JP3064439B2 - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JP3064439B2 JP3064439B2 JP3015691A JP3015691A JP3064439B2 JP 3064439 B2 JP3064439 B2 JP 3064439B2 JP 3015691 A JP3015691 A JP 3015691A JP 3015691 A JP3015691 A JP 3015691A JP 3064439 B2 JP3064439 B2 JP 3064439B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- flow path
- substrate
- ink flow
- resist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Nozzles (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、飛翔液滴を形成して記
録を行なうインクジェットヘッドの製造方法に関するも
のである。
録を行なうインクジェットヘッドの製造方法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】飛翔液滴を形成して記録を行なうインク
ジェット記録に使用されるインクジェットヘッドは、吐
出オリフィス、インク流路及びこのインク流路の一部に
設けられるインク吐出圧発生部を備えている。従来、こ
の様なインクジェットヘッドを作成する方法として、例
えば、ガラスや金属の板に切削やエッチング、プラスチ
ック成形など、微細な溝を形成したのち、この溝を形成
した基板を他の適当な板と接合して、インク通路を形成
し、かつ、上記インク通路に対応して閉溝面にインク吐
出圧発生部を備えている。
ジェット記録に使用されるインクジェットヘッドは、吐
出オリフィス、インク流路及びこのインク流路の一部に
設けられるインク吐出圧発生部を備えている。従来、こ
の様なインクジェットヘッドを作成する方法として、例
えば、ガラスや金属の板に切削やエッチング、プラスチ
ック成形など、微細な溝を形成したのち、この溝を形成
した基板を他の適当な板と接合して、インク通路を形成
し、かつ、上記インク通路に対応して閉溝面にインク吐
出圧発生部を備えている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、かかる、従来
の構造で構成されるヘッドにおいては、切削加工された
ヘッド基板覆い（以下、振動板）を接合する方法として
接着剤を用いたり、溶解または融着工程が必要となる。
このため、インクが通過するインク流路面が、上記接着
剤、または、振動板を溶解させるために用いた溶剤面と
なる。これらは、一般にインクとの濡れが悪いため、上
記インク流路から、インク中の気泡が排出されにくく、
インク吐出特性にバラツキがでやすい、もしくは、イン
クの吐出がされないという現象が生じる問題点を有して
いた。
の構造で構成されるヘッドにおいては、切削加工された
ヘッド基板覆い（以下、振動板）を接合する方法として
接着剤を用いたり、溶解または融着工程が必要となる。
このため、インクが通過するインク流路面が、上記接着
剤、または、振動板を溶解させるために用いた溶剤面と
なる。これらは、一般にインクとの濡れが悪いため、上
記インク流路から、インク中の気泡が排出されにくく、
インク吐出特性にバラツキがでやすい、もしくは、イン
クの吐出がされないという現象が生じる問題点を有して
いた。
【０００４】そこで、本発明はこのような問題点を解決
するもので、上記インク流路形成されたヘッド基板と振
動板を接合する際、流路面にインクとの濡れがよい壁面
によって形成されるインク流路からなるインクジェット
ヘッドを提供することを目的とする。また、前記インク
流路形成基板と振動板の接合工程を簡略化することによ
り製造工程を合理化することも他の目的とする。
するもので、上記インク流路形成されたヘッド基板と振
動板を接合する際、流路面にインクとの濡れがよい壁面
によって形成されるインク流路からなるインクジェット
ヘッドを提供することを目的とする。また、前記インク
流路形成基板と振動板の接合工程を簡略化することによ
り製造工程を合理化することも他の目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の上記諸目的は、
インク流路となる溝が感光性フィルムによって形成さ
れ、この溝に振動板を積層して閉溝とするための、該振
動板の接着方法として、該振動板に、上記感光性フィル
ムをラミネートした後、上記基板と同等のインク流路パ
ターンを印刷し、上記振動板を流路面とした後、基板上
の感光性フィルム上に積層し、接合することにより、閉
溝を形成することにより達成される。
インク流路となる溝が感光性フィルムによって形成さ
れ、この溝に振動板を積層して閉溝とするための、該振
動板の接着方法として、該振動板に、上記感光性フィル
ムをラミネートした後、上記基板と同等のインク流路パ
ターンを印刷し、上記振動板を流路面とした後、基板上
の感光性フィルム上に積層し、接合することにより、閉
溝を形成することにより達成される。
【０００６】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に
説明する。図１から図４は、本発明インクジェットヘッ
ドの構成とその製作手順を説明するための模式図であ
