JPH05330061A - 液滴噴射装置の製造方法 - Google Patents
液滴噴射装置の製造方法Info
- Publication number
- JPH05330061A JPH05330061A JP14421592A JP14421592A JPH05330061A JP H05330061 A JPH05330061 A JP H05330061A JP 14421592 A JP14421592 A JP 14421592A JP 14421592 A JP14421592 A JP 14421592A JP H05330061 A JPH05330061 A JP H05330061A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- adhesive
- nozzle plate
- ink
- flow path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 液滴噴射装置製造時、詳しくはノズルプレー
トの接着行程において、接着剤がノズル穴に流れ込まな
い製造方法を提供すること。 【構成】 ノズル穴を備えたノズルプレートのインク流
路と接合する面において、ノズル穴近辺のノズルプレー
トもしくは接着剤に段差加工を施す工程を経ることによ
り、ノズルプレートとインク流路との接合時に、加圧や
溶融によって接着剤が段差加工部分へ流れ込み、ノズル
穴への接着材の進入を妨ぐ。そのため製造時の歩留まり
がよい液滴噴射装置が提供できる。
トの接着行程において、接着剤がノズル穴に流れ込まな
い製造方法を提供すること。 【構成】 ノズル穴を備えたノズルプレートのインク流
路と接合する面において、ノズル穴近辺のノズルプレー
トもしくは接着剤に段差加工を施す工程を経ることによ
り、ノズルプレートとインク流路との接合時に、加圧や
溶融によって接着剤が段差加工部分へ流れ込み、ノズル
穴への接着材の進入を妨ぐ。そのため製造時の歩留まり
がよい液滴噴射装置が提供できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液滴噴射装置の製造方
法に係わり、特にノズルプレート接合時の工夫に関する
ものである。
法に係わり、特にノズルプレート接合時の工夫に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、プリンタヘッドに圧電式インクジ
ェットを利用したものが提案されている。これは、圧電
アクチュエータの寸法変位によってインク室の容積を変
化させることにより、その容積減少時にインク室内のイ
ンクを噴射し、容積増大時にインク室内にインクを導入
するようにしたもので、ドロップオンデマンド方式と呼
ばれている。そして、このような噴射装置を多数互いに
近接して配設し、所定の位置の噴射装置からインクを噴
射させることにより、所望の文字や画像を形成するので
ある。
ェットを利用したものが提案されている。これは、圧電
アクチュエータの寸法変位によってインク室の容積を変
化させることにより、その容積減少時にインク室内のイ
ンクを噴射し、容積増大時にインク室内にインクを導入
するようにしたもので、ドロップオンデマンド方式と呼
ばれている。そして、このような噴射装置を多数互いに
近接して配設し、所定の位置の噴射装置からインクを噴
射させることにより、所望の文字や画像を形成するので
ある。
【０００３】このような液滴噴射装置としては、例えば
図８に示すようなものがある。以下、図９を用いて具体
的に説明すると、アレイ１は複数の側壁５を有し、かつ
矢印２８の方向に分極処理を施した圧電セラミックス板
２とフタ６とを接合することで、横方向に互いに間隔を
有する多数の平行なインク流路４を構成している。イン
ク流路４は長方形断面の長くて狭いものであり、側壁５
は流路の全長にわたって伸び流路軸に垂直に変形可能で
流路内のインク圧を変化させるものである。前記側壁５
の表面の下半分（あるいは上半分）の領域には、駆動電
界印加用の駆動電極７が形成されており、該駆動電極７
の表面にはインクと電極との絶縁のための絶縁処理が施
されている。インク流路４と該インク流路４の一端に連
通するノズル穴５０を有するノズルプレート６０と他端
に連通するインク供給部（図示しない）と該インク流路
４を形成する圧電変形可能な側壁５と該インク流路４を
塞ぐフタ６から噴射装置３４が構成されている。
図８に示すようなものがある。以下、図９を用いて具体
的に説明すると、アレイ１は複数の側壁５を有し、かつ
矢印２８の方向に分極処理を施した圧電セラミックス板
２とフタ６とを接合することで、横方向に互いに間隔を
有する多数の平行なインク流路４を構成している。イン
