JPH09277530A - インクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 微細で複雑なインク流路を容易に形成できな
い。 【解決手段】 ノズルプレート１７に設けた第１，第２
感光性樹脂層４１，４２によって形成している隔壁４
５，４６，４７と、振動板１２に設けた第３，第４感光
性樹脂層４３，４４によって形成している隔壁４８，４
９，５０，５１の組合わせで加圧液室１８，共通液室１
９及び流体抵抗部２０を形成し、最終接合面Ｃ−Ｃが異
なる平面にある構造とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットヘッ
ドに関し、特にインク流路を複層構造で形成するインク
ジェットヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録装置は、記録時の振
動、騒音が殆どなく、カラー化が容易なことから、コン
ピュータ等のデジタル処理装置のデータを出力するプリ
ンタの他、ファクシミリやコピー等にも用いられるよう
になっている。このようなインクジェット記録装置は、
インク滴を吐出するためのノズルと、ノズルに対応して
設けた電気機械変換素子や電気熱変換体などのアクチュ
エータ素子と、このアクチュエータ素子で加圧されるイ
ンク流路（以下、「加圧液室」と称する。）を備えたイ
ンクジェットヘッドを記録ヘッドに用いて、記録信号に
応じてノズルからインク滴を記録媒体（インク滴が付着
するもの）に吐出することによって、高速、高解像度、
高品質の記録を行なうものである。

【０００３】ところで、インクジェット記録装置に対す
る高速、高画質化の要求に伴ってインクジェットヘッド
のノズルの集積度の高密度化、ノズル径の微細化が必要
になっている。そのために、液室構造の集積度の向上や
流体的にバランスをとるための流体抵抗部の微細化が不
可欠になっている。

【０００４】しかし、一方で、飛翔インク滴体積を確保
しなければ画質が低下するために、加圧液室や加圧液室
にインクを供給するためのインク流路（以下、「共通液
室」と称する。）の体積をあまり縮小することができな
い。そこで、ノズル配列方向のピッチを大きくすること
で液室体積を確保することは集積度の低下を招くため
に、ノズル配列方向と垂直な方向、主に厚み方向を厚く
することによって液室体積の確保を図るようにしてい
る。

【０００５】したがって、液室部には共通液室と加圧液
室との間のインク供給路となる厚さの薄い流体抵抗部
と、厚さの厚い加圧液室、共通液室が必要になり、これ
らを任意に形成するために、厚み方向に金属板或いはド
ライフィルムレジスト等の層部材から流路形成部を積層
してインク流路を形成するインクジェットヘッドが種々
提案されている（例えば、特開平４−１５８０４５号公
報、特開平４−２１６９５１号公報等）。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のインクジェットヘッドにあっては、１つの基板
上にインク流路を形成するための感光性樹脂層や熱硬化
性樹脂層からなる流路形成部を設け、他の１つの基板を
流路形成部材に接合することによってインク流路を形成
するようにしているため、微細で複雑なインク流路を形
成することができない。

【０００７】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、微細で複雑なインク流路を容易に形成できるイン
クジェットヘッドを提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項１のインクジェットヘッドは、インク流路を
形成するための流路形成部を設けた第１部材と、前記イ
ンク流路を形成するための流路形成部を設けた第２部材
とを接合して前記インク流路を形成したインクジェット
ヘッドにおいて、前記第１部材の流路形成部と第２部材
の流路形成部との組合わせで前記インク流路を形成し、
最終接合面が異なる平面にある構成とした。

【０００９】請求項２のインクジェットヘッドは、上記
請求項１のインクジェットヘッドにおいて、前記インク
流路が共通インク流路から加圧液室にインクを供給する
インク供給路をなす流体抵抗部である構成とした。

【００１０】請求項３のインクジェットヘッドは、上記
請求項１又は２のインクジェットヘッドにおいて、前記
組合わせでインク流路を形成する第１部材及び第２部材
の流路形成部の厚みが異なる構成とした。

【００１１】請求項４のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至３のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記第１部材及び第２部材のいずれか一方に位置
合せ用の凸部を、他方にこの凸部に嵌合する凹部を形成
した。

