JP4543850B2 - インクジェットプリンタヘッドの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、インクジェットプリンタヘッドの製造方法に関するものである。

一般にノズルフィルムのノズル面（記録媒体側の面）にはインク滴が付着しないように撥水膜が塗布により形成される。

そのような撥水膜は、反り返った印字用紙の末端やジャム紙との摩擦、いわゆる紙面摩擦で傷つけられやすい。ノズル付近の撥水膜が傷つけられると、ノズル孔付近にインク滴が付着して、吐出不良（不吐出、曲がりなど）や、記録媒体（印字紙）の表面を汚す等の問題がある。

従来、ノズル面が用紙ジャムなどにより傷付くのを防止するために、ノズル孔近傍を凹部にするとか、別部材（保護プレート）をノズル面に貼り付けるなどの試みがなされている（例えば特許文献１，２参照）。
特許第３０６０５２６号公報（第４欄第１７行〜第３２行及び第２図） 特開平５−２０１０００号公報（段落００１７〜００２１及び図１，図２）

そのようにノズル孔位置付近を凹部にするには、レーザによる加工を必要とする。そのため、位置決めが必要になったりレーザ加工の工数増加を招来し、コストアップの原因となりやすい。

また、撥水膜は、通常、ノズルフィルム全面に亘って塗布されているので、ノズルフィルムの、非ノズル列領域にも撥水膜が形成されており、ノズル面に撥水膜を形成した後に別部材をノズル面に取り付けることは実際には困難である。

さらに、そのように、ノズル孔位置に凹み（ざぐり加工）を設けることや、別部材を後から取り付けることは、ノズル孔がノズル面において分散して形成されているヘッドの場合にも、非常に困難である。

本発明は、紙面摩擦による、ノズル面の傷付きを簡単かつ安価に防止することができるインクジェットプリンタヘッドの製造方法を提供することを目的とする。

請求項１の発明は、ノズル孔の加工用貫通孔が形成された第１のプレート部材と、前記ノズル孔が形成されるノズルフィルムとを含むキャビティユニットを有し、前記貫通孔を通じてレーザ加工により前記ノズル孔を開口するインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記第１のプレート部材に一側が接着されたノズルフィルムの他側に、前記第１のプレート部材と少なくとも線膨張係数がほぼ等しくかつ前記ノズル孔に対応する位置に前記ノズル孔より大きい開口が形成されている第２のプレート部材を接着してサンドイッチ構造体を製作する第１のステップと、前記サンドイッチ構造体に対し、前記第２のプレート部材側から、前記第２のプレート部材の前記開口の内側を含めて撥水処理を施す第２のステップと、この第２のステップの後、第１のプレート部材側から前記貫通孔を通じてレーザ加工により前記ノズルフィルムにノズル孔を形成する第３のステップとを備えることを特徴とする。

このようにすれば、第１のステップにおいて製作されたサンドイッチ構造体に対し、第２のプレート部材側から、前記第２のプレート部材の前記開口の内側を含めて撥水処理が施される。よって、第２のプレート部材があっても、ノズル面のノズル孔の周囲に、撥水処理を簡単に施すことができる。

それから、第１のプレート部材側から貫通孔を通じてレーザ加工によりノズルフィルムにノズル孔を形成する。この場合、ノズルフィルムを挟む第１及び第２のプレート部材は少なくとも線膨張係数がほぼ等しいので、レーザ加工により熱が加えられても、第１及び第２のプレート部材の間には熱膨張差が生じることはない。よって、サンドイッチ構造体が湾曲することがない。また、第２のプレート部材にはノズル孔に対応する位置に前記ノズル孔より大きい開口を形成しているので、レーザ加工によるノズル孔の形成作業を妨げることもない。

請求項２の発明は、請求項１記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、第３のステップに続いて、前記第２のプレート部材を前記ノズルフィルムの保護プレートとして機能させるために、前記サンドイッチ構造体の第１のプレート部材側に、前記キャビティユニットを構成する他の要素（キャビティユニットのうちノズルフィルムと第２のプレート部材を除いたもの）を接着する第４のステップを備えるものである。

