JPH08156272A - インクジェットヘッド及びその製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッド及びその製造方法Info
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- JPH08156272A JPH08156272A JP29984294A JP29984294A JPH08156272A JP H08156272 A JPH08156272 A JP H08156272A JP 29984294 A JP29984294 A JP 29984294A JP 29984294 A JP29984294 A JP 29984294A JP H08156272 A JPH08156272 A JP H08156272A
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Abstract
点数が少なく、組立ても容易で、しかも高効率で信頼性
の高いインクジェットヘッド。 【構成】 アクチュエータユニット1は、基板3上に形
成した電極用パターン51,52に沿って圧電素子プレ
ート53を接合した後、圧電素子プレート53と基板3
表面部に一体的にスリット加工を施して、複数の積層型
圧電素子7,8からなる圧電素子列4,4を形成する。
電極用パターン51,52を各積層型圧電素子に対応す
る個別電極22に分断し、基板3上に積層型圧電素子
7,8の周囲にこれと略同一高さのフレーム部材5を接
合してなる。液室ユニット2は、ダイアフラム部11を
有する振動板12と、共通インク流路44を形成する液
室流路形成部材13と、ノズルプレート16とを積層し
てなる。
Description
及びその製造方法に関し、特にオンデマンド型インクジ
ェットヘッド及びその製造方法に関する。
録紙上に接触することなく記録することができると共
に、記録プロセスが非常に単純であることやカラー記録
にも適することなどから注目されている。従前、このイ
ンクジェット記録方式として種々の方式が提案されてい
るが、現在では、記録信号が入力されたときにのみイン
クを吐出する所謂ドロップオンデマンド(DOD)方式
が主流になっている。そして、DOD方式の中には、熱
エネルギーによってインク中に発生するバブルを利用す
る所謂バブルジェット方式(特公昭61−59913号
等)と圧電素子を用いるピエゾアクチュエータ方式(特
公昭60−8953号公報等)がある。
例えば特開平3−10846号公報に記載されているよ
うに、加圧液室を構成する壁面を変形可能な構造とし
て、この変形可能な壁面の外側に圧電素子を設け、この
圧電素子を用いて加圧液室の壁面を変形させてその内容
積を変化させることで、インクに圧力を与えて液滴化し
てノズルから飛翔させる方式がある。そして、このピエ
ゾアクチュエータ方式では、圧電素子前面のノズル領域
あるいは加圧液室のパルス的な圧力上昇が必要であり、
圧電素子に印加される電圧波形は数μsec〜数10μsec
の立ち上がり時間に設定され、インクの補給は圧電素子
の変位を元に戻すことによって行われる。
室を設けて圧電素子でその加圧液室の変形可能な壁面を
変形させるピエゾアクチュエータ方式のインクジェット
ヘッドにあっては、圧電素子がインクに直接接触せず、
さらに、圧電素子の発熱も無視できるため、使用するイ
ンク種類の制約がないという利点がある。しかしなが
ら、反面、多チャンネル化(ここで、「チャンネル」と
は、それぞれ1個の圧電素子、加圧液室及びノズルから
構成される部分をいう。)を図る場合に、圧電素子、加
圧液室等の微細化、駆動電圧の低電圧化等が難しく、高
集積配列密度、高効率で信頼性の高い、しかも組立て容
易なインクジェットヘッドを得ることが困難である。
であり、高集積配列密度でコンパクト、薄型で、部品点
数が少なく、組立ても容易で、しかも高効率で信頼性の
高いインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する
ことを目的とする。
め、請求項1のインクジェットヘッドの製造方法は、列
状に配置された複数の圧電素子で各加圧液室を加圧する
ことによって各加圧液室に連通する各ノズルからインク
滴を噴射するインクジェットヘッドの製造方法におい
て、絶縁性基板上に電極用パターンを形成すると共に積
層型圧電素子を接合した後、この積層型圧電素子及び前
記基板の表面部に一体的にスリット加工を施して、前記
積層型圧電素子及び電極用パターンを複数の積層型圧電
素子及び各積層型圧電素子に対応する個別電極に分割す
ると共に、前記基板上に前記複数の積層型圧電素子の列
設方向と直交する方向の少なくとも一方側に前記積層型
圧電素子と略同一高さのフレーム部材を接合してなるア
クチュエータユニット上に、このアクチュエータユニッ
トの各積層型圧電素子の変位で変形される変形部を有す
る振動板と、この振動板の変形部に対応する加圧液室及
び加圧液室に連通する共通インク流路を形成する液室流
路形成部材と、前記加圧液室に連通する前記ノズルを形
成したノズルプレートとを積層接合してなる液室ユニッ
トを接着接合してインクジェットヘッドを得る。
に配置された複数の圧電素子で各加圧液室を加圧するこ
とによって各加圧液室に連通する各ノズルからインク滴
を噴射するインクジェットヘッドにおいて、このインク
ジェットヘッドはアクチュエータユニット上に液室ユニ
ットを積層接合してなり、前記アクチュエータユニット
は、絶縁性基板上に設けた電極用パターンと積層型圧電
素子が、この積層型圧電素子及び前記基板表面部に一体
的にスリット加工を施されて複数の積層型圧電素子及び
各積層型圧電素子に対応する個別電極に分割されている
と共に、前記基板上に前記複数の積層型圧電素子の列設
方向と直交する方向の少なくとも一方側に前記積層型圧
電素子と略同一高さのフレーム部材が接合されてなり、
前記液室ユニットは、前記アクチュエータユニットの各
積層型圧電素子の変位で変形される変形部を有する振動
板と、この振動板の変形部に対応する加圧液室及び加圧
液室に連通する共通インク流路を形成する液室流路形成
部材と、前記加圧液室に連通する前記ノズルを形成した
ノズルプレートとを積層接合してなる。
請求項2のインクジェットヘッドにおいて、フレーム部
材が前記複数の積層型圧電素子の周囲を囲む枠状部材で
ある。
請求項2又は3のインクジェットヘッドにおいて、前記
積層型圧電素子は、前記基板とこの積層型圧電素子との
積層方向と同方向に積層されていると共に、この積層方
向の変位で前記液室ユニットの加圧液室を加圧する構成
としている。。
請求項2ないし4のいずれかのインクジェットヘッドに
おいて、前記基板上には複数の積層型圧電素子の列が複
数列設けられている。
請求項2ないし5のいずれかのインクジェットヘッドに
おいて、前記フレーム部材は前記積層型圧電素子と共に
スリット加工が施されている。
請求項2ないし6のいずれかのインクジェットヘッドに
おいて、前記積層型圧電素子は最外面層の少なくとも一
方が他の層よりも厚みが厚く形成されている。
請求項2ないし7のいずれかのインクジェットヘッドに
おいて、前記液室ユニットの共通インク流路の面積の半
分以上が前記アクチュエータユニットのフレーム部材に
対応している構成としている。
るいは請求項2のインクジェットヘッドによれば、絶縁
性基板上に電極用パターンと積層型圧電素子をプレート
状にしてなる圧電素子プレートとを設け、この圧電素子
プレート及び基板表面部に一体的にスリット加工を施し
て、複数の積層型圧電素子及び各積層型圧電素子に対応
する個別電極に分割すると共に、基板上に複数の積層型
圧電素子の配列方向の少なくとも一方側に積層型圧電素
子と略同一高さのフレーム部材を接合してなるアクチュ
エータユニット上に、このアクチュエータユニットの各
積層型圧電素子の変位で変形される変形部を有する振動
板と、この振動板の変形部に対応する加圧液室及び加圧
液室に連通する共通インク流路を形成する液室流路形成
部材と、加圧液室に連通するノズルを形成したノズルプ
レートとを積層接合してなる液室ユニットを接着接合し
てインクジェットヘッドとするので、高集積密度でコン
パクト、薄型で、部品点数が少なく、組立てが容易で、
しかも高効率で信頼性の高いインクジェットヘッドを得
ることができる。
請求項2のインクジェットヘッドにおいて、フレーム部
材を複数の積層型圧電素子の周囲を囲む枠状部材とした
ので、液室ユニットの変形部の周囲を支持固定すること
ができて振動特性が安定し、単チャンネル駆動時に生じ
る隣接チャンネルへの振動伝搬や複数チャンネル同時駆
動時に生じる液室ユニット全体の持上がりを抑制して、
安定したインク吐出性能が得られる。
請求項2又は3のインクジェットヘッドにおいて、積層
型圧電素子を基板とこの積層型圧電素子の積層方向と同
方向に積層すると共に、積層方向の変位で液室ユニット
の加圧液室を加圧するので、圧電素子のコンパクト化、
ヘッドの小型化を図れ、また圧電素子の共振周波数が高
くなって高周波応答が可能になる。
請求項2ないし4のいずれかのインクジェットヘッドに
おいて、基板上に複数の積層型圧電素子の列を複数列設
けたので、1ヘッド当たりノズル数が多くなって1走査
当たりの記録ライン数が増加し、記録速度の向上を図れ
る。
請求項2ないし5のいずれかのインクジェットヘッドに
おいて、フレーム部材を積層型圧電素子等のスリット加
工前に基板上に接合し、積層型圧電素子等と共にスリッ
ト加工を施すので、スリット加工のための切削加工時の
圧電素子の倒れが抑えられ、加工効率を大幅に高くする
ことができると共に、歩留りが向上する。
請求項2ないし6のいずれかのインクジェットヘッドに
おいて、積層型圧電素子の最外層の少なくとも一方を他
の層よりも厚みを厚く形成しているので、積層型圧電素
子とフレーム部材との面合わせのための切削加工時に積
層型圧電素子の内部電極が露出することを防止でき、歩
留りが向上する。
請求項1ないし6のインクジェットヘッドにおいて、液
室ユニットの共通インク流路の面積の半分以上をアクチ
ュエータユニットのフレーム部材に対応させているの
で、フレーム部材を振動板の変位部に近づけて支持固定
することができ、各部の不要振動を抑えることができ
て、効率の高い特性の安定したヘッドを得ることができ
る。
説明する。図1は本発明の一実施例を示すインクジェッ
トヘッドの外観斜視図、図2は図1の分解斜視図、図3
は図1のA−A線に沿う断面図、図4は図1のB−B線
に沿う断面図である。
ータユニット1と、このアクチュエータユニット1上に
接合された液室ユニット2とからなる。アクチュエータ
ユニット1は、基板3上に複数の積層型圧電素子を列状
に配置(列設)してなる2列の圧電素子列4,4及びこ
れら2列の圧電素子列4,4の周囲を取り囲むフレーム
部材5を接着剤6によって接合している。圧電素子列4
は、インクを液滴化して飛翔させるための駆動パルスが
与えられる複数の圧電素子(これを「駆動部圧電素子」
という。)7,7…と、駆動部圧電素子7,7間に位置
し、駆動パルスが与えられずに単に液室ユニット固定部
材となる複数の圧電素子(これを「固定部圧電素子」と
いう。)8,8…とを交互に配列したバイピッチ構造と
している。
ラム部11を形成した振動板12上に、加圧液室、共通
インク流路等を形成する感光性樹脂フィルム(ドライフ
ィルムレジスト)からなる液室流路形成部材13を接着
し、この液室流路形成部材13上に複数のノズル15を
形成したノズルプレート16を接着してなり、これら振
動板12、液室流路形成部材13及びノズルプレート1
6によって、圧電素子列4の各駆動部圧電素子7,7…
に対向するダイヤフラム部11を有するそれぞれ略独立
した複数の加圧液室17を形成し、かつノズル15,1
5…を圧電素子列4の各駆動部圧電素子7,7…に対向
して配列している。そして、この液室ユニット2はその
振動板12が接着剤18によってアクチュエータユニッ
ト1上に高い剛性で接合されている。
3は、厚さ0.5〜5mm程度で、しかも圧電素子に似た
材質のものからなり、圧電素子と共に例えばダイヤモン
ド砥石による切削が可能なものであることが好ましい。
する方向の両端部には各圧電素子列4,4の個々の駆動
部圧電素子7及び固定部圧電素子8の対向しない端面側
を接続するスリット溝21で分割された電極パターンで
ある個別電極22,22…が形成されていると共に、各
圧電素子列4,4間で前記スリット溝21と直交する方
向(圧電素子の列設方向)に、このスリット溝21より
も深い共通溝23が形成され、この共通溝23には各圧
電素子列4,4の個々の駆動部圧電素子7及び固定部圧
電素子8の対向する端面側を接続する共通電極24が形
成されている。また、この基板3の端部に形成したイン
ク供給孔3aにはインク供給パイプ25が接続される。
及び固定部圧電素子8としては、10層以上の積層型圧
電素子を用いている。この積層型圧電素子は、例えば図
3に示すように、厚さ20〜50μm/1層のPZT
(=Pb(Zr・Ti)O3)26と、厚さ数μm/1層の
銀・パラジューム(AgPd)からなる内部電極27とを
交互に積層したものである。厚さ20〜50μm/1層
の積層型とすることによって駆動電圧の低電圧化を図
れ、例えば20〜50Vのパルス電圧で圧電素子の電界
強度1000V/mmを得ることができる。なお、圧電素
子として用いる材料は上記に限られるものでなく、一般
に圧電素子材料として用いられるBaTiO3、PbTi
O3、(NaK)NbO3等の強誘電体などを用いることも
できる。
7の両端面には多数の内部電極27,27を1層おきに
交互接続したAgPdからなる端面電極(外部電極)2
8,29を設け、各圧電素子列4,4の各駆動部圧電素
子7の対向する端面側の端面電極28,28…を基板3
上の共通電極24に導電性材料31を介して接続し、各
圧電素子列4,4の各駆動部圧電素子7の対向しない端
面側の端面電極29,29…を基板3上の個別電極2
2,22…に導電性材料32を介して接続している。各
個別電極22,22…及び共通電極24にはFPCケー
ブル33が接続されて、駆動電圧を与えられることによ
って積層方向に電界が発生して、駆動部圧電素子7には
積層方向の伸びの変位が生起される。なお、固定部圧電
素子8についても製造工程上駆動部圧電素子7と同様に
電極が設けられているが、駆動パルスを印加しない構成
(駆動部圧電素子7のみを選択的に駆動する構成)にな
っている。
状部材に圧電素子列4,4に対応する透孔部5a,5b
を穿設することによって、圧電素子列4,4の各駆動部
圧電素子7,7…の列設方向と直交する方向の一方側に
固定部35,36を形成すると共に、2つの圧電素子列
4,4の他方側である中央部にも固定部37を形成し、
これらの固定部35〜37の圧電素子列4,4の各駆動
部圧電素子7,7…の列設方向の両端部に架橋部38,
38を形成した枠状部材である。なお、フレーム部材5
の一方の架橋部38には基板3のインク供給孔3aに対
応するインク供給孔5cが形成されている。
性に優れ、ヘッドの使用環境が数10度の範囲で振られ
ても、画像品質に影響を与えないものが好ましく、例え
ば、樹脂、セラミックス、金属等を用いることができる
が、特に駆動部圧電素子7や基板3に用いるものと同様
なセラミックスが好ましい。なお、フレーム部材5に樹
脂を用いる場合には、熱膨張係数を低減する充填剤が混
入された樹脂、例えば、ポリフェニレンサルファイド、
ポリエーテルサルフォン、ポリイミド等のエンジニアプ
ラスチック系の樹脂に、チタン、アルミナ、ガラスフィ
ラー、カーボン、シリカ等の充填剤を混入したものが好
ましい。このように、熱膨張係数を低減する充填剤が混
入された樹脂を用いることで、熱膨張係数を圧電素子列
4の駆動部圧電素子7、液室固定部材である固定部圧電
素子8と同等まで近づけることができ、しかも部品コス
トの低減を図れる。
に限らず、2列の圧電素子列4,4間の中央の固定部3
7を取り除いた四角形状の枠体形状、逆に両側の固定部
36,36を除いて中央部37のみにした1本のプレー
トを用いることもできる。更に、基板3の四隅に円柱形
(形状はこれに限らない。)の柱状部材を取付けたもの
でもよい。
3に示すように下側液室流路形成部材13側は平坦面と
し、圧電素子列4側はそれぞれ厚みの異なるダイアフラ
ム領域12a、接合領域12b及び逃げ領域12cを形
成して、圧電素子列4の駆動部圧電素子7,7…に対応
してダイアフラム部11を形成したものである。この振
動板12はNi(ニッケル)の金属プレートからなり、
エレクトロフォーミング法によって製造している。
厚みの薄い領域であって、厚さを3〜10μm程度にし
たダイアフラム部11のダイアフラム領域(駆動部圧電
素子7の変位に応じて変形する弾性部分)である。ダイ
アフラム領域12aの厚さを10μm以下にすること
で、駆動部圧電素子7の変位を効率的に加圧液室17に
伝搬することができる。また、接合領域12bは、最も
厚みの厚い領域であり、圧電素子列4の駆動部圧電素子
7及び固定部圧電素子8並びに第2液室固定部材である
フレーム5との接合領域であって、例えば20μm程度
以上の厚さに形成している。更に、逃げ領域12cは、
中間の厚さの領域であって、駆動部圧電素子7との接触
を避けるための逃げ領域である。なお、振動板12にも
インク供給孔12dを形成している。
とノズルプレート16との間に位置して加圧液室17の
流路等を形成するものであり、その製造工程から下側液
室流路形成部材40及び上側液室流路形成部材41で構
成している。
上面に接着された感光性樹脂フィルムからなり、図2に
示すように上側液室流路形成部材41と相俟って圧電素
子列4の各駆動部圧電素子7,7…に対応して各々独立
した加圧液室17の流路を形成すると共に、各加圧液室
17へのインク供給路を兼ねた流体抵抗部42を形成す
る多数の内側隔壁部43と、加圧液室17,17…の周
囲に共通インク流路44を形成する外周隔壁部45とか
らなる。なお、内側隔壁部43は圧電素子列4,4が2
列形成されていることに対応して2列形成され、各列の
間も共通インク流路44としている。ここで、共通イン
ク流路44は、フレーム部材5の各固定部35〜37の
上面に対応する位置に配置されるように形成している。
上側液室流路形成部材41は、下側液室流路形成部材4
0と略同様の構成であるが、下側液室流路形成部材40
の流体抵抗部42に相当する部分がない点で異なる。
せるための微細孔である多数のノズル15が形成されて
おり、このノズル15の径はインク滴出口側の直径で3
5μm以下に形成し、かつノズル15は加圧液室17の
中心近傍に対応する位置に設けている。このノズルプレ
ート16も振動板12と同様にNi(ニッケル)の金属
プレートからなり、エレクトロフォーミング法によって
製造している。
程について説明する。このインクジェットヘッドは、予
めアクチュエータユニット1と液室ユニット2とを別々
に組付けた後、両ユニット1,2を接着接合して製造し
ている。このような製造工程を採用することによって、
両ユニット1,2の良品同士を選んで組み付けることが
できて歩留りが向上すると共に、加工組付け工程で塵埃
が発生しやすいアクチュエータユニット1と、塵埃の付
着を完全に避けたい液室ユニット2とを別々の工程で組
付けることができるので、完成したインクジェットヘッ
ドの品質自体が向上する。以下、具体的に説明する。
び組付け工程は、次のとおりである。すなわち、図2、
図5及び図6に示すように、セラミックス、高剛性の樹
脂等の電気絶縁材料から形成した基板3に予めインク供
給孔3aを形成すると共に、積層型圧電素子の列設方向
に沿って中央部に共通溝23を形成する。この共通溝2
3は、後述する圧電素子プレート等のスリット加工時の
切込み溝であるスリット溝21よりも深く形成する。ま
た、共通溝23の両端部付近に位置決め用穴3b,3c
を形成している。
22を形成するための導電性材料からなる個別電極用パ
ターン51,52を形成すると共に、共通溝23内及び
その近傍並びに個別電極用パターン51,52を迂回し
て基板3の両端部に臨むように導電性材料からなる共通
電極用パターン53を形成し、個別電極用パターン51
と共通電極用パターン53との間及び個別電極用パター
ン52と共通電極用パターン53との間を圧電素子接合
領域54,55としている。これらの各電極パターン5
1〜53は、例えばNi、Au、Cu等の金属蒸着、又は
同種金属の電解、無電界メッキ、あるいはAgPd、Ag
Pt、Auペースト等の厚膜導体ペーストの印刷等の方法
によって形成して基板3表面に密着させている。
ート及び個別電極用パターン51,52の切断加工後に
別途導電性ペースト等で形成することもできるので、こ
のようにした場合には基板3の共通溝23及び共通電極
用パターン53が不要になり、最低限必要な電極パター
ンは個別電極用パターン51,52である。
圧電素子接合領域54,55に積層型圧電素子をプレー
ト状(板状に限らず、四角柱状等の形状を含む意味で用
いる。)に形成してなる圧電素子プレート56,56を
接着剤6(図3参照)を用いて接着接合する。このと
き、圧電素子プレート56,56と個別電極用パターン
51,52及び共通電極用パターン53との位置関係
は、圧電素子プレート56,56が個別電極用パターン
51,52及び共通電極用パターン53に僅かに載る程
度か、好ましくは僅かに隙間をあけて接合するようにす
る。この場合、圧電素子プレート56,56が個別電極
用パターン51,52及び共通電極用パターン53上に
多く(広い面積で)載るように接合すると、電極用パタ
ーン51〜53の厚みや誤差が圧電素子プレート56ひ
いては切断加工後の圧電素子7,8の接合品質、すなわ
ち接合の均一性や接合後の面平行精度に影響を与えるこ
とになって好ましくない。
前述したように基板3に圧電素子プレート56を接合し
た方向と同じである(図2〜図4参照)。この圧電素子
プレート56の基板3への接合に用いる接着剤6として
は加熱硬化タイプのエポキシ系接着剤を使用している
が、中でも高ヤング率のものが適している。接着剤の形
態としては、1液タイプ、2液混合タイプ、フィルムタ
イプ等のいずれでも使用可能である。
56の長辺部端面には予め前記端面電極(外部電極)2
8,29を形成するための端面電極57,58を形成し
ておき、基板3上への接着接合後、これらの2枚の圧電
素子プレート56,56の対向する側の端面電極57,
57を基板3上の共通電極用パターン53に導電性材料
31にて電気的に接続すると共に、2枚の圧電素子プレ
ート56,56の対向しない端面電極58,58を基板
3上の各個別電極用パターン51,51に導電性材料3
2にて電気的に接続する。導電性材料31,32として
は例えば導電性接着剤を用いてこれを塗布硬化させる。
イサー等によって、2枚の圧電素子プレート56,56
及び基板3の表面部を、その端面電極57,58と直交
する方向(短辺方向)に所定のピッチで切断加工(スリ
ット加工)して、駆動部圧電素子7及び固定部圧電素子
8となる複数の積層型圧電素子を分割形成すると同時
に、端面電極57,58を複数の積層型圧電素子(駆動
部圧電素子7及び固定部圧電素子8)に対応する端面電
極28,29に分割する。このとき、基板3に所定の深
さまで切込んでスリット溝21を入れて切断することに
よって、駆動部圧電素子7及び固定部圧電素子8を完全
に独立させると共に、基板3上の個別電極用パターン5
7,58を複数の積層型圧電素子(駆動部圧電素子7及
び固定部圧電素子8)に対応する個別電極22,22…
に分割する。この分割した個別電極22,22…は分割
された複数の積層型圧電素子(駆動部圧電素子7及び固
定部圧電素子8)の対向しない端面側の端面電極29,
29…と接続されたままである。なお、スリットピッチ
即ち切断ピッチ(圧電素子プレート56の長手方向のピ
ッチ)は、例えば1ピッチ当たり100μm程度の幅の
圧電素子7,8が形成されるピッチとしている。
はその一部が個々の駆動部圧電素子7(及び固定部圧電
素子8)に対応して分割されるが、基板3の共通溝23
にまでスリット溝21が達しないので、スリット加工後
も共通電極用パターン53は共通溝23を通じて2列の
圧電素子列4,4の各駆動部圧電素子7の対向する端面
側のすべての端面電極28,28…と接続されたままで
ある。これにより、簡単に2列の圧電素子列4,4の対
向する端面電極28,28…に接続された共通電極24
を確保することができる。
別電極用パターン51,52を形成すると共に、接合さ
れる各圧電素子プレート間に予めスリット加工時に分割
されない深さの共通溝23を形成し、この共通溝23に
含めて共通電極用パターン53を形成しておき、この基
板3上にそれぞれ両端面に端面電極57,58を形成し
た2枚の圧電素子プレート56,56を並列に独立して
接合した後、これら2枚の圧電素子プレート56,56
及び基板3上の個別電極用パターン51,52を所定の
ピッチで同時に切断加工して、2枚の圧電素子プレート
56,56をそれぞれ各圧電素子列4,4を構成する複
数の積層型圧電素子に分離して個別化すると同時に、基
板3上の個別電極用パターン51,52を個別化された
各積層型圧電素子に対応する個別電極22,22…に分
割し、しかも共通電極用パターン53は分割されないよ
うにしている。
圧電素子である各圧電素子(駆動部圧電素子7)からの
電極の取出しが簡単になり、しかも2列の圧電素子列の
対向する端面電極を共通電極に接続することによって、
駆動回路と接続するための個別電極の取出しが容易にな
り、さらに切断加工では分割されない共通電極用パター
ンを設けることによって、微細な機械的切断加工を施す
以前に共通電極を確保できて、機械的切断加工によって
形成された個々の圧電素子を後工程で破壊ないし損傷す
ることもなく、工程の簡略化、歩留りの一層の向上を図
れる。また、1枚の圧電素子プレートを用いて、これを
2分割し、更に各列の圧電素子プレートを個々の圧電素
子に分割する手法に比べて、切断工数も少なくなる。
56等の切断加工(スリット加工)が終了した基板3上
にフレーム部材5を接着剤6を用いて接着接合する。こ
こで、フレーム部材5接合後のフレーム部材5の上面と
圧電素子列4,4の上面とは、精度良く同一平面となっ
ている必要がある。これは、後述するようにこの部分に
液室ユニット2の振動板12を接合するため、面精度が
悪いと接着されない変形部(ダイアフラム部11)が発
生するからである。
子列4,4の各圧電素子7,8上面とを同一平面にする
ためには接着工程を工夫して接着時に面合わせをして硬
化させることもできるが、両部品の寸法精度及び接着工
法の困難性が大きくなる。そこで、圧電素子列4,4の
高さよりも僅かに高いフレーム部材5を接着接合した
後、表面の研削加工を行い、圧電素子列4,4の各圧電
素子7,8上面が僅かに削れて同一平面になるまで研削
を行うことによって、両部品の寸法精度及び接着工法の
困難性を解消できる。
共通電極24にFPCケーブル33を熱と加圧で接合し
て、アクチュエータユニット1を完成する。なお、FP
Cケーブル33は圧電素子列4,4の内の駆動部圧電素
子7,7…を選択的に駆動できるパターンを有し、その
接合部には予め半田メッキを施している。
について説明すると、振動板12のフラットな面上に下
側液室流路形成部材40を形成するための感光性樹脂で
ある厚さ20〜50μm程度のドライフィルムレジスト
を熱及び加圧によってラミネートし、流路パターンに応
じたマスクを用いて紫外線露光をして、露光部分を硬化
させる。そして、未露光部分を除去できる溶剤を用い
て、未露光部分を除去して現像し、図2に示すように下
側液室流路形成部材40の液室パターンを形成し、水洗
い、乾燥の後、再度紫外線露光と熱によって本硬化す
る。
路形成部材41を形成するための感光性樹脂である厚さ
40〜100μm程度のドライフィルムレジストを熱及
び加圧によってラミネートし、流路パターンに応じたマ
スクを用いて紫外線露光をして、露光部分を硬化させ、
未露光部分を現像して、上側液室流路形成部材41の液
室パターン(前述したように流体抵抗部42がない。)
を形成し、水洗い、乾燥の後、再度紫外線露光と熱によ
って本硬化する 。
ルプレート16に形成されたドライフィルムレジストか
らなる下側液室流路形成部材40と上側液室流路形成部
材41の対応する面同士を接合する。この接合は位置合
わせ治具を用いて行い、加圧及び前記本硬化のときより
高い温度での加熱を行う。
ユニット1と液室ユニット2とを組み付ける。すなわ
ち、先ず、前述したように切削加工で同一平面としたア
クチュエータユニット1の圧電素子列4,4の各圧電素
子7…,8…及びフレーム部材5の上面にスクリーン印
刷機を用いてエポキシ系接着剤等の接着剤18を塗布
し、位置合わせ可能な接合治具にアクチュエータユニッ
ト1を固定し、液室ユニット2の振動板12側(接合
面)を下方にして、位置合わせしながら両ユニット1,
2を接合して、インクジェットヘッドを得る。この場
合、数Kg/cm2の加圧状態でエポキシ系接着剤が反応硬
化する間放置する。なお、スクリーン印刷では余分な部
分に接着剤18が塗布されないようにパターンマスクを
用いることが好ましい。また、接着剤として、アクリル
系の二液非混合タイプのものやシアノアクリレート系の
ものなどを用いて瞬間的に接合するようにしてもよい。
最後に、基板3にインク供給孔3aにインク供給パイプ
25を挿入して接着剤を塗布硬化して固定する。
トヘッドの作用について説明すると、記録信号に応じて
選択的に圧電素子列4,4の駆動部圧電素子7,7…に
20〜50Vの駆動パルス電圧を印加することによっ
て、パルス電圧が印加された駆動部圧電素子7が変位し
て振動板12の対応するダイアフラム部11をノズル1
5方向に変形させ、加圧液室17の容積(体積)変化に
よって加圧液室17内のインクを加圧し、インクがノズ
ルプレート16のノズル15から液滴となって噴射さ
れ、記録を行うことができる。
17内のインク圧力が低下し、このときのインク流れの
慣性によって加圧液室17内には若干の負圧が発生す
る。この状態の下において、駆動部圧電素子7への電圧
の印加をオフ状態にすることによって、振動板12のダ
イアフラム部11が元の位置に戻って加圧液室17が元
の形状になるため、さらに負圧が発生する。
るインク供給パイプ25から入ったインクは、共通イン
ク流路44を通って流体抵抗部42から加圧液室17内
に充填される。そこで、ノズル15のインクメニスカス
面の振動が減衰して安定した後、次のインク滴吐出のた
めに駆動部圧電素子7にパルス電圧を印加する。
ラム部11とすることによって、駆動部圧電素子7で発
生した変位を効率的に当該加圧液室17に伝搬させるこ
とができると共に、当該加圧液室17以外の部分への振
動の伝搬が減少する。また、インク吐出時に、加圧液室
17から共通インク流路44に通じる流路方向にインク
の流れが発生するが、この流路をその断面積を他より小
さく形成した流体抵抗部42としているので、加圧液室
17から共通インク流路44への逆流が極めて少なくな
り、インク滴吐出効率の低下が防止される。
ては、圧電素子列4の各駆動部圧電素子7と液室ユニッ
ト2のダイアフラム部11とを接合すると共に、基板3
上には駆動部圧電素子7,7間に固定部圧電素子8,8
…を設けたバイピッチ構造として、この固定部圧電素子
8と液室ユニット2の各加圧液室17,17間とを接合
して、液室ユニット2を基板3に固定したので、隣接チ
ャンネル間の機械的剛性が高くなって、一の駆動部圧電
素子7を駆動したときの他の駆動部圧電素子7への振動
の伝搬が抑制され、相互干渉が低減してインク吐出性能
が安定する。
周にノズル配列方向と直交する方向に固定部35〜37
を有するフレーム部材5を設けて、このフレーム部材5
と液室ユニット2とを接合しているので、単チャンネル
駆動時に生じる隣接チャンネルへの振動伝搬がここでも
抑制されるとともに、同時に複数チャンネルを駆動した
ときに液室ユニット2全体が持上がるようなこともなく
なる。
電素子を用いて、この積層型圧電素子の積層方向(d3
3方向)への変位によって加圧液室17を加圧するよう
にしているので、駆動部圧電素子7の駆動によって加圧
液室17内の圧力上昇が瞬時に行われ、これにより、入
力した駆動電圧波形に対応して時間遅れが生じることな
く変位する。そして、d33方向の変位を利用している
ので、駆動部圧電素子7の変位方向の厚みを薄くでき、
機械的共振点も実用上の問題がないほどに高周波数帯
(500KHz以上)となり、数μsの立ち上がり時間
で駆動しても共振の影響が略なくなる。
ト2の共通インク流路44をフレーム部材5の上面に対
応した位置になるように形成しているので、圧電素子7
…,8…に可及的に近い位置で液室ユニット2を固定す
ることができ、これによって振動板12のダイアフラム
部11の振動特性が安定する。この場合、液室ユニット
2の共通インク流路44の半分以上の面積がフレーム部
材5の上面に対応する位置関係とすることが上記の作用
効果を得る上で好ましい。
液室を用いるピエゾアクチュエータ方式を採用している
ことで、アクチュエータである圧電素子がインク中に浸
されないので接液性の問題がなく、圧電素子は自己発熱
の問題がないので使用インクの制約もなく、更にインク
液吐出に最適な圧電素子駆動波形を設定できることから
微小滴(サテライト)が発生し難く、画像(印字)品質
が高く、アクチュエータユニットと液室ユニットを別体
で組み付けることから、ヘッドの歩留り、組立て品質が
向上する。
たように基板3上に圧電素子プレート56を接合して所
定のピッチでスリット加工を施して、複数の駆動部圧電
素子7及び固定部圧電素子8を形成した後、基板3上に
フレーム部材5を接合している。この場合、フレーム部
材5と複数の駆動部圧電素子7及び固定部圧電素子8の
上面の面合わせのための研削加工をおこなうときに、加
工済みの複数の駆動部圧電素子7及び固定部圧電素子8
が研削加工時の衝撃によって接合不良等を生じることが
ある。また、圧電素子プレート56と各電極用パターン
51,52を切断加工するときに、小さなピッチで切断
加工(スリット加工)するために電極用パターンの密着
強度が加工時の剥離力に耐えられなくなって基板3から
剥離することもある。
素子プレート56(図7参照)を接着接合すると共に、
フレーム部材5も接着接合した後、先ず、圧電素子プレ
ート56とフレーム部材5の上面の研削加工を行って面
高さを合わせ、次いで、ダイシングソー等によって圧電
素子プレート56等とフレーム部材5とを一体的にスリ
ット溝60を入れるように同時に切断加工するようにす
ることもできる。これによって、研削加工時や溝加工
(切断加工)時の加工力による駆動部圧電素子7及び固
定部圧電素子8の倒れを防止できると共に、フレーム部
材5で基板3上の電極パターンを上から押えているため
に電極パターンの剥離も防止できる。
び固定部圧電素子8の1層の厚みは前述したように25
〜50μmにしているが、駆動部圧電素子7及び固定部
圧電素子8及びフレーム部材5の面合せて切削加工時
に、両部品の平面度精度、厚み精度等によっては駆動部
圧電素子7及び固定部圧電素子8の最上層が全部削られ
て内部電極27が露出してしまうことが生じる。なお、
ここで、特に問題となるのは駆動部圧電素子7であるこ
とは言うまでもない。
である駆動部圧電素子7(圧電素子8も同様)の最外層
のPZT26a,26bの厚さを他の層のPZT26よ
り厚く形成する。このようにすれば、駆動部圧電素子7
及び固定部圧電素子8とフレーム部材5の面合せて切削
加工時に、部品の平面精度が充分でない等の理由で最外
層のPZT26a,26bの研削加工量が増えても内部
電極27が露出することを防止できる。これらの最外層
のPZT26a,26bは片側(外面)に内部電極27
が設けられていないので、電圧印加時にも変位をしない
不活性層であるので、厚みが変わっても特性に影響を与
えない。
さは印加電圧を可及的に低くするために薄くすることが
要求されるために、PZT26自体の厚さを厚くするこ
とは適当でない。また、上下両側の最外層(最上面層及
び最下面層)のPZT26a,26bの厚さを他の層の
PZT26より厚くすることで、圧電素子プレートの接
合時に上下いずれを上面にすることもできて接合作業が
容易になる。もっとも、上下両側の最外層のPZT26
a,26bのいずれか一方のみを厚くしても切削加工時
の内部電極の露出という問題は解決できる。
向の変位(電界方向と同方向のd33方向の変位)を用
いるインクジェットヘッドに限らず、積層方向と直交す
る方向の変位(電界方向と直交する方向のd31方向の
変位)を用いるインクジェットヘッドにも適用すること
ができる。また、上記実施例では、ノズルの開口方向を
圧電素子の変位方向と同軸上にしたサイドシュータ方式
のインクジェットヘッドに適用した例で説明したが、ノ
ズルの開口方向を圧電素子の変位方向と直交する方向に
したエッジシュータ方式のインクジェットヘッドにも適
用することができる。さらに上記実施例では駆動部圧電
素子と固定部圧電素子とを交互に配列したバイピッチ構
造としたが、すべての圧電素子を駆動部とするノーマル
ピッチ構造にすることもできる。
ジェットヘッドの製造方法又は請求項2のインクジェッ
トヘッドによれば、絶縁性基板上に電極用パターンと積
層型圧電素子とを設け、この積層型圧電素子及び基板表
面部に一体的にスリット加工を施して、複数の積層型圧
電素子及び各積層型圧電素子に対応する個別電極に分割
すると共に、基板上に複数の積層型圧電素子の列設方向
と直交する方向の少なくとも一方側に積層型圧電素子と
略同一高さのフレーム部材を接合してなるアクチュエー
タユニット上に、このアクチュエータユニットの各積層
型圧電素子の変位で変形される変形部を有する振動板
と、この振動板の変形部に対応する加圧液室及び加圧液
室に連通する共通インク流路を形成する液室流路形成部
材と、加圧液室に連通するノズルを形成したノズルプレ
ートとを積層接合してなる液室ユニットを接着接合して
インクジェットヘッドとしているので、高集積密度でコ
ンパクト、薄型で、部品点数が少なく、組立てが容易
で、しかも高効率で信頼性の高いインクジェットヘッド
を得ることができる。
ば、フレーム部材を複数の積層型圧電素子の周囲を囲む
枠状部材としたので、液室ユニットの変形部の周囲を支
持固定することができて振動特性が安定し、単チャンネ
ル駆動時に生じる隣接チャンネルへの振動伝搬や複数チ
ャンネル同時駆動時に生じる液室ユニット全体の持上が
りを抑制して、安定したインク吐出性能が得られる。
ば、積層型圧電素子を基板と積層型圧電素子の積層方向
と同方向に積層すると共に、d33方向(積層方向)の
変位で液室ユニットの加圧液室を加圧するようにしたの
で、圧電素子のコンパクト化、ヘッドの小型化を図れ、
また圧電素子の共振周波数が高くなって高周波応答が可
能になる。
ば、基板上に複数の積層型圧電素子の列を複数列設けた
ので、1ヘッド当たりノズル数が多くなって1走査当た
りの記録ライン数が増加し、記録速度の向上を図れる。
ば、フレーム部材を圧電素子プレートの切断前に基板上
に接合し、圧電素子プレートと共に切断加工しているの
で、切削加工時の圧電素子の倒れが抑えられ、加工効率
を大幅に高くすることができると共に、歩留りが向上す
る。
ば、積層型圧電素子は最外層の少なくとも一方を他の層
よりも厚みを厚く形成しているので、フレーム部材との
面合わせのための切削加工時に積層型圧電素子の内部電
極が露出することを防止でき、歩留りが向上する。
ば、液室ユニットの共通インク流路の面積の半分以上を
アクチュエータユニットのフレーム部材に対応させてい
るので、フレーム部材を振動板の変位部に近づけて支持
固定することができ、各部の不要振動を抑えることがで
きて、効率の高い特性の安定したヘッドを得ることがで
きる。
の外観斜視図
の説明に供する基板の平面図
を接合した状態の斜視図
供する斜視図
明に供する模式的説明図
基板、4…圧電素子列、5…フレーム部材、6…接着
剤、7…駆動部圧電素子、8…固定部圧電素子、11…
ダイアフラム部(変位部)、12…振動板、13…液室
流路形成部材、15…ノズル、16…ノズルプレート、
17…加圧液室、21…スリット溝、22…個別電極、
23…共通溝、24…共通電極、27…内部電極、2
8,29…端面電極、51,52…個別電極用パター
ン、53…共通電極用パターン、56…圧電素子プレー
ト、57,58…端面電極。
Claims (8)
- 【請求項1】 列状に配置された複数の圧電素子で各加
圧液室を加圧することによって各加圧液室に連通する各
ノズルからインク滴を噴射するインクジェットヘッドの
製造方法において、絶縁性基板上に電極用パターンを形
成すると共に積層型圧電素子を接合した後、この積層型
圧電素子及び前記基板の表面部に一体的にスリット加工
を施して、前記積層型圧電素子及び電極用パターンを複
数の積層型圧電素子及び各積層型圧電素子に対応する個
別電極に分割すると共に、前記基板上に前記複数の積層
型圧電素子の列設方向と直交する方向の少なくとも一方
側に前記積層型圧電素子と略同一高さのフレーム部材を
接合してなるアクチュエータユニット上に、このアクチ
ュエータユニットの各積層型圧電素子の変位で変形され
る変形部を有する振動板と、この振動板の変形部に対応
する加圧液室及び加圧液室に連通する共通インク流路を
形成する液室流路形成部材と、前記加圧液室に連通する
前記ノズルを形成したノズルプレートとを積層接合して
なる液室ユニットを接着接合することを特徴とするイン
クジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項2】 列状に配置された複数の圧電素子で各加
圧液室を加圧することによって各加圧液室に連通する各
ノズルからインク滴を噴射するインクジェットヘッドに
おいて、このインクジェットヘッドはアクチュエータユ
ニット上に液室ユニットを積層接合してなり、前記アク
チュエータユニットは、絶縁性基板上に設けた電極用パ
ターンと積層型圧電素子が、この積層型圧電素子及び前
記基板表面部に一体的にスリット加工を施されて複数の
積層型圧電素子及び各積層型圧電素子に対応する個別電
極に分割されていると共に、前記基板上に前記複数の積
層型圧電素子の列設方向と直交する方向の少なくとも一
方側に前記積層型圧電素子と略同一高さのフレーム部材
が接合されてなり、前記液室ユニットは、前記アクチュ
エータユニットの各積層型圧電素子の変位で変形される
変形部を有する振動板と、この振動板の変形部に対応す
る加圧液室及び加圧液室に連通する共通インク流路を形
成する液室流路形成部材と、前記加圧液室に連通する前
記ノズルを形成したノズルプレートとを積層接合してな
ることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項3】 請求項2に記載のインクジェットヘッド
において、フレーム部材が前記複数の積層型圧電素子の
周囲を囲む枠状部材であることを特徴とするインクジェ
ットヘッド。 - 【請求項4】 請求項2又は3に記載のインクジェット
ヘッドにおいて、前記積層型圧電素子は、前記基板とこ
の積層型圧電素子との積層方向と同方向に積層されてい
ると共に、この積層方向の変位で前記液室ユニットの加
圧液室を加圧することを特徴とするインクジェットヘッ
ド。 - 【請求項5】 請求項2ないし4のいずれかに記載のイ
ンクジェットヘッドにおいて、前記基板上には複数の積
層型圧電素子の列が複数列設けられていることを特徴と
するインクジェットヘッド。 - 【請求項6】 請求項2ないし5のいずれかに記載のイ
ンクジェットヘッドにおいて、前記フレーム部材は前記
積層型圧電素子と共にスリット加工が施されていること
を特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項7】 請求項2ないし6のいずれかに記載のイ
ンクジェットヘッドにおいて、前記積層型圧電素子は最
外面層の少なくとも一方が他の層よりも厚みが厚く形成
されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項8】 請求項2ないし7のいずれかに記載のイ
ンクジェットヘッドにおいて、前記液室ユニットの共通
インク流路の面積の半分以上が前記アクチュエータユニ
ットのフレーム部材に対応していることを特徴とするイ
ンクジェットヘッド。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29984294A JP3330757B2 (ja) | 1994-12-02 | 1994-12-02 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
US08/517,719 US5818482A (en) | 1994-08-22 | 1995-08-21 | Ink jet printing head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29984294A JP3330757B2 (ja) | 1994-12-02 | 1994-12-02 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002132419A Division JP2003019805A (ja) | 2002-05-08 | 2002-05-08 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08156272A true JPH08156272A (ja) | 1996-06-18 |
JP3330757B2 JP3330757B2 (ja) | 2002-09-30 |
Family
ID=17877591
