JPH04191053A - 液体噴射記録ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、インクジェット記録方式に用いる記録液小滴
を発生させるための液体噴射記録ヘッドの製造方法に関
する。

〔従来の技術〕

インクジェット記録方式（液体噴射記録方式）に適用さ
れる液体噴射記録ヘッドは、一般に、微細な記録液吐出
口（以下、オリフィスと呼ぶ）、液流路、及び該液流路
の一部に設けられる液体吐出エネルギー発生部とを備え
ている。従東　このような液体噴射記録ヘッドを作製す
る方法として、例えば、ガラスや金属等の板を用い、該
板に切削や、エツチング等の加工手段によって、微細な
溝を形成した後、該溝を形成した板を他の適当な板と接
合して、液流路の形成を行う方法が知られている。

しかしながら、斯かる従来法によって製造される液体噴
射記録ヘッドでは、切削加工される液流路内壁面の荒れ
が太きすぎたり、エツチング率の差から液流路に歪が生
じたりして、液路抵抗の一定した液流路が得難く、製作
後の液体噴射記録ヘッドの記録液吐出特性にバラツキが
出易いといった問題があっｆ、　　また、切削加工の際
に、板の欠けや、割れが生じ易く、製造歩留まりが悪い
という欠点もあった　また、エツチング加工を行う場合
（戴　製造工程が多く、製造コストの上昇を招くという
不利もあった　更には、上記従来法に共通する欠点とし
て、液流路を形成した溝付き板と、記録液小滴を吐出さ
せるための吐出エネルギーを発生する圧電素子や電気熱
変換体等の駆動素子が設けられた蓋板とを貼り合わせる
際に、これら板の位置合わせが困難であり、量産性に欠
けるといった問題もあった 特開昭５７−４３８７６号公報には、基板面に設けた感
光性組成物層に所定のパターン露光をなして硬化領域を
形成し　前記層から未硬化の組成物を除去することによ
り、前記基板面に液流路となる溝を形成し、その後、溝
壁が形成された基板上に天井を構成する平板（天板）を
貼着して、液体噴射記録ヘッドを製造する方法が開示さ
れているが、基板と天板とを接合する際に、それらに、
そり、ねじれ等が生じていると、形成される管路として
の液流路の各部に寸法のバラツキが生じる問題があった
　この寸法のバラツキは記録液の液滴径、初速度、粒子
化効乳　応答周波数等の記録ヘッドとしての吐出特性の
不揃い等の原因となっていｆ、　　このような傾向は、
流路の数が増加し加えて、それらの寸法が／」１さくな
るにしたがって顕著となった 以上のような技術の欠点を改良した方法に、例えば、基
板上の液流路形成予定部位に固体層をパターン形成し、
更に活性エネルギー線硬化樹脂から成る液流路構成部材
をその固体層を覆うようにして積層し、次に天板をその
液流路構成部材の上面に重ねながら活性エネルギー線を
天板側から樹脂に照射することによって、その樹脂の硬
化及びその樹脂の天板との接着を行い、最終的に該固体
層を溶解等の手段にて除去することによって液流路を形
成するという工程を含む方法がある。

これらの方法においては、液流路の形状及び寸法があら
かじめ形成した固体層とほぼ同一になる。

したがってこの方法は、天板のねじ帳　そり等に影響さ
れず所望の形状及び寸法の液流路を得易いという点にお
いて、先に述べたような基板と天板とを単に接着するこ
とによって液流路を形成する方法よりも優れている。

しかしながら、上記の方法においても、前に述べた特開
昭５７−４３８７６号公報の方法と同様に、いまだ、天
板と基板を接合する工程が存在し製造上、コストアップ
の要因のひとつとして残る。

また、特に、天板自身がパターン化された加工がなされ
ている場合には、基板との接合位置精度が大きな問題と
して残る。更には、以上に述べた従来法の共通の欠点と
して、液流路となる溝部に天板等を接合する工程がある
。接合法として、主に接着剤等による接合法がとられる
ハ　その接合の信頼性が常に問題になってい島 〔発明が解決しようとしている課題〕 本発明は、上記問題点に鑑みなされたものであり、その
目的は、高速で、高精細の記録が可能な高密度で、特性
の揃った多数のオリフィスを有する信頼性の高い液体噴
射記録ヘッドの新規な製造方法を提供することにある。

特に、天板と、基板との接合工程を要しない噴射記録ヘ
ッドの新規な製造方法を提供することにある。

また、他の目的として、共通液室を作る等の天板部に、
パターン加工等が必要とされる場合にも、液流路加工と
、同一の工程で加工できる液体噴射記録ヘッドの新規な
製造方法を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の上記目的は、 液体を吐出する吐出口に連通ずる路となる空隙を有する
液体噴射記録ヘッドを製造するにあたり、（Ａ）前記吐
出口から液体を吐出するために利用されるエネルギーを
発生するエネルギー発生素子が設けられた基板上に、特
定の厚みを有する第一の感光性樹脂層を形成し、前記第
一の感光性樹脂層が感度を有する光を照射して露光し、
、該層において形成されるべき空隙予定部分を除く部分
を硬化させる工程、 （Ｂ）前記（Ａ）の工程において形成された第一の感光
性樹脂層上に、特定の厚みを有する第二の感光性樹脂層
を形成し、前記第二の感光性樹脂層が感度を有する光を
照射して露光し、、該層において形成されるべき空隙予
定部分を除く部分を硬化させる工程、 （Ｃ）前記（Ａ）、　　（Ｂ）の工程において未硬化の
感光性樹脂を除去し、前記空隙を形成する工程 とを含むことを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方
法により達成される。

本発明は、特にインクジェット記録方式の中でもバブル
ジェット方式の記録ヘッドの製造において優れた効果を
もたらすものである。

本発明によって製造できる記録ヘッドの代表的な構成や
原理については、例えば、米国特許第４゜７２３、１２
９号明細書、同４，７４０．７９６号明細書に開示され
ている基本的な原理を用いて行なうものが好ましい。こ
の方式は所謂オンデマンド型、コンティニュアス型のい
ずれにも適用可能であるが、特にオンデマンド型の場合
には、液体（インク）が保持されているシートや液路に
対応して配置されている電気熱変換体！、　　記録情報
に対応していて核沸騰を超える急速な温度上昇を与える
少なくとも一つの駆動信号を印加することによって、電
気熱変換体に熱エネルギーを発生せしめ、記録ヘッドの
熱作用面に膜沸騰させて、結果的にこの駆動信号に一対
一に対応し、液体（インク）内の気泡を形成できるので
有効である。この気泡の成長、収縮により吐出用開口を
介して液体（インク）を吐出させて、少なくとも一つの
滴を形成する。この駆動信号をパルス形状とすると、即
時適切に気泡の成長、収縮が行なわれるので、特に応答
性に優れた液体（インク）の吐出が達成でき、より好ま
しい。このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第
４．４６３．３５９号明細書、同４．３４５．２６２号
明細書に記載されているようなものが適している。なお
、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第
４，３１３．１２４号明細書に記載されている条件を採
用すると、更に優れた記録を行なうことができる。

記録ヘッドの構成としては、上述の各明細書に開示され
ているような吐出口、液路、電気熱変換体の組み合わせ
構成（直線状液流路または直角液流路）の他に熱作用部
が屈曲する領域に配置されている構成を開示する米国特
許第４．５５８．３３３号明細書、同４．４５９．６０
０号明細書に記載の構成も本発明に含まれるものである
。加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通するスリ
ットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示する特開
昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギーの圧力波を
吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開示する特開
昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成の記録ヘッ
ドに対しても本発明は有効である。

更に、記録装置が記録できる最大記録媒体の幅に対応し
た長さを有するフルラインタイプの記録ヘッドとしては
、上述した明細亨に開示されているような複数記録ヘッ
ドの組み合わせによって、その長さを満たす構成や一体
的に形成された一個の記録ヘッドとしての構成のいずれ
でも良いカを本発明により製造される記録ヘッドは上述
した効果を一層有効に発揮することができる。

加えて、装置本体に装着されることで、装置本体との電
気的な接続や装置本体からのインクの供給が可能になる
交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘ
ッド自体に一体的に設けられたカートリッジタイプの記
録ヘッドを製造する場合にも本発明は有効である。

