つぎに、本発明の第４の実施の形態につい
て図５に基づいて説明する。なお、図１ないし図４にお
いて説明した部分と同じ部分は同じ符号で示し、説明も
省略する（以下の各実施の形態でも同じ）。
て図５に基づいて説明する。なお、図１ないし図４にお
いて説明した部分と同じ部分は同じ符号で示し、説明も
省略する（以下の各実施の形態でも同じ）。
【００５８】本実施の形態では、圧電部材の分極方向が
第１の実施の形態と異なり、図５中の左右方向に分極さ
れている。
第１の実施の形態と異なり、図５中の左右方向に分極さ
れている。
【００５９】図５は、本実施の形態のインクジェットプ
リンタヘッドを、溝の延出方向に直交する位置で切断し
た一部を示す断面図である。インクジェットプリンタヘ
ッド２５は、基板２６の上に積層された電圧印加部であ
る圧電部材２７を備えている。基板２６と圧電部材２７
との間には電極２８が形成されており、基板２６と圧電
部材２７とは電極２８を介して、図示しない導電性接着
剤によって接着されている。
リンタヘッドを、溝の延出方向に直交する位置で切断し
た一部を示す断面図である。インクジェットプリンタヘ
ッド２５は、基板２６の上に積層された電圧印加部であ
る圧電部材２７を備えている。基板２６と圧電部材２７
との間には電極２８が形成されており、基板２６と圧電
部材２７とは電極２８を介して、図示しない導電性接着
剤によって接着されている。
【００６０】また、このインクジェットプリンタヘッド
２５は、基板２６および圧電部材２７によって後述する
圧力室３２の壁部の一部となる支柱２９が形成され、一
対の支柱２９の間にそれぞれ溝３０が形成されている。
溝３０の上側および前面側は、開放されている。
２５は、基板２６および圧電部材２７によって後述する
圧力室３２の壁部の一部となる支柱２９が形成され、一
対の支柱２９の間にそれぞれ溝３０が形成されている。
溝３０の上側および前面側は、開放されている。
【００６１】また、このインクジェットプリンタヘッド
２５には、溝３０の上側開口部１１を閉塞する蓋部材３
１と、溝３０の前面開口部８（図１、図４参照）を閉塞
するノズルプレート１０（図１、図４参照）とが設けら
れ、溝３０の上側開口部１１を蓋部材３１で閉塞し、溝
３０の前面開口部８をノズルプレート１０で閉塞するこ
とにより、一対の支柱２９の間に位置する複数の圧力室
３２が形成されている。蓋部材３１の溝３０に対向する
側の面には共通電極３３が形成され、蓋部材３１は、共
通電極３３を介して図示しない導電性接着剤により支柱
２９の上面に接着されている。ノズルプレート１０には
複数のノズル９（図１、図４参照）が形成されている。
２５には、溝３０の上側開口部１１を閉塞する蓋部材３
１と、溝３０の前面開口部８（図１、図４参照）を閉塞
するノズルプレート１０（図１、図４参照）とが設けら
れ、溝３０の上側開口部１１を蓋部材３１で閉塞し、溝
３０の前面開口部８をノズルプレート１０で閉塞するこ
とにより、一対の支柱２９の間に位置する複数の圧力室
３２が形成されている。蓋部材３１の溝３０に対向する
側の面には共通電極３３が形成され、蓋部材３１は、共
通電極３３を介して図示しない導電性接着剤により支柱
２９の上面に接着されている。ノズルプレート１０には
複数のノズル９（図１、図４参照）が形成されている。
【００６２】さらに、このインクジェットプリンタヘッ
ド２５では、溝３０の上側開口部１１を蓋部材３１で閉
塞し、溝３０の前面開口部８をノズルプレート１０で閉
塞することにより圧力室３２を形成した後、図４に示し
た蒸着重合装置１７を用いて蒸着重合を行うことによ
り、電極２８、３３の表面を含む圧力室３２の内面とノ
ズル９とを被覆するように、有機高分子材料であるポリ
イミドにより形成された絶縁性を有する保護膜３４が成
膜されている。
ド２５では、溝３０の上側開口部１１を蓋部材３１で閉
塞し、溝３０の前面開口部８をノズルプレート１０で閉
塞することにより圧力室３２を形成した後、図４に示し
た蒸着重合装置１７を用いて蒸着重合を行うことによ
り、電極２８、３３の表面を含む圧力室３２の内面とノ
ズル９とを被覆するように、有機高分子材料であるポリ
イミドにより形成された絶縁性を有する保護膜３４が成
膜されている。
【００６３】この保護膜３４の成膜に関しては、第１の
実施の形態で説明したように、接着したノズルプレート
１０にレーザ光を照射してノズル９を形成した後に蒸着
重合法により成膜してもよく、又は、第３の実施の形態
で説明したように、ノズル９が形成されたノズルプレー
ト１０を接着した後に蒸着重合法により成膜してもよ
い。
実施の形態で説明したように、接着したノズルプレート
１０にレーザ光を照射してノズル９を形成した後に蒸着
重合法により成膜してもよく、又は、第３の実施の形態
で説明したように、ノズル９が形成されたノズルプレー
ト１０を接着した後に蒸着重合法により成膜してもよ
い。