このようにすれば、レーザ加工によるノズル孔の形成作業に利用した第２のプレート部材をノズルフィルムの保護プレートとしても機能させることができる。

請求項３の発明は、請求項１又は２記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記第１のステップにおいて、前記第１のプレート部材及び前記第２のプレート部材の前記ノズルフィルムとの接着面に熱硬化性の接着剤を塗布し、前記第１のプレート部材の接着面に前記ノズルフィルムの前記一側が対向し、かつ、前記第２のプレート部材の接着面に前記ノズルフィルムの前記他側が対向するようにして前記第１のプレート部材、前記ノズルフィルム及び前記第２のノズルプレートを積層し、それらを積層方向に押圧しながら加熱することで前記サンドイッチ構造体を製作するものである。

このようにすれば、接着剤を介在させてサンドイッチ構造体を構成した段階では、各部材が積層しているだけで反りはない。また、第１及び第２のプレート部材とは熱膨張係数が異なるノズルフィルムを、熱膨張係数がほぼ等しい第１及び第２のプレート部材でもって両面から挟んで積層した後に、それらを積層方向において押圧（加圧）しながら一気に加熱して接着剤を固化することで、ノズルフィルムとプレート部材の間で生ずる熱膨張差による反りが相殺される。

請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記ノズルフィルムは、合成樹脂製のフィルムであり、前記第１及び第２のプレート部材は、同じ材質で、同じ板厚の金属製のプレートであるものである。

このようにすれば、第１及び第２のプレート部材が同じ材質で、同じ板厚の金属製のプレートであるので、少なくとも熱膨張係数が同じである第１及び第２のプレート部材を簡単に得ることができる。

請求項５の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記ノズルフィルムが、合成樹脂製のフィルムであり、前記第１のプレート部材が、金属製のプレートであり、前記第２のプレート部材は合成樹脂製のプレートであるものである。

このようにすれば、第２のプレート部材が合成樹脂製のプレートとされるので、パージ後のワイピングに用いられるワイパーに対して柔らかく接触することになる。よって、ワイパーの長寿命化を図ることができる。

請求項６の発明は、請求項５記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記第２のプレート部材が、液晶ポリマー製のプレートであるものである。

このようにすれば、液晶ポリマーについては、線膨張係数を０〜２０×１０^-6／℃ぐらいの広範囲にわたって調整可能であるので、第１のプレート部材とする金属材料を、広範囲にわたる種類について線膨張係数を合わせることができる。よって、第１のプレート部材の金属材料選択の自由度が高まる。

請求項７の発明は、請求項１〜６のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記第１及び第２のプレート部材が、同じ位置に同じ大きさの前記貫通孔あるいは前記開口が形成されているものである。

このようにすれば、サンドイッチ構造体の第１のプレート部材側ではなく、第２のプレート部材側に、前記キャビティユニットを構成する他の要素を誤って接着しても、問題が生じない。つまり、請求項７の発明においては、第１のプレート部材だけでなく、第２のプレート部材も、保護プレートとして機能させることができる。

請求項８の発明は、請求項１〜７のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記第２のプレート部材の前記開口は、隣り合う複数の前記ノズル孔に対して１つ設けられる構成とされているものである。

このようにすれば、第２のプレート部材に、隣り合う複数の前記ノズル孔に対して１つの開口を設けるだけでよいので、加工が容易である。

請求項９の発明は、請求項１〜７のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記第２のプレート部材の前記開口は、前記ノズル孔毎に設けられているものである。

このようにすれば、ノズル加工用開口をノズル孔ごとに設けているので、ノズル孔を精度よく形成することができる。

以上のように構成したから、本発明は、第１のステップにおいて製作されたサンドイッチ構造体に対し、第２のプレート部材側から、前記第２のプレート部材の前記開口の内側を含めて撥水処理を施し、それから、第１のプレート部材側から貫通孔を通じてレーザ加工によりノズルフィルムにノズル孔を形成するので、ノズル面に対する保護プレートを設けることと、ノズル面側に前記開口の内側も含めて撥水処理を施すの両立が図れる。ノズルフィルムを挟む第１及び第２のプレート部材は少なくとも線膨張係数がほぼ等しいので、レーザ加工による熱が加えられても熱膨張差によってサンドイッチ構造体が湾曲することがない。また、第２のプレートにはノズル孔に対応する位置に前記ノズル孔より大きい開口を形成しているので、レーザ加工によるノズル孔の形成作業を妨げることもない。

以下、本発明の実施の形態について図面に沿って説明する。

図１は本発明に係る一実施の形態であるインクジェットプリンタヘッドの製造方法によって製造されたインクジェットプリンタヘッドの概略構成図である。

図１に示すように、インクジェットプリンタヘッド１は、記録媒体にインクを噴射して記録するもので、ノズル孔１２ａにインクを供給するインク供給路を形成するキャビティユニット２と、ノズル孔１２ａからインクを噴射させる圧電アクチュエータ３とを有する。

キャビティユニット２は、記録媒体側に、第１のプレート部材１１に対しノズルフィルム１２を介して第２のプレート部材１３が接着されてなるサンドイッチ構造部４を、構成要素の一部として有するものである。

ノズルフィルム１２にはノズル孔１２ａが形成されている。その孔形状は、第２のプレート部材１３側程小さな開口を有したテーパ状になっている。第１のプレート部材１１には、ノズル孔１２ａに対応して、そのノズル孔１２ａをエキシマレーザ加工により開孔するための加工用貫通孔１１ａが形成されている。なお、ノズルフィルム１２はポリイミド樹脂製で、その線膨張係数は２０〜２５×１０^-6／℃である。

また、第１及び第２のプレート部材１１，１３は同じ材質すなわち同じ金属製で、同じ板厚を有する。よって、両プレート部材１１，１３は、線膨張係数が等しくなっている。本実施の形態では、両プレート部材１１，１３はＳＵＳ３０４でできており、その線膨張係数は１７×１０^-6／℃程度である。第２のプレート部材１３には、ノズル孔１１ａに対応する位置にノズル孔１１ａより大きい開口１３ａが形成されている。この開口１３ａは、断面円形状で、ノズル孔１１ａと同心となっている。なお、第２のプレート部材１３の開口１３ａは、ノズル孔１２ａ毎に設けられている。また、少なくとも開口１３ａの内側は、撥水処理が施されている。本実施の形態では、第２のプレート部材１３の表面側全体に撥水膜１５が形成されている。

このサンドイッチ構造部４の第１のプレート部材１１側には、キャビティユニット２を構成する他の要素であり複数枚の金属製のプレートを積層接着して構成される積層構造体５の一側が接着され、積層構造体５の他側に圧電アクチュエータ３が接着される。つまり、サンドイッチ構造部４と積層構造体５とによってキャビティユニット２が構成される。さらに、積層構造体５の他側に接着される圧電アクチュエータ３を加えてインクジェットプリンタヘッド１が構成されている。

続いて、前記インクジェットプリンタヘッドの製造方法について、図２に沿って説明する。
（第１のステップ）
図２（ａ）に示すように、（ノズル孔１２ａの加工用貫通孔１１ａが形成された）第１のプレート部材１１にノズルフィルム１２の一側を接着し、このノズルフィルム１２の他側に第２のプレート部材１３を接着して、サンドイッチ構造部４に相当するサンドイッチ構造体１４を製作する。このとき、両プレート部材１１，１３の接着面には、予め転写法により接着剤が所定の厚さだけ塗布されている。また、第２のプレート部材１３は、第１のプレート部材１１と同じ金属材料で同じ板厚（例えば、７５μｍ）に形成され、線膨張係数がほぼ等しくかつノズル孔１２ａに対応する位置にノズル孔１２ａより大きい開口１３ａが形成されている。つまり、両プレート部材１１，１３は同じ部材であり、両者間に区別はない。一方、ノズルフィルム１２は、合成樹脂（例えばポリイミド）製のフィルムである。

第１のプレート部材１１には、ノズル孔１２ａに対応する位置に貫通孔１１ａが同心状に形成され、第２のプレート部材１３には、第１のプレート部材１１の貫通孔１１ａと同じ位置に同じ大きさ（径）の開口１３ａが形成されている。

さらに、サンドイッチ構造体１４は、上述のように、第１のプレート部材１１及び第２のプレート部材１３のノズルフィルム１２との接着面に熱硬化性の接着剤をそれぞれ塗布し、第１のプレート部材１１の接着面にノズルフィルム１２の前記一側が対向し、かつ第２のプレート部材１３の接着面にノズルフィルム１２の前記他側が対向するようにして第１のプレート部材１１、ノズルフィルム１２及び第２のノズルプレートを積層し、それらを積層方向に押圧しながら加熱することで製作することができる。

ここで、第１のプレート部材１１にノズルフィルム１２を接着固定するだけでも、ノズル孔１２ａを形成する場合の取扱いの容易さが向上する。一方、このように異種材料を熱硬化性接着剤により接着すると、固定時に加える熱により両者間の膨張量に差が生じ、全体的に反りや撓みが生じることがある。しかし、本実施の形態では、線膨張係数の大きい合成樹脂フィルム（ここでは、ポリイミド）を、これより小さな係数の材料ではあるが、金属製プレートで両側から挟むようにしてサンドイッチ構造体１４としている。そのため、ノズルフィルム１２の両面において反りや撓みの原因となる応力が釣り合うことになり、反りや撓みのないサンドイッチ構造体１４が得られる。このようにして得られたサンドイッチ構造体１４は、全体的な剛性が高く、さらに取り扱いやすいものとなっている。また、両プレート部材１１，１３は同一部材であるので、部品点数としては増えることになるが、インクジェットプリンタヘッド１を構成する部品の種類は変わらない。すなわち、部品の利用効率が高いものになっている。
（第２のステップ）
図２（ｂ）に示すように、サンドイッチ構造体１４に対し、第２のプレート部材１３側から、撥水処理を全体に亘って施し、撥水膜１５を第２のプレート部材１３の開口１３ａ内も含めて形成する。つまり、撥水膜１５は、第２のプレート部材１３の表面１３ｂだけでなく、開口１３ａの内側、すなわち開口１３ａの内周面１３ａａおよび開口１３ａ内に露出するノズルフィルム１２の表面１２ａを含めて、この撥水処理が施された全体に亘って形成される。

このように、撥水膜１５が開口１３ａの内側表面にも形成されている。さらに、ノズル孔１２ａはこの開口１３ａの内側に露出しているので、実際にインクジェットプリンタヘッド１として使用するときに、紙面摩擦による撥水膜１５の損傷を確実に防ぐことができる。
（第３のステップ）
第２のステップの後、図２（ｃ）に示すように、第１のプレート部材１１側から貫通孔１１ａを通じてエキシマレーザ加工によりノズルフィルム１２にノズル孔１２ａを形成する。

このとき、貫通孔１１ａの顕微鏡像を画像認識処理して、その開口位置を毎回確認しながらレーザー加工が施される。そのため、貫通孔１１ａとノズル孔１２ａとの位置関係が場所に依らず均一になる。ノズル孔１２ａが形成されるノズルフィルム１２には、前段階で撥水膜１５が形成されているが、この撥水膜１５は丁度ノズル孔１２ａの開口端までを被覆する状態に整形される。また、このレーザー加工は、反りや撓みのないサンドイッチ構造体１４に対して行われるので、形状・サイズばかりではなく孔の軸の揃ったノズル孔１２ａが得られる。すなわち、インクの吐出特性の揃ったノズル孔１２ａを有するサンドイッチ構造体１４が得られることになる。なお、ノズル孔１２ａは、その加工の方向性により、第１のプレート部材１１側から第２のプレート部材１２側に向けて次第に関口断面積の小さくなるロート状形状を有している。
（第４のステップ）
第３のステップに続いて、第２のプレート部材１３をノズルフィルム１２の保護プレートとして機能させるために、サンドイッチ構造体１４の第１のプレート部材１１側に、キャビティユニット２を構成する他の要素である積層構造体５（すなわちキャビティユニット２を構成する構成要素から、第１及び第２のプレート部材１１，１３及びノズルフィルム１２を除いたもの）の一側を接着する（図１参照）。この構造体５の他側に、圧電アクチュエータ３が接着される。

前記製造法によって製造される具体的なインクジェットプリンタヘッド１００の一例を図３に示す。上述の製造方法の説明では、開口１３ａと加工用貫通孔１１ａのサイズや形状が同じとしているが、ここでは開口の方が大きい場合を例に説明する。これ以外に構成上の違いはない。

この例は、第１のプレート部材が、マニホールドを構成するマニホールド孔２１ａ，２２ａを有する第１及び第２マニホールドプレート２１，２２のうち第１のマニホールドプレート２１で、第２のプレート部材が、ノズルフィルム２３のノズル面を保護するカバープレート２４（保護プレート）で構成されるものである。マニホールドプレート２１には、ノズル孔２３ａの加工用貫通孔２１ｂが、カバープレート２３にはノズル孔２３ａに対応する位置に開口２４ａがそれぞれ形成されている。第２のマニホールドプレート２２にも、第１のマニホールドプレート２１と同様に、マニホールド孔２２ａに加えて貫通孔２２ｂが形成されている。

そして、第２のマニホールドプレート２２の上には、サプライプレート２５及びキャビティプレート２６が積層されている。キャビティプレート２６には圧力室となる開孔２６ａが形成され、サプライプレート２５には、開孔２６ａとマニホールド孔２２ａとを連通する第１の連通孔２５ａと、開孔２６ａと貫通孔２２ｂとを連通する第２の連通孔２５ｂとがそれぞれ設けられている。開孔２６ａで構成される圧力室の上側には、駆動信号に基づいて圧力室を加圧してノズル孔２３ａからインクを噴射させる圧電アクチュエータ２７が設けられている。

この例では、第１のマニホールドプレート２１とカバープレート２４とでノズルフィルム２３を挟んで、前述したようなサンドイッチ構造体を製作した後、このサンドイッチ構造体に、プレート２２，２５，２６を積層して接着剤にて接合された積層体の一側を接着し、それから前記積層体の他側に圧電アクチュエータ２７を接着して、インクジェットプリンタヘッド１００とされる。

本実施の形態では、製造方法の項で説明した形態と比べて、カバープレート２４の有する開口２４ａが少し大きめに形成されている。そのため、パージ動作におけるメンテナンス性に優れている。すなわち、例えば、インク供給源であるインクカートリッジを交換したときや、インクの初期導入時等に行うパージ処理では、開口２４ａ内にインクが残留することがある。カバープレート２４がない形態の場合であれば、ブレードにより直接ノズル面を払拭することができる。インクの残留もない。しかし、ノズル孔２４ａが凹部（開口２４ａの内側）内に開口することから、ブレードによるカバープレート２４の表面を払拭した後に、インクの吸収性の高い多孔質体を押しつけてインクを除去することになる。このとき、より広い間口を有するこの例の方が、開口２４ａ内にインクを残さないという観点から、先に説明した例よりも有利となる。

前記実施の形態は、次のように変更することもできる。
(i)前記実施の形態では、サンドイッチ構造体１４を構成する第１及び第２のプレート部材１１，１３は、同じ材質で、同じ板厚の金属製のプレートとしているが、ノズルフィルム１２に対するノズル孔１２ａの形成作業時の入熱によりサンドイッチ構造体１４に反りが生じなければよいので、ノズルフィルムを挟む２つの部材は、少なくとも線膨張係数が同じ材料であれば足りる。よって、ノズルフィルム１２は合成樹脂製のフィルムであり、第１のプレート部材１１は金属製のプレートであり、第２のプレート部材１３は合成樹脂製のプレートである構成とすることも可能である。

ブレードによってカバープレート２４の表面を綺麗にする場合、ブレードがカバープレート２４と擦れることから摩耗する。この傾向は、カバープレート２４が金属製の方が、樹脂製の場合よりも強い。つまり、ブレードの寿命という点で、カバープレートを合成樹脂で作ることは有利である。

この場合、液晶ポリマーは、線膨張係数を０〜２０×１０^-6／℃ぐらいの範囲で調整することができるので、第２のプレート部材１３を構成する合成樹脂としては、特に液晶ポリマーを用いることが望ましい。これにより、第１のプレート部材１１の線膨張係数を比較的広い範囲で選ぶことができ、その材料を選択する上での自由度が高くなる。例えば、加工性の高い４２合金（線膨張係数：約５×１０^-6／℃）や耐食性の良いＳＵＳ４３０（線膨張係数：約１０．５×１０^-6／℃）等をインクジエットプリンダヘッドの使用条件やインクの性質に合わせて適宜選択することができる。
(ii)第２のプレート部材１３の開口１３ａは、ノズル孔１２ａ毎に設けているが、加工を容易にするために、隣り合う複数の前記ノズル孔１２ａに対して、共通の開口を１つ設ける構成とすることも可能である。この場合、全てのノズル孔１２ａを１つの開口内に露出するようにしても良いし、所定の数ごとに開口内に露出するようにしても良い。

この構成は、紙面摩擦による撥水膜１５の損傷を確実に防ぐことができるとともに、開口１３ａ内にインクを残さないという観点から、先に説明した各例よりもさらに有利となる。

本発明に係る一実施の形態であるインクジェットプリンタヘッドの製造方法によって製造されたインクジェットプリンタヘッドの概略構成図である。 （ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明に係る一実施の形態であるインクジェットプリンタヘッドの製造方法の説明図である。 本発明に係る一実施の形態であるインクジェットプリンタヘッドの一例を示す断面図である。

符号の説明

１ インクジェットプリンタヘッド
２ キャビティユニット
３ 圧電アクチュエータ
４ サンドイッチ構造部
１１ 第１のプレート部材
１１ａ 加工用貫通孔
１２ ノズルフィルム
１２ａ ノズル孔
１２ｂ 表面
１３ 第２のプレート部材
１３ａ 開口
１３ａａ 内周面
１４ サンドイッチ構造体
１５ 撥水膜
２１ 第１のマニホールドプレート（第１のプレート部材）
２１ａ マニホールド孔
２１ｂ 貫通孔
２３ ノズルフィルム
２３ａ ノズル孔
２４ カバープレート（第２のプレート部材）
２４ａ 開口

Claims (9)

1. ノズル孔の加工用貫通孔が形成された第１のプレート部材と、前記ノズル孔が形成されるノズルフィルムとを含むキャビティユニットを有し、前記貫通孔を通じてレーザ加工により前記ノズル孔を開口するインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、
   前記第１のプレート部材に一側が接着されたノズルフィルムの他側に、前記第１のプレート部材と少なくとも線膨張係数がほぼ等しくかつ前記ノズル孔に対応する位置に前記ノズル孔より大きい開口が形成されている第２のプレート部材を接着してサンドイッチ構造体を製作する第１のステップと、
   前記サンドイッチ構造体に対し、前記第２のプレート部材側から、前記第２のプレート部材の前記開口の内側を含めて撥水処理を施す第２のステップと、
   この第２のステップの後、第１のプレート部材側から前記貫通孔を通じてレーザ加工により前記ノズルフィルムにノズル孔を形成する第３のステップと
   を備えることを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
2. 第３のステップに続いて、前記第２のプレート部材を前記ノズルフィルムの保護プレートとして機能させるために、前記サンドイッチ構造体の第１のプレート部材側に、前記キャビティユニットを構成する他の要素を接着する第４のステップ
   を備えることを特徴とする請求項１記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
3. 前記第１のステップにおいて、
   前記第１のプレート部材及び前記第２のプレート部材の前記ノズルフィルムとの接着面に熱硬化性の接着剤を塗布し、
   前記第１のプレート部材の接着面に前記ノズルフィルムの前記一側が対向し、かつ、前記第２のプレート部材の接着面に前記ノズルフィルムの前記他側が対向するようにして前記第１のプレート部材、前記ノズルフィルム及び前記第２のノズルプレートを積層し、
   それらを積層方向に押圧しながら加熱することで前記サンドイッチ構造体を製作することを特徴とする請求項１又は２記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
4. 前記ノズルフィルムは、合成樹脂製のフィルムであり、
   前記第１及び第２のプレート部材は、同じ材質で、同じ板厚の金属製のプレートであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
5. 前記ノズルフィルムは、合成樹脂製のフィルムであり、
   前記第１のプレート部材は、金属製のプレートであり、前記第２のプレート部材は合成樹脂製のプレートであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載インクジェットプリンタヘッドの製造方法。
6. 前記第２のプレート部材は、液晶ポリマー製のプレートであることを特徴とする請求項５記載インクジェットプリンタヘッドの製造方法。
7. 前記第１及び第２のプレート部材は、同じ位置に同じ大きさの前記貫通孔あるいは前記開口が形成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
8. 前記第２のプレート部材の前記開口は、隣り合う複数の前記ノズル孔に対して１つ設けられる構成とされていることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
9. 前記第２のプレート部材の前記開口は、前記ノズル孔毎に設けられている請求項１〜７のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。

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