JP2932877B2 - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット式プリ
ンタに用いるインクジェットヘッドの製造方法に関す
る。
ンタに用いるインクジェットヘッドの製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】独立して形成した各インク室内のインク
を選択的に加圧して、これをインク滴としてノズルから
飛翔させるようにしたいわゆるインクジェットプリンタ
において、そのヘッドを光硬化性樹脂を用いて成形する
方法については特公平２−４２６７０号公報に開示され
ている。この方法は、基板上にラミネートした光硬化性
樹脂に対し露光、現像処理を施してそこに所要のインク
室やインク流路を形成し、ついでその上に接着剤を介し
てノズルプレートを接合して一体化するようにしたもの
である。ところが、このようにインク室やインク流路を
設けた接合面に接着剤を均一に塗布することはきわめて
困難で、微細なインク流路内に接着剤がはみ出してイン
ク滴の吐出を不能となしたり、あるいは、接着剤の膜厚
が十分でない部分に接着強度の不足や、隣接するインク
室へ圧力のリークが生じるといった問題が生じる。
を選択的に加圧して、これをインク滴としてノズルから
飛翔させるようにしたいわゆるインクジェットプリンタ
において、そのヘッドを光硬化性樹脂を用いて成形する
方法については特公平２−４２６７０号公報に開示され
ている。この方法は、基板上にラミネートした光硬化性
樹脂に対し露光、現像処理を施してそこに所要のインク
室やインク流路を形成し、ついでその上に接着剤を介し
てノズルプレートを接合して一体化するようにしたもの
である。ところが、このようにインク室やインク流路を
設けた接合面に接着剤を均一に塗布することはきわめて
困難で、微細なインク流路内に接着剤がはみ出してイン
ク滴の吐出を不能となしたり、あるいは、接着剤の膜厚
が十分でない部分に接着強度の不足や、隣接するインク
室へ圧力のリークが生じるといった問題が生じる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、
光硬化性樹脂を１次露光により半硬化状態にしてその部
分を接着用に、さらにその一部を２次露光により硬化さ
せて補強用とすることにより、接着剤を使用することな
く微細な流路等を正確に成形するようにした新たなイン
クジェットヘッドの製造方法を提供することにある。
題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、
光硬化性樹脂を１次露光により半硬化状態にしてその部
分を接着用に、さらにその一部を２次露光により硬化さ
せて補強用とすることにより、接着剤を使用することな
く微細な流路等を正確に成形するようにした新たなイン
クジェットヘッドの製造方法を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明はこの
ような課題を達成するためのインクジェットヘッドの製
造方法として、基板上にラミネートした光硬化性樹脂を
半硬化状態に露光し、ついで露光部以外の樹脂を除去し
て所要のインク室、インク流路を形成した上、接合面を
部分的に二次露光し、この硬化部分によりキャビティ形
成層を保形しつつ半硬化状態の光硬化性樹脂によってそ
の上に他方の基板を一体的に接合するようにしたもので
ある。
ような課題を達成するためのインクジェットヘッドの製
造方法として、基板上にラミネートした光硬化性樹脂を
半硬化状態に露光し、ついで露光部以外の樹脂を除去し
て所要のインク室、インク流路を形成した上、接合面を
部分的に二次露光し、この硬化部分によりキャビティ形
成層を保形しつつ半硬化状態の光硬化性樹脂によってそ
の上に他方の基板を一体的に接合するようにしたもので
ある。
【０００５】
【実施例】そこで以下に図示した実施例について説明す
る。図１、図２は、圧電式のインクジェットヘッドを構
成するキャビティ形成基板についての本発明の一実施例
をなす製造方法を示したものであり、また、図１４は、
この製造方法によって成形したキャビティ形成基板を有
するインクジェットヘッドを示したものである。
る。図１、図２は、圧電式のインクジェットヘッドを構
成するキャビティ形成基板についての本発明の一実施例
をなす製造方法を示したものであり、また、図１４は、
この製造方法によって成形したキャビティ形成基板を有
するインクジェットヘッドを示したものである。
【０００６】はじめに、図１４をもとにこの基板を用い
たインクジェットヘッドの概要について説明する。図中
符号１で示したキャビティ形成基板は、複数のノズル２
１を有するノズルプレート２と、共通のリザーバ部３１
及び個々のインク室３２を備えたキャビティ形成層３
と、インク室３２内のインクを加圧すべく弾性的に変形
する弾性板４とからなっていて、このキャビティ形成基
板１は、ヘッドフレーム６の頂面に位置決め接合されて
いる。
たインクジェットヘッドの概要について説明する。図中
符号１で示したキャビティ形成基板は、複数のノズル２
１を有するノズルプレート２と、共通のリザーバ部３１
及び個々のインク室３２を備えたキャビティ形成層３
と、インク室３２内のインクを加圧すべく弾性的に変形
する弾性板４とからなっていて、このキャビティ形成基
板１は、ヘッドフレーム６の頂面に位置決め接合されて
いる。
【０００７】他方、圧電振動子７は、基端を固定板８に
支持された状態で先端を弾性板４に接着され、一方固定
板８はヘッドフレーム６に固定され、固定板８上の配線
パターン８１及びリードフレーム８２を通じて加えられ
る交番電界により長手方向に伸縮して弾性板４を変形さ
せ、インク室３２内のインクに圧力を加えてこれをノズ
ル２１からインク滴として吐出させるように構成されて
いる。
支持された状態で先端を弾性板４に接着され、一方固定
