JPH04269551A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法Info
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- JPH04269551A JPH04269551A JP3030157A JP3015791A JPH04269551A JP H04269551 A JPH04269551 A JP H04269551A JP 3030157 A JP3030157 A JP 3030157A JP 3015791 A JP3015791 A JP 3015791A JP H04269551 A JPH04269551 A JP H04269551A
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- ink flow
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- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 9
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はインクジェットヘッドの
製造方法、詳しくは、インクジェット記録方式に用いる
記録用インク小滴を発生するための、インク吐出路形成
方法に関する。
製造方法、詳しくは、インクジェット記録方式に用いる
記録用インク小滴を発生するための、インク吐出路形成
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット記録方式に適用されるイ
ンクジェットヘッドは、一般に、微細のインク吐出口（
オリフィス）、インク通路及びこのインク通路の一部に
設けられるインク吐出圧発生部を備えている。従来、こ
のようなインクジェットヘッドを作成する方法として、
例えば、ガラスや金属の板に切削やエッチング、プラス
チック成形等により微細な溝を形成した後、この溝を形
成した基板を他の適当な板と接合して、インク通路を形
成し、且つ、上記インク通路に対応して閉溝面にインク
吐出圧発生部を設ける方法が知られている。
ンクジェットヘッドは、一般に、微細のインク吐出口（
オリフィス）、インク通路及びこのインク通路の一部に
設けられるインク吐出圧発生部を備えている。従来、こ
のようなインクジェットヘッドを作成する方法として、
例えば、ガラスや金属の板に切削やエッチング、プラス
チック成形等により微細な溝を形成した後、この溝を形
成した基板を他の適当な板と接合して、インク通路を形
成し、且つ、上記インク通路に対応して閉溝面にインク
吐出圧発生部を設ける方法が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、かかる、従来
の方法で構成されるヘッドにおいては、切削加工された
ヘッド基板に覆い（主として、振動板）を接合する方法
として接着剤を用いたり、溶解または融着工程が用いら
れていた。このため、接着剤のはみだしや、溶着、融着
の際の流路部のつぶれにより、インク流路に歪が生じた
りして、精度のよいインク流路が得難く、製作後のイン
クジェットヘッドのインク吐出特性にバラツキがでやす
いという問題点があった。
の方法で構成されるヘッドにおいては、切削加工された
ヘッド基板に覆い（主として、振動板）を接合する方法
として接着剤を用いたり、溶解または融着工程が用いら
れていた。このため、接着剤のはみだしや、溶着、融着
の際の流路部のつぶれにより、インク流路に歪が生じた
りして、精度のよいインク流路が得難く、製作後のイン
クジェットヘッドのインク吐出特性にバラツキがでやす
いという問題点があった。
【０００４】そこで、本発明はこのような問題点を解決
するもので、上記インク流路が形成されたヘッド基板と
振動板とを接合する際、接着剤のはみだしや流路部のつ
ぶれが小さく精度のよいインク流路が形成されて信頼性
の高いインクジェットヘッドを提供することを目的とす
る。また、前記インク流路形成基板と振動板との接合工
程を簡略化することにより製造工程を合理化することを
目的とする。
するもので、上記インク流路が形成されたヘッド基板と
振動板とを接合する際、接着剤のはみだしや流路部のつ
ぶれが小さく精度のよいインク流路が形成されて信頼性
の高いインクジェットヘッドを提供することを目的とす
る。また、前記インク流路形成基板と振動板との接合工
程を簡略化することにより製造工程を合理化することを
目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、インク通路となる溝が感光性フィルムによって形成
され、この溝に覆いを積層して閉溝とするための、覆い
