JPH11105297A - インクジェットヘッド及びその製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッド及びその製造方法Info
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- JPH11105297A JPH11105297A JP27232897A JP27232897A JPH11105297A JP H11105297 A JPH11105297 A JP H11105297A JP 27232897 A JP27232897 A JP 27232897A JP 27232897 A JP27232897 A JP 27232897A JP H11105297 A JPH11105297 A JP H11105297A
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- photosensitive resin
- liquid chamber
- ink
- nozzle
- jet head
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 インク吐出特性にバラツキが生じる。
【解決手段】 ノズルプレート51に1層目のドライフ
ィルムレジスト75をラミネートし、所要の露光を行な
った後、1層目のドライフィルムレジスト75のラミネ
ート方向と異なる方向に2層目のドライフィルムレジス
ト77をラミネートし、感光性樹脂全体での異方性を少
なくする。
ィルムレジスト75をラミネートし、所要の露光を行な
った後、1層目のドライフィルムレジスト75のラミネ
ート方向と異なる方向に2層目のドライフィルムレジス
ト77をラミネートし、感光性樹脂全体での異方性を少
なくする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットヘッ
ド及びその製造方法に関し、特に複数のフィルム状感光
性樹脂で液室隔壁を形成するインクジェットヘッド及び
その製造方法に関する。
ド及びその製造方法に関し、特に複数のフィルム状感光
性樹脂で液室隔壁を形成するインクジェットヘッド及び
その製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、プリンタ、ファクシミリ、複写
装置等に用いられるインクジェット記録装置は、インク
滴を吐出するためのノズルと、ノズルに対応して設けた
電気機械変換素子や電気熱変換体などのアクチュエータ
素子と、このアクチュエータ素子で加圧されるインク流
路(以下、「加圧液室」と称する。)を備えたインクジ
ェットヘッドを記録ヘッドに用いて、記録信号に応じて
ノズルからインク滴を記録媒体(インク滴が付着するも
の)に吐出することによって、高速、高解像度、高品質
の記録を行なうものである。
装置等に用いられるインクジェット記録装置は、インク
滴を吐出するためのノズルと、ノズルに対応して設けた
電気機械変換素子や電気熱変換体などのアクチュエータ
素子と、このアクチュエータ素子で加圧されるインク流
路(以下、「加圧液室」と称する。)を備えたインクジ
ェットヘッドを記録ヘッドに用いて、記録信号に応じて
ノズルからインク滴を記録媒体(インク滴が付着するも
の)に吐出することによって、高速、高解像度、高品質
の記録を行なうものである。
【0003】ところで、インクジェット記録装置に対す
る高速、高画質化の要求に伴ってインクジェットヘッド
のノズルの集積度の高密度化、ノズル径の微細化が必要
になっている。そのために、液室構造の集積度の向上や
流体的にバランスをとるための流体抵抗部の微細化が不
可欠になっている。
る高速、高画質化の要求に伴ってインクジェットヘッド
のノズルの集積度の高密度化、ノズル径の微細化が必要
になっている。そのために、液室構造の集積度の向上や
流体的にバランスをとるための流体抵抗部の微細化が不
可欠になっている。
【0004】しかし、一方で、飛翔インク滴体積を確保
しなければ画質が低下するために、加圧液室や加圧液室
にインクを供給するためのインク流路(以下、「共通液
室」と称する。)の体積をあまり縮小することができな
い。そこで、ノズル配列方向のピッチを大きくすること
で液室体積を確保することは集積度の低下を招くため
に、ノズル配列方向と垂直な方向、主に厚み方向を厚く
することによって液室体積の確保を図るようにしてい
る。
しなければ画質が低下するために、加圧液室や加圧液室
にインクを供給するためのインク流路(以下、「共通液
室」と称する。)の体積をあまり縮小することができな
い。そこで、ノズル配列方向のピッチを大きくすること
で液室体積を確保することは集積度の低下を招くため
に、ノズル配列方向と垂直な方向、主に厚み方向を厚く
することによって液室体積の確保を図るようにしてい
る。
【0005】したがって、液室部には共通液室と加圧液
室との間のインク供給路となる厚さの薄い流体抵抗部
と、厚さの厚い加圧液室、共通液室が必要になり、これ
らを任意に形成するために、厚み方向に金属板或いはフ
ィルム状感光性樹脂層(ドライフィルムレジスト)等の
薄層部材を積層してインク流路を形成するインクジェッ
トヘッドが種々提案されている。
室との間のインク供給路となる厚さの薄い流体抵抗部
と、厚さの厚い加圧液室、共通液室が必要になり、これ
らを任意に形成するために、厚み方向に金属板或いはフ
ィルム状感光性樹脂層(ドライフィルムレジスト)等の
薄層部材を積層してインク流路を形成するインクジェッ
トヘッドが種々提案されている。
【0006】例えば、特開平4−369546号公報に
は、ガラス基板に第1層感光性樹脂をラミネートし、第
1のマスクパターンにより露光し、第1層感光性樹脂の
上に第2層感光性樹脂をラミネートし、第2のマスクパ
ターンにより露光し、前記感光性樹脂を現像し、流路基
板を形成するインクジェットヘッドの製造方法が記載さ
れている。
は、ガラス基板に第1層感光性樹脂をラミネートし、第
1のマスクパターンにより露光し、第1層感光性樹脂の
上に第2層感光性樹脂をラミネートし、第2のマスクパ
ターンにより露光し、前記感光性樹脂を現像し、流路基
板を形成するインクジェットヘッドの製造方法が記載さ
れている。
【0007】また、特開平4−216951号公報に
は、エネルギー発生素子が配設された基板上にインク流
路形成用第1感光性材料層を設けて第1感光性材料層に
インク流路形成用パターン露光を行い、次いで第1感光
性材料層上に更に第2感光性材料層を設けて第2感光性
材料層にインク吐出口及びインク供給口形成用パターン
露光を行い、その後第1及び第2の感光性材料層の現像
を行うインクジェットヘッドの製造方法が記載されてい
る。
は、エネルギー発生素子が配設された基板上にインク流
路形成用第1感光性材料層を設けて第1感光性材料層に
インク流路形成用パターン露光を行い、次いで第1感光
性材料層上に更に第2感光性材料層を設けて第2感光性
材料層にインク吐出口及びインク供給口形成用パターン
露光を行い、その後第1及び第2の感光性材料層の現像
を行うインクジェットヘッドの製造方法が記載されてい
る。
【0008】このように、感光性樹脂層の複層構造で液
室隔壁を形成する従来のインクジェットヘッドの製造方
法にあっては、いずれも微細構造形成と工程簡略化のた
めにフィルム状感光性樹脂のラミネートとパターン露光
を繰り返し、最後に一括して感光性樹脂を現像する工法
を用いている。
室隔壁を形成する従来のインクジェットヘッドの製造方
法にあっては、いずれも微細構造形成と工程簡略化のた
めにフィルム状感光性樹脂のラミネートとパターン露光
を繰り返し、最後に一括して感光性樹脂を現像する工法
を用いている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに液室隔壁を形成するためにフィルム状感光性樹脂の
ラミネート、パターン露光を繰り返して最後に一括して
現像するという工法を用いた場合には、ラミネートロー
ルによる繰り返しの熱圧延の効果によって、感光性樹脂
を構成する高分子が異方性を持ち、一定方向へのそりが
発生し、またその応力がエッジ部に集中するとエッジ部
の剥離などを生じ易くなる。
うに液室隔壁を形成するためにフィルム状感光性樹脂の
ラミネート、パターン露光を繰り返して最後に一括して
現像するという工法を用いた場合には、ラミネートロー
ルによる繰り返しの熱圧延の効果によって、感光性樹脂
を構成する高分子が異方性を持ち、一定方向へのそりが
発生し、またその応力がエッジ部に集中するとエッジ部
の剥離などを生じ易くなる。
【0010】このようにインク流路の隔壁部を形成する
感光性樹脂のそりや剥離が生じると、高い精度が要求さ
れる加圧液室やこの加圧液室と共通液室とを連通する流
体抵抗部(インク供給路)の寸法精度が悪くなるなどし
て、複数のノズルからのインク滴吐出特性にバラツキが
発生し、画像品質が低下することになる。また、ノズル
内に感光性樹脂がまわりこんで、その近傍の感光性樹脂
の膜厚が薄くなり、液室の寸法精度が悪くなるなどの問
題も生じる。
感光性樹脂のそりや剥離が生じると、高い精度が要求さ
れる加圧液室やこの加圧液室と共通液室とを連通する流
体抵抗部(インク供給路)の寸法精度が悪くなるなどし
て、複数のノズルからのインク滴吐出特性にバラツキが
発生し、画像品質が低下することになる。また、ノズル
内に感光性樹脂がまわりこんで、その近傍の感光性樹脂
の膜厚が薄くなり、液室の寸法精度が悪くなるなどの問
題も生じる。
【0011】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、インク滴吐出特性のバラツキを低減し、画像品質
を向上することを目的とする。
あり、インク滴吐出特性のバラツキを低減し、画像品質
を向上することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項1のインクジェットヘッドは、基板上に複数
のフィルム状感光性樹脂を積層して所定形状のインク流
路の隔壁部を形成したインクジェットヘッドにおいて、
前記複数のフィルム状感光性樹脂が積層構造全体で異方
性を持たない構成とした。
め、請求項1のインクジェットヘッドは、基板上に複数
のフィルム状感光性樹脂を積層して所定形状のインク流
路の隔壁部を形成したインクジェットヘッドにおいて、
前記複数のフィルム状感光性樹脂が積層構造全体で異方
性を持たない構成とした。
【0013】請求項2のインクジェットヘッドの製造方
法は、基板上に複数のフィルム状感光性樹脂を積層して
所定形状のインク流路の隔壁部を形成したインクジェッ
トヘッドの製造方法において、前記複数のフィルム状感
光性樹脂は互いに接する2つのフィルム状感光性樹脂を
異なる方向にラミネートする構成とした。
法は、基板上に複数のフィルム状感光性樹脂を積層して
所定形状のインク流路の隔壁部を形成したインクジェッ
トヘッドの製造方法において、前記複数のフィルム状感
光性樹脂は互いに接する2つのフィルム状感光性樹脂を
異なる方向にラミネートする構成とした。
【0014】請求項3のインクジェットヘッドの製造方
法は、上記請求項2のインクジェットヘッドの製造方法
において、前記基板がノズル孔を有するノズル形成部材
である構成とした。
法は、上記請求項2のインクジェットヘッドの製造方法
において、前記基板がノズル孔を有するノズル形成部材
である構成とした。
【0015】請求項4のインクジェットヘッドの製造方
法は、複数のノズル孔を有するノズル形成部材上にフィ
ルム状感光性樹脂をラミネートしてインク流路の隔壁部
を形成するインクジェットヘッドの製造方法において、
前記ノズル形成部材上にラミネートするフィルム状感光
性樹脂は、前記ノズル孔の並び方向及び並び方向と直交
する方向とは異なる方向にラミネートする構成とした。
法は、複数のノズル孔を有するノズル形成部材上にフィ
ルム状感光性樹脂をラミネートしてインク流路の隔壁部
を形成するインクジェットヘッドの製造方法において、
前記ノズル形成部材上にラミネートするフィルム状感光
性樹脂は、前記ノズル孔の並び方向及び並び方向と直交
する方向とは異なる方向にラミネートする構成とした。
【0016】請求項5のインクジェットヘッドの製造方
法は、上記請求項4のインクジェットヘッドの製造方法
において、前記ノズル形成部材上に複数のフィルム状感
光性樹脂をラミネートし、複数のフィルム状感光性樹脂
は互いに接する2つのフィルム状感光性樹脂を異なる方
向にラミネートする構成とした。
法は、上記請求項4のインクジェットヘッドの製造方法
において、前記ノズル形成部材上に複数のフィルム状感
光性樹脂をラミネートし、複数のフィルム状感光性樹脂
は互いに接する2つのフィルム状感光性樹脂を異なる方
向にラミネートする構成とした。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図1は本発明を適用するイン
クジェットヘッドの分解斜視図、図2は図1のノズル配
列方向と直交する方向の要部拡大断面図、図3は図1の
ノズル配列方向の要部拡大断面図である。
図面を参照して説明する。図1は本発明を適用するイン
クジェットヘッドの分解斜視図、図2は図1のノズル配
列方向と直交する方向の要部拡大断面図、図3は図1の
ノズル配列方向の要部拡大断面図である。
【0018】このインクジェットヘッドは、駆動ユニッ
ト1と、液室ユニット2と、ヘッドカバー3とを備えて
いる。駆動ユニット1は、セラミック、ガラスエポキシ
樹脂等からなる絶縁性基板11上に、複数の積層型圧電
素子12を接合して二列配置し、これらの各列の積層型
圧電素子12の周囲を取り囲む液室支持部材であるフレ
ーム部材13を接合している。また、基板11上には共
通電極パターン14及び個別電極パターン15を設け、
これらの共通電極パターン14及び個別電極パターン1
5はそれぞれ導電性接着剤16を介して圧電素子12の
各内部電極を交互に接続した端面電極17,18と接続
している。なお、共通電極パターン14は、フレーム部
材13に設けた穴19内に導電性接着剤を充填すること
で各パターン部の導通を取っている。
ト1と、液室ユニット2と、ヘッドカバー3とを備えて
いる。駆動ユニット1は、セラミック、ガラスエポキシ
樹脂等からなる絶縁性基板11上に、複数の積層型圧電
素子12を接合して二列配置し、これらの各列の積層型
圧電素子12の周囲を取り囲む液室支持部材であるフレ
ーム部材13を接合している。また、基板11上には共
通電極パターン14及び個別電極パターン15を設け、
これらの共通電極パターン14及び個別電極パターン1
5はそれぞれ導電性接着剤16を介して圧電素子12の
各内部電極を交互に接続した端面電極17,18と接続
している。なお、共通電極パターン14は、フレーム部
材13に設けた穴19内に導電性接着剤を充填すること
で各パターン部の導通を取っている。
【0019】そして、基板11をヘッド支持部材である
スペーサ部材(ヘッドホルダ)21上に支持して保持
し、このスペーサ部材21内に配設したヘッド駆動用I
C等を有するPCB基板と駆動ユニット1の各圧電素子
12とを各電極パターン14,15に接合したFPCケ
ーブル22を介して接続している。
スペーサ部材(ヘッドホルダ)21上に支持して保持
し、このスペーサ部材21内に配設したヘッド駆動用I
C等を有するPCB基板と駆動ユニット1の各圧電素子
12とを各電極パターン14,15に接合したFPCケ
ーブル22を介して接続している。
【0020】液室ユニット2は、金属或いは樹脂の薄膜
からなる振動板23と、液室隔壁部材を構成する3層構
造のフォトレジストフィルムからなる感光性樹脂層2
4,25,26と、ノズル孔27を形成した金属、樹脂
等からなるノズルプレート28とを順次を積層し、熱融
着して形成している。ノズルプレート28の表面には、
撥水性の表面処理膜である撥水膜29を形成し、この撥
水膜29の周囲には撥水処理を施していない非撥水処理
面30を設けている。
からなる振動板23と、液室隔壁部材を構成する3層構
造のフォトレジストフィルムからなる感光性樹脂層2
4,25,26と、ノズル孔27を形成した金属、樹脂
等からなるノズルプレート28とを順次を積層し、熱融
着して形成している。ノズルプレート28の表面には、
撥水性の表面処理膜である撥水膜29を形成し、この撥
水膜29の周囲には撥水処理を施していない非撥水処理
面30を設けている。
【0021】なお、これらの各部材によってノズル孔2
7が連通する加圧液室31と、この加圧液室31の両側
に位置する共通インク室32,32と、共通液室32か
ら加圧液室31へインクを供給するための流体抵抗部と
なるインク供給路33,33を形成している。
7が連通する加圧液室31と、この加圧液室31の両側
に位置する共通インク室32,32と、共通液室32か
ら加圧液室31へインクを供給するための流体抵抗部と
なるインク供給路33,33を形成している。
【0022】ノズルカバー(ヘッドカバー)3は、ノズ
ルプレート28の周縁部及びヘッド側面を覆う箱状に形
成したものであり、ノズルプレート28の撥水膜29に
対応して開口部を形成し、ノズルプレート28の非撥水
処理面30に接着剤にて接着接合している。
ルプレート28の周縁部及びヘッド側面を覆う箱状に形