る。まず図１は、ガラス、セラミック、プラスチック、
あるいは、金属など、適当な基板１上に、８０℃から１
５０℃程度に加温された感光性フィルムであるドライフ
ィルムレジスト２（膜厚、約２５μ〜２００μ）を０．
５〜０．４ｆ／分の速度、１〜３ｋｇ／ｃｍ2加圧条件
下でラミネートを行なう。次に、基板１に設けたドライ
フィルムレジスト２上に所定のパターンを有するフォト
マスク３の上部から光源４によって露光（図中、矢印）
を行う。このとき、上記パターン３Ｐは、基板１上のイ
ンク流路の領域を充分に覆うもので、このパターン３Ｐ
は光を透過しない。従って、パターン３Ｐで覆われてい
る領域のドライフィルムレジスト２は露光されていな
い。以上のごとく露光を行うと、パターン３Ｐ外のドラ
イフィルムレジスト２が重合反応を起こして硬化し、溶
液不溶性になる。他方、露光されなかったドライフィル
ムレジスト２は硬化せず、溶解可溶性のまま残る。露光
操作を経た後、ドライフィルムレジスト２を揮発性有機
溶剤、例えば、トリクロルエタン中に浸積して、未重合
（未硬化）のレジストを溶解除去（以下、現像）する
と、図２に示されるように、基板１上には硬化レジスト
壁２Ｈがインク流路として形成され、流路底面は、基板
の材質によって構成される。
説明する。図１から図４は、本発明インクジェットヘッ
ドの構成とその製作手順を説明するための模式図であ
る。まず図１は、ガラス、セラミック、プラスチック、
あるいは、金属など、適当な基板１上に、８０℃から１
５０℃程度に加温された感光性フィルムであるドライフ
ィルムレジスト２（膜厚、約２５μ〜２００μ）を０．
５〜０．４ｆ／分の速度、１〜３ｋｇ／ｃｍ2加圧条件
下でラミネートを行なう。次に、基板１に設けたドライ
フィルムレジスト２上に所定のパターンを有するフォト
マスク３の上部から光源４によって露光（図中、矢印）
を行う。このとき、上記パターン３Ｐは、基板１上のイ
ンク流路の領域を充分に覆うもので、このパターン３Ｐ
は光を透過しない。従って、パターン３Ｐで覆われてい
る領域のドライフィルムレジスト２は露光されていな
い。以上のごとく露光を行うと、パターン３Ｐ外のドラ
イフィルムレジスト２が重合反応を起こして硬化し、溶
液不溶性になる。他方、露光されなかったドライフィル
ムレジスト２は硬化せず、溶解可溶性のまま残る。露光
操作を経た後、ドライフィルムレジスト２を揮発性有機
溶剤、例えば、トリクロルエタン中に浸積して、未重合
（未硬化）のレジストを溶解除去（以下、現像）する
と、図２に示されるように、基板１上には硬化レジスト
壁２Ｈがインク流路として形成され、流路底面は、基板
の材質によって構成される。
【０００７】次に、図３に示すように、振動板５にイン
ク流路の形成に使用されたドライフィルムレジスト２を
同様にラミネートし、上記に述べた手順にしたがって、
インク流路と同様のパターンが印刷された硬化レジスト
壁２Ｐを形成する。その後、上記パターンを形成した面
を基板１側にして、振動板５を上記硬化レジスト壁２Ｈ
に積層する。その後、基板側の硬化レジスト壁２Ｈと振
動板側の硬化レジスト壁２Ｐを接着する目的で、上記基
板１、インク流路形成硬化レジスト壁２Ｐおよび２Ｈ、
振動板５を密着させた後、図１と同様に、光源４によっ
て再露光を行う。上記インク流路形成硬化レジスト壁２
Ｐおよび２Ｈは、現像段階では、完全硬化しておらず、
自己接着作用があるため、再露光を行うことにより、レ
ジスト壁２Ｐと２Ｈが密着し硬化し接着される。このと
き、レジスト壁２Ｐと２Ｈの接着させるほかに、耐溶剤
性を向上させる目的で、高エネルギー露光（紫外線照射
１０〜３０ｊ／ｃｍ2）を行うか、熱重合（１３０℃〜
１６０℃で１０分程度、加熱）工程をおこなう、また
は、それらを、併用するのがよい。
ク流路の形成に使用されたドライフィルムレジスト２を
同様にラミネートし、上記に述べた手順にしたがって、
インク流路と同様のパターンが印刷された硬化レジスト
壁２Ｐを形成する。その後、上記パターンを形成した面
を基板１側にして、振動板５を上記硬化レジスト壁２Ｈ
に積層する。その後、基板側の硬化レジスト壁２Ｈと振
動板側の硬化レジスト壁２Ｐを接着する目的で、上記基
板１、インク流路形成硬化レジスト壁２Ｐおよび２Ｈ、
振動板５を密着させた後、図１と同様に、光源４によっ
て再露光を行う。上記インク流路形成硬化レジスト壁２
Ｐおよび２Ｈは、現像段階では、完全硬化しておらず、
自己接着作用があるため、再露光を行うことにより、レ
ジスト壁２Ｐと２Ｈが密着し硬化し接着される。このと
き、レジスト壁２Ｐと２Ｈの接着させるほかに、耐溶剤
性を向上させる目的で、高エネルギー露光（紫外線照射
１０〜３０ｊ／ｃｍ2）を行うか、熱重合（１３０℃〜
１６０℃で１０分程度、加熱）工程をおこなう、また
は、それらを、併用するのがよい。
【０００８】以上のようにして、図４に示されるよう
に、光硬化ドライフィルムが側壁となり、且つ、溝の上
面および下面が、それぞれ、振動板５面、基板１面から
なるインク流路６が形成される。このとき、基板１及び
該振動板５に、ガラスなどの濡れのよい材質を用いるこ
とにより、インクジェットヘッドの駆動に悪影響をもた
らすインク内の気泡の排出性を良くすることが出来る。
に、光硬化ドライフィルムが側壁となり、且つ、溝の上
面および下面が、それぞれ、振動板５面、基板１面から
なるインク流路６が形成される。このとき、基板１及び
該振動板５に、ガラスなどの濡れのよい材質を用いるこ
とにより、インクジェットヘッドの駆動に悪影響をもた
らすインク内の気泡の排出性を良くすることが出来る。