の接着方法として、第１の発明は、インク流路壁を形成
している感光性フィルムと同様の成分からなる液状感光
性レジストを上記覆いに塗布し、積層後、露光し硬化さ
せることを特徴とする。
に、インク通路となる溝が感光性フィルムによって形成
され、この溝に覆いを積層して閉溝とするための、覆い
の接着方法として、第１の発明は、インク流路壁を形成
している感光性フィルムと同様の成分からなる液状感光
性レジストを上記覆いに塗布し、積層後、露光し硬化さ
せることを特徴とする。
【０００６】第２の発明は、インク流路を形成している
感光性フィルムと同様のフィルムを、上記覆いにラミネ
ートし、前記基板に積層後、露光し硬化させることを特
徴とする。
感光性フィルムと同様のフィルムを、上記覆いにラミネ
ートし、前記基板に積層後、露光し硬化させることを特
徴とする。
【０００７】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に
説明する。図１から図４は、本発明によるインクジェッ
トヘッドの製造方法の第１実施例を説明するための模式
図である。まず図１に示すように、ガラス、セラミック
、プラスチック、あるいは、金属など、適当な材料から
なる基板１上に、８０℃〜１５０℃程度に加温された感
光性樹脂フィルムであるドライフィルムレジスト２（膜
厚、約２５μｍから２００μｍ）を０．５〜０．４ｆ／
分の速度、１〜３ｋｇ／ｃｍ２の加圧条件下でラミネー
トを行なう。次に、基板１に設けたドライフィルムレジ
スト２上に所定のパターン３Ｐを有するフォトマスク３
を重ね合わせた後、このフォトマスク３の上部から光源
４によって露光（図中、矢印）を行なう。このとき、上
記パターン３Ｐは、基板１上のインク流路の領域を十分
に覆うもので、このパターン３Ｐは光を透過しない。従
って、パターン３Ｐで覆われている領域のドライフィル
ムレジスト２は露光されない。以上のごとく露光を行な
うと、パターン３Ｐ外のドライフィルムレジスト２が重
合反応を起こして硬化し、溶剤不溶性になる。他方、露
光されなかったドライフィルムレジスト２は硬化せず、
溶解可溶性のまま残る。露光操作を経た後、ドライフィ
ルムレジスト２を揮発性有機溶剤、例えば、トリクロル
エタン中に浸漬して、未重合（未硬化）のレジストを溶
解除去すると、図２に示されるように、基板１上には硬
化レジスト壁２Ｈがインク流路壁として形成される。次
に、図３に示すようにインク流路１０の形成に使用され
たドライフィルムレジスト２と同様の成分からなる液状
感光性レジスト６を塗布した振動板５を上記硬化レジス
ト壁２Ｈに積層する。その後、治具などで上記基板１、
硬化レジスト壁２Ｈ及び振動板５を密着させた後、図１
と同様に、光源４によって露光し、硬化レジスト壁２Ｈ
と振動板５との間に塗布した上記液状感光性レジスト６
を硬化させる。この時、液状感光性レジスト６は、イン
ク流路を形成している硬化レジスト壁２Ｈ上面の細部ま
で浸透して硬化するため、接着剤としての効果を示し、
インク流路１０は、閉溝として形成される。この時、液
状感光性レジスト６の、はみ出しによる、インク流路の
つぶれをふせぐために、塗布レジスト層の膜厚は、１〜
２μ程度がよい。また、硬化レジスト壁２Ｈと振動板５
に塗布された液状感光性レジスト６の接着力および耐溶
剤性を向上させる目的で、これをさらに硬化させる。こ
の方法としては、熱重合（１３０℃〜１６０℃で１０分
〜６０分程度、加熱）させるか、紫外線照射（１０〜３
０ｊ／ｃｍ２）を行なうか、これら両者を併用するのが
良い。
説明する。図１から図４は、本発明によるインクジェッ
トヘッドの製造方法の第１実施例を説明するための模式
図である。まず図１に示すように、ガラス、セラミック
、プラスチック、あるいは、金属など、適当な材料から
なる基板１上に、８０℃〜１５０℃程度に加温された感
光性樹脂フィルムであるドライフィルムレジスト２（膜
厚、約２５μｍから２００μｍ）を０．５〜０．４ｆ／
分の速度、１〜３ｋｇ／ｃｍ２の加圧条件下でラミネー
トを行なう。次に、基板１に設けたドライフィルムレジ
スト２上に所定のパターン３Ｐを有するフォトマスク３
を重ね合わせた後、このフォトマスク３の上部から光源
４によって露光（図中、矢印）を行なう。このとき、上
記パターン３Ｐは、基板１上のインク流路の領域を十分
に覆うもので、このパターン３Ｐは光を透過しない。従
って、パターン３Ｐで覆われている領域のドライフィル
ムレジスト２は露光されない。以上のごとく露光を行な
うと、パターン３Ｐ外のドライフィルムレジスト２が重
合反応を起こして硬化し、溶剤不溶性になる。他方、露
光されなかったドライフィルムレジスト２は硬化せず、
溶解可溶性のまま残る。露光操作を経た後、ドライフィ
ルムレジスト２を揮発性有機溶剤、例えば、トリクロル
エタン中に浸漬して、未重合（未硬化）のレジストを溶
