JP2946754B2 - インクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドの製造方法Info
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- JP2946754B2 JP2946754B2 JP40326890A JP40326890A JP2946754B2 JP 2946754 B2 JP2946754 B2 JP 2946754B2 JP 40326890 A JP40326890 A JP 40326890A JP 40326890 A JP40326890 A JP 40326890A JP 2946754 B2 JP2946754 B2 JP 2946754B2
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- Japan
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- hole
- ink
- head substrate
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はインクジェット記録装置
に用いられるインクジェット記録ヘッドの製造方法に関
する。
に用いられるインクジェット記録ヘッドの製造方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】オンデマンド型インクジェット記録装置
に要求されている高印字品質化に応えるためにはノズル
密度をより高めることが必要である。このために、例え
ば特開昭５６ー１７２号公報に見られるように、共通の
ヘッド基板上に形成したノズル列に対して複数のインク
室をその両側に交互に配置させて高密度化したインクジ
ェット記録ヘッドが提案されている。そして、この種の
記録ヘッドを低コストで形成するために、ヘッド基板を
高分子樹脂材の射出成形法により形成する手段が採られ
るようになってきた。
に要求されている高印字品質化に応えるためにはノズル
密度をより高めることが必要である。このために、例え
ば特開昭５６ー１７２号公報に見られるように、共通の
ヘッド基板上に形成したノズル列に対して複数のインク
室をその両側に交互に配置させて高密度化したインクジ
ェット記録ヘッドが提案されている。そして、この種の
記録ヘッドを低コストで形成するために、ヘッド基板を
高分子樹脂材の射出成形法により形成する手段が採られ
るようになってきた。
【０００３】すなわち従来のインクジェット記録ヘッド
の製造方法は、高分子樹脂材の射出成形法により、一面
に圧力室と、この圧力室の一端部に位置し且つ面と直交
する向きの貫通穴とを備え、他面にインク室を備え、且
つ圧力室とインク室とを連結する供給路を備えたヘッド
基板を形成する第１の工程と、電鋳やエッチング等によ
り加工したばらつきのないノズル穴を形成した金属製の
ノズル板を、エポキシ樹脂等の接着剤により、ヘッド基
板に接着する第２の工程よりなっていた。
の製造方法は、高分子樹脂材の射出成形法により、一面
に圧力室と、この圧力室の一端部に位置し且つ面と直交
する向きの貫通穴とを備え、他面にインク室を備え、且
つ圧力室とインク室とを連結する供給路を備えたヘッド
基板を形成する第１の工程と、電鋳やエッチング等によ
り加工したばらつきのないノズル穴を形成した金属製の
ノズル板を、エポキシ樹脂等の接着剤により、ヘッド基
板に接着する第２の工程よりなっていた。
【０００４】尚、微細寸法を高精度に成形するために、
特開平１ー２９４０４７号に見られるように、インク
室、圧力室、供給路、ノズル穴全てをレーザービームで
加工する方法があるが、これは工数がかかり、非現実的
である。
特開平１ー２９４０４７号に見られるように、インク
室、圧力室、供給路、ノズル穴全てをレーザービームで
加工する方法があるが、これは工数がかかり、非現実的
である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、高密度化し
たインクジェット記録ヘッドにより高印字品質を得るた
めには、インク室から供給路を経て圧力室に入り、圧力
室内で加圧され、圧力室の一端に連通したノズル穴より
噴射される、一連のインク挙動、即ちインク飛行速度や
飛行方向そして１ドット当りのインク量等が、個別にば
らつきがないことが求められる。インク挙動のばらつき
に大きな影響を与える要因は、圧力室の入口に相当する
供給路の断面積と、出口に相当するノズル穴の断面積の
ばらつきである。供給路とノズル穴の断面積のばらつき
がそれぞれ±１５％以下であれば、たとえ他の部分がば
らついても印字品質が確保されることが実験的に確認さ
れている。
たインクジェット記録ヘッドにより高印字品質を得るた
めには、インク室から供給路を経て圧力室に入り、圧力
室内で加圧され、圧力室の一端に連通したノズル穴より
噴射される、一連のインク挙動、即ちインク飛行速度や
飛行方向そして１ドット当りのインク量等が、個別にば
らつきがないことが求められる。インク挙動のばらつき
に大きな影響を与える要因は、圧力室の入口に相当する
供給路の断面積と、出口に相当するノズル穴の断面積の
ばらつきである。供給路とノズル穴の断面積のばらつき
がそれぞれ±１５％以下であれば、たとえ他の部分がば
らついても印字品質が確保されることが実験的に確認さ
れている。
【０００６】これを各部の寸法精度に置き換えると、円
形断面の供給路及びノズル穴で直径約４０μｍに対し±
２．５μｍになる。しかし現実的には、高分子樹脂材の
射出成形法で、このような微細寸法を高精度に成形する
ことは困難である。
形断面の供給路及びノズル穴で直径約４０μｍに対し±
２．５μｍになる。しかし現実的には、高分子樹脂材の
射出成形法で、このような微細寸法を高精度に成形する
ことは困難である。
【０００７】供給路については、従来は形状的及びコス
ト的な制約からインク室と圧力室を成形するときに同時
に射出成形法で成形する以外に適当な方法がなく、ノズ
ル穴の断面積のばらつきは±５０％以上にもなり、結果
的に高印字品質を得ることができないという問題が発生
している。
ト的な制約からインク室と圧力室を成形するときに同時
に射出成形法で成形する以外に適当な方法がなく、ノズ
ル穴の断面積のばらつきは±５０％以上にもなり、結果
的に高印字品質を得ることができないという問題が発生
している。
【０００８】ノズル穴については、電鋳やエッチング等
により加工したばらつきのないノズル穴を形成したノズ
ル板を、ヘッド基板に接着する方法で対応がとられてい
るが、接着剤によるノズル穴の目詰まりや、位置ずれに
よるインクの飛行曲がり等が生じて、信頼性の面におい
て問題が発生している。
により加工したばらつきのないノズル穴を形成したノズ
ル板を、ヘッド基板に接着する方法で対応がとられてい
るが、接着剤によるノズル穴の目詰まりや、位置ずれに
よるインクの飛行曲がり等が生じて、信頼性の面におい
て問題が発生している。
【０００９】本発明はこのような問題に鑑みてなされた
もので、その目的とするところは、高印字品質が得られ
るインクジェット記録ヘッドを効率的に製造することが
できる、新たな製造方法を提案することにある。
もので、その目的とするところは、高印字品質が得られ
るインクジェット記録ヘッドを効率的に製造することが
できる、新たな製造方法を提案することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明はかかる課題を解
決するためのインクジェット記録ヘッドの製造方法とし
て、一方の面に圧力室、他方の面にインク室、前記圧力
室の一端と連通する前記面と直交する方向の貫通穴とを
備えるヘッド基板を高分子樹脂材の射出成形法により形
成する第１の工程と、前記圧力室とインク室を連結する
供給路をレーザービームの照射により形成する第２の工
程と、前記インク室が形成された面に前記貫通穴を塞ぐ
ように高分子樹脂フィルムを溶剤接着法により貼り付け
る第３の工程と、前記圧力室側から前記貫通穴にレーザ
ービームを照射して前記高分子樹脂フィルムにノズル穴
を形成する第４の工程と、を備えたことを特徴とするも
のである。
決するためのインクジェット記録ヘッドの製造方法とし
て、一方の面に圧力室、他方の面にインク室、前記圧力
室の一端と連通する前記面と直交する方向の貫通穴とを
備えるヘッド基板を高分子樹脂材の射出成形法により形
成する第１の工程と、前記圧力室とインク室を連結する
供給路をレーザービームの照射により形成する第２の工
程と、前記インク室が形成された面に前記貫通穴を塞ぐ
ように高分子樹脂フィルムを溶剤接着法により貼り付け
る第３の工程と、前記圧力室側から前記貫通穴にレーザ
ービームを照射して前記高分子樹脂フィルムにノズル穴