【０００９】図５は、本発明の別の実施例である。前記
実施例同様、基板１に第１層となるドライフィルムレジ
スト２を前記の条件下でラミネートを行ない、次に、該
ドライフィルム２にインク流路パターンの露光を行な
う。このとき、該インク流路パターンはインク流路のキ
ャビテイ部のみとし、ノズル部及び供給部は、露光硬化
をしておく。つぎに、該第１層面に再度ドライフィルム
２を第２層としてラミネートを行ない、所定の流路パタ
ーン（ノズル６Ａ、供給路６Ｂ、キャビテイ６Ｃ）の露
光を行なう。更に、振動板５に同様にドライフィルムレ
ジスト２を所定の方法でラミネートを行い、ドライフィ
ルム第１層と同様のパターンを形成し、前記実施例と同
様に、基板側の硬化レジスト壁２Ｈと振動板側の硬化レ
ジスト壁２Ｐを接着して、インク流路となる閉溝を形成
する。
実施例同様、基板１に第１層となるドライフィルムレジ
スト２を前記の条件下でラミネートを行ない、次に、該
ドライフィルム２にインク流路パターンの露光を行な
う。このとき、該インク流路パターンはインク流路のキ
ャビテイ部のみとし、ノズル部及び供給部は、露光硬化
をしておく。つぎに、該第１層面に再度ドライフィルム
２を第２層としてラミネートを行ない、所定の流路パタ
ーン（ノズル６Ａ、供給路６Ｂ、キャビテイ６Ｃ）の露
光を行なう。更に、振動板５に同様にドライフィルムレ
ジスト２を所定の方法でラミネートを行い、ドライフィ
ルム第１層と同様のパターンを形成し、前記実施例と同
様に、基板側の硬化レジスト壁２Ｈと振動板側の硬化レ
ジスト壁２Ｐを接着して、インク流路となる閉溝を形成
する。
【００１０】このことにより、インク流路内のキャビテ
イ部に比べて、該ノズル及び供給路に、流路抵抗を設け
ることが可能となる。また、図６、図７に示すように、
ノズルは、硬化レジスト壁２Ｈ，２Ｐに囲まれて形成さ
れる。そのため、インク滴射出の際、該ノズル孔の周囲
に均一なインク溜りが形成され、安定したインク滴飛行
角度を得ることが可能である。また、該ノズル孔周囲の
硬化レジスト壁は、ガラス基板などに比べて、柔らかい
ため、ノズル断面の切断の際、ノズル孔にバリなどが発
生しにくい。
イ部に比べて、該ノズル及び供給路に、流路抵抗を設け
ることが可能となる。また、図６、図７に示すように、
ノズルは、硬化レジスト壁２Ｈ，２Ｐに囲まれて形成さ
れる。そのため、インク滴射出の際、該ノズル孔の周囲
に均一なインク溜りが形成され、安定したインク滴飛行
角度を得ることが可能である。また、該ノズル孔周囲の
硬化レジスト壁は、ガラス基板などに比べて、柔らかい
ため、ノズル断面の切断の際、ノズル孔にバリなどが発
生しにくい。
【００１１】
【発明の効果】以上に説明した本発明の効果としては次
の通り、列挙することができる。
の通り、列挙することができる。
【００１２】（１）インク流路部と振動板との接合部
が、同成分なため、接着強度がアップする。
が、同成分なため、接着強度がアップする。
【００１３】（２）インク流路となる閉溝の上下面が、
基板及び振動板で形成されているため、該基板及び振動
板にインクに対する濡れ性のよい材質を用いることによ
り、インク流路内の気泡排出性をアップすることができ
る。
基板及び振動板で形成されているため、該基板及び振動
板にインクに対する濡れ性のよい材質を用いることによ
り、インク流路内の気泡排出性をアップすることができ
る。
【００１４】（３）インク流路を形成する感光性ドライ
フィルムにインク流路パターンを形成した後、閉溝を形
成するため、該基板及び振動板にガラスやプラスチック
だけでなく、金属のような光に対して不透明な部材を用
いることが可能である。
フィルムにインク流路パターンを形成した後、閉溝を形
成するため、該基板及び振動板にガラスやプラスチック
だけでなく、金属のような光に対して不透明な部材を用
いることが可能である。
【００１５】（４）振動板の接着が容易で製作工程が比
較的少ないので、生産性が良好である。
較的少ないので、生産性が良好である。
【００１６】（５）インク流路ノズル部のダイシング加
工が容易である。
工が容易である。
【図１】本発明のインクジェットヘッドの製造方法を示
した説明図である。
した説明図である。
【図２】本発明のインクジェットヘッドの製造方法を示
した説明図である。
した説明図である。
【図３】本発明のインクジェットヘッドの製造方法を示
した説明図である。
した説明図である。
【図４】本発明のインクジェットヘッドの製造方法を示
した説明図である。
した説明図である。
【図５】本発明の別の実施例であるインクジェットヘッ
ドの模式図である。
ドの模式図である。
【図６】図５の側面図である。
【図７】図５の正面図である。
１ 基板 ２ ドライフィルムレジスト ２Ｐ，２Ｈ 硬化レジスト壁 ３ フォトマスク ３Ｐ フォトマスクパターン ４ 光源 ５ 振動板 ６ インク流路 ６Ａ ノズル部 ６Ｂ 供給路 ６Ｃ キャビテイ ７ インク吐出圧発生素子
Claims (1)
- 【請求項１】 基板上に感光性フィルムがラミネートさ
れ、その上にインク通路となる溝が形成され、この通路
に覆いを積層して、閉溝を形成し、且つ、その覆い上面
に、上記インク流路に対応してインク吐出圧発生素子を
設置したインクジェットヘッドの製造方法であって、上
記覆い面に同様のインク流路が形成された感光性フィル
ムがラミネートされた後、上記基板上の該感光性フィル
ムと上記覆い上の感光性フィルムを積層する事により、
閉溝を形成したことを特徴とするインクジェットヘッド