【００６４】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド２５を有するインクジェットプリン
タでの印字に際しては、圧力室３２内にインクを供給し
た状態で、インクを吐出させる圧力室３２の両側に位置
する電極２８へ電圧を印加する。これによって、電圧が
印加された電極２８に対応する一対の圧電部材２７が圧
力室３２内の容積を大きくするように変形した後、再び
圧力室３２内の容積を収縮させることで圧力室３２内の
インクが加圧され、圧力室３２内のインクの一部がイン
ク滴となってノズル９から吐出し、吐出したインク滴が
搬送ローラ等の記録媒体搬送手段により搬送される記録
媒体上に付着して画像が形成される。
ットプリンタヘッド２５を有するインクジェットプリン
タでの印字に際しては、圧力室３２内にインクを供給し
た状態で、インクを吐出させる圧力室３２の両側に位置
する電極２８へ電圧を印加する。これによって、電圧が
印加された電極２８に対応する一対の圧電部材２７が圧
力室３２内の容積を大きくするように変形した後、再び
圧力室３２内の容積を収縮させることで圧力室３２内の
インクが加圧され、圧力室３２内のインクの一部がイン
ク滴となってノズル９から吐出し、吐出したインク滴が
搬送ローラ等の記録媒体搬送手段により搬送される記録
媒体上に付着して画像が形成される。
【００６５】本実施の形態のインクジェットプリンタヘ
ッド２５では、電極２８、３３に保護膜３４が成膜され
ているため、インクとして水性インク等の高い導電性を
有するインクを使用した場合でも、電極２８、３３から
インク内に電流が流れるということが防止され、インク
内を電流が流れることが原因となるインクの変質を防止
できる。
ッド２５では、電極２８、３３に保護膜３４が成膜され
ているため、インクとして水性インク等の高い導電性を
有するインクを使用した場合でも、電極２８、３３から
インク内に電流が流れるということが防止され、インク
内を電流が流れることが原因となるインクの変質を防止
できる。
【００６６】さらに、ノズル９に保護膜３４が成膜され
ているため、ノズル９の内周面９ａやエッジ部分９ｂ、
９ｃ（図４参照）を平滑に仕上げることができる。これ
により、ノズル９から吐出されるインク滴の吐出安定性
が向上し、記録媒体上に形成される画像の品質が高くな
る。
ているため、ノズル９の内周面９ａやエッジ部分９ｂ、
９ｃ（図４参照）を平滑に仕上げることができる。これ
により、ノズル９から吐出されるインク滴の吐出安定性
が向上し、記録媒体上に形成される画像の品質が高くな
る。
【００６７】また、電極２８、３３の表面を含む圧力室
３２の内周面とノズル９とに同一材料の保護膜３４が成
膜されるため、圧力室３２及びノズル９の各部において
インクに対する塗れ性の差が発生せず、インク滴の吐出
状態が安定し、良好な画像形成を行える。
３２の内周面とノズル９とに同一材料の保護膜３４が成
膜されるため、圧力室３２及びノズル９の各部において
インクに対する塗れ性の差が発生せず、インク滴の吐出
状態が安定し、良好な画像形成を行える。
【００６８】つぎに、本発明の第５の実施の形態を図６
に基づいて説明する。本実施の形態は、圧電部材の分極
方向が一方向である点が、上述した各実施の形態と異な
る点である。このような方式のインクジェットプリンタ
ヘッドを、ノーマルモードのインクジェットプリンタヘ
ッドという。
に基づいて説明する。本実施の形態は、圧電部材の分極
方向が一方向である点が、上述した各実施の形態と異な
る点である。このような方式のインクジェットプリンタ
ヘッドを、ノーマルモードのインクジェットプリンタヘ
ッドという。
【００６９】図６は、本実施の形態のインクジェットプ
リンタヘッドを、溝の延出方向に沿って水平に切断した
一部を示す断面図である。インクジェットプリンタヘッ
ド３５は、圧電部材が多層積層された電圧印加部である
多層積層圧電部材３６が、所定の間隔毎に基板３７上に
配列されている。これによって、多層積層圧電部材３６
間に溝３８が形成されており、本実施の形態ではこの多
層積層圧電部材３６が後述する圧力室４２の壁部の一部
とされている。
リンタヘッドを、溝の延出方向に沿って水平に切断した
一部を示す断面図である。インクジェットプリンタヘッ
ド３５は、圧電部材が多層積層された電圧印加部である
多層積層圧電部材３６が、所定の間隔毎に基板３７上に
配列されている。これによって、多層積層圧電部材３６
間に溝３８が形成されており、本実施の形態ではこの多
層積層圧電部材３６が後述する圧力室４２の壁部の一部
とされている。
【００７０】ところで、一般的に、多層積層圧電部材３
６に対して溝３８を形成することは困難である。本実施
の形態のインクジェットプリンタヘッド３５では、予め
短冊形状に形成された多層積層圧電部材３６を所定の間
隔毎に基板３７上に配設することによって、溝３８を形
成している。これによって、多層積層圧電部材３６を用
いる場合にも、溝３８を容易に形成することができる。
６に対して溝３８を形成することは困難である。本実施
の形態のインクジェットプリンタヘッド３５では、予め
短冊形状に形成された多層積層圧電部材３６を所定の間
隔毎に基板３７上に配設することによって、溝３８を形
成している。これによって、多層積層圧電部材３６を用
いる場合にも、溝３８を容易に形成することができる。
【００７１】多層積層圧電部材３６の両側面（図６中の
多層積層圧電部材３６の左右の面）には、電極３９が形
成されている。この電極３９には、各多層積層圧電部材
３６毎に電圧を印加するための図示しない制御部や電源
に接続されたフレキシブルケーブルが接続されている。
多層積層圧電部材３６の左右の面）には、電極３９が形
成されている。この電極３９には、各多層積層圧電部材
３６毎に電圧を印加するための図示しない制御部や電源
に接続されたフレキシブルケーブルが接続されている。
【００７２】また、このインクジェットプリンタヘッド
３５には、溝３８の後端側（図６中の紙面上側）を閉塞
する閉塞部材４０と、溝３８の前面開口部４１を閉塞す
るノズルプレート１０と、溝３８の上側開口部を閉塞す
る蓋部材１２（図１参照）とが設けられている。そし
て、溝３８の後端側を閉塞部材４０で閉塞し、溝３８の
前面開口部４１をノズルプレート１０で閉塞し、溝３８
の上側開口部を蓋部材１２で閉塞することにより、多層
積層圧電部材３６の間に位置する複数の圧力室４２が形
成されている。
３５には、溝３８の後端側（図６中の紙面上側）を閉塞
する閉塞部材４０と、溝３８の前面開口部４１を閉塞す
るノズルプレート１０と、溝３８の上側開口部を閉塞す
る蓋部材１２（図１参照）とが設けられている。そし
て、溝３８の後端側を閉塞部材４０で閉塞し、溝３８の
前面開口部４１をノズルプレート１０で閉塞し、溝３８
の上側開口部を蓋部材１２で閉塞することにより、多層
積層圧電部材３６の間に位置する複数の圧力室４２が形
成されている。
【００７３】さらに、このインクジェットプリンタヘッ
ド３５では、溝３８の後端側を閉塞部材４０で閉塞し、
溝３８の前面開口部４１をノズルプレート１０で閉塞
し、溝３８の上側開口部を蓋部材１２で閉塞することに
より圧力室４２を形成した後、図４に示した蒸着重合装
置１７を用いて蒸着重合を行うことにより、電極３９の
表面を含む圧力室４２の内面とノズル９とに、有機高分
子材料であるポリイミドによって形成された絶縁性を有
する保護膜４３が成膜されている。
ド３５では、溝３８の後端側を閉塞部材４０で閉塞し、
溝３８の前面開口部４１をノズルプレート１０で閉塞
し、溝３８の上側開口部を蓋部材１２で閉塞することに
より圧力室４２を形成した後、図４に示した蒸着重合装
置１７を用いて蒸着重合を行うことにより、電極３９の
表面を含む圧力室４２の内面とノズル９とに、有機高分
子材料であるポリイミドによって形成された絶縁性を有
する保護膜４３が成膜されている。
【００７４】この保護膜４３の成膜に関しては、第１の
実施の形態で説明したように、接着したノズルプレート
１０にレーザ光を照射してノズル９を形成した後に蒸着
重合法により成膜してもよく、又は、第３の実施の形態
で説明したように、ノズル９が形成されたノズルプレー
ト１０を接着した後に蒸着重合法により成膜してもよ
い。
実施の形態で説明したように、接着したノズルプレート
１０にレーザ光を照射してノズル９を形成した後に蒸着
重合法により成膜してもよく、又は、第３の実施の形態
で説明したように、ノズル９が形成されたノズルプレー
ト１０を接着した後に蒸着重合法により成膜してもよ
い。
【００７５】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド３５を有するインクジェットプリン
タでの印字に際しては、圧力室４２内にインクを供給し
た状態で、インクを吐出させる圧力室４２の両側に位置
する電極３９へ電圧を印加する。これによって、電圧が
印加された電極３９に対応する一対の多層積層圧電部材
３６が圧力室４２内の容積を大きくするように変形した
後、再び圧力室４２内の容積を収縮させることで圧力室
４２内のインクが加圧され、圧力室４２内のインクの一
部がインク滴となってノズル９から吐出し、吐出したイ
ンク滴が搬送ローラ等の記録媒体搬送手段により搬送さ
れる記録媒体上に付着して画像が形成される。
ットプリンタヘッド３５を有するインクジェットプリン
タでの印字に際しては、圧力室４２内にインクを供給し
た状態で、インクを吐出させる圧力室４２の両側に位置
する電極３９へ電圧を印加する。これによって、電圧が
印加された電極３９に対応する一対の多層積層圧電部材
３６が圧力室４２内の容積を大きくするように変形した
後、再び圧力室４２内の容積を収縮させることで圧力室
４２内のインクが加圧され、圧力室４２内のインクの一
部がインク滴となってノズル９から吐出し、吐出したイ
ンク滴が搬送ローラ等の記録媒体搬送手段により搬送さ
れる記録媒体上に付着して画像が形成される。
【００７６】本実施の形態のインクジェットプリンタヘ
ッド３５では、電極３９に保護膜４３が成膜されている
ため、インクとして水性インク等の高い導電性を有する
インクを使用した場合でも、電極３９からインク内に電
流が流れるということが防止され、インク内を電流が流
れることが原因となるインクの変質を防止できる。
ッド３５では、電極３９に保護膜４３が成膜されている
ため、インクとして水性インク等の高い導電性を有する
インクを使用した場合でも、電極３９からインク内に電
流が流れるということが防止され、インク内を電流が流
れることが原因となるインクの変質を防止できる。
【００７７】さらに、ノズル９に保護膜４３が成膜され
ているため、ノズル９の内周面９ａやエッジ部分９ｂ、
９ｃ（図４参照）を平滑に仕上げることができる。これ
により、ノズル９から吐出されるインク滴の吐出安定性
が向上し、記録媒体上に形成される画像の品質が高くな
る。
ているため、ノズル９の内周面９ａやエッジ部分９ｂ、
９ｃ（図４参照）を平滑に仕上げることができる。これ
により、ノズル９から吐出されるインク滴の吐出安定性
が向上し、記録媒体上に形成される画像の品質が高くな
る。
【００７８】また、電極３９の表面を含む圧力室４２の
内周面とノズル９とに同一材料の保護膜４３が成膜され
るため、圧力室４２及びノズル９の各部においてインク
に対する塗れ性の差が発生せず、インク滴の吐出状態が
安定し、良好な画像形成を行える。
内周面とノズル９とに同一材料の保護膜４３が成膜され
るため、圧力室４２及びノズル９の各部においてインク
に対する塗れ性の差が発生せず、インク滴の吐出状態が
安定し、良好な画像形成を行える。
【００７９】なお、上述の各実施の形態では、電圧の印
加により変形する圧電部材２、３、２７、３６を電圧印
加部として使用したインクジェットプリンタヘッド１、
２５、３５において、電圧を印可するための電極７、２
８、３３、３９とノズル９とを被覆するように有機高分
子材料により形成された絶縁性を有する保護膜１６、３
４、４３を成膜した場合を例に挙げて説明したが、本発
明が適用されるインクジェットプリンタヘッド及びその
製造方法としては、電圧印加部として圧電部材を使用し
たものに限定されない。例えば、電圧の印加により発熱
する発熱部材を電圧印加部として使用し、発熱部材へ電
圧を印可することにより発熱部材の表面から気泡（バブ
ル）を発生させ、その気泡により圧力室内のインクの圧
力を高めてインク滴を吐出させるようにした方式のイン
クジェットプリンタヘッド及びその製造方法においても
本発明を適用することができる。
加により変形する圧電部材２、３、２７、３６を電圧印
加部として使用したインクジェットプリンタヘッド１、
２５、３５において、電圧を印可するための電極７、２
８、３３、３９とノズル９とを被覆するように有機高分
子材料により形成された絶縁性を有する保護膜１６、３
４、４３を成膜した場合を例に挙げて説明したが、本発
明が適用されるインクジェットプリンタヘッド及びその
製造方法としては、電圧印加部として圧電部材を使用し
たものに限定されない。例えば、電圧の印加により発熱
する発熱部材を電圧印加部として使用し、発熱部材へ電
圧を印可することにより発熱部材の表面から気泡（バブ
ル）を発生させ、その気泡により圧力室内のインクの圧
力を高めてインク滴を吐出させるようにした方式のイン
クジェットプリンタヘッド及びその製造方法においても
本発明を適用することができる。
【００８０】
【発明の効果】本発明によれば、各圧力室毎に設けられ
ている電極を被覆するように有機高分子材料により形成
された絶縁性を有する保護膜が成膜されているので、イ
ンクとして水性インク等の導電性を有するインクを用い
る場合でも電極からインク内に電流が流れることを防止
でき、それにより、インク内に電流が流れることが原因
となるインクの変質を防止でき、さらに、ノズルを被覆
するように有機高分子材料により形成された絶縁性を有
する保護膜が成膜されているので、ノズルのエッジ部分
等を平滑にすることができ、それにより、ノズルからの
インク滴の吐出安定性を向上させることができるととも
にそのインク滴が付着することにより記録媒体上に形成
される画像の品質を向上させることができる。
ている電極を被覆するように有機高分子材料により形成
された絶縁性を有する保護膜が成膜されているので、イ
ンクとして水性インク等の導電性を有するインクを用い
る場合でも電極からインク内に電流が流れることを防止
でき、それにより、インク内に電流が流れることが原因
となるインクの変質を防止でき、さらに、ノズルを被覆
するように有機高分子材料により形成された絶縁性を有
する保護膜が成膜されているので、ノズルのエッジ部分
等を平滑にすることができ、それにより、ノズルからの
インク滴の吐出安定性を向上させることができるととも
にそのインク滴が付着することにより記録媒体上に形成