ク流路４は長方形断面の長くて狭いものであり、側壁５
は流路の全長にわたって伸び流路軸に垂直に変形可能で
流路内のインク圧を変化させるものである。前記側壁５
の表面の下半分（あるいは上半分）の領域には、駆動電
界印加用の駆動電極７が形成されており、該駆動電極７
の表面にはインクと電極との絶縁のための絶縁処理が施
されている。インク流路４と該インク流路４の一端に連
通するノズル穴５０を有するノズルプレート６０と他端
に連通するインク供給部（図示しない）と該インク流路
４を形成する圧電変形可能な側壁５と該インク流路４を
塞ぐフタ６から噴射装置３４が構成されている。
【０００４】このアレイ１において図９に示すように、
所定の印字データに従って例えば噴射装置３４ｂが選択
されると、駆動電極７ｃ，７ｄと駆動電極７ｅ，７ｆの
各々の間に駆動電界１０が印加される。このとき駆動電
界方向と分極方向とが直交しているため、側壁５ｂ，５
ｃは圧電厚みすべり効果によってインク室４ｂの外部方
向にくの字形に変形する。その後、前記駆動電界１０の
印加を遮断すると、該側壁５ｂ，５ｃがもとの位置に戻
る。この変形によりインク室４ｂ内のインク圧が大とな
り、図示されていないノズル穴５０からインク液滴が噴
射される。
所定の印字データに従って例えば噴射装置３４ｂが選択
されると、駆動電極７ｃ，７ｄと駆動電極７ｅ，７ｆの
各々の間に駆動電界１０が印加される。このとき駆動電
界方向と分極方向とが直交しているため、側壁５ｂ，５
ｃは圧電厚みすべり効果によってインク室４ｂの外部方
向にくの字形に変形する。その後、前記駆動電界１０の
印加を遮断すると、該側壁５ｂ，５ｃがもとの位置に戻
る。この変形によりインク室４ｂ内のインク圧が大とな
り、図示されていないノズル穴５０からインク液滴が噴
射される。
【０００５】従来ノズルプレート６０は以下に示す方法
により形成されている。
により形成されている。
【０００６】図１０ａに示すようにまずインク成分中の
溶剤に対して劣化の起こらない材質、たとえばポリイミ
ドなどのプレート６０に、エキシマレーザ等の高エネル
ギービームによってノズル穴５０をインク流路４（図示
せず）と同じピッチで加工する。
溶剤に対して劣化の起こらない材質、たとえばポリイミ
ドなどのプレート６０に、エキシマレーザ等の高エネル
ギービームによってノズル穴５０をインク流路４（図示
せず）と同じピッチで加工する。
【０００７】その後、ノズルプレート６０または圧電セ
ラミックス板２およびフタ６に接着剤７０を塗布し、ノ
ズルプレート６０を圧電セラミックス板２およびフタ６
と接着する。
ラミックス板２およびフタ６に接着剤７０を塗布し、ノ
ズルプレート６０を圧電セラミックス板２およびフタ６
と接着する。
【０００８】また他の方法としては、図１０ｂに示すよ
うにノズルプレート６０に予め接着層７０が塗布してあ
るものを接着層ごとエキシマレーザ等の高エネルギービ
ームによってノズル穴加工を行い、その後圧電セラミッ
クス板２およびフタ６に接着する方法があった。
うにノズルプレート６０に予め接着層７０が塗布してあ
るものを接着層ごとエキシマレーザ等の高エネルギービ
ームによってノズル穴加工を行い、その後圧電セラミッ
クス板２およびフタ６に接着する方法があった。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
液滴噴射装置の製造方法では、接着時に接着温度や加圧
圧力を正確に制御しないと接着剤がノズル穴に垂れた
り、流れ込んだりして、ノズル穴を塞いだり、ノズル穴
の形状を狭くしたりするという問題点があった。
液滴噴射装置の製造方法では、接着時に接着温度や加圧
圧力を正確に制御しないと接着剤がノズル穴に垂れた
り、流れ込んだりして、ノズル穴を塞いだり、ノズル穴
の形状を狭くしたりするという問題点があった。
【００１０】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、接着工程を簡便にし、接着工程
における製品の不良率を大幅に低下させる液滴噴射装置
の製造方法を提供することを目的とする。
になされたものであり、接着工程を簡便にし、接着工程
における製品の不良率を大幅に低下させる液滴噴射装置
の製造方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の液滴噴射装置の製造方法は、ノズル穴を備え
たノズルプレートのインク流路との接合面、もしくは接
合面上に接着剤が塗布された後の接着剤部分におけるノ
ズル穴近傍に段差加工を施す工程を経る。
に本発明の液滴噴射装置の製造方法は、ノズル穴を備え
たノズルプレートのインク流路との接合面、もしくは接
合面上に接着剤が塗布された後の接着剤部分におけるノ