板８はヘッドフレーム６に固定され、固定板８上の配線
パターン８１及びリードフレーム８２を通じて加えられ
る交番電界により長手方向に伸縮して弾性板４を変形さ
せ、インク室３２内のインクに圧力を加えてこれをノズ
ル２１からインク滴として吐出させるように構成されて
いる。
【０００８】つぎに、図１、図２に戻って上述したキャ
ビティ成形基板１の製造方法について説明する。図１
は、ノズルプレート２側のキャビティ形成層２３の製造
工程を示したもので、図１（ａ）に示したノズルプレー
ト２の内面、つまりキャビティ成形面に、例えばネガ型
感光性エポキシアクリレート系のドライフィルムフォト
レジスト５１を熱あるいは圧力を加えつつラミネートす
る（図１（ｂ））。このドライフィルムフォトレジスト
５１は流動性を有しないが、接着性を有しているためノ
ズルプレート２に多少の外力を加えることによって容易
に他部材に接着させることができる。
ビティ成形基板１の製造方法について説明する。図１
は、ノズルプレート２側のキャビティ形成層２３の製造
工程を示したもので、図１（ａ）に示したノズルプレー
ト２の内面、つまりキャビティ成形面に、例えばネガ型
感光性エポキシアクリレート系のドライフィルムフォト
レジスト５１を熱あるいは圧力を加えつつラミネートす
る（図１（ｂ））。このドライフィルムフォトレジスト
５１は流動性を有しないが、接着性を有しているためノ
ズルプレート２に多少の外力を加えることによって容易
に他部材に接着させることができる。
【０００９】ついで、ノズルプレート２上に形成した図
示しない位置合わせ用のパターンやノズル２１に合わせ
るようにしてこの上にフォトマスクＭ1 を位置させる。
このフォトマスクＭ1 は、図３に示したように、後に、
ノズル２１に通じる流路３３と、リザーバ部３１を形成
するような領域のパターンが予め不透明部分ａ、ｂとし
て形成されている。
示しない位置合わせ用のパターンやノズル２１に合わせ
るようにしてこの上にフォトマスクＭ1 を位置させる。
このフォトマスクＭ1 は、図３に示したように、後に、
ノズル２１に通じる流路３３と、リザーバ部３１を形成
するような領域のパターンが予め不透明部分ａ、ｂとし
て形成されている。
【００１０】このため、図１（ｃ）に示したように、こ
のフォトマスクＭ1 の上から硬化反応を起させるには不
充分な量の光、例えば９０ｍＪ／cm2 程度の光エネルギ
をドライフィルムフォトレジスト５１に平行光として照
射すると、不透明部分ａ、ｂに当るドライフィルムフォ
トレジスト５１の面には、ノズル２１に通じる流路３３
部分とリザーバ部３１が未露光部分５１Ａとして残り、
他の透明部分ｃ、つまりこれらの周囲の部分は、硬化反
応の中間状態、つまり、溶剤には不溶であるが接着性を
有するような半硬化部分５１Ｂとなる。
のフォトマスクＭ1 の上から硬化反応を起させるには不
充分な量の光、例えば９０ｍＪ／cm2 程度の光エネルギ
をドライフィルムフォトレジスト５１に平行光として照
射すると、不透明部分ａ、ｂに当るドライフィルムフォ
トレジスト５１の面には、ノズル２１に通じる流路３３
部分とリザーバ部３１が未露光部分５１Ａとして残り、
他の透明部分ｃ、つまりこれらの周囲の部分は、硬化反
応の中間状態、つまり、溶剤には不溶であるが接着性を
有するような半硬化部分５１Ｂとなる。
【００１１】したがって、このようなドライフィルムフ
ォトレジスト５１を順次積層しながら露光を繰返してゆ
くと、ノズルプレート２の表面は、未露光部分５１Ａ
と、半硬化部分５１Ｂとからなる所要厚さの積層体が形
成されるから（図３（ｄ））、つぎにトリクロルエタン
のような溶剤を用いてこれらのドライフィルムフォトレ
ジスト５１の積層体から未露光部分５１Ａを除去する
（図１（ｅ））。
ォトレジスト５１を順次積層しながら露光を繰返してゆ
くと、ノズルプレート２の表面は、未露光部分５１Ａ
と、半硬化部分５１Ｂとからなる所要厚さの積層体が形
成されるから（図３（ｄ））、つぎにトリクロルエタン
のような溶剤を用いてこれらのドライフィルムフォトレ
ジスト５１の積層体から未露光部分５１Ａを除去する
（図１（ｅ））。
【００１２】そしてこのつぎに、積層体の上にインク室
形成用のドライフィルムフォトレジスト５２を積層し、
その上にインク室３２に相当する領域を不透明となした
図示しないフォトマスクを載置して、上述したと同様の
露光を行った後、未露光部分５２Ａを除去してインク室
３２を形成する（図１（ｆ））。
形成用のドライフィルムフォトレジスト５２を積層し、
その上にインク室３２に相当する領域を不透明となした
図示しないフォトマスクを載置して、上述したと同様の
露光を行った後、未露光部分５２Ａを除去してインク室
３２を形成する（図１（ｆ））。
【００１３】そして最後に、半硬化状態のこのドライフ
ィルムフォトレジスト５１、５２の積層体に２次露光を
部分的に施してこの部分を硬化させる。この露光には、
図１（ｇ）に示したように、上記した未露光部分５１
Ａ、５２Ａを若干上回る程度の領域、つまりインク室３
２及びリザーバー部３１を若干上回る程度の領域を不透
明部ｄとなしたフォトマスクＭ3 を用い、この上から半
硬化状態のドライフィルムフォトレジスト５１Ｂ、５２
Ｂを硬化させるのに十分な量の光、例えば２Ｊ／cm2 程
度、好ましくは５Ｊ／cm2 の光エネルギを照射して、イ
ンク室３２、リザーバ部３１及びこれらの間を結ぶイン
ク供給部３４の各周縁部分を除いた残りの壁形成部分全
体を硬化部分５Ｃとなして（図３、図４）、接合時に加
圧力を加えてもキャビティ層３が変形しないようにす
る。
ィルムフォトレジスト５１、５２の積層体に２次露光を
部分的に施してこの部分を硬化させる。この露光には、
図１（ｇ）に示したように、上記した未露光部分５１
Ａ、５２Ａを若干上回る程度の領域、つまりインク室３
２及びリザーバー部３１を若干上回る程度の領域を不透