【００１２】請求項５のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至３のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記第１部材及び第２部材にガイドライン部を形
成した。

【００１３】請求項６のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至５のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、共通インク流路から加圧液室にインクを供給する
インク供給路をなす流体抵抗部は、前記共通インク流路
側ではノズルを形成したノズル形成部材側で開口し、前
記加圧液室側では振動板側で開口している構成とした。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図１は本発明を適用するイン
クジェットヘッドの外観斜視図、図２は図１のＡ−Ａ線
に沿う要部拡大断面図、図３は図１のＢ−Ｂ線に沿う要
部拡大断面図である。

【００１５】このインクジェットヘッドは、アクチュエ
ータユニット１と、このアクチュエータユニット１上に
接合した液室ユニット２とからなる。アクチュエータユ
ニット１は、絶縁基板３上に２つの積層型圧電素子４，
４と、これら２列の圧電素子４，４の周囲を取り囲むフ
レーム５を接着剤６によって接合している。圧電素子４
は、インクを液滴化して飛翔させるための駆動パルスが
与えられる複数のアクチュエータ素子となる駆動部７，
７…と、これらの駆動部７，７間に位置して、駆動パル
スが与えられない支柱部となる複数の非駆動部８，８…
とを交互に配置してなる。

【００１６】液室ユニット２は、ダイアフラム部１１を
有する振動板１２上に感光性樹脂フィルム（ドライフィ
ルムレジスト）で形成した流路形成部となる第１感光性
樹脂層１３、第２感光性樹脂層１４、第３感光性樹脂層
１５及びノズル１６を有するノズルプレート１７を順次
積層して各駆動部７，７…に対応するインク流路である
複数の加圧液室１８，１８…、各加圧液室１８，１８…
にインクを供給するインク流路である複数の共通液室
（共通インク流路）１９，１９、共通液室１９と加圧液
室１８を連通するインク供給路をなすインク流路である
流体抵抗部２０，２０をそれぞれ形成している。

【００１７】この液室ユニット２の振動板１２は、Ｎｉ
（ニッケル）の金属プレートからなり、エレクトロフォ
ーミング（電鋳）工法によって製造している。この振動
板１２は、図３に示すように第３感光性樹脂層１５側を
平坦面とし、チャンネル方向と直交する方向では駆動部
７側にそれぞれ厚みの異なるダイアフラム領域１２ａ、
接合領域１２ｂ及び逃げ領域１２ｃを形成して、駆動部
７，７…に対応してダイアフラム部１１、１１…を形成
したものである。

【００１８】この振動板１２のダイアフラム領域１２ａ
は、最も厚みの薄い領域（薄肉部）であって、厚さを３
〜１０μｍ程度にしたダイアフラム部１１のダイアフラ
ム領域（駆動部７の変位に応じて変形する弾性部分）で
ある。また、接合領域１２ｂは、最も厚みの厚い領域
（厚肉部）であり、駆動部７，非駆動部８及びフレーム
５との接合領域であって、例えば２０μｍ程度以上の厚
さに形成している。この場合、図４に示すようにチャン
ネル方向と直交する方向では、各接合領域１２ｂの内、
非駆動部８に対応する部分は、液室ユニット２を非駆動
部８に接合するための梁部１２ｅとなる。更に、逃げ領
域１２ｃは、中間の厚さの領域であって、駆動部７との
接触を避けるための領域である。

【００１９】この振動板１２を形成する材料は、駆動部
７による加圧力を加圧液室１８に伝搬できる弾性部分を
形成でき、インクに対する耐液性がよく、低透湿性のも
のであればよい。ただし、この振動板１２としては、非
駆動部８と高い剛性で接合する上で、ヤング率を１００
Ｋg／mm²以上とした非弾性材料を用いることが好まし
い。ここでは、上述したようにエレクトロンフォーミン
グ工法（電鋳）によって製造したＮi（ニッケル）の金
属プレートを用いているが、この他ＳＵＳ等の金属膜、
非常に薄い低透湿性の樹脂膜、例えばポリフェニレンサ
ルファイド、ポリイミド、ポリエーテルサルフォン、ポ
リクロロトリフルオロエチレン、アラミド等の樹脂膜を
用いることもできる。

【００２０】また、ノズルプレート１７にはインク滴を
飛翔させるための微細孔である多数のノズル１６を形成
しており、このノズル１６の径はインク滴出口側の直径
で３５μｍ以下に形成している。このノズルプレート１
７も振動板１２と同様にエレクトロンフォーミング工法
（電鋳）によって製造したＮi（ニッケル）の金属プレ
ートを用いているが、Ｓi、その他の金属材料を用いる
こともできる。なお、実際には、１列３２〜６４個のノ
ズル１６を２列配列した６４〜１２８個構成で１つのイ
ンクジェットヘッドを製作するが、この６４〜１２８個
のノズル１６を有するノズルプレート１７の品質は、イ
ンクの滴形状、飛翔特性を決定し、画像品質に大きな影
響を与えるものであり、より高品位の画像品質を得る上
で表面の均一化処理が不可欠である。

【００２１】そして、このインクジェットヘッドにおい
ては、予めアクチュエータユニット１と液室ユニット２
とを別々に組付けた後、接着剤２１によって両ユニット
１，２を接着接合して製造している。液室ユニット２
は、ノズルプレート１７側に第１感光性樹脂層１３を形
成する一方、振動板１２側に第２、第３感光性樹脂層１
４、１５を形成した後、これらのノズルプレート１７と
振動板１２とを第１、第３感光性樹脂層１３、１５の位
置合わせをして接着接合して形成する。

【００２２】ここで、感光性樹脂を用いた液室ユニット
の製造工程について図５乃至図７を参照して説明する。
なお、ここでは、説明を簡単にするために、上記実施例
の第２感光性樹脂層１４を設けない２層形態で説明す
る。

【００２３】先ず、次のようにして、振動板１２上に第
３感光体樹脂層１５を形成した部材を製造する。 図５（ａ）に示すように予めエレクトロンフォーミ
ング工法（電鋳）を用いてＮi（ニッケル）の金属プレ
ートからなる振動板１２を製造した後、同図（ｂ）に示
すように振動板１２のフラットな面上に感光性樹脂であ
るネガ型ドライフィルムレジスト３１を熱及び圧力によ
ってラミネートする。このドライフィルムレジストの厚
さは例えば２０〜５０μｍ程度である。

【００２４】 同図（ｃ）に示すようにインク流路形
状に応じたパターン（同図中、黒塗り部分が光遮蔽、白
部分が光透過）を有するマスク３２を用いて紫外線（Ｕ
Ｖ光）露光をして、ドライフィルムレジスト３１の露光
部分を硬化させる。これにより、ドライフィルムレジス
ト３１は同図（ｄ）に示すように溶剤不溶化領域である
硬化部分（露光部分）３１ａと溶剤溶化領域である未硬
化部分（未露光部分）３１ｂとが生じる。 同図（ｅ）に示すように未露光部分を除去できる溶
剤を用いて現像し、未露光部分３１ｂを除去して、露光
部分３１ａを残すことにより、この露光部分３１ａで所
定のパターンを有する第３感光性樹脂層１５が形成され
る。 水洗い、乾燥の後、再度紫外線露光と加熱によって
本硬化する。

【００２５】一方、振動板１２側と同様にして、ノズル
プレート１７側に第１感光性樹脂層１３を形成した部材
を製造する。すなわち、 図６（ａ）に示すように予めエレクトロンフォーミ
ング工法（電鋳）を用いてＮi（ニッケル）の金属プレ
ートからなるノズル１６を有するノズルプレート１７を
製造した後、同図（ｂ）に示すようにノズルプレート１
７のフラットな面上に感光性樹脂であるネガ型ドライフ
ィルムレジスト３３を熱及び圧力によってラミネートす
る。このドライフィルムレジストの厚さは例えば４０〜
１００μｍ程度である。

【００２６】 同図（ｃ）に示すようにインク流路形
状に応じたパターンを有するマスク３４を用いて紫外線
（ＵＶ光）露光をして、ドライフィルムレジスト３３の
露光部分を硬化させる。これにより、ドライフィルムレ
ジスト３３は同図（ｄ）に示すように硬化部分（露光部
分）３３ａと未硬化部分（未露光部分）３３ｂとが生じ
る。 同図（ｅ）に示すように未露光部分を除去できる溶
剤を用いて現像して、未露光部分３３ｂを除去すること
により、露光部分３３ａを残すことにより、この露光部
分３３ａで所定のパターンを有する第１感光性樹脂層１
３が形成される。 水洗い、乾燥の後、再度紫外線露光と加熱によって
本硬化する。

【００２７】そして、図７に示すように、振動板１３と
ノズルプレート１７に形成されたドライフィルムレジス
トからなる第１感光性樹脂層１３と第３感光性樹脂層１
５の対応する面同士を接合する。この接合は位置合わせ
治具を用いて行い、加圧及び前記本硬化のときより高い
温度での加熱を行う。なお、実際には、以上の工程は、
複数個分のヘッド面積のプレートにて組付けを行う。

【００２８】そこで、このようなインクジェットヘッド
に適用する本発明の実施例について図８以降を参照して
説明する。なお、上述したインクジェットヘッドと対応
する部分には同一符号を付している。図８は本発明の第
１実施例を示す液室ユニットの断面図、図９は同液室ユ
ニットの分解斜視図である。

【００２９】この液室ユニット４０は、インク流路を形
成するための流路形成部を第１感光性樹脂層４１及び第
２感光性樹脂層４２で形成した第１部材であるノズルプ
レート１７と、インク流路を形成するための流路形成部
を第３感光性樹脂層４３及び第４感光性樹脂層４４で形
成した第２部材である振動板１２とを接合して形成した
ものであり、第２感光性樹脂層４２と第３感光性樹脂層
４３とは厚み方向で略同じ高さ位置として、層構造とし
ては３層構造としている。

【００３０】ここで、第１感光性樹脂層４１は、ノズル
プレート１７の周縁部に設けられて共通液室１９の隔壁
を形成する周縁隔壁４５と、ノズル１６の導入口１６ａ
を形成する隔壁４６とを形成している。第２感光性樹脂
層４２は、第１感光性樹脂層４１で形成した隔壁４６の
周縁部に接合されて加圧液室１８を形成する隔壁４７を
形成している。

【００３１】一方、第４感光性樹脂層４４は、振動板１
２の周縁部に設けられて共通液室１９の隔壁を形成する
周縁隔壁４８と、共通液室１９と加圧液室１８とを隔て
るとともに流体抵抗部２０を形成する隔壁４９とを形成
している。第３感光性樹脂層４３は、第４感光性樹脂層
４４で形成する周縁隔壁４８に接合されて共通液室１９
を形成する周縁隔壁５０と、第４感光性樹脂層４４で形
成する隔壁４９に接合されて共通液室１９と加圧液室１
８とを隔てるとともに流体抵抗部２０を形成する隔壁５
１とを形成している。

【００３２】この液室ユニット４０の製造過程は、上述
したところから分かるように、ノズルプレート１７に第
１感光性樹脂層４１を形成するためのネガ型ドライフィ
ルムレジストを熱及び圧力によってラミネートし、隔壁
４５，４６以外の領域を露光不能とする（マスキングす
る）マスクを用いて紫外線（ＵＶ光）露光をし、この第
１感光性樹脂層４１を形成するためのネガ型ドライフィ
ルムレジスト上に、第２感光性樹脂層４２を形成するた
めのネガ型ドライフィルムレジストをラミネートして、
隔壁４７以外の領域を露光不能とする（マスキングす
る）マスクを用いて紫外線（ＵＶ光）露光をした後、こ
れらを一括して現像することによって、露光されなかっ
た未露光部分を除去し、これを全面露光、熱処理等によ
って本硬化することにより、第１，第２感光性樹脂層４
１，４２とする。

【００３３】一方、同様にして、振動板１２に第４感光
性樹脂層４４を形成するためのネガ型ドライフィルムレ
ジストを熱及び圧力によってラミネートし、隔壁４８，
４９以外の領域を露光不能とする（マスキングする）マ
スクを用いて紫外線（ＵＶ光）露光をし、この第４感光
性樹脂層４４を形成するためのネガ型ドライフィルムレ
ジスト上に、第３感光性樹脂層４３を形成するためのネ
ガ型ドライフィルムレジストをラミネートして、隔壁５
０，５１以外の領域を露光不能とする（マスキングす
る）マスクを用いて紫外線（ＵＶ光）露光をした後、こ
れらを一括して現像することによって、露光されなかっ
た未露光部分を除去し、これを全面露光、熱処理等によ
って本硬化することにより、第３，第４感光性樹脂層４
３，４４とする。

【００３４】その後、ノズルプレート１７と振動板１２
とを図８の接合平面Ｃ−Ｃを最終接合面として接合す
る。

【００３５】このように、この液室ユニット４０におい
ては、ノズルプレート１７に設けた第１，第２感光性樹
脂層４１，４２によって形成している流路形成部である
隔壁４５，４６，４７と、振動板１２に設けた第３，第
４感光性樹脂層４３，４４によって形成している流路形
成部である隔壁４８，４９，５０，５１の組合わせでイ
ンク流路である加圧液室１８，共通液室１９及び流体抵
抗部２０を形成し、最終接合面Ｃ−Ｃが異なる平面、す
なわち、第２感光性樹脂層４２と第３感光性樹脂層４３
とを厚み方向に重なり合う位置関係になるようにしてい
る。

【００３６】このようにすることで複雑なインク流路を
精度良く容易に形成することができる。つまり、インク
ジェットヘッドを形成する上での１つの留意点として、
気泡排出性を考慮しなければならない。加圧液室への気
泡の混入は、インクの噴射効率を著しく低下させ、場合
によっては噴射不能の原因となってしまう。そこで、気
泡を加圧液室に残留させないためには、液室の形状をノ
ズル方向に絞るような形態にすることが望ましく、一
方、インクカートリッジ等から混入してきた気泡が共通
液室から加圧液室に流入しない構成を採る必要がある。

【００３７】この場合、インクジェットヘッドの使用時
にノズル面が下方に向く構成を採るとすれば、気泡はノ
ズルと反対側の基板に沿って移動すると考えられ、した
がって、加圧液室へのインクの供給はノズルプレート側
から行うことで気泡の加圧液室への混入を抑えることが
できる。即ち、この実施例のようにインク供給路である
流体抵抗部２０の共通液室１９側開口をノズルプレート
１７側とし、加圧液室１８側開口を振動板１２側とする
ことで、気泡排出性の良いヘッドが得られる。

【００３８】このようなインク流路を有するインクジェ
ットヘッドをドライフィルムレジスト（ＤＦＲ）で平面
上に形成しようとした場合、ノズルプレート側或いは振
動板のいずれかから形成してもＤＦＲのオーバーハング
形状が形成されて、十分な形状制御や接合強度を得るこ
とができなくなる。このような形状を精度良く形成する
方法としては、金属板を予め所望の形状に打ち抜き、貼
り合わせる方法があるが、このような方法では、この実
施例の加圧液室部のように外周から独立した島状の部分
があると、位置合わせができなくなる。

【００３９】これに対して、この実施例のように絞り形
状が必要な加圧液室部は、ノズルプレート側から形成
し、共通液室からの流入部は基板側（振動板側）から形
成して、最後にこれらを組合わせて接合面Ｃ−Ｃで接合
することによって、上述したような複雑な形状のインク
流路であっても精度良く形成することができる。

【００４０】また、このようにすることで、インク流路
の材質についても、金属、樹脂、ＤＦＲ等ほとんどの材
質のもので製造することが可能になり、形状的な問題よ
りも、その他の剛性や放熱性、コスト等の要求特性や品
質の観点から材料を選定することができるようになる。
そして、接合方法に関しても、接合剤を用いることがで
きる他、樹脂であれば融着なども可能になり、金属であ
れば、拡散接合や溶接といった各種の接合工法を採用す
ることができるようになる。

【００４１】次に、図１０は本発明の第２実施例を示す
液室ユニットの断面図、図１１は同液室ユニットの分解
断面図、図１２は同液室ユニットの分解斜視図である。
この液室ユニット６０は、インク流路を形成するための
流路形成部を第１感光性樹脂層６１及び第２感光性樹脂
層６２で形成した第１部材であるノズルプレート１７
と、インク流路を形成するための流路形成部を第３感光
性樹脂層６３で形成した第２部材である振動板１２とを
接合して形成したものであり、第２感光性樹脂層６２と
第３感光性樹脂層６３とは厚み方向で略同じ高さ位置と
して、層構造としては２層構造としている。

【００４２】ここで、第１感光性樹脂層６１は、ノズル
プレート１７の周縁部に設けられて共通液室の隔壁を形
成する周縁隔壁６５と、共通液室とノズル１６の導入口
１６ａを形成する隔壁６６とを形成している。第２感光
性樹脂層４２は、第１感光性樹脂層６１で形成した隔壁
６６に接合されて加圧液室及び流体抵抗部２０を形成す
る隔壁６７を形成している。

【００４３】一方、第３感光性樹脂層６３は、振動板１
２の周縁部に設けられて共通液室の隔壁を形成する周縁
隔壁６８と、共通液室と加圧液室とを隔てるとともに流
体抵抗部２０を形成する隔壁６９とを形成している。

【００４４】そして、この液室ユニット６０は、図１１
に示すように第１，第２感光性樹脂層６１，６２を設け
たノズルプレート１７と第３感光性樹脂層６３を設けた
振動板１２とを接合することで形成する。このとき、第
２感光性樹脂層６２による隔壁６７と第３感光性樹脂層
６３による隔壁６７とが組合わさって加圧液室を形成す
ると共に流体抵抗部２０を形成する。

【００４５】このようにすることで微細な流体抵抗部を
精度良く形成することができる。つまり、流体抵抗部は
インクの逆流を防ぐためにノズルと同程度の断面積にす
ることが要求され、そのため極めて微細構造が要求され
る。この場合、図１３及び図１４に示すようにノズルプ
レート１７側に第１感光性樹脂層６１による隔壁６６を
振動板１２側に第３感光性樹脂層６３による隔壁６９を
形成して両社を同一平面で接合することで流体抵抗部２
０を形成しようとすると、アスペクト比（溝深さ／溝
幅）は１程度が限界になる。

【００４６】これに対して、この実施例のように第２感
光性樹脂層６２による隔壁６７と第３感光性樹脂層６３
による隔壁６９とを組合わせて異なる平面で接合する、
つまり、隔壁６９，６９間に隔壁６７を入り込ませて接
合することによって、アスペクト比の高い溝からなる流
体抵抗部を形成することが可能になる。なお、この実施
例では、加圧液室をほぼ２等分した形状にしているが、
第１部材及び第２部材のいずれか一方に大部分の流路を
形成して、他方に微細部だけを形成するようにすること
もできる。

【００４７】次に、図１５は本発明の第３実施例を示す
液室ユニットの断面図、図１６は同液室ユニットの分解
断面図である。この第３実施例においては、上記第２実
施例の第３感光性樹脂層６３で形成する隔壁６９の２つ
の組合わせで加圧液室及びこれに通じる流体抵抗部を形
成するようにすると共に、各加圧液室の流体抵抗部を第
３感光性樹脂層６３で形成する隔壁６９，６９間に、こ
の隔壁６９よりも厚み方向の厚さを薄くした第２感光性
樹脂層６２で形成する隔壁６７を入り込ませて微細構造
としたものである。

【００４８】流路形状が複雑になるに従って接合時の変
形や接合剤のはみ出しが大きな問題になるので、微細で
変形を嫌う流体抵抗部に、厚さの薄い隔壁（流路形成
部）を設けることによって、この部分が接合時に加圧さ
れず、加圧に起因する変形や接合剤のはみ出しを防止す
ることができ、バラツキの少ない優れた特性のインクジ
ェットヘッドを得ることができる。

