KR100202729B1 - 잉크 제트 헤드의 제조 방법 및 잉크 제트 헤드 - Google Patents

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미따라이 하지메
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Abstract

본 발명은 잉크를 토출하기 위한 토출구에 연통 접속된 잉크 통로를 형성하기 위해 기판 상에 통로 성형 재료를 배치하는 제1단계와, 통로 성형 재료 근방에 기판 상에 단부 성형 재료를 배치하는 제2단계와, 통로 성형 재료와 단부 성형 재료를 덮기 위해 기판 상에 벽 성형 재료를 배치하는 제3단계, 및 통로 성형 재료를 기판으로 부터 제거함으로서 벽 성형 재료로 통로를 성형하는 제4단계를 포함하는 잉크 제트 헤드의 제조 방법에 관한 것이다. 이 방법으로 인해, 종래의 기술이 적용될 때 기판에 대해 통로 성형 재료의 압출 성형된 모서리 상에서 발생되기 쉬운 크랙 및 다른 결함의 발생 없이 성형 부재와 실제로 동일한 형태이고 잉크 챔버와 노즐을 갖는 잉크 제트 헤드를 제작하는 것이 가능하다.

Description

잉크 제트 헤드의 제조 방법 및 잉크 제트 헤드
제1도는 본 발명의 제1실시예에 따른 잉크 제트 헤드의 제조 방법의 특징을 나타내는 성형 부재의 형태를 도시한 평면도.
제2a도 내지 제2c도는 본 발명의 제1실시예에 따른 제조 방법에 의해 얻을 수 있는 액실의 형태를 도시한 도면.
제3도는 본 발명의 제2실시예에 따른 잉크 제트 헤드의 제조 방법의 특징을 나타내는 성형 부재의 주변 구조를 도시한 부분 평면도.
제4도는 본 발명의 제3실시예에 따른 잉크 제트 헤드의 제조 방법의 특징을 나타내는 성형 부재의 형태를 도시한 평면도.
제5도는 본 발명의 제4실시예에 따른 잉크 제트 헤드의 제조 방법의 특징을 나타내는 성형 부재의 형태를 도시한 평면도.
제6a도 내지 제6f도는 본 발명의 제5실시예에 따른 잉크 제트 헤드의 제조 방법의 단계를 도시한 공정도.
제7도는 노즐과 액실로 되는 성형 부재, 및 고립 부재에 대한 배치 상태를 도시한 평면도.
제8a도 내지 제8f도는 본 발명의 제6실시예에 따른 잉크 제트 헤드의 제조 방법의 단계를 도시한 공정도.
제9a도 내지 제9e도는 본 발명의 제7실시예에 따른 잉크 제트 헤드의 제조 방법의 단계를 도시한 공정도.
제10도는 고립 부재의 또 다른 예를 도시한 평면도.
제11도는 고립 부재의 또 다른 예를 도시한 평면도.
제12도는 본 발명의 제8 실시예에 따른 잉크 제트 헤드의 제조 방법의 특징을 나타내는 성형 부재의 형태를 도시한 평면도.
제13a도 및 제13b도는 히터의 주변부를 세 방향으로 둘러싼 노즐벽에 의해 구성되는 기판으로의 노즐과 오리피스의 투영 위치 관계를 도시한 도면.
제14도는 소위 측면 슈터형의 열 잉크 제트 헤드를 도시한 사시도.
제15도는 제14도에 나타난 헤드를 구성하는 히터 기파늘 도시한 사시도.
제16도는 제14도의 선16-16을 따라 취한 잉크 제트 헤드의 횡단면도.
제17a도 내지 제17g도는 잉크 제트 헤드의 종래의 제조 방법을 도시한 도면.
제18도는 잉크 제트 헤드의 종래의 제조 방법에 사용된 성형 부재의 평면 형태를 도시한 도면.
제19도는 매우 얇은 노즐 판 부재가 수지 판 사출 성형법에 의해 성형될 때의 헤드의 부분 횡단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 히터 2 : 기판
3 : 액실 성형 재료 4 : 노즐 부재 성형 재료
5 : 주변 부재 성형 재료 6 : 액실
36 : 성형 부재 37 : 수지 재료
본 발명은 잉크 제트 헤드의 제조 방법 및 이 방법에 의해 제작된 잉크 제트 헤드에 관한 것이다.
잉크 제트 헤드는 문자, 화상등을 기록하기 위해 그 노즐로 부터 잉크를 액적으로 토출하도록 배치된다. 이 헤드는 고속 인쇄 뿐만 아니라 고정밀도의 화상을 출력하기 위한 수단으로서의 뛰어난 장점을 갖는다. 특히, 전기 열 변환체(이하에 히터로 언급된)등에 의해 야기된 버블(기포)에 의해 생긴 압력을 이용하는 방법, 즉 (미합중국 특허 제4,723,129호와 일본국 특허 공개 소61-59911~4호에 기재된) 이른바 열 잉크 제트 기록 방법은 장치의 소형 제작을 가능하게 하고 다른 장점 중에서도 그 장치가 고밀도로 화상을 기록하는 것을 더 용이하게 하는 것을 특징으로 한다.
제14도는 하나의 예로서 전술된 열 잉크 제트 헤드를 도시한다. 제14도는 이른바 측면 슈터형 열 잉크 제트 헤드를 도시하는 사시도이다. 제15도는 제14도에 나타난 헤드를 구성하는 히터 기판을 도시하는 사시도이다.
제14도에 도시된 잉크 제트 헤드는 게판(103)에 배치된 다수의 오리피스(101)를 갖는 노즐판 부재(102)의 접합에 의해 구성된다. 기판(103)상에서, 잉크 공급구(104)는 제15도에 도시된 대로 개방되어 있다. 노즐판 부재(102)에 접합되는 기판(103)의 표면 상에, 다수의 히터(105)가 오리피스(101)의 위치에 대응하여 배치된다.
또한, 제16도는 제14도의 선16-16을 따라 위한 단면도이다. 제16도에 도시된 대로, 기판(103)과 노즐판 부재(102) 사이에 잉크 공급구(104)로 부터 히터(105)위에 배치된 오리피스(101)에 연통 배치된 액실(106)과 노즐(107)로 공급된다. 그후, 잉크는 히터(105) 상에 야기된 기포에 의해 생긴 압력에 의해서 오리피스(101)로 부터 토출된다.
전술된 잉크 제트 헤드의 특징적인 구조는 액실과 노즐에 필요한 공간이 기판(101)과 노즐판 부재(102)를 서로 접합함으로서 형성된다는 점이다.
이러한 헤드는 제17a도 내지 제 17g도에 도시된 제작 단계에 의해 구성될 수 있다. 이하에, 전술된 잉크 제트 헤드의 제조 방법에 대해 기재하기로 한다.
제공된 잉크 공급구(104)와 히터(105)를 갖는 기판(103)은 (제17a도에 도시된 대로) 미리 준비된다. 그후 건조 박막 오더(ODUR)(상품명: 도꾜 오오까 가부사끼 가이샤 제품)와 같은 광반응 포지티브형 저항 재료(107)는 (제17b도에 도시된 대로) 그 위에 적층된다. 노즐과 액실을 제공하는 성형 부재(109)는 (제17c도에 도시된 대로)사진 석판 공정에 의해 가판(103) 상에 형성된다. 이 성형 부재(109)의 표면 형태는 제18도에 도시된다. 제18도에서, 참조 부호 B 및 C에 의해 나타낸 부분들은 노즐과 액실이 각각 형성되는 부분들이다.
그후 다음의 혼합물을 50중량부 만큼 크실렌 대 시클로헥산의 비율이 8:2인 용제 안으로 용해시킴으로서, 수지 재료를 얻게 되며, 이러한 수지 재료는 기판(103)과 성형 부재(109)상에 스핀 도포되고 빛 또는 열에 의해 경화되어, (제17D에 도시된)노즐판 부재(102)를 형성하며, 이 노즐판 재료로는
에피코트(Epicoat) 1002(상품명; 유까 셸 에폭시 가부시끼 가이샤 제품) 100부,
에포라이트(Epowrite) 3002(상품명; 교에이 가부시끼 가이샤 제품) 20부,
이가큐어(Irgacure) 261(상품명; 시바 가이기 제품) 3부
로 구성된다.
이 공정 후에, 광경화형 내산소 플라즈마 재료(110)는 노즐판 부재(102) 상에 박막을 형성하기 위해 도포되고, 그 후 제거부(111)는 사진 석판 공정에 의해 오리피스 형태로 각각 일정 위치에 여기에서는 (제17e도에 도시된)각각의 히터에 대향하는 위치에 형성된다. 따라서 오리피스(101)는 (제17f도에 도시된)플라즈마 방사에 의해 노즐판 부재(102) 상에 형성된다. 성형 재료(109)는 용해되어 (제17g도에 도시된)노즐(107)과 액실(106)의 성형을 위해 오리피스와 잉크 공급구를 통해 제거된다.
전술된 제조 방법에 의해 생산된 잉크 제트 헤드로 부터의 잉크 토출 성능은 히터면과 오리피스 성형면 사이의 틈새에 크게 좌우된다. 그러나, 그 구조는 노즐판 부재가 수지 재료의 도포에 의해 성형되도록 하며, 히터면과 오리피스 성형면 사이의 틈새를 조절하는 것은 쉬운 일이다. 이 틈새는 헤드가 제작될 때 잉크 토출 특성 상에 심각한 영향을 끼친다. 그렇게 배치된 구조로 인해 또한 그것들을 더 낮은 비용으로 제작할 수 있게 된다. 또한, 10pl 이하의 액적을 제공하는 것이 가능하다. 그러한 액적은 고정밀도의 화상을 얻는 데 특히 필요하다. 또한 오리피스는 사진 석판 공정에 의해 형성되기 때문에, 다른 특징 중에서도 히터와 오리피스를 배치하는 것이 용이하다. 그 위에 그러한 성형 부재를 갖는 기판 상에 수지 재료를 도포함으로서 노즐판 부재를 제작하기 위한 방법을 이하에 수지판 사출 성형볍으로 부르기로 한다.
그러나, 100m 이하의 매우 얇은 노즐판 부재가 제3도에 도시된 제작 공정에 의해 성형되면, 히터면과 오리피스 성형면 사이의 더 좁은 틈새와 더 양호한 잉크 토출 특성 때문에 노즐판 부재 상의 수지 재료의 도포 상태는 때때로 기판 상의 압출 성형된 성형 부재의 모서리 근방에서 균일하지 않게 된다.
이제 제18도 및 제19도를 참조로, 그러한 불균일성이 일어나게 되면 발생되는 문제점에 대해 기재하기로 한다. 제19도는 매우 얇은 노즐 판 부재가 수지 판 사출 성형법에 의해 성형될 때의 헤드를 도시한 단면도이다.
다시 말해, 제18도의 부분D에 대응하는 제19도의 참조 부호E에 의해 나타낸 부분에서 문제점이 발생한다. 기판 상에 도포된 수지 재료의 두께는 기판 상의 액실을 생성하는 성형 부재의 압출 성형된 모서리의 근방에서 국부적으로 더 얇아진다. 그 결과, 응력이 더 얇은 이 부분에 집중되어 노즐판 부재 상에 크랙(112)을 야기시킨다. 심각한 경우에, 액실이 가라않게 되어, 잉크 제트 헤드를 생산할 때 바람직스럽지 않게 생산량이 줄어들게 된다.
이러한 결함을 피하기 위해, 노즐과 액실부의 박막 두께(H)와 가능한 작은 그러한 부분 이외의 부분의 박막 두께(H)는 두께(h)와 거의 같아야 하며, 즉 노즐판 부재의 표면은 실제로 편평해야 한다. 그러나, 이러한 점에서 수지 재료를 도포하기 위한 몇몇 방법을 고안함으로서 어떠한 개선을 이루는 것은 어려운 일이다. 여기에서 또한, 그 공정은 도포이 편평면을 얻기 위해 여러번 반복된다면 복잡해지며, 불가피하게 잉크 제트 헤드 제작의 비용 증가를 가져온다. 또한, 기판에 대한 성형 부재의 압출 성형된 모서리에서 수지 도포 상태를 개선시키기 위해, 그러한 성형 부재의 두께를 고려하여 노즐판 부재를 충분한 두께로 도포한다. 그러나 이 경우에, 히터면과 오리피스 성형면 사이의 합성 틈새는 더 커지게 되어, 소정 토출 특성을 얻을 수 있는 노즐을 설계하는 것을 어렵게 한다.
본 발명은 전술된 종래 기술에서 발생된 문제점을 고려하여 설계된다. 본 발명의 목적은 수지판 사출 성형법이 잉크 제트 헤드의 제작을 위해 채택될 때 기판에 대한 성형 부재의 압출 성형된 모서리의 근방에서 수지 박막의 두께가 더 얇아지는 것을 방지하는 것을 더 용이하게 하도록 배치된 잉크 제트 기록 헤드의 제조 방법을 제공하는 것이다.
전술된 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 종래의 제조 방법에서 발견된 현상을 유의하여 크랙킹등이 노즐이 일정 값 이상의 밀도로 액실에 접속되는 표면 상에서, 즉 제19도의 참조 부호F에 의해 나타낸 부분에서 발생하지 않도록, 일예로 잉크 제트 헤드를 제작할 때 노즐판 부재가 F부분 상에서 실제로 편평하게 형성되도록 설계된다.
따라서 다시 말해, 본 발명에 따른 잉크 제트 헤드의 제조 방법은 잉크를 토출하기 위한 토출구에 연통 접속된 잉크 통로를 형성하기 위해 기판 상에 통로 성형 재료를 배치하는 제1 단계와, 통로 성형 재료 근방에 기판 상에 단부 성형 재료를 배치하는 제2 단계와, 통로 성형 재료와 단부 성형 재료를 덮기 위해 기판 상에 벽 성형 재료를 배치하는 제3 단계, 및 통로 성형 재료를 기판으로 부터 제거함으로서 벽 성형 재료로 통로를 성형하는 제4 단계를 포함하도록 구성된다.
이러한 점에서, 전술된 수지 재료가 중첩될 때 성형 부재의 단부의 근방에서 수단이 수지 재료의 표면의 경사를 완화하기 위해 배치되는 것을 특징으로 하는 방법을 채택하는 것이 가능하다.
또는 노즐 부재 성형 재료가 접속되는 액실 성형 재료의 주변부 이외의 부분에서 적어도 액실 성형 재료로 부터 압출 성형되는 형태의 주변 부재 성형 재료를 제공하는 것을 특징으로 하는 방법을 채택하는 것이 가능하다.
또는 고립 부재는 노즐 부재 성형 재료가 접속되는 액실 성형 재료의 주변부 이외의 부분과 일정 틈새를 갖는 위치나 접히는 위치에 제공되는 것을 특징으로 하는 방법을 채택하는 것이 가능하다.
또한, 전술된 각각의 제조 방법에 있어서, 재료의 중첩이라는 용어는 그 방법에서 도포 단계를 의미한다.
또한, 본 발명의 목적을 달성하기 위해, 전술된 방법에 의해 제작된 잉크 제트 헤드는 토출구로 부터 잉크를 토출시키기 위해 이용되는 에너지를 발생시키기 위해 그 위에 배치된 에너지 발생 소자를 갖는 기판과, 토출구에 연통 접속된 잉크 통로의 벽을 형성하기 위해 배치된 오목부를 갖는 이 기판과 접속되는 벽 성형 재료를 포함하고, 전술된 오목부와 상이한 단부 오목부는 그것들이 전술된 기판에 접속되는 구역 내의 통로의 단부 근방에서 벽 성형 재료를 위해 추가로 배치된다.
본 발명에 따라, 수지 재료는 압력 수단을 갖춘 기판 상에 배치된 후에 공통 액실을 형성하는 액실 성형 재료와 노즐을 형성하는 노즐 부재 성형 재료, 및 전술된 노즐 부재 성형 재료가 액실 성형 부재의 주변부에 접속되지 않는 측면부로 부터 압출 성형되는 형태의 주변 부재 성형 재료를 포함하는 성형 부재 상에 도포된다. 그 결과, 성형 부재의 압출 성형된 모서리를 덮는 수지 재료의 박막 두께는 기판에 대해 더 얇아지지 않게 된다. 그 결과, 수지 재료가 경화되고 성형 부재가 제거될 때, 그 두께가 국부적으로 얇아지는 어떠한 부분도 노즐판 부재 상에 발생되지 않는다. 어떠한 크랙킹도 노즐판 부재 상에 발생되지 않아, 제작시에 잉크 제트 헤드의 생산량을 개선시킨다. 또한, 고립 부재가 배치된 후에 전술된 주변 부재 성형 재료 대신에 노즐 부재 성형 재료가 액실 성형 재료의 주변부 상에 배치되는 측면부와 일정 틈새를 갖는 위치나 그 측면부에 접하는 위치에 수지 재료를 도포하는 것이 가능하다. 또한 이 경우에, 전술된 배치와 동일한 효과를 얻을 수 있다.
전술된 것 이외의 다른 목적 및 장점은 그 기술 분야에 숙련된 자라면 다음의 본 발명의 바람직한 실시예의 설명으로 부터 잘 알수 있을 것이다. 그 설명에서, 참조 부호는 그 일부를 형성하고 본 발명의 예를 도시한 첨부 도면에 부기된다.
그러나, 그러한 예는 본 발명의 다양한 실시예를 철저하게 나타낸 것은 아니며, 참조 부호는 상세한 설명 다음의 본 발명의 영역을 결정하는 특허 청구 범위에 부기된다.
첨부 도면을 참조로 본 발명에 따른 실시예에 대해 기재하기로 한다.
[실시예 1]
제1도는 본 발명의 제1실시예에 따른 잉크 제트 헤드의 제조 방법의 특징을 나타내는 성형 부재의 형태를 도시한 평면도이다.
본 실시예는 노즐과 액실이 전술된 수지 판 사출 성형법에 의해 잉크 제트 헤드를 위해 성형될 때, 노즐과 유사한 다수의 압출 성형부가 기판 상에 정해진 간격으로 성형 부재의 주변부 상에 배치된다.
다시 말해 제1도에 도시된 대로, 오더(ODUR)(상품명: 도꾜 오오카 가부시끼 가이샤 제품)와 같은 건조 박막 광반웅 포지티브형 저항 재료는 (도시 안된) 잉크 공급구를 갖는 기판(2)과 종래 기술에서와 같이 미리 준비된 히터(1) 상에 적층된다. 그후 사진 석판 공정에 의해, 성형 부재는 기판(2) 상에 성형된다. 이 성형 부재는 제1도의 도면 부호 B6의 부분에서 노즐로 부터 차례로 기판(2) 상의 히터(1)의 각각을 덮는 노즐 부재 성형 재료(4)와, 액실로 부터 각각의 노즐 부재 성형 재료(4)의 단부에 접속된 액실 성형 재료(3) 및, 노즐 부재 성형 재료(4)의 각각의 한쪽 단부가 접속되는 부분 이외의 부분에서 액실 성형 재료의 주변부로 부터 각각 압출 성형되는 주변 성형 부재(5)를 포함한다. 그후에, 공정 단계는 제17d 내지 제17g도에 도시된 것과 동일하다. 따라서, 그것에 대한 설명은 생략하기로 한다.
본 실시예에 따라, 제19도에 도시된 노즐 판 부재의 두께(H)와 동등한 거리는 0.025mm이고, 성형 부재의 두께(t)는 0.015mm이고, 노즐의 접속부로 부터 액실까지의 거리(L)는 0.12mm이고, 노즐 피치는 0.0635mm이며, 노즐 폭은 0.045mm이다. 또한, 하나의 주변 부재 성형 재료(611)는 0.1mm의 액실을 갖춘 접속부로 부터 부재의 선행 단부로의 거리 Ld에 0.127mm의 피치 간격 Pd으로 0.03mm의 폭 Wd 만큼 배치된다.
잉크 제트 헤드는 제1도에 도시된 형태의 성형 부재를 이용한 수지 판 사출 성형법에 의해 제작되며, 그 결과 제1도에 도시된 성형 부재와 실제로 동일한 형태의 액실과 노즐을 얻게 된다. 또한, 본 실시예의 잉크 제트 헤드에 있어서, 일예로 제19도의 E부분에 대응하는 그 노즐 판 부재는 기판에 대해 성형 부재의 압출 성형된 모서리의 근방에서 국부적으로 더 얇아지지 않는다. 따라서, 크랙킹과 같은 결함의 대부분을 제거하는 것이 또한 가능하다. 이러한 점에서 비교 샘플로서, 종래의 잉크 제트 헤드는 전술된 대로 주변 부재 성형 재료(5)를 사용하지 않고 동일한 상태에서 생산된다. 그 결과 크랙킹은 초음파 세척이 성형 부재의 용해 단계에서 실행될 때 노즐 판 부재 상에서 야기된다.
전술된 대로, 본 실시예에 따라, 각각의 주변 부재 성형 재료(5)는 이 부재가 노즐 부재 성형 재료(4)에 접속되는 부분 이외의 부분에서 액체 성형 부재(3)의 주변부로 부터 정해진 간격으로 돌출되도록 배치된다. 이런식으로, 수지 판 사출 성형법에 의한 잉크 제트 헤드의 제조시에 통상적으로 발생되는 크랙등의 생성과 같은 문제점을 해결하는 것이 가능하다.
전술된 실시예에 따라, 주변 부재 성형 재료(5)는 노즐 부재 성형 재료와 유사한 압출 성형 형태이며, 일예로 성형 부재로 두께(t)가 0.05mm이하이고 노즐 판 부재의 두께가 오리피스의 주변 상에서 0.2t 내지 2.0t라면, 주변 부재가 액실의 접속부로 부터 선행 단부로의 거리 Ld가 0.01mm이상이고 폭 Wd와 두께 t의 비가 4.0이하이고 폭 Wd와 주변 부재 성형 재료 각각의 배치 간격 사이의 비가 약 0.01 내지 0.95인 형태로 형성되도록 성형 부재에 적용된 저항 재료를 갖춘 패턴 공정에 의해 주변 부재 성형 재료를 얻도록 배치되어야 한다.
제2a도 내지 제2c도는 본 발명의 제1실시예에 따른 제조 방법에 의해 얻은 액실의 형태를 도시한 도면이다.
제2a도에 도시된 대로, 주변 부재 성형 재료(5)를 갖는 성형 부재가 전술된 형태로 사용될 때, 그러한 공정한 바람직하게 실행되면 그 공정의 완료 후에 제2b도에 도시된 대로 액실을 얻는 것이 가능하다. 그러나 몇가지 경우에, 주변 부재 성형 재료의 선행 단부 내에 잔류하는 성형 부재는 성형 부재가 용해 및 제거될 때 완전히 제거되지 않는다. 그 결과, 액실(6)의 주변부는 제2c도에 도시된 대로 압출 성형 형태로 존재하지 않는다. 그럼에도 불구하고, 이러한 상황은 본 발명의 실행 모드 중 하나로 간주된다. 이 경우에, 성형 재료는 주변 부재 성형 재료(5) 바로 위의 노즐 판 부재용 개구를 제공함으로서 쉽게 제거될 수 있다. 여기에서, 개구는 주변 부재 성형 재료(5)에 연통 접속되어야 한다.
또한 본 실시예에 따라, 주변 부재 성형 재료는 제1도에 도시된 단지 한 위치내에 배치된다. 본 발명은 반드시 이러한 배치에 제한될 필요는 없으며, 이 재료가 잉크 제트 헤드의 일부가 될 때 특정 결함이 발생되지 않는 위치의 일부분 상에 또는 그러한 재료가 노즐 부재 성형 재료에 접속되는 위치 이외의 액실 성형 재료의 주변 상의 전체 부분 상에 이러한 재료를 배치하는 것이 가능하다.
또한, 재료가 소정 효과를 입증할 수 있는 영역 내에 제공되기만 한다면 각각의 주변 부재 성형 재료가 동일한 간격으로 배치될 필요는 없게 된다.
[실시예 2]
제3도는 본 발명의 제2실시예에 따른 잉크 제트 헤드의 제조 방법의 특징을 나타내는 성형 부재의 주변 구조를 도시한 부분 평면도이다.
본 실시예에 사용된 성형 부재는 제3도에 도시된 대로 동일한 액실 성형 재료(3)에 접속되는 다수의 주변 부재 성형 재료(5a, 5b)등으로 형성된다. 이것과 같은 성형 형태로 인해, 제1실시예와 동일한 효과를 얻는 것이 가능하다.
[실시예 3]
제4도는 본 발명의 제3실시예에 따른 잉크 제트 헤드의 제조 방법의 특징을 나타내는 성형 부재의 형태를 도시한 평면도이다.
본 실시예는 잉크 제트 헤드가 액실의 주변부로 부터 분리된 액실 노즐 분리벽 부재 내에 배치함으로서 노즐의 성형과 함께 제작될 때 본 발명의 제조 방법이 채택되는 예이다.
다시 말해 제4도에 도시된 대로, 오더(상품명: 도꾜 오오까 가부시끼 가이샤 제품)와 같은 건조 박막 광반응 포지티브형 저항 재료는 히터(11)와 잉크 공급구(16)가 종래 기술에서와 같이 미리 제공된 기판(12) 상에 성형되고, 이 성형 부재는 노즐을 형성하기 위해 기판(12) 상에 성형되고, 이 성형 부재는 노즐을 형성하기 위해 기판(12) 상의 히터(11)의 각각을 덮는 노즐 부재 성형 재료(14)와, 노즐 분리 벽 부재가 액실의 주변부로 부터 떨어져 배치된 잉크 제트 헤드의 액실을 형성하기 위해 각각의 노즐 부재 성형 재료(14)의 양 단부에 접속된 액실 성형 재료(13) 및, 액실 성형 재료(13)의 주변부로 부터 일정 간격으로 각각 압출 성형된 주변 부재 성형 재료(15)를 포함한다. 그후에, 공정 단계는 제17d 내지 제17g도에 도시된 것과 동일하다. 따라서, 그것에 대한 설명은 생략하기로 한다.
전술된 대로 얻을 수 있는 성형 부재를 갖는 기판으로 인해, 노즐 판 부재는 제1실시예와 같이 성형 부재의 압출 성형된 모서리의 근방에서 더 얇아지지 않는다. 따라서, 크랙킹과 같은 대부분의 결함을 제거하는 것이 가능하다.
[실시예 4]
제5도는 본 발명의 제5실시예에 따른 잉크 제트 헤드의 제조 방법의 특징을 나타내는 성형 부재의 형태를 도시한 평면도이다.
다시 말해 제5도에 도시된 대로, 본 실시예에 사용된 성형 부재는 노즐을 형성하기 위해 기판(22) 상의 각각의 히터(21)를 덮는 노즐 부재 성형 재료(24)와, 액실을 성형하는 액실 성형 재료(23)와, 각각의 노즐 부재 성형 재료(24)의 한쪽 단부가 접속되는 부분 이외의 부분에서 액실 성형 재료(23)의 주변부로 부터 일정 간격으로 각각 압출 성형된 주변 부재 성형 재료(25), 및 액실 성형 재료(23)의 주변 부재 성형 재료(25)로 부터 정해진 거리만큼 떨어진 부분 내의 기판(22) 상에 배치된 성형 재료 패턴(26)을 포함한다.
본 실시예에 따라, 제1실시예와 같은 크랙킹 및 다른 결함을 제거하는 것이 가능하다.
다음에, 성형 부재의 주변부로 부터 정해진 거리 만큼 떨어진 부분 내의 기판에 대해(이후에 고립 부재로 언급되는)성형 재료 패턴을 제공함으로서 노즐 부재가 기판에 대해 성형 부재의 압출 성형된 모서리의 근방에서 더 얇아지는 것을 방지할 수 있는 본 실시예와 같이 배치된 여러 제조 방법에 대해 기재하기로 한다.
[실시예 5]
제6a도 내지 제6f도는 본 발명의 제5실시예에 따른 잉크 제트 헤드의 제조 방법의 각각의 공정 단계를 도시한 도면이다.
본 실시예에 따라, 액실이 잉크 제트 헤드를 위해 제17a도 내지 제17g도에 도시된 수지 판 사출 성형법에 의해 성형될 때, 고립 부재는 노즐 부재 성형 재료 또는 액실 성형 재료로 부터 정해진 거리 만큼 떨어진 위치 내의 성형 노즐 판 부재에 적용된 수지 재료를 사용함으로서 제공된다.
다시 말해, 광반응 포지티브형 저항 재료는 히터 및 잉크 공급구가 미리 형성되는 기판(32) 상에 적층되며, 사진 석판 공정에 의해 성형 부재(36)가 (제6a도에 도시된)노즐 및 액실의 제공을 위해 형성된다.
또한, 기판(32)과 성형 부재(36)상에, (제6b도에 도시된)노즐 판 부재의 성형을 위해 수지 재료(37)의 제1도포가 수행된다. 여기에서, 성형 부재(36)와 실제로 동일한 기판 상의 제1 도포에 의해 생긴 수지 재료(37)의 두께(hb)를 만드는 것이 바람직하다. 수지 재료(37)는 빛에 의해 선택적으로 경화될 수 있다. 본 실시예에 대해, 고립 부재(35)는 (제6c도에 도시된)정해진 거리 Lb만큼 성형 부재(36)의 측면으로 부터 떨어진 위치의 수지 패턴에 의해 성형된다.
여기에서, 제7도는 고립 부재 뿐만 아니라 노즐과 액실로 되는 성형 부재의 배치 상태를 도시한 평면도이다. 제7도에 도시된 대로, 성형 부재는 노즐의 성형을 위해 기판(32) 상의 각각의 히터(31)를 덮는 노즐 부재 성형 재료(34)와 액실을 형성하는 액실 성형 재료(33)로 구성되고, 또한 직선 고립 부재(35)는 액실 성형 재료(33)의 한 측면으로 부터 정해진 거리 만큼 떨어진 위치에 배치되고, 이 측면은 노즐 부재 성형 재료가 접속되는 부분에 대향된다.
그후, 기판(32)과 성형 부재 및 고립 부재(35) 상에는 고립 부재(35)의 재질과 동일한 광 또는 열 경화 수지 재료를 사용하여 제2 도포가 수행된다. 이 수지 재료는 전체 기판면 상의 빛 또는 열에 의해 경화되어, (제6d도에 도시된)노즐판 부재(38)를 형성한다.
그후, 광경화형 내산소 플라즈마 재료(39)는 노즐판 부재(38) 상에 박막을 만들기 위해 도포되며, 사진 석판 공정에 의해 제거부(40)가 규정 위치에 형성되며 여기에서 그 위치는 (제6e도에 도시된)각각의 히터에 대향된다. 그후, 플라즈마 방사에 의해, 오리피스(41)는 노즐판 부재(38) 상에 형성된다. 성형 부재(36)는 분해되어 (제6e도에 도시된)노즐과 액실을 형성하기 위해 제거된다.
이점에 있어서, 성형 부재(36)의 한 측면과 제6e도에 도시된 고립 부재(35)사이의 거리 Lb는 노즐판 부재(38)의 표면이 기판(601)에 대해 수평으로 배치되도록 성형 부재(36) 상의 노즐판 부재(38)의 박막 두께 Hb에 따라 적절히 선택될 수 있다. 여기서, 본 실시예에 따르면, 일예로 Hb 0.1mm로 정해지지만, 적합하게는 Lb 20Hb이다.
본 실시예에 따라, 고립 부재(35)는 노즐판 부재로 되는 수지 재료가 성형 부재(36)의 주변부 상에 흐르는 것을 방지하도록 제방과 같은 역할을한다. 따라서, 수지 재료의 두께는 기판에 대해 성형 부재의 압출 성형된 모서리의 근방에서 국부적으로 더 얇아지지 않는다. 이런식으로, 크랙킹 및 다른 결함의 발생을 방지하는 것이 가능하다.
또한, 고립 부재(35)와 노즐판 부재(38)는 동일한 재료에 의해 형성되기 때문에, 이 부재의 근접 부착성이 뛰어나며, 또한 이러한 배치는 제작시에 공정 제어 수행을 더 용이하게 한다.
[실시예 6]
제8a도 내지 제8f도는 본 발명의 제6실시예에 따른 잉크 제트 헤드의 제조 방법의 공정 단계를 각각 도시한 도면이다.
제8a도 내지 제8f도에 도시된 대로, 본 실시예는 (제7도에 도시된)제5실시예와 같이 고립 부재(54)가 성형 부재(52)의 한 측면으로 부터 일정 거리 만큼 떨어져 배치된 상태로 행하는 제조 방법이다. 그러나, 이 고립 부재(54)는 성형 부재(52)의 저항 재료와 노즐판 부재(55)의 재료와는 상이한 재료에 의해 형성된다. 제5실시예의 방법과 본 실시예의 방법은 이점만이 다르게 되어 있다.
고립 부재(54)의 재료(53)로서, 광반웅 네가티브형 저항인 오딜(ORDYL)SY300(상품명: 도꾜 오오까 가부시끼가이샤 제품)을 사용하게 된다.
성형 부재(52)가 포지티브형 저항에 의해 형성되면, 고립 부재(54)가 만들어질 때 성형 부재(52)의 어떠한 광반응을 피하기 위해 성형 부재(52)를 차폐하는 것이 바람직하다.
또한, 본 실시예에 사용되는 성형 부재(52)의 재료로서, 재료(53)가 만들어질 때 재료(53)에 도포된 현상액의 사용에 의해 용해되지 않는 것을 선택하는 것이 필요하다.
또한, 본 실시예에 따라, 고립 부재(54)는 노즐판 부재(55)의 성형이 완료된 후에 노즐판 부재(55) 내에 남아있게 된다. 따라서, 고립 부재용 재료를 선택하는 것이 바람직하며, 그것의 화학 및 기계 성능은 노즐판 부재에 사용되는 재료의 성능에 가깝다.
[실시예 7]
제9a도 내지 제9e도는 본 발명의 제9실시예에 따른 잉크 제트 헤드의 제조 방법의 공정 단계의 각각을 도시한 도면이다.
제9a도 내지 제9e도에 도시된 대로, 본 실시에는 또한 고립 부재(64)가 (제7도에 도시된)제5실시예 및 제6실시예와 같이 성형 부재(64)의 한 측면으로 부터 일정 거리 만큼 떨어져 배치된 제조 방법이다. 그러나, 제5 및 제6실시예와 상이한 점은 고립 부재(63)가 성형 부재(63)가 성형 부재(63)와 동일한 저항 재료에 의해 형성된다는 점이다.
다시 말해, 저항 재료(62)는 (도시 안된)히터 및 잉크 공급구가 (제9a도에 도시된 대로)미리 배치된 기판(61) 상에 적층된다. 그후 사진 석판 공정에 의해, 노즐과 액실, 및 (제9b도에 도시된)성형 부재(63)로 부터 일정 거리 만큼 떨어져 배치된 고립 부재(64)를 생성하기 위해 성형 부재(63)가 형성된다.
계속해서, 광 경화성 또는 열 경화성 수지는 (제9c도에 도시된)노즐 판 부재(65)를 형성하기 위해 기판(61)과 성형 부재(63) 및 고립 부재(64) 상에 도포된다.
그후, 광경화형 내산소 플라즈마 재료(66)는 노즐판 부재(102) 상에 박막을 만들기 위해 도포되며, 그후 사진 석판 공정에 의해 제거부(67)가 오리피스 형태로 소정 위치에 형성되며 여기에서 그 위치는 (제9d도에 도시된)각각의 히터에 대향하도록 배치된다. 플라즈마 방사에 의해, 오리피스는 노즐판 부재(65) 상에 형성된다. 성형 부재(63)는 용해 및 제거되어 (제9e도에 도시된)노즐과 액실을 형성한다.
그러나, 오더(상품명: 도꾜 오오까 가부시끼가이샤 제품)와 같이 빛등에 의해 야기된 반응에 의해 가스를 발생시키는 재료가 전술된 제조 방법용 저항 재료(62)로 사용되면, 또한 제거부(67)를 노즐판 부재(65) 상에 형성된 내산소 플라즈마 재료(66) 상에 배치하여, 동시에 고립 부재(64)가 (제9d도에 도시된) 반응에 의해 경화될 때 발생되는 가스를 제거하는 구멍 형성을 위한 제거부(68)를 형성한다. 그후, 플라즈마 방사에 의해, 가스 제거 구멍(70)이 (제9e도에 도시된)제거부(68)를 통해 노즐판 부재(65) 상에 형성된다.
이러한 점에서, 가스 제거 구멍(70)을 제공하기 위한 공정 단계는 제5도에 도시된 제4실시예나 제8a도 내지 제8f도에 도시된 제6실시예에 적용가능하다.
[실시예 7]
제5 및 제6실시예에 사용되는 고립 부재의 형태는 반드시 제7도에 도시된 형태에 한정되지 않고, 제10도 및 제11도에 도시된 형태도 채택가능하다.
제10도 및 제11도는 고립 부재의 형태의 다른 예를 각각 도시한 평면도이다.
다시 말해, 제10도에 도시된 고립 부재(73)는 그것으로 부터 일정 거리 만큼 전체적으로 떨어져 있는 성형 부재(71)를 둘러싸기 위해 기판(72) 상에 형성된다. 여기에서, 성형 부재는 노즐의 성형을 위해 기판(72)상의 각각의 히터(74)를 덮는 노즐 부재 성형 재료와, 각각의 노즐 부재 성형 재료의 한쪽 단부에 접속되는 액실 성형 재료를 포함한다.
또한, 제11도에 도시된 고립 부재(81a, 81b)는 그것들로 부터 일정 거리 만큼 전체적으로 떨어져 있는 성형 부재(82)를 둘러싸기 위해 분할식으로 기판(84) 상에 형성된다. 성형 부재는 노즐의 성형을 위해 기판(84) 상의 각각의 히터(83)를 덮는 노즐 부재 성형 재료와, 노즐 분리벽 부재가 액실의 주변부로 부터 분리되도록 배치함으로서 잉크 제트 헤드가 액실 내에 배치되도록 하는 액실의 성형을 위해 각각의 노즐 부재 성형 재료의 양 단부에 접속되는 액실 성형 재료를 포함한다.
전술된 대로 각 방식으로 구성된 고립 부재를 이용하는 방법에 따라, 수지 재료의 두께가 제1 내지 제6실시예와 같이 기판에 대해 성형 부재의 압출 성형된 모서리의 근방에서 더 얇아지기 때문에 크랙킹 및 다른 결함의 발생을 방지하는 것이 가능하다.
이러한 점에서, 본 발명은 제7도와 제10도 및 제11도에 도시된 성형 형태에 반드시 한정되지 않으며, 성형 형태는 노즐 판 부재의 두께가 헤드가 제작된 후의 기판에 대해 성형 부재의 압출 성형된 모서리 상의 크랙킹 또는 다른 결함을 야기하지 않도록만 된다면 노즐판 부재의 표면이 기판의 표면에 대해 성형 부재와 고립 부재 사이에서 편평해야 할 필요가 없게 된다.
[실시예 8]
또한, 제5 내지 제7실시예의 각각의 고립 부재가 노즐 부재 및 액실 성형 재료로 부터 분리된 부재일 필요는 없게 된다.
제12도는 본 발명의 제8 실시예에 따른 잉크 제트 헤드의 제조 방법의 특징을 나타내는 성형 부재의 형태를 도시한 평면도이다.
본 실시예에 따라, 성형 부재(93)는 제12도에 도시된 대로 기판(91) 상에 형성된 성형 부재(92)의 액실 성형 재료에 접하도록 배치되며, 그후 노즐판 부재 성형 재료는 기판(91) 상에 도포된다. 생각할 수 있는 바로는, 성형 부재(93)의 재료가 빛 또는 열에 의해 경화된 후에, 그것은 성형 부재(92)와 함께 제거를 위해 그러한 재료의 용해 없이 잉크 제트 헤드용 액실의 벽의 일부로서 남아있게 된다.
또한 전술된 제5실시예 내지 제7실시예에 따라, 고립 부재를 크랙 및 다른 결함이 발생되기 쉬운 위치 상에만 국부적으로 배치하는 것이 가능하다. 또한, 고립 부재를 틈새를 갖춘 몇가지 형태로 배치하거나 또는 하나의 동일한 액실 성형 재료의 주변부에 접하도록 배치하는 것이 가능하다.
[실시예 9]
또한, 잉크 제트 헤드의 노즐 형태가 제4도와 제11도에 도시된 것과 같은 성형 형태로 부터 제거될 때 기판으로 돌출되는 노즐벽의 형태는 히터 주변부를 세 방향으로 둘러싸도록 노즐 형태가 수지판 사출 성형법에 의해 성형되면 제13a도와 제13b도에 도시된 방식을 채택하는 것이 바람직하다.
제13a도 및 제13b도는 히터의 주변부를 세 방향으로 둘러싼 노즐벽에 의해 구성되는 기판으로의 노즐과 오리피스의 투영 위치 관계를 도시한 도면이다.
제13a도에 도시된 형태의 노즐(95)의 경우에, 성형 부재 상의 노즐 판 부재의 박막 두께(Hb)가 (제6d도에 도시된 대로)0.1mm이하라면, 0.05Hb또는 그 이상의 그들 모두의 정렬 공차를 포함하는 오리피스(94)와 노즐벽 사이의 틈새(Xo, Yo)를 설정하는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게, 그것은 0.1Hb또는 그 이상으로 설정되어야 한다.
또한 생각할 수 있는 바로는, 각각의 노즐 내의 성형 부재의 용해 및 제거를 개선하기 위해, 토출 액적을 위해 사용되지 않는 작은 구멍(96)은 제13b도에 도시된 대로 노즐(95)의 선행 단부 근방에서 노즐판의 표면을 거쳐 노즐(95)에 배치된다.
본 발명은 전술된 대로 실시예에 구체적으로 언급된 성형 부재 및 노즐판 부재 성형 재료에 반드시 한정되지 않는다. 또한, 본 발명은 그러한 제조 방법이 단지 본 발명의 개념에 따른 수지판 사출 성형법을 사용하기만 하면 특정 형태의 잉크 제트 헤드의 제조 방법에 반드시 한정되지 않는다. 또한, 노즐판 부재가 본 발명의 방법을 적용함으로서 어떠한 결함이 야기되지 않을 정도로 강도를 유지할 수 있도록 국부적으로 더 얇아지지 않게 되면, 노즐판 부재의 편평도는 반드시 필수 요인으로 생각되지 않는다.
이러한 점에서, 성형 부재가 감광성 수지에 의해 형성되면, 기판으로 돌출된 형태가 노출시의 시감(luminous)에너지와 노출 패턴의 초점 상태에 따라 패턴의 완료 후에 저항 측면 상의 표면 상에 파형을 야기하는 몇몇 경우가 존재하게 된다. 그러한 경우가 보증된다면, 그러한 크기의 불규칙성으로 인해 본 발명의 방법 내에 반드시 포함되지 않고 노출 상태에 따라 저항 측면 상의 표면 상에 자연스럽게 형성되는 그러한 종류의성형은 대개 노즐판 부재 성형 재료가 그 위에 도포될 때 성형 부재가 그 압출 성형된 모서리에서 더 얇아지는 것을 방지할 수 없게 된다.
전술된 구성의 본 발명은 아래에 주어진 효과를 입증할 수 있다.
성형 부재는 액실을 형성하는 액실 성형 재료와, 노즐을 형성하는 노즐 부재 성형 재료, 및 액실 성형 재료의 주변부 상의 노즐 부재 성형 재료가 성형 부재에 접속되지 않는 노즐 부재 성형 재료의 측면부로 부터 압출 성형되는 형태의 주변 부재 성형 재료를 포함한다. 이 성형 부재가 그 위의 압력 발생 수단을 갖는 기판 상에 배치된 후에, 수지 재료의 박막 두께를 기판에 대한 성형 부재의 압출 성형된 모서리의 근방에서 도포시키지 않고 편평도 유지를 가능하게 하기 위해 수지 재료가 도포된다. 그 결과, 수지 재료의 경화 및 제거에 의해 형성된 노즐판 부재 상에 크랙킹이 발생되지 않아, 잉크 제트 헤드가 제작될 때 생산량을 향상시킨다.
또한, 주변 부재 성형 재료 대신에, 고립 부재가 액실 성형 재료의 주변부 상의 노즐 부재 성형 재료가 성형 부재에 접속되지 않는 측면부로 부터 일정 거리 떨어진 위치에 배치되거나 그 측면부에 접하여 배치된다. 그러한 배치 후에, 수지 재료는 도포되어 전술된 것과 동일한 효과를 얻는 것을 가능하게 한다.

Claims (22)

  1. 잉크를 토출하기 위한 토출구에 연통 접속된 잉크 통로를 형성하기 위해 기판상에 통로 성형 재료를 배치하는 제1 단계와, 상기 통로 성형 재료 근방에 상기 기판 상에 단부 성형 재료를 배치하는 제2 단계와, 상기 통로 성형 재료와 상기 단부 성형 재료를 덮기 위해 상기 기판 상에 벽 성형 재료를 배치하는 제3 단계, 및 상기 통로 성형 재료를 상기 기판으로 부터 제거함으로서 상기 벽 성형 재료로 상기 통로를 성형하는 제4 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크 제트 헤드의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 통로는 상기 다수의 토출구에 각각 연통 접속되는 다수의 노즐부와, 분배를 위해 상기 다수의 노즐부에 연통 접속되는 공통 잉크 챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크 제트 헤드의 제조 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 단부 성형 재료는 상기 공통 잉크 챔버의 성형을 위해 상기 통로 성형 재료 일부의 단부 근방에 배치되는 것을 특징으로 하는 잉크 제트 헤드의 제조 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1 단계와 상기 제2 단계는 동시에 실행되는 것을 특징으로 하는 잉크 제트 헤드의 제조 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1 단계와 상기 제2 단계는 순서대로 실행되는 것을 특징으로 하는 잉크 제트 헤드의 제조 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 단부 성형 재료는 상기 기판 상의 상기 통로 성형 재료에 접속되고 상기 통로 성형 재료로 부터 압출 성형하기 위해 배치되는 것을 특징으로 하는 잉크 제트 헤드의 제조 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 단부 성형 재료는 상기 통로 성형 재료로 부터 떨어져 있는 기판 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 잉크 제트 헤드의 제조 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 통로 성형 재료는 포지티브형 감광성 수지에 의해 성형되는 것을 특징으로 하는 잉크 제트 헤드의 제조 방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 통로 성형 재료는 상기 통로 성형 재료와 동일한 재료에 의해 성형되는 것을 특징으로 하는 잉크 제트 헤드의 제조 방법.
  10. 제1항에 있어서, 상기 단부 성형 재료는 상기 통로 성형 재료와는 상이한 재료에 의해 성형되는 것을 특징으로 하는 잉크 제트 헤드의 제조 방법.
  11. 제1항에 있어서, 상기 단부 성형 재료는 포지티브형 감광성 수지에 의해 성형되는 것을 특징으로 하는 잉크 제트 헤드의 제조 방법.
  12. 제1항에 있어서, 상기 단부 성형 재료는 네가티브형 감광성 수지에 의해 성형되는 것을 특징으로 하는 잉크 제트 헤드의 제조 방법.
  13. 제1항에 있어서, 상기 단부 성형 재료는 빛에 의해 가스가 제거된 재료에 의해 성형되는 것을 특징으로 하는 잉크 제트 헤드의 제조 방법.
  14. 제1항에 있어서, 상기 벽 성형 재료는 네가티브형 감광성 수지에 의해 성형되는 것을 특징으로 하는 잉크 제트 헤드의 제조 방법.
  15. 제1항에 있어서, 상기 토출구는 상기 제3 단계와 상기 제4 단계 사이에서 성형되는 것을 특징으로 하는 잉크 제트 헤드의 제조 방법.
  16. 토출구로 부터 잉크를 토출시키기 위해 이용되는 에너지를 발생시키기 위해 에너지 발생 소자가 배치된 기판과, 상기 토출구에 연통 접속된 잉크 통로의 벽을 형성하기 위해 배치된 오목부를 갖는 상기 기판에 접속되는 벽 셩형 재료를 포함하며, 상기 오목부와는 다른 단부 오목부는 상기 통로가 상기 기판에 접속되는 구역내의 상기 통로의 단부 근방에서 상기 벽 성형 재료를 위해 추가로 배치되는 것을 특징으로 하는 잉크 제트 헤드.
  17. 제16항에 있어서, 상기 단부 오목부는 상기 기판 상의 상기 통로에 연통 접속되고 상기 통로로 부터 압출되도록 제공되는 것을 특징으로 하는 잉크 제트 헤드.
  18. 제16항에 있어서, 상기 단부 오목부는 상기 기판 상의 상기 통로로 부터 떨어져 제공되는 것을 특징으로 하는 잉크 제트 헤드.
  19. 제16항에 있어서, 상기 단부는 공간으로 부터 오목하게 파인 것을 특징으로 하는 잉크 제트 헤드.
  20. 제16항에 있어서, 상기 단부 오목부를 성형하기 위해 사용되는 단부 성형 재료는 상기 단부 오목부 내에 잔류하는 것을 특징으로 하는 잉크 제트 헤드.
  21. 제16항에 있어서, 잉크 공급구는 잉크를 상기 통로에 공급하기 위해 상기 기판 상에 제공되는 것을 특징으로 하는 잉크 제트 헤드.
  22. 제16항에 있어서, 상기 에너지 발생 소자는 상기 에너지로서 열 에너지를 발생시키기 위한 전기 열 변환체인 것을 특징으로 하는 잉크 제트 헤드.
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