明部ｄとなしたフォトマスクＭ3 を用い、この上から半
硬化状態のドライフィルムフォトレジスト５１Ｂ、５２
Ｂを硬化させるのに十分な量の光、例えば２Ｊ／cm2 程
度、好ましくは５Ｊ／cm2 の光エネルギを照射して、イ
ンク室３２、リザーバ部３１及びこれらの間を結ぶイン
ク供給部３４の各周縁部分を除いた残りの壁形成部分全
体を硬化部分５Ｃとなして（図３、図４）、接合時に加
圧力を加えてもキャビティ層３が変形しないようにす
る。
【００１４】一方、弾性板４側に設けるキャビティ形成
層４３は図２に示した工程により成形される。この実施
例における弾性板４は、ニッケルの電鋳法により５μｍ
以下の厚みに形成された金属薄板が使用され、はじめに
この弾性板４の表面、つまり圧電振動子７の先端が接着
する側の面に、ドライフィルムフォトレジスト５９をラ
ミネートする。このドライフィルムフォトレジスト５９
は、ノズルプレート２側のドライフィルムフォトレジス
ト５１、５２と同種のものを用いるが、ドライフィルム
フォトレジストではなく、液状の感光性樹脂をスピナー
法やロールコーティング法でコーティングするようにし
たものでもよい。
層４３は図２に示した工程により成形される。この実施
例における弾性板４は、ニッケルの電鋳法により５μｍ
以下の厚みに形成された金属薄板が使用され、はじめに
この弾性板４の表面、つまり圧電振動子７の先端が接着
する側の面に、ドライフィルムフォトレジスト５９をラ
ミネートする。このドライフィルムフォトレジスト５９
は、ノズルプレート２側のドライフィルムフォトレジス
ト５１、５２と同種のものを用いるが、ドライフィルム
フォトレジストではなく、液状の感光性樹脂をスピナー
法やロールコーティング法でコーティングするようにし
たものでもよい。
【００１５】ついで、この上にフォトマスクを置いて露
光し、現像処理を行って図２（ｃ）に見られるような所
要の絶縁層４２を形成する。ここで使用するフォトマス
クは図示を省略しているが、インク室３２より若干狭
く、かつ圧電振動子６の断面形より若干広いリング状の
不透明部を有しており、したがって、露光後の現像処理
によってこのリング状の未露光部分を除去した弾性板４
の表面には、リング状の薄肉部４３を介して中心に圧電
振動子７と接する島状の厚肉部４４が形成される。
光し、現像処理を行って図２（ｃ）に見られるような所
要の絶縁層４２を形成する。ここで使用するフォトマス
クは図示を省略しているが、インク室３２より若干狭
く、かつ圧電振動子６の断面形より若干広いリング状の
不透明部を有しており、したがって、露光後の現像処理
によってこのリング状の未露光部分を除去した弾性板４
の表面には、リング状の薄肉部４３を介して中心に圧電
振動子７と接する島状の厚肉部４４が形成される。
【００１６】つぎに、この弾性板４を反転させてその裏
面側に、ノズルプレート２に設けたドライフィルムフォ
トレジスト５１、５２と同種のドライフィルムフォトレ
ジスト５５をラミネートする。そして図２（ｄ）に示し
たように、その上に、インク室３２、リザーバ部３１及
びインク供給部３４を形成する領域の不透明部ｆを設け
たフォトマスクＭ5 を位置させ、そこにドライフィルム
フォトレジスト５５を硬化させるに十分な量のエネル
ギ、つまり５Ｊ／cm2 程度のエネルギの光を照射して、
これらの周囲のドライフィルムフォトレジスト５５を硬
化部５５Ｂとなす。
面側に、ノズルプレート２に設けたドライフィルムフォ
トレジスト５１、５２と同種のドライフィルムフォトレ
ジスト５５をラミネートする。そして図２（ｄ）に示し
たように、その上に、インク室３２、リザーバ部３１及
びインク供給部３４を形成する領域の不透明部ｆを設け
たフォトマスクＭ5 を位置させ、そこにドライフィルム
フォトレジスト５５を硬化させるに十分な量のエネル
ギ、つまり５Ｊ／cm2 程度のエネルギの光を照射して、
これらの周囲のドライフィルムフォトレジスト５５を硬
化部５５Ｂとなす。
【００１７】そして、未露光部分５５Ａのドライフィル
ムフォトレジスト５５を溶剤により除去した上（図２
（ｅ））、さらにその上にドライフィルムフォトレジス
ト５６をラミネートし、そこに、インク供給部３４を除
いてインク室３２とリザーバ部３１を不透明部となした
図示しないフォトマスクを用いて露光し、現像して（図
２（ｆ））、最後に、このドライフィルムフォトレジス
ト５５、５６全体に２次露光及び加熱処理を施してこれ
らを硬化する。
ムフォトレジスト５５を溶剤により除去した上（図２
（ｅ））、さらにその上にドライフィルムフォトレジス
ト５６をラミネートし、そこに、インク供給部３４を除
いてインク室３２とリザーバ部３１を不透明部となした
図示しないフォトマスクを用いて露光し、現像して（図
２（ｆ））、最後に、このドライフィルムフォトレジス
ト５５、５６全体に２次露光及び加熱処理を施してこれ
らを硬化する。
【００１８】そして、上述した各工程を経て成形された
ノズルプレート２側のキャビティ形成層２３と弾性板４
側のキャビティ形成層４３を加圧接合すると、図３に示
したように、ノズルプレート２側のキャビティ形成層２
３は、２次露光により硬化したインク室周縁の硬化部分
５Ｃにより変形することなく、かつ半硬化部分５Ｂが弾
性板４側のキャビティ形成層４３の面に接着して、両者
は一体的に接合する。
ノズルプレート２側のキャビティ形成層２３と弾性板４
側のキャビティ形成層４３を加圧接合すると、図３に示
したように、ノズルプレート２側のキャビティ形成層２
３は、２次露光により硬化したインク室周縁の硬化部分
５Ｃにより変形することなく、かつ半硬化部分５Ｂが弾
性板４側のキャビティ形成層４３の面に接着して、両者
は一体的に接合する。
【００１９】この実施例は、ノズルプレート２側のキャ
ビティ形成層２３のうち、インク室３２の周縁近傍を２
次露光することなく残して、弾性板４側のキャビティ形
成層４３と接着させるようにしたものであるが、ノズル
を高密度で配設すべく隣接するインク室３２の間隙を狭
くしていった場合には、図５に示したように、リザーバ
部３１周囲の比較的広い接合部分３５や、高い形状精度
が要求されるインク供給部３４等の近傍にスポット状の
２次露光を施して、ここに柱状の硬化部分５Ｃを形成
し、この硬化部分５Ｃを利用してインク室５２等の変形
を防ぐようにする。
ビティ形成層２３のうち、インク室３２の周縁近傍を２
次露光することなく残して、弾性板４側のキャビティ形
成層４３と接着させるようにしたものであるが、ノズル
を高密度で配設すべく隣接するインク室３２の間隙を狭
くしていった場合には、図５に示したように、リザーバ
部３１周囲の比較的広い接合部分３５や、高い形状精度
が要求されるインク供給部３４等の近傍にスポット状の
２次露光を施して、ここに柱状の硬化部分５Ｃを形成
し、この硬化部分５Ｃを利用してインク室５２等の変形
を防ぐようにする。
【００２０】また、この図にも示されているように、こ
の実施例では、特にノズルプレート２及び弾性板４上に
形成するキャビティ形成層２３、４３のうち、リザーバ
部３１を囲撓する広い接合部分３５、特にインクジェッ
トヘッドとしての機能に影響を及ぼさない部分に肉抜き
部３６を形成して、接合面の面積が部分的に不均一にな
らないようにしたものである。このようにすることによ
り、半硬化部分５Ｂの柔軟なドライフィルムフォトレジ
スト５が部分的に不均一に作用してノズルプレート２や
弾性板４に撓みを生じさせたり、あるいは接合の際の加
熱の不均一による剥離を生じさせたりする不都合が回避
される。
の実施例では、特にノズルプレート２及び弾性板４上に
形成するキャビティ形成層２３、４３のうち、リザーバ
部３１を囲撓する広い接合部分３５、特にインクジェッ
トヘッドとしての機能に影響を及ぼさない部分に肉抜き
部３６を形成して、接合面の面積が部分的に不均一にな
らないようにしたものである。このようにすることによ
り、半硬化部分５Ｂの柔軟なドライフィルムフォトレジ
スト５が部分的に不均一に作用してノズルプレート２や
弾性板４に撓みを生じさせたり、あるいは接合の際の加
熱の不均一による剥離を生じさせたりする不都合が回避
される。
【００２１】また図６に示したように、ノズル２１の軸
線を基板１の面と平行に設けるようにした、いわゆるエ
ッジイジェクトタイプのキャビティ形成基板を形成する
場合には、ノズル２１及びインク供給部３４の側壁部分
３７と、その近傍を２次露光するようにする。
線を基板１の面と平行に設けるようにした、いわゆるエ
ッジイジェクトタイプのキャビティ形成基板を形成する
場合には、ノズル２１及びインク供給部３４の側壁部分
３７と、その近傍を２次露光するようにする。
【００２２】さらに、図７に示したようなキャビティ形
成基板の場合、つまり、両端に位置するリザーバ部３１
から絞りを設けないインク供給路３４を介してインク室
３２にインクを供給するようにした形式のキャビティ形
成基板１を形成するには、はじめに、弾性板４側にイン
ク室３２を区画する壁部３７を未硬化状態に形成し、つ
いで、その壁部３７にスポット状の２次露光を施して柱
状の硬化部５Ｃを形成した後、この上に図示しないノズ
ルプレートを載置して半硬化部分５Ｂにより接合して加
熱硬化させる。
成基板の場合、つまり、両端に位置するリザーバ部３１
から絞りを設けないインク供給路３４を介してインク室
３２にインクを供給するようにした形式のキャビティ形
成基板１を形成するには、はじめに、弾性板４側にイン
ク室３２を区画する壁部３７を未硬化状態に形成し、つ
いで、その壁部３７にスポット状の２次露光を施して柱
状の硬化部５Ｃを形成した後、この上に図示しないノズ
ルプレートを載置して半硬化部分５Ｂにより接合して加
熱硬化させる。
【００２３】さらに、図８に示したような発熱素子３８
を備えたキャビティ形成基体１の場合には、発熱素子３
８を取付けたガラスやシリコン等からなる基板の上に、
半硬化状態のインク室３２とノズル２１を形成し、つい
で、インク室３２の近傍を除く側壁部分３７を２次露光
して硬化させるようにする。
を備えたキャビティ形成基体１の場合には、発熱素子３
８を取付けたガラスやシリコン等からなる基板の上に、
半硬化状態のインク室３２とノズル２１を形成し、つい
で、インク室３２の近傍を除く側壁部分３７を２次露光
して硬化させるようにする。
【００２４】ところで、図９は本発明の第２の実施例を
示したもので、特に、ノズルプレート２上に形成した半
硬化部分５Ｂのドライフィルムフォトレジスト５１、５
２層に対して加える２次露光工程について示したもので
ある。この実施例における製造工程中（ａ）〜（ｆ）に
ついての工程、つまり、ノズルプレート２上にドライフ
ィルムフォトレジスト５１、５２をラミネートし、つい
で硬化反応し得ない程度の露光を施してと現像する工程
を繰返してインク室３２、リザーバ部３１及び流路３３
等を形成する各工程については、すでに図１で述べた工
程と同じであるので省略する。
示したもので、特に、ノズルプレート２上に形成した半
硬化部分５Ｂのドライフィルムフォトレジスト５１、５
２層に対して加える２次露光工程について示したもので
ある。この実施例における製造工程中（ａ）〜（ｆ）に
ついての工程、つまり、ノズルプレート２上にドライフ
ィルムフォトレジスト５１、５２をラミネートし、つい
で硬化反応し得ない程度の露光を施してと現像する工程
を繰返してインク室３２、リザーバ部３１及び流路３３
等を形成する各工程については、すでに図１で述べた工
程と同じであるので省略する。
【００２５】そして、このようにして形成されたドライ
フィルムフォトレジスト５１、５２層のうちの半硬化部
分５Ｂに対して、つぎに部分的硬化処理としての２次露
光を行うが、これに使用するフォトマスクＭ6 は、図９
（ｇ）に示したように、インク室３２よりも１回り大き
な透明部分ｆを除いてその他を不透明部分ｇとして形成
し、これをドライフィルムフォトレジスト５１、５２層
の上に位置させて、そこに、硬化させるのに十分な量の
エネルギ、２Ｊ／cm2 乃至５Ｊ／cm2 のエネルギの平行
光を照射する。これにより、ノズルプレート２上のドラ
イフィルムフォトレジスト５１、５２層は、図１０に示
したように、インク室３２及びインク供給部３４を囲む
壁部分３９のみが硬化部５Ｃとして形成される。
フィルムフォトレジスト５１、５２層のうちの半硬化部
分５Ｂに対して、つぎに部分的硬化処理としての２次露
光を行うが、これに使用するフォトマスクＭ6 は、図９
（ｇ）に示したように、インク室３２よりも１回り大き
な透明部分ｆを除いてその他を不透明部分ｇとして形成
し、これをドライフィルムフォトレジスト５１、５２層
の上に位置させて、そこに、硬化させるのに十分な量の
エネルギ、２Ｊ／cm2 乃至５Ｊ／cm2 のエネルギの平行
光を照射する。これにより、ノズルプレート２上のドラ
イフィルムフォトレジスト５１、５２層は、図１０に示
したように、インク室３２及びインク供給部３４を囲む
壁部分３９のみが硬化部５Ｃとして形成される。
【００２６】したがって、このキャビティ形成層２３と
図示しない弾性板４上のキャビティ形成層４３とを加圧
接合すると、壁部分３９によってインク室３２及びイン
ク供給部３４の周囲を保形しつつ、その他の半硬化部分
５Ｂが有する接着力によって両層２３、４３は接着され
るから、最後に加熱硬化処理を加えて全体を接合一体と
する。
図示しない弾性板４上のキャビティ形成層４３とを加圧
接合すると、壁部分３９によってインク室３２及びイン
ク供給部３４の周囲を保形しつつ、その他の半硬化部分
５Ｂが有する接着力によって両層２３、４３は接着され
るから、最後に加熱硬化処理を加えて全体を接合一体と
する。
【００２７】図１１は、上述した製造方法をもって特に
高い形状精度が要求されるインク供給部３４の側壁部分
３９を２次露光することにより、この部分を硬化部分５
Ｃとなして変形を抑えるようにしたものである。
高い形状精度が要求されるインク供給部３４の側壁部分
３９を２次露光することにより、この部分を硬化部分５
Ｃとなして変形を抑えるようにしたものである。
【００２８】図１２は、上述した製造方法をもってイン
ク室３２及びインク供給部３４の周囲に歯車状の硬化部
分５Ｃを形成して、これらの壁部分の強度をさらに高め
るようにしたものである。
ク室３２及びインク供給部３４の周囲に歯車状の硬化部
分５Ｃを形成して、これらの壁部分の強度をさらに高め
るようにしたものである。
【００２９】さらに、図１３に示したようなキャビティ
形成基体１、つまり両端に位置するリザーバ部３１から
絞り部を有しないインク供給部３４を介してインク室３
２にインクを供給するようにした型式のキャビティ形成
基体１に対しては、各インク供給部３４及びインク室３
２を区画する壁部３７を囲むようにしてその周囲を上記
した製造方法をもって硬化処理するようにしたものであ
る。
形成基体１、つまり両端に位置するリザーバ部３１から
絞り部を有しないインク供給部３４を介してインク室３
２にインクを供給するようにした型式のキャビティ形成
基体１に対しては、各インク供給部３４及びインク室３
２を区画する壁部３７を囲むようにしてその周囲を上記
した製造方法をもって硬化処理するようにしたものであ
る。
【００３０】またさらに、この実施例は、ノズルの軸線
を基板１の面に平行に設けるいわゆるエッジイジェクト
タイプのキャビティ形成基板１、あるいはノズルの直前
の流路に発熱素子を配設したいわゆるバブル型式のキャ
ビティ形成基板に対しても、インク室及びノズルの側壁
部を２次露出によって硬化処理することができる。
を基板１の面に平行に設けるいわゆるエッジイジェクト
タイプのキャビティ形成基板１、あるいはノズルの直前
の流路に発熱素子を配設したいわゆるバブル型式のキャ
ビティ形成基板に対しても、インク室及びノズルの側壁
部を２次露出によって硬化処理することができる。
【００３１】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、基板
上の光硬化性樹脂を半硬化状態に露光し露光部以外の樹
脂を除去して所要のインク室、インク流路を形成した
上、接合面を部分的に二次露光し硬化させるようにした
ので、硬化部分によってインク室、インク流路を保形し
つつ、半硬化部分によって他の部材と接着することを可
能となして、この種のインクジェットヘッドの製造工程
を著しく簡素化することができるとともに、接着剤等に
よる流路の詰りのない良好な製品を提供することができ
る。
上の光硬化性樹脂を半硬化状態に露光し露光部以外の樹
脂を除去して所要のインク室、インク流路を形成した
上、接合面を部分的に二次露光し硬化させるようにした
ので、硬化部分によってインク室、インク流路を保形し
つつ、半硬化部分によって他の部材と接着することを可
能となして、この種のインクジェットヘッドの製造工程
を著しく簡素化することができるとともに、接着剤等に
よる流路の詰りのない良好な製品を提供することができ
る。
【図１】ノズルプレート側キャビティ形成層の成形工程
を示したものである。
を示したものである。
【図２】弾性板側キャビティ形成層の成形工程を示した
図である。
図である。
【図３】接合一体化したキャビティ形成基板を示した断
面図である。
面図である。
【図４】接合面の一部を拡大して示した平面図である。
【図５】接合面の全体を示した平面図である。
【図６】他の型式のインクジェットヘッドの接合面の一
部を拡大して示した平面図である。
部を拡大して示した平面図である。
【図７】さらに別の型式のインクジェットヘッドの接合
面の一部を拡大して示した斜視図である。
面の一部を拡大して示した斜視図である。
【図８】またさらに別の型式のインクジェットヘッドの
接合面の一部を拡大して示した平面図である。
接合面の一部を拡大して示した平面図である。
【図９】本発明の他の実施例をなす成形工程の一部を示
した図である。
した図である。
【図１０】この工程によって得られた接合面の一部を拡
大して示した平面図である。
大して示した平面図である。
【図１１】他の型式のインクジェットヘッドの接合面の
一部を拡大して示した平面図である。
一部を拡大して示した平面図である。
【図１２】さらに別の型式のインクジェットヘッドの接
合面の一部を拡大して示した平面図である。
合面の一部を拡大して示した平面図である。
【図１３】またさらに別の型式のインクジェットヘッド
の接合面の一部を拡大して示した斜視図である。
の接合面の一部を拡大して示した斜視図である。
【図１４】本発明方法により形成したキャビティ型式基
板を有するインクジェットヘッドの一例を示した図であ
る。
板を有するインクジェットヘッドの一例を示した図であ
る。
１ キャビティ形成基板 ２ ノズルプレート ３ キャビティ形成層 ３１ リザーバー部 ３２ インク室 ４ 弾性板 ５１、５２、５９ ドライフィルムフォトレジスト Ａ 未露光部 Ｂ 半硬化部 Ｃ 硬化部 Ｍ フォトマスク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 碓井 稔 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイ コ−エプソン株式会社内 (72)発明者 中村 修 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイ コ−エプソン株式会社内 (56)参考文献 特公 昭61−23832（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B41J 2/16
Claims (7)
- 【請求項１】 少なくとも一方の基板上に光硬化性樹脂
をラミネートする工程と、インクの吐出に必要なキャビ
ティ部分以外の部分を、上記樹脂が硬化反応の中間状態
となるようなエネルギの光によって露光し、ついで該露
光部以外の上記樹脂を除去する工程と、上記工程により
半硬化状態となった上記樹脂の一部を硬化に必要なエネ
ルギの光により二次露光して該部分の樹脂を硬化させる
工程と、上記各工程により成形した接合面に他方の基板
を接合して一体化する工程とよりなるインクジェットヘ
ッドの製造方法。 - 【請求項２】 キャビティ形成面に部分的な面積の不均
一が生じることのないようなパターンの遮光部をもって
上記樹脂を露光し、ついで該露光部以外の上記樹脂を除
去することを特徴とする請求項１記載のインクジェット
ヘッドの製造方法。 - 【請求項３】 少なくともインク流路近傍を除く周縁部
分を上記樹脂を硬化させるのに必要なエネルギの光によ
り二次露光して、半硬化状態の該当部分を硬化させるこ
とを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの
製造方法。 - 【請求項４】 少なくともインク流路の周縁部分を上記
樹脂を硬化させるのに必要なエネルギの光により二次露
光して、半硬化状態の該当部分を硬化させることを特徴
とする請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方
法。 - 【請求項５】 少なくともインク流路の周縁部分を上記
樹脂を硬化させるのに必要なエネルギの光により二次露
光して、半硬化状態の該当部分を歯車状に硬化させるこ
とを特徴とする請求項１または４記載のインクジェット
ヘッドの製造方法。 - 【請求項６】 インクリザーバ部とインク室を結ぶイン
ク供給部の周縁部分を上記樹脂を硬化させるのに必要な
エネルギの光により二次露光して、半硬化状態の該当部
分を硬化させることを特徴とする請求項１または４記載
のインクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項７】 インク流路を区画する壁部分の周囲を上
記樹脂を硬化させるのに必要なエネルギの光により二次
露光して、半硬化状態の該当部分を硬化させることを特
徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方
法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4359275A JP2932877B2 (ja) | 1992-02-06 | 1992-12-25 | インクジェットヘッドの製造方法 |
| US08/011,152 US5375326A (en) | 1992-02-06 | 1993-01-29 | Method of manufacturing ink jet head |
| DE69320383T DE69320383T2 (de) | 1992-02-06 | 1993-02-08 | Tintenstrahlkopfherstellungsverfahren |
| EP93101938A EP0554912B1 (en) | 1992-02-06 | 1993-02-08 | Method of manufacturing ink jet head |
| HK98110680A HK1009947A1 (en) | 1992-02-06 | 1998-09-17 | Method of manufacturing ink jet head |
Applications Claiming Priority (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2129892 | 1992-02-06 | ||
| JP2129692 | 1992-02-06 | ||
| JP14577392 | 1992-06-05 | ||
| JP4-145773 | 1992-06-05 | ||
| JP4-21298 | 1992-06-05 | ||
| JP4-21296 | 1992-06-05 | ||
| JP4359275A JP2932877B2 (ja) | 1992-02-06 | 1992-12-25 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0647918A JPH0647918A (ja) | 1994-02-22 |
| JP2932877B2 true JP2932877B2 (ja) | 1999-08-09 |
Family
ID=27457556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4359275A Expired - Fee Related JP2932877B2 (ja) | 1992-02-06 | 1992-12-25 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5375326A (ja) |
| EP (1) | EP0554912B1 (ja) |
| JP (1) | JP2932877B2 (ja) |
| DE (1) | DE69320383T2 (ja) |
| HK (1) | HK1009947A1 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| JP3147132B2 (ja) * | 1992-03-03 | 2001-03-19 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録ヘッド、インクジェット記録ヘッド用振動板、及びインクジェット記録ヘッド用振動板の製造方法 |
| JP3415260B2 (ja) * | 1993-05-12 | 2003-06-09 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録ヘッド及びその製造法 |
| GB2288766B (en) * | 1994-04-26 | 1997-11-12 | Seiko Epson Corp | Ink jet recording head and manufacturing method suitable for the ink jet recording head |
| ATE220005T1 (de) * | 1994-10-31 | 2002-07-15 | Canon Kk | Verfahren zur herstellung eines tintenstrahlkopfes, mit diesem verfahren hergestellter tintenstrahldruckkopf und tintenstrahlvorrichtung mit diesem druckkopf |
| JP3570447B2 (ja) * | 1994-12-21 | 2004-09-29 | セイコーエプソン株式会社 | 積層型インクジェット式記録ヘッド、及びその製造方法、及び記録装置 |
| JP3679863B2 (ja) * | 1995-06-12 | 2005-08-03 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド |
| US6729002B1 (en) | 1995-09-05 | 2004-05-04 | Seiko Epson Corporation | Method of producing an ink jet recording head |
| DE69625296T2 (de) | 1995-09-05 | 2003-07-17 | Seiko Epson Corp | Tintenstrahlaufzeichnungskopf und sein Herstellungsverfahren |
| JPH11138819A (ja) * | 1997-11-11 | 1999-05-25 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドとその製造方法、及び該インクジェット記録ヘッドを備えてなるインクジェット記録装置 |
| US6303274B1 (en) * | 1998-03-02 | 2001-10-16 | Hewlett-Packard Company | Ink chamber and orifice shape variations in an ink-jet orifice plate |
| JP3389986B2 (ja) * | 1999-01-12 | 2003-03-24 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録ヘッド |
| US6294317B1 (en) | 1999-07-14 | 2001-09-25 | Xerox Corporation | Patterned photoresist structures having features with high aspect ratios and method of forming such structures |
| US6612032B1 (en) | 2000-01-31 | 2003-09-02 | Lexmark International, Inc. | Manufacturing method for ink jet pen |
| US6488367B1 (en) * | 2000-03-14 | 2002-12-03 | Eastman Kodak Company | Electroformed metal diaphragm |
| US20030127183A1 (en) * | 2000-07-17 | 2003-07-10 | Saldanha Singh Jeanne Marie | Method and apparatus for adhesively securing ink jet pen components using thin film adhesives |
| US6684504B2 (en) * | 2001-04-09 | 2004-02-03 | Lexmark International, Inc. | Method of manufacturing an imageable support matrix for printhead nozzle plates |
| US20050130075A1 (en) * | 2003-12-12 | 2005-06-16 | Mohammed Shaarawi | Method for making fluid emitter orifice |
| US20060146091A1 (en) * | 2004-12-30 | 2006-07-06 | Bertelsen Craig M | Methods for reducing deformations of films in micro-fluid ejection devices |
| US7585616B2 (en) * | 2005-01-31 | 2009-09-08 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method for making fluid emitter orifice |
| JP6305036B2 (ja) * | 2013-11-29 | 2018-04-04 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド |
| CN107414421B (zh) * | 2017-07-25 | 2018-12-04 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种易变形弹性结构的加工方法 |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE325370B (ja) * | 1967-03-06 | 1970-06-29 | Gambro Ab | |
| JPS57182449A (en) * | 1981-05-07 | 1982-11-10 | Fuji Xerox Co Ltd | Forming method of ink jet multinozzle |
| JPS58220756A (ja) * | 1982-06-18 | 1983-12-22 | Canon Inc | インクジエツト記録ヘツドの製造方法 |
| US4609427A (en) * | 1982-06-25 | 1986-09-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for producing ink jet recording head |
| JPS608953A (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-17 | Omron Tateisi Electronics Co | プログラム・アナライザ |
| JPS60183154A (ja) * | 1984-03-01 | 1985-09-18 | Canon Inc | インクジエツト記録ヘツド |
| JPS6123832A (ja) * | 1984-07-10 | 1986-02-01 | Nissan Motor Co Ltd | 分配型燃料噴射ポンプ |
| JP2611981B2 (ja) * | 1987-02-04 | 1997-05-21 | キヤノン株式会社 | インクジエツト記録ヘツド用基板及びインクジエツト記録ヘツド |
| JPS63197652A (ja) * | 1987-02-13 | 1988-08-16 | Canon Inc | インクジエツト記録ヘツドおよびその製造方法 |
| JPS63202455A (ja) * | 1987-02-17 | 1988-08-22 | Alps Electric Co Ltd | インクジエツトヘツドおよびその製造方法 |
| JPH066374B2 (ja) * | 1987-05-27 | 1994-01-26 | 株式会社トーキン | 積層形圧電変位素子 |
| JPH0224220A (ja) * | 1988-07-12 | 1990-01-26 | Sanden Corp | 自動車用空気調和装置 |
| JPH0242670A (ja) * | 1988-08-02 | 1990-02-13 | Sharp Corp | 磁気記録再生装置 |
| DE69012096T2 (de) * | 1990-03-22 | 1995-01-12 | Canon Kk | Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf und Aufzeichnungsgerät, versehen mit diesem Kopf. |
| JP2830449B2 (ja) * | 1990-10-23 | 1998-12-02 | 富士ゼロックス株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| JPH04191053A (ja) * | 1990-11-27 | 1992-07-09 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘッドの製造方法 |
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