を形成する第４の工程と、を備えたことを特徴とするも
のである。
【００１１】
【実施例】図１〜図４は、本発明の一実施例をなすイン
クジェット記録ヘッドの製造方法の第１〜第４工程を示
したものである。
クジェット記録ヘッドの製造方法の第１〜第４工程を示
したものである。
【００１２】図１は、第１の工程すなわちヘッド基板の
射出成形工程を示したものである。ヘッド基板１は可動
側型板１０と固定側型板２０との間に射出注入されたポ
リサルフォン、ポリエーテルサルフォン、あるいはポリ
カーボネート等の高分子樹脂素材により一体的に成形さ
れる。
射出成形工程を示したものである。ヘッド基板１は可動
側型板１０と固定側型板２０との間に射出注入されたポ
リサルフォン、ポリエーテルサルフォン、あるいはポリ
カーボネート等の高分子樹脂素材により一体的に成形さ
れる。
【００１３】この成形に使用される可動側型板１０に
は、そのキャビティ部に、成形すべきヘッド基板１上の
圧力室４に対応した各部の成形用凸部１４が形成され、
また、圧力室成形用凸部１４の一端部には、ノズル穴６
と連通するための貫通穴５を形成するためのピン１５が
設けられている。
は、そのキャビティ部に、成形すべきヘッド基板１上の
圧力室４に対応した各部の成形用凸部１４が形成され、
また、圧力室成形用凸部１４の一端部には、ノズル穴６
と連通するための貫通穴５を形成するためのピン１５が
設けられている。
【００１４】他方、これに対する固定側型板２０には、
そのキャビティ部に、成形すべきヘッド基板１上のイン
ク室２に対応した各部の成形用凸部１２が形成され、ま
た、上記の貫通穴５を形成するためのピン１５に対向す
る部分に、ピン１５の先端部の支持穴２１が形成されて
いる。なお、図中の符号２２はランナー部、２３はゲー
ト部を示しており、２４はイジェクタピンを示してい
る。
そのキャビティ部に、成形すべきヘッド基板１上のイン
ク室２に対応した各部の成形用凸部１２が形成され、ま
た、上記の貫通穴５を形成するためのピン１５に対向す
る部分に、ピン１５の先端部の支持穴２１が形成されて
いる。なお、図中の符号２２はランナー部、２３はゲー
ト部を示しており、２４はイジェクタピンを示してい
る。
【００１５】このように構成された両型板１０、２０間
にランナー部２２及びゲート部２３を介して上述した高
分子樹脂素材が射出注入されると、一面に圧力室４を有
し、圧力室の一端に図８に示す高分子樹脂フィルム７に
設けたノズル穴６と連通するための貫通穴５を有し、他
面にインク室２を有するヘッド基板１が成形される。図
２は、第２の工程すなわち上述のようにして成形された
ヘッド基板１への供給路３の形成工程を示したものであ
る。上述した第１の工程により成形されたヘッド基板１
は、圧力室４の形成面を表にして固定され、インク室２
及び圧力室４の連結部にレーザービームを照射すること
により、所要の供給路３が形成される。図５は、形成さ
れた供給路３の斜視図である。図６は、形成された供給
路３の断面図である。
にランナー部２２及びゲート部２３を介して上述した高
分子樹脂素材が射出注入されると、一面に圧力室４を有
し、圧力室の一端に図８に示す高分子樹脂フィルム７に
設けたノズル穴６と連通するための貫通穴５を有し、他
面にインク室２を有するヘッド基板１が成形される。図
２は、第２の工程すなわち上述のようにして成形された
ヘッド基板１への供給路３の形成工程を示したものであ
る。上述した第１の工程により成形されたヘッド基板１
は、圧力室４の形成面を表にして固定され、インク室２
及び圧力室４の連結部にレーザービームを照射すること
により、所要の供給路３が形成される。図５は、形成さ
れた供給路３の斜視図である。図６は、形成された供給
路３の断面図である。
【００１６】これに用いるレーザービーム発生装置４０
は、レーザー触媒として、ＡｒＦ、ＫｒＦ、ＸｅＣｌ、
ＸｅＦ等を用いた発振波長が１９３乃至３５１ｎｍの、
化学結合を直接開裂されるに必要な紫外光領域の高エネ
ルギーのフォトンを高強度で発振できるエキシマレーザ
ー装置が好ましい。装置４０から出力したレーザービー
ムをイメージマスク４１と集光レンズ４２を用いて、ヘ
ッド基板１上のインク室２と圧力室４の連結部に収束さ
せて、所要の供給路３を形成する。
は、レーザー触媒として、ＡｒＦ、ＫｒＦ、ＸｅＣｌ、
ＸｅＦ等を用いた発振波長が１９３乃至３５１ｎｍの、
化学結合を直接開裂されるに必要な紫外光領域の高エネ
ルギーのフォトンを高強度で発振できるエキシマレーザ
ー装置が好ましい。装置４０から出力したレーザービー
ムをイメージマスク４１と集光レンズ４２を用いて、ヘ
ッド基板１上のインク室２と圧力室４の連結部に収束さ
せて、所要の供給路３を形成する。
【００１７】実際にポリカーボネートを素材として、ヘ
ッド基板１を射出成形法により形成し、インク室２及び
圧力室４の連結部に縮小率が８の集光レンズ４２を用い
てエネルギー密度が６．０Ｊ／ｃｍ2のレーザービーム
を照射したところ、繰り返し周波数２００Ｈｚで約６０
０回のショット数により穴径４０μｍ、深さ１２０μｍ
でテーパー角度θが約２度の供給路３を１供給路当り３
秒で形成することができた。
ッド基板１を射出成形法により形成し、インク室２及び
圧力室４の連結部に縮小率が８の集光レンズ４２を用い
てエネルギー密度が６．０Ｊ／ｃｍ2のレーザービーム
を照射したところ、繰り返し周波数２００Ｈｚで約６０
０回のショット数により穴径４０μｍ、深さ１２０μｍ
でテーパー角度θが約２度の供給路３を１供給路当り３
秒で形成することができた。
【００１８】必要に応じて、ヘッド基板１とレーザービ
ーム装置４０のいずれか一方を供給路３の配置に合わせ
て順次相対的に移動させながら、ヘッド基板１上に所要
数の供給路３を形成する。
ーム装置４０のいずれか一方を供給路３の配置に合わせ
て順次相対的に移動させながら、ヘッド基板１上に所要
数の供給路３を形成する。
【００１９】図３は、第３の工程すなわち供給路３が形
成されたヘッド基板１に高分子樹脂フィルム７を接着す
る工程を示したものである。
成されたヘッド基板１に高分子樹脂フィルム７を接着す
る工程を示したものである。
【００２０】高分子樹脂フィルム７は、インク室２を閉
じ、且つインク室２側の貫通穴５を塞ぐように、溶剤接
着法によって貼り付ける。
じ、且つインク室２側の貫通穴５を塞ぐように、溶剤接
着法によって貼り付ける。
【００２１】溶剤接着法では、まず高分子樹脂フィルム
７或はヘッド基板１に溶剤を均一に塗布し、次に高分子
樹脂フィルム７とヘッド基板１を張り合わせ、一定荷重
下において数時間放置した後、荷重を取り去り一定温度
下にて数時間放置することによって完全に張り付けられ
る。
７或はヘッド基板１に溶剤を均一に塗布し、次に高分子
樹脂フィルム７とヘッド基板１を張り合わせ、一定荷重
下において数時間放置した後、荷重を取り去り一定温度
下にて数時間放置することによって完全に張り付けられ
る。
【００２２】溶剤を均一に塗布するためには、高分子樹
脂フィルム７に溶剤をスピンコートするか或は、溶剤を
吸着したローラーを用いてヘッド基板１上に塗布する方
法がよい。
脂フィルム７に溶剤をスピンコートするか或は、溶剤を
吸着したローラーを用いてヘッド基板１上に塗布する方
法がよい。
【００２３】図４は、第４の工程すなわちヘッド基板１
に張り付けられた高分子樹脂フィルム７へのノズル穴の
形成工程を示したものである。上述した第３の工程によ
り形成されたヘッド基板１は、圧力室４の形成面を表に
して固定され、圧力室側から貫通穴５内奥面に、レーザ
ービームを照射して内奥面から他面に達するノズル穴６
を形成するようにレーザービームを照射することによ
り、所要のノズル穴６が形成される。図７は、形成され
たノズル穴６の断面図である。
に張り付けられた高分子樹脂フィルム７へのノズル穴の
形成工程を示したものである。上述した第３の工程によ
り形成されたヘッド基板１は、圧力室４の形成面を表に
して固定され、圧力室側から貫通穴５内奥面に、レーザ
ービームを照射して内奥面から他面に達するノズル穴６
を形成するようにレーザービームを照射することによ
り、所要のノズル穴６が形成される。図７は、形成され
たノズル穴６の断面図である。
【００２４】これに用いるレーザービーム発生装置４０
は、図２に示した第２工程の場合と同一である。装置４
０から出力したレーザービームをイメージマスク４１と
集光レンズ４２を用いて、ヘッド基板１上の圧力室側か
ら貫通穴５内奥面に、レーザービームを収束させて、所
要のノズル穴６を形成する。
は、図２に示した第２工程の場合と同一である。装置４
０から出力したレーザービームをイメージマスク４１と
集光レンズ４２を用いて、ヘッド基板１上の圧力室側か
ら貫通穴５内奥面に、レーザービームを収束させて、所
要のノズル穴６を形成する。
【００２５】実際にポリカーボネートを素材として、板
厚８０μｍの高分子樹脂フィルム７とヘッド基板１を溶
剤接着法により接着し、貫通穴５内奥面に、縮小率が８
の集光レンズ４２を用いてエネルギー密度が６．０Ｊ／
ｃｍ2 レーザービームを照射したところ、繰り返し周波
数２００Ｈｚで約４００回のショット数により穴径４０
μｍ、深さ８０μｍでテーパー角度θが約２度のノズル
穴６を１ノズル穴当り２秒で形成することができた。
厚８０μｍの高分子樹脂フィルム７とヘッド基板１を溶
剤接着法により接着し、貫通穴５内奥面に、縮小率が８
の集光レンズ４２を用いてエネルギー密度が６．０Ｊ／
ｃｍ2 レーザービームを照射したところ、繰り返し周波
数２００Ｈｚで約４００回のショット数により穴径４０
μｍ、深さ８０μｍでテーパー角度θが約２度のノズル
穴６を１ノズル穴当り２秒で形成することができた。
【００２６】必要に応じて、ヘッド基板１とレーザービ
ーム装置４０のいずれか一方をノズル穴６の配置に合わ
せて順次相対的に移動させながら、所要数のノズル穴６
を形成する。
ーム装置４０のいずれか一方をノズル穴６の配置に合わ
せて順次相対的に移動させながら、所要数のノズル穴６
を形成する。
【００２７】このようにして上記第１〜第４の工程を終
えたヘッド基板１には、図８に示すように、圧力室４を
覆うように壁部材８が添設され、ついでその上に、ピエ
ゾ振動子８ａを添着し、その上にインクタンクと連通す
るインク供給部材９を添着して、インクジェット記録ヘ
ッドを構成する。
えたヘッド基板１には、図８に示すように、圧力室４を
覆うように壁部材８が添設され、ついでその上に、ピエ
ゾ振動子８ａを添着し、その上にインクタンクと連通す
るインク供給部材９を添着して、インクジェット記録ヘ
ッドを構成する。
【００２８】この方法により、供給路数とノズル穴数共
に４８のヘッド基板を１００個加工したときに、円形断
面供給路とノズル穴の全寸法は直径の平均値で４０μ
ｍ、標準偏差値０．５μｍに分布し、テーパー角度θは
均一性を保っていた。これは、断面積ばらつきで±７．
５％であり、実印字においても高印字品質を確保するこ
とができた。
に４８のヘッド基板を１００個加工したときに、円形断
面供給路とノズル穴の全寸法は直径の平均値で４０μ
ｍ、標準偏差値０．５μｍに分布し、テーパー角度θは
均一性を保っていた。これは、断面積ばらつきで±７．
５％であり、実印字においても高印字品質を確保するこ
とができた。
【００２９】上記実施例以外にも、ヘッド基板１とイン
ク室２及び圧力室４の形状や位置を工夫することによ
り、同様の効果が得られるインクジェット記録ヘッドを
製造することが可能である。
ク室２及び圧力室４の形状や位置を工夫することによ
り、同様の効果が得られるインクジェット記録ヘッドを
製造することが可能である。
【００３０】
【発明の効果】本発明によれば、基板の圧力室、貫通穴
及びインク室など寸法精度が印字品質に直接影響しない
部分は、射出成形法により能率良く形成し、寸法精度が
印字品質に大きく影響する供給路は、射出成形で形成さ
れた圧力室とインク室との連結部にレーザービームを照
射して形成することにより、加工寸法ばらつきを極く少
なくすることが可能となった。同様に、寸法精度が印字
品質に大きく影響するノズル穴は、基板の貫通穴の一方
を一定厚の高分子樹脂フィルムを溶剤接着法により張り
付けて塞いだあと、圧力室側から貫通穴内奥面にレーザ
ービームを照射して形成することにより、接着剤による
ノズル穴の目詰まりや位置ずれがなく、且つ加工寸法ば
らつきを極く少なくすることが可能となった。以上によ
り、高印字品質が得られるインクジェット記録ヘッドを
効率的に製造することができた。
及びインク室など寸法精度が印字品質に直接影響しない
部分は、射出成形法により能率良く形成し、寸法精度が
印字品質に大きく影響する供給路は、射出成形で形成さ
れた圧力室とインク室との連結部にレーザービームを照
射して形成することにより、加工寸法ばらつきを極く少
なくすることが可能となった。同様に、寸法精度が印字
品質に大きく影響するノズル穴は、基板の貫通穴の一方
を一定厚の高分子樹脂フィルムを溶剤接着法により張り
付けて塞いだあと、圧力室側から貫通穴内奥面にレーザ
ービームを照射して形成することにより、接着剤による
ノズル穴の目詰まりや位置ずれがなく、且つ加工寸法ば
らつきを極く少なくすることが可能となった。以上によ
り、高印字品質が得られるインクジェット記録ヘッドを
効率的に製造することができた。
【図１】本発明によるインクジェットヘッドの製造工程
を示した図である。
を示した図である。
【図２】本発明によるインクジェットヘッドの製造工程
を示した図である。
を示した図である。
【図３】本発明によるインクジェットヘッドの製造工程
を示した図である。
を示した図である。
【図４】本発明によるインクジェットヘッドの製造工程
を示した図である。
を示した図である。
【図５】形成された供給路３の斜視図である。
【図６】形成された供給路３の断面図である。
【図７】形成されたノズル穴６の断面図である。
【図８】ヘッド基板をもとに組み付けたインクジェット
ヘッドを示す断面図である。
ヘッドを示す断面図である。
１ ヘッド基板 ２ インク室 ３ 供給路 ４ 圧力室 ５ 貫通穴 ６ ノズル穴 ７ 高分子樹脂フィルム ４０ レーザービーム発生装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B41J 2/16 B41J 2/045 B41J 2/055
Claims (1)
- 【請求項１】一方の面に圧力室、他方の面にインク室、
前記圧力室の一端と連通する前記面と直交する方向の貫
通穴とを備えるヘッド基板を高分子樹脂材の射出成形法
により形成する第１の工程と、 前記圧力室とインク室を連結する供給路をレーザービー
ムの照射により形成する第２の工程と、 前記インク室が形成された面に前記貫通穴を塞ぐように
高分子樹脂フィルムを溶剤接着法により貼り付ける第３
の工程と、 前記圧力室側から前記貫通穴にレーザービームを照射し
て前記高分子樹脂フィルムにノズル穴を形成する第４の
工程と、 を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40326890A JP2946754B2 (ja) | 1990-12-18 | 1990-12-18 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40326890A JP2946754B2 (ja) | 1990-12-18 | 1990-12-18 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04216946A JPH04216946A (ja) | 1992-08-07 |
| JP2946754B2 true JP2946754B2 (ja) | 1999-09-06 |
Family
ID=18513016
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP40326890A Expired - Fee Related JP2946754B2 (ja) | 1990-12-18 | 1990-12-18 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2946754B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6183064B1 (en) | 1995-08-28 | 2001-02-06 | Lexmark International, Inc. | Method for singulating and attaching nozzle plates to printheads |
| US6158843A (en) * | 1997-03-28 | 2000-12-12 | Lexmark International, Inc. | Ink jet printer nozzle plates with ink filtering projections |
| US6668454B2 (en) * | 1997-12-10 | 2003-12-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing a liquid-discharging recording head |
-
1990
- 1990-12-18 JP JP40326890A patent/JP2946754B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH04216946A (ja) | 1992-08-07 |
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