JP2011136561A5

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Info

Publication number: JP2011136561A5
Application number: JP2010293181A
Authority: JP
Filing date: 2010-12-28
Publication date: 2014-02-13
Anticipated expiration: 2030-12-28

Claims

テクスチャを持たせた超疎油性表面を有するインクジェットプリントヘッド前面またはノズルプレートを準備するためのプロセスであって、
シリコン基板を用意する工程と、
フォトリソグラフィを用いて前記シリコン基板にテクスチャを持たせたパターンを作成する工程と、
疎油性コンフォーマルコーティングを設けることにより前記テクスチャを持たせたシリコン表面を加工する工程と、
前記テクスチャを持たせた疎油性シリコン材料からインクジェットプリントヘッド前面またはノズルプレートを形成して、テクスチャを持たせた超疎油性表面を有するインクジェットプリントヘッド前面またはノズルプレートを用意する工程と、を含み、
前記テクスチャを持たせたパターンは、約０．５から約５マイクロメートルの全高を有する溝パターンを含むか、または、
前記テクスチャを持たせたパターンは、約０．５から約５マイクロメートルの柱高を有する柱のアレイを含む、プロセス。
請求項１に記載のプロセスであって、
前記テクスチャを持たせたシリコン基板を加工する工程は、分子蒸着技術、化学蒸着技術、溶液自己組織化技術を介して、フルオロシランコーティングを、前記テクスチャを持たせたシリコン表面にコンフォーマルに自己組織化することによる化学的加工を含む、プロセス。
請求項１に記載のプロセスであって、
前記テクスチャを持たせたパターンは、前記柱に設けられた張出し凹状構造を有する柱のアレイと、テクスチャを持たせた波状側壁を有する柱のアレイと、以上の組合せと、を含むプロセス。
請求項１に記載のプロセスであって、
前記テクスチャを持たせたパターンは、張出し凹状構造を含む溝パターンと、テクスチャを持たせた波状側壁を含む溝パターンと、以上の組合せと、を含むプロセス。
請求項１に記載のプロセスであって、
前記テクスチャを持たせたパターンは、所望の流パターンで液体の流れを誘導する形態を有する、プロセス。
請求項１に記載のプロセスであって、
前記テクスチャを持たせたパターンは、柱のアレイを含み、前記柱は、円形、長円形、方形、矩形、三角形、または、星形である、プロセス。
テクスチャを持たせたパターンを備えるシリコン基板と、前記テクスチャを持たせたシリコン表面に設けられた疎油性コンフォーマルコーティングと、を備える、テクスチャを持たせた疎油性インクジェットプリントヘッド前面またはノズルプレートであって、
前記テクスチャを持たせたパターンが、約０．５から約５マイクロメートルの全高を有する溝パターンを含むか、または、
前記テクスチャを持たせたパターンが、約０．５から約５マイクロメートルの柱高を有する柱のアレイを含む、インクジェットプリントヘッド前面またはノズルプレート。
請求項７に記載のインクジェットプリントヘッド前面またはノズルプレートであって、
前記テクスチャを持たせたパターンは、前記柱に設けられた張出し凹状構造を有する柱のアレイと、テクスチャを持たせた波状側壁を有する柱のアレイと、以上の組合せと、を含む、インクジェットプリントヘッド前面またはノズルプレート。
請求項７に記載のインクジェットプリントヘッド前面またはノズルプレートであって、
前記テクスチャを持たせたパターンは、張出し凹状構造を含む溝パターンと、テクスチャを持たせた波状側壁を含む溝パターンと、以上の組合せと、を含む、インクジェットプリントヘッド前面またはノズルプレート。
請求項７に記載のインクジェットプリントヘッド前面またはノズルプレートであって、
前記前面またはノズルプレートは、自動クリーニング式である、インクジェットプリントヘッド前面またはノズルプレート。