解除去すると、図２に示されるように、基板１上には硬
化レジスト壁２Ｈがインク流路壁として形成される。次
に、図３に示すようにインク流路１０の形成に使用され
たドライフィルムレジスト２と同様の成分からなる液状
感光性レジスト６を塗布した振動板５を上記硬化レジス
ト壁２Ｈに積層する。その後、治具などで上記基板１、
硬化レジスト壁２Ｈ及び振動板５を密着させた後、図１
と同様に、光源４によって露光し、硬化レジスト壁２Ｈ
と振動板５との間に塗布した上記液状感光性レジスト６
を硬化させる。この時、液状感光性レジスト６は、イン
ク流路を形成している硬化レジスト壁２Ｈ上面の細部ま
で浸透して硬化するため、接着剤としての効果を示し、
インク流路１０は、閉溝として形成される。この時、液
状感光性レジスト６の、はみ出しによる、インク流路の
つぶれをふせぐために、塗布レジスト層の膜厚は、１〜
２μ程度がよい。また、硬化レジスト壁２Ｈと振動板５
に塗布された液状感光性レジスト６の接着力および耐溶
剤性を向上させる目的で、これをさらに硬化させる。こ
の方法としては、熱重合（１３０℃〜１６０℃で１０分
〜６０分程度、加熱）させるか、紫外線照射（１０〜３
０ｊ／ｃｍ２）を行なうか、これら両者を併用するのが
良い。
【０００８】以上のようにして、図４に示されるように
、光硬化ドライフィルムによりインク流路１０を閉溝と
し、且つ、上記振動板５上のインク流路に対応した部分
に、圧電素子などのエネルギー発生体７を周知の方法で
設置することにより、ヘッド駆動部が形成される。
、光硬化ドライフィルムによりインク流路１０を閉溝と
し、且つ、上記振動板５上のインク流路に対応した部分
に、圧電素子などのエネルギー発生体７を周知の方法で
設置することにより、ヘッド駆動部が形成される。
【０００９】図５は、本発明における第２実施例を示す
図である。前実施例と同様に、基板１にドライフィルム
レジスト２をラミネートし、前記の方法で、インク流路
を形成する。その後、振動板５に上記ドライフィルムレ
ジスト２と同様の成分からなる液状感光性レジスト６を
塗布し、前記インク流路部に積層することにより、閉溝
を形成する。その後、前記振動板５上に、前記インク流
路パターン３Ｐを印刷したマスク３を積層し、そのマス
クを透過して光源４により、前記液状感光性レジスト６
のインク流路外の部分を硬化させる。その後、インク流
路１０に現象液を流すことにより、インク流路壁面の上
記液状感光性レジスト６を剥離する。このことにより、
図６に示されるように、インク流路１０の上下面が、基
板１及び振動板５面となり、基板１及び振動板５に、ガ
ラスなどの濡れのよい材質を用いることにより、インク
ジェットヘッドの駆動に悪影響をもたらすインク内の気
泡の排出性をよくすることが出来る。
図である。前実施例と同様に、基板１にドライフィルム
レジスト２をラミネートし、前記の方法で、インク流路
を形成する。その後、振動板５に上記ドライフィルムレ
ジスト２と同様の成分からなる液状感光性レジスト６を
塗布し、前記インク流路部に積層することにより、閉溝
を形成する。その後、前記振動板５上に、前記インク流
路パターン３Ｐを印刷したマスク３を積層し、そのマス
クを透過して光源４により、前記液状感光性レジスト６
のインク流路外の部分を硬化させる。その後、インク流
路１０に現象液を流すことにより、インク流路壁面の上
記液状感光性レジスト６を剥離する。このことにより、
図６に示されるように、インク流路１０の上下面が、基
板１及び振動板５面となり、基板１及び振動板５に、ガ
ラスなどの濡れのよい材質を用いることにより、インク
ジェットヘッドの駆動に悪影響をもたらすインク内の気
泡の排出性をよくすることが出来る。
【００１０】また、上記ドライフィルムレジスト２と振
動板５を接着する方法として、図７に示す第３実施例の
ように、液状感光性レジストの代わりに、インク流路を
形成しているドライフィルムレジスト２を振動板５に直
接ラミネートして、インク流路上に積層し、露光、硬化
させることにより、前記実施例と同様の効果が得られる
。
動板５を接着する方法として、図７に示す第３実施例の
ように、液状感光性レジストの代わりに、インク流路を
形成しているドライフィルムレジスト２を振動板５に直
接ラミネートして、インク流路上に積層し、露光、硬化
させることにより、前記実施例と同様の効果が得られる
。
【００１１】
【発明の効果】本発明の効果としては次の通り、列挙す
ることが出来る。
ることが出来る。
【００１２】（１）インク流路部と振動版との接合部が
、感光性フィルム及び同成分の感光性レジストの露光硬
化によりなされるので、接着剤のはみだしや流路のつぶ
れが小さくなる。また同成分同士の接合ため、接着強度
がアップする。
、感光性フィルム及び同成分の感光性レジストの露光硬
化によりなされるので、接着剤のはみだしや流路のつぶ