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3015691A JP3064439B2 (ja) | 1991-02-25 | 1991-02-25 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3015691A JP3064439B2 (ja) | 1991-02-25 | 1991-02-25 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04269550A JPH04269550A (ja) | 1992-09-25 |
| JP3064439B2 true JP3064439B2 (ja) | 2000-07-12 |
Family
ID=12295894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3015691A Expired - Fee Related JP3064439B2 (ja) | 1991-02-25 | 1991-02-25 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3064439B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DK1287904T3 (da) * | 2001-09-03 | 2006-04-03 | Microflow Eng Sa | Forstövningsindretning til væsker |
-
1991
- 1991-02-25 JP JP3015691A patent/JP3064439B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04269550A (ja) | 1992-09-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2932877B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| US4570167A (en) | Ink jet recording head | |
| JP3064439B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JPH0459144B2 (ja) | ||
| JPH06134995A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JPH0422700B2 (ja) | ||
| JPH11300951A (ja) | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 | |
| JP2867602B2 (ja) | プレートの接合方法およびインクジェットヘッドの製造方法 | |
| JPH0242670B2 (ja) | ||
| JPH04347650A (ja) | インクジェット記録ヘッドの製作方法 | |
| JPH04269551A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP3120341B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JPH06297711A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JPH0224220B2 (ja) | ||
| JP3749320B2 (ja) | 液室部品の製造方法 | |
| JPH05338163A (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
| JPH04216061A (ja) | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH04179552A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP2791240B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法、該製造方法によって製造されたインクジェット記録ヘッド及び該ヘッドを具備するインクジェット記録装置 | |
| JPH0911467A (ja) | 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH08156267A (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JPH06183011A (ja) | インクジェットヘッドのノズルプレート及びその製造方法 | |
| JPH07314671A (ja) | インクジェット記録装置の記録ヘッド | |
| JPH04141436A (ja) | インクジェットプリンタヘッドの製作方法 | |
| JPH04216059A (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080512 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090512 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100512 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |