JPH0623993A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents

インクジェットヘッドの製造方法

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JPH0623993A
JPH0623993A JP17875692A JP17875692A JPH0623993A JP H0623993 A JPH0623993 A JP H0623993A JP 17875692 A JP17875692 A JP 17875692A JP 17875692 A JP17875692 A JP 17875692A JP H0623993 A JPH0623993 A JP H0623993A
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修 谷口
Akira Nakazawa
明 中澤
Hideyuki Kikuchi
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 インクジェットヘッドの製造方法に関し、良
好な印字品位を得ることができ、作業性を向上させ、コ
ストを低減することを目的とする。 【構成】 インク流路を形成するための凹凸が形成され
ている型に光硬化樹脂を流し（ａ）、光透過性のマスク
板を前記光硬化樹脂上に乗せ（ｂ）、露光して光硬化樹
脂を硬化させ（ｃ）、硬化しない樹脂部分を洗浄してノ
ズルとインク流路を形成し（ｄ）、光硬化接着剤により
振動板を前記光硬化樹脂に接着する（ｅ）ようにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プリンタ用のインクジ
ェットヘッドの製造方法に関する。ノンインパクト記録
法は、記録時に於ける騒音の発生が小さいという利点が
あり、最近活発に研究が行われている。その中で、高速
記録が可能であり、しかもいわゆる普通紙に特別の定着
処理を必要とせずに記録が行えるインクジェット記録法
は、極めて有力な記録法であって、これまでにも様々な
方法が考案され、改良が加えられて商品化されたものも
あれば、現在もなお実用化への努力が続けられているも
のもある。
【０００２】このようなインクジェット記録法は、いわ
ゆるインクと称される記録液の液滴（ｄｒｏｐｌｅｔ）
を飛翔させ、これを被記録材に付着させて記録を行うも
のである。このインクジェット記録法において、記録液
を噴射する手段としてインクジェットヘッドが用いられ
る。
【０００３】したがって、印字品位が優れた記録を得る
ためには、ドットの位置ずれなどを生じない優れたイン
クジェットヘッドを製造することが必要となる。
【０００４】
【従来の技術】従来のインクジェットヘッドの製造方法
としては、例えば図１５に示すようなものがある。図１
５において、１は、例えばステンレスなどの金属より形
成されるノズル板であり、ノズル板１には複数のノズル
２が形成されている。
【０００５】３は、例えば光硬化樹脂により形成された
流路板であり、流路板３にはインク流路４が形成されて
いる。５は、例えばステンレスなどの金属により形成さ
れた振動板であり、振動板５には振動を与える駆動源と
しての図示しない圧電素子が接着される。インクジェッ
トヘッドはこれらのノズル板１、流路板３および振動板
５を張り合わせて構成される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のインクジェットヘッドの製造方法にあって
は、ノズル板と流路板の張り合わせのばらつきにより、
ノズル板と流路板の位置ずれが生じ、これによりインク
の圧力伝動に影響を与え、インク粒子速度のばらつきと
なり、ドットの位置ずれとなり、その結果、印字品位が
悪化するという問題点があった。
【０００７】また、ノズル板と流路板を張り付ける作業
が必要であり、作業性が悪化し、コストも上昇するとい
う問題点もあった。本発明は、このような従来の問題点
に鑑みてなされたものであって、ノズルとインク流路を
一体に形成することで、良好な印字品位を得ることがで
き、作業性を向上させ、コストを低減することを目的と
している。
【０００８】
【課題を解決するための手段】図１（Ａ）は請求項１の
発明の原理説明図である。図１（Ａ）において、ａはイ
ンク流路を形成するための凹凸が形成されている型に光
硬化樹脂を流す工程、ｂはノズルを形成するための光を
遮断するマスク部を所定の位置に設けた光透過性のマス
ク板を前記光硬化樹脂上に乗せる工程、ｃは露光して前
記光硬化樹脂を硬化させる工程、ｄは次に前記型を剥が
し硬化しない樹脂部分を洗浄してノズルとインク流路を
形成する工程、ｅは光硬化接着剤により振動板を前記光
硬化樹脂に接着することを特徴とする工程である。
【０００９】次に、図１（Ｂ）は請求項２の発明の原理
説明図である。図１（Ｂ）において、ｆはインク流路を
形成するための凹凸が形成されている光透過性の型にノ
ズルを形成するため光を遮断するマスク部を所定の位置
に設ける工程、ｇは前記型に光硬化樹脂を流す工程、ｈ
は基板を前記光硬化樹脂上に乗せる工程、ｉは露光して
前記光硬化樹脂を硬化させる工程、ｊは型を剥がし硬化
しない樹脂部分を洗浄してノズルとインク流路を形成す
る工程、ｋは光硬化接着剤により振動板を前記光硬化樹
脂に接着する工程である。
【００１０】
【作用】請求項１の発明のおいては、ノズルとインク流
路を一体に形成するようにしたため、従来のように、ノ
ズル板と流路板を張り合わせるときの張り合わせ誤差が
なく、ノズル板と流路板の位置ずれが生じないので、良
好な印字品位を得ることができる。
【００１１】また、従来のように、ノズル板と流路板を
張り付ける作業が必要でないため、作業性を向上させる
ことができ、コストを低減することができる。次に、請