れが小さくなる。また同成分同士の接合ため、接着強度
がアップする。
【００１３】（２）振動板を接合後、接着層となるレジ
スト部分を、剥離除去することにより、インクに対する
インク流路面の濡れ性が向上し、気泡排出性がアップす
る。
スト部分を、剥離除去することにより、インクに対する
インク流路面の濡れ性が向上し、気泡排出性がアップす
る。
【００１４】（３）振動板の接着が容易で製作工程が比
較的少ないので、生産性が良好である。
較的少ないので、生産性が良好である。
【図１】本発明によるインクジェットヘッドの製造方法
の第１実施例を示す工程図。
の第１実施例を示す工程図。
【図２】本発明によるインクジェットヘッドの製造方法
の第１実施例を示す工程図。
の第１実施例を示す工程図。
【図３】本発明によるインクジェットヘッドの製造方法
の第１実施例を示す工程図。
の第１実施例を示す工程図。
【図４】本発明によるインクジェットヘッドの製造方法
の第１実施例を示す工程図。
の第１実施例を示す工程図。
【図５】本発明によるインクジェットヘッドの製造方法
の、第２実施例の要部の工程図。
の、第２実施例の要部の工程図。
【図６】本発明によるインクジェットヘッドの製造方法
の、第２実施例の要部の工程図。
の、第２実施例の要部の工程図。
【図７】本発明によるインクジェットヘッドの製造方法
の、第３実施例の要部の工程図。
の、第３実施例の要部の工程図。
１ 基板
２ ドライフィルムレジスト
３ フォトマスク
４ 光源
５ 振動板
６ 液状感光性レジスト
７ エネルギー発生体
Claims (3)
- 【請求項１】 基板上に感光性フィルムがラミネート
され、この感光性フィルムにインク通路となる溝が形成
され、この通路に覆いを積層して、閉溝を形成し、且つ
、その覆い上面に、上記インク流路に対応してインク吐
出圧発生素子を設置したインクジェットヘッドの製造方
法であって、上記覆いを積層する方法として、前記感光
性フィルムと同様の成分からなる液状感光性レジストを
上記覆いに塗布し、積層した後、露光硬化させ、閉溝を
形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造
方法。 - 【請求項２】 請求項１記載のインクジェットヘッド
の製造方法により形成した閉溝に現象液を流すことによ
り、インク流路壁面の上記液状感光性レジストを剥離す
ることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項３】 請求項１記載のインクジェットヘッド
における液状感光性レジストの塗布に代えて、閉溝を形
成する前記覆いに、インク流路壁を形成する感光性フィ
ルムと同様のフィルムをラミネートし、前記基板に積層
した後、露光硬化させ、閉溝を形成したことを特徴とす
るインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3030157A JPH04269551A (ja) | 1991-02-25 | 1991-02-25 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3030157A JPH04269551A (ja) | 1991-02-25 | 1991-02-25 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04269551A true JPH04269551A (ja) | 1992-09-25 |
Family
ID=12295923
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3030157A Pending JPH04269551A (ja) | 1991-02-25 | 1991-02-25 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04269551A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005324557A (ja) * | 2005-06-27 | 2005-11-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
-
1991
- 1991-02-25 JP JP3030157A patent/JPH04269551A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005324557A (ja) * | 2005-06-27 | 2005-11-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
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