JPH11147316A - インクジェット記録ヘッド及びノズル板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 インクジェット記録ヘッドに関し、微小な穴
径のノズルをもち、十分な厚さをもったノズル板を備え
たインクジェット記録ヘッドを提供することを目的とす
る。 【解決手段】 複数のノズル３２を有するノズル板３４
と、該ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を形成す
る板部材と、該圧力室の外壁を形成する圧力板と、該圧
力板に圧力を印加して該圧力室のインクに圧力を付与す
るためのトランスデューサとを有し、該ノズル板３４
は、金属板５２と樹脂シート５４の積層体からなり、ノ
ズル板３４は、複数の穴を形成してある金属板５２に樹
脂シート５４を接合し、該金属板側よりレーザ照射を行
うことにより該樹脂シートに該金属板の穴５６と連通す
る穴を形成することにより形成される構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はプリンタやファクシ
ミリ等の画像記録装置に使用されるインクジェット記録
ヘッド及びそれに使用されるノズル板の製造方法に関す
る。特に、本発明はインクジェット記録ヘッドにおいて
一度に噴射されるインク量が微小（例えば２０ｐｌ以
下）なノズルを有するノズル板に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えばプリンタにおいては、ワイヤを駆
動し、インクリボン及び用紙を介してプラテンに押圧す
ることで印字を行うワイヤ駆動型の記録ヘッドと、イン
クをノズルから噴射するインクジェット記録ヘッドとが
ある。後者のタイプは前者のタイプと比べて騒音が発生
せず、オフィス内での使用に適しているとして注目され
ている。

【０００３】従来のインクジェックト記録ヘッドは、ノ
ズルと、圧力室と、インク供給系と、インクタンクと、
トランスデューサとを備え、トランスデューサで発生し
た変位を圧力室に伝達することによってノズルからイン
クを噴射させ、紙等の記録媒体上に文字や画像を記録す
る。一般によく知られている方式は、トランスデューサ
として圧力室の外壁に接着された圧電素子ユニットを用
いる。この圧電素子ユニットにパルス状の電圧を加え、
圧力室の内壁を形成する加圧板を撓ませ、加圧板の撓み
を圧力室内に伝達するものである。

【０００４】従来のインクジェット記録ヘッドに用いら
れるノズル板の製造方法の一例が図１３に示されてい
る。図１３に示されるノズル板１は電鋳法により製造さ
れる。すなわち、（Ａ）に示されるように、導電性を有
する平板２の上に数μｍ以下の厚さの絶縁性のマスク
（レジスト）３を形成し、（Ｂ）に示されるように、オ
ーバーハングによる電鋳にてＮｉメッキ板４を形成し、
（Ｃ）に示されるようにＮｉメッキ板４を平板２及びマ
スク３から剥離してノズル板１とする。マスク３の跡の
部分がノズル５となる。

【０００５】また、図１４に示されるノズル板１はプレ
ス法により製造される。すなわち、（Ａ）に示されるよ
うに、金属板６に所望の形を有するピン７をプレスし、
（Ｂ）に示されるように、金属板６の表面を研磨してプ
レスによるバリ等を除去してノズル板１とする。ピン７
の跡の部分がノズル５となる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】いずれの場合にも、ノ
ズル板１のノズル５は非常に小さく、インク噴射側の穴
径が例えば３５μｍ以下になる。このように非常に小さ
な穴径のノズル５を有するノズル板１を製造する場合、
ノズル板１の厚さをある程度に確保するのが難しかっ
た。所望の厚さのノズル板１を得ようとする場合、次の
ような問題点があった。

【０００７】マスクを用いた電鋳法では、ノズル穴径の
制御はメッキ時間、電流、メッキ液内のＮｉ濃度等を制
御しなければならず、全てを適切に制御することは非常
に困難である。ノズル板の厚さは形成するノズルの穴径
とノズルピッチにより一義的に決定されるので、ノズル
の穴径が小さいほど、ノズル板の厚さは薄くなる。ノズ
ル形状がホーン状に変化するため、設計が困難である。
また、ノズル形状はメッキ槽内の液の流れにより形が変
形する。

【０００８】また、プレス法では、ノズルの穴径が小さ
いほど、プレス用のピンが細くなり、ピン先端の寿命が
短い。加工可能な金属板の厚さｔｍはプレスに用いるピ
ンの径ｄｐに依存し、ｔｍ≦１．６×ｄｐの式の範囲で
制限される。従って、ノズルの穴径が小さいと、金属板
の厚さを厚くすることができない。さらに、電鋳法及び
プレス法のどちらの方法においても、ノズル板のインク
飛翔側の表面に撥水膜を形成する場合、ノズル板のノズ
ル内に撥水膜の材料がつまらないようにしなければなら
ず、撥水膜を形成に際してノズル内にレジスト等を埋め
込むことが必要になる。これは、ノズル内でのレジスト
先端の位置制御が困難である。撥水膜形成後に穴内にレ
ジストが残留する。

【０００９】また、ノズル板の厚さを増加するために、
穴あきの複数の板を積層してノズル板を形成した場合、
各板の穴を整合させるのが難しく、ノズル内に複数の板
を接合するときのずれからくる段差が発生するという問
題がある。本発明の目的は、微小な穴径のノズルをも
ち、十分な厚さをもったノズル板を備えたインクジェッ
ト記録ヘッドを提供することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明によるインクジェ
ット記録ヘッドは、複数のノズルを有するノズル板と、
該ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を形成する板
部材と、該圧力室の外壁を形成する圧力板と、該圧力板
に圧力を印加して該圧力室のインクに圧力を付与するた
めのトランスデューサとを有し、該ノズル板は、金属板
と樹脂シートの積層体からなることを特徴とするもので
ある。

【００１１】ノズル板は、金属板と樹脂シートの積層体
からなる構成とすることにより、比較的に薄い金属板に
ノズルに相当する穴を形成し、この金属板に接合された
樹脂シートに金属板の穴に基づいて穴を形成して、ノズ
ル板のノズルとすることができる。こうして、微小な穴
径のノズルをもった、所望の厚さのノズル板を得ること
ができる。さらに、金属板と樹脂シートとを接合してノ
ズル板を形成し、樹脂シートを外面側に配置することに
より、ノズル板からインクを噴射した時にノズル板の表
面に付着したインクを除去する場合、金属単体のノズル
板よりも容易にインクを除去することができる。

【００１２】該ノズル板は、該ノズルに相当する複数の
穴を形成してある該金属板に該樹脂シートを接合し、該
金属板側よりレーザ照射を行うことにより該樹脂シート
に該金属板の穴と連通する穴を形成することにより製造
されることができる。この場合、金属板に樹脂シートを
接合し、金属板側から全面にレーザー光を照射する。レ
ーザー光としてはエキシマレーザー等の加工性のあるも
のとし、金属板が樹脂シートへのレーザ照射の際のマス
クとして作用し、金属板の微小穴を通過したレーザ光が
接合してある樹脂シートに当たり、樹脂シートの照射さ
れた部分のみを加工する（削る）。よって、複数の微小
な穴径のノズルを有するノズル板がノズル内に段差がな
く得られる。

【００１３】上記構成とともに次の構成を採用すること
ができる。該ノズル板の該金属板と該樹脂シートとの接
合部において、該ノズル板の表面と平行をなす該樹脂シ
ート面が該金属板の穴から露出していない。該樹脂シー
トの穴の内壁のノズルの中心と平行な線に対する角度と
該金属板の穴の内壁のノズルの中心と平行な線に対する
角度との差がが３０度以下である。

【００１４】該ノズル板の該金属板と該樹脂シートの厚
さの比は、５０：１〜０．４：１の範囲内にある。該ノ
ズル板の該金属板の厚さ（ｔｍ）は、該ノズルとして形
成する穴の直径（Ｄ）に対して、０．００２Ｄ≦ｔｍ≦
１．０×Ｄの範囲内の厚さである。該樹脂シートとして
用いる材料としては、ＰＥＮ、ＰＥＴ、ＰＥＳ等の耐イ
ンク性のあるもの、並びにドライフィルムレジストのい
ずれかを用いる。

【００１５】ドライフィルムレジストを用いる場合、該
樹脂シートを該金属板にラミネートし、加熱硬化を行っ
た後に、レーザ照射にてノズル穴形成を行う。該金属板
と該樹脂シートとの接合面に熱硬化性接着剤が塗布して
ある。該樹脂シートには該金属板とは反対側に撥水膜が
形成してある。

【００１６】

【発明の実施の形態】図１０は、インクジェット記録ヘ
ッド１０を有するプリンタ１２を示す側面図である。図
１０において、プリンタ１２はキャリッジ１４を有し、
インクジェット記録ヘッド（以下単にヘッドと言う）１
０とインクタンク１６とがキャリッジ１４に取り付けら
れている。プリンタ１２はさらに送りローラ１８及びそ
のピンチローラ２０、ヘッド１０と対向するプラテン２
２、排出ローラ２４及びそのピンチローラ２６、並びに
スタッカ２８を有する。印刷用紙等の記録媒体３０は、
送りローラ１８及びピンチローラ２０によってヘッド１
０とプラテン２２の間へ搬送され、ヘッド１０によって
インクを噴射され、印字等の処理を行われた後、排出ロ
ーラ２４及びそのピンチローラ２６によってスタッカ２
８へ排出される。

【００１７】図１１はヘッド１０を示す分解斜視図であ
る。図１２はヘッド１０を示す部分断面図である。図１
１において、ヘッド１０は、ノズル３２を有するノズル
板３４と、インク流露形成板３６、３８と、加圧板４０
と、トランスデューサとしての圧電素子ユニット４２と
からなる。圧電素子ユニット４２はホルダ４４に配置さ
れ、ノズル板３４とインク流露形成板３６、３８と加圧
板４０は順番に重ねられてホルダ４４に取り付けられ
る。ピン４６はこれらの板部材をホルダ４４に対して位
置決めする。

【００１８】ホルダ４４はインクタンク１６に通じるイ
ンク通路４８を含み、このインク通路４８は加圧板４０
に設けられた穴状のインク通路４０ａ、流露形成板３
６、３８に設けられた穴状のインク通路３６ａ、３８ａ
を介して、流露形成板３６に設けられた溝状のインク通
路３６ｉに連通する。さらに、流露形成板３６、３８は
ノズル板３４のノズル３２と対応して形成された小孔３
６ｐ、３８ｐを有し、これらの小孔３６ｐ、３８ｐは図
１２に示される圧力室Ｐを形成する。各圧力室Ｐは溝状
のインク通路３６ｉに通じている加圧板４０は切り欠き
によって分離された振動壁部４０ｑを有する。加圧板４
０の振動壁部４０ｑは図１２に示されるように圧力室Ｐ
の外壁を形成し、隣接する振動壁部４０ｑは弾性部４０
ｒで接続される。圧電素子ユニット４２は接着剤５０に
よって振動壁部４０ｑに固着される。

【００１９】ホルダ３０の圧電素子ユニット４２の後側
にはプリント板が設けられており、図示しないインクジ
ェット記録装置本体からの印字信号がプリント板を介し
て圧電素子ユニット４２へ伝えられる。圧電素子ユニッ
ト４２に電圧を印加すると、圧電素子ユニット４２は伸
縮し、加圧板４０の振動壁部４０ｑを動かして圧力室Ｐ
内のインクに圧力を発生させ、ノズル板３４のノズル３
２からインク滴Ｉを噴射させる。図１１及び図１２にお
いては、ノズル板３４は４列のノズル３２を有する。

【００２０】図１はヘッド１０のノズル板３４を製造す
る手順及びノズル板３２の特徴を示す図である。図１に
おいては、（Ａ）に示されるように、所定の厚さの金属
板５２と所定の厚さの樹脂シート５４とが準備される。
金属板５２は製造すべきノズル板３４のノズル３２に相
当する複数の微小穴径の穴５６と、位置決めピン４６を
挿入するための位置決め穴５８とを有する。樹脂シート
５４は基本的に穴をもたない。

【００２１】図１の（Ｂ）に示されるように、樹脂シー
ト５４は金属板２４に接合される。それから、図１の
（Ｃ）に示されるように、樹脂シート５４と金属板２４
との積層体に、金属板５２側から全面にレーザー光
（Ｌ）を照射する。レーザー光としてはエキシマレーザ
ー等の加工性のあるものとする。金属板５２が樹脂シー
ト５４へのレーザ照射の際のマスクとして作用し、金属
板５２の微小な穴５６を通過したレーザ光が接合してあ
る樹脂シート５４に当たり、金属板５２の穴５６を透過
したレーザ光が樹脂シート５４を加工する（削る）。

【００２２】よって、図２に示されるように、樹脂シー
ト５４には金属板５２の穴５６と連通する穴６０が形成
される。金属板５２と樹脂シート５４との積層体がノズ
ル板３４となり、穴５６と穴６０がノズル３２となる。
使用においては、樹脂シート５４がヘッド１０の表面
側、すなわちインクの飛翔側に配置される。このよう
に、ノズル板３４は、金属板５２と樹脂シート５４の積
層体からなる構成とすることにより、比較的に薄い金属
板５２にノズル３２に相当する穴５６を形成し、この金
属板５２に接合された樹脂シート５４に金属板５２の穴
５６に基づいて穴６０を形成して、ノズル３２をもった
ノズル板３４を製造することができる。こうして、微小
な穴径のノズル３２をもった、所望の厚さのノズル板３
４を得ることができる。これによって、ノズル板３４の
ノズル３２のインク噴射側の穴径が３５μｍ以下であっ
ても、十分な厚さのノズル板３４を得ることができる。
さらに、金属板５２と樹脂シート５４とを接合してノズ
ル板３４を形成し、樹脂シート５４を外面側に配置して
使用することにより、ノズル板３４からインクを噴射し
た後にノズル板３４の表面に付着したインクを除去する
場合、金属単体のノズル板よりも容易にインクを除去す
ることができる。

【００２３】金属板５２と樹脂シート５４との接合部に
おいて、ノズル板３４の表面と平行をなす樹脂シート面
が金属板５２の穴５６から露出していない。つまり、穴
５６の内壁と穴６０の内壁とは段差がなく連続する。も
しノズル３２の内壁が連続でなく、金属板５２と樹脂シ
ート５４との接合面の一方がノズル３２から露出してい
る場合は、樹脂シート５４に形成した穴６０と金属板５
２に形成した穴５６との段差に気泡が残留したり、イン
クのメニスカスの移動時に段差部で挙動が不連続とな
り、安定したインク飛翔が得られない。

【００２４】金属板５２をマスクとしてレーザ光の照射
により形成された樹脂シート５４の穴６０は概してテー
パーをもつ形状になる。テーパーの角度はレーザ光の照
射の仕方によって制御できる。図２においては、金属板
５２の穴５６はテーパーをもつ形状に形成され、樹脂シ
ート５４の穴６０も金属板５２の穴５６のテーパーと同
様のテーパーをもつ形状に形成される。従って、金属板
５２の穴５６と樹脂シート５４の穴６０とはほぼ単一の
円錐面形状の内壁をもったノズル３２を形成する。

【００２５】図３においては、樹脂シート５４の穴６０
の内壁のノズル３２の中心と平行な線に対する角度θｐ
と金属板５２の穴５６の内壁のノズル３２の中心と平行
な線に対する角度θｍとが異なっている。θｍ≧θｐで
ある。図４においては、樹脂シート５４の穴６０の内壁
のノズル３２の中心と平行な線に対する角度θｐと金属
板５２の穴５６の内壁のノズル３２の中心と平行な線に
対する角度θｍとの差が３０度以下である。すなわち、
（θｍ−θｐ）＜３０°である。

【００２６】このように、ノズル板３４における金属板
５２の穴６０の内壁と樹脂シート５４の穴６０の内壁と
の角度差を３０度以下にすることで、インク噴射後のイ
ンク飛翔位置がノズル板３４に形成したノズル３２の中
心線上に集まり、記録媒体上の所望の位置に印字が可能
となる。金属板５２の穴６０の内壁と樹脂シート５４の
穴６０の内壁との角度差を小さくすることで、インク飛
翔位置のバラツキは小さくなる。

【００２７】図５は、ノズル板３４を形成するための金
属板５２を形成する例を示す図である。図５において
は、金属板５２は電鋳法により形成される。すなわち、
導電性の板６２に絶縁性の突起６４を形成しておき、導
電性の板６２を一方の電極としてニッケルメッキを行う
と、ニッケルメッキ層として金属板５２が形成される。
金属板５２を導電性の板６２の板から剥離すると、穴５
６は絶縁性の突起６４の跡に形成される。

【００２８】図６は、ノズル板３４を形成するための金
属板５２を電鋳法により形成する他の例を示す図であ
る。図６においては、導電性の板６２に絶縁性の突起６
４を形成しておき、突起６４が円錐形の形状を有するも
のとする。導電性の板６２を一方の電極としてニッケル
メッキを行うと、ニッケルメッキ層として金属板５２が
形成される。金属板５２を導電性の板６２の板から剥離
する、テーパーをもった穴５６が絶縁性の突起６４の跡
に形成される。金属板５２の形成においては、ノズル板
３４の金属板５２がインクに接触してもインク内の成
分、例えば染料等に対してこれらを凝集もしくは析出さ
せないように、スルファミン酸系のメッキ液を用いるこ
ととする。

【００２９】従来はノズル板全体を電鋳法のみによって
形成せしめようとしていたため、形成する所望の穴径に
対して板の厚さが得られず、ノズル部でのインク保持力
か小さくなっていた。これに対して、本発明では電鋳に
よる金属部分は微小穴径形成のみを目的とし、後に金属
板に樹脂シートを接合することから、ノズル部でのイン
ク保持力は接合し、微小穴形成をした樹脂シートから得
られることから、ノズルとして有効となる。

【００３０】図７は、ノズル板３４を形成するための金
属板５２をプレス法により形成する例を示す図である。
図７においては、金属板５２を先端がテーパー形状のピ
ン６６でプレスする。テーパーをもった穴５６がピン６
６の跡に形成される。本発明においては、ノズル板３４
は金属板５２と樹脂シート５４との積層体として形成さ
れるので、金属板５２自体には金属単体でノズル板を形
成する場合ほどの厚さは要求されない。そして、図２か
ら図４に示したようにノズルがテーパー形状に形成され
る場合、樹脂シート５４の穴６０が小さくても、金属板
５２の穴５６の大きさは金属単体でノズル板を形成する
場合よりも微小でなくてもよい。

【００３１】ノズル板３４の金属板５２と樹脂シート５
４の厚さの比は、５０：１〜０．４：１の範囲内にある
のが望ましい。ノズル３２の穴５６、６０の内壁が形成
する角度差の上記条件内において、ノズル板３４を形成
する金属板５２の厚さｔｍの範囲は、５μｍ≦ｔｍ≦１
００μｍにあるのが好ましい。金属板５２の厚さが５μ
ｍより薄い場合は樹脂シート５４を接合する時にしわや
変形が極端に増加し、１００μｍより厚い場合は微小穴
径の加工性が低下する。また、ノズル板３４の金属板５
２に関し、金属板５２の厚さｔｍは、ノズル３２として
形成する穴５６の最小直径（Ｄ）に対して、０．００２
Ｄ≦ｔｍ≦１．０２×Ｄ の範囲内の厚さであるのが好
ましい。

【００３２】金属板５２の加工範囲に対する樹脂シート
５４の厚さの範囲は、金属板５２と樹脂シート５４との
形成するノズル３２の毛管力等のインク保持力を考慮
し、金属板５２の厚さが、５０μｍ≦ｔｍ≦１００μｍ
の場合には、樹脂シートの厚さｔｐの範囲は、２μｍ≦
ｔｐ≦５０μｍとするのがよい。また、金属板５２の厚
さが、５μｍ≦ｔｍ≦５０μｍの場合には、樹脂シート
の厚さｔｐの範囲は、６μｍ≦ｔｐ≦１００μｍとする
のがよい。

【００３３】樹脂シート５４として用いる材料として
は、ＰＥＮ、ＰＥＴ、ＰＥＳ等の耐インク性のあるも
の、もしくはドライフィルムレジストを用いるのがよ
い。樹脂シート５４と金属板５２との接合面に熱硬化性
接着剤が塗布してある。ドライフィルムレジストを用い
る場合、金属板５２上にラミネート後、加熱硬化を行っ
た後に、レーザ照射にてノズル穴形成を行う。また、樹
脂シート５４の熱硬化性接着剤の塗布面とは反対側に撥
水膜が形成してある。

【００３４】金属板５２の形成に電鋳法を用いる場合、
図５及び図６に示されるように絶縁性の突起６４を用い
る場合、形成する金属板５２の厚さｔｍは所望のノズル
径に対応する絶縁性の突起（例えばレジスト）６４の直
径ｄｒに対して、ｔｍ＜ｄｒの範囲とする。従来よりの
問題点であったメッキ後の成長面の研磨は、電鋳による
金属板５２の厚さをより厚くとろうとする場合に発生
し、本発明における板厚さの範囲内では、微小穴径が３
５μｍの場合に絶縁性の突起６４のまわりに形成される
金属の厚さの増加は３μｍ以下であり、これは、後の工
程で吸収可能な厚さである。また、本発明では樹脂シー
ト５４接合後に金属板５２側からレーザ照射を行うため
に、本過程において金属板５２の微小穴内に残留したレ
ジストは除去することが可能である。

【００３５】金属板５２に形成する微小穴径に関し、前
記金属板５２の厚さの範囲内で、金属製のピン６６によ
るプレス加工で形成する場合、本発明では後に金属板５
２に樹脂シート５４を接合することから、ノズル部での
インク保持力は接合し、微小品形成をした樹脂シート５
４により得られることから、ノズル３２として有効にな
る。

【００３６】従来よりの加工法であるプレス法による微
小穴に関し、金属板の厚さを最大限で得ようとするた
め、使用するピン６６の寿命が短くなる。本発明では、
金属板５２は樹脂シート５４に微小穴を形成するために
レーザ照射用のマスクとして樹脂シート５４上に接合し
ていればよいので、金属板５２にノズル３２の長さに対
応する厚さを必要としない。このため、微小な穴が精度
よく形成されていればよく、金属板５２の厚さは使用す
るピン６６に負担を与えない範囲とすることができる。

【００３７】ノズル板３４の樹脂シート５４に用いる樹
脂は、常にインクと接触していることから、インクに対
して膨潤あるいは溶解等が発生してはいけない。インク
には数パーセント程度のアルコール分が入っており、耐
性のあるＰＥＮ、ＰＥＴ、ＰＥＳあるいはインクジェッ
ト記録ヘッドのインク流露を形成するために用いるドラ
イフィルムレジストを用いることが望ましい。

【００３８】樹脂シート５４を用いる場合には、予め厚
さが均一で硬化後に耐インク性を有する接着剤が塗布し
てあるものとする。厚さの均一性は加工後のノズル３２
の長さが接着剤部分でばらついた場合、ノズル３２のイ
ンク保持力（液体の抵抗）がノズル３２毎に異なり、結
果として噴射するインクの量、速度にバラツキが発生す
る。

【００３９】図８はノズル板３４を形成するための金属
板５２を取り出すための基板７０を示す図である。基板
７０は複数の（４個の）金属板５２を取り出すようにな
っている。基板７０はステンレス板であり、各金属板５
２は穴５６を有する。金属板５２の厚さを２０μｍと
し、穴５６の直径を２０μｍとし、穴５６の内壁の角度
θｐを０度として形成した。基板７０は金属板５２を切
り出すための弱め線６８を形成してある。

【００４０】図９は樹脂シート５４の例を示す図であ
る。樹脂シート５４はＰＥＮ＃２６（ｔｐ＝１６μｍ）
を基材とし、樹脂シート５４の金属面板５２との接合面
側にパナック（株）製のポリウレタン系熱硬化型接着剤
７０を５μｍ塗布し、樹脂シート５４の系熱硬化型接着
剤の塗布面とは反対側に（株）永井表面技術研究所製の
撥水性膜７２を２μｍコーティングした。基板７０から
金属板５２をを切り出した後、金属板５２と樹脂シート
５４とを熱硬化型接着剤７０を介して接合し、１２０℃
・５ｋｇ／ｃｍ² ・０．５ｍ／分でラミネートし、後に
１５０℃にて２時間、１０ｋｇ／ｃｍ² の圧力下で硬化
接着を行った。

【００４１】この金属板５２と樹脂シート５４との積層
体を金属板５４側からエキシマレーザを用いて樹脂シー
ト５４に微小穴６０を形成した。エキシマレーザの条件
は以下である。出力：５０Ｗ、パルス幅：１６ｎｓ、光
強度：０．８５Ｊ／ｃｍ² ・パルスであった。これによ
り、樹脂シート５４に金属板５２に形成した微小穴５６
と同形状の微小穴６０が同時に形成できた。

【００４２】本発明のノズル板３４を用いた場合、樹脂
シート５４に形成したノズルの穴６０が従来のノズル板
よりも長く形成できており、飛翔方向のバラツキも小さ
くなっている。特に、接着剤７０は樹脂シート５４に予
め塗布する接着剤であるため、接合時に熱により再び溶
解し、接着硬化が現れる熱硬化性接着剤であるのが好ま
しい。さらに、硬化後に耐インク性を有する接着剤とし
てはポリウレタン系が好ましい。

【００４３】樹脂シート５４が金属のみを用いたノズル
板よりも撥水性があり、ノズル表面に付着したインクを
容易に除去できるが、よりワイピング性を向上させるに
は、樹脂シート５４上に撥水性膜７２をコーティングす
ることが望ましい。この場合、樹脂シート５４のノズル
板３４のインク噴射側となる面の表面全部に予め撥水性
膜７２を所望の厚さでコーティングしておき、金属板５
２との接合後、金属板５２側からのレーザ照射にて樹脂
シート５４に形成する穴加工時に同時に開口部を形成す
る。これにより、形成された微小穴６０まわりに均一に
開口部のエッジるで撥水性膜７２が覆うことになり、良
好なインク飛翔とワイピング特性が得られる。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
複数の微小穴を有する金属板を用い、これに樹脂シート
を接合後、レーザ照射による微小穴形成によって、微小
で長いノズルをもつノズル板を得ることが可能となっ
た。また、加工前にノズル板前面に撥水膜を形成するこ
とで、微小穴形成後、穴近傍まで確実に撥水膜が形成さ
れ、且つ穴内部のレジスト等の有機付着物も確実に除去
可能である。さらに、プレスにて金属板に微小穴を形成
する場合でも、金属板の厚さが薄くてよいことからピン
の寿命を長くでき、結果としてノズル板のコスト低減に
も有効である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によりノズル板を製造する手順を示す図
である。

【図２】本発明により形成されたノズル板を示す断面図
である。

【図３】ノズル板の変化例を示す断面図である。

【図４】ノズル板の変化例を示す断面図である。

【図５】ノズル板を形成するための金属板を作る例を示
す図である。

【図６】金属板を作る他の例を示す図である。

【図７】金属板を作る他の例を示す図である。

【図８】ノズル板を形成するための金属板を形成するた
めの基板を示す図である。

【図９】接着剤と撥水性膜を塗布した樹脂シートを示す
断面図である。

【図１０】インクジェット記録ヘッドを有するプリンタ
を示す図である。

【図１１】インクジェット記録ヘッドを示す分解斜視図
である。

【図１２】インクジェット記録ヘッドを示す部分断面図
である。

【図１３】従来技術を説明する図である。

【図１４】従来技術を説明する図である。

【符号の説明】

３２…ノズル ３４…ノズル板 ３６、３８…インク流露形成板 ４０…加圧板 ４２…圧電素子ユニット ５２…金属板 ５４…樹脂シート ５６…穴 ６０…穴 ７０…接着剤 ７２…撥水性膜

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ノズルを有するノズル板と、該ノズルに
   連通する圧力室を形成する部材と、該圧力室の外壁を形
   成する圧力板と、該圧力板に圧力を印加して該圧力室の
   インクに圧力を付与するためのトランスデューサとを有
   し、該ノズル板は、金属板と樹脂シートの積層体からな
   ることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
2. 【請求項２】 該ノズル板は、該ノズルに相当する複数
   の穴を形成してある該金属板に該樹脂シートを接合し、
   該金属板側よりレーザ照射を行うことにより該樹脂シー
   トに該金属板の穴と連通する穴を形成することにより形
   成されていることを特徴とする請求項１に記載のノズル
   板の製造方法。