【００４９】次に、図１７は本発明の第４実施例を示す
液室ユニットの分解斜視図である。この第４実施例にお
いては、上記第２実施例の液室ユニット６０において、
ノズルプレート１７側には第１感光性樹脂層６１で形成
する周縁隔壁６５の角部２箇所に位置合わせ用凸部７１
を設け、振動板１２側には第３感光性樹脂層６３で形成
する周縁隔壁６８の角部２箇所に位置合わせ用凹部７２
を形成したものである。

【００５０】この液室ユニットでは、接合前にノズルプ
レート１７側の凸部７１と振動板１２側の凹部７２とを
嵌合させることによって、容易に組合わせ位置を決める
ことができ、より高精度の液室ユニットを得ることがで
きる。この場合、これらの凸部７１や凹部７２は他の流
路形成部と同時に形成するためにコスト的にも増加を招
かない。なお、位置合わせ用の凸部及び凹部は、複数
段、例えば２段にして、１段面で概略の位置合わせを行
わせ、２段面で精密位置合わせを行うようにしたり、テ
ーパ状に形成したりすることもできる。

【００５１】次に、図１８は本発明の第５実施例を示す
液室ユニットの分解斜視図である。この第５実施例にお
いては、上記第２実施例の液室ユニット６０において、
ノズルプレート１７側には第１感光性樹脂層６１で形成
する周縁隔壁６５の角部にＬ字状のガイドライン部７３
を設けている。

【００５２】このようにすることで、ガイドライン部７
３に沿って振動板１２をスライドさせてノズルプレート
１７と所定位置に合わせて接合することができる。つま
り、この実施例のようなパターンであれば、隔壁６７と
隔壁６９との間ではＹ軸方向にスライド可能であるの
で、先ず、Ｙ軸で概略を合わせた後、Ｘ軸方向に突き当
てるようにして振動板１２とノズルプレート１７とを合
わせ、次にＹ軸方向にスライドさせてガイドライン部７
３を突き当てることによって位置合わせが完了する。

【００５３】なお、ガイドライン部はＬ字状に限るもの
ではなく、複数本設けることもできる。この場合、複数
本のガイドライン部の内の一本のガイドライン部は、ス
ライド可能な方向に沿っている方が作業性が向上する。
また、上記第４実施例で説明した位置合わせ用の凹部及
び凸部を併用することもできる。

【００５４】上記実施例では、アクチュエータ素子とし
て圧電素子を用いたインクジェットヘッドで説明してい
るが、アクチュエータ素子はこれに限るものでなく発熱
抵抗体等のその他のアクチュエータ素子を使用するイン
クジェットヘッドにも本発明は同様に適用することがで
きる。また、流路形成部を感光性樹脂で形成した例で説
明しているが、その他金属材料等も用いることができ
る。

【００５５】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１のインク
ジェットヘッドによれば、第１部材の流路形成部と第２
部材の流路形成部との組合わせでインク流路を形成し、
最終接合面が異なる平面にある構成としたので、厚さ方
向の複雑で微細なインク流路の形成が可能になり、微細
で複雑なインク流路を容易に形成できる。

【００５６】請求項２のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１のインクジェットヘッドにおいて、イ
ンク流路が共通インク流路から加圧液室にインクを供給
するインク供給路をなす流体抵抗部である構成としたの
で、微細でかつ変形の少ない流体抵抗部形状を得ること
ができる。

【００５７】請求項３のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１又は２のインクジェットヘッドにおい
て、組合わせでインク流路を形成する第１部材及び第２
部材の流路形成部の厚みが異なる構成としたので、アス
ペクト比の高いインク流路形状や島部を有する構造も容
易に形成することができ、剛性の高い複雑なインク流路
を形成することができる。

【００５８】請求項４のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至３のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、第１部材及び第２部材のいずれか一方に
位置合せ用の凸部を、他方にこの凸部に嵌合する凹部を
形成したので、工程を増加することなく、位置決めを容
易に行うことができて生産性が向上する。

【００５９】請求項５のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至３のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、第１部材及び第２部材にガイドライン部
を形成したので、位置合わせを極めて容易に行うことが
できる。

【００６０】請求項６のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至５のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、共通インク流路から加圧液室にインクを
供給するインク供給路をなす流体抵抗部は、共通インク
流路側ではノズルを形成したノズル形成部材側で開口
し、加圧液室側では振動板側で開口している構成とした
ので、気泡の混入が少ない安定した噴射特性を有するイ
ンクジェットヘッドを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用するインクジェットヘッドの外観
斜視図

【図２】同インクジェットヘッドの分解斜視図

【図３】図１のＡ−Ａ線に沿う要部拡大断面図

【図４】図１のＢ−Ｂ線に沿う要部拡大断面図

【図５】液室ユニットの製造工程のうちの振動板の製造
工程を説明する工程図

【図６】液室ユニットの製造工程のうちのノズルプレー
トの製造工程を説明する工程図

【図７】液室ユニットの製造工程のうちの振動板とノズ
ルプレートの接合を説明する工程図

【図８】本発明の第１実施例に係る液室ユニットの断面
図

【図９】同液室ユニットの分解斜視図

【図１０】本発明の第２実施例に係る液室ユニットの断
面図

【図１１】同液室ユニットの分解断面図

【図１２】同液室ユニットの分解斜視図

【図１３】本発明を適用しない液室ユニットの断面図

【図１４】同液室ユニットの分解断面図

【図１５】本発明の第３実施例に係る液室ユニットの断
面図

【図１６】同液室ユニットの分解断面図

【図１７】本発明の第４実施例に係る液室ユニットの分
解断面図

【図１８】本発明の第５実施例に係る液室ユニットの分
解断面図

【符号の説明】

１…アクチュエータユニット、２…液室ユニット、７…
圧電素子、１２…振動板、１３…第１感光性樹脂層、１
４…第２感光性樹脂層、１５…第３感光性樹脂層、１６
…ノズル、１７…ノズルプレート、１８…加圧液室、１
９…共通液室、２０…流体抵抗部、４１…第１感光性樹
脂層、４２…第２感光性樹脂層、４３…第３感光性樹脂
層、４４…第４感光性樹脂層、４５，４６，４７，４
８，４９，５０，５１…隔壁。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インク流路を形成するための流路形成部
   を設けた第１部材と、前記インク流路を形成するための
   流路形成部を設けた第２部材とを接合して前記インク流
   路を形成したインクジェットヘッドにおいて、前記第１
   部材の流路形成部と第２部材の流路形成部との組合わせ
   で前記インク流路を形成し、最終接合面が異なる平面に
   あることを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のインクジェットヘッド
   において、前記インク流路が共通インク流路から加圧液
   室にインクを供給するインク供給路をなす流体抵抗部で
   あることを特徴とするインクジェットヘッド。
3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載のインクジェット
   ヘッドにおいて、前記組合わせでインク流路を形成する
   第１部材及び第２部材の流路形成部の厚みが異なること
   を特徴とするインクジェットヘッド。
4. 【請求項４】 請求項１乃至３のいずれかに記載のイン
   クジェットヘッドにおいて、前記第１部材及び第２部材
   のいずれか一方に位置合せ用の凸部を、他方にこの凸部
   に嵌合する凹部を形成したことを特徴とするインクジェ
   ットヘッド。
5. 【請求項５】 請求項１乃至３のいずれかに記載のイン
   クジェットヘッドにおいて、前記第１部材及び第２部材
   にガイドライン部を形成したことを特徴とするインクジ
   ェットヘッド。
6. 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれかに記載のイン
   クジェットヘッドにおいて、共通インク流路から加圧液
   室にインクを供給するインク供給路をなす流体抵抗部
   は、前記共通インク流路側ではノズルを形成したノズル
   形成部材側で開口し、前記加圧液室側では振動板側で開
   口していることを特徴とするインクジェットヘッド。