また、記録装置の構成として設けられる、記録ヘッドに
対しての回復手段、予備的な補助手段等を付加すること
は一層安定できるので好ましいものである。これらの具
体的に挙げれば、記録ヘッドに対してのキャッピング手
段、クリーニング手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱
変換体あるいはこれとは別の加熱素子、あるいはこれら
の組み合わせによる予備加熱手段、記録とは別の吐出を
行なう予備吐出モードを行なうことも安定した記録を行
なうために有効である。

更に記録装置の記録モードとしては、黒色等の主流色の
みの記録モードだけではなく、記録ヘッドを一体的に構
成するか、複数個の組み合わせによってでも良い八　異
なる色の複色カラーまたは、混色によるフルカラーの少
なくとも一つを備えた装置に使用できる記録ヘッドにも
本発明はきわめて有効である。

以上の説明においては、インクを液体として説明してい
るが、室温やそれ以下で固化するインクであって、室温
で軟化もしくは液体となるもの、あるいはインクジェッ
トにおいて一般的に行なわれている温度調整の温度範囲
である３０℃以上、７０℃以下の温度範囲で軟化もしく
は液体となるものでも良い。すなわち、使用記録信号付
与時にインクが液状をなすものであれば良い。加えて、
積極的に熱エネルギーによる昇温をインクの固形状態か
ら液体状態への懸装化のエネルギーとして使用せしめる
ことで防止するか、または、インクの蒸発防止を目的と
して放置状態で固化するインクを用いるかしていずれに
しても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイ
ンクが液化してインク液状として吐出するものや記録媒
体に到達する時点ではすでに固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーによって初めて液化する性質のインク
使用も本発明により得られる記録ヘッドには適用可能で
ある。このような場合、インクは特開昭５４−５６８４
７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載
されているような、多孔質シート四部または貫通孔に液
状または固形物として保持された状態で、電気熱変換体
に対して対向するような形態としても良い。本発明にお
いて得られる記録ヘッドにおいては、上述した各インク
に対して最も有効なもの１戯　上述した膜沸騰方式を実
行するものである。

以下本発明を図面を用いて具体的に説明する。

第１図は本発明によって製造されるラインプリンター用
液体の噴射記録ヘッドの装態様を示す斜視図である。こ
の液体噴射記録ヘッドは、多数の微細なオリフィス３、
液流路４、共通液室５を含む空隙また該液流路４に対応
する部分の基板１上に設けられる液体吐出エネルギー発
生素子（図示していない）を備え、これらのオリフィス
３から吐出される記録液によって記録を行うものである
。

共通液室５の上部に示した外部と連通する孔はインク供
給口６として用いられる。

この基板１には、例えば、ガラス、シリコン・ウェハー
等を用いることができ、液体吐出エネルギー発生素子に
は、例えば、圧電素子、発熱素子等を用いることができ
る。

なお、上記の液流路４、共通液室５は壁材２で囲まれた
構造であり、オリフィス３は、ヘッド外部に開口してい
る構造を有する。

以下、本発明による液体噴射記録ヘッドの製造法の概略
を順に説明するが、ここでは、感光性樹脂として、ネガ
タイプの液体レジストを用いた場合における液流路の形
成を例にして説明する。

第２図（１）は、基板１上に、吐出エネルギー発生素子
７を形成したときの断面を表わす模式図である。

第２図（２）は、吐出エネルギー発生素子７を形成した
基板１上に液体レジスト層８を所定の厚さに塗布したと
きの断面を表わす模式図である。

第２図（３）１）照射される紫外線レーザー光のビーム
９が基板上１上の液体レジスト層８表面に位置すること
を表わす断面の模式図である。

第２図（４ンは、紫外線レーザービーム９が液体レジス
ト層８の所定の領域に走査さ瓢　走査された領域の液体
レジストは硬化し　硬化部１０を形成し　走査されなか
った領域は硬化せず未硬化部１１となることを表わす断
面の模式図である。

第２図（５）は、第２図（４）の上に、新たに未露光の
液体レジスト層８を形成したことを表わす断面の模式図
である。

第２図（６）は、第２図（５）で形成された液体レジス
ト層８表面に、紫外線レーザービーム９が照射されてい
ることを示す断面の模式図である。

第２図（７）は、第２図（６）の液体レジスト層８が全
面露光されて新たな硬化部１０を形成したことを示す断
面の模式図である。

第２図（８）は、第２図（７）の状態の形成物にエツチ
ング処理（現像処理）が施さ粗　未硬化部１１が除去さ
れたことを示すものであり、除去部が空洞化され液流路
１２が形成されたことを示す断面の模式図である。

