JPH04185444A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
- Publication number
- JPH04185444A JPH04185444A JP31370490A JP31370490A JPH04185444A JP H04185444 A JPH04185444 A JP H04185444A JP 31370490 A JP31370490 A JP 31370490A JP 31370490 A JP31370490 A JP 31370490A JP H04185444 A JPH04185444 A JP H04185444A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cover plate
- piezoelectric element
- grooves
- face
- actuators
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 13
- 238000005192 partition Methods 0.000 abstract description 11
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
艮東立互
本発明は、インクジェットヘッド、より詳細には、イン
クジェット記録装置においてインク滴を噴射するために
用いられるインクジェットヘッドの改良に関する。
クジェット記録装置においてインク滴を噴射するために
用いられるインクジェットヘッドの改良に関する。
災米艮豊
インクジェットヘットは、インクジェット記録装置にお
いて、インク加圧室内のインクをアクチュエータにて加
圧してノズルよりインク滴として噴射させて記録紙上に
印字を行うものである。而して、従来のインクジェット
ヘッドにおいては、各インク加圧室は、個別アクチュエ
ータに対応して、ガラス基板をエツチングしたり、ダイ
シング加工によって製作していたが、材料コストが高価
であったり、チッピングが生じて滑らかな液室が出来な
いなどの問題があった。
いて、インク加圧室内のインクをアクチュエータにて加
圧してノズルよりインク滴として噴射させて記録紙上に
印字を行うものである。而して、従来のインクジェット
ヘッドにおいては、各インク加圧室は、個別アクチュエ
ータに対応して、ガラス基板をエツチングしたり、ダイ
シング加工によって製作していたが、材料コストが高価
であったり、チッピングが生じて滑らかな液室が出来な
いなどの問題があった。
また、特開平１−１２５２４１号公報には、アクチュエ
ータとしての熱エネルギー発生素子を有する基板上に、
感光性樹脂を硬化して流路溝を形成し、この流路溝の壁
部分の配置間隔を熱エネルギー発生素子をもつ作用部よ
り吐出口側で狭くなっているインクジェットヘッドが開
示されている。
ータとしての熱エネルギー発生素子を有する基板上に、
感光性樹脂を硬化して流路溝を形成し、この流路溝の壁
部分の配置間隔を熱エネルギー発生素子をもつ作用部よ
り吐出口側で狭くなっているインクジェットヘッドが開
示されている。
而して、この特開平１−１２５７４１号公報に開示され
たインクジェットヘットにおいては、発熱素子より成る
アクチュエータ側に流路溝を形成しているため、工程上
、予め基板上に発熱素子を形成し、その後に感光性樹脂
によって流路溝を形成しなければならず、このように多
数の工程を経て得られた高い付加価値を有している発熱
体も、その後の流路溝を形成する際に歩留りが低いと価
格的にロスが大きい。
たインクジェットヘットにおいては、発熱素子より成る
アクチュエータ側に流路溝を形成しているため、工程上
、予め基板上に発熱素子を形成し、その後に感光性樹脂
によって流路溝を形成しなければならず、このように多
数の工程を経て得られた高い付加価値を有している発熱
体も、その後の流路溝を形成する際に歩留りが低いと価
格的にロスが大きい。
１−一五
本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたもので、
特に、付加価値を有していない蓋部材上に容易に流路溝
を形成するようにして、工程を簡単にして損失コストを
少なくし、安価に流路溝を形成することを可能にするこ
とを目的としてなされたものである。
特に、付加価値を有していない蓋部材上に容易に流路溝
を形成するようにして、工程を簡単にして損失コストを
少なくし、安価に流路溝を形成することを可能にするこ
とを目的としてなされたものである。
構 成
本発明は、上記目的を達成するために、インク流路内の
インクを加圧してインク滴を噴射するインクジェットへ
ストにおいて、前記インク流路は、圧電素子を有する一
