JP5911264B2 - 液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
液体を吐出する吐出口及び該吐出口に連通する液体流路を有するオリフィスプレートと、前記液体を吐出するエネルギーを発生させる吐出エネルギー発生素子を有する基板と、を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
(1)液体流路の型パターンと、該型パターンを囲む土台パターンであって、前記型パターンの長手方向の2つの側面の外側に、前記型パターンの短手方向に沿ってそれぞれ複数配置される土台パターンと、を溶解可能な樹脂を用いて前記基板の上に形成する工程と、
(2)前記型パターン及び前記土台パターンを覆うように被覆樹脂を配置する工程と、
(3)前記被覆樹脂に少なくとも前記吐出口を形成し、前記オリフィスプレートを形成する工程と、
(4)前記型パターン及び前記土台パターンを除去する工程と、
を有し、
前記オリフィスプレートは、前記液体流路の側壁を構成する前記土台パターンと前記型パターンとの間に配置された被覆樹脂で形成された側壁部と、前記側壁部の周囲領域の前記基板上に配置されかつ前記オリフィスプレートの上壁を構成する上面部を支える前記複数配置された土台パターンの間に配置された被覆樹脂で形成された支持構造と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。
以下に、本実施形態の製造方法について説明する。
実施形態1でも上述したように、図2に示すように、土台パターン5をオリフィスプレートの側面に露出するように形成しておき、後工程でオリフィスプレートの側面側から土台パターンを除去することもできる。これにより、貫通口を設ける必要がなくなる。
2 吐出エネルギー発生素子
3 溶解可能な樹脂層
4 インク流路
5 土台パターン
6 被覆樹脂層
7 インク吐出口
8 貫通口
9 インク供給口
10 土台パターン除去部
11 型パターン
12 オリフィスプレート
Claims (9)
- 液体を吐出する吐出口及び該吐出口に連通する液体流路を有するオリフィスプレートと、前記液体を吐出するエネルギーを発生させる吐出エネルギー発生素子を有する基板と、を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
(1)液体流路の型パターンと、該型パターンを囲む土台パターンであって、前記型パターンの長手方向の2つの側面の外側に、前記型パターンの短手方向に沿ってそれぞれ複数配置される土台パターンと、を溶解可能な樹脂を用いて前記基板の上に形成する工程と、
(2)前記型パターン及び前記土台パターンを覆うように被覆樹脂を配置する工程と、
(3)前記被覆樹脂に少なくとも前記吐出口を形成し、前記オリフィスプレートを形成する工程と、
(4)前記型パターン及び前記土台パターンを除去する工程と、
を有し、
前記オリフィスプレートは、前記液体流路の側壁を構成する前記土台パターンと前記型パターンとの間に配置された被覆樹脂で形成された側壁部と、前記側壁部の周囲領域の前記基板上に配置されかつ前記オリフィスプレートの上壁を構成する上面部を支える前記複数配置された土台パターンの間に配置された被覆樹脂で形成された支持構造と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記支持構造は複数である、請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記支持構造は、前記基板と前記上面部に繋がる柱形状又は壁形状からなる請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記土台パターンは、網目形状を有する請求項1乃至3のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記網目形状が格子形状である請求項4に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記工程(3)において、前記吐出口と同時に、前記土台パターンに通じる貫通口を前記被覆樹脂に形成し、
前記工程(4)において、前記土台パターンを前記貫通口から除去する、請求項1乃至5のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記工程(1)において、前記土台パターンは、該土台パターンの一部が前記オリフィスプレートの側面に露出するように形成され、
前記工程(4)において、前記土台パターンは、前記オリフィスプレートの側面に露出する部分から除去される請求項1乃至5のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記型パターンと前記土台パターンは同一の材料からなる請求項1乃至7のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記被覆樹脂の固形分濃度は40〜60質量%である請求項1乃至8のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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