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29984294A Expired - Fee Related JP3330757B2 (ja) | 1994-08-22 | 1994-12-02 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3330757B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1067103A (ja) * | 1996-08-28 | 1998-03-10 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッド及びその製造方法並びにフィルム状接着剤及びその製造方法 |
EP0875381A2 (en) * | 1997-04-30 | 1998-11-04 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head |
US6211606B1 (en) | 1998-02-05 | 2001-04-03 | Nec Corporation | Piezoelectric actuator and method for manufacturing same |
US6222303B1 (en) | 1998-02-12 | 2001-04-24 | Nec Corporation | Piezoelectric actuator having an array of drive columns |
US6345887B1 (en) | 1998-03-10 | 2002-02-12 | Nec Corporation | Ink jet head for non-impact printer |
KR100474831B1 (ko) * | 1998-01-07 | 2005-03-08 | 삼성전자주식회사 | 압전 효과를 이용한 잉크젯 프린터 헤드 및 그 제조방법 |
JP2010167719A (ja) * | 2009-01-23 | 2010-08-05 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子 |
JP2019142103A (ja) * | 2018-02-21 | 2019-08-29 | 株式会社リコー | ヘッド用振動板部材、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 |
-
1994
- 1994-12-02 JP JP29984294A patent/JP3330757B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1067103A (ja) * | 1996-08-28 | 1998-03-10 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッド及びその製造方法並びにフィルム状接着剤及びその製造方法 |
EP0875381A2 (en) * | 1997-04-30 | 1998-11-04 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head |
EP0875381A3 (en) * | 1997-04-30 | 1999-10-13 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head |
US6231169B1 (en) | 1997-04-30 | 2001-05-15 | Seiko Epson Corporation | Ink jet printing head including a backing member for reducing displacement of partitions between pressure generating chambers |
KR100474831B1 (ko) * | 1998-01-07 | 2005-03-08 | 삼성전자주식회사 | 압전 효과를 이용한 잉크젯 프린터 헤드 및 그 제조방법 |
US6211606B1 (en) | 1998-02-05 | 2001-04-03 | Nec Corporation | Piezoelectric actuator and method for manufacturing same |
US6222303B1 (en) | 1998-02-12 | 2001-04-24 | Nec Corporation | Piezoelectric actuator having an array of drive columns |
US6345887B1 (en) | 1998-03-10 | 2002-02-12 | Nec Corporation | Ink jet head for non-impact printer |
JP2010167719A (ja) * | 2009-01-23 | 2010-08-05 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子 |
JP2019142103A (ja) * | 2018-02-21 | 2019-08-29 | 株式会社リコー | ヘッド用振動板部材、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3330757B2 (ja) | 2002-09-30 |
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Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080719 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090719 Year of fee payment: 7 |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090719 Year of fee payment: 7 |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110719 Year of fee payment: 9 |
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