JP3218255B2 - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法Info
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- JP3218255B2 JP3218255B2 JP25254992A JP25254992A JP3218255B2 JP 3218255 B2 JP3218255 B2 JP 3218255B2 JP 25254992 A JP25254992 A JP 25254992A JP 25254992 A JP25254992 A JP 25254992A JP 3218255 B2 JP3218255 B2 JP 3218255B2
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- plate
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プリンタ用のインクジ
ェットヘッドの製造方法に関する。ノンインパクト記録
法は、記録時に於ける騒音の発生が小さいという利点が
あり、最近活発に研究が行われている。その中で、高速
記録が可能であり、しかもいわゆる普通紙に特別の定着
処理を必要とせずに記録が行えるインクジェット記録法
は、極めて有力な記録法であって、これまでにも様々な
方法が考案され、改良が加えられて商品化されたものも
あれば、現在もなお実用化の努力が続けられているもの
もある。
ェットヘッドの製造方法に関する。ノンインパクト記録
法は、記録時に於ける騒音の発生が小さいという利点が
あり、最近活発に研究が行われている。その中で、高速
記録が可能であり、しかもいわゆる普通紙に特別の定着
処理を必要とせずに記録が行えるインクジェット記録法
は、極めて有力な記録法であって、これまでにも様々な
方法が考案され、改良が加えられて商品化されたものも
あれば、現在もなお実用化の努力が続けられているもの
もある。
【０００２】このようなインクジェット記録法は、いわ
ゆるインクと称される記録液の液滴（ｄｒｏｐｌｅｔ）
を飛翔させ、これを被記録材に付着させて記録を行うも
のである。このインクジェット記録法において、記録液
を噴射する手段としてインクジェットヘッドが用いられ
る。
ゆるインクと称される記録液の液滴（ｄｒｏｐｌｅｔ）
を飛翔させ、これを被記録材に付着させて記録を行うも
のである。このインクジェット記録法において、記録液
を噴射する手段としてインクジェットヘッドが用いられ
る。
【０００３】したがって、印字品位が優れた記録を得る
ためには、ドットの位置ずれなどを生じない優れたイン
クジェットヘッドを製造することが必要となる。
ためには、ドットの位置ずれなどを生じない優れたイン
クジェットヘッドを製造することが必要となる。
【０００４】
【従来の技術】従来のインクジェットヘッドの製造方法
としては、例えば図１３に示すようなものがある。図１
３において、１は、例えばステンレスなどの金属より形
成されるノズル板であり、ノズル板１には複数のノズル
２が形成されている。
としては、例えば図１３に示すようなものがある。図１
３において、１は、例えばステンレスなどの金属より形
成されるノズル板であり、ノズル板１には複数のノズル
２が形成されている。
【０００５】３は、例えば光硬化樹脂により形成された
流路板であり、流路板３にはインク流路４が形成されて
いる。５は、例えばステンレスなどの金属により形成さ
れた振動板であり、振動板５には振動を与える駆動源と
しての図示しない圧電素子が接着される。インクジェッ
トヘッドはこれらのノズル板１、流路板３および振動板
５を張り合わせて構成される。
流路板であり、流路板３にはインク流路４が形成されて
いる。５は、例えばステンレスなどの金属により形成さ
れた振動板であり、振動板５には振動を与える駆動源と
しての図示しない圧電素子が接着される。インクジェッ
トヘッドはこれらのノズル板１、流路板３および振動板
５を張り合わせて構成される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のインクジェットヘッドの製造方法にあって
は、ノズル板と流路板の張り合わせのばらつきにより、
ノズル板と流路板の位置ずれが生じ、これによりインク
の圧力伝動に影響を与え、インク粒子速度のばらつきと
なり、ドットの位置ずれとなり、その結果、印字品位が
悪化するという問題点があった。
うな従来のインクジェットヘッドの製造方法にあって
は、ノズル板と流路板の張り合わせのばらつきにより、
ノズル板と流路板の位置ずれが生じ、これによりインク
の圧力伝動に影響を与え、インク粒子速度のばらつきと
なり、ドットの位置ずれとなり、その結果、印字品位が
悪化するという問題点があった。
【０００７】また、ノズル板と流路板を張り付ける作業
が必要であり、作業性が悪化し、コストも上昇するとい
う問題点もあった。本発明は、このような従来の問題点
に鑑みてなされたものであって、ノズルとインク流路を
一体に形成することで、良好な印字品位を得ることがで
き、作業性を向上させ、コストを低減することを目的と
している。
が必要であり、作業性が悪化し、コストも上昇するとい
う問題点もあった。本発明は、このような従来の問題点
に鑑みてなされたものであって、ノズルとインク流路を
一体に形成することで、良好な印字品位を得ることがで
き、作業性を向上させ、コストを低減することを目的と
している。
【０００８】
【課題を解決するための手段】図１は本発明の原理説明
図である。本発明は、基板上にエッチングによりインク
流路となるパターンを形成するとともにノズル位置に発
熱素子を形成した型を用意し（ａ）、次に型上に光硬化
樹脂を流し（ｂ）、次に光透過性の板を前記光硬化樹脂
上に乗せ（ｃ）、次に前記発熱素子に一定量の電流を流
して気泡を生成し気泡によりノズルとなる孔を形成する
とともに露光して前記光硬化樹脂を硬化させ（ｄ）、次
に前記型を剥して硬化しない樹脂部分を洗浄してノズル
とインク流路を形成し（ｅ）、次に接着剤により振動板
を前記光硬化樹脂に接着する（ｆ）ことを特徴とする。
図である。本発明は、基板上にエッチングによりインク
流路となるパターンを形成するとともにノズル位置に発
熱素子を形成した型を用意し（ａ）、次に型上に光硬化
樹脂を流し（ｂ）、次に光透過性の板を前記光硬化樹脂
上に乗せ（ｃ）、次に前記発熱素子に一定量の電流を流
して気泡を生成し気泡によりノズルとなる孔を形成する
とともに露光して前記光硬化樹脂を硬化させ（ｄ）、次
に前記型を剥して硬化しない樹脂部分を洗浄してノズル
とインク流路を形成し（ｅ）、次に接着剤により振動板
を前記光硬化樹脂に接着する（ｆ）ことを特徴とする。
【０００９】
【作用】本発明においては、ノズルとインク流路を一体
に形成するようにしたため、従来のように、ノズル板と
流路板を張り合わせるときの張り合わせ誤差がなく、ノ
ズル板と流路板の位置ずれが生じないので、良好な印字
品位を得ることができる。
に形成するようにしたため、従来のように、ノズル板と
流路板を張り合わせるときの張り合わせ誤差がなく、ノ
ズル板と流路板の位置ずれが生じないので、良好な印字
品位を得ることができる。
【００１０】また、従来のように、ノズル板と流路板を
張り付ける作業が必要でないため、作業性を向上させる
ことができ、コストを低減することができる。さらに、
発熱素子による発熱で気泡を形成して、ノズルを形成す
るため、ノズルの精度を確保することができる。
張り付ける作業が必要でないため、作業性を向上させる
ことができ、コストを低減することができる。さらに、
発熱素子による発熱で気泡を形成して、ノズルを形成す
るため、ノズルの精度を確保することができる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図２〜図１２は本発明の一実施例を示す図であ
る。まず、図２に示すようにシリコン基板１１上に酸化
膜１２を形成する。次に、図３に示すように、酸化膜１
２上にレジスト１３を塗布する。
する。図２〜図１２は本発明の一実施例を示す図であ
る。まず、図２に示すようにシリコン基板１１上に酸化
膜１２を形成する。次に、図３に示すように、酸化膜１
２上にレジスト１３を塗布する。
【００１２】次に、図４に示すように、インク流路とな
るパターンを形成するために、パターンとなるところで
レジスト１３と酸化膜１２を除去する。次に、図５に示
すように、レジスト１３を剥離する。次に、図６に示す
ように、ウェットエッチングによりインク流路１４を形
成する。
るパターンを形成するために、パターンとなるところで
レジスト１３と酸化膜１２を除去する。次に、図５に示
すように、レジスト１３を剥離する。次に、図６に示す
ように、ウェットエッチングによりインク流路１４を形
成する。
【００１３】次に、図７に示すように、ノズルを形成す
るために電極（Ａｌ）と、抵抗（ＴａＡｌ）よりなる発
熱素子１５を酸化膜１２上に形成する。この場合、発熱
素子１５は、シリコン基板１１上の段差がある個所を避
ける。こうして、型１６を作製する。すなわち、図８に
示すように、シリコン基板１１にエッチングにより、イ
ンク流路１４を形成し、ノズル位置に発熱素子１５と電
極１７を形成する。
るために電極（Ａｌ）と、抵抗（ＴａＡｌ）よりなる発
熱素子１５を酸化膜１２上に形成する。この場合、発熱
素子１５は、シリコン基板１１上の段差がある個所を避
ける。こうして、型１６を作製する。すなわち、図８に
示すように、シリコン基板１１にエッチングにより、イ
ンク流路１４を形成し、ノズル位置に発熱素子１５と電
極１７を形成する。
【００１４】次に、図９に示すように、型１６上に光硬
化樹脂１８を流す。光硬化樹脂１８としては、型１６に
は精細なパターンが形成されているため、低精度のもの
を用いる。次に、図１０に示すように、光透過性の板１
９を光硬化樹脂１８上に乗せる。光透過性の板１９とし
ては、通常ガラス板を用いるか、透明なプラスチック板
でも良い。
化樹脂１８を流す。光硬化樹脂１８としては、型１６に
は精細なパターンが形成されているため、低精度のもの
を用いる。次に、図１０に示すように、光透過性の板１
９を光硬化樹脂１８上に乗せる。光透過性の板１９とし
ては、通常ガラス板を用いるか、透明なプラスチック板
でも良い。
【００１５】
【００１６】次に、図１１に示すように、露光後、型１
６を静かに剥がし（事前に離型剤を塗布してもよ
い。）、アセトンなどで光硬化樹脂１８を洗浄する。こ
れにより、ノズル２２とインク流路１４が同時に形成さ
れる。次に、図１２に示すように、光硬化樹脂１８と振
動板２３を接着剤により接着する。接着剤としては、例
えばシランカップリング剤を用いる。
６を静かに剥がし（事前に離型剤を塗布してもよ
い。）、アセトンなどで光硬化樹脂１８を洗浄する。こ
れにより、ノズル２２とインク流路１４が同時に形成さ
れる。次に、図１２に示すように、光硬化樹脂１８と振
動板２３を接着剤により接着する。接着剤としては、例
えばシランカップリング剤を用いる。
【００１７】なお、図２〜図１２は図８のＡ−Ａ断面図
を示す。こうして、インクジェットヘッド２４が製造さ
れる。このように、光硬化樹脂１８によりノズル２２と
インク流路１４を一体に形成するようにしたため、従来
のように、ノズル板と流路板を張り合わせたときの誤差
がなく、ノズル板と流路板の位置ずれが生じない。その
結果、良好な印字品位を得ることができる。
を示す。こうして、インクジェットヘッド２４が製造さ
れる。このように、光硬化樹脂１８によりノズル２２と
インク流路１４を一体に形成するようにしたため、従来
のように、ノズル板と流路板を張り合わせたときの誤差
がなく、ノズル板と流路板の位置ずれが生じない。その
結果、良好な印字品位を得ることができる。
【００１８】また、従来のように、ノズル板と流路板を
張り付ける作業が必要でないため、作業性を向上させる
ことができ、コストを低減することができる。さらに、
発熱素子１５により気泡２１を生成し、気泡２１により
ノズル２２を形成するようにしたため、ノズル径につい
て高い精度を得ることができる。なお、本実施例で得ら
れたインクジェットヘッド２４を、シアン、マゼンタ、
イエロ、ブラックの各色用としてそれぞれ用い、４個の
ヘッドを１個にまとめることにより、カラー印字を行う
ことが可能になる。
張り付ける作業が必要でないため、作業性を向上させる
ことができ、コストを低減することができる。さらに、
発熱素子１５により気泡２１を生成し、気泡２１により
ノズル２２を形成するようにしたため、ノズル径につい
て高い精度を得ることができる。なお、本実施例で得ら
れたインクジェットヘッド２４を、シアン、マゼンタ、
イエロ、ブラックの各色用としてそれぞれ用い、４個の
ヘッドを１個にまとめることにより、カラー印字を行う
ことが可能になる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、ノズルとインク流路を一体に形成するようにしたた
め、張り合わせの誤差がなく、ノズル精度を高くするこ
とができるので良好な印字品位を得ることができる。ま
た、作業性を向上させることができ、コストを低減する
ことができる。また、型とマスク板との位置合わせもな
く、作業が容易になる。
ば、ノズルとインク流路を一体に形成するようにしたた
め、張り合わせの誤差がなく、ノズル精度を高くするこ
とができるので良好な印字品位を得ることができる。ま
た、作業性を向上させることができ、コストを低減する
ことができる。また、型とマスク板との位置合わせもな
く、作業が容易になる。
【図１】本発明の原理説明図
【図２】本発明の一実施例に係る工程１を示す図
【図３】工程２を示す図
【図４】工程３を示す図
【図５】工程４を示す図
【図６】工程５を示す図
【図７】工程６を示す図
【図８】型作製の説明図
【図９】工程７を示す図
【図１０】工程８を示す図
【図１１】工程９を示す図
【図１２】工程１０を示す図
【図１３】従来例を示す図
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/16
Claims (1)
- 【請求項１】基板上にエッチングによりインク流路とな
るパターンを形成するとともにノズル位置に発熱素子を
形成した型を用意し（ａ）、次に型上に光硬化樹脂を流
し（ｂ）、次に光透過性の板を前記光硬化樹脂上に乗せ
（ｃ）、次に前記発熱素子に一定量の電流を流して気泡
を生成し気泡によりノズルとなる孔を形成するとともに
露光して前記光硬化樹脂を硬化させ（ｄ）、次に前記型
を剥して硬化しない樹脂部分を洗浄してノズルとインク
流路を形成し（ｅ）、次に接着剤により振動板を前記光
硬化樹脂に接着する（ｆ）ことを特徴とするインクジェ
ットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25254992A JP3218255B2 (ja) | 1992-09-22 | 1992-09-22 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25254992A JP3218255B2 (ja) | 1992-09-22 | 1992-09-22 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0699583A JPH0699583A (ja) | 1994-04-12 |
| JP3218255B2 true JP3218255B2 (ja) | 2001-10-15 |
Family
ID=17238922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25254992A Expired - Fee Related JP3218255B2 (ja) | 1992-09-22 | 1992-09-22 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3218255B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6274954B2 (ja) * | 2014-04-09 | 2018-02-07 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
-
1992
- 1992-09-22 JP JP25254992A patent/JP3218255B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0699583A (ja) | 1994-04-12 |
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|---|---|---|---|
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