JP2013095061A5 - - Google Patents
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Description
図3示すように、土台パターンと型パターンとの間に配置された被覆樹脂により前記側壁部が形成される。また、土台パターンの微細パターン内に配置された被覆樹脂により前記支持構造が形成される。
図1(d)の工程に相当する模式的平面図が図3(a−1)である。貫通口8は、特に制限されるものではないが、外周側に形成された土台パターン部分5bに連通されるように形成されることが好ましい。例えば、図3(a−1)に示されるように、外周側の土台パターン部分5bに連通するように、貫通口8を形成することができる。なお、図3(a−1)において、2つの点線で囲まれる部分が、貫通口が形成される位置を示している。
図1において、5bは土台パターンのうち外周側土台パターン部分を示し、5aは土台パターンのうち内側の土台パターン部分を示す。土台パターン内に被覆樹脂が入り込むことにより、支持構造が形成される。図3において、外周側土台パターン部分5bと内側土台パターン部分5aを含む土台パターン5は格子状に配置されている。土台パターンにより形成される支持構造は、例えば、図3(a−1)及び(a−2)に示すような柱構造や、図3(b−1)及び(b−2)若しくは(c−1)及び(c−2)に示すような壁構造であるが、これらに限定されるものではない。柱構造としては、特に制限されるものではないが、例えば、円柱状、楕円柱状、多角柱状等が挙げられる。壁構造としては、特に制限されるものではないが、例えば、矩形状等が挙げられる。
また、オリフィスプレートは、上述のように、インク流路の側壁を構成する側壁部12aと、側壁部12aの周囲領域の基板1上に配置されかつ上面部12cを支える支持構造を有する支持部12bと、を有する構造となる。
以上説明したように、本発明では、インク流路の型パターンを囲むようにパターン形成された土台部の設置面積を大きくすることができる。したがって、図4(a−1)及び(a−2)に示すようにオリフィスプレートの平坦化を図ることができるため、吐出エネルギー発生素子2とオリフィス面との距離が精度よく形成できる。その結果、高速高画質に適用し、安定した吐出を行うことが可能となる。より具体的には、図4(a−1)及び(a−2)に示すように、オリフィスプレートが支持構造を有するように土台パターンを形成することにより、土台パターンを配置する面積を広くし、かつインク流路の型パターンと土台パターンの距離をより小さくすることができた。そのため、図4(b−1)及び(b−2)に示す従来の土台部を用いた方法により形成したインクジェット記録ヘッドよりも高い平坦性を有するオリフィス面を備えるインクジェット記録ヘッドを得ることができた。
Claims (2)
- 前記土台パターンと前記型パターンとの間に配置された前記被覆樹脂により前記側壁部が形成され、前記土台パターン内に配置された前記被覆樹脂により前記支持構造が形成される、請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記工程(1)において、前記土台パターンは、該土台パターンの一部が前記オリフィスプレートの側面に露出するように形成され、
前記工程(4)において、前記土台パターンは、前記オリフィスプレートの側面に露出する部分から除去される請求項1乃至5のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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