成したものであり、ノズルプレート28の撥水膜29に
対応して開口部を形成し、ノズルプレート28の非撥水
処理面30に接着剤にて接着接合している。
【0023】また、このインクジェットヘッドには、図
示しないインクカートリッジからのインクを液室に供給
するため、スペーサ部材21、基板11、フレーム部材
13及び振動板21にそれぞれインク供給穴35〜38
を設けている。
示しないインクカートリッジからのインクを液室に供給
するため、スペーサ部材21、基板11、フレーム部材
13及び振動板21にそれぞれインク供給穴35〜38
を設けている。
【0024】このインクジェットヘッドにおいては、液
室隔壁部材となる3層構造の感光性樹脂層24,25,
26のうちのノズルプレート28側に積層する感光性樹
脂層24,25は積層構造全体で異方性を持たないよう
に形成している。これによって、感光性樹脂層のそりや
エッジ部の剥離が生じなくなり、インク流路寸法を高精
度に形成することができて、ノズル間でのインク滴吐出
特性のバラツキを低減することができ、画像品質が向上
する。
室隔壁部材となる3層構造の感光性樹脂層24,25,
26のうちのノズルプレート28側に積層する感光性樹
脂層24,25は積層構造全体で異方性を持たないよう
に形成している。これによって、感光性樹脂層のそりや
エッジ部の剥離が生じなくなり、インク流路寸法を高精
度に形成することができて、ノズル間でのインク滴吐出
特性のバラツキを低減することができ、画像品質が向上
する。
【0025】次に、液室ユニットの加工組立工程につい
て図4乃至図6を参照して説明する。なお、ここでは、
説明を簡単にするために、上記実施例における液室隔壁
部材を構成する感光性樹脂層を2層構造にした例で説明
する。
て図4乃至図6を参照して説明する。なお、ここでは、
説明を簡単にするために、上記実施例における液室隔壁
部材を構成する感光性樹脂層を2層構造にした例で説明
する。
【0026】先ず、次のようにして、振動板23上に感
光性樹脂層を形成した部材を製造する。 図4(a)に示すように予めエレクトロンフォーミ
ング工法(電鋳)を用いてNi(ニッケル)の金属プレ
ートからなる振動板23を製造した後、同図(b)に示
すように振動板12のフラットな面上に感光性樹脂であ
るネガ型ドライフィルムレジスト41を熱及び圧力によ
ってラミネートする。このドライフィルムレジストの厚
さは例えば20〜50μm程度である。
光性樹脂層を形成した部材を製造する。 図4(a)に示すように予めエレクトロンフォーミ
ング工法(電鋳)を用いてNi(ニッケル)の金属プレ
ートからなる振動板23を製造した後、同図(b)に示
すように振動板12のフラットな面上に感光性樹脂であ
るネガ型ドライフィルムレジスト41を熱及び圧力によ
ってラミネートする。このドライフィルムレジストの厚
さは例えば20〜50μm程度である。
【0027】 同図(c)に示すようにインク流路形
状に応じたパターン(同図中、黒塗り部分が光遮蔽、白
部分が光透過)を有するマスク42を用いて紫外線(U
V光)露光をして、ドライフィルムレジスト41の露光
部分を硬化させる。これにより、ドライフィルムレジス
ト41は同図(d)に示すように溶剤不溶化領域である
硬化領域(露光部分)41aと溶剤溶化領域である未硬
化領域(未露光部分)41bとが生じる。
状に応じたパターン(同図中、黒塗り部分が光遮蔽、白
部分が光透過)を有するマスク42を用いて紫外線(U
V光)露光をして、ドライフィルムレジスト41の露光
部分を硬化させる。これにより、ドライフィルムレジス
ト41は同図(d)に示すように溶剤不溶化領域である
硬化領域(露光部分)41aと溶剤溶化領域である未硬
化領域(未露光部分)41bとが生じる。
【0028】 同図(e)に示すように未露光部分を
除去できる溶剤を用いて現像し、未露光部分41bを除
去して、露光部分41aを残すことにより、この露光部
分(硬化領域)41aで所定のパターン形状を形成した
感光性樹脂層43が形成される。 水洗い、乾燥の後、再度紫外線露光と加熱によって
本硬化する。
除去できる溶剤を用いて現像し、未露光部分41bを除
去して、露光部分41aを残すことにより、この露光部
分(硬化領域)41aで所定のパターン形状を形成した
感光性樹脂層43が形成される。 水洗い、乾燥の後、再度紫外線露光と加熱によって
本硬化する。
【0029】一方、振動板23側と同様にして、ノズル
プレート28側に感光性樹脂層を形成した部材を製造す
る。すなわち、 図5(a)に示すように予めエレクトロンフォーミ
ング工法(電鋳)を用いてNi(ニッケル)の金属プレ
ートからなるノズル27を有するノズルプレート28を
製造した後、同図(b)に示すようにノズルプレート2
8の振動板側の面上に感光性樹脂であるネガ型ドライフ
ィルムレジスト45を熱及び圧力によってラミネートす
る。このドライフィルムレジストの厚さは例えば40〜
100μm程度である。
プレート28側に感光性樹脂層を形成した部材を製造す
る。すなわち、 図5(a)に示すように予めエレクトロンフォーミ
ング工法(電鋳)を用いてNi(ニッケル)の金属プレ
ートからなるノズル27を有するノズルプレート28を
製造した後、同図(b)に示すようにノズルプレート2
8の振動板側の面上に感光性樹脂であるネガ型ドライフ
ィルムレジスト45を熱及び圧力によってラミネートす
る。このドライフィルムレジストの厚さは例えば40〜
100μm程度である。
【0030】 同図(c)に示すようにインク流路形
状に応じたパターンを有するマスク46を用いてUV光
で露光をして、ドライフィルムレジスト45の露光部分
を硬化させる。これにより、ドライフィルムレジスト4
5は同図(d)に示すように硬化領域(露光部分)45
aと未硬化領域(未露光部分)45bとが生じる。
状に応じたパターンを有するマスク46を用いてUV光
で露光をして、ドライフィルムレジスト45の露光部分
を硬化させる。これにより、ドライフィルムレジスト4
5は同図(d)に示すように硬化領域(露光部分)45
aと未硬化領域(未露光部分)45bとが生じる。
【0031】 同図(e)に示すように未露光部分を
除去できる溶剤を用いて現像して、未露光部分45bを
除去し、露光部分45aを残すことにより、この露光部
分(硬化領域)45aで所定のパターン形状を形成した
感光性樹脂層46が形成される。 水洗い、乾燥の後、再度紫外線露光と加熱によって
本硬化する。
除去できる溶剤を用いて現像して、未露光部分45bを
除去し、露光部分45aを残すことにより、この露光部
分(硬化領域)45aで所定のパターン形状を形成した
感光性樹脂層46が形成される。 水洗い、乾燥の後、再度紫外線露光と加熱によって
本硬化する。
【0032】そして、図6に示すように、振動板23と
ノズルプレート28に形成されたドライフィルムレジス
トからなる感光性樹脂層43と感光性樹脂層45の対応
する面同士を接合する。この接合は位置合わせ治具を用
いて行い、加圧及び前記本硬化のときより高い温度での
加熱を行う。なお、実際には、以上の工程は、複数個分
のヘッド面積のプレートにて組付けを行う。
ノズルプレート28に形成されたドライフィルムレジス
トからなる感光性樹脂層43と感光性樹脂層45の対応
する面同士を接合する。この接合は位置合わせ治具を用
いて行い、加圧及び前記本硬化のときより高い温度での
加熱を行う。なお、実際には、以上の工程は、複数個分
のヘッド面積のプレートにて組付けを行う。
【0033】次に、上述したインクジェットヘッドのよ
うにノズルプレート側に2層の感光性樹脂層を設け、振
動板側に1層の感光性樹脂層を設けて3層構造の液室隔
壁構造を形成する場合におけるノズルプレート側の製造
方法について説明する。なお、ここでは、液室ユニット
の構成は、次のとおりとする。すなわち、図7に示すよ
うにノズルプレート51と振動板52との間に3層構造
の感光性樹脂層からなる液室隔壁部材53を介装した構
造にしている。ノズルプレート51は、図8に示すよう
に、ノズル54を一列に形成すると共に、端部両側に気
泡排出口55,55を有し、仮想線図示の位置に振動板
52のインク供給穴56が対応する。
うにノズルプレート側に2層の感光性樹脂層を設け、振
動板側に1層の感光性樹脂層を設けて3層構造の液室隔
壁構造を形成する場合におけるノズルプレート側の製造
方法について説明する。なお、ここでは、液室ユニット
の構成は、次のとおりとする。すなわち、図7に示すよ
うにノズルプレート51と振動板52との間に3層構造
の感光性樹脂層からなる液室隔壁部材53を介装した構
造にしている。ノズルプレート51は、図8に示すよう
に、ノズル54を一列に形成すると共に、端部両側に気
