JP2011213115A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 基板と、
   前記基板上に形成された静電駆動膜と、
   前記基板に取り付けられることで前記基板との間にインクキャビティを形成しているノズルプレートと、を備えるインクジェットプリントヘッドであって、
   前記ノズルプレート内にシリコン・オン・インシュレータ構造と段付きノズルとが形成されており、
   前記シリコン・オン・インシュレータ構造が、第１シリコン層と第２シリコン層との間に配置された二酸化シリコン層を含み、前記第１シリコン層及び前記第２シリコン層の各々の厚さが約１２．５μｍであり、前記ノズルプレートの全体的な厚さが約２５μｍであり、
   前記静電駆動膜が、屈曲されることにより、前記インクキャビティ内のインクに圧力をかけ、前記段付きノズルを通じて前記インクを押し出し、
   前記段付きノズルが、
   インク滴のサイズを調節するよう設定された、約２５μｍの出口直径と、
   前記インク滴の前記サイズから独立して前記インク滴の速度を調節するよう設定され、約３５μｍから約５０μｍの範囲内である入口直径と、
   傾斜した側壁により形成され、その外側表面が前記入口直径である、第１の部分と、
   傾斜した側壁により形成され、その外側表面が前記出口直径であり、前記第１の部分と位置合わせされている、第２の部分と、
   を有する、インクジェットプリントヘッド。
2. 前記プリントヘッドが、インク供給手段からインクの供給を受けるよう構成されている、請求項１に記載のインクジェットプリントヘッド。
3. 前記プリントヘッドが、少なくとも１つのインク移送チャネルを通じて前記インクの供給を受ける、請求項１に記載のインクジェットプリントヘッド。
4. 前記インク滴が、前記段付きノズル内で形成される、請求項１に記載のインクジェットプリントヘッド。
5. 前記第１の部分が、異方性ウェットエッチングによりエッチングされる、請求項１に記載のインクジェットプリントヘッド。
6. 前記第２の部分が、異方性ウェットエッチングによりエッチングされる、請求項１に記載のインクジェットプリントヘッド。