JP3105651B2 - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents

インクジェットヘッドの製造方法

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resin
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修 谷口
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プリンタ用のインクジ
ェットヘッドの製造方法に関する。ノンインパクト記録
法は、記録時に於ける騒音の発生が小さいという利点が
あり、最近活発に研究が行われている。その中で、カラ
ー化がしやすく、高速記録が可能であり、しかもいわゆ
る普通紙に特別の定着処理を必要とせずに簡単に記録が
行えるインクジェット記録法は、極めて有力な記録法で
あって、これ迄にも様々な方法が考案され、改良が加え
られて商品化されたものもあれば、現在もなお実用化へ
の努力が続けられているものもある。
【０００２】このようなインクジェット記録法は、いわ
ゆるインクと称される記録液の液滴（ｄｒｏｐｌｅｔ）
を飛翔させ、これを被記録材に付着させて記録を行うも
のである。このインクジェット記録法において、記録液
を噴射する手段としてインクジェットヘッドが用いられ
る。
【０００３】したがって、印字品位が優れた記録を得る
ためには、ヘッドの反りなどの変形がないインクジェッ
トヘッドを製造することが必要となる。
【０００４】
【従来の技術】インクジェットヘッドの製造方法として
は、ステンレス、シリコン単結晶、ガラス、樹脂などを
用いて製造する方法が知られている。これらの方法の中
で光硬化樹脂を用いて製造する方法として、次のような
方法を本出願人は提案している。
【０００５】すなわち、このインクジェットヘッドの製
造方法は、インク流路を形成するための型に光硬化樹脂
を流し、次にノズルを形成するための光を遮断するマス
ク部を所定の位置に設けた光透過性のマスク板を前記光
硬化樹脂上に乗せ、次に露光して前記光硬化樹脂を硬化
させ、次に前記型を剥がし硬化しない樹脂部分を洗浄し
てノズルとインク流路を形成し、次に光硬化接着剤によ
り振動板を前記光硬化樹脂に接着するようにしたもので
ある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このインクジェットヘ
ッドの製造方法は、工程が簡単で、高精度で再現性が良
好であるという利点を持つ。しかしながら、機械強度が
弱いため、薄い構造のヘッドであると、ヘッド全体が反
るなどの変形が生じる。その結果、インクの飛翔方向が
不安定となり、印字品質が低下するという問題点があっ
た。
【０００７】本発明は、このような従来の問題点に鑑み
てなされたものであって、ヘッドの樹脂部を厚くして、
ヘッドの反りなどの変形を防止することで、高い印字品
質を得ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】図１は本発明の原理説明
図である。図１において、（ａ）はインク流路を形成す
るための型に光硬化樹脂を流す工程、（ｂ）はノズルを
形成するための光を遮断するマスク部を所定の位置に設
けるとともにマスク部の周辺を凸部とした凹凸構造の光
透過性マスク板を前記光硬化樹脂上に乗せる工程、
（ｃ）は露光して前記光硬化樹脂を硬化させる工程、
（ｄ）は前記型を剥がし硬化しない樹脂部分を洗浄して
ノズルとインク流路を形成する工程、（ｅ）は振動板を
前記光硬化樹脂に接着する工程である。
【０００９】
【作用】本発明においては、マスク板を、ノズルを形成
するための光を遮断するマスク部の周辺を凸部とした凹
凸構造としたため、凸部と凹部の差だけ樹脂部を厚くす
ることができるので、ヘッドの反りなどの変形を防止す
ることができる。その結果、インクの飛翔方向を安定化
することができ、高い印字品質を得ることができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図２〜図８は本発明の一実施例を示す図である。
まず、図２に示すように、ステンレススチールで型とし
ての金型１を形成し、光硬化樹脂としてトリシクロデカ
ンジメタノールジアクリレート樹脂（三菱油化（株）製
商品名ＳＡ−１００２、以下、樹脂という）２を金型１
に充填した。
【００１１】次に、図３に示すように、凹凸の差が２５
０μｍの凹凸を形成した感光性ガラスにノズルを形成す
るための光を遮断するクロム蒸着によるマスク部３を所
定の位置に設けてなるマスク板４を前記樹脂２に被せ
た。すなわち、クロム蒸着したマスク部３の周辺を凸部
５にしたマスク板４を光硬化樹脂２に被せた。マスク板
４としては、感光性ガラスに限らず、アクリル樹脂、ポ
リカーボネート樹脂などの光を透過する樹脂を用いても
良い。
【００１２】次に、図４に示すように、マスク板４の上
部から水銀ランプで光量３０ｍｗ／ｃｍ2 の紫外線６を
３秒間照射し、マスク部３以外の紫外光が照射された樹
脂２を硬化させた。次に、図５に示すように、マスク板
４を外してからアセトンで５秒間超音波洗浄して、ノズ
ル７の未硬化の樹脂を流し出す。
【００１３】そして、樹脂２を金型１から剥すと、ノズ
ル７とインク流路８が一体的に形成された樹脂２の成形
が完成する。次に、図６に示すように、樹脂２に圧電素
子９を張り付けたガラスの振動板１０を接着する。この
場合、振動板１０に紫外線硬化接着材を塗布し、露光す
ることにより、振動板１０を樹脂２に接着する。こうし
て、図７に示すようなインクジェットヘッド１１が完成
する。
【００１４】ここで、図８に示すように、ノズル列１２
に沿って凹部１３をスリット状に形成すると、ヘッド表
面の清掃がしやすくなる。凹凸の範囲は、５０μｍから
２ｍｍの範囲が好ましい。５０μｍ未満では機械強度の
補強強度がなく、２ｍｍを超えると、ノズル７から記録
紙までの距離が大きくなりすぎて記録ドットの位置ずれ
が生じる。
【００１５】このように、マスク板４を凹凸の構造とす
ることにより、図７に示すように、ノズル長（Ｂ）とイ
ンク圧力室長（インク流路長）（Ｃ）の他に（Ａ）の部
分の厚みを確保することができる。すなわち、樹脂２の
厚さ（Ｄ）を従来より厚くすることができる。その結
果、インクジェットヘッド１１の反りなどの変形を防止
することができるので、インクの飛翔方向を安定化し、
高い印字品質を得ることができる。
【００１６】なお、本実施例では、ノズル７の周辺の凹
部１３をノズル列１２に反ってスリット状にするように
したが、これに限らず、ノズル７ごとに凹部１３に枠を
設けても良いし、また、ノズル７ごとに周囲の凹部１３
を円形状にしても良い。
【００１７】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、マスク部の周辺を凸部とした凹凸構造のマスク板を
用いるようにしたため、ヘッドの樹脂部を厚くすること
ができ、ヘッドの反りなどの変形を防止することができ
るので、高い印字品質を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の原理説明図
【図２】本発明の一実施例に係る工程１を示す図
【図３】工程２を示す図
【図４】工程３を示す図
【図５】工程４を示す図
【図６】工程５を示す図
【図７】完成したインクジェットヘッドを示す図
【図８】インクジェットヘッドの斜視図
【符号の説明】
１：金型（型） ２：トリシクロデカンジメタノールジアクリレート樹脂
（光硬化樹脂） ３：マスク部 ４：マスク板 ５：凸部 ６：紫外線 ７：ノズル ８：インク流路 ９：圧電素子 １０：振動板 １１：インクジェットヘッド １２：ノズル列 １３：凹部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−255868（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−135756（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−45950（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/16