される画像の品質を向上させることができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態のインクジェットプ
リンタヘッドを示す斜視図である。
リンタヘッドを示す斜視図である。
【図２】溝の延出方向に直交する位置で切断したインク
ジェットプリンタヘッドの一部を示す断面図である。
ジェットプリンタヘッドの一部を示す断面図である。
【図３】ノズルプレートの接着工程、ノズル形成工程及
び保護膜成形工程を示す工程図である。
び保護膜成形工程を示す工程図である。
【図４】蒸着重合装置を示す概略図である。
【図５】本発明の第４の実施の形態のインクジェットプ
リンタヘッドを溝の延出方向に直交する位置で切断した
一部を示す断面図である。
リンタヘッドを溝の延出方向に直交する位置で切断した
一部を示す断面図である。
【図６】本発明の第５の実施の形態のインクジェットプ
リンタヘッドを溝の延出方向に沿って水平に切断した一
部を示す断面図である。
リンタヘッドを溝の延出方向に沿って水平に切断した一
部を示す断面図である。
２、３ 電圧印加部、圧電部材
６ 壁部
７ 電極
９ ノズル
１０ ノズルプレート
１３ 圧力室
１５ インク流路
１６ 保護膜
２７ 電圧印加部、圧電部材
２８、３３ 電極
２９ 壁部
３２ 圧力室
３４ 保護膜
３６ 電圧印加部、圧電部材、壁部
３９ 電極
４２ 圧力室
４３ 保護膜
Claims (11)
- 【請求項１】 インクが供給される複数の圧力室と、 前記圧力室を形成する壁部の少なくとも一部に設けられ
て電圧が印可されることにより前記圧力室内のインクの
圧力を可変させる電圧印加部と、 前記圧力室に連通されて前記圧力室にインクを供給する
インク流路と、 前記圧力室毎に設けられて前記圧力室と外部とを連通さ
せるノズルと、 前記圧力室毎に設けられて前記電圧印加部に電圧を印可
するための電極と、 有機高分子材料により形成されて少なくとも前記電極と
前記ノズルとを被覆するように成膜された絶縁性を有す
る保護膜と、を備えるインクジェットプリンタヘッド。 - 【請求項２】 前記電圧印加部は、圧電部材である請求
項１記載のインクジェットプリンタヘッド。 - 【請求項３】 前記保護膜は、蒸着重合法により形成さ
れている請求項１又は２記載のインクジェットプリンタ
ヘッド。 - 【請求項４】 前記保護膜は、ポリ尿素により形成され
ている請求項１ないし３のいずれか一記載のインクジェ
ットプリンタヘッド。 - 【請求項５】 前記保護膜は、ポリイミドにより形成さ
れている請求項１ないし３のいずれか一記載のインクジ
ェットプリンタヘッド。 - 【請求項６】 インクが供給される複数の圧力室と、前
記圧力室を形成する壁部の少なくとも一部に設けられて
電圧が印可されることにより前記圧力室内のインクの圧
力を可変させる電圧印加部と、前記圧力室に連通されて
前記圧力室にインクを供給するインク流路と、前記圧力
室毎に設けられて前記圧力室と外部とを連通させるノズ
ルと、前記圧力室毎に設けられて前記電圧印加部に電圧
を印可するための電極と、を備えるインクジェットプリ
ンタヘッドの製造方法において、 有機高分子材料により形成されて絶縁性を有する保護膜
を少なくとも前記電極と前記ノズルとを被覆するように
蒸着重合法により成膜する保護膜成膜工程を有すること
を特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方
法。 - 【請求項７】 インクが供給される複数の圧力室と、前
記圧力室を形成する壁部の少なくとも一部に設けられて
電圧が印可されることにより前記圧力室内のインクの圧
力を可変させる電圧印加部と、前記圧力室に連通されて
前記圧力室にインクを供給するインク流路と、前記圧力
室毎に設けられて前記圧力室と外部とを連通させるノズ
ルと、前記圧力室毎に設けられて前記電圧印加部に電圧
を印可するための電極と、を備えるインクジェットプリ
ンタヘッドの製造方法において、 前記ノズルが形成されたノズルプレートを前記圧力室の
端面に接着する接着工程と、 有機高分子材料により形成されて絶縁性を有する保護膜
を少なくとも前記電極と前記ノズルとを被覆するように
蒸着重合法により成膜する保護膜成膜工程と、を有する
ことを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造
方法。 - 【請求項８】 インクが供給される複数の圧力室と、前
記圧力室を形成する壁部の少なくとも一部に設けられて
電圧が印可されることにより前記圧力室内のインクの圧
力を可変させる電圧印加部と、前記圧力室に連通されて
前記圧力室にインクを供給するインク流路と、前記圧力
室毎に設けられて前記圧力室と外部とを連通させるノズ
ルと、前記圧力室毎に設けられて前記電圧印加部に電圧
を印可するための電極と、を備えるインクジェットプリ
ンタヘッドの製造方法において、 前記ノズルが形成される以前のノズルプレートを前記圧
