JP2003326727A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ノズルプレートにノズル孔を形成した後、熱
硬化型接着剤を用いてアクチュエータに接着するにあた
り、アクチュエータのチャネル位置とノズル孔の位置ず
れが生じないインクジェットヘッドの製造方法を提供す
る。 【解決手段】 ノズル孔を加工する前のノズルプレート
と支持部材とを加熱接着して複合部材とする工程と、前
記複合部材の前記ノズルプレートにノズル孔を形成する
工程と、前記ノズル孔を形成した前記複合部材を、熱硬
化型接着剤を用いて、複合部材の支持部材側がアクチュ
エータと接するように、アクチュエータに加熱接着する
工程と、を有することを特徴とするインクジェットヘッ
ドの製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットヘッ
ドの製造方法に関するものであり、特にノズルプレート
とアクチュエータ本体との接着時の加熱による伸びの相
対的なズレを防止したインクジェットヘッドの製造方法
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、インクジェットヘッドの製造
方法として、ノズルプレートをアクチュエータに貼り付
けた後に、ノズルプレート外側（前面）からレーザーで
孔を空ける方法が提案され、実施されてきている。一
方、インク射出特性（インク射出方向、射出量、射出後
の空気の吸い込みによる射出不良、ノズルプレート外面
の汚れ、濡れ等）の観点からは、ノズル孔の形状とし
て、インク室から外に向かって縮まるテーパ構造となっ
ていることが好ましいことが知られている。ノズルプレ
ート外側（前面）から孔を空ける方法では、上記のノズ
ル孔形状とするためには複雑な工程が必要であり、精度
や生産性の観点で問題があった。

【０００３】一方、ノズルプレートをアクチュエータに
貼り付けた後に、アクチュエータのインク室側（後面）
からレーザーで孔を空ける方法が提案されている。しか
しながら、インクジェットヘッドのアクチュエータのタ
イプによっては後面が開放されていないものに関しては
実施が不可能であり、又後面が開放されたものであって
も、アクチュエータの奥行きが大きいと、レーザ光をチ
ャネル溝の隔壁が妨害するという問題があった。そこ
で、特許登録第２６３３９４３号では、チャネル溝の斜
め上からの照射でノズル孔を形成する技術が開示されて
いる（特許文献１参照）。しかしながら、この方法では
斜め上方からの照射となり、傾きを持つ（ノズルプレー
トに鉛直に出来ない）ノズルとなるため、適正なインク
射出特性を得るためには加工上の制約が非常に厳しいも
のであった。

【０００４】一方、ノズルプレートに予めノズル孔加工
を施し、その後アクチュエータに接着剤で接着する方法
が知られている。

【０００５】ノズルプレートの材料としては、加工性、
耐久性等の観点からポリイミド等の樹脂系素材が用いら
れてきている。このようなポリイミド等の樹脂系素材に
あらかじめノズル孔を開け、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン
酸鉛）等からなるアクチュエータに、生産性が良好な熱
硬化型の接着剤を使用して加熱接着するインクジェット
ヘッドの製造方法が知られている。しかしながらこの方
法では、接着剤を硬化させる為に接着剤を高温にする必
要があり、それに伴いノズルプレート及びアクチュエー
タも同様の温度環境下におかれる事になる。この時、熱
膨張の大きいノズルプレートと熱膨張が小さいアクチュ
エータとの熱膨張係数の違いから、それぞれの伸び量が
異なり、アクチュエータのチャネル溝の位置とノズル孔
位置がずれた状態で接着される事になる。このズレは、
接着後に温度が常温に低下した後は、接着剤により強固
に保持されていることから、ズレは解消される事はな
く、結果としてノズル孔の位置ずれが生じてしまうとい
う問題があった。

【０００６】

【特許文献１】特許第２６３３９４３号公報

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】即ち、本発明の目的
は、ノズルプレートに予め好ましい形状のノズル孔を形
成した後、そのノズル孔を形成されたノズルプレートを
熱硬化型接着剤を用いてアクチュエータに接着するにあ
たり、アクチュエータのチャネル溝とノズル孔の位置ず
れを低減する接着方法及びインクジェットヘッドの製造
方法を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題は、本発明の以
下のような構成により解決することができる。

【０００９】（１） ノズル孔を加工する前のノズルプ
レートと支持部材とを加熱接着して複合部材とする工程
と、前記複合部材の前記ノズルプレートにノズル孔を形
成する工程と、前記ノズル孔を形成した前記複合部材
を、熱硬化型接着剤を用いて、複合部材の支持部材側が
アクチュエータと接するように、アクチュエータに加熱
接着する工程と、を有することを特徴とするインクジェ
ットヘッドの製造方法。

【００１０】（２） 前記複合部材の熱膨張係数（α
ｆ）が前記式１を満足することを特徴とする（１）記載
のインクジェットヘッドの製造方法。

【００１１】（３） 前記複合部材の熱膨張係数（α
ｆ）が前記式２を満足することを特徴とする（１）記載
のインクジェットヘッドの製造方法。

【００１２】（４） 前記複合部材の熱膨張係数（α
ｆ）が前記式３を満足することを特徴とする（１）記載
のインクジェットヘッドの製造方法。

【００１３】（５） 前記複合部材の熱膨張係数（α
ｆ）と前記アクチュエータの熱膨張係数（αａ）が前記
式４を満足することを特徴とする（１）記載のインクジ
ェットヘッドの製造方法。

【００１４】（６） 前記複合部材の熱膨張係数（α
ｆ）と前記アクチュエータの熱膨張係数（αａ）が前記
式５を満足することを特徴とする（１）記載のインクジ
ェットヘッドの製造方法。

【００１５】（７） 前記複合部材の熱膨張係数（α
ｆ）と前記アクチュエータの熱膨張係数（αａ）が前記
式６を満足することを特徴とする（１）記載のインクジ
ェットヘッドの製造方法。

【００１６】（８） 前記支持部材が開口部を有するこ
とを特徴とする（１）〜（７）の何れか１項記載のイン
クジェットヘッドの製造方法。

【００１７】（９） 前記開口部の形状が前記アクチュ
エータに形成されたチャネル溝に対応した形状であるこ
とを特徴とする（８）記載のインクジェットヘッドの製
造方法。

【００１８】（１０） 前記支持部材側よりレーザー加
工により前記ノズル孔を形成する事を特徴とする（１）
〜（９）の何れか１項記載のインクジェットヘッドの製
造方法。

【００１９】（１１） 前記支持部材の厚さが、０．２
ｍｍ以上１．０ｍｍ以下であることを特徴とする（１）
〜（１０）の何れか１項記載のインクジェットヘッドの
製造方法。

【００２０】（１２） ノズル孔を加工する前のノズル
プレートと支持部材とを加熱接着して複合部材とする工
程と、前記複合部材の前記ノズルプレートにノズル孔を
形成する工程と、前記ノズル孔を形成した前記複合部材
を、熱硬化型接着剤を用いて、ノズルプレート側がアク
チュエータと接するようにして、アクチュエータに加熱
接着する工程と、を有することを特徴とするインクジェ
ットヘッドの製造方法。

【００２１】（１３） 前記複合部材の熱膨張係数（α
ｆ）が前記式１を満足することを特徴とする（１２）記
載のインクジェットヘッドの製造方法。

【００２２】（１４） 前記複合部材の熱膨張係数（α
ｆ）が前記式２を満足することを特徴とする（１２）記
載のインクジェットヘッドの製造方法。

【００２３】（１５） 前記複合部材の熱膨張係数（α
ｆ）が前記式３を満足することを特徴とする（１２）記
載のインクジェットヘッドの製造方法。

【００２４】（１６） 前記複合部材の熱膨張係数（α
ｆ）と前記アクチュエータの熱膨張係数（αａ）が前記
式４を満足することを特徴とする（１２）記載のインク
ジェットヘッドの製造方法。

【００２５】（１７） 前記複合部材の熱膨張係数（α
ｆ）と前記アクチュエータの熱膨張係数（αａ）が前記
式５を満足することを特徴とする（１２）記載のインク
ジェットヘッドの製造方法。

【００２６】（１８） 前記複合部材の熱膨張係数（α
ｆ）と前記アクチュエータの熱膨張係数（αａ）が前記
式６を満足することを特徴とする（１２）記載のインク
ジェットヘッドの製造方法。

【００２７】（１９） 前記支持部材が開口部を有する
ことを特徴とする（１２）〜（１８）の何れか１項記載
のインクジェットヘッドの製造方法。

【００２８】（２０） 前記開口部の形状が前記アクチ
ュエータに形成されたチャネル溝に対応した形状である
ことを特徴とする（１９）記載のインクジェットヘッド
の製造方法。

【００２９】（２１） 前記開口部の形状が、前記アク
チュエータに形成された２以上の複数のチャネル溝毎に
１個の開口部が形成された梯子状であることを特徴とす
る（１９）記載のインクジェットヘッドの製造方法。

【００３０】（２２） 前記開口部の形状が、前記アク
チュエータの全チャネル溝を含む外枠状であることを特
徴とする（１９）記載のインクジェットヘッドの製造方
法。

【００３１】（２３） 前記ノズルプレート側よりレー
ザー加工により前記ノズル孔を形成する事を特徴とする
（１２）〜（２２）の何れか１項記載のインクジェット
ヘッドの製造方法。

【００３２】（２４） 前記支持部材の厚さが、０．２
ｍｍ以上１．０ｍｍ以下であることを特徴とする（１
２）〜（２３）の何れか１項記載のインクジェットヘッ
ドの製造方法。

【００３３】（２５） 前記複合部材と前記アクチュエ
ータを加熱接着後、前記支持部材を除去する工程を有す
ることを特徴とする（１２）〜（２４）の何れか１項記
載のインクジェットヘッドの製造方法。

【００３４】（２６） 前記複合部材と前記アクチュエ
ータを加熱接着の際の位置合わせが突き当てによる位置
合わせであることを特徴とする（１）〜（２５）の何れ
か１項記載のインクジェットヘッドの製造方法。

【００３５】特に本発明では、熱膨張係数の低いＰＺＴ
等からなるアクチュエータに、熱膨張係数の異なる材質
のノズルプレートを、熱硬化型の接着剤で接着する場
合、先ずノズル孔を穿孔していないノズルプレートを、
熱膨張係数がＰＺＴと同じか又は同等の支持部材に予め
加熱接着して複合部材とした後、常温でノズルプレート
にノズル孔を形成し、該ノズル孔の形成された複合部材
をアクチュエータに加熱接着することにより、複合部材
とアクチュエータの熱膨張係数が近似していることか
ら、アクチュエータのチャネル溝に対するノズル孔の位
置ずれが生じることを低減した接着が可能となる。ま
た、ノズル孔の形状としてインク室側が広く、外側に向
かって小さいテーパを有するノズル孔となる方向で接着
をすることが容易となるものである。

【００３６】尚、ノズルプレートと支持部材を接着した
複合部材は、その後ノズルプレートにノズル孔を形成す
るが、ノズル孔を形成するためのエネルギーをできるだ
け少なくするためには、支持部材には予めノズル孔に対
応した開口部を有する形状とすることが好ましい。

【００３７】本発明においては支持部材にノズルプレー
トを貼った複合材料としたときの熱膨張係数が、アクチ
ュエータとほぼ等しいことが必要であるが、複合部材の
熱膨張係数が、前記式１を満足することが好ましく、更
には前記式２、特には式３を満足することが好ましい。

【００３８】ここで、式１は本発明における延びの許容
範囲を表すものであって、ピッチＰ、ノズル数ｎ、チャ
ネル幅Ｗ、インク室側のノズル径ｄとしたとき、固定点
からｎ番目のノズルの位置の位置ズレが、本発明におい
てはチャネル溝の半分までずれても性能上の問題が無い
ことを見出したものであり、更にはチャネル溝のエッジ
に対してインク室側のノズル径ｄの１／４まで塞がれる
までが好ましいことを見出したものであり、特には式３
による、チャネル溝のエッジにノズル孔の端部が接する
ところまでが好ましいことを見出したものである。

【００３９】複合部材がアクチュエータと同等の熱膨張
係数を有するために、アクチュエータとして用いている
部材が十分の強度を有することから、支持部材としてア
クチュエータと同じ部材を選択することが好ましい。ま
た、支持部材がアクチュエータのチャネル溝に対応した
開口部を有する形状とするためには、アクチュエータと
して形成された部材を断裁することにより支持部材とす
ることが最も容易であり、好ましい方法である。支持部
材の厚さとしては、支持部材の強度、及び、レーザ光に
よりノズルプレートにノズル孔を形成するための加工性
の点から、０．２ｍｍ以上１．０ｍｍ以下であることが
好ましい。

【００４０】支持部材の他の例としては、薄板やシート
状のもの、或いは塗布して形成したものであっても良
い。薄板やシート状のものとしては、金属板、ガラス、
セラミックスシート、合成樹脂、それらに種々の充填剤
を加えた複合材料等であっても良い。塗布形のものとし
ては、熱硬化型樹脂や紫外線硬化型樹脂とカーボンフィ
ラメントやパラ系アラミド繊維（例えば、東レ・デュポ
ン（株）製ＫＥＶＬＡＲ）等のフィラーを加えて形成し
た樹脂被膜であっても良く、このような樹脂被膜は、ノ
ズルプレート上に塗布により形成することで複合部材を
構成することができる。

【００４１】熱硬化型接着剤としては、種々のものが市
販されており、容易に入手することができ、特に限定さ
れないが、例えば、ＥＰＯＸＹ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ
ＩＮＣ．製のエポテック３５３ＮＤ等が好ましく用い
られる。

【００４２】ノズル孔の穿孔方法としては、レーザー加
工、プレス加工ともに本主旨に対して実施可能である
が、生産性の観点で、レーザー加工、特にエキシマレー
ザーによる加工が好ましい。ノズル孔の穿孔方向として
は、支持部材側からでも、ノズルプレート側からでも良
いが、ノズル形状がノズル出口側（インクジェットヘッ
ドのインク吐出口側）に向けて小さくなるテーパ形状と
することが良好なインクジェットノズルとして好まし
く、穿孔する側を接着面とすることによりノズル出口に
向けて小さくなるテーパ形状とすることができる。本発
明においては、複合部材の支持部材側からレーザー加工
にて穿孔し、支持部材側をアクチュエータとの接着面と
する事が、生産性、加工精度の観点から、更には各種形
状を得ることが可能となり、好ましい。

【００４３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態を図をもって説明するが、本発明はこれらに限定され
るものではない。

【００４４】図１は、本発明のインクジェットヘッドの
製造方法の具体例を示す工程図である。ポリイミドから
なるノズルプレート１（熱膨張係数 ２０ｐｐｍ）の表
面に撥水膜７を形成した後、アクチュエータのチャネル
に対応する開口部を有するＰＺＴ（熱膨張係数 ６ｐｐ
ｍ）からなる支持部材２を熱硬化型接着剤エポテック３
５３ＮＤ（ＥＰＯＸＹ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ ＩＮ
Ｃ．製）を用いて、１００℃で５分間保持して接着した
後、放冷して複合部材３を得た。

【００４５】得られた複合部材３の支持部材側よりレー
ザ光によりノズル孔６を形成し、ノズル孔の形状を支持
部材側が広く、外側に向かって小さいテーパを有するノ
ズル孔とした（拡大図参照）。

【００４６】ノズル孔の形成された複合部材の支持部材
側を接着面として、ＰＺＴからなるチャネル溝が形成さ
れたアクチュエータ４に、前記熱硬化型接着剤を塗布
し、１００℃、５分間の加熱接着を行い、インクジェッ
トヘッド１０を得た。

【００４７】図４は、全てのノズル孔を含む面で切断し
たときの、インクジェットヘッドの断面図であり、シェ
アモード型のインクジェットヘッドの構造の一部分を模
式的に示している。

【００４８】図４中、（ａ）は複合部材３とアクチュエ
ータ４との熱膨張係数が全く一致したときのインクジェ
ットヘッド１０の接着状態を表し、（ｂ）はアクチュエ
ータの熱膨張係数に較べ複合部材の熱膨張係数が大き
く、ズレが生じたときのインクジェットヘッドの接着状
態を表す。（ｃ）はノズル孔部分の拡大断面図である。

【００４９】Ｐは隣り合うノズル孔の中心間の距離を示
すピッチを表し、ｎはノズル数を表し、Ｌは全長で両端
のノズル孔中心間の距離を表し、Ｐ×（ｎ−１）であ
る。ｄはノズル孔のインク室側の直径であり、Ｗはチャ
ネル溝の幅を表す。チャネル溝は２種類あり、８はイン
クが充填されノズル孔に対応するインク室となる溝であ
り、９はインクが充填されない溝でダミーとなる溝であ
る。

【００５０】ここで作製したインクジェットヘッドの各
値は以下の通りであった。 〈実施例１〉 Ｐ（ピッチ）：０．１４１ｍｍ、ｎ（ノズル数）：２５
６個、Ｌ（全長）＝Ｐ×（ｎ−１）＝３５．９５５ｍ
ｍ、ΔＴ：７５℃、Ｗ（チャネル幅）：０．０４ｍｍ、
ｄ（インク室側のノズル径）：０．０３６ｍｍ 得られた複合部材３の熱膨張係数（αｆ）は７．２５ｐ
ｐｍであった。

【００５１】アクチュエータの（ＰＺＴ）の熱膨張係数
（αａ）は７ｐｐｍであり、前記式１に当てはめて計算
すると、 αｆ＝７．２５（ｐｐｍ）＜（Ｗ／２）／（Ｌ×ΔＴ）
＋αａ＝１４．４（ｐｐｍ） 前記式２に当てはめて計算すると、 αｆ＝７．２５（ｐｐｍ）＜〔（Ｗ−ｄ）／２＋ｄ／
４〕／（Ｌ×ΔＴ）＋αａ＝１１（ｐｐｍ） 前記式３に当てはめて計算すると、 αｆ＝７．２５（ｐｐｍ）＜〔（Ｗ−ｄ）／２〕／（Ｌ
×ΔＴ）＋αａ＝７．７（ｐｐｍ） となり、式１、２、３の何れをも満足し、同様に式４、
５、６の何れをも満足していることが分かる。

【００５２】放冷後のアクチュエータのチャネル溝とノ
ズルプレートのノズル孔とは許容範囲内に一致してい
た。

【００５３】〈実施例２〉 Ｗ（チャネル幅）：０．０８ｍｍ、支持部材の厚さ：
０．３ｍｍ 実施例２のインクジェットヘッドの他の各値は、実施例
１と同様である。

【００５４】この実施例２の場合も、式１〜６の何れを
も満足しているものであり、放冷後のアクチュエータの
チャネル溝とノズルプレートのノズル孔とは許容範囲内
に一致していた。

【００５５】図２は支持部材としてＰＺＴを用いた、本
発明のインクジェットヘッドの製造方法の他の具体例を
示す工程図である。上記図１の工程との違いは、レーザ
光によるノズル孔の加工をノズルプレート側から行った
後、アクチュエータとの接着をノズルプレート側から接
着してインクジェットヘッドを製造する方法である。こ
の方法により形成されたインクジェットヘッド１０はそ
のまま用いてもよいが、更に、その後支持部材２を除去
する工程を有してもよい。

【００５６】図２で示された製造方法の場合は、支持部
材の開口部の形状としては、種々の形状のものを選択す
ることが可能である。

【００５７】図３は支持部材の開口部の形状を示す図で
ある。複合部材の支持部材側がアクチュエータと接着す
るタイプの場合は、アクチュエータのチャネル溝に近似
した形状とすることが好ましく、図３（ａ）は、同図
（ｇ）のように形成されたアクチュエータの一部を断裁
して、アクチュエータと全く同一の形状としたものであ
る。また、同図（ｂ）は、開口部がアクチュエータの各
チャネル溝毎に対応しているが形状が円形の開口部を有
する支持部材を示す。

【００５８】図２の工程で形成する複合部材のノズルプ
レート側をアクチュエータと接着するタイプの場合は、
支持部材の形状を必ずしもアクチュエータのチャネル溝
に近似した形状とする必要がなく、同図（ｃ）〜（ｆ）
に示すように、複数のチャネル溝に対応して１個の開口
部を形成するタイプのものでも良く、例えば梯子状
（ｃ）のものであっても、全てのチャネル溝を含む１個
の開口部とする外枠状のもの（ｄ），（ｅ）や、上下二
段となったもの（ｆ）であっても良い。

【００５９】アクチュエータと複合部材の位置合わせ
は、突き当て部材への各々の２面の突き当てによる位置
合わせで行った。

【００６０】図５は、複合部材とアクチュエータを加熱
接着する際の位置合わせが突き当て方式による位置合わ
せ方法を示す。

【００６１】図５に示すように、Ｌ字型の突き当て部材
に、接着面に熱硬化型接着剤を塗布したアクチュエータ
の２面を突き当て保持する。次にノズル孔を穿孔した複
合部材３を吸着ハンド２２で吸引保持しながらアクチュ
エータの上に移動し、接着面に接触させた後、プッシャ
ー２３により突き当て部材２１に突き当てて位置合わせ
をする。その後、加熱して接着剤を固化させ、アクチュ
エータに複合部材を固定する。また、圧着時の熱硬化型
接着剤のはみ出しによる突き当て部材との異常接着を防
止するために、突き当て部材にはニゲ２４を設けておく
ことが好ましい。

【００６２】従来のインクジェットヘッドの製造方法に
おける、アクチュエータとノズル孔が穿孔されたノズル
プレートとの接着は、アクチュエータを固定し、接着面
に熱硬化型接着剤を塗布し、フィルム状のノズルプレー
トを吸引装置を用いて吸引保持しながら移動し、上部か
ら顕微鏡で覗きながら、ノズル孔とアクチュエータのチ
ャネルの位置合わせをした後、固定してノズルプレート
の接着を行っており、作業者の熟練を必要とし、機械装
置も複雑で、不良率も高いものであった。

【００６３】本発明の複合部材を用いるインクジェット
ヘッドの製造方法とすることにより、突き当て方式によ
る位置合わせが可能となり、作業が容易となり、作業者
の熟練を必要とせず、不良の発生も大きく低減すること
ができた。

【００６４】また、本発明の複合部材をアクチュエータ
に接着する場合の固定端を末端のノズル孔として説明し
てきたが、インクジェットヘッドのほぼ中央部を固定位
置とすることにより、更に２倍の全長を有するインクジ
ェットヘッドを精度良く製造することが可能となる。

【００６５】

【発明の効果】ノズル孔を形成する前のノズルプレート
に支持部材を加熱接着して複合部材とした後、ノズルプ
レートにノズル孔を形成し、次いでアクチュエータに加
熱接着することにより、ノズルプレートをアクチュエー
タに加熱接着する際、支持部材が設けられたノズルプレ
ートのハンドリングが極めて容易になる上、アクチュエ
ータとノズルプレートの位置合わせが容易となり、ま
た、好ましいテーパ形状のノズル孔を容易に形成するこ
とができるようになった。更に、複合部材の熱膨張係数
を式１〜式６のいずれかを満足させることにより、アク
チュエータのチャネルとノズルプレートのノズル孔との
位置ずれを許容範囲とすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のインクジェットヘッドの製造方法の具
体例を示す工程図である。

【図２】本発明のインクジェットヘッドの製造方法の他
の具体例を示す工程図である。

【図３】支持部材の開口部の形状を示す図である。

【図４】インクジェットヘッドの断面図である。

【図５】複合部材とアクチュエータを加熱接着する際の
位置合わせが突き当てによる位置合わせを示す図であ
る。

【符号の説明】

１ ノズルプレート ２ 支持部材 ３ 複合部材 ４ アクチュエータ ５ 支持部材の開口部 ６ ノズル孔 ７ 撥水膜 ８ インク室となる溝 ９ ダミーとなる溝 １０ インクジェットヘッド

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平野 肇志 東京都日野市さくら町１番地コニカ株式会 社内 Ｆターム(参考） 2C057 AF93 AG12 AG45 AP13 AP23 AP25 AP72

Claims (26)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ノズル孔を加工する前のノズルプレート
   と支持部材とを加熱接着して複合部材とする工程と、前
   記複合部材の前記ノズルプレートにノズル孔を形成する
   工程と、前記ノズル孔を形成した前記複合部材を、熱硬
   化型接着剤を用いて、複合部材の支持部材側がアクチュ
   エータと接するように、アクチュエータに加熱接着する
   工程と、を有することを特徴とするインクジェットヘッ
   ドの製造方法。
2. 【請求項２】 前記複合部材の熱膨張係数（αｆ）が下
   記式１を満足することを特徴とする請求項１記載のイン
   クジェットヘッドの製造方法。 αｆ＜（Ｗ／２）／（Ｌ×ΔＴ）＋αａ 式１ 式中、αｆ：複合部材の熱膨張係数 αａ：アクチュエータの熱膨張係数 Ｗ：アクチュエータのチャネル幅 ΔＴ：複合部材をアクチュエータに加熱接着する工程に
   おける最高温度と最低温度との温度差 Ｐ：ノズル孔のピッチ ｎ：ノズル数 Ｌ：全長＝Ｐ×（ｎ−１）
3. 【請求項３】 前記複合部材の熱膨張係数（αｆ）が下
   記式２を満足することを特徴とする請求項１記載のイン
   クジェットヘッドの製造方法。 αｆ＜〔（Ｗ−ｄ）／２＋ｄ／４〕／（Ｌ×ΔＴ）＋αａ 式２ 式中、αｆ：複合部材の熱膨張係数 αａ：アクチュエータの熱膨張係数 Ｗ：アクチュエータのチャネル幅 ｄ：インク室側のノズル径 ΔＴ：複合部材をアクチュエータに加熱接着する工程に
   おける最高温度と最低温度との温度差 Ｐ：ノズル孔のピッチ ｎ：ノズル数 Ｌ：全長＝Ｐ×（ｎ−１）
4. 【請求項４】 前記複合部材の熱膨張係数（αｆ）が下
   記式３を満足することを特徴とする請求項１記載のイン
   クジェットヘッドの製造方法。 αｆ＜〔（Ｗ−ｄ）／２〕／（Ｌ×ΔＴ）＋αａ 式３ 式中、αｆ：複合部材の熱膨張係数 αａ：アクチュエータの熱膨張係数 Ｗ：アクチュエータのチャネル幅 ｄ：インク室側のノズル径 ΔＴ：複合部材をアクチュエータに加熱接着する工程に
   おける最高温度と最低温度との温度差 Ｐ：ノズル孔のピッチ ｎ：ノズル数 Ｌ：全長＝Ｐ×（ｎ−１）
5. 【請求項５】 前記複合部材の熱膨張係数（αｆ）と前
   記アクチュエータの熱膨張係数（αａ）が下記式４を満
   足することを特徴とする請求項１記載のインクジェット
   ヘッドの製造方法。 ｜αｆ−αａ｜＜（Ｗ／２）／（Ｌ×ΔＴ） 式４ 式中、αｆ：複合部材の熱膨張係数 αａ：アクチュエータの熱膨張係数 Ｗ：アクチュエータのチャネル幅 ΔＴ：複合部材をアクチュエータに加熱接着する工程に
   おける最高温度と最低温度との温度差 Ｐ：ノズル孔のピッチ ｎ：ノズル数 Ｌ：全長＝Ｐ×（ｎ−１）
6. 【請求項６】 前記複合部材の熱膨張係数（αｆ）と前
   記アクチュエータの熱膨張係数（αａ）が下記式５を満
   足することを特徴とする請求項１記載のインクジェット
   ヘッドの製造方法。 ｜αｆ−αａ｜＜〔（Ｗ−ｄ）／２＋ｄ／４〕／（Ｌ×ΔＴ） 式５ 式中、αｆ：複合部材の熱膨張係数 αａ：アクチュエータの熱膨張係数 Ｗ：アクチュエータのチャネル幅 ｄ：インク室側のノズル径 ΔＴ：複合部材をアクチュエータに加熱接着する工程に
   おける最高温度と最低温度との温度差 Ｐ：ノズル孔のピッチ ｎ：ノズル数 Ｌ：全長＝Ｐ×（ｎ−１）
7. 【請求項７】 前記複合部材の熱膨張係数（αｆ）と前
   記アクチュエータの熱膨張係数（αａ）が下記式６を満
   足することを特徴とする請求項１記載のインクジェット
   ヘッドの製造方法。 ｜αｆ−αａ｜＜〔（Ｗ−ｄ）／２〕／（Ｌ×ΔＴ） 式６ 式中、αｆ：複合部材の熱膨張係数 αａ：アクチュエータの熱膨張係数 Ｗ：アクチュエータのチャネル幅 ｄ：インク室側のノズル径 ΔＴ：複合部材をアクチュエータに加熱接着する工程に
   おける最高温度と最低温度との温度差 Ｐ：ノズル孔のピッチ ｎ：ノズル数 Ｌ：全長＝Ｐ×（ｎ−１）
8. 【請求項８】 前記支持部材が開口部を有することを特
   徴とする請求項１〜７の何れか１項記載のインクジェッ
   トヘッドの製造方法。
9. 【請求項９】 前記開口部の形状が前記アクチュエータ
   に形成されたチャネル溝に対応した形状であることを特
   徴とする請求項８記載のインクジェットヘッドの製造方
   法。
10. 【請求項１０】 前記支持部材側よりレーザー加工によ
    り前記ノズル孔を形成する事を特徴とする請求項１〜９
    の何れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
11. 【請求項１１】 前記支持部材の厚さが、０．２ｍｍ以
    上１．０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１〜１
    ０の何れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方
    法。
12. 【請求項１２】 ノズル孔を加工する前のノズルプレー
    トと支持部材とを加熱接着して複合部材とする工程と、
    前記複合部材の前記ノズルプレートにノズル孔を形成す
    る工程と、前記ノズル孔を形成した前記複合部材を、熱
    硬化型接着剤を用いて、ノズルプレート側がアクチュエ
    ータと接するようにして、アクチュエータに加熱接着す
    る工程と、を有することを特徴とするインクジェットヘ
    ッドの製造方法。
13. 【請求項１３】 前記複合部材の熱膨張係数（αｆ）が
    下記式１を満足することを特徴とする請求項１２記載の
    インクジェットヘッドの製造方法。 αｆ＜（Ｗ／２）／（Ｌ×ΔＴ）＋αａ 式１ 式中、αｆ：複合部材の熱膨張係数 αａ：アクチュエータの熱膨張係数 Ｗ：アクチュエータのチャネル幅 ΔＴ：複合部材をアクチュエータに加熱接着する工程に
    おける最高温度と最低温度との温度差 Ｐ：ノズル孔のピッチ ｎ：ノズル数 Ｌ：全長＝Ｐ×（ｎ−１）
14. 【請求項１４】 前記複合部材の熱膨張係数（αｆ）が
    下記式２を満足することを特徴とする請求項１２記載の
    インクジェットヘッドの製造方法。 αｆ＜〔（Ｗ−ｄ）／２＋ｄ／４〕／（Ｌ×ΔＴ）＋αａ 式２ 式中、αｆ：複合部材の熱膨張係数 αａ：アクチュエータの熱膨張係数 Ｗ：アクチュエータのチャネル幅 ｄ：インク室側のノズル径 ΔＴ：複合部材をアクチュエータに加熱接着する工程に
    おける最高温度と最低温度との温度差 Ｐ：ノズル孔のピッチ ｎ：ノズル数 Ｌ：全長＝Ｐ×（ｎ−１）
15. 【請求項１５】 前記複合部材の熱膨張係数（αｆ）が
    下記式３を満足することを特徴とする請求項１２記載の
    インクジェットヘッドの製造方法。 αｆ＜〔（Ｗ−ｄ）／２〕／（Ｌ×ΔＴ）＋αａ 式３ 式中、αｆ：複合部材の熱膨張係数 αａ：アクチュエータの熱膨張係数 Ｗ：アクチュエータのチャネル幅 ｄ：インク室側のノズル径 ΔＴ：複合部材をアクチュエータに加熱接着する工程に
    おける最高温度と最低温度との温度差 Ｐ：ノズル孔のピッチ ｎ：ノズル数 Ｌ：全長＝Ｐ×（ｎ−１）
16. 【請求項１６】 前記複合部材の熱膨張係数（αｆ）と
    前記アクチュエータの熱膨張係数（αａ）が下記式４を
    満足することを特徴とする請求項１２記載のインクジェ
    ットヘッドの製造方法。 ｜αｆ−αａ｜＜（Ｗ／２）／（Ｌ×ΔＴ） 式４ 式中、αｆ：複合部材の熱膨張係数 αａ：アクチュエータの熱膨張係数 Ｗ：アクチュエータのチャネル幅 ΔＴ：複合部材をアクチュエータに加熱接着する工程に
    おける最高温度と最低温度との温度差 Ｐ：ノズル孔のピッチ ｎ：ノズル数 Ｌ：全長＝Ｐ×（ｎ−１）
17. 【請求項１７】 前記複合部材の熱膨張係数（αｆ）と
    前記アクチュエータの熱膨張係数（αａ）が下記式５を
    満足することを特徴とする請求項１２記載のインクジェ
    ットヘッドの製造方法。 ｜αｆ−αａ｜＜〔（Ｗ−ｄ）／２＋ｄ／４〕／（Ｌ×ΔＴ） 式５ 式中、αｆ：複合部材の熱膨張係数 αａ：アクチュエータの熱膨張係数 Ｗ：アクチュエータのチャネル幅 ｄ：インク室側のノズル径 ΔＴ：複合部材をアクチュエータに加熱接着する工程に
    おける最高温度と最低温度との温度差 Ｐ：ノズル孔のピッチ ｎ：ノズル数 Ｌ：全長＝Ｐ×（ｎ−１）
18. 【請求項１８】 前記複合部材の熱膨張係数（αｆ）と
    前記アクチュエータの熱膨張係数（αａ）が下記式６を
    満足することを特徴とする請求項１２記載のインクジェ
    ットヘッドの製造方法。 ｜αｆ−αａ｜＜〔（Ｗ−ｄ）／２〕／（Ｌ×ΔＴ） 式６ 式中、αｆ：複合部材の熱膨張係数 αａ：アクチュエータの熱膨張係数 Ｗ：アクチュエータのチャネル幅 ｄ：インク室側のノズル径 ΔＴ：複合部材をアクチュエータに加熱接着する工程に
    おける最高温度と最低温度との温度差 Ｐ：ノズル孔のピッチ ｎ：ノズル数 Ｌ：全長＝Ｐ×（ｎ−１）
19. 【請求項１９】 前記支持部材が開口部を有することを
    特徴とする請求項１２〜１８の何れか１項記載のインク
    ジェットヘッドの製造方法。
20. 【請求項２０】 前記開口部の形状が前記アクチュエー
    タに形成されたチャネル溝に対応した形状であることを
    特徴とする請求項１９記載のインクジェットヘッドの製
    造方法。
21. 【請求項２１】 前記開口部の形状が、前記アクチュエ
    ータに形成された２以上の複数のチャネル溝毎に１個の
    開口部が形成された梯子状であることを特徴とする請求
    項１９記載のインクジェットヘッドの製造方法。
22. 【請求項２２】 前記開口部の形状が、前記アクチュエ
    ータの全チャネル溝を含む外枠状であることを特徴とす
    る請求項１９記載のインクジェットヘッドの製造方法。
23. 【請求項２３】 前記ノズルプレート側よりレーザー加
    工により前記ノズル孔を形成する事を特徴とする請求項
    １２〜２２の何れか１項記載のインクジェットヘッドの
    製造方法。
24. 【請求項２４】 前記支持部材の厚さが、０．２ｍｍ以
    上１．０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１２〜
    ２３の何れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方
    法。
25. 【請求項２５】 前記複合部材と前記アクチュエータを
    加熱接着後、前記支持部材を除去する工程を有すること
    を特徴とする請求項１２〜２４の何れか１項記載のイン
    クジェットヘッドの製造方法。
26. 【請求項２６】 前記複合部材と前記アクチュエータを
    加熱接着の際の位置合わせが突き当てによる位置合わせ
    であることを特徴とする請求項１〜２５の何れか１項記
    載のインクジェットヘッドの製造方法。