JP2013095061A5 - - Google Patents
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Description
図３示すように、土台パターンと型パターンとの間に配置された被覆樹脂により前記側壁部が形成される。また、土台パターンの微細パターン内に配置された被覆樹脂により前記支持構造が形成される。
図１（ｄ）の工程に相当する模式的平面図が図３（ａ−１）である。貫通口８は、特に制限されるものではないが、外周側に形成された土台パターン部分５ｂに連通されるように形成されることが好ましい。例えば、図３（ａ−１）に示されるように、外周側の土台パターン部分５ｂに連通するように、貫通口８を形成することができる。なお、図３（ａ−１）において、２つの点線で囲まれる部分が、貫通口が形成される位置を示している。
図１において、５ｂは土台パターンのうち外周側土台パターン部分を示し、５ａは土台パターンのうち内側の土台パターン部分を示す。土台パターン内に被覆樹脂が入り込むことにより、支持構造が形成される。図３において、外周側土台パターン部分５ｂと内側土台パターン部分５ａを含む土台パターン５は格子状に配置されている。土台パターンにより形成される支持構造は、例えば、図３（ａ−１）及び（ａ−２）に示すような柱構造や、図３（ｂ−１）及び（ｂ−２）若しくは（ｃ−１）及び（ｃ−２）に示すような壁構造であるが、これらに限定されるものではない。柱構造としては、特に制限されるものではないが、例えば、円柱状、楕円柱状、多角柱状等が挙げられる。壁構造としては、特に制限されるものではないが、例えば、矩形状等が挙げられる。
また、オリフィスプレートは、上述のように、インク流路の側壁を構成する側壁部１２ａと、側壁部１２ａの周囲領域の基板１上に配置されかつ上面部１２ｃを支える支持構造を有する支持部１２ｂと、を有する構造となる。
以上説明したように、本発明では、インク流路の型パターンを囲むようにパターン形成された土台部の設置面積を大きくすることができる。したがって、図４（ａ−１）及び（ａ−２）に示すようにオリフィスプレートの平坦化を図ることができるため、吐出エネルギー発生素子２とオリフィス面との距離が精度よく形成できる。その結果、高速高画質に適用し、安定した吐出を行うことが可能となる。より具体的には、図４（ａ−１）及び（ａ−２）に示すように、オリフィスプレートが支持構造を有するように土台パターンを形成することにより、土台パターンを配置する面積を広くし、かつインク流路の型パターンと土台パターンの距離をより小さくすることができた。そのため、図４（ｂ−１）及び（ｂ−２）に示す従来の土台部を用いた方法により形成したインクジェット記録ヘッドよりも高い平坦性を有するオリフィス面を備えるインクジェット記録ヘッドを得ることができた。
Claims (2)
- 前記土台パターンと前記型パターンとの間に配置された前記被覆樹脂により前記側壁部が形成され、前記土台パターン内に配置された前記被覆樹脂により前記支持構造が形成される、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記工程（１）において、前記土台パターンは、該土台パターンの一部が前記オリフィスプレートの側面に露出するように形成され、
前記工程（４）において、前記土台パターンは、前記オリフィスプレートの側面に露出する部分から除去される請求項１乃至５のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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