力室の端面に接着する接着工程と、 前記圧力室の端面に接着された前記ノズルプレートにレ
ーザ光を照射してノズルを形成するノズル形成工程と、 有機高分子材料により形成されて絶縁性を有する保護膜
を少なくとも前記電極と前記ノズルとを被覆するように
蒸着重合法により成膜する保護膜成膜工程と、を有する
ことを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造
方法。 - 【請求項９】 前記電圧印加部は、圧電部材であること
を特徴とする請求項６ないし８のいずれか一記載のイン
クジェットプリンタヘッドの製造方法。 - 【請求項１０】 前記保護膜は、ポリ尿素により形成さ
れている請求項６ないし９のいずれか一記載のインクジ
ェットプリンタヘッドの製造方法。 - 【請求項１１】 前記保護膜は、ポリイミドにより形成
されている請求項６ないし９のいずれか一記載のインク
ジェットプリンタヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002075354A JP3943971B2 (ja) | 2002-03-19 | 2002-03-19 | インクジェットプリンタヘッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002075354A JP3943971B2 (ja) | 2002-03-19 | 2002-03-19 | インクジェットプリンタヘッドおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003266691A true JP2003266691A (ja) | 2003-09-24 |
| JP3943971B2 JP3943971B2 (ja) | 2007-07-11 |
Family
ID=29204449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002075354A Expired - Fee Related JP3943971B2 (ja) | 2002-03-19 | 2002-03-19 | インクジェットプリンタヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3943971B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010188715A (ja) * | 2009-01-21 | 2010-09-02 | Toshiba Tec Corp | インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法 |
| JP2010214895A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Toshiba Tec Corp | インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法 |
| JP2012081695A (ja) * | 2010-10-14 | 2012-04-26 | Toshiba Tec Corp | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 |
| US20120098897A1 (en) * | 2010-10-26 | 2012-04-26 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Ink-jet head and method of manufacturing the same |
| JP2012155832A (ja) * | 2011-01-07 | 2012-08-16 | Nhk Spring Co Ltd | 圧電素子の製造方法、圧電素子、圧電アクチュエータ、及びヘッド・サスペンション |
| CN103287101A (zh) * | 2012-02-23 | 2013-09-11 | 珠海纳思达电子科技有限公司 | 压电促动器及液体喷头 |
| JP2013208900A (ja) * | 2012-02-27 | 2013-10-10 | Toshiba Tec Corp | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
| EP3663091A1 (en) * | 2018-12-06 | 2020-06-10 | SII Printek Inc | Head chip, liquid jet head, and liquid jet recording device |
-
2002
- 2002-03-19 JP JP2002075354A patent/JP3943971B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010188715A (ja) * | 2009-01-21 | 2010-09-02 | Toshiba Tec Corp | インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法 |
| JP2010214895A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Toshiba Tec Corp | インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法 |
| US8240819B2 (en) | 2009-03-18 | 2012-08-14 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Ink jet head with laser-machined nozzles and method of manufacturing ink jet head |
| JP2012081695A (ja) * | 2010-10-14 | 2012-04-26 | Toshiba Tec Corp | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 |
| US8573756B2 (en) * | 2010-10-26 | 2013-11-05 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Ink-jet head and method of manufacturing the same |
| US20120098897A1 (en) * | 2010-10-26 | 2012-04-26 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Ink-jet head and method of manufacturing the same |
| US9318135B2 (en) | 2011-01-07 | 2016-04-19 | Nhk Spring Co., Ltd. | Method of manufacturing piezoelectric element |
| JP2012155832A (ja) * | 2011-01-07 | 2012-08-16 | Nhk Spring Co Ltd | 圧電素子の製造方法、圧電素子、圧電アクチュエータ、及びヘッド・サスペンション |
| US10431245B2 (en) | 2011-01-07 | 2019-10-01 | Nhk Spring Co., Ltd. | Piezoelectric element having polymer coating, piezoelectric actuator using said piezoelectric element, and head suspension using said piezoelectric actuator |
| CN103287101A (zh) * | 2012-02-23 | 2013-09-11 | 珠海纳思达电子科技有限公司 | 压电促动器及液体喷头 |
| JP2013208900A (ja) * | 2012-02-27 | 2013-10-10 | Toshiba Tec Corp | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
| EP3663091A1 (en) * | 2018-12-06 | 2020-06-10 | SII Printek Inc | Head chip, liquid jet head, and liquid jet recording device |
| CN111284135A (zh) * | 2018-12-06 | 2020-06-16 | 精工电子打印科技有限公司 | 头芯片、液体喷射头以及液体喷射记录装置 |
| US10967636B2 (en) | 2018-12-06 | 2021-04-06 | Sii Printek Inc. | Head chip, liquid jet head, and liquid jet recording device |
| CN111284135B (zh) * | 2018-12-06 | 2022-10-04 | 精工电子打印科技有限公司 | 头芯片、液体喷射头以及液体喷射记录装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3943971B2 (ja) | 2007-07-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101363461B1 (ko) | 액적 침착 장치 | |
| US8573756B2 (en) | Ink-jet head and method of manufacturing the same | |
| JP2007144989A (ja) | 疎水性コーティング膜の形成方法 | |
| JP2008149649A (ja) | インクジェットヘッド、および、その製造方法 | |
| JP2003266691A (ja) | インクジェットプリンタヘッドおよびその製造方法 | |
| US8617340B2 (en) | Bonding method and bonded body | |
| JP4021687B2 (ja) | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 | |
| JP3106136B2 (ja) | マイクロインジェクティングデバイスのノズルプレート装置製造方法 | |
| JP2010105164A (ja) | 液体噴射ヘッド、液体吐出方法、メンテナンス方法、およびプリンタ | |
| JP2001063043A (ja) | インク噴射装置、及び、インク噴射装置のノズルプレートの製造方法 | |
| JP3115639B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製作方法 | |
| JP2002001955A (ja) | インクジェットプリンタヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH0952365A (ja) | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法、並びにインクジェット記録装置 | |
| JP6984200B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP2010069799A (ja) | インクジェットヘッド、インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP2000168082A (ja) | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 | |
| CN112622446B (zh) | 喷墨头和喷墨打印机 | |
| JPH05330061A (ja) | 液滴噴射装置の製造方法 | |
| JP2004175038A (ja) | インク吐出装置及びその製造方法 | |
| JP2003072062A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JPH09277537A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP2015006800A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP2010194891A (ja) | 液滴吐出装置の間隙部の詰まりを評価する方法、及び液滴吐出装置の製造方法 | |
| JP2010131939A (ja) | 液体噴射ヘッドチップの製造方法 | |
| JPH09239976A (ja) | インクジェットヘッドの接着剤塗布装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20041027 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061208 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20061214 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070207 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20070403 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Effective date: 20070406 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100413 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 4 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110413 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120413 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130413 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |