JPH04216061A - インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッド及びその製造方法Info
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- JPH04216061A JPH04216061A JP40284190A JP40284190A JPH04216061A JP H04216061 A JPH04216061 A JP H04216061A JP 40284190 A JP40284190 A JP 40284190A JP 40284190 A JP40284190 A JP 40284190A JP H04216061 A JPH04216061 A JP H04216061A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 30
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 20
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 20
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 15
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 239000005871 repellent Substances 0.000 claims description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 abstract description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 abstract description 3
- 230000001846 repelling effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 2
- OIICUUGPVAEJSH-UHFFFAOYSA-M (2-bromophenyl)methyl-ethyl-dimethylazanium;bromide Chemical compound [Br-].CC[N+](C)(C)CC1=CC=CC=C1Br OIICUUGPVAEJSH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 1,1,1-trichloroethane Chemical compound CC(Cl)(Cl)Cl UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 1
- 150000002366 halogen compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はインクを噴射し、飛翔液
滴を形成して記録を行なうインクジェット記録ヘッド及
びそのノズルプレートの製造方法に関する。
滴を形成して記録を行なうインクジェット記録ヘッド及
びそのノズルプレートの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のインクジェット記録ヘッドは図８
に示すように、インク吐出発生素子５を設置した振動板
３と、流路形成基板２と、インク吐出口（ノズル穴）７
を有するノズルプレート１２とを接合することにより構
成されている。ノズルプレート１２と流路形成基板２と
の接合状態はインク滴の飛翔に影響をおよぼし、正確な
位置合わせや、ノズル面１２ａと流路形成基板２との間
の厚さｔの均一さが十分でないと、印字品位、画像品位
などの劣化につながるため重要なことである。
に示すように、インク吐出発生素子５を設置した振動板
３と、流路形成基板２と、インク吐出口（ノズル穴）７
を有するノズルプレート１２とを接合することにより構
成されている。ノズルプレート１２と流路形成基板２と
の接合状態はインク滴の飛翔に影響をおよぼし、正確な
位置合わせや、ノズル面１２ａと流路形成基板２との間
の厚さｔの均一さが十分でないと、印字品位、画像品位
などの劣化につながるため重要なことである。
【０００３】従来のノズルプレート１２にノズル穴７を
開ける方法は電鋳法であった。また、ノズルプレート１
２と流路形成基板２との位置合わせは、図７に示すよう
に穴開け済みノズルプレート１２に設けられた位置合わ
せ穴１３と流路形成基板２のノズル側の位置合わせ穴１
４によって行われていた。そして、ノズルプレート１２
と流路形成基板２との接着は、ノズルプレート１２と流
路形成基板２との間にギャップ剤１５を敷き、そこに接
着剤１６を浸透させることにより行なっていた。
開ける方法は電鋳法であった。また、ノズルプレート１
２と流路形成基板２との位置合わせは、図７に示すよう
に穴開け済みノズルプレート１２に設けられた位置合わ
せ穴１３と流路形成基板２のノズル側の位置合わせ穴１
４によって行われていた。そして、ノズルプレート１２
と流路形成基板２との接着は、ノズルプレート１２と流
路形成基板２との間にギャップ剤１５を敷き、そこに接
着剤１６を浸透させることにより行なっていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のインク
ジェット記録ヘッドは、穴開け済みのノズルプレート１
２と流路形成基板２とを、両者の間に接着剤１６を浸透
させることにより接着していたので、接着性が必ずしも
良いとはいえなかった。また、接着剤１６が流路形成基
板２又はノズルプレート１２のノズル穴に付着して穴の
精度を低下させ、穴詰まりを起こす可能性もあった。さ
らに工程が複雑であるという問題もあった。
ジェット記録ヘッドは、穴開け済みのノズルプレート１
２と流路形成基板２とを、両者の間に接着剤１６を浸透
させることにより接着していたので、接着性が必ずしも
良いとはいえなかった。また、接着剤１６が流路形成基
板２又はノズルプレート１２のノズル穴に付着して穴の
精度を低下させ、穴詰まりを起こす可能性もあった。さ
らに工程が複雑であるという問題もあった。
【０００５】本発明の目的はノズルプレートの接着性を
向上させ、穴の精度を高め、さらに簡単な工程を提供す
ることにある。
向上させ、穴の精度を高め、さらに簡単な工程を提供す
ることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のインクジェット記録ヘッドは、インク吐出発
生素子が設置された振動板と、流路形成基板と、ノズル
穴が形成されるノズルプレートとを接合することにより
構成されるインクジェット記録ヘッドであって、前記ノ
ズルプレートを、流路形成基板に直接接合した感光性物
質で構成したことを特徴とする。
に本発明のインクジェット記録ヘッドは、インク吐出発
生素子が設置された振動板と、流路形成基板と、ノズル
穴が形成されるノズルプレートとを接合することにより
構成されるインクジェット記録ヘッドであって、前記ノ
ズルプレートを、流路形成基板に直接接合した感光性物
質で構成したことを特徴とする。
【０００７】また、本発明のインクジェット記録ヘッド
の製造方法は、インク吐出発生素子が設置された振動板
と、流路形成基板と、ノズル穴が形成されるノズルプレ
ートとを接合することにより構成されるインクジェット
記録ヘッドの製造方法であって、流路形成基板に感光性
物質層を形成した後、ノズル穴のマスクパターンで露光
現像することでノズル穴を開けてノズルプレートを形成
することを特徴とする。
の製造方法は、インク吐出発生素子が設置された振動板
と、流路形成基板と、ノズル穴が形成されるノズルプレ
ートとを接合することにより構成されるインクジェット
記録ヘッドの製造方法であって、流路形成基板に感光性
物質層を形成した後、ノズル穴のマスクパターンで露光
現像することでノズル穴を開けてノズルプレートを形成
することを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明の上記の構成によれば、感光性樹脂フィ
ルムを直接接着することで接着性を向上でき、その樹脂
を、ノズル穴のマスクパターンを用いて露光現像すると
ノズル穴を高精度に形成でき、工程を簡単にすることが
できる。
ルムを直接接着することで接着性を向上でき、その樹脂
を、ノズル穴のマスクパターンを用いて露光現像すると
ノズル穴を高精度に形成でき、工程を簡単にすることが
できる。
【０００９】本発明のインクジェット記録ヘッドは、流
路形成基板に感光性物質を直接接合することによりノズ
ルプレートを形成したので接着性が向上する。また、ノ
ズルプレートを感光性物質で構成したので、ノズル穴は
マスクパターンで露光現像することで簡単に開けること
ができ、ノズル穴を高精度に形成できる。
路形成基板に感光性物質を直接接合することによりノズ
ルプレートを形成したので接着性が向上する。また、ノ
ズルプレートを感光性物質で構成したので、ノズル穴は
マスクパターンで露光現像することで簡単に開けること
ができ、ノズル穴を高精度に形成できる。
【００１０】また、本発明の製造方法によれば、流路形
成基板に感光性物質層を形成した後、ノズル穴のマスク
パターンを用いて露光現像することでノズル穴を開ける
のでノズル穴を高精度かつ位置精度も良く形成でき、工
程も簡単にすることができる。
成基板に感光性物質層を形成した後、ノズル穴のマスク
パターンを用いて露光現像することでノズル穴を開ける
のでノズル穴を高精度かつ位置精度も良く形成でき、工
程も簡単にすることができる。
【００１１】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面にもとづいて説
明する。図１は、インクジェット記録ヘッドの一実施例
を示す断面斜視図である。２は流路形成基板であり、キ
ャビティ４及びノズル穴に連通する連通孔４ａが形成さ
れている。流路形成基板２の供給口側にはインク吐出素
子としてピエゾ素子５を張り付けた振動板３が接着され
ている。また、流路形成基板２のノズル側には、ノズル
プレート８を形成する感光性物質として感光性樹脂フィ
ルム１（厚さ２０〜９０μｍ）がラミネーターにより加
熱加圧されて直接接合されている。ノズル穴７は次のよ
うにして形成される。まず、図２に示すように、流路形
成基板２に感光性樹脂フィルム１をラミネート（接合）
する。次いで図３に示すように、感光性樹脂フィルム１
上に、ノズル穴のマスクパターン６のパターン６ａを連
通孔４ａの中心に顕微鏡で合わせ、露光機でＵＶ露光す
る。次に現像機で現像液（トリクロルエタンなどの有機
溶剤または炭酸ナトリウム水溶液などのアルカリ溶液）
によりノズル穴７を現像する。感光性樹脂フィルム１の
、露光された部分は重合反応を起こして硬化するので溶
解しないが、露光されなかった部分は溶解し現像されて
ノズル穴７を形成する。その後、残った感光性樹脂の耐
溶剤性を高めるために後加熱（約１３０℃３０分）また
は後露光を行う。このようにして図１に示したような、
精度よくノズル穴７が形成されたノズルプレート８をも
つインクジェット記録ヘッドが製造される。
明する。図１は、インクジェット記録ヘッドの一実施例
を示す断面斜視図である。２は流路形成基板であり、キ
ャビティ４及びノズル穴に連通する連通孔４ａが形成さ
れている。流路形成基板２の供給口側にはインク吐出素
子としてピエゾ素子５を張り付けた振動板３が接着され
ている。また、流路形成基板２のノズル側には、ノズル
プレート８を形成する感光性物質として感光性樹脂フィ
ルム１（厚さ２０〜９０μｍ）がラミネーターにより加
熱加圧されて直接接合されている。ノズル穴７は次のよ
うにして形成される。まず、図２に示すように、流路形
成基板２に感光性樹脂フィルム１をラミネート（接合）
する。次いで図３に示すように、感光性樹脂フィルム１
上に、ノズル穴のマスクパターン６のパターン６ａを連
通孔４ａの中心に顕微鏡で合わせ、露光機でＵＶ露光す
る。次に現像機で現像液（トリクロルエタンなどの有機
溶剤または炭酸ナトリウム水溶液などのアルカリ溶液）
によりノズル穴７を現像する。感光性樹脂フィルム１の
、露光された部分は重合反応を起こして硬化するので溶
解しないが、露光されなかった部分は溶解し現像されて
ノズル穴７を形成する。その後、残った感光性樹脂の耐
溶剤性を高めるために後加熱（約１３０℃３０分）また
は後露光を行う。このようにして図１に示したような、
精度よくノズル穴７が形成されたノズルプレート８をも
つインクジェット記録ヘッドが製造される。
【００１２】図４、図５は露光時間等の条件によるノズ
ル穴７の形状変化を示し、露光時間が短いまたは現像ま
での放置時間が長いと山状に（図４）、露光時間が長い
または現像までの放置時間が極めて短いと谷状になる（
図５）。このように、露光時間等の条件を変えることに
よってノズル穴７の形状を変化させることが可能である
。
ル穴７の形状変化を示し、露光時間が短いまたは現像ま
での放置時間が長いと山状に（図４）、露光時間が長い
または現像までの放置時間が極めて短いと谷状になる（
図５）。このように、露光時間等の条件を変えることに
よってノズル穴７の形状を変化させることが可能である
。
【００１３】図６は本発明の第二の実施例を示す断面図
である。この実施例は、図１のノズル表面に、さらに別
の感光性樹脂フィルム１０をラミネートし、先に用いた
ノズル穴のパターンより大きいパターンを用いて同様に
露光現像し、ノズル穴７に段差（クレーター）１１をつ
けたものである。これにより紙こすれ等からノズル穴７
周囲のノズル表面７ａを保護することが可能であり、ノ
ズル穴７周囲の撥水処理の持続性を向上させることが可
能である。
である。この実施例は、図１のノズル表面に、さらに別
の感光性樹脂フィルム１０をラミネートし、先に用いた
ノズル穴のパターンより大きいパターンを用いて同様に
露光現像し、ノズル穴７に段差（クレーター）１１をつ
けたものである。これにより紙こすれ等からノズル穴７
周囲のノズル表面７ａを保護することが可能であり、ノ
ズル穴７周囲の撥水処理の持続性を向上させることが可
能である。
【００１４】また本発明の第三の実施例は、感光性樹脂
フィルムの製造過程（液状時または半固体状時）に撥水
性を持つテフロン等のハロゲン化合物を混ぜたり、感光
性樹脂フィルムの表面に上記撥水性物質を塗布すること
である。これにより、ノズル面の撥水性を高め、紙ジャ
ム等紙こすれでのノズル表面の撥水処理の耐擦性を向上
させることが可能である。
フィルムの製造過程（液状時または半固体状時）に撥水
性を持つテフロン等のハロゲン化合物を混ぜたり、感光
性樹脂フィルムの表面に上記撥水性物質を塗布すること
である。これにより、ノズル面の撥水性を高め、紙ジャ
ム等紙こすれでのノズル表面の撥水処理の耐擦性を向上
させることが可能である。
【００１５】以上説明した実施例では感光性物質として
感光性樹脂フィルムを用いたが、液状レジストを用いる
ことも可能である。しかし、レジスト厚みの設定が容易
かつ正確に出来る点で固体フィルムのものを用いる方が
有利である。このような固体フィルムで、現像液が溶剤
タイプのものとしては、例えば日立化成工業（株）製ｐ
ｈｏｔｅｃ ＳＲ−１３００Ｇ，同ＳＲ−３０００，東
京応化工業（株）製オーディルＰＲ−１５０，同ＳＥ−
２００，同ＳＰ−７００，アルカリ現像タイプのものと
しては、日立化成工業（株）製ｐｈｏｔｅｃＳＲ−２２
００Ｇ，同ＳＲ−２３００Ｇ，富士ハントエレクトロニ
クステクノロジー（株）製Ａ−４００，同ＦＨ−５１０
０，同ＦＨ−６１００，等の商品名で市販されているも
のがある。
感光性樹脂フィルムを用いたが、液状レジストを用いる
ことも可能である。しかし、レジスト厚みの設定が容易
かつ正確に出来る点で固体フィルムのものを用いる方が
有利である。このような固体フィルムで、現像液が溶剤
タイプのものとしては、例えば日立化成工業（株）製ｐ
ｈｏｔｅｃ ＳＲ−１３００Ｇ，同ＳＲ−３０００，東
京応化工業（株）製オーディルＰＲ−１５０，同ＳＥ−
２００，同ＳＰ−７００，アルカリ現像タイプのものと
しては、日立化成工業（株）製ｐｈｏｔｅｃＳＲ−２２
００Ｇ，同ＳＲ−２３００Ｇ，富士ハントエレクトロニ
クステクノロジー（株）製Ａ−４００，同ＦＨ−５１０
０，同ＦＨ−６１００，等の商品名で市販されているも
のがある。
【００１６】
【発明の効果】本発明のインクジェット記録ヘッドによ
れば、ノズルプレートを形成する感光性物質が直接流路
形成基板に接合されているので、接着性が向上するとい
う効果がある。また、マスクパターンで露光現像するこ
とでノズル穴を高精度にしかも簡単に開けることができ
る。
れば、ノズルプレートを形成する感光性物質が直接流路
形成基板に接合されているので、接着性が向上するとい
う効果がある。また、マスクパターンで露光現像するこ
とでノズル穴を高精度にしかも簡単に開けることができ
る。
【００１７】本発明の製造方法によれば、流路形成基板
に感光性物質層を形成した後、ノズル穴のマスクパター
ンで露光現像することでノズル穴を開けるので、ノズル
穴の位置決め及び穴形状を高精度にし、製造工程を簡単
にすることができる。また、露光する光の条件（強度、
時間等）によりノズル穴の形状を変えたり、感光性物質
層を２層以上にすることで、ノズル穴に段（クレーター
）を形成することが可能である。
に感光性物質層を形成した後、ノズル穴のマスクパター
ンで露光現像することでノズル穴を開けるので、ノズル
穴の位置決め及び穴形状を高精度にし、製造工程を簡単
にすることができる。また、露光する光の条件（強度、
時間等）によりノズル穴の形状を変えたり、感光性物質
層を２層以上にすることで、ノズル穴に段（クレーター
）を形成することが可能である。
【図１】本発明によるインクジェット記録ヘッドの実施
例の断面斜視図である。
例の断面斜視図である。
【図２】本発明の製造工程を示す断面斜視図である。
【図３】本発明の製造工程を示す断面斜視図である。
【図４】ノズル穴の形状を示す断面斜視図である。
【図５】ノズル穴の形状を示す断面斜視図である。
【図６】ノズルプレート形成第二実施例の断面斜視図で
ある。
ある。
【図７】従来のノズルプレートの位置合わせの例を示す
断面斜視図である。
断面斜視図である。
【図８】従来のノズルプレートの接着実施例を示す断面
斜視図である。
斜視図である。
１ 感光性樹脂フィルム
２ 流路形成基板
３ 振動板
４ キャビティ
４ａ 連通孔
５ ピエゾ素子
６ ノズル穴マスクパターン
６ａ ノズル穴マスク
７ ノズル穴
７ａ ノズル表面
８ 感光性樹脂フィルム製ノズルプレート９ 一層
目感光性樹脂フィルム製ノズルプレート１０ 二層目
感光性樹脂フィルム製ノズルプレート１１ クレータ
ー １２ ノズルプレート １２ａ ノズル面 １３ ノズルプレート側位置合わせ穴１４ 流路形
成基板側位置合わせ穴 １５ ギャップ剤 １６ 接着剤
目感光性樹脂フィルム製ノズルプレート１０ 二層目
感光性樹脂フィルム製ノズルプレート１１ クレータ
ー １２ ノズルプレート １２ａ ノズル面 １３ ノズルプレート側位置合わせ穴１４ 流路形
成基板側位置合わせ穴 １５ ギャップ剤 １６ 接着剤
Claims (8)
- 【請求項１】 インク吐出発生素子が設置された振動
板と、流路形成基板と、ノズル穴が形成されるノズルプ
レートとを接合することにより構成されるインクジェッ
ト記録ヘッドであって、前記ノズルプレートを、流路形
成基板に直接接合した感光性物質で構成したことを特徴
とするインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項２】 ノズル穴に段差を形成した請求項１記
載のインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項３】 前記感光性物質が撥水性物質を含有し
ている請求項１又は２記載のインクジェット記録ヘッド
。 - 【請求項４】 前記感光性物質を感光性樹脂フィルム
とした請求項１又は２又は３記載のインクジェット記録
ヘッド。 - 【請求項５】 インク吐出発生素子が設置された振動
板と、流路形成基板と、ノズル穴が形成されるノズルプ
レートとを接合することにより構成されるインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法であって、流路形成基板に感光
性物質層を形成した後、ノズル穴のマスクパターンで露
光現像することでノズル穴を開けてノズルプレートを形
成することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製
造方法。 - 【請求項６】 露光現像してノズル穴を開けた後に、
さらにその上に感光性物質層を形成し、露光現像するこ
とでノズル穴に段差を形成することを特徴とする請求項
５記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項７】 前記感光性物質層中に撥水性物質が含
まれていることを特徴とする請求項５又は６記載のイン
クジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項８】 前記感光性物質層の形成は、感光性樹
脂フィルムをラミネートすることにより行なう請求項５
又は６又は７記載のインクジェット記録ヘッドの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40284190A JPH04216061A (ja) | 1990-12-17 | 1990-12-17 | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40284190A JPH04216061A (ja) | 1990-12-17 | 1990-12-17 | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04216061A true JPH04216061A (ja) | 1992-08-06 |
Family
ID=18512622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP40284190A Pending JPH04216061A (ja) | 1990-12-17 | 1990-12-17 | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04216061A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006088414A (ja) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Brother Ind Ltd | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
| JP2008000953A (ja) * | 2006-06-21 | 2008-01-10 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 |
| JP2009029043A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
-
1990
- 1990-12-17 JP JP40284190A patent/JPH04216061A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006088414A (ja) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Brother Ind Ltd | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
| JP4543850B2 (ja) * | 2004-09-22 | 2010-09-15 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
| JP2008000953A (ja) * | 2006-06-21 | 2008-01-10 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 |
| JP2009029043A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
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