ズル穴近傍に段差加工を施す工程を経る。
【００１２】
【作用】上記の構成を有する本発明の液滴噴射装置の製
造方法によれば、ノズルプレートとインク流路との接合
時に、加圧や溶融によって接着剤が段差加工部分へ流れ
込み、ノズル穴への接着剤の進入を妨げる。
造方法によれば、ノズルプレートとインク流路との接合
時に、加圧や溶融によって接着剤が段差加工部分へ流れ
込み、ノズル穴への接着剤の進入を妨げる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面を
参照して詳細に説明する。なお都合上、従来例と同一部
位、及び均等部位には同一符合をつけて説明する。
参照して詳細に説明する。なお都合上、従来例と同一部
位、及び均等部位には同一符合をつけて説明する。
【００１４】図１は、接着剤７０を塗布したノズルプレ
ート６０である。接着剤７０およびノズルプレート６０
は使用インク成分中に含まれる溶剤に対して耐溶剤性の
ある材質がよい。例えば本実施例においては、接着剤７
０はエポキシ系接着剤であり、ノズルプレートはポリイ
ミド樹脂を用いている。
ート６０である。接着剤７０およびノズルプレート６０
は使用インク成分中に含まれる溶剤に対して耐溶剤性の
ある材質がよい。例えば本実施例においては、接着剤７
０はエポキシ系接着剤であり、ノズルプレートはポリイ
ミド樹脂を用いている。
【００１５】次に図２に示すように、接着層およびノズ
ルプレートを同時に、ノズル穴あけ加工する。ノズル穴
あけ加工は微細穴あけ加工に最も適した加工が望まし
く、本実施例においては、波長２４８ｎｍのＫｒＦエキ
シマレーザ光８０を用い、ノズル穴形状およびピッチと
相似形を持つマスク９０およびレンズ１００を介して接
着層側より穴あけ加工を行った。加工穴は直径３０μｍ
の穴を複数個同一ピッチであけた。ここで、エキシマレ
ーザによる穴あけ加工においては、一般に図２に示すよ
うに、レーザの入射側の穴径が出射側の穴径より大きく
なる、すなわちテーパ穴が加工される。
ルプレートを同時に、ノズル穴あけ加工する。ノズル穴
あけ加工は微細穴あけ加工に最も適した加工が望まし
く、本実施例においては、波長２４８ｎｍのＫｒＦエキ
シマレーザ光８０を用い、ノズル穴形状およびピッチと
相似形を持つマスク９０およびレンズ１００を介して接
着層側より穴あけ加工を行った。加工穴は直径３０μｍ
の穴を複数個同一ピッチであけた。ここで、エキシマレ
ーザによる穴あけ加工においては、一般に図２に示すよ
うに、レーザの入射側の穴径が出射側の穴径より大きく
なる、すなわちテーパ穴が加工される。
【００１６】また、ノズル穴形状としては一般に、イン
ク流路側が大きく吐出側が小さいテーパを持つ方が、イ
ンク流路側が小さく吐出側が大きい場合や、インク流路
側と吐出側が同じ場合すなわち、テーパの無いストレー
トなノズル穴よりも、インク液滴の量及び吐出速度が安
定して得られる。そのため、本実施例においては、接着
層側より加工することが望ましい。
ク流路側が大きく吐出側が小さいテーパを持つ方が、イ
ンク流路側が小さく吐出側が大きい場合や、インク流路
側と吐出側が同じ場合すなわち、テーパの無いストレー
トなノズル穴よりも、インク液滴の量及び吐出速度が安
定して得られる。そのため、本実施例においては、接着
層側より加工することが望ましい。
【００１７】次に図３に示すようにノズル穴５０が加工
された部分に、図３ａの場合はノズル穴径の約２倍程度
の幅の接着層をノズル穴を中心として帯状に除去するよ
う加工する。また図３ｂの場合は、ノズル穴の回りの接
着層をノズル穴径の約２倍程度の直径で同心円上に接着
層を除去するよう加工する。ここで接着層の除去する加
工においても、ノズル穴あけ加工の時と同様に、エキシ
マレーザを用いた。また、本説明においては接着層のみ
除去する加工を行ったが、図４に示すようにノズルプレ
ート部分を多少除去するように加工しても差し支えな
く、むしろ接着層が厚い場合は接着剤の逃げ部分が大き
くなるためその方が望ましい。さらには、段差加工を行
う領域は、本実施例の場合、ノズル穴径の約２程度とし
たが、接着層の厚さ等によって、その大きさを適宜設定
するのが望ましい。
された部分に、図３ａの場合はノズル穴径の約２倍程度
の幅の接着層をノズル穴を中心として帯状に除去するよ
う加工する。また図３ｂの場合は、ノズル穴の回りの接
着層をノズル穴径の約２倍程度の直径で同心円上に接着
層を除去するよう加工する。ここで接着層の除去する加
工においても、ノズル穴あけ加工の時と同様に、エキシ
マレーザを用いた。また、本説明においては接着層のみ
除去する加工を行ったが、図４に示すようにノズルプレ
ート部分を多少除去するように加工しても差し支えな
く、むしろ接着層が厚い場合は接着剤の逃げ部分が大き
くなるためその方が望ましい。さらには、段差加工を行
う領域は、本実施例の場合、ノズル穴径の約２程度とし
たが、接着層の厚さ等によって、その大きさを適宜設定
するのが望ましい。
【００１８】このように加工したノズルプレート６０を
図５に示すように、インク流路を設けた圧電セラミック
ス板２およびフタ６に接着する。本実施例で用いた接着
剤の接着条件は、１００〜１５０℃において数秒保持す
るものである。
図５に示すように、インク流路を設けた圧電セラミック
ス板２およびフタ６に接着する。本実施例で用いた接着
剤の接着条件は、１００〜１５０℃において数秒保持す
るものである。
【００１９】このようにして、ノズルプレート６０と圧
電セラミックス板２およびフタ６を接着した後の断面図
が図６である。これより、接着後の接着剤はノズル穴５
０を埋める事なく接着がなされた。さらにここで、比較
のため段差加工を行わなかった従来方法のままのノズル
プレート６０と圧電セラミックス板２およびフタ６を接
着した後の断面図を図７に示す。図に示すように、接着
後に、接着剤がノズル穴５０に流れ込みノズル穴５０を
埋めてしまう理由である。
電セラミックス板２およびフタ６を接着した後の断面図
が図６である。これより、接着後の接着剤はノズル穴５
０を埋める事なく接着がなされた。さらにここで、比較
のため段差加工を行わなかった従来方法のままのノズル
プレート６０と圧電セラミックス板２およびフタ６を接
着した後の断面図を図７に示す。図に示すように、接着
後に、接着剤がノズル穴５０に流れ込みノズル穴５０を
埋めてしまう理由である。
【００２０】尚、本発明は、ノズルプレート６０に接着
剤７０を先に塗布してからノズル穴加工および段差加工
を行ったが、ノズル穴加工を行った後、ノズル穴回りを
避けて段差が設けられるように接着剤をノズルプレート
に塗布しても、本実施例と同様な効果が得られる。
剤７０を先に塗布してからノズル穴加工および段差加工
を行ったが、ノズル穴加工を行った後、ノズル穴回りを
避けて段差が設けられるように接着剤をノズルプレート
に塗布しても、本実施例と同様な効果が得られる。
【００２１】また、接着剤を圧電セラミックス板２およ
びフタ６に塗布した場合は、ノズルプレート６０に段差
加工を行っても同様の効果が得られ、さらには、圧電セ
ラミックス板２およびフタ６に塗布した接着剤に同様な
段差加工を行う場合も有効である。
びフタ６に塗布した場合は、ノズルプレート６０に段差
加工を行っても同様の効果が得られ、さらには、圧電セ
ラミックス板２およびフタ６に塗布した接着剤に同様な
段差加工を行う場合も有効である。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明の液滴噴射装置の製造方法は、ノズル穴を備えたノ
ズルプレートのインク流路との接合面、もしくは接合面
上に接着剤が塗布された後の接着剤部分におけるノズル
穴近傍に段差加工を施す工程を経ることにより、ノズル
プレートとインク流路側との接合時に、加圧や溶融によ
って接着剤が段差加工部分へ流れ込み、ノズル穴への接
着材の進入を妨げるため、製造時の歩留りがよく信頼性
の高い液滴噴射装置が提供できる。
発明の液滴噴射装置の製造方法は、ノズル穴を備えたノ
ズルプレートのインク流路との接合面、もしくは接合面
上に接着剤が塗布された後の接着剤部分におけるノズル
穴近傍に段差加工を施す工程を経ることにより、ノズル
プレートとインク流路側との接合時に、加圧や溶融によ
って接着剤が段差加工部分へ流れ込み、ノズル穴への接
着材の進入を妨げるため、製造時の歩留りがよく信頼性
の高い液滴噴射装置が提供できる。
【図１】接着剤を塗布したノズルプレートの一部を示す
図である。
図である。
【図２】エキシマレーザによるノズルプレートの加工説
明図である。
明図である。
【図３】エキシマレーザにより接着層が加工されたノズ
ルプレートを示す図である。
ルプレートを示す図である。
【図４】エキシマレーザにより加工されたノズルプレー
トの断面図である。
トの断面図である。
【図５】ノズルプレートと圧電セラミックス板およびフ
タとの接着行程を示す図である。
タとの接着行程を示す図である。
【図６】ノズルプレートと圧電セラミックス板およびフ
タとの接着後の断面図である。
タとの接着後の断面図である。
【図７】従来のノズルプレートの断面図である。
【図８】従来の液滴噴射装置を示す図である。
【図９】従来の液滴噴射装置の一部を構成するアレイの
断面図である。
断面図である。
【図１０】従来のノズルプレートの接着行程を示す図で
ある。
ある。
１ アレイ ２ 圧電セラミックス板 ４ インク流路 ６ フタ ５０ ノズル穴 ６０ ノズルプレート ７０ 接着剤
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 菅原 宏人 名古屋市瑞穂区苗代町15番１号ブラザー工 業株式会社内 (72)発明者 鐘ケ江 隆弘 名古屋市瑞穂区苗代町15番１号ブラザー工 業株式会社内 (72)発明者 高橋 義和 名古屋市瑞穂区苗代町15番１号ブラザー工 業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 圧電トランスデューサを用いてインク流
路の容積を変化させることにより、インク流路内のイン
クを連通するノズル穴から噴射する液滴噴射装置の製造
方法に於て、 前記ノズル穴を備えたノズルプレートの前記インク流路
との接合面、もしくは接合面上に接着剤が塗布された後
の接着剤部分におけるノズル穴近傍に段差加工を施す工
程を経ることを特徴とする液滴噴射装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14421592A JPH05330061A (ja) | 1992-06-04 | 1992-06-04 | 液滴噴射装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14421592A JPH05330061A (ja) | 1992-06-04 | 1992-06-04 | 液滴噴射装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05330061A true JPH05330061A (ja) | 1993-12-14 |
Family
ID=15356920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14421592A Pending JPH05330061A (ja) | 1992-06-04 | 1992-06-04 | 液滴噴射装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05330061A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1020291A2 (en) | 1999-01-18 | 2000-07-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge head and producing method therefor |
| JP2001315339A (ja) * | 2000-05-08 | 2001-11-13 | Konica Corp | インクジェットヘッドのノズルプレート組立方法 |
| EP2130677A1 (en) | 2008-06-05 | 2009-12-09 | SII Printek Inc | Head chip, liquid jet head, and liquid jet device |
| EP2133204A1 (en) | 2008-06-10 | 2009-12-16 | SII Printek Inc | Head chip, liquid jet head, and liquid jet device |
| JP2016068382A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | セーレン株式会社 | インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 |
-
1992
- 1992-06-04 JP JP14421592A patent/JPH05330061A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1020291A2 (en) | 1999-01-18 | 2000-07-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge head and producing method therefor |
| US6527377B1 (en) | 1999-01-18 | 2003-03-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge head and producing method therefor |
| US6659588B2 (en) | 1999-01-18 | 2003-12-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge head and producing method therefor |
| JP2001315339A (ja) * | 2000-05-08 | 2001-11-13 | Konica Corp | インクジェットヘッドのノズルプレート組立方法 |
| JP4491760B2 (ja) * | 2000-05-08 | 2010-06-30 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | インクジェットヘッドのノズルプレート組立方法 |
| EP2130677A1 (en) | 2008-06-05 | 2009-12-09 | SII Printek Inc | Head chip, liquid jet head, and liquid jet device |
| EP2133204A1 (en) | 2008-06-10 | 2009-12-16 | SII Printek Inc | Head chip, liquid jet head, and liquid jet device |
| JP2016068382A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | セーレン株式会社 | インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2578039C (en) | Methods of fabricating nozzle plates | |
| US4680595A (en) | Impulse ink jet print head and method of making same | |
| JPH11129482A (ja) | インクジェットプリントヘッド及びフィルタ要素の製造方法 | |
| JPH08197728A (ja) | インク噴射装置 | |
| US6925712B2 (en) | Method of fabricating a liquid-jet head | |
| JP3094489B2 (ja) | インクジェットプリントヘッドとそれを用いたインクジェットプリント装置、及びインクジェットプリントヘッドの製造方法 | |
| JPH05330061A (ja) | 液滴噴射装置の製造方法 | |
| JP2633943B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドおよび該ヘッドの製造方法 | |
| US6368515B1 (en) | Method of manufacturing ink-jet printer head | |
| JP3861532B2 (ja) | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 | |
| JP2009190339A (ja) | 液体噴射ヘッド及びその製造方法 | |
| JP2010069799A (ja) | インクジェットヘッド、インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JPH04279356A (ja) | 記録ヘッドの製造方法および記録ヘッド | |
| JP2861117B2 (ja) | インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 | |
| US6515255B1 (en) | Processing method of discharge nozzle for liquid jet recording head and manufacturing method of liquid jet recording head | |
| JPH0596726A (ja) | インクジエツト記録装置 | |
| JPH0952370A (ja) | インクジェット装置 | |
| JPH0957964A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP3460421B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JPH08230199A (ja) | インクジェット装置の製造方法 | |
| JP3669011B2 (ja) | インクジェット装置の製造方法 | |
| JPH09239976A (ja) | インクジェットヘッドの接着剤塗布装置 | |
| JPH09300628A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP2001277504A (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH11300953A (ja) | インクジェットヘッド |