なお、第２図の（３）、　　（，６）の代わりに第３図
のように、紫外線レーザー光を移動しつつ照射すること
を要しないで、紫外線透過部１４と紫外線遮断部１５を
もつマスク１３を設け、上部より紫外線１６を照射させ
ることでも、同様な効果を得ることができる。

すなわち、本発明においては紫外線の照射方法として紫
外線レーザー光を移動しつつ照射する方法及びマスクを
介在させて紫外線を照射する方法が好ましく利用できる
。特に、パターン露光に対して、単純なパターンの場合
には、マスクを介在させる方法、また、複像　微細なパ
ターンの場合には、紫外線レーザーを用いるのが好まし
い。

また工程中、複雑なパターン及び、単純なパターンが混
在する場合には、これらふたつの方法を併用して使用す
るのが好ましい。同−作業内において同時に図のような
複数個のヘッドを第４図の液体レジスト層４５中に作製
することも可能である。

以上第２図においては液流路を例にとって説明したが、
その他、共通液室、オリフィスも同様な方法で形成する
ことができる。

上記においては紫外線を用いた例を示しており、紫外線
レーザーとして１戴　Ｈｅ−Ｃｄレーザー、またＨｅ−
Ｃｄ−Ａｒレーザーが好ましいが、これらに限定される
ものでなく、用いる感光性樹脂の特性に応じた波長強度
を有する光を使用することが可能である。また、マスク
については、通常用いられているフォト・マスク等を用
いるのが好ましく、また、光源は用いる感光性樹脂層の
感光域に関係するが、高圧水銀ランプ、メタルハライド
ランプ、ガリウムランプ、超高圧水銀ランプ、水銀キセ
ノンランプ等を用いることができる。

次に、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法に用いる
ことができるネガタイプ、また、ポジタイプの感光性樹
脂組成物について説明する。

ネがタイプの感光性組成物としては、通常のフォトリソ
グラフィーの分野において使用されるものを広く利用す
ることができる。例えば、ジアゾレジン、ｐ−ジアゾキ
ノン、更には例えば、ビニルモノマーと重合開始剤を使
用する光重合型フォトポリマー、ポリビニルシンナメー
ト等と増感剤を使用する二量化型フォトポリマー、ポリ
ビニルアルコールとジアゾ樹脂の混合物、４−グリシジ
ルエチレンオキシドとベンゾフェノンやグリシジルカル
コンとを共重合させたポリエーテル型フォトポリマー、
Ｎ、Ｎ−ジメチルメタクリルアミドと、例えば、アクリ
ルアミドベンゾフェノンとの兵員合本　不飽和ポリエス
テル系感光性樹脂、不飽和ウレタンオリゴマー系感光性
樹脂、三官能アクリルモノマーに光重合開始剤とポリマ
ーとを混合した感光性組成物、重クロム酸系フォトレジ
スト、ポリケイ皮酸ビニル系フォトレジスト、環化ゴム
−アジド系フォトレジスト等が挙げられるが、該材料が
、液流路を形成する壁材としての機能をもつ、液体噴射
記録ヘッドの構造材料とじて用いるには、特に光によっ
てカチオン重合を開始するエポキシ樹脂、光によってラ
ジカル重合できるアクリルエステル基をもったアクリル
オリゴマー漿　ポリチオールとポリエンを用いた光付加
重合型樹脂、不飽和シクロアセタール樹脂等を好ましく
用いることができる。

これらネガタイプの感光性組成物は、紫外線レーザービ
ームの焦点部で走査露光された領域が選択的に重合反応
を起こして硬化し　溶剤不溶性になる。他方、露光され
なかった領域は硬化せず、溶剤可溶性のまま残る。すな
わち、露光操作を経た後、有機溶１ｋ　　例えば、　ト
リクロルエタン中に浸漬して、未硬化（未重合）領域を
溶解除去すると、パターンに従った硬化領域部が残るこ
とになる。　（通常、現像工程処理または、エツチング
工程という。　） なお、ネガタイプの感光性組成物を用いる場合には、必
要に応じて、現イ象処理後に、基板上に残された硬化領
域部の耐溶剤性を向上させる目的で、前記硬化領域部を
更に、硬化を進めることが望ましい。硬化促進の方法と
しては、熱重合（１３０℃〜１６０℃で１０〜６０分程
度加熱処理）を起こさせるか、又は、紫外線を全面照射
するが、又はこれら両者の併用が好ましく用いることが
できる。

また、ポジタイプの感光性組成物も同様に用いることが
できる。代表的なものとしては、０−ナフトキノンジア
ジド化合物とノボラック樹脂を主たる成分とするものが
ある。更に、市販されているもので、具体的には、東京
応化工業■製の”０ＦＰＲ−２”、　　”０ＦＰＲ−８
００″’、　　”０ＦＰＲ−５０００シリーズ°゛。

ヘキスト社の”ＡＺ　４６２０Ａ″゛、’ＡＺ　１３０
０ＳＦＤシリーズ°゛、”ＡＺ　１５００シリーズ″等
がある。

なお、感光性組成物として、液状のものを利用したが、
本発明では、これのみに限るものでなくドライフィルム
タイプ、つまり固体状のものも利用できる。　ドライフ
ィルムを用いる場合は、基板上に加熱圧着して使用する
のが一般的である。

以上のようなドライフィルムタイプのものとして、例え
ば、デュポン社のパーマネントフォトポリマーコーティ
ングＲＩＳＴ（１）、ソルダーマスク７３０Ｓ。

同４鳳　同７３０ＦＲ，同７４０ＦＲ，また、水溶性ド
ライフィルムフォトレジスト　゛°リストン３６００シ
リーズ″、　°°リストン　３０００シリーズ°′、パ
タイプ２１０”、°リイプ２１５Ｒ”、゛°タイプ２１
８Ｒ’”、更に、溶剤現像フォトポリマーレジストフィ
ルム　°”リストン１２００シリーズ′°、及びダイナ
ケム・コーポレーションの′°ラミナー　Ｇ　Ｓ　Ｉ”
、°゛ラミナーＴＡ”、゛ラミナーＴＯパ、或は旭化成
−のドライフィルムレジスト°’Ｅ−１５′′、”Ｐ−
２５”、　”Ｐ−３８”、”Ｔ−５０’“、或は日立化
成−の”ＰＨＴ−８７０シ＋）−ズ°°、”５Ｒ−２０
００シ’）−ズ゛、”５Ｒ−３０００シリーズ°、”　
７　ｔ　テｙ　り−１４０ＦＴ”、”７　ｔ　ｆ　ッ’
ｙ　−８６０ＡＦ−２５”、°゛フオテツクー８６０Ａ
Ｆ’ｒ、　日東電工−の“°ネオトロツク・シリーズ″
、ヘキスト社の″オザテソ’ｙ　　Ｔ−１００シ’Ｊ−
ズ°′、パオザｆツクＴ−２０ｏシ’Ｊ　−ズ°、“′
オザテック　Ｔ−３００シリーズ゛が、ネガタイプの代
表的なものとして挙げられる。また、ポジタイプのドラ
イフィルムとしてヘキスト社の’０ＺＡＴＥＣＲ２２５
”がある。

以上、本発明に用いることができる感光性樹脂組成物を
いくつか挙げたべ　本発明の目的とする液体噴射記録ヘ
ッドにおいては、高精度、高密度、高い機械的強度が求
められることで、特にネガタイプの液体感光性樹脂組成
物ハ　特に好ましく用いることができる。

なお、液体レジストの並存方法としては、例え眠　基板
形状に即したノズルを用いた吐呂器几アプリケーター、
カーテンコーター、ロールコータ−、スプレーコーター
、スピンコーター等の手段で塗布する方法が具体的なも
のとして挙げられる。なお、塗布する場合には、該材料
の脱気を行なった後、気泡の混入を避けながら行なうの
が好ましい。

更に、本発明のにおいては、ある一種の感光性樹脂のみ
用いて液体噴射記録ヘッドを完成させるよりも、複数の
感光性樹脂を用いた方が好ましい。

例えば、第２図に示した液体噴射記録ヘッドの製造を例
にして説明すると、第２図（４）において、基板２１上
に形成される、液体レジストの硬化部１０は、基板とな
るガラス又は、シリコン基板との強固な接着性が要求さ
れる。この場合には、特に主剤として、オリゴアクリレ
ート、ウレタンアクリレート、シリコンアクリレート、
スピランアクリレート等の接着剤として優れた性能を有
するアクリル樹脂系のものに光増感剤として、ベンゾフ
ェノン化合物等を配合した感光性樹脂を有する液体レジ
ストを用いるが好ましい。同様に、液体レジストの硬化
部１０で形成される液流路を形成する壁材としての性能
を強く要求する場合には、例えｌｆ、　　カチオン重合
を開始するエポキシ樹脂、ポリチオールとポリエチレン
を用いた光付加重合型樹脂、不飽和アセタール樹脂等の
機械的強度が大きく、かつ、耐インク性の強い感光性樹
脂を有する液体レジストを用いるのが好ましい。

第４図は、本発明に用いることができる製造システムの
一例を示すものであり、紫外線レーザー４１は、パソコ
ン４９がらの制御信号によって動作する光シヤツター４
２を通り、ミラー４３を経由し、レンズ４４によって絞
られて液体レジスト層４５に照射される。液体レジスト
層４５を有する容器４７は、３次元ＮＣテーブル４８上
にあり、同様に、パソコン４９からの制御信号、またデ
ータによりＸ、　　Ｙ、　　Ｚ軸方向に走査される。図
中、実線は制御信号の流れを、また、破線はデータの流
れを表わす。

また、第３図は、レーザー光の照射部の位置を固定した
システムについて説明したが、電磁式反射ミラー等を用
いることでレーザー光自身を走査することもできる。

実施例１ 第５図（１）〜（５）の手順にしたがって、第１図に示
した形態の液体噴射記録ヘッドを作製した まず、液体吐出エネルギー発生素子としてのＨｆ　Ｂ２
　薄膜ヒータを成膜パターニングしＡＩを配線材料とし
た電気熱変換体をガラス基板（硼圭酸系ガラス　７０５
９　（コーニング−製）、厚さ１．１ｍｍ）上に形成し
た〔第５図（１）〕。

次に、該ガラス基板を水平に保った平底のテフロン製容
器中に水平に静置し、第４図に示した装置上にセントし
た ついで液状のネガ型感光性樹脂組成物の薄層（２０μｍ
）を該ガラス基板上に設けた〔ネガ型感光性樹脂組成物
〕 ■アクリル樹脂”Ｐｈｏｔｏｍｅｒ　４１４９”（サン
ノプコー）　　　　　　　　　５０部■アクリル樹脂”
Ｐｈｏｔｏｍｅｒ　３０１６”（サンノプコ＠＠１）　
　　　　　　　　５０部■触媒　ベンジルメチルケター
ル　微量法に該ガラス基板上の上記樹脂組成物の表面に
紫外線レーザ（Ｈｅ−Ｃｄレーザ、発振波長３２５ｎｍ
、　１０ｍＷ）ビームを送り速度４ｍｍ／秒で走査しな
がら照射し、第５図（２）のパターンを得７−Ｏ（なお
、図中、斜線部が未硬化部　未斜線部が硬化部を表わす
。　） 同様にして、上記液状ネガ型感光性樹脂組成物の層を１
００μ瓜　更に１００μ鳳　積層しながら第５図（３）
、　　（４）、　　（５）のパターンを順次形成させた
。

その後、容器中から成形品を取り出し　エチルアルコー
ル中に浸漬して、未硬化部を除去しｆ。

更に、硬化部を乾燥後、紫外線ランプで２０分、全面照
射して目的とするヘッドを得た ここで製造された液体噴射記録ヘッドを記録装置に装着
し、純水／グリセリン／ダイレクトブラック１５４　＝
６５／３０１５からなるインクジェットインクを用いて
記録を行ったところ、安定な印字が可能であっｆ、　　
また、該ヘッドに対して６０℃（１ｈｒ）Ｈ２Ｃ（Ｉｈ
ｒ）の温度サイクル試験を２０時間継続した後でも、ひ
ずべ　曲り、ハガレ等の外観異状が発見できなかつへ　
また、サイクル試験後のヘッドに上記インクを詰めて室
温で６時間連続臼字したハ　ヘッドからのインクもれを
生じなかっな 実施例２ 第５図（１）〜（５）の手順の中で、第５図（２）を実
施例１と同様な、紫外線レーザ照射法を用い、その他の
第５図（３）〜（５）を高圧水銀灯照射によるマスク法
にて処理した以外　全て実施例１の条件にて、液体噴射
記録ヘッドを作製した　ここで作製したヘッドも実施例
１でのヘッドと同様＆へ　印字性能及び温度サイクル試
験ともに優れた結果を得へ 実施例３ 実施例２において第５図（２）の工程に入る前に、紫外
線レーザ光でガラス基板上のビスフェノールＡ−エピク
ロールヒドリン壓／アクリル酸からなる、エポキシアク
リレート系の感光性樹脂液を２μｍの厚さで硬化させた
後、実施例２の第５図（２）以後の工程を経て、液体噴
射記録ヘッドを製造した。

性能は、はぼ実施例１のヘッドと同様であったが、特に
温度サイクル試験で優れた結果を示した実施例４ 実施例１と同様の条件にて記録ヘッドを作製した力ζ、
第４図の液体レジスト層４５中に複数個のヘッドを作製
するように繰り返し同一パターンのレーザービーム照射
を行なったところ、同時に多数個のヘッドを得ることが
できた 〔発明の効果〕 以上に詳しく説明した本発明の効果としては、次のとお
り種々、列挙することができる。

■　接着剤等による接合工程がないので、接合不良によ
るインクもれ等の問題が生じない。これにより、長期的
な信頼性が保証できる。

２　従来、数工程かけて、製造されていたものカζ　ひ
とつの工程で処理できる。それにより製造コストの低下
、また歩留まりの向上が得られる。

３　所望のパターンでヘッド細密部の形成が極めて簡単
に行える。しかも、同構成のヘッドを多数、同時加工す
ることも可能となる。

４　高密度マルチアレイ液体噴射記録ヘッドが簡略な方
法で得られる。

５　構成部位の位置合わせを容易にし　確実に成すこと
ができ、寸法精度の高いヘッドを歩留まりよく得られる
。

６　液体噴射記録ヘッドのように、液流路内で圧電素子
や電気熱変換体等の液体吐出エネルギー発生素子によっ
て発生する圧力波を受けるものに対して大きな機械的耐
久性が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明により製造される液体噴射記録ヘッドの
装態様を示す斜視Ａ　第２図は本発明の各工程における
断面の模式は　第３図はマスクを用いる場合の断面の模
式臥　第４図は本発明を実施可能な装置の概略云　第５
図は本発明の各工程の平面図である。 ｌ・・・基板　　　　　　２・壁材 ３・・オリフィス　　　４“°液流路 ５・・・共通液室　　　　６　・インク供給ロア・・液
体吐出エネルギー発生素子 ８・・液体レジスト ９・紫外線レーザービーム １０　・硬化部　　　　１１・未硬化部１２・液流路部
　　　１３・マスク

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）液体を吐出する吐出口に連通する路となる空隙を有
   する液体噴射記録ヘッドを製造するにあたり、 （Ａ）前記吐出口から液体を吐出するために利用される
   エネルギーを発生するエネルギー発生素子が設けられた
   基板上に、特定の厚みを有する第一の感光性樹脂層を形
   成し、前記第一の感光性樹脂層が感度を有する光を照射
   して露光し、該層において形成されるべき空隙予定部分
   を除く部分を硬化させる工程、 （Ｂ）前記（Ａ）の工程において形成された第一の感光
   性樹脂層上に、特定の厚みを有する第二の感光性樹脂層
   を形成し、前記第二の感光性樹脂層が感度を有する光を
   照射して露光し、該層において形成されるべき空隙予定
   部分を除く部分を硬化させる工程、 （Ｃ）前記（Ａ）、（Ｂ）の工程において未硬化の感光
   性樹脂を除去し、前記空隙を形成する工程、 とを含むことを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方
   法。 ２）露光がマスクを介して行われることを特徴とする請
   求項１記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。 ３）露光が感光性樹脂が感度を有する光の集束光を走査
   して行われることを特徴とする請求項１記載の液体噴射
   記録ヘッドの製造方法。 ４）露光が感光性樹脂が感度を有する光の集束光を走査
   し、かつマスクを介して前記集束光を照射することによ
   り行われることを特徴とする請求項１記載の液体噴射記
   録ヘッドの製造方法。 ５）前記エネルギー発生素子が前記エネルギーとして熱
   エネルギーを発生する電気熱変換体である請求項１に記
   載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。