泡排出口55,55を有し、仮想線図示の位置に振動板
52のインク供給穴56が対応する。
【0034】また、液室隔壁部材53は、ノズルプレー
ト51側に形成する第1感光性樹脂層61及び第2感光
性樹脂層62と、振動板52側に形成する第3感光性樹
脂層63からなり、加圧液室64、共通液室65、流体
抵抗部を兼ねたインク供給路66、加圧液室64からノ
ズル54への入口部分(以下「ノズル入口」という。)
67をそれぞれ形成する。
ト51側に形成する第1感光性樹脂層61及び第2感光
性樹脂層62と、振動板52側に形成する第3感光性樹
脂層63からなり、加圧液室64、共通液室65、流体
抵抗部を兼ねたインク供給路66、加圧液室64からノ
ズル54への入口部分(以下「ノズル入口」という。)
67をそれぞれ形成する。
【0035】ここで、図7及び図9に示すように、第1
感光性樹脂層61はノズル入口67と共通液室65とを
隔てる隔壁部61a及び共通液室65の外周を隔てる外
周隔壁部61bとを形成し、第2感光性樹脂層62は加
圧液室64と共通液室65とを隔てる隔壁部62a及び
外周隔壁部62bとを形成し、第3感光性樹脂層63は
インク供給路66を形成すると共に加圧液室と共通液室
65とを隔てる隔壁部63a及び外周隔壁部63bとを
形成している。なお、第2感光性樹脂層62の隔壁部6
2aのインク供給穴56と反対側は、図9に示すように
共通液室65,65を行き止まり形状に形成するために
外周隔壁部62bと連続させている(第1感光性樹脂層
61の隔壁部61a及び外周隔壁部61bも同じであ
る。)。
感光性樹脂層61はノズル入口67と共通液室65とを
隔てる隔壁部61a及び共通液室65の外周を隔てる外
周隔壁部61bとを形成し、第2感光性樹脂層62は加
圧液室64と共通液室65とを隔てる隔壁部62a及び
外周隔壁部62bとを形成し、第3感光性樹脂層63は
インク供給路66を形成すると共に加圧液室と共通液室
65とを隔てる隔壁部63a及び外周隔壁部63bとを
形成している。なお、第2感光性樹脂層62の隔壁部6
2aのインク供給穴56と反対側は、図9に示すように
共通液室65,65を行き止まり形状に形成するために
外周隔壁部62bと連続させている(第1感光性樹脂層
61の隔壁部61a及び外周隔壁部61bも同じであ
る。)。
【0036】そこで、先ず、本発明と比較するため、複
数のフィルム状感光性樹脂をラミネート方向を同一にし
て積層し、図7に示した液室ユニットのノズルプレート
51側の第1,第2感光性樹脂層61,62を形成する
過程について図10及び図11を参照して説明する。な
お、ノズルプレート51のノズル54等は現像終了まで
図面表記上は破線であるが実線で示している(以下の説
明も同様とする。)。
数のフィルム状感光性樹脂をラミネート方向を同一にし
て積層し、図7に示した液室ユニットのノズルプレート
51側の第1,第2感光性樹脂層61,62を形成する
過程について図10及び図11を参照して説明する。な
お、ノズルプレート51のノズル54等は現像終了まで
図面表記上は破線であるが実線で示している(以下の説
明も同様とする。)。
【0037】図10(a)及び図11(a)に示すよう
なノズルプレート51の振動板側に各図(b)に示すよ
うにフィルム状感光性樹脂であるネガ型ドライフィルム
レジスト71を矢印で示すノズル54の並び方向(以
下、「ノズル配列方向」という。)に熱及び圧力によっ
てラミネートする。そして、図10(c)に示すように
加圧液室64のノズル入口67、共通液室65と略同じ
形状の領域を露光不能とする(マスキングする)部分7
2a,72bを有するマスク72を用いて紫外線(UV
光)露光する。
なノズルプレート51の振動板側に各図(b)に示すよ
うにフィルム状感光性樹脂であるネガ型ドライフィルム
レジスト71を矢印で示すノズル54の並び方向(以
下、「ノズル配列方向」という。)に熱及び圧力によっ
てラミネートする。そして、図10(c)に示すように
加圧液室64のノズル入口67、共通液室65と略同じ
形状の領域を露光不能とする(マスキングする)部分7
2a,72bを有するマスク72を用いて紫外線(UV
光)露光する。
【0038】これにより、図10(c)及び図11
(c)に示すようにドライフィルムレジスト71には第
1感光性樹脂層61の隔壁部61a,61bに対応する
硬化領域71a,71bとノズル入口67、共通液室6
5に対応する未硬化領域71c,71dが形成される。
(c)に示すようにドライフィルムレジスト71には第
1感光性樹脂層61の隔壁部61a,61bに対応する
硬化領域71a,71bとノズル入口67、共通液室6
5に対応する未硬化領域71c,71dが形成される。
【0039】次いで、図11(c)に示すように、第1
層目のドライフィルムレジストと同じく矢印で示すノズ
ル配列方向をラミネート方向として、図10(d)に示
すように露光が終了したドライフィルムレジス71上に
ネガ型ドライフィルムレジスト73をラミネートする。
そして、図10(e)に示すように加圧液室64、共通
液室65と略同じ形状の領域を露光不能とする(マスキ
ングする)部分74a,74bを有するマスク74を用
いて露光する。これにより、図10(e)及び図11
(d)に示すように、ドライフィルムレジスト73には
第2感光性樹脂層62の隔壁部62a,62bに対応す
る硬化領域73a,73bと加圧液室64、共通液室6
5に対応する未硬化領域73c,73dが形成される。
層目のドライフィルムレジストと同じく矢印で示すノズ
ル配列方向をラミネート方向として、図10(d)に示
すように露光が終了したドライフィルムレジス71上に
ネガ型ドライフィルムレジスト73をラミネートする。
そして、図10(e)に示すように加圧液室64、共通
液室65と略同じ形状の領域を露光不能とする(マスキ
ングする)部分74a,74bを有するマスク74を用
いて露光する。これにより、図10(e)及び図11
(d)に示すように、ドライフィルムレジスト73には
第2感光性樹脂層62の隔壁部62a,62bに対応す
る硬化領域73a,73bと加圧液室64、共通液室6
5に対応する未硬化領域73c,73dが形成される。
【0040】その後、2層のドライフィルムレジスト7
1,73を一括して現像することによって、図10
(f)及び図11(e)に示すように各ドライフィルム
レジスト71,73の未硬化領域71c,71d、73
c,73dが除去され、後露光、加熱を行うことによっ
て露光領域71a,71b,73a,73bがそれぞれ
隔壁部61a,61b,62a,62bとなって所定の
液室パターン(インク流路形状)形成する第1、第2感
光性樹脂層61,62が形成される。
1,73を一括して現像することによって、図10
(f)及び図11(e)に示すように各ドライフィルム
レジスト71,73の未硬化領域71c,71d、73
c,73dが除去され、後露光、加熱を行うことによっ
て露光領域71a,71b,73a,73bがそれぞれ
隔壁部61a,61b,62a,62bとなって所定の
液室パターン(インク流路形状)形成する第1、第2感
光性樹脂層61,62が形成される。
【0041】このように、2枚のフィルム状感光性樹脂
層61,62について、第1感光性樹脂層61を所定の
マスクパターンで露光し、第2感光性樹脂層62を積層
して所定のマスクパターンで露光した後、最後に一括し
て2枚の感光性樹脂層61,62を現像し、後露光、加
熱を行って、前述した振動板52の第3感光性樹脂層6
3と位置合わせをして接合することで液室ユニットを完
成する。
層61,62について、第1感光性樹脂層61を所定の
マスクパターンで露光し、第2感光性樹脂層62を積層
して所定のマスクパターンで露光した後、最後に一括し
て2枚の感光性樹脂層61,62を現像し、後露光、加
熱を行って、前述した振動板52の第3感光性樹脂層6
3と位置合わせをして接合することで液室ユニットを完
成する。
【0042】ところが、この例でノズル配列方向にラミ
ネートした第1感光性樹脂層61となるドライフィルム
レジスト71の露光を行った後、第2感光性樹脂層62
となるドライフィルムレジスト73を同じくノズル配列
方向でラミネートすると、ドライフィルムレジスト全体
がロール圧延方向(ここではラミネート方向)に異方性
を持ち、ラミネート方向にそりを生じ易くなり、また、
この応力がエッジ部に集中すると、エッジ部が剥離し易
くなる。
ネートした第1感光性樹脂層61となるドライフィルム
レジスト71の露光を行った後、第2感光性樹脂層62
となるドライフィルムレジスト73を同じくノズル配列
方向でラミネートすると、ドライフィルムレジスト全体
がロール圧延方向(ここではラミネート方向)に異方性
を持ち、ラミネート方向にそりを生じ易くなり、また、
この応力がエッジ部に集中すると、エッジ部が剥離し易
くなる。
【0043】また、ノズル形成部材であるノズルプレー
ト51にノズル配列方向をラミネート方向として第1感
光性樹脂層61となるドライフィルムレジスト71をラ
ミネートした場合、図11(b)に示す領域Aではノズ
ル孔54が繰り返し存在するために、ノズル孔54内に
ドライフィルムレジストが浸入し、浸入する樹脂の分だ
け領域Aの部分の膜厚が薄くなる。この場合、ノズル配
列方向と直交する方向をラミネート方向とすると、ロー
ルが領域Aに達したときに、ノズル孔54が抜き部とな
って相対的な圧力が領域Aの前後領域より大きくなり、
やはり膜厚が薄くなる。
ト51にノズル配列方向をラミネート方向として第1感
光性樹脂層61となるドライフィルムレジスト71をラ
ミネートした場合、図11(b)に示す領域Aではノズ
ル孔54が繰り返し存在するために、ノズル孔54内に
ドライフィルムレジストが浸入し、浸入する樹脂の分だ
け領域Aの部分の膜厚が薄くなる。この場合、ノズル配
列方向と直交する方向をラミネート方向とすると、ロー
ルが領域Aに達したときに、ノズル孔54が抜き部とな
って相対的な圧力が領域Aの前後領域より大きくなり、
やはり膜厚が薄くなる。
【0044】そこで、本発明に係るインクジェットヘッ
ドの製造方法の第1実施例について図12及び図13を
参照して説明する。図12(a)及び図13(a)に示
すようなノズルプレート51の振動板側に各図(b)に
示すようにフィルム状感光性樹脂であるネガ型ドライフ
ィルムレジスト71を矢印で示すノズル配列方向に熱及
び圧力によってラミネートする。そして、図12(c)
に示すように加圧液室64のノズル入口67、共通液室
65と略同じ形状の領域を露光不能とする(マスキング
する)部分72a,72bを有するマスク72を用いて
紫外線(UV光)露光する。
ドの製造方法の第1実施例について図12及び図13を
参照して説明する。図12(a)及び図13(a)に示
すようなノズルプレート51の振動板側に各図(b)に
示すようにフィルム状感光性樹脂であるネガ型ドライフ
ィルムレジスト71を矢印で示すノズル配列方向に熱及
び圧力によってラミネートする。そして、図12(c)
に示すように加圧液室64のノズル入口67、共通液室
65と略同じ形状の領域を露光不能とする(マスキング
する)部分72a,72bを有するマスク72を用いて
紫外線(UV光)露光する。
【0045】これにより、図12(c)及び図13
(c)に示すようにドライフィルムレジスト71には第
1感光性樹脂層61の隔壁部61a,61bに対応する
硬化領域71a,71bとノズル入口67、共通液室6
5に対応する未硬化領域71c,71dが形成される。
(c)に示すようにドライフィルムレジスト71には第
1感光性樹脂層61の隔壁部61a,61bに対応する
硬化領域71a,71bとノズル入口67、共通液室6
5に対応する未硬化領域71c,71dが形成される。
【0046】次いで、図13(c)に示すように、第1
層目のドライフィルムレジスト71のラミネート方向で
あるノズル配列方向と直交する矢印で示す方向をラミネ
ート方向として、図13(d)に示すように露光が終了
したドライフィルムレジス71上に2層目のネガ型ドラ
イフィルムレジスト73をラミネートする。そして、図
12(e)に示すように加圧液室64、共通液室65と
略同じ形状の領域を露光不能とする(マスキングする)
部分74a,74bを有するマスク74を用いて露光す
る。これにより、図12(e)及び図13(d)に示す
ように、ドライフィルムレジスト73には第2感光性樹
脂層62の隔壁部62a,62bに対応する硬化領域7
3a,73bと加圧液室64、共通液室65に対応する
未硬化領域73c,73dが形成される。
層目のドライフィルムレジスト71のラミネート方向で
あるノズル配列方向と直交する矢印で示す方向をラミネ
ート方向として、図13(d)に示すように露光が終了
したドライフィルムレジス71上に2層目のネガ型ドラ
イフィルムレジスト73をラミネートする。そして、図
12(e)に示すように加圧液室64、共通液室65と
略同じ形状の領域を露光不能とする(マスキングする)
部分74a,74bを有するマスク74を用いて露光す
る。これにより、図12(e)及び図13(d)に示す
ように、ドライフィルムレジスト73には第2感光性樹
脂層62の隔壁部62a,62bに対応する硬化領域7
3a,73bと加圧液室64、共通液室65に対応する
未硬化領域73c,73dが形成される。
【0047】その後、2層のドライフィルムレジスト7
1,73を一括して現像することによって、図12
(f)及び図13(e)に示すように各ドライフィルム
レジスト71,73の未硬化領域71c,71d、73
c,73dが除去され、後露光、加熱を行うことによっ
て露光領域71a,71b,73a,73bがそれぞれ
隔壁部61a,61b,62a,62bとなって所定の
液室パターン(インク流路形状)形成する第1、第2感
光性樹脂層61,62が形成される。
1,73を一括して現像することによって、図12
(f)及び図13(e)に示すように各ドライフィルム
レジスト71,73の未硬化領域71c,71d、73
c,73dが除去され、後露光、加熱を行うことによっ
て露光領域71a,71b,73a,73bがそれぞれ
隔壁部61a,61b,62a,62bとなって所定の
液室パターン(インク流路形状)形成する第1、第2感
光性樹脂層61,62が形成される。
【0048】このように、ノズルプレート51に積層す
る2層のドライフィルムレジスト71,73(フィルム
状感光性樹脂)のラミネート方向を異ならせることによ
って、感光性樹脂層として一定方向の異方性がなくな
り、感光性樹脂層が均一化して、そりや応力によるエッ
ジ部の剥離を低減することができ、インク流路寸法を高
精度に形成することができて、インク滴吐出特性のバラ
ツキが低減し、画像品質を向上することができる。
る2層のドライフィルムレジスト71,73(フィルム
状感光性樹脂)のラミネート方向を異ならせることによ
って、感光性樹脂層として一定方向の異方性がなくな
り、感光性樹脂層が均一化して、そりや応力によるエッ
ジ部の剥離を低減することができ、インク流路寸法を高
精度に形成することができて、インク滴吐出特性のバラ
ツキが低減し、画像品質を向上することができる。
【0049】次に、本発明に係るインクジェットヘッド
の製造方法の第2実施例について図14を参照して説明
する。なお、各工程の断面説明図は図12と同様である
ので、説明を省略する。この実施例においては、上記第
1実施例において、ノズルプレート51の振動板側に、
図14(b)に矢印で示すようにフィルム状感光性樹脂
であるネガ型ドライフィルムレジスト75をノズル配列
方向及びノズル配列方向と直交する方向とは異なる方向
をラミネート方向として、熱及び圧力によってラミネー
トする。
の製造方法の第2実施例について図14を参照して説明
する。なお、各工程の断面説明図は図12と同様である
ので、説明を省略する。この実施例においては、上記第
1実施例において、ノズルプレート51の振動板側に、
図14(b)に矢印で示すようにフィルム状感光性樹脂
であるネガ型ドライフィルムレジスト75をノズル配列
方向及びノズル配列方向と直交する方向とは異なる方向
をラミネート方向として、熱及び圧力によってラミネー
トする。
【0050】そして、前記第1実施例と同様にして露光
を行なった後、同図(c)に矢印で示すように、ノズル
配列方向及びノズル配列方向と直交する方向とは異なる
方向で、かつ1層目のドライフィルムレジスト71のラ
ミネート方向とも異なる方向をラミネート方向として、
2層目のネガ型ドライフィルムレジスト77をラミネー
トする。なお、以下の工程は第1実施例と同様であるの
で、説明を省略する。
を行なった後、同図(c)に矢印で示すように、ノズル
配列方向及びノズル配列方向と直交する方向とは異なる
方向で、かつ1層目のドライフィルムレジスト71のラ
ミネート方向とも異なる方向をラミネート方向として、
2層目のネガ型ドライフィルムレジスト77をラミネー
トする。なお、以下の工程は第1実施例と同様であるの
で、説明を省略する。
【0051】このように、ノズルプレート側の複数のフ
ィルム状感光性樹脂をラミネートして積層する場合に、
ノズルプレートに直接ラミネートする1層目のドライフ
ィルムレジストのラミネート方向を、ノズル配列方向及
びノズル配列方向と直交する方向とは異なる方向にす
る。これによって、ノズル孔が比較的均等に存在するた
めに一部領域の膜厚のみが限定的に薄くなることを防止
でき、つまり、ノズル孔近傍での感光性樹脂の膜厚の減
少を低減することができ、インク流路寸法を高精度に形
成することができて、インク滴吐出特性のバラツキが低
減し、画像品質を向上することができる。
ィルム状感光性樹脂をラミネートして積層する場合に、
ノズルプレートに直接ラミネートする1層目のドライフ
ィルムレジストのラミネート方向を、ノズル配列方向及
びノズル配列方向と直交する方向とは異なる方向にす
る。これによって、ノズル孔が比較的均等に存在するた
めに一部領域の膜厚のみが限定的に薄くなることを防止
でき、つまり、ノズル孔近傍での感光性樹脂の膜厚の減
少を低減することができ、インク流路寸法を高精度に形
成することができて、インク滴吐出特性のバラツキが低
減し、画像品質を向上することができる。
【0052】次に、本発明に係るインクジェットヘッド
の第2実施例について図15を参照して説明する。同図
に示す液室ユニットは、上述した図7に示すノズルプレ
ート51と振動板52との間に4層構造の感光性樹脂層
からなる液室隔壁部材53を介装した構造にしている。
ここでの液室隔壁部材53は、ノズルプレート51側に
形成する第1感光性樹脂層81、第2感光性樹脂層82
及び第3感光性樹脂層83と、振動板52側に形成する
第4感光性樹脂層84とからなり、第3感光性樹脂層8
3と第4感光性樹脂層84との組合わせで流体抵抗部を
兼ねた複雑な形状を有するインク供給路66を形成して
いる。
の第2実施例について図15を参照して説明する。同図
に示す液室ユニットは、上述した図7に示すノズルプレ
ート51と振動板52との間に4層構造の感光性樹脂層
からなる液室隔壁部材53を介装した構造にしている。
ここでの液室隔壁部材53は、ノズルプレート51側に
形成する第1感光性樹脂層81、第2感光性樹脂層82
及び第3感光性樹脂層83と、振動板52側に形成する
第4感光性樹脂層84とからなり、第3感光性樹脂層8
3と第4感光性樹脂層84との組合わせで流体抵抗部を
兼ねた複雑な形状を有するインク供給路66を形成して
いる。
【0053】なお、第1感光性樹脂層81はノズル入口
67と共通液室65とを隔てる隔壁部81a及び外周隔
壁部81bとを形成し、第2感光性樹脂層82は加圧液
室64と共通液室65とを隔てる隔壁部82a及び外周
隔壁部82bとを形成し、第3感光性樹脂層63はイン
ク供給路66を形成し加圧液室64との間の隔壁となる
隔壁部83a及び外周隔壁部82bとを形成し、第4感
光性樹脂層84はインク供給路66を形成し加圧液室6
4と共通液室65との間の隔壁となる隔壁部84a及び
外周の隔壁部84bとを形成しているている。
67と共通液室65とを隔てる隔壁部81a及び外周隔
壁部81bとを形成し、第2感光性樹脂層82は加圧液
室64と共通液室65とを隔てる隔壁部82a及び外周
隔壁部82bとを形成し、第3感光性樹脂層63はイン
ク供給路66を形成し加圧液室64との間の隔壁となる
隔壁部83a及び外周隔壁部82bとを形成し、第4感
光性樹脂層84はインク供給路66を形成し加圧液室6
4と共通液室65との間の隔壁となる隔壁部84a及び
外周の隔壁部84bとを形成しているている。
【0054】このように、一方の基板であるノズルプレ
ート51側に3層構造以上のフィルム状感光性樹脂をラ
ミネートする場合においても、3層のラミネート方向を
異ならせるなどして、積層構造全体で異方性を持たせな
いようにすることで、インク流路寸法を高精度に形成す
ることができて、インク滴吐出特性のバラツキが低減
し、画像品質を向上することができるインクジェットヘ
ッドが得られる。
ート51側に3層構造以上のフィルム状感光性樹脂をラ
ミネートする場合においても、3層のラミネート方向を
異ならせるなどして、積層構造全体で異方性を持たせな
いようにすることで、インク流路寸法を高精度に形成す
ることができて、インク滴吐出特性のバラツキが低減
し、画像品質を向上することができるインクジェットヘ
ッドが得られる。
【0055】そこで、この液室ユニットのノズルプレー
ト側の製造工程について図16乃至図18を参照して説
明する。前述したと同様にして、図16(a)に示すよ
うなノズルプレート51の振動板側に同図(b)に示す
ようにネガ型ドライフィルムレジスト85をラミネート
する。このとき、1層目のネガ型ドライフィルムレジス
ト85のラミネート方向は、図18(a)に矢印で示す
ように、ノズル配列方向及びノズル配列方向と直交する
方向とは異なる方向とする。
ト側の製造工程について図16乃至図18を参照して説
明する。前述したと同様にして、図16(a)に示すよ
うなノズルプレート51の振動板側に同図(b)に示す
ようにネガ型ドライフィルムレジスト85をラミネート
する。このとき、1層目のネガ型ドライフィルムレジス
ト85のラミネート方向は、図18(a)に矢印で示す
ように、ノズル配列方向及びノズル配列方向と直交する
方向とは異なる方向とする。
【0056】そして、図16(c)に示すように加圧液
室64のノズル入口67、共通液室65及び外周隔壁部
81bに相当する部分をマスキングする部分86a,8
6bを有するマスク86を用いて紫外線(UV光)露光
をして、図18(a)にも示すようにドライフィルムレ
ジスト85の隔壁部61aに対応する硬化領域85aを
形成するし、ドライフィルムレジスト85のノズル入口
67、共通液室65及び外周隔壁部81bに対応する部
分を未硬化領域85b,85cとする。
室64のノズル入口67、共通液室65及び外周隔壁部
81bに相当する部分をマスキングする部分86a,8
6bを有するマスク86を用いて紫外線(UV光)露光
をして、図18(a)にも示すようにドライフィルムレ
ジスト85の隔壁部61aに対応する硬化領域85aを
形成するし、ドライフィルムレジスト85のノズル入口
67、共通液室65及び外周隔壁部81bに対応する部
分を未硬化領域85b,85cとする。
【0057】次いで、図16(d)に示すように1層目
のドライフィルムレジス85上にネガ型ドライフィルム
レジスト87をラミネートする。この2層目のネガ型ド
ライフィルムレジスト87のラミネート方向は、図18
(b)に矢印で示すように、ノズル配列方向及びノズル
配列方向と直交する方向とは異なり、かつ、1層目のネ
ガ型ドライフィルムレジスト85のラミネート方向とも
異なる方向とする。
のドライフィルムレジス85上にネガ型ドライフィルム
レジスト87をラミネートする。この2層目のネガ型ド
ライフィルムレジスト87のラミネート方向は、図18
(b)に矢印で示すように、ノズル配列方向及びノズル
配列方向と直交する方向とは異なり、かつ、1層目のネ
ガ型ドライフィルムレジスト85のラミネート方向とも
異なる方向とする。
【0058】そして、図16図(e)に示すように加圧
液室64、共通液室65及び外周隔壁部81bに相当す
る部分をマスキングする部分88a,88bを有するマ
スク88を用いて紫外線(UV光)露光をして、図18
(b)にも示すようにドライフィルムレジスト87の隔
壁部62aに対応する硬化領域87aを形成し、ドライ
フィルムレジスト87の加圧液室64、共通液室65及
び外周隔壁部81bに対応する部分を未硬化領域85
b,85cとする。
液室64、共通液室65及び外周隔壁部81bに相当す
る部分をマスキングする部分88a,88bを有するマ
スク88を用いて紫外線(UV光)露光をして、図18
(b)にも示すようにドライフィルムレジスト87の隔
壁部62aに対応する硬化領域87aを形成し、ドライ
フィルムレジスト87の加圧液室64、共通液室65及
び外周隔壁部81bに対応する部分を未硬化領域85
b,85cとする。
【0059】更に、図17(a)に示すようにドライフ
ィルムレジス87上に3層目のネガ型ドライフィルムレ
ジスト89をラミネートする。この3層目のネガ型ドラ
イフィルムレジスト89のラミネート方向は、図18
(c)に矢印で示すように、ノズル配列方向及びノズル
配列方向と直交する方向とは異なり、かつ、1層目のド
ライフィルムレジスト85のラミネート方向及び2層目
のドライフィルムレジスト87のラミネート方向とも異
なる方向、ここではノズル配列方向としている。
ィルムレジス87上に3層目のネガ型ドライフィルムレ
ジスト89をラミネートする。この3層目のネガ型ドラ
イフィルムレジスト89のラミネート方向は、図18
(c)に矢印で示すように、ノズル配列方向及びノズル
配列方向と直交する方向とは異なり、かつ、1層目のド
ライフィルムレジスト85のラミネート方向及び2層目
のドライフィルムレジスト87のラミネート方向とも異
なる方向、ここではノズル配列方向としている。
【0060】そして、図17(b)に示すように加圧液
室64並びに共通液室65及びインク供給路66に相当
する部分をマスキングする部分90a,90bを有する
マスク90を用いて露光をして、図18(c)にも示す
ようにドライフィルムレジスト89の隔壁部83a,8
3bに対応する硬化領域89a,89bを形成する。こ
のとき、前回及び前前回の露光では露光されなかったド
ライフィルムレジスト85,87の未硬化領域85c,
87cのうちの外周隔壁部81b,82bに対応する部
分も露光されて硬化領域89bとなる。また、ドライフ
ィルムレジスト89の加圧液室64、共通液室65及び
インク供給路66に対応する部分を未硬化領域89c,
89dとする。
室64並びに共通液室65及びインク供給路66に相当
する部分をマスキングする部分90a,90bを有する
マスク90を用いて露光をして、図18(c)にも示す
ようにドライフィルムレジスト89の隔壁部83a,8
3bに対応する硬化領域89a,89bを形成する。こ
のとき、前回及び前前回の露光では露光されなかったド
ライフィルムレジスト85,87の未硬化領域85c,
87cのうちの外周隔壁部81b,82bに対応する部
分も露光されて硬化領域89bとなる。また、ドライフ
ィルムレジスト89の加圧液室64、共通液室65及び
インク供給路66に対応する部分を未硬化領域89c,
89dとする。
【0061】その後、3層のドライフィルムレジスト8
5,87,89を一括して現像することによって、図1
7(c)及び図18(d)に示すように、各ドライフィ
ルムレジスト85,87,89の未硬化領域が除去さ
れ、後露光、加熱を行うことによって露光領域85a,
87a,89aがそれぞれ隔壁部81a,81b,82
a,82b,83a,83bとなって所定の液室パター
ンを有する第1、第2、第3感光性樹脂層81,82,
83が形成される。
5,87,89を一括して現像することによって、図1
7(c)及び図18(d)に示すように、各ドライフィ
ルムレジスト85,87,89の未硬化領域が除去さ
れ、後露光、加熱を行うことによって露光領域85a,
87a,89aがそれぞれ隔壁部81a,81b,82
a,82b,83a,83bとなって所定の液室パター
ンを有する第1、第2、第3感光性樹脂層81,82,
83が形成される。
【0062】このように、ノズルプレート側に3層構造
でフィルム状感光性樹脂をラミネートして隔壁部を構成
する場合にも、各層のフィルム状感光性樹脂のラミネー
ト方向を異ならせることのよって異方性を持たなくな
り、感光性樹脂内の残留応力が小さくなって、そりや剥
離などの不都合が小さく、信頼性が高く、高品質の画像
を記録できるインクジェットヘッドを得ることができ
る。この場合にもノズルプレートにラミネートする1層
目のフィルム状感光性樹脂は、ノズル配列方向及びそれ
と直交する方向以外の方向にラミネートすることで、一
層信頼性が高く、チャンネル間のインク滴吐出特性のバ
ラツキの少ないインクジェットヘッドを構成することが
できる。
でフィルム状感光性樹脂をラミネートして隔壁部を構成
する場合にも、各層のフィルム状感光性樹脂のラミネー
ト方向を異ならせることのよって異方性を持たなくな
り、感光性樹脂内の残留応力が小さくなって、そりや剥
離などの不都合が小さく、信頼性が高く、高品質の画像
を記録できるインクジェットヘッドを得ることができ
る。この場合にもノズルプレートにラミネートする1層
目のフィルム状感光性樹脂は、ノズル配列方向及びそれ
と直交する方向以外の方向にラミネートすることで、一
層信頼性が高く、チャンネル間のインク滴吐出特性のバ
ラツキの少ないインクジェットヘッドを構成することが
できる。
【0063】さらに、この実施例のようにノズルプレー
トに3層構造で感光性樹脂層を設ける場合、ノズルプレ
ート側から第2層目までは加圧液室形状の形成のみとし
て、ラミネートと露光を繰り返し、最終層である第3層
で液室形状の全体が得られるマスクパターンで露光し、
3層を一括して現像することによって、露光した感光性
樹脂層上に他の感光性樹脂層を積層ラミネートする場合
に生じる膜厚むらを低減することができ、多層構造の複
雑なインク流路形状(液室形状)を高精度に形成するこ
とができ、一層記録品質を向上することができる。
トに3層構造で感光性樹脂層を設ける場合、ノズルプレ
ート側から第2層目までは加圧液室形状の形成のみとし
て、ラミネートと露光を繰り返し、最終層である第3層
で液室形状の全体が得られるマスクパターンで露光し、
3層を一括して現像することによって、露光した感光性
樹脂層上に他の感光性樹脂層を積層ラミネートする場合
に生じる膜厚むらを低減することができ、多層構造の複
雑なインク流路形状(液室形状)を高精度に形成するこ
とができ、一層記録品質を向上することができる。
【0064】なお、上記実施例では、ノズルプレートを
複数のフィルム状感光性樹脂をラミネートする基板とし
た例で説明したが、振動板を複数のフィルム状感光性樹
脂をラミネートする基板とすることもできる。また、ア
クチュエータ素子として圧電素子を用いたインクジェッ
トヘッドで説明しているが、アクチュエータ素子はこれ
に限るものでなく発熱抵抗体等のその他のアクチュエー
タ素子を使用するインクジェットヘッドにも本発明は同
様に適用することができる。
複数のフィルム状感光性樹脂をラミネートする基板とし
た例で説明したが、振動板を複数のフィルム状感光性樹
脂をラミネートする基板とすることもできる。また、ア
クチュエータ素子として圧電素子を用いたインクジェッ
トヘッドで説明しているが、アクチュエータ素子はこれ
に限るものでなく発熱抵抗体等のその他のアクチュエー
タ素子を使用するインクジェットヘッドにも本発明は同
様に適用することができる。
【0065】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1のインク
ジェットヘッドによれば、複数のフィルム状感光性樹脂
が積層構造全体で異方性を持たない構成としたので、感
光性樹脂層の反り、剥離等が著しく低減し、信頼性が高
く、インク滴吐出特性のバラツキが低減して画像品質が
向上するインクジェットヘッドが得られる。
ジェットヘッドによれば、複数のフィルム状感光性樹脂
が積層構造全体で異方性を持たない構成としたので、感
光性樹脂層の反り、剥離等が著しく低減し、信頼性が高
く、インク滴吐出特性のバラツキが低減して画像品質が
向上するインクジェットヘッドが得られる。
【0066】請求項2のインクジェットヘッドの製造方
法によれば、複数のフィルム状感光性樹脂は互いに接す
る2つのフィルム状感光性樹脂を異なる方向にラミネー
トする構成としたので、感光性樹脂全体での異方性がな
くなり、感光性樹脂層の反り、剥離等が著しく低減し、
信頼性が高く、インク滴吐出特性のバラツキが低減して
高画像品質で記録可能なインクジェットヘッドを得るこ
とができる。
法によれば、複数のフィルム状感光性樹脂は互いに接す
る2つのフィルム状感光性樹脂を異なる方向にラミネー
トする構成としたので、感光性樹脂全体での異方性がな
くなり、感光性樹脂層の反り、剥離等が著しく低減し、
信頼性が高く、インク滴吐出特性のバラツキが低減して
高画像品質で記録可能なインクジェットヘッドを得るこ
とができる。
【0067】請求項3のインクジェットヘッドの製造方
法によれば、上記請求項2に記載のインクジェットヘッ
ドの製造方法において、前記基板がノズル孔を有するノ
ズル形成部材である構成としたので、ノズル形成部材を
接合する工程を省略することができて、生産性が向上す
る。
法によれば、上記請求項2に記載のインクジェットヘッ
ドの製造方法において、前記基板がノズル孔を有するノ
ズル形成部材である構成としたので、ノズル形成部材を
接合する工程を省略することができて、生産性が向上す
る。
【0068】請求項4のインクジェットヘッドの製造方
法によれば、ノズル形成部材上にラミネートするフィル
ム状感光性樹脂は、ノズル孔の並び方向及び並び方向と
直交する方向とは異なる方向にラミネートするようにし
たので、ノズル孔近傍での膜厚の減少を少なくすること
ができて、全体の厚みムラを均一化させることができ、
信頼性が高く、インク滴吐出特性のバラツキが低減して
高画像品質で記録可能なインクジェットヘッドを得るこ
とができる。
法によれば、ノズル形成部材上にラミネートするフィル
ム状感光性樹脂は、ノズル孔の並び方向及び並び方向と
直交する方向とは異なる方向にラミネートするようにし
たので、ノズル孔近傍での膜厚の減少を少なくすること
ができて、全体の厚みムラを均一化させることができ、
信頼性が高く、インク滴吐出特性のバラツキが低減して