求項２の発明においても、ノズルとインク流路を一体に
形成するようにしたため、前記実施例と同様に良好な印
字品位を得ることができ、また、作業性を向上させるこ
とができ、コストを低減することができる。
【００１２】さらに、マスク板が不要で型との位置合わ
せがないため、位置ずれもなく、作業が容易になる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図２〜図７は本発明の一実施例を示す図である。
図２は工程１を示す図である。図２において、１１は型
としての金型（マスタ板）であり、金型１１にはインク
流路となる凹凸部１２がエッチングにより形成されてい
る。
【００１４】まず、図２のように、金型１１に光硬化樹
脂１３を流す。光硬化樹脂１３としては、金型１１には
精細なパターンが形成されているため、低粘度のものを
用いる。次に、図３に示すように、ノズル形成のためマ
スク板１４を若干押し込みながら光硬化樹脂１３上に乗
せる。
【００１５】マスク板１４には、ノズル径に見合うよう
な大きさにＣｒ蒸着によるマスク部としての膜１５を所
定の位置に付着させている。また、マスク板１４として
は光透過性のもの、例えばガラス板を用いる。次に、図
４に示すように、マスク板１４側から露光する。これに
より、膜１５以外の紫外線が照射した光硬化樹脂１３が
硬化する。
【００１６】次に、図５に示すように、露光後、金型１
１を静かに剥がし（事前に離型材を塗布してもよ
い。）、アセトンなどで６０秒程度作製した光硬化樹脂
１３を洗浄する。ノズル位置では膜１５があるため、紫
外線が通らないので、その部分の光硬化樹脂１３が硬化
せず、洗浄により洗い流されてノズル１６とインク流路
１７が形成される。
【００１７】次に、図６に示すように、光硬化性接着材
を用いて振動板１８を光硬化樹脂１３に接着する。最後
にマスク板１４を静かに剥がす。こうして、図７に示す
ように、インクジェットヘッド１９が製造される。この
ように、光硬化樹脂１３によりノズル１６とインク流路
１７を一体に形成するようにしたため、従来のように、
ノズル板と流路板を張り合わせたときの誤差がなく、ノ
ズル板と流路板の位置ずれが生じない。その結果、良好
な印字品位を得ることができる。
【００１８】また、従来のように、ノズル板と流路板を
張り付ける作業が必要でないため、作業性を向上させる
ことができ、コストを低減することができる。次に、図
８〜図１４は本発明の他の実施例を示す図である。ま
ず、図８に示すように、光透過性の良い型（マスタ板）
２１に、ノズル形成のために、ノズル径に見合うような
大きさのＣｒ蒸着による膜２２を所定の位置に付着させ
る。型２１には、インク流路となる凹凸部２３がエッチ
ングにより予め形成されている。型２１としては感光性
ガラスを用いると良い。
【００１９】次に、図９に示すように、型２１上に光硬
化樹脂２４を流し、光硬化樹脂２４としては、型２１に
は、精査なパターンが形成されているため、低粘度のも
のを用いる。次に、図１０に示すように、基板２５を若
干押し込みながら光硬化樹脂２４上に乗せる。基板２５
としては通常のガラス板で良い。
【００２０】次に、図１１に示すように、型２１側から
露光する。これにより、膜２２以外の紫外線が照射した
光硬化樹脂２４が硬化する。次に、図１２に示すよう
に、露光後、型２１を静かに剥がし（事前に離型材を塗
布しても良い。）、アセトンなどで６０秒程度作製した
光硬化樹脂２４を洗浄する。ノズル位置では紫外線が通
らないので、光硬化樹脂２４が硬化せず、洗浄により洗
い流されてノズル２６とインク流路２７が形成される。
【００２１】次に、図１３に示すように、光硬化性接着
材を用いて振動板２８を光硬化樹脂２４を接着し、最後
に、基板２５を静かに剥がす。こうして、図１４に示す
ような、インクジェットヘッド２９が製造される。本実
施例においても、ノズル２６とインク流路２７を一体に
形成するようにしたため、従来のようなノズル板と流路
板の張り合わせの誤差がなく、良好なインク品位を得る
ことができる。また、ノズル板と流路板を張り付ける作
業がなく、作業性を向上させることができ、コストを低
減することができる。
【００２２】さらに、マスク板１４が不要で、型２１と
の位置合わせもないので、位置ずれがなく、作業も容易
になる。なお、前記実施例および本実施例で得られたイ
ンクジェットヘッド１９，２９を、シアン、マゼンタ、
イエロ、ブラックの各色用としてそれぞれ用い、４個の
ヘッドを１個にまとめることにより、カラー印字を行う
ことが可能になる。
【００２３】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、ノズルとインク流路を一体に形成するようにしたた
め、張り合わせの誤差がなく、良好な印字品位を得るこ
とができる。また、作業性を向上させることができ、コ
ストを低減することができる。さらに、型とマスク板と
の位置合わせもなく、作業が容易になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の原理説明図
【図２】本発明の一実施例に係る工程１を示す図
【図３】工程２を示す図
【図４】工程３を示す図
【図５】工程４を示す図
【図６】工程５を示す図
【図７】インクジェットヘッドを示す図
【図８】本発明の他の実施例に係る工程１を示す図
【図９】工程２を示す図
【図１０】工程３を示す図
【図１１】工程４を示す図
【図１２】工程５を示す図
【図１３】工程６を示す図
【図１４】インクジェットヘッドの示す図
【図１５】従来例を示す図
【符号の説明】
１１，２１：金型（型） １２，２３：凹凸部 １３，２４：光硬化樹脂 １４：マスク板 １５，２２：膜（マスク部） １６，２６：ノズル １７，２７：インク流路 １８，２８：振動板 １９，２９：インクジェットヘッド ２５：基板

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】インク流路を形成するための凹凸が形成さ
    れている型に光硬化樹脂を流し（ａ）、次にノズルを形
    成するための光を遮断するマスク部を所定の位置に設け
    た光透過性のマスク板を前記光硬化樹脂上に乗せ
    （ｂ）、次に露光して前記光硬化樹脂を硬化させ
    （ｃ）、次に前記型を剥がし硬化しない樹脂部分を洗浄
    してノズルとインク流路を形成し（ｄ）、次に光硬化接
    着剤により振動板を前記光硬化樹脂に接着する（ｅ）こ
    とを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
  2. 【請求項２】インク流路を形成するための凹凸が形成さ
    れている光透過性の型にノズルを形成するため光を遮断
    するマスク部を所定の位置に設け（ｆ）、次に前記型に
    光硬化樹脂を流し（ｇ）、次に基板を前記光硬化樹脂上
    に乗せ（ｈ）、次に露光して前記光硬化樹脂を硬化させ
    （ｉ）、次に型を剥がし硬化しない樹脂部分を洗浄して
    ノズルを形成し（ｊ）、次に光硬化接着剤により振動板
    を前記光硬化樹脂に接着する（ｋ）ことを特徴とするイ
    ンクジェットヘッドの製造方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998046431A1 (fr) * 1997-04-15 1998-10-22 Seiko Epson Corporation Tete d'impression a jet d'encre et procede de fabrication correspondant

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO1998046431A1 (fr) * 1997-04-15 1998-10-22 Seiko Epson Corporation Tete d'impression a jet d'encre et procede de fabrication correspondant

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