JPH05155029A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH05155029A JPH05155029A JP31826391A JP31826391A JPH05155029A JP H05155029 A JPH05155029 A JP H05155029A JP 31826391 A JP31826391 A JP 31826391A JP 31826391 A JP31826391 A JP 31826391A JP H05155029 A JPH05155029 A JP H05155029A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- transparent
- matrices
- nozzle
- curable resin
- Prior art date
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- Pending
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 インクジェットヘッドの製造方法に関し、イ
ンク通路を高精度且つ低コストで作製出来ることを目的
とする。 【構成】 少なくともノズル、インク通路、圧力室、イ
ンク供給通路、共通インク室等の構成要素を形成する凹
凸が両面に構成され、中間部で分割可能であり、一方或
いは双方が透明なる母型の内側全面に離型剤を塗布し、
母型に紫外線硬化樹脂を充填し、透明なる母型を通じて
紫外線を照射して硬化させ、母型から剥離して構成す
る。
ンク通路を高精度且つ低コストで作製出来ることを目的
とする。 【構成】 少なくともノズル、インク通路、圧力室、イ
ンク供給通路、共通インク室等の構成要素を形成する凹
凸が両面に構成され、中間部で分割可能であり、一方或
いは双方が透明なる母型の内側全面に離型剤を塗布し、
母型に紫外線硬化樹脂を充填し、透明なる母型を通じて
紫外線を照射して硬化させ、母型から剥離して構成す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はインクジェットヘッドの
製造方法に関する。インクジェットプリンタは、印刷媒
体に非接触なヘッドからインクの微小粒子を直接吹付け
て記録を行うものである。
製造方法に関する。インクジェットプリンタは、印刷媒
体に非接触なヘッドからインクの微小粒子を直接吹付け
て記録を行うものである。
【０００２】その結果、印刷媒体に対する制限が少な
い、カラー化が容易に実現出来る等の特徴を有し、更に
高速記録、低騒音と言う特徴を持っている。
い、カラー化が容易に実現出来る等の特徴を有し、更に
高速記録、低騒音と言う特徴を持っている。
【０００３】
【従来の技術】図４(a) 〜(c) の工程別に示す側面図の
如く、インクジェットプリンタ用のヘッドは、ノズル、
インク通路、圧力室、インク供給通路、共通インク室等
の構成要素を形成する方法として、同図(a) に示す如く
ステンレス、ガラス等の基板１の全面にレジスト膜２を
形成し、その上にパターンマスク３を置き露光現像等の
手段で同図(b) に示す如くレジスト膜２にパターンを形
成する。
如く、インクジェットプリンタ用のヘッドは、ノズル、
インク通路、圧力室、インク供給通路、共通インク室等
の構成要素を形成する方法として、同図(a) に示す如く
ステンレス、ガラス等の基板１の全面にレジスト膜２を
形成し、その上にパターンマスク３を置き露光現像等の
手段で同図(b) に示す如くレジスト膜２にパターンを形
成する。
【０００４】そして、同図(c) に示す如く、エッチング
で溝４を彫り、その後レジスト膜２を除去して各構成要
素を作製する方法を用いて来た。
で溝４を彫り、その後レジスト膜２を除去して各構成要
素を作製する方法を用いて来た。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記の方法で作製され
た溝は、エッチングに依って細かい凹凸を生じ、インク
に対して不要な流体抵抗を増大させたり、気泡をトラッ
プする核になって信頼性を低下させ、又、溝の幅に依っ
て形成出来る溝の深さが限定される為、細く浅い部分と
深い部分が共存するような溝構成では、一度のエッチン
グで全部を作製することが出来ず両面からのエッチング
が必要となり多大の工数を要すると言う問題点があっ
た。
た溝は、エッチングに依って細かい凹凸を生じ、インク
に対して不要な流体抵抗を増大させたり、気泡をトラッ
プする核になって信頼性を低下させ、又、溝の幅に依っ
て形成出来る溝の深さが限定される為、細く浅い部分と
深い部分が共存するような溝構成では、一度のエッチン
グで全部を作製することが出来ず両面からのエッチング
が必要となり多大の工数を要すると言う問題点があっ
た。
【０００６】本発明は、インク通路である溝を高精度低
コストで作製出来ることを目的とするものである。
コストで作製出来ることを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】少なくともノズル、イン
ク通路、圧力室、インク供給通路、共通インク室等の構
成要素を形成する凹凸５が両面に構成され、中間部で分
割可能であり、一方或いは双方が透明なる母型６、７の
内側全面に離型剤８を塗布し、母型６、７に紫外線硬化
樹脂９を充填し、透明なる母型６を通じて紫外線を照射
して硬化させ、母型６、７から剥離するようにしたもの
である。
ク通路、圧力室、インク供給通路、共通インク室等の構
成要素を形成する凹凸５が両面に構成され、中間部で分
割可能であり、一方或いは双方が透明なる母型６、７の
内側全面に離型剤８を塗布し、母型６、７に紫外線硬化
樹脂９を充填し、透明なる母型６を通じて紫外線を照射
して硬化させ、母型６、７から剥離するようにしたもの
である。
【０００８】
【作用】母型の両面にインク供給通路等の構成要素が形
成され、離型剤が塗布されている為、充填された紫外線
硬化樹脂を紫外線を照射して硬化後、母型を分割して取
出す際に剥離が容易であり、高精度の溝を両面に備えた
インクジェットヘッドを一体で均一に製作出来る。
成され、離型剤が塗布されている為、充填された紫外線
硬化樹脂を紫外線を照射して硬化後、母型を分割して取
出す際に剥離が容易であり、高精度の溝を両面に備えた
インクジェットヘッドを一体で均一に製作出来る。
【０００９】
【実施例】本発明に於いては、図１(a) 〜(d) の工程別
に示す側面図の如く、少なくともノズル、インク通路、
圧力室、インク供給通路、共通インク室等の構成要素を
形成する凹凸５が両面に構成され、中間部で分割可能で
あり、一方或いは双方が透明なる母型６、７の内側全面
に離型剤８を塗布し、母型６、７に紫外線硬化樹脂９を
充填し、透明なる母型６を通じて紫外線を照射して硬化
させ、硬化した紫外線硬化樹脂９を母型６、７から剥離
するようにしたものである。
に示す側面図の如く、少なくともノズル、インク通路、
圧力室、インク供給通路、共通インク室等の構成要素を
形成する凹凸５が両面に構成され、中間部で分割可能で
あり、一方或いは双方が透明なる母型６、７の内側全面
に離型剤８を塗布し、母型６、７に紫外線硬化樹脂９を
充填し、透明なる母型６を通じて紫外線を照射して硬化
させ、硬化した紫外線硬化樹脂９を母型６、７から剥離
するようにしたものである。
【００１０】同図(a) はインク通路を形成する母型６、
７を示している。母型６、７の内、透明なる母型６は、
例えばガラス基板に構成要素を形成する凹凸５をエッチ
ングで形成する。
７を示している。母型６、７の内、透明なる母型６は、
例えばガラス基板に構成要素を形成する凹凸５をエッチ
ングで形成する。
【００１１】一方、不透明な母型７は、例えばニッケル
を使用し電鋳等の方法を用いて製作する。母型６、７の
内面にはインク通路等の構成要素を形成する為の凹凸５
を備えている。
を使用し電鋳等の方法を用いて製作する。母型６、７の
内面にはインク通路等の構成要素を形成する為の凹凸５
を備えている。
【００１２】そして、母型６、７の内部全面に例えば0.
5 μｍの厚さで離型剤８を塗布しておく。同図(b) は、
紫外線硬化樹脂９を母型６、７の中に充填した状態を示
す。
5 μｍの厚さで離型剤８を塗布しておく。同図(b) は、
紫外線硬化樹脂９を母型６、７の中に充填した状態を示
す。
【００１３】紫外線硬化樹脂９としては、変成アクリレ
ート系硬化樹脂（スリーボンド製）ＡＶＲ−100 を用い
た。母型６、７のインク通路に対応する形状は、ノズル
幅及び深さが50μｍ、圧力室幅１ｍｍでその深さ100μ
ｍ、インク供給路の幅200 μｍその深さ１ｍｍを形成可
能となっている。
ート系硬化樹脂（スリーボンド製）ＡＶＲ−100 を用い
た。母型６、７のインク通路に対応する形状は、ノズル
幅及び深さが50μｍ、圧力室幅１ｍｍでその深さ100μ
ｍ、インク供給路の幅200 μｍその深さ１ｍｍを形成可
能となっている。
【００１４】同図(c) は、紫外線を母型６、７の中の紫
外線硬化樹脂９に照射する工程を示している。紫外線は
透明なる母型６を通じて照射される。
外線硬化樹脂９に照射する工程を示している。紫外線は
透明なる母型６を通じて照射される。
【００１５】照射の条件は、150 ｍＷ／ｃｍ2 、30秒と
した。同図(d) は硬化した紫外線硬化樹脂９を母型６、
７から剥離した状態を示す。母型６、７は型の中央で分
離することが出来、これに依り硬化した紫外線硬化樹脂
９を取出すことが出来る。
した。同図(d) は硬化した紫外線硬化樹脂９を母型６、
７から剥離した状態を示す。母型６、７は型の中央で分
離することが出来、これに依り硬化した紫外線硬化樹脂
９を取出すことが出来る。
【００１６】又、硬化した紫外線硬化樹脂９は、離型剤
８に依り母型６、７から形状を傷めること無く均一且つ
容易に分離させることが出来る。離型剤８としては、紫
外線硬化樹脂９と化学的に反応しないシリコーン系樹脂
又はフッ素系樹脂が適している。
８に依り母型６、７から形状を傷めること無く均一且つ
容易に分離させることが出来る。離型剤８としては、紫
外線硬化樹脂９と化学的に反応しないシリコーン系樹脂
又はフッ素系樹脂が適している。
【００１７】紫外線硬化樹脂９の充填は、適量のペース
ト状の紫外線硬化樹脂９を一方の母型７に馴染ませるよ
うにして盛り上げ、他方の母型６を被せて押圧する方法
を用いる。
ト状の紫外線硬化樹脂９を一方の母型７に馴染ませるよ
うにして盛り上げ、他方の母型６を被せて押圧する方法
を用いる。
【００１８】上記のような製造方法をとることで、イン
クジェットヘッドは構成要素５を両面に構成出来、ノズ
ルと圧電素子から成る噴射ユニットの集積度を高くする
ことが出来る。
クジェットヘッドは構成要素５を両面に構成出来、ノズ
ルと圧電素子から成る噴射ユニットの集積度を高くする
ことが出来る。
【００１９】又、エッチング基板等を重ね合わせる従来
技術の方法では、両側のノズル配列間の位置精度が悪
く、一般的には20〜50μｍのばらつきが生じていた。こ
れに対し本発明の方法では、ノズルピッチを±２μｍ以
下の寸法精度とすることが出来る。
技術の方法では、両側のノズル配列間の位置精度が悪
く、一般的には20〜50μｍのばらつきが生じていた。こ
れに対し本発明の方法では、ノズルピッチを±２μｍ以
下の寸法精度とすることが出来る。
【００２０】図２はこのようにして製作されたインク通
路を備えたインクジェットヘッドの核10となる部分を示
す平面図で、インクジェットヘッドは図３の断面図に示
す如く、核10の両側に振動板11を接合し、更に圧力室に
対応する部分の振動板11の上に圧電素子（図示省略）を
接着して構成される。
路を備えたインクジェットヘッドの核10となる部分を示
す平面図で、インクジェットヘッドは図３の断面図に示
す如く、核10の両側に振動板11を接合し、更に圧力室に
対応する部分の振動板11の上に圧電素子（図示省略）を
接着して構成される。
【００２１】尚、上記説明は、構成要素５が両面にある
場合について行ったが、本発明は片面に構成要素５があ
るインクジェットヘッドについても勿論適用可能であ
る。
場合について行ったが、本発明は片面に構成要素５があ
るインクジェットヘッドについても勿論適用可能であ
る。
【００２２】
【発明の効果】本発明の製造方法を用いることで、高集
積度で高精度の構成要素を備えたインクジェットヘッド
が連続して作製することが出来、小型化、高解像度化を
実現出来る等、経済上及び産業上に多大の効果を奏す
る。
積度で高精度の構成要素を備えたインクジェットヘッド
が連続して作製することが出来、小型化、高解像度化を
実現出来る等、経済上及び産業上に多大の効果を奏す
る。
【図１】 本発明のインクジェットヘッドの製造方法を
工程別に示す側面図、
工程別に示す側面図、
【図２】 本発明で製作されたインクジェットヘッドの
核となる部分の平面図、
核となる部分の平面図、
【図３】 インクジェットヘッドの断面図、
【図４】 従来のインクジェットヘッドの製造方法を工
程別に示す側面図、
程別に示す側面図、
５ 構成要素を形成する凹凸、 ６、７ 母型、 ８ 離型剤、 ９ 紫外線硬化樹脂、 10 核、 11 振動板、
Claims (1)
- 【請求項１】 少なくともノズル、インク通路、圧力
室、インク供給通路、共通インク室等の構成要素を形成
する凹凸(5) が両面に構成され、中間部で分割可能であ
り、一方或いは双方が透明なる母型(6、7)の内側全面に
離型剤(8) を塗布し、 前記母型(6、7)に紫外線硬化樹脂(9) を充填し、 透明なる母型(6) を通じて紫外線を照射して硬化させ、 硬化した紫外線硬化樹脂９を前記母型(6、7)から剥離し
たことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31826391A JPH05155029A (ja) | 1991-12-03 | 1991-12-03 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31826391A JPH05155029A (ja) | 1991-12-03 | 1991-12-03 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05155029A true JPH05155029A (ja) | 1993-06-22 |
Family
ID=18097251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31826391A Pending JPH05155029A (ja) | 1991-12-03 | 1991-12-03 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05155029A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20120180276A1 (en) * | 2011-01-17 | 2012-07-19 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Manufacturing method of inkjet head |
-
1991
- 1991-12-03 JP JP31826391A patent/JPH05155029A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20120180276A1 (en) * | 2011-01-17 | 2012-07-19 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Manufacturing method of inkjet head |
| US9272518B2 (en) * | 2011-01-17 | 2016-03-01 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Manufacturing method of inkjet head |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20001017 |