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】インク流路を形成するための型に光硬化樹
    脂を流し（ａ）、次にノズルを形成するための光を遮断
    するマスク部を所定の位置に設けるとともにマスク部の
    周辺を凸部とした凹凸構造の光透過性マスク板を前記光
    硬化樹脂上に乗せ（ｂ）、次に露光して前記光硬化樹脂
    を硬化させ（ｃ）、次に前記型を剥がし硬化しない樹脂
    部分を洗浄してノズルとインク流路を形成し（ｄ）、次
    に振動板を前記光硬化樹脂に接着する（ｅ）ことを特徴
    とするインクジェットヘッドの製造方法。
  2. 【請求項２】前記凹凸の差を５０μｍから２ｍｍの範囲
    としたことを特徴とする請求項１のインクジェットヘッ
    ドの製造方法。
  3. 【請求項３】前記ノズルの周辺の凹部をノズル列に沿っ
    てスリット状に形成することを特徴とする請求項１のイ
    ンクジェットヘッドの製造方法。
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GB0113639D0 (en) * 2001-06-05 2001-07-25 Xaar Technology Ltd Nozzle plate for droplet deposition apparatus
WO2005082592A1 (ja) * 2004-02-27 2005-09-09 Nihon University 微小部品の製造方法
JP5854682B2 (ja) * 2011-07-27 2016-02-09 キヤノン株式会社 記録ヘッドとその製造方法
JP6383629B2 (ja) * 2014-10-15 2018-08-29 エスアイアイ・プリンテック株式会社 ノズルプレート、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置
JPWO2020189271A1 (ja) * 2019-03-19 2021-10-28 株式会社村田製作所 気泡発生装置
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