高画像品質で記録可能なインクジェットヘッドを得るこ
とができる。
【0069】請求項5のインクジェットヘッドの製造方
法によれば、上記請求項4のインクジェットヘッドの製
造方法において、ノズル形成部材上に複数のフィルム状
感光性樹脂をラミネートし、複数のフィルム状感光性樹
脂は互いに接する2つのフィルム状感光性樹脂を異なる
方向にラミネートするようにしたので、感光性樹脂全体
での異方性がなくなり、感光性樹脂層の反り、剥離等が
著しく低減し、信頼性が高く、インク滴吐出特性のバラ
ツキが低減して高画像品質で記録可能なインクジェット
ヘッドを得ることができる。
法によれば、上記請求項4のインクジェットヘッドの製
造方法において、ノズル形成部材上に複数のフィルム状
感光性樹脂をラミネートし、複数のフィルム状感光性樹
脂は互いに接する2つのフィルム状感光性樹脂を異なる
方向にラミネートするようにしたので、感光性樹脂全体
での異方性がなくなり、感光性樹脂層の反り、剥離等が
著しく低減し、信頼性が高く、インク滴吐出特性のバラ
ツキが低減して高画像品質で記録可能なインクジェット
ヘッドを得ることができる。
【図1】本発明を適用するインクジェットヘッドの分解
斜視図
斜視図
【図2】図1のノズル配列方向と直交する方向の要部拡
大断面図
大断面図
【図3】図1のノズル配列方向の要部拡大断面図
【図4】液室ユニットの製造工程のうちの振動板の製造
工程を説明する工程図
工程を説明する工程図
【図5】液室ユニットの製造工程のうちのノズルプレー
トの製造工程を説明する工程図
トの製造工程を説明する工程図
【図6】液室ユニットの製造工程のうちの振動板とノズ
ルプレートの接合を説明する工程図
ルプレートの接合を説明する工程図
【図7】他の液室ユニットの構造を説明する断面図
【図8】同ユニットのノズルプレートの平面図
【図9】同ユニットのノズルプレートの裏面側から見た
平面図
平面図
【図10】同液室ユニットのノズルプレート側の製造工
程の比較例を説明するための断面説明図
程の比較例を説明するための断面説明図
【図11】同じくノズルプレート側の製造工程を説明す
るための平面説明図
るための平面説明図
【図12】本発明に係るインクジェットヘッドの製造方
法の第1実施例を説明するための断面説明図
法の第1実施例を説明するための断面説明図
【図13】同実施例を説明するための平面説明図
【図14】本発明に係るインクジェットヘッドの製造方
法の第2実施例を説明するための断面説明図
法の第2実施例を説明するための断面説明図
【図15】本発明に係るインクジェットヘッドの他の実
施例を説明するための液室ユニットの要部拡大断面図
施例を説明するための液室ユニットの要部拡大断面図
【図16】本発明に係るインクジェットヘッドの製造方
法の第3実施例を説明するための断面説明図
法の第3実施例を説明するための断面説明図
【図17】同実施例の図16の工程に続く工程を説明す
るための断面説明図
るための断面説明図
【図18】同実施例を説明するための平面説明図
1…駆動ユニット、2…液室ユニット、12…圧電素
子、23…振動板、24,25,26…感光性樹脂層、
28…ノズルプレート、51…ノズルプレート(感光性
樹脂を積層する基板)、61,81…第1感光性樹脂
層、62,82…第2感光性樹脂層、63,83…第3
感光性樹脂層、84…第4感光性樹脂層、75,77,
75,87,89…ドライフィルムレジスト、76,7
8,86,88,90…マスク。
子、23…振動板、24,25,26…感光性樹脂層、
28…ノズルプレート、51…ノズルプレート(感光性
樹脂を積層する基板)、61,81…第1感光性樹脂
層、62,82…第2感光性樹脂層、63,83…第3
感光性樹脂層、84…第4感光性樹脂層、75,77,
75,87,89…ドライフィルムレジスト、76,7
8,86,88,90…マスク。
Claims (5)
- 【請求項1】 基板上に複数のフィルム状感光性樹脂を
積層して所定形状のインク流路の隔壁部を形成したイン
クジェットヘッドにおいて、前記複数のフィルム状感光
性樹脂が積層構造全体で異方性を持たないことを特徴と
するインクジェットヘッド。 - 【請求項2】 基板上に複数のフィルム状感光性樹脂を
積層して所定形状のインク流路の隔壁部を形成したイン
クジェットヘッドの製造方法において、前記複数のフィ
ルム状感光性樹脂は互いに接する2つのフィルム状感光
性樹脂を異なる方向にラミネートすることを特徴とする
インクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項3】 請求項2に記載のインクジェットヘッド
の製造方法において、前記基板がノズル孔を有するノズ
ル形成部材であることを特徴とするインクジェットヘッ
ドの製造方法。 - 【請求項4】 複数のノズル孔を有するノズル形成部材
上にフィルム状感光性樹脂をラミネートしてインク流路
の隔壁部を形成するインクジェットヘッドの製造方法に
おいて、前記ノズル形成部材上にラミネートするフィル
ム状感光性樹脂は、前記ノズル孔の並び方向及び並び方
向と直交する方向とは異なる方向にラミネートすること
を特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項5】 請求項4に記載のインクジェットヘッド
の製造方法において、前記ノズル形成部材上に複数のフ
ィルム状感光性樹脂をラミネートし、複数のフィルム状
感光性樹脂は互いに接する2つのフィルム状感光性樹脂
を異なる方向にラミネートすることを特徴とするインク
ジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27232897A JPH11105297A (ja) | 1997-10-06 | 1997-10-06 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27232897A JPH11105297A (ja) | 1997-10-06 | 1997-10-06 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11105297A true JPH11105297A (ja) | 1999-04-20 |
Family
ID=17512364
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27232897A Pending JPH11105297A (ja) | 1997-10-06 | 1997-10-06 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11105297A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008299165A (ja) * | 2007-06-01 | 2008-12-11 | Nippon Kayaku Co Ltd | 中空構造を有する成形体の製造法 |
JP2013178526A (ja) * | 2013-04-01 | 2013-09-09 | Hitachi Chemical Co Ltd | 中空構造体及びその製造方法 |
JP2018202833A (ja) * | 2017-06-09 | 2018-12-27 | 富士フイルム株式会社 | 液滴吐出ヘッドの製造方法、画像形成装置の製造方法、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 |
-
1997
- 1997-10-06 JP JP27232897A patent/JPH11105297A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008299165A (ja) * | 2007-06-01 | 2008-12-11 | Nippon Kayaku Co Ltd | 中空構造を有する成形体の製造法 |
JP2013178526A (ja) * | 2013-04-01 | 2013-09-09 | Hitachi Chemical Co Ltd | 中空構造体及びその製造方法 |
JP2018202833A (ja) * | 2017-06-09 | 2018-12-27 | 富士フイルム株式会社 | 液滴吐出ヘッドの製造方法、画像形成装置の製造方法、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 |
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