方の面と、該面と対向する他方の面と、これら両面の間
に介在して前記インク流路を形成する側壁とから成り、
該側壁は前記他方の面を形成する蓋板に一体的に形成さ
れ、該蓋板上に感光性樹脂によって前記側壁が形成され
ていることを特徴としたものである。以下、本発明の実
施例に基いて説明する。
インクを加圧してインク滴を噴射するインクジェットへ
ストにおいて、前記インク流路は、圧電素子を有する一
方の面と、該面と対向する他方の面と、これら両面の間
に介在して前記インク流路を形成する側壁とから成り、
該側壁は前記他方の面を形成する蓋板に一体的に形成さ
れ、該蓋板上に感光性樹脂によって前記側壁が形成され
ていることを特徴としたものである。以下、本発明の実
施例に基いて説明する。
本発明は、一つの圧電素子に、個別駆動が可能なように
溝加工を施し、各溝が個々に仕切られた液室ておおわれ
、溝間で形成された圧電素子の作用によって液室内の容
積変動が生しさせて液を吐出させるインクジェットヘッ
ドに関するものであるが、このようなインクジェットヘ
ットにおいては、複数のアクチュエータを高密度に実装
する際に、液室をいかに作るかが問題となる。本発明は
、この微細な液室を高密度にかつ安価に作ることにある
。
溝加工を施し、各溝が個々に仕切られた液室ておおわれ
、溝間で形成された圧電素子の作用によって液室内の容
積変動が生しさせて液を吐出させるインクジェットヘッ
ドに関するものであるが、このようなインクジェットヘ
ットにおいては、複数のアクチュエータを高密度に実装
する際に、液室をいかに作るかが問題となる。本発明は
、この微細な液室を高密度にかつ安価に作ることにある
。
第１図は、本発明によるインクジェットヘットの一実施
例を説明するための要部構成図で、図中、１０はヘット
基板側、２ｏは蓋板側を示し、基板１０は、単一の圧電
素子１１に溝１２を加工して設け、複数のアクチュエー
ト部１３を容易に形成し、各々のアクチュエート部１３
には、蓋板２０の流路溝２２によって形成される液室が
対応して設けられている。各アクチュエート部１３の間
には溝１２によって分離された隔壁１４が設けられてお
り、この圧電素子に設けられた隔壁１４の面Ａと、蓋板
２０に設けられた隔壁２１の面Ｂとが接合され、隣接間
の流路と独立されるようになっている。
例を説明するための要部構成図で、図中、１０はヘット
基板側、２ｏは蓋板側を示し、基板１０は、単一の圧電
素子１１に溝１２を加工して設け、複数のアクチュエー
ト部１３を容易に形成し、各々のアクチュエート部１３
には、蓋板２０の流路溝２２によって形成される液室が
対応して設けられている。各アクチュエート部１３の間
には溝１２によって分離された隔壁１４が設けられてお
り、この圧電素子に設けられた隔壁１４の面Ａと、蓋板
２０に設けられた隔壁２１の面Ｂとが接合され、隣接間
の流路と独立されるようになっている。
第２図は、第１図に示した蓋板２０を裏面から見た斜視
図で、該蓋板２０は基材２１１と感光性樹脂層２０２と
から成り、基材２０□としてはガラスや樹脂の平板が用
いられ、この平板の上に、感光性樹脂Ｎ２ｏｚによって
流路溝２２やオリフィス部２３が設けられている。各流
路１１２２は、前述の隔壁２１によって分離されており
、この隔壁２１の面Ｂが前記ヘット基板１０側の隔壁１
４の面Ａと接着され、各インク加圧室が独立して作動さ
れるように形成されている。
図で、該蓋板２０は基材２１１と感光性樹脂層２０２と
から成り、基材２０□としてはガラスや樹脂の平板が用
いられ、この平板の上に、感光性樹脂Ｎ２ｏｚによって
流路溝２２やオリフィス部２３が設けられている。各流
路１１２２は、前述の隔壁２１によって分離されており
、この隔壁２１の面Ｂが前記ヘット基板１０側の隔壁１
４の面Ａと接着され、各インク加圧室が独立して作動さ
れるように形成されている。
第３図は、第２図に示したインク流路を形成するための
パターニングの工程を示す図で、（ａ）図は、感光性樹
脂層２０□の膜形成、（ｂ）図は。
パターニングの工程を示す図で、（ａ）図は、感光性樹
脂層２０□の膜形成、（ｂ）図は。
マスク３０を用いての露光、（ｃ）図は現像の各工程を
示す。まず、基板２０１上に、ドライフィルムレジスト
２０□（例えば、オーディルＰＲ１５５，５Ｐ７５０．
フォテック５Ｒ３０００）を加圧、加熱ロールでラミネ
ートし、基板２０□上に密着させる。この時、ドライフ
ィルムでなくても等価なレジスト部を液化してスピナー
やロールコータで膜形成してもよい。
示す。まず、基板２０１上に、ドライフィルムレジスト
２０□（例えば、オーディルＰＲ１５５，５Ｐ７５０．
フォテック５Ｒ３０００）を加圧、加熱ロールでラミネ
ートし、基板２０□上に密着させる。この時、ドライフ
ィルムでなくても等価なレジスト部を液化してスピナー
やロールコータで膜形成してもよい。
次に、マスク３０をして露光することで、パターンとし
て残す箇所に光を当て１重合反応を生じさせて硬化させ
る。
て残す箇所に光を当て１重合反応を生じさせて硬化させ
る。
最後に、光の当たらなかった未重合部を現像剤（トリク
ロロエタン）にて除去する。
ロロエタン）にて除去する。
なお、図には示さなかったが、化学的に安定性を得る為
に、ＵＶ硬化として、露光時の約１０倍のエネルギーを
照射し、後に１３０〜１５０℃にて本硬化して完全に定
着を行なう。
に、ＵＶ硬化として、露光時の約１０倍のエネルギーを
照射し、後に１３０〜１５０℃にて本硬化して完全に定
着を行なう。
効 果
以上の説明から明らかなように、本発明によると、
フラツトな基材（蓋板）上に感光性樹脂を用いてパター
ニング形成することで、樹脂の射出成型では製作困難な
微細形状が形成できる。
ニング形成することで、樹脂の射出成型では製作困難な
微細形状が形成できる。
又、安価な基材（ガラス板、樹脂板）に形成することで
１歩留り考慮したトータルコストの低減が可能となる。
１歩留り考慮したトータルコストの低減が可能となる。
等の利点がある。
第１図は１本発明の一実施例を説明するための要部構成
図、第２図は、第１図に示した蓋板２゜の詳細図、第３
図は、インク流路を形成するバターニング工程を示す図
である。 １０・・・ヘッド基板、１１・・・圧電素子、１２ ・
溝、１３・・アクチュエート部、１４・・隔壁、２０・
・蓋板、２０１・・・基材、２ｏ２・・・感光性樹脂層
、２１・・・隔壁、２２・流路、３０・・マスク。 第１図 第２図 （Ｃ） 現１象 図 −一二！：ｇｚ
図、第２図は、第１図に示した蓋板２゜の詳細図、第３
図は、インク流路を形成するバターニング工程を示す図
である。 １０・・・ヘッド基板、１１・・・圧電素子、１２ ・
溝、１３・・アクチュエート部、１４・・隔壁、２０・
・蓋板、２０１・・・基材、２ｏ２・・・感光性樹脂層
、２１・・・隔壁、２２・流路、３０・・マスク。 第１図 第２図 （Ｃ） 現１象 図 −一二！：ｇｚ
Claims (1)
- １、インク流路内のインクを加圧してインク滴を噴射す
るインクジェットヘッドにおいて、前記インク流路は、
圧電素子を有する一方の面と、該面と対向する他方の面
と、これら両面の間に介在して前記インク流路を形成す
る側壁とから成り、該側壁は前記他方の面を形成する蓋
板に一体的に形成され、該蓋板上に感光性樹脂によって
前記側壁が形成されていることを特徴とするインクジェ
ットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31370490A JPH04185444A (ja) | 1990-11-19 | 1990-11-19 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31370490A JPH04185444A (ja) | 1990-11-19 | 1990-11-19 | インクジェットヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04185444A true JPH04185444A (ja) | 1992-07-02 |
Family
ID=18044517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31370490A Pending JPH04185444A (ja) | 1990-11-19 | 1990-11-19 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04185444A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5739832A (en) * | 1994-11-24 | 1998-04-14 | Pelikan Produktions Ag | Droplet generator for generating micro-drops, specifically for an ink-jet printer |
-
1990
- 1990-11-19 JP JP31370490A patent/JPH04185444A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5739832A (en) * | 1994-11-24 | 1998-04-14 | Pelikan Produktions Ag | Droplet generator for generating micro-drops, specifically for an ink-jet printer |
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