JP2006309241A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 一定ピッチを有してマトリックス形態に配列された複数個の段差パターンを含む基板を準備する工程と、
   前記基板に液体物質を吐出するインクジェットヘッド部の前記基板に対する相対移動方向と、前記マトリックス形態の配列の第１方向とのなす角度が０゜よりは大きくて９０゜よりは小さな角度を成しながら、前記インクジェットヘッド部から前記基板上に前記液体物質を吐出して前記基板の上面を覆う膜を形成する工程とを含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
2. 前記基板をステージ上に配置し、該ステージを、前記インクジェットヘッド部が固定され前記第１方向が前記ステージの移動方向と平行ではない前記インクジェットヘッド部を通りすぎるように移動させる工程をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造方法。
3. 液晶表示装置の染み縞模様発生は、前記基板上の段差パターン内での規則的に交互に発生する前記液体物質の過剰及び前記液体物質の不足の発生を防止することによって防止されることを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造方法。
4. 膜を形成するための装置であって、
   マトリックス形態に配列された複数個の薄膜トランジスタアレイが備えられた基板が配置され該基板を第１方向に移動させるステージと、
   前記ステージ上部に位置して前記基板上に液体物質を吐出するインクジェットヘッド部とを含み、
   該インクジェットヘッド部の前記基板に対する相対移動方向と、前記薄膜トランジスタアレイの一方向とのなす角度が０゜よりは大きくて９０゜よりは小さな角度を成すようにすることを特徴とする膜形成装置。
5. 前記インクジェットヘッド部は、複数個のノズルを備えたブロック形態のヘッドを少なくとも一つ含むことを特徴とする請求項４に記載の膜形成装置。
6. 前記インクジェットヘッドのノズルの間のピッチは、前記薄膜トランジスタアレイの一方向に沿って一定ピッチに配列された複数個の段差パターンのピッチより大きいことを特徴とする請求項５に記載の膜形成装置。
7. 前記膜は、配向膜であることを特徴とする請求項４に記載の膜形成装置。
8. マトリックス形態に配列された複数個の薄膜トランジスタアレイが備えられた基板が配置され該基板を第１方向に移動させるステージと、
   前記ステージ上部に位置して前記基板上に配向膜用溶液を吐出するインクジェットヘッド部とを含み、
   前記インクジェットヘッド部の前記基板に対する相対移動方向と、前記薄膜トランジスタアレイの一方向とのなす角度が０゜よりは大きくて９０゜よりは小さな角度を成すようにすることを特徴とする配向膜形成装置。
9. 前記インクジェットヘッド部は、複数個のノズルを備えたブロック形態のヘッドを少なくとも一つ含むことを特徴とする請求項８に記載の配向膜形成装置。
10. 前記インクジェットヘッドのノズルの間のピッチは、前記薄膜トランジスタアレイの一方向に沿って一定ピッチに配列された複数個の段差パターンのピッチより大きいことを特徴とする請求項